JP6818175B1 - 測定装置 - Google Patents

Abstract

【課題】電気的特性を精度よく測定する。【解決手段】測定装置１００は、それぞれ測定対象Ｔに押し付けられる第一接触子１０及び第二接触子２０と、電気信号を伝送する同軸ケーブル５０と、柔軟性を有し、第一接触子１０及び第二接触子２０と伝送部との間を電気的に接続する伝送基板６０と、グランド電位に設定され、第一接触子１０、第二接触子２０、同軸ケーブル５０、及び伝送基板６０を支持する筐体１と、を備える。伝送基板６０には、第一接触子１０が電気的に接続される第一グランド線６２及び第二接触子２０が電気的に接続されるシグナル線６３を含む高周波伝送路が設けられ、伝送基板６０のグランド線は、同軸ケーブル５０の外部導体５３と電気的に接続される基端部と、第一接触子１０が電気的に接続される先端部と、導通線７３を通じて筐体１と電気的に接続される導通部と、を有する。【選択図】図１

Description

本発明は、測定装置に関するものである。

特許文献１には、測定対象である複数の集積回路が形成されたウェハを載置する昇降可能なステージと、集積回路の高周波特性を測定する高周波プローブ装置と、を有する高周波特性測定装置が開示されている。

特開２００５−２２３１７０号公報

測定対象の高周波特性を測定する測定装置においては、測定用の電気信号を伝送する伝送経路における特性インピーダンスの不整合が発生すると、測定精度が低下するおそれがある。よって、測定装置では、伝送経路の特性インピーダンスを精度よく整合させて測定精度を向上させることが求められている。

本発明は、上記の問題点に鑑みてなされたものであり、高周波特性を精度よく測定できる測定装置を提供することを目的とする。

本発明のある態様によれば、測定装置は、それぞれ測定対象に押し付けられる第一接触子及び第二接触子と、電気信号を伝送する伝送部と、第一接触子及び第二接触子と伝送部との間を電気的に接続する伝送基板と、グランド電位に設定され、第一接触子、第二接触子、伝送部、及び伝送基板を支持する筐体と、を備え、伝送基板には、第一接触子が電気的に接続されるグランド線及び第二接触子が電気的に接続されるシグナル線を含む高周波伝送路が設けられ、第一接触子、第二接触子、及び伝送基板は、伝送部から測定対象に向かう電気信号を伝送するグランド伝送経路の一部をそれぞれ構成し、グランド伝送経路は、伝送部より測定対象側においてグランド伝送経路から分岐する導通線を通じて筐体に電気的に接続される。
また、本発明のある態様によれば、測定装置は、それぞれ測定対象に押し付けられる第一接触子及び第二接触子と、電気信号を伝送する伝送部と、第一接触子及び第二接触子と伝送部との間を電気的に接続する伝送基板と、グランド電位に設定され、第一接触子、第二接触子、伝送部、及び伝送基板を支持する筐体と、を備え、伝送基板には、第一接触子が電気的に接続されるグランド線及び第二接触子が電気的に接続されるシグナル線を含む高周波伝送路が設けられ、伝送部から測定対象に向かう電気信号のグランド伝送経路は、導通線を通じて筐体に電気的に接続され、筐体は、測定対象を支持する支持部材を有し、導通線は、グランド伝送経路の一部を構成する伝送基板のグランド線と支持部材とを電気的に接続する。

高周波信号の伝送では、信号の波長に対して伝送経路が長くなると、伝送経路が分布定数回路として振舞うようになり、グランド電位に設定された伝送経路においても電位の振動が生じる。これに対し、上記の態様によれば、伝送部から測定対象へのグランド伝送経路は、グランド電位に設定される筐体に対して接続される。このように、グランド伝送経路の途中においてもグランドをとっているため、伝送経路における電位の振動を抑制することができ、伝送経路における特性インピーダンスの整合を充分に図ることができる。したがって、測定装置の測定精度を向上させることができる。

図１は、本発明の実施形態に係る測定装置を示す正面図である。 図２は、本実施形態に係る測定装置及び検査装置を示す一部断面図である。 図３は、本実施形態に係る測定装置の側面図である。 図４は、本実施形態に係る測定装置の一部の構成を省略した正面図である。 図５は、本実施形態の同軸ケーブルの断面図である。 図６は、本実施形態に係る測定装置の斜視図である。 図７は、本実施形態の第一接触子の斜視図である。 図８は、本実施形態の第二接触子の斜視図である。 図９は、本実施形態の第一接触子及び第二接触子を示す正面図である。 図１０は、図４におけるＸ−Ｘ線に沿った断面図である。 図１１は、本実施形態の伝送基板の表面を示す平面図である。 図１２は、本実施形態に伝送基板の裏面を示す底面図である。 図１３は、図６におけるＸＩＩＩ−ＸＩＩＩ線に沿った断面図である。 図１４は、本実施形態に係る測定装置の伝送基板の分岐部の周辺を示す正面図である。 図１５は、本実施形態の変形例に係る測定装置を示す正面図である。 図１６は、本実施形態の変形例に係る測定装置を示す側面図である。 図１７は、本実施形態の変形例の第一接触子及び第二接触子を示す正面図である。 図１８は、本実施形態の変形例の伝送基板を示す正面図である。 図１９は、本実施形態の比較例を示す正面図である。

以下、図面を参照して、本発明の実施形態に係る測定装置１００について説明する。なお、各図面においては、説明の便宜上、各構成の縮尺を適宜変更しており、必ずしも厳密に図示されたものではない。

まず、図１から図５を参照して、実施形態に係る測定装置１００の全体構成について説明する。以下では、説明の便宜上、図１等に示すように、互いに直交するＸ，Ｙ及びＺの三軸を設定し、測定装置１００の構成について説明する。本実施形態では、Ｚ軸方向は、鉛直方向に平行な方向である。図１は、測定装置１００の正面図である。図２は、測定装置１００及び検査装置１０１を示す一部断面図である。図３は、測定装置１００の側面図である。図４は、測定装置１００の正面図であり、図１の記載から一部の構成を省略した図である。図５は、後述する伝送部としての同軸ケーブル５０の断面図である。

測定装置１００は、図１及び図２に示すように、例えばチップ部品といった測定対象Ｔ（図２参照）を電気的に検査する検査装置１０１に用いられる。

検査装置１０１は、図１に示すように、測定対象Ｔの電気的特性を測定するための測定装置１００と、電気的特性を測定するための測定位置に測定対象Ｔを搬送する搬送装置１０２と、測定対象Ｔに印加した電気信号を受信して所定の信号処理を行う制御装置１０５と、を備える。

測定装置１００は、図２に示すように、測定対象Ｔの高周波特性等の電気的特性を測定するために、測定位置にある測定対象Ｔに対して、第一接触子１０及び第二接触子２０を鉛直方向の下方から押し付けて、測定対象Ｔと制御装置１０５（図１参照）との間で電気信号を伝送する伝送機構である。測定装置１００は、例えば、数百ＭＨｚ〜数ＧＨｚといった特定の周波数の電磁波を測定対象Ｔに印加し、これに伴い測定対象Ｔにおいて発生する高周波信号を制御装置１０５に伝送する。これにより、測定対象Ｔの高周波特性の測定が行われる。なお、以下では、測定対象Ｔに対する第一接触子１０及び第二接触子２０の押し付け動作を「プロービング」とも称する。

搬送装置１０２は、測定対象Ｔを収容する収容溝１０３ａが複数形成される搬送テーブル１０３と、回転軸を中心に搬送テーブル１０３を間欠的に回転させるインデックス機構（図示省略）と、を有する。搬送テーブル１０３は、円板状の部材である。複数の収容溝１０３ａ（図２では、単数の収容溝１０３ａのみを図示）は、搬送テーブル１０３の外周面から径方向に延びて放射状に形成される。インデックス機構は、搬送テーブル１０３の中心軸を回転軸として間欠的に搬送テーブル１０３を回転させる。これにより、搬送テーブル１０３の収容溝１０３ａ内に収容された測定対象Ｔが測定位置に搬送され、測定装置１００によって高周波特性の測定が行われる。また、インデックス機構によって搬送テーブル１０３が回転することで、高周波特性の測定が完了した測定対象Ｔが測定位置から搬出される。

搬送テーブル１０３の鉛直方向の上方には、鉛直方向下方からの第一接触子１０及び第二接触子２０の押し付けに伴う測定対象Ｔの浮き上がりを抑制する押さえ部材１０４が設けられる。搬送テーブル１０３の鉛直方向の下方には、後述する筐体１の一部を構成し測定対象Ｔを支持する支持部材５が設けられる。支持部材５には、第一接触子１０及び第二接触子２０の通過を許容する通過孔５ａ，５ｂが形成されたホルダ６が設けられる（図２及び図６参照）。通過孔５ａ，５ｂは、図２に示すように、隔壁５ｃによって隔てられる。測定対象Ｔは、支持部材５に設けられたホルダ６の隔壁５ｃによって鉛直方向下方から支持され、搬送テーブル１０３の収容溝１０３ａからの脱落が規制される。

次に、測定装置１００の構成について説明する。なお、図１及び図２を除く各図では、測定対象Ｔや搬送テーブル１０３等の構成の図示は適宜省略している。

図１、図３、及び図４に示すように、測定装置１００は、それぞれ測定対象Ｔに押し付けられる第一接触子１０及び第二接触子２０と、第一接触子１０及び第二接触子２０が取り付けられるベース部３０と、ベース部３０を駆動して第一接触子１０及び第二接触子２０を所定の押し付け方向に沿って測定対象Ｔに押し付ける駆動機構４０と、を備える。また、測定装置１００は、制御装置１０５に入出力される電気信号を伝送する伝送部としての同軸ケーブル５０と、同軸ケーブル５０に対して第一接触子１０及び第二接触子２０を電気的に接続する接続部としての伝送基板６０と、同軸ケーブル５０と伝送基板６０とを電気的に接続するコネクタ５５と、を備える。本実施形態では、押し付け方向は、Ｚ軸に平行な方向である。

また、図１に示すように、測定装置１００は、筐体１を構成する部材として、第一ブラケット２と、第二ブラケット３と、第三ブラケット４と、を備える。測定装置１００の筐体１とは、第一接触子１０及び第二接触子２０、同軸ケーブル５０、及び伝送基板６０の少なくともいずれかを直接又は間接的に支持する金属製の構造体のことである。筐体１は、グランド電位に設定される。

第一ブラケット２には、支持部材５が取り付けられる。第二ブラケット３は、第一ブラケット２に取り付けられ、コネクタ５５を支持する。第三ブラケット４は、Ｌ型ブラケットであり、第一ブラケット２に取り付けられて、同軸ケーブル５０を支持する。このように、第一ブラケット２、第二ブラケット３、第三ブラケット４、及び支持部材５は、一体化されている。

第一接触子１０及び第二接触子２０は、それぞれ導体によって形成され測定対象Ｔに押し付けられて高周波信号が入力される電極である。本実施形態では、第一接触子１０がグランド電位に設定されるグランド電極であり、第二接触子２０がシグナル電位に設定されるシグナル電極である。

ベース部３０は、図３及び図４に示すように、駆動機構４０によって押し付け方向に進退される移動プレート３１と、押し付け方向に移動可能に移動プレート３１上に設けられる第一ベース部３２及び第二ベース部３３と、を有する。第一ベース部３２と第二ベース部３３とは、それぞれガイド部３７を介して移動プレート３１上に取り付けられ、移動プレート３１に対して押し付け方向に相対移動可能に構成される。第一ベース部３２と第二ベース部３３とは、互いに独立して移動可能に構成される。

第一接触子１０は、伝送基板６０の高周波伝送路に電気的に接続された状態で、第一取付部材としての金属製の第一取付ボルト８０によって第一ベース部３２に取り付けられる。第二接触子２０は、伝送基板６０の高周波伝送路に電気的に接続された状態で、第二取付部材としての金属製の第二取付ボルト８５によって第二ベース部３３に取り付けられる。第一接触子１０及び第二接触子２０の具体的構成及びベース部３０への取付構造については、図７から図１０等を参照して後に詳細に説明する。

ベース部３０には、図４に示すように、第一ベース部３２を測定対象Ｔに向けて押し付け方向に付勢する第一付勢部材としての第一スプリング３４ａと、第二ベース部３３を測定対象Ｔに向けて押し付け方向に付勢する第二付勢部材としての第二スプリング３４ｂと、が設けられる。第一スプリング３４ａ及び第二スプリング３４ｂは、それぞれ測定対象Ｔへの第一接触子１０及び第二接触子２０の押し付け力を確保するための弾性部材である。移動プレート３１上には、第一スプリング３４ａを支持する第一スプリングガイド３５ａ、第二スプリング３４ｂを支持する第二スプリングガイド３５ｂ、及び第一ベース部３２と第二ベース部３３とに当接するストッパ３６（図３参照）が設けられる。

第一スプリング３４ａ及び第二スプリング３４ｂは、それぞれコイルスプリングである。第一スプリング３４ａは、第一ベース部３２と第一スプリングガイド３５ａとの間に圧縮状態で設けられる。第二スプリング３４ｂは、第二ベース部３３と第二スプリングガイド３５ｂとの間に圧縮状態で設けられる。ストッパ３６（図３参照）は、第一ベース部３２及び第二ベース部３３に当接することで、第一スプリング３４ａの付勢力による第一ベース部３２の測定対象Ｔへ向けた移動と、第二スプリング３４ｂの付勢力による第二ベース部３３の測定対象Ｔへ向けた移動と、を規制する。

ガイド部３７は、移動プレート３１に取り付けられ押し付け方向に沿って設けられるレール３７ａと、第一ベース部３２又は第二ベース部３３に取り付けられレール３７ａに沿ってスライド可能に構成される従動子３７ｂと、を有する。

駆動機構４０は、ベース部３０の移動プレート３１を一方向に沿って進退させるアクチュエータである。駆動機構４０によるベース部３０の駆動方向が、測定対象Ｔに対する第一接触子１０及び第二接触子２０の押し付け方向（本実施形態ではＺ軸に平行な方向）に相当する。駆動機構４０によって移動プレート３１を進退させることで、第一ベース部３２及び第二ベース部３３と共に第一接触子１０及び第二接触子２０が進退する。つまり、ベース部３０が駆動機構４０によって押し付け方向に沿って進退されることにより、第一接触子１０及び第二接触子２０が測定対象Ｔに対して接触・離間する。

駆動機構４０は、図１、図３等に示すように、電動モータ４１と、電動モータ４１の回転を直線運動に変換するボールねじ機構４２と、を有する。

ボールねじ機構４２は、押し付け方向（Ｚ軸方向）に沿って設けられ電動モータ４１によって回転するボールねじ４２ａと、ボールねじ４２ａの回転に伴いボールねじ４２ａの軸線方向に沿って移動するボールナット（図示省略）と、を有する。

ベース部３０の移動プレート３１は、ボールねじ機構４２のボールナットに取り付けられる。電動モータ４１が回転駆動されると、ボールねじ４２ａの回転がボールナットの直線運動に変換されて、ボールナットが軸方向に移動する。これにより、ボールナットに取り付けられたベース部３０の移動プレート３１が第一ベース部３２及び第二ベース部３３と共に押し付け方向に沿って直線駆動される。なお、駆動機構４０は、ベース部３０を一方向に沿って進退させることが可能なものであれば、本実施形態の構成に限られない。例えば、駆動機構４０は、電動モータ４１とボールねじ機構４２との組み合わせに代えて、流体圧シリンダ又はソレノイド（いわゆるプッシュプルソレノイド）を用いてもよい。

同軸ケーブル５０は、図１に示すように、特性測定用の電気信号を送受信する制御装置１０５に電気的に接続され、制御装置１０５により送受信される電気信号を伝送する。同軸ケーブル５０は、図５に示すように、シグナル伝送路としての中心導体５１と、中心導体５１の周囲に設けられる絶縁層である絶縁体５２と、絶縁体５２の周囲に設けられるグランド伝送路としての外部導体５３と、が同心円上に配置される同軸伝送部である。

図１に示すように、伝送基板６０は、柔軟性を有する帯状のフレキシブルプリント基板であり、高周波伝送線路としてコプレーナ線路及びコプレーナストリップ線路を形成する積層構造を有する。伝送基板６０では、絶縁層である基材６１の一方の面に、それぞれ導体層である第一グランド線６２、シグナル線６３、及び第二グランド線６４がプリントされる。

第一グランド線６２の一端部は、第一接触子１０に電気的に接続される。シグナル線６３の一端部は、第二接触子２０に電気的に接続される。第二グランド線６４の一端部は、第一グランド線６２に電気的に接続される。第一グランド線６２の他端部及び第二グランド線６４の他端部は、コネクタ５５を通じて同軸ケーブル５０の外部導体５３（図５参照）に電気的に接続される。シグナル線６３の他端部は、コネクタ５５を通じて同軸ケーブル５０の中心導体５１（図５参照）に電気的に接続される。伝送基板６０の具体的構成については、図１１から図１３を参照して後に詳細に説明する。

コネクタ５５は、図６に示すように、同軸ケーブル５０が接続されると共に、伝送基板６０の他端部を挟持して、伝送基板６０の第一グランド線６２、シグナル線６３、及び第二グランド線６４と、同軸ケーブル５０と、をそれぞれ電気的に接続する。なお、コネクタ５５は、公知の構成を採用することができるため、これ以上の具体的な説明は省略する。

測定対象Ｔの高周波特性を測定するには、ベース部３０を押し付け方向の前方（鉛直方向の上方）に移動させ、支持部材５によって支持されている測定対象Ｔに対して、鉛直方向の下方から第一接触子１０及び第二接触子２０を接触させる。

第一接触子１０及び第二接触子２０が測定対象Ｔに接触した状態からベース部３０をさらに鉛直方向上方へ移動させることで、所定の押し付け力により第一接触子１０及び第二接触子２０を測定対象Ｔに押し付けて電気的に接続させる。測定対象Ｔに接触した状態から第一接触子１０及び第二接触子２０をさらに押し付けるのに伴い、第一ベース部３２及び第二ベース部３３がそれぞれ第一スプリング３４ａ及び第二スプリング３４ｂを圧縮するように（付勢力に抗して）移動プレート３１に対して相対移動する（図３等参照）。第一スプリング３４ａ及び第二スプリング３４ｂが圧縮されることによって生じる弾性力により、第一接触子１０及び第二接触子２０を測定対象Ｔに押し付ける押し付け力が確保される。

第一接触子１０及び第二接触子２０から出力される電気信号は、伝送基板６０の高周波伝送線路によって伝送され、同軸ケーブル５０を通じて制御装置１０５（図１参照）に入力される。伝送基板６０は、外力により変形が可能であり、駆動機構４０（図１参照）によってベース部３０が駆動されるのに伴って撓み変形する。これにより、同軸ケーブル５０及びコネクタ５５に対する押し付け方向に沿ったベース部３０、第一接触子１０、及び第二接触子２０の相対移動が許容される。

次に、主に図７から図１０を参照して、第一接触子１０及び第二接触子２０の具体的構成について説明する。

第一接触子１０及び第二接触子２０は、図７及び図８に示すように、それぞれ均一な厚みを有する板状に形成され、互いに同一形状に形成される。また、図９に示すように、第一接触子１０及び第二接触子２０は、押し付け方向に対して垂直な一方向（Ｘ方向。以下、「隣接方向」とも称する。）に所定の間隙Ｇ１を空けて並んで設けられる。

つまり、第一接触子１０及び第二接触子２０は、共通の部品として形成され、間隙Ｇ１を空けて互いに対称（面対称）に配置される。よって、以下では、主に第一接触子１０の具体的構成について説明し、第二接触子２０の構成については適宜説明を省略する。また、以下では、図９に示すように、第一接触子１０及び第二接触子２０のそれぞれからみて、第一接触子１０と第二接触子２０との間隙Ｇ１側を隣接方向における「内側」とし、間隙Ｇ１から離れる方向を「外側」とも称する。

第一接触子１０は、図７に示すように、ベース部３０の第一ベース部３２に取り付けられ伝送基板６０の第一グランド線６２に電気的に接続される第一取付部１１と、測定対象Ｔに押し付けられる第一端子部１５と、を有する。また、第一接触子１０には、押し付け方向に平行かつ板厚方向に平行、つまり、ＹＺ平面に対して平行な面である第一対向面１０ａが設けられる。第一対向面１０ａは、第一取付部１１と第一端子部１５とにわたって設けられる。言い換えれば、第一取付部１１と第一端子部１５とは、隣接方向の内側において第一対向面１０ａによって段差なく接続される。

第一取付部１１は、押し付け方向に平行な第一平坦面１１ａを有する板状に形成される。第一取付部１１には、第一取付ボルト８０（図４参照）が挿通する第一取付孔１２が、第一平坦面１１ａに開口するようにその板厚方向（Ｙ方向）に貫通して形成される。また、第一取付部１１には、第一取付孔１２に連通し第一取付部１１の外縁に開口する第一切欠部１２ａが形成される。第一切欠部１２ａは、第一取付孔１２から隣接方向に沿って外側に向けて延びるように形成される（図９参照）。これにより、第一取付孔１２は、閉じられた孔ではなく、第一切欠部１２ａによって第一取付部１１の外縁に開口する孔（開放された孔）として構成される。

第一端子部１５は、第一取付部１１から測定対象Ｔに向けて押し付け方向に突出するように形成される。第一端子部１５の先端の端面は、押し付け方向に垂直な垂直面１５ａとして形成される。第一端子部１５の垂直面１５ａは、測定対象Ｔに接触する。

また、第一端子部１５は、測定対象Ｔに接触する先端から第一取付部１１に接続される基端に向けて、幅寸法（Ｘ軸方向における寸法）が大きくなるように形成される。より具体的には、第一端子部１５は、隣接方向の内側（第二接触子２０側）は、押し付け方向に平行な第一対向面１０ａとして形成され、外側（第二接触子２０とは反対側）は押し付け方向に対して傾斜する第一傾斜面１６として形成される。第一傾斜面１６は、図９に示すように、第一取付孔１２の中心Ｏ１が第一傾斜面１６を含む第一仮想平面Ｐ１よりも隣接方向における内側に配置されるように形成される。

第一接触子１０と同様に、第二接触子２０は、図８に示すように、第二取付部２１と、第二端子部２５と、を有する。第二取付部２１には、第二取付ボルト８５が挿通する第二取付孔２２と、第二取付孔２２に連通し第二取付部２１の外縁に開口する第二切欠部２２ａと、が形成される。第二端子部２５の先端の垂直面２５ａは、測定対象Ｔに接触する。第二接触子２０には、第二取付部２１と第二端子部２５とにわたって第二対向面２０ａが設けられる。また、隣接方向における第二端子部２５の外側には、第二傾斜面２６が形成される。第二傾斜面２６は、図９に示すように、第二取付孔２２の中心Ｏ２が第二傾斜面２６を含む第二仮想平面Ｐ２よりも隣接方向における内側に配置されるように形成される。

測定対象Ｔへのプロービングでは、プロービングの反力が第一接触子１０及び第二接触子２０によって第一取付ボルト８０及び第二取付ボルト８５（図４等参照）に伝達される。これに対し、本実施形態では、第一取付孔１２の中心Ｏ１が第一傾斜面１６を含む第一仮想平面Ｐ１よりも隣接方向における内側に配置され、第二取付孔２２の中心Ｏ２が第二傾斜面２６を含む第二仮想平面Ｐ２よりも隣接方向における内側に配置される。これにより、プロービングの反力は、第一取付ボルト８０及び第二取付ボルト８５の中心軸に作用するように第一取付ボルト８０及び第二取付ボルト８５のそれぞれに伝達される。このようにプロービングの反力を第一取付ボルト８０及び第二取付ボルト８５の中心軸に対して作用させることができるため、反力による第一取付ボルト８０及び第二取付ボルト８５の緩みを抑制することができる。

なお、本実施形態では、第一傾斜面１６及び第二傾斜面２６は、それぞれ直線状（平坦面状）のテーパ面である。これに対し、第一傾斜面１６及び第二傾斜面２６は、テーパ面に限定されない。第一傾斜面１６及び第二傾斜面２６は、押し付け方向に対して傾斜するように形成される限り、例えば曲面で形成されてもよい。

第一接触子１０と第二接触子２０とは、第一対向面１０ａと第二対向面２０ａとが所定の間隔を空けて互いに平行対向するようにして、隣接方向に並んで配置される。第一対向面１０ａと第二対向面２０ａとは、それぞれ隣接方向に対して垂直な平面である。第一対向面１０ａと第二対向面２０ａとの間隔は、第一取付部１１と第二取付部２１との結合強度が所望のものとなるように、言い換えれば、伝送経路が所望の特性インピーダンス（例えば５０Ω）となるように設定される。

また、第一対向面１０ａと第二対向面２０ａとは、測定対象Ｔに押し付けられる先端側の一部が、他部よりも広い間隔で形成される。具体的には、第一端子部１５の先端の垂直面１５ａに連続する先端側の第一対向面１０ａの一部（以下、「第一先端対向面１０ｂ」と称する。）は、第一対向面１０ａの他部よりも隣接方向の外側に位置する。同様に、第二端子部２５の先端の垂直面２５ａに連続する先端側の第二対向面２０ａの一部（以下、「第二先端対向面２０ｂ」と称する。）は、第二対向面２０ａの他部よりも隣接方向の外側に位置する。第一先端対向面１０ｂと第二先端対向面２０ｂとの隣接方向の間隔は、第一接触子１０及び第二接触子２０を接触させる測定対象Ｔの大きさに合わせて設定される。よって、第一先端対向面１０ｂが第一対向面１０ａよりも隣接方向の内側に位置し、第二先端対向面２０ｂが第二対向面２０ａよりも隣接方向に内側に位置してもよい。

次に、主に図１０を参照して、第一接触子１０及び第二接触子２０の取付構造について説明する。

図１０に示すように、第一取付ボルト８０は、ヘッド部８０ａと、第一ベース部３２に形成される第一ねじ孔３２ａに螺合するねじ部８０ｂと、を有する。同様に、第二取付ボルト８５は、ヘッド部８５ａと、第二ベース部３３に形成される第二ねじ孔３３ａに螺合するねじ部８５ｂと、を有する。

第一接触子１０の第一取付部１１と第一取付ボルト８０のヘッド部８０ａとの間には、絶縁材料である樹脂によって形成される絶縁部材としての第一樹脂ワッシャ８１が設けられる。第一取付ボルト８０は、第一樹脂ワッシャ８１、第一取付部１１の第一取付孔１２、後述する伝送基板６０の第一挿通孔６２ａを挿通して、第一ベース部３２の第一ねじ孔３２ａに螺合する。これにより、第一接触子１０及び伝送基板６０が、第一取付ボルト８０によって第一ベース部３２に取り付けられる。また、第一接触子１０の第一取付部１１と第一取付ボルト８０のヘッド部８０ａとは、第一樹脂ワッシャ８１によって直接の接触が回避されており、これによって第一接触子１０と第一取付ボルト８０とが絶縁される。

第一接触子１０と同様に、第二接触子２０の第二取付部２１と第二取付ボルト８５のヘッド部８５ａとの間には、絶縁部材としての樹脂製の第二樹脂ワッシャ８６が設けられる。第二取付ボルト８５は、第二樹脂ワッシャ８６、第二取付部２１の第二取付孔２２、後述する伝送基板６０の第二挿通孔６３ａを挿通して第二ベース部３３の第二ねじ孔３３ａに螺合することで、第二接触子２０及び伝送基板６０が第二ベース部３３に取り付けられる。また、第二樹脂ワッシャ８６によって、第二接触子２０と第二取付ボルト８５とが絶縁される。なお、第一絶縁部材及び第二絶縁部材は、樹脂製に限定されず、絶縁材料としてその他の材料によって形成されてもよい。

次に、主に図１１から図１３を参照して、伝送基板６０の具体的構成について説明する。図１１は、伝送基板６０の一方の面（表面）を見た平面図であり、図１２は、伝送基板６０の他方の面（裏面）を見た底面図である。

伝送基板６０の基材６１は、柔軟性を有する材質で形成される。第一グランド線６２、第二グランド線６４、及びシグナル線６３は、帯状に延びる基材６１の長手方向に沿ってそれぞれ所定の幅を有して延びて設けられる。シグナル線６３は、伝送基板６０の長手方向に直交する幅方向（図１１中左右方向）において、第一グランド線６２と第二グランド線６４とに挟まれる位置に、第一グランド線６２と第二グランド線６４と所定の間隔を空けて設けられる。

伝送基板６０は、その長手方向において、第一接触子１０及び第二接触子２０が取り付けられる接触子側端部６５と、コネクタ５５（図１参照）を介して同軸ケーブル５０に接続されるコネクタ側端部６６と、接触子側端部６５とコネクタ側端部６６との間に設けられる基板本体部６７と、に分けられる。

第一グランド線６２及びシグナル線６３は、コネクタ５５に接続される伝送基板６０のコネクタ側端部６６から第一接触子１０及び第二接触子２０が取り付けられる伝送基板６０の接触子側端部６５まで延びて設けられる。一方、第二グランド線６４は、コネクタ側端部６６から基板本体部６７の長手方向の中間部までしか設けられていない。

伝送基板６０の接触子側端部６５には、伝送基板６０の長手方向に延びるスリット６０ａが形成される。これにより、伝送基板６０の接触子側端部６５は、スリット６０ａによって、第一接触子１０が取り付けられる第一取付端部６５ａと、第二接触子２０が取り付けられる第二取付端部６５ｂと、に隔てられる。

第一取付端部６５ａには、第一グランド線６２の一端部が設けられると共に、第一取付ボルト８０が挿通する第一挿通孔６２ａが第一グランド線６２を貫通して形成される。以下では、第一グランド線６２において第一接触子１０に対して直接接触する部分を、第一グランド線６２の「先端部」とも称する。

第二取付端部６５ｂには、シグナル線６３の一端部が設けられると共に、第二取付ボルト８５が挿通する第二挿通孔６３ａがシグナル線６３を貫通して形成される。第一取付端部６５ａと第二取付端部６５ｂとは、スリット６０ａによって隔てられることで、互いに独立して移動可能（変形可能）に構成される。また、第一取付端部６５ａと第二取付端部６５ｂとは、取り付けられる第一接触子１０及び第二接触子２０の形状に合わせて、幅寸法が幅広に形成されている。

スリット６０ａは、伝送基板６０の接触子側端部６５の先端部（先端縁）から、長手方向に沿って第一接触子１０及び第二接触子２０を超えるようにコネクタ５５側に延びて設けられる（図６参照）。

また、第二取付端部６５ｂには、第二取付端部６５ｂの外縁と第二挿通孔６３ａとを連通する基板切欠部６３ｂが形成される。つまり、第二挿通孔６３ａは、第一接触子１０の第一取付孔１２及び第二接触子２０の第二取付孔２２と同様に、周方向に閉じられた孔ではなく、基板切欠部６３ｂによって伝送基板６０の第二取付端部６５ｂの外縁に開口する孔（開放された孔）として形成される。基板切欠部６３ｂは、第一接触子１０と第二接触子２０との隣接方向（言い換えれば、伝送基板６０の長手方向に直交する幅方向）に延びる直線状に形成される。

伝送基板６０のコネクタ側端部６６は、コネクタ５５よって厚さ方向（長手方向及び幅方向に直交する方向。図１１における紙面垂直方向）に挟持されることで、コネクタ５５と接続される（図６参照）。コネクタ側端部６６は、第一グランド線６２、シグナル線６３、第二グランド線６４が並んで設けられてコネクタ５５に挟持されるコネクタ接続部６６ａと、伝送基板６０の幅方向におけるコネクタ接続部６６ａの両側からそれぞれ幅方向の外側に向けて延びる第一突出部６６ｂ及び第二突出部６６ｃと、が設けられる。第一突出部６６ｂ及び第二突出部６６ｃも、コネクタ５５によって挟持される。

第一突出部６６ｂの一方の面には、第一グランド線６２が設けられる。第二突出部６６ｃの一方の面には、第二グランド線６４が設けられる。また、第一突出部６６ｂ及び第二突出部６６ｃは、基板本体部６７に対して所定の隙間を空けて伝送基板６０の幅方向に並んでいる。つまり、伝送基板６０の幅方向において第一突出部６６ｂ及び第二突出部６６ｃと基板本体部６７との間には、伝送基板６０の長手方向に延びる基端スリット６０ｂ，６０ｃがそれぞれ形成される。これにより、コネクタ側端部６６に対して基板本体部６７が相対移動しやすくなる。

また、図１２に示すように、コネクタ側端部６６の裏面には、第一裏側グランド線６２ｂと第二裏側グランド線６４ｂとが導体層として設けられる。第一裏側グランド線６２ｂは、通孔６６ｄを通じて表面の第一グランド線６２に電気的に接続される。第二裏側グランド線６４ｂは、通孔６６ｅを通じて表面の第二グランド線６４に電気的に接続される。第一裏側グランド線６２ｂ及び第二裏側グランド線６４ｂが設けられる部分は、裏面に導体層が設けられない（基材６１が露出する）部分と比較して、厚くなる。これにより、他部よりも厚い第一裏側グランド線６２ｂが設けられる部分と第二裏側グランド線６４ｂが設けられる部分とが、コネクタ５５によって確実に挟持される。よって、コネクタ５５（図１参照）を通じて第一グランド線６２及び第二グランド線６４を確実に同軸ケーブル５０の外部導体５３に接続することができる。以下では、第一グランド線６２において、コネクタ５５によって挟持されてコネクタ５５に直接接触する部分を、第一グランド線６２の「基端部」とも称する。

基板本体部６７は、図１１に示すように、第一グランド線６２、第二グランド線６４、及びシグナル線６３が設けられる第一本体部６７ａと、第一グランド線６２及びシグナル線６３が設けられる一方、第二グランド線６４が設けられない第二本体部６７ｂと、を有する。第一本体部６７ａがコネクタ側端部６６に接続され、第二本体部６７ｂが接触子側端部６５に接続される。第一本体部６７ａは第二グランド線６４が設けられる分だけ第二本体部６７ｂよりも幅が広く、第一本体部６７ａと第二本体部６７ｂとの間には段差が形成される。

つまり、コネクタ側端部６６と基板本体部６７の第一本体部６７ａには、高周波伝送路としてＧ（グランド）−Ｓ（シグナル）−Ｇ（グランド）の線路構成を有する、いわゆるコプレーナ線路が設けられる。また、基板本体部６７の第二本体部６７ｂと接触子側端部６５には、高周波伝送路としてＧ−Ｓの線路構成を有する、いわゆるコプレーナストリップ線路が設けられる。

図１２に示すように、第一本体部６７ａの裏面には、第一グランド線６２と第二グランド線６４とを電気的に接続する導体層である合流線が形成される。本実施形態では、合流線として第一合流線６９ａ及び第二合流線６９ｂの二つが設けられている。第一合流線６９ａは、伝送基板６０の表面の第一グランド線６２と通孔６７ｃを通じて電気的に接続されると共に、表面の第二グランド線６４と通孔６７ｄを通じて電気的に接続される。また、第二合流線６９ｂは、伝送基板６０の表面の第一グランド線６２と通孔６７ｃを通じて電気的に接続されると共に、表面の第二グランド線６４と通孔６７ｄを通じて電気的に接続される。

このように、本実施形態では、第一グランド線６２と第二グランド線６４とを第一合流線６９ａと第二合流線６９ｂとによって電気的に接続することで、高周波伝送線路を、コネクタ側端部６６のＧ−Ｓ−Ｇのコプレーナ線路から、Ｇ−Ｓのコプレーナストリップ線路に変換している。

また、図１１に示すように、伝送基板６０の接触子側端部６５における基材６１には、第一取付端部６５ａの側部から分岐するようにして設けられる分岐部７０が設けられる。言い換えれば、分岐部７０は、基材６１の一部である。分岐部７０は、基端が第一取付端部６５ａの側部に接続され基端から伝送基板６０の幅方向に延びる第一分岐部７１と、第一分岐部７１の端部から伝送基板６０の長手方向に沿って延びる第二分岐部７２と、を有して、平面視で略Ｌ字状に形成されている。

分岐部７０には、第一グランド線６２と筐体１の支持部材５（図６参照）とを電気的に接続する導通線７３が設けられる。導通線７３は、分岐部７０を構成する基材６１の一方の面に設けられる。導通線７３は、第一グランド線６２と連続して基材６１の一方側の面に形成される導体層（プリント配線）である。第一グランド線６２と連続した導体層として導通線７３を構成することで、導通線７３の形成が容易となる。

第二分岐部７２は、図６及び図１３に示すように、第三取付部材としての金属製の第三取付ボルト７５によって支持部材５に取り付けられる。第二分岐部７２には、第三取付ボルト７５が挿通する第三挿通孔７０ａが形成される（図１１参照）。

また、導通線７３は、図１２に示すように、第三挿通孔７０ａを通じて基材６１の裏面にまで設けられる。導通線７３の裏側部７３ａが支持部材５（図６参照）の表面に接触した状態で、分岐部７０が第三取付ボルト７５によって支持部材５に固定される。このようにして、導通線７３によって第一グランド線６２と支持部材５とが電気的に接続される。なお、第一グランド線６２に対する導通線７３の接続部分（以下、「導通部」とも称する。）は、第一グランド線６２において、基端部から先端部に向けて離間した位置に設けられる。導通部が基端部から先端部に向けて離間するとは、導通部と基端部とが同一の部分を指すものではなく、互いに異なる部分であることを意味する。

支持部材５には、図１３に示すように、伝送基板６０の分岐部７０を収容し、分岐部７０が取り付けられる溝部５ｄが形成される。溝部５ｄには、分岐部７０を取り付ける第三取付ボルト７５が螺合する第三ねじ孔５ｅが形成される。溝部５ｄは、押し付け方向（Ｚ軸方向）と第一接触子１０の第一平坦面１１ａ（第二接触子２０の第二平坦面２１ａ）に垂直な方向（Ｘ軸方向）とのいずれに対しても傾斜した角度で形成される。つまり、分岐部７０の第二分岐部７２は、ＸＺ平面をＸ軸を中心として回転（傾斜）させた平面上に配置されるようにして、支持部材５に取り付けられる。これにより、分岐部７０を取り付ける第三取付ボルト７５の中心軸が、押し付け方向に対して傾斜する。

測定装置１００は、図１等に示すように、全体的に押し付け方向を含むＸＺ平面に延在するような構成である。このため、第三取付ボルト７５の中心軸がＸＺ平面に対して平行に延びるような場合には、ボルトを回転させるドライバなどの工具が測定装置１００の構成部品と干渉しやすくなる。本実施形態のように、第三取付ボルト７５をＸＺ平面に対して傾斜するように構成することで、工具と構成部品との干渉が回避され、取付作業が容易となる。

また、分岐部７０は、支持部材５に取り付けられるため、プロービングの際には、伝送基板６０の接触子側端部６５に対して相対移動する。分岐部７０が、押し付け方向に対して平行に（言い換えれば、分岐部７０が押し付け方向を含むＸＺ平面上で延びるように）支持部材５に対して取り付けられると、伝送基板６０の接触子側端部６５との間での相対移動により、分岐部７０が伝送基板６０の厚さ方向に変形する。このような厚さ方向の変形は、Ｙ軸方向の一方に向けて凸となるように変形する場合もある一方で、それとは反対に凹となるように変形する場合もあり、再現性に乏しい。よって、分岐部７０が押し付け方向に対して平行にして支持部材５に取り付けられる場合には、伝送経路の特性インピーダンスがばらつくおそれがある。これにより、測定精度が低下するおそれがある。

一方、本実施形態では、分岐部７０の第二分岐部７２は、押し付け方向に対して傾斜する構成であり、言い換えれば、図１３に示すように、Ｘ軸に平行な折曲軸によって折れ曲がるようにして支持部材５に取り付けられる構成である。このため、プロービングにより伝送基板６０の接触子側端部６５との相対移動が生じると、図中矢印Ａで示すように、分岐部７０は屈曲する方向に変形して、相対移動が吸収される。このように、分岐部７０が折れ曲がるようにして設けられることで、接触子側端部６５との相対移動による変形の再現性を高くできるため、分岐部７０の変形に伴う特性インピーダンスのばらつきを抑制し、測定精度を向上させることができる。

ここで、本実施形態の理解を容易にするために、図１９を参照して本実施形態の比較例に係る測定装置３００について説明する。なお、比較例では、上記実施形態と同様の構成については、上記実施形態と同様の符号を付して説明を省略する。

一般に、測定対象の高周波特性を測定する測定装置においては、高周波特性測定用の伝送経路における特性インピーダンスの不整合が発生すると、測定装置による測定精度が低下するおそれがある。よって、測定装置では、伝送経路の特性インピーダンスを精度よく整合させて測定精度を向上させることが求められている。

比較例に係る測定装置３００は、上記実施形態における伝送基板６０に設けられる分岐部７０及び導通線７３、第一接触子１０と第一取付ボルト８０との間の第一樹脂ワッシャ８１及び第二接触子２０と第二取付ボルト８５との間の第二樹脂ワッシャ８６、第一接触子１０及び第二接触子２０にそれぞれ形成される第一切欠部１２ａ及び第二切欠部２２ａ、伝送基板６０の第二取付端部６５ｂに形成される基板切欠部６３ｂ、第二グランド線６４を備えていない点において、上記実施形態とは相違している。

このような比較例においては、第一接触子１０及び第二接触子２０が、グランド電位である周囲の筐体１（より具体的には、第一接触子１０及び第二接触子２０が挿入される通過孔５ａ，５ｂを有する支持部材５）に対して、近接部が容量結合することがある（図中Ｂ部）。これにより、第一接触子１０、第一グランド線６２、コネクタ５５、及び支持部材５、第一ブラケット２、第二ブラケット３を含む筐体１によって、図１９中の矢印で示すように意図しない伝送経路が形成されることがある。

一方、電気信号の伝送経路は、伝送経路の長さが測定用の電気信号の波長に対して短い場合（例えば、伝送経路長が波長の１／２０程度以下である場合）には、いわゆる集中定数回路とみなすことができ、伝送経路中の電位の変動は無視することができる。しかしながら、伝送経路の長さが測定用の電気信号の波長に対して長い場合には、いわゆる分布定数回路として振舞うこととなり、伝送経路において、例えば、伝送経路に沿って正弦波形を示すように電位が振動する。つまり、測定用の電気信号が高周波であるほど波長が短くなるため、分布定数回路としての振舞いが生じやすい。

よって、第一接触子１０と支持部材５との容量結合によって意図しない伝送経路が生じ、当該伝送経路が分布定数回路として振舞うと、グランド電位に設定されている当該経路中の第一接触子１０及び支持部材５の電位が振動する。第一接触子１０及び支持部材５のグランド電位が振動し安定しなくなると、測定用の電気信号を伝送する本来の伝送経路（同軸ケーブル５０、伝送基板６０、第一接触子１０及び第二接触子２０）における特性インピーダンスの整合が充分に取れなくなる。

これに対し、本実施形態の測定装置１００では、第一グランド線６２の導通部が、導通線７３によって支持部材５に電気的に接続されている。これにより、第一接触子１０と支持部材５との容量結合によって意図せずに伝送経路が形成される場合であっても、図１４に示すように、第一グランド線６２の全体及び筐体１の一部を含むものではなく、第一接触子１０、第一接触子１０から導通線７３までの第一グランド線６２の一部、導通線７３、支持部材５において導通線７３が接続される部分から第一接触子１０と容量結合する部分までの間、というように、比較的短い経路によって意図しない伝送経路が構成される。よって、電気信号の波長に対する伝送経路の長さが短くなるため、グランド電位に設定された伝送経路における電位の変動を抑制できる。

つまり、測定装置１００では、伝送経路の途中にある第一グランド線６２の導通部においてもグランドをとっているため、伝送経路における電位の振動を抑制することができ、伝送経路における特性インピーダンスの整合を充分に図ることができる。したがって、測定装置１００の測定精度を向上させることができる。

また、意図せずに形成される伝送経路の経路長を短くするためには、本実施形態のように、第一グランド線６２の導通部は、その先端部と直接接続されるように形成されることが望ましい。別の観点からいえば、先端部の一部が導通部として機能して導通線７３により支持部材５に接続されることが望ましい。しかしながら、導通部は、第一グランド線６２上であれば、いずれの位置に設けられてもよい。

また、導通線７３は、第一接触子１０及び第二接触子２０と容量結合する支持部材５に機械的に直接接続されることが望ましい。しかしながら、導通線７３は、例えば、第一ブラケット２など、支持部材５に接続される、支持部材５以外の筐体１の構成部品に対して接続されてもよい。言い換えれば、導通線７３は、筐体１の他の部材を介して支持部材５に間接的に接続されてもよい。また、導通線７３は、伝送基板６０の表面に設けられるプリント配線に限定されない。

また、比較例に係る測定装置３００では、金属製の第一取付ボルト８０は、第一接触子１０に直接接触しており、第一接触子１０とは絶縁されていない。同様に、金属製の第二取付ボルト８５は、第二接触子２０に直接接触しており、第二接触子２０とは絶縁されていない。

このため、第一取付ボルト８０及び第二取付ボルト８５は、伝送経路上においてスタブとして構成される。伝送基板６０の高周波伝送路から第一接触子１０及び第二接触子２０に伝送される電気信号は、高周波伝送路から第一接触子１０及び第二接触子２０に直接伝送されるものに加えて、一部は高周波伝送路からスタブとして構成される第一取付ボルト８０及び第二取付ボルト８５を通じて第一接触子１０及び第二接触子２０に伝送される。つまり、高周波伝送路と第一接触子１０及び第二接触子２０との間で伝送される電気信号の一部が、第一取付ボルト８０及び第二取付ボルト８５を通じて迂回して伝送される。このような迂回した伝送経路を通る信号は、迂回せずに直接伝送される信号に対して位相がずれた信号となる。このため、測定対象Ｔには位相がずれた信号を含む電気信号が入力されることになるため、高周波特性の測定精度が低下する。

また、測定対象Ｔに電気信号が直接伝送される経路と迂回する伝送経路とが合流する際にも信号の反射が生じるため、伝送特性が悪化する。別の観点でいえば、高周波伝送路と第一接触子１０及び第二接触子２０との間の伝送経路に対して、第一取付ボルト８０及び第二取付ボルト８５が電気的に接続されてスタブを構成するため、第一取付ボルト８０及び第二取付ボルト８５が電気的に接続された部分の特性インピーダンスが他の伝送経路の特性インピーダンスから乖離する。これにより、特性インピーダンスの不整合が生じて、伝送特性が悪化する。

これに対し、本実施形態では、第一取付ボルト８０及び第二取付ボルト８５は、それぞれ第一樹脂ワッシャ８１及び第二樹脂ワッシャ８６によって第一接触子１０及び第二接触子２０に対して絶縁されている。これにより、第一取付ボルト８０及び第二取付ボルト８５が伝送経路においてスタブとして構成されないため、伝送特性を向上、言い換えれば、特性インピーダンスを整合させることができ、測定精度を向上させることができる。

さらに、比較例に係る測定装置３００では、第一接触子１０の第一取付部１１の第一取付孔１２、第二接触子２０の第一取付部１１の第二取付孔２２、及び伝送基板６０の第二取付端部６５ｂの第二挿通孔６３ａは、それぞれ閉じられた円形の孔として形成される。このため、伝送経路上で伝送される電気信号が、第一取付孔１２、第二取付孔２２、及び第二挿通孔６３ａの周囲をループし、磁界が生じる。つまり、第一取付孔１２、第二取付孔２２、及び第一挿通孔６２ａの周囲を電気信号がループするように流れることで、ループアンテナが見かけ上構成されて、電気信号のエネルギーの一部が電磁波として空間に放射される。これによって、測定対象Ｔに印加される電気信号が減衰してしまうため、測定装置３００の測定精度は低下する。

これに対し、本実施形態では、第一接触子１０の第一取付孔１２、第二接触子２０の第二取付孔２２、及び伝送基板６０の第二挿通孔６３ａには、第一切欠部１２ａ、第二切欠部２２ａ、及び基板切欠部６３ｂがそれぞれ連通する。第一切欠部１２ａ、第二切欠部２２ａ、及び基板切欠部６３ｂによって、第一取付孔１２、第二取付孔２２、及び第二挿通孔６３ａは、それぞれ開放された孔として構成されて周囲を電気信号がループすることが防止される。これにより、電気信号の放射が抑制され、測定精度の低下を防止できる。

また、一般に、測定装置では、検査装置または測定対象の仕様等の理由から、接触子を第一接触子及び第二接触子の二つだけとしなければならないといった制限が生じることがある。このような場合には、比較例に係る測定装置３００のように、伝送基板６０には、一つのグランド線６２と一つのシグナル線６３が設けられる、つまり、Ｇ−Ｓの線路構成を有するコプレーナストリップ線路が設けられることが一般的である。

これに対し、本実施形態では、伝送基板６０の接触子側端部６５にはＧ−Ｓの線路構成を有するコプレーナストリップ線路が設けられる一方、伝送基板６０のコネクタ側端部６６には、Ｇ−Ｓ−Ｇの線路構成を有するコプレーナ線路が設けられる。伝送基板６０では、基板本体部６７に設けられる第一合流線６９ａ及び第二合流線６９ｂによって第一グランド線６２と第二グランド線６４とが互いに接続されて、高周波伝送路がコプレーナ線路からコプレーナストリップ線路へと変換される。コプレーナ線路は、コプレーナストリップ線路よりもノイズに強く、同軸ケーブル５０からの変換時の特性インピーダンスの変動を抑えられるため、コプレーナストリップ線路よりも特性インピーダンスの整合を図りやすい。このように、測定装置１００では、接触子が２つに限定される場合であっても、高周波伝送路における伝送線路の一部がコプレーナ線路として構成されるため、伝送基板６０の高周波伝送路がコプレーナストリップ線路のみで構成される比較例よりも、インピーダンス整合を図りやすく、測定精度を向上させることができる。

次に、上記実施形態の変形例について説明する。以下のような変形例も本発明の範囲内であり、以下の変形例と上記実施形態の各構成とを組み合わせたり、以下の変形例同士を組み合わせたりすることも可能である。また、各変形例において、上記実施形態と同様の構成については、同様の符号を付して説明を省略する。

（１）上記実施形態では、接続部は、柔軟性を有する伝送基板６０（フレキシブルプリント基板）である。これに対し、接続部は、少なくとも第一接触子１０及び第二接触子２０（言い換えればベース部３０）と同軸ケーブル５０との相対移動を許容できる限り、柔軟性を有するものでなくてもよい。

図１５から図１８に示す第１変形例では、接続部である伝送基板１６０は、同軸ケーブル５０の外周の外部導体５３と第一接触子１１０とを電気的に接続するグランド線としての第一銅箔基板１６１と、同軸ケーブル５０の中心にある中心導体５１と第二接触子１２０とを電気的に接続するシグナル線としての第二銅箔基板１６２と、により構成される。第一銅箔基板１６１と第二銅箔基板１６２とは、それぞれ板部材によって構成され、隣接方向において互いに所定の間隔を空けて設けられる（図１５参照）。

図１６に示すように、第一銅箔基板１６１は、一端が同軸ケーブル５０の外部導体５３に対してはんだ付け等の手段により連結され、他端が第一連結ボルト１８０によって第一接触子１１０及び第一ベース部３２に対して連結される。第二銅箔基板１６２は、一端が同軸ケーブル５０の中心導体５１に対してそれぞれはんだ付け等の手段により連結され、他端が第二連結ボルト１８５によって第二接触子１２０及び第二ベース部３３に対して連結される。

また、図１５に示すように、第一接触子１１０と第一連結ボルト１８０との間には絶縁部材としての樹脂製の第一連結ワッシャ１８１が設けられる。第二接触子１２０と第二連結ボルト１８５との間には第二連結ワッシャ１８６が設けられる。これにより、第一連結ボルト１８０及び第二連結ボルト１８５が伝送経路においてスタブとして構成されることを回避でき、測定装置２００の測定精度を向上させることができる。

また、第１変形例では、図１７に示すように、第一接触子１１０には、第一ベース部３２に第一接触子１１０を取り付ける第一取付ボルト８０が挿通する第一取付孔１２及び第一取付孔１２に連通する第一切欠部１２ａに加えて、第一連結ボルト１８０が挿通する第三取付孔１１２と、第三取付孔１１２に連通し第一接触子１１０の外縁に開口する第三切欠部１１２ａと、が形成される。第二接触子１２０には、第二ベース部３３に第二接触子１２０を取り付ける第二取付ボルト８５が挿通する第二取付孔２２及び第二切欠部２２ａに加えて、第二連結ボルト１８５が挿通する第四取付孔１２２と、第四取付孔１２２に連通し第二接触子１２０の外縁に開口する第四切欠部１２２ａと、が形成される。

図１８に示すように、第一銅箔基板１６１には、第一連結ボルト１８０が挿通する第三挿通孔１６５と、第三挿通孔１６５に連通し第一銅箔基板１６１の外縁に開口する第一基板切欠部１６５ａと、が形成される。第二銅箔基板１６２には、第二連結ボルト１８５が挿通する第四挿通孔１６６と、第四挿通孔１６６に連通し第二銅箔基板１６２の外縁に開口する第二基板切欠部１６６ａと、が形成される。

このように、伝送経路上に形成される第一接触子１１０の第一取付孔１２及び第三取付孔１１２、第二接触子１２０の第二取付孔２２及び第四取付孔１２２、第一銅箔基板１６１の第三挿通孔１６５、第二銅箔基板１６２の第四挿通孔１６６は、それぞれ閉じられた孔ではなく開放された孔として構成される。よって、上記実施形態と同様に、第一取付孔１２、第二取付孔２２、第三取付孔１１２、第四取付孔１２２、第三挿通孔１６５、及び第四挿通孔１６６のそれぞれの周囲を電気信号がループすることを抑制でき、測定装置２００の測定精度を向上させることができる。

また、第１変形例では、図示は省略するが、上記実施形態と同様に、グランド線である第一銅箔基板１６１と支持部材５とを電気的に接続する導通線を設けてもよい。これによれば、第一接触子１０と支持部材５との容量結合によって意図せずに伝送経路が形成される場合であっても、第一銅箔基板１６１においてグランドをとっているため、意図しない伝送経路の経路長を短くでき、グランド伝送路における電位の変動を抑制できる。よって、伝送経路における電位の振動を抑制することができ、伝送経路における特性インピーダンスの整合を充分に図ることができる。したがって、測定装置１００の測定精度を向上させることができる。

（２）また、上記実施形態では、伝送基板６０は、柔軟性を有するフレキシブルプリント基板である。これに対し、柔軟性を有する伝送基板としては、柔軟性を有する部位と有していない部位とを含むフレックスリジット基板であってもよい。

（３）また、上記実施形態では、図５等に示すように、第一接触子１０と金属製の第一取付ボルト８０との間に第一樹脂ワッシャ８１が設けられ、第一接触子１０と第一取付ボルト８０とが絶縁される。同様に、第二接触子２０と金属製の第二取付ボルト８５との間に第二樹脂ワッシャ８６が設けられ、第二接触子２０と第二取付ボルト８５とが絶縁される。

これに対し、第一取付ボルト８０及び第二取付ボルト８５と第一接触子１０及び第二接触子２０とを絶縁する構成として、第一樹脂ワッシャ８１及び第二樹脂ワッシャ８６を利用せず、第一取付ボルト８０及び第二取付ボルト８５自体を絶縁材料である樹脂によって形成してもよい。この場合であっても、第一取付ボルト８０及び第二取付ボルト８５が伝送経路上でスタブとして構成されることを回避できるため、測定装置１００の測定精度を向上させることができる。

なお、第一取付ボルト８０及び第二取付ボルト８５がスタブを構成することによる測定精度の低下を抑制する観点では、第一接触子１０及び第二接触子２０は、それぞれ第一取付ボルト８０及び第二取付ボルト８５に対して絶縁されることが望ましい。しかしながら、スタブによる測定精度の低下を抑制する観点では、第一接触子１０及び第二接触子２０の両方が第一取付ボルト８０及び第二取付ボルト８５に対して絶縁される構成は必須ではなく、少なくとも一方が、対応する（自身をベース部３０に取り付けるための）第一取付ボルト８０及び第二取付ボルト８５に対して絶縁されていればよい。

（４）また、第一取付部材及び第二取付部材は、第一取付ボルト８０及び第二取付ボルト８５に限定されるものではない。第一取付部材及び第二取付部材として、第一ベース部３２及び第二ベース部３３に圧入される圧入ピンを利用してもよい。また、第一取付部材及び第二取付部材は、第一取付ボルト８０及び第二取付ボルト８５のように着脱自在に構成されなくてもよい。これらの場合であっても、樹脂ワッシャを利用して第一取付部材及び第二取付部材と第一接触子１０及び第二接触子２０とをそれぞれ絶縁してもよいし、第一取付部材及び第二取付部材そのものを絶縁材料によって形成して第一接触子１０及び第二接触子２０と絶縁してもよい。

（５）また、上記実施形態では、導通線７３は、伝送基板６０の第一グランド線６２と支持部材５とを電気的に接続する。これに対し、導通線７３は、上述のような意図しない伝送経路の長さを短く構成できる限り、第一グランド線６２と支持部材５とを電気的に接続する構成に限定されない。

例えば、測定装置１００では、コネクタ５５と支持部材５とを電気的に接続する導通線が設けられてもよい。また、第一接触子１０と支持部材５とを電気的に接続する導通線が設けられてもよい。これらの場合であっても、意図しない伝送経路が生じても、経路長を比較例（図１９参照）よりも短くすることができるため、上記実施形態と同様の作用効果を奏する。つまり、導通線は、同軸ケーブル５０から測定対象Ｔに向かう電気信号のグランド伝送経路中のいずれかの箇所を支持部材５（筐体１）に電気的に接続する構成であればよく、このように構成される限り、上記実施形態と同様の作用効果を奏する。なお、同軸ケーブル５０から測定対象Ｔに向かう電気信号のグランド伝送経路とは、コネクタ５５、伝送基板６０、及び第一接触子１０を含むものであり、同軸ケーブル５０は含まれない。つまり、グランド伝送経路とは、第一接触子１０及び第二接触子２０を測定対象Ｔに押し付けた状態において、同軸ケーブル５０と測定対象Ｔとの間の伝送経路を指すものである。

次に、本明細書に記載の実施形態及びその変形例の作用効果について、まとめて説明する。

測定装置１００は、それぞれ測定対象Ｔに押し付けられる第一接触子１０及び第二接触子２０と、電気信号を伝送する伝送部（同軸ケーブル５０）と、柔軟性を有し、第一接触子１０及び第二接触子２０と伝送部との間を電気的に接続する伝送基板６０と、グランド電位に設定され、第一接触子１０、第二接触子２０、伝送部、及び伝送基板６０を支持する筐体１と、を備え、伝送基板６０には、第一接触子１０が電気的に接続されるグランド線（第一グランド線６２）及び第二接触子２０が電気的に接続されるシグナル線６３を含む高周波伝送路が設けられ、伝送部から測定対象Ｔに向かう電気信号のグランド伝送経路は、導通線７３を通じて筐体に電気的に接続される。

また、測定装置１００では、導通線７３は、グランド伝送経路の一部を構成する伝送基板６０のグランド線と筐体１とを電気的に接続する。

また、測定装置１００では、筐体１は、第一接触子１０及び第二接触子２０が挿入される通過孔５ａ，５ｂが設けられ、測定対象Ｔを支持する支持部材５を有し、グランド線の導通部は、支持部材５に電気的に接続される。

これらの構成によれば、伝送部から測定対象Ｔへのグランド伝送経路の途中でもグランドをとっているため、伝送経路における電位の振動を抑制することができ、伝送経路における特性インピーダンスの整合を充分に図ることができる。したがって、測定装置１００の測定精度を向上させることができる。

また、測定装置１００では、導通線７３は、伝送基板６０と一体に形成され、グランド線と連続する。

この構成によれば、導通線７３をグランド線と同時に形成できるため、導通線７３の形成が容易となる。

また、測定装置１００では、第一接触子１０は、測定対象Ｔに押し付けられる端子部（第一端子部１５）と、測定対象Ｔに対する端子部の押し付け方向に対して平行な平坦面を有する平板状に形成され、伝送基板６０に電気的に接続される取付部（第一取付部１１）と、を有し、導通線７３は、伝送基板６０の側部から分岐した分岐部７０に設けられ、分岐部７０は、取付部の平坦面に対して垂直方向及び平行方向のいずれに対しても傾斜した角度で筐体１に接続される。

この構成では、測定対象Ｔへの第一接触子１０及び第二接触子２０の押し付けに伴って生じる伝送基板６０と分岐部７０との相対移動は、分岐部７０の撓み変形によって吸収される。分岐部７０が取付部の平坦面に対して垂直方向及び平行方向のいずれに対しても傾斜した角度で筐体１に接続されることで、分岐部７０の撓み変形の再現性が向上する。よって、分岐部７０の撓み変形による特性インピーダンスのばらつきの発生が抑制され、測定装置１００の測定精度を向上させることができる。

また、測定装置１００は、それぞれ測定対象Ｔに押し付けられる第一接触子１０及び第二接触子２０と、第一接触子１０及び第二接触子２０が取り付けられるベース部３０と、ベース部３０を駆動して第一接触子１０及び第二接触子２０を測定対象Ｔに押し付ける駆動機構４０と、を備える。さらに、測定装置１００は、電気信号を伝送する伝送部（同軸ケーブル５０）と、伝送部と第一接触子１０及び第二接触子２０とを電気的に接続すると共に、ベース部３０が駆動されるのに伴って変形して伝送部に対する第一接触子１０及び第二接触子２０の相対移動を許容する接続部（伝送基板６０）と、第一接触子１０をベース部３０に取り付ける第一取付部材（第一取付ボルト８０）と、第二接触子２０をベース部３０に取り付ける第二取付部材（第二取付ボルト８５）と、を備え、第一接触子１０及び第二接触子２０の少なくとも一方は、自身をベース部３０に取り付けるための第一取付部材又は第二取付部材と絶縁されて構成される。

また、測定装置１００は、第一接触子１０及び第二接触子２０の少なくとも一方は、自身をベース部３０に取り付けるための第一取付部材又は第二取付部材との間に設けられ絶縁材料によって形成される絶縁部材（第一樹脂ワッシャ８１，第二樹脂ワッシャ８６）によって、第一取付部材又は第二取付部材と絶縁されて構成される。

また、変形例に係る測定装置１００では、第一取付部材（第一取付ボルト８０）及び第二取付部材（第二取付ボルト８５）の少なくとも一方は、絶縁材料によって形成されて、第一接触子１０又は第二接触子２０と絶縁されて構成される。

これらの構成によれば、第一取付部材（第一取付ボルト８０）及び第二取付部材（第二取付ボルト８５）の少なくとも一方が第一接触子１０及び第二接触子２０に対して絶縁されているため、高周波特性を測定するための電気信号が第一取付部材（第一取付ボルト８０）及び第二取付部材（第二取付ボルト８５）に流れにくくなる。これにより、伝送基板６０の高周波伝送路と第一接触子１０及び第二接触子２０の少なくとも一方との間の電気信号の伝送に対する第一取付部材（第一取付ボルト８０）及び第二取付部材（第二取付ボルト８５）の影響を抑制できる。したがって、測定用の伝送経路における特性インピーダンスの整合を充分に図ることができ、測定装置１００，２００の測定精度を向上させることができる。

また、測定装置１００では、第一接触子１０は、測定対象Ｔに押し付けられる第一端子部１５と、第一取付部１１材が挿通される第一取付孔１２が形成されベース部３０に取り付けられる第一取付部１１と、を有し、第二接触子２０は、測定対象Ｔに押し付けられる第二端子部２５と、第二取付部２１材が挿通される第二取付孔２２が形成されベース部３０に取り付けられる第二取付部２１と、を有する。

そして、第一接触子１０の第一取付部１１には、第一取付孔１２に連通し第一接触子１０の外縁に開口する第一切欠部１２ａが形成され、第二接触子２０の第二取付部２１には、第二取付孔２２に連通し第二接触子２０の外縁に開口する第二切欠部２２ａが形成される。

この構成では、第一切欠部１２ａ及び第二切欠部２２ａによって、第一取付孔１２及び第二取付孔２２は、それぞれ閉じられた孔ではなく開放された孔として形成される。これにより、第一取付孔１２及び第二取付孔２２の回りをループするように電気信号が流れることが防止されるので、電気信号がループすることによる信号の放射が抑制される。したがって、測定装置１００の測定精度を向上させることができる。

また、測定装置１００では、第一接触子１０と第二接触子２０とは、測定対象Ｔへの第一接触子１０及び第二接触子２０の押し付け方向に対して垂直な所定の隣接方向において間隔を空けて並んで設けられ、第一端子部１５は、第二接触子２０とは隣接方向において反対側に設けられ押し付け方向に対して傾斜する第一傾斜面１６を有し、第二端子部２５は、第一接触子１０とは隣接方向において反対側に設けられ押し付け方向に対して傾斜する第二傾斜面２６を有し、第一取付孔１２の中心Ｏ１は、第一傾斜面１６を含む第一仮想平面Ｐ１よりも、隣接方向において第二接触子２０側に配置され、第二取付孔２２の中心Ｏ２は、第二傾斜面２６を含む第二仮想平面Ｐ２よりも、隣接方向において第一接触子１０側に配置される。

この構成では、第一取付孔１２の中心が第一仮想平面Ｐ１よりも第二接触子２０側に配置され、第二取付孔２２の中心が第二仮想平面Ｐ２よりも第一接触子１０側に配置される。これにより、測定対象Ｔへの第一接触子１０及び第二接触子２０の押し付け力に対する反力は、第一取付ボルト８０及び第二取付ボルト８５の中心軸に作用するように第一取付ボルト８０及び第二取付ボルト８５のそれぞれに伝達される。測定対象Ｔへの第一接触子１０及び第二接触子２０の押し付けの反力を第一取付ボルト８０及び第二取付ボルト８５の中心軸に対して作用させることができるため、反力による第一取付ボルト８０及び第二取付ボルト８５の緩みを抑制することができる。

また、測定装置１００は、それぞれ測定対象Ｔに押し付けられる第一接触子１０及び第二接触子２０と、電気信号を伝送する伝送部（同軸ケーブル５０）と、高周波伝送路が設けられ、第一接触子１０及び第二接触子２０と伝送部とを電気的に接続する伝送基板６０と、を備え、高周波伝送路は、一端が伝送部におけるシグナル伝送路（中心導体５１）と電気的に接続され、他端が第一接触子１０と電気的に接続されるシグナル線６３と、一端が伝送部におけるグランド伝送路（外部導体５３）と電気的に接続され、他端が第二接触子２０と電気的に接続される第一グランド線６２と、一端が伝送部におけるグランド伝送路と電気的に接続される第二グランド線６４と、第一グランド線６２と第二グランド線６４とを電気的に接続する合流線（第一合流線６９ａ，第二合流線６９ｂ）と、を有する。

また、測定装置１００では、伝送基板６０は、基材６１をさらに有し、シグナル線６３、第一グランド線６２、及び第二グランド線６４は、基材６１の一方側の面上に設けられ、第一グランド線６２及び第二グランド線６４は、基材６１の一方側の面において、シグナル線６３を挟むように配置される。

また、測定装置１００では、合流線（第一合流線６９ａ，第二合流線６９ｂ）は、一方側の面の反対側である基材６１の他方側の面上に設けられる。

これらの構成によれば、伝送基板６０の高周波伝送路における伝送経路の一部は、１つのシグナル線６３と二つのグランド線とによって構成される、いわゆるコプレーナ線路である。コプレーナ線路は、コプレーナストリップ線路よりもノイズに強く、同軸ケーブル５０からの変換時の特性インピーダンスの変動を抑えられるため、特性インピーダンスの整合を図りやすい。したがって、上記態様によれば、測定装置１００の測定精度を向上させることができる。

また、測定装置１００は、伝送部（同軸ケーブル５０）と伝送基板６０とを接続するコネクタ５５をさらに備え、伝送基板６０は、コネクタ５５によって挟持されるコネクタ側端部６６を有し、コネクタ側端部６６は、シグナル線６３、第一グランド線６２、及び第二グランド線６４が並んで設けられるコネクタ接続部６６ａと、伝送基板６０の幅方向におけるコネクタ接続部６６ａの両側からそれぞれ幅方向の外側に向けて延びる第一突出部６６ｂ及び第二突出部６６ｃと、を有し、第一突出部６６ｂには、第一グランド線６２が設けられており、第二突出部６６ｃには、第二グランド線６４が設けられており、コネクタ接続部６６ａと第一突出部６６ｂとの間、及び、コネクタ接続部６６ａと第二突出部６６ｃとの間には、それぞれ伝送基板６０の長手方向に延びる基端スリット６０ｂ，６０ｃが形成される。

この構成では、伝送基板６０がコネクタ側端部６６に対して相対移動しやすくなる。

また、測定装置１００では、コネクタ側端部６６の一方の面には、シグナル線６３、第一グランド線６２、及び第二グランド線６４が設けられ、コネクタ側端部６６の他方の面には、第一グランド線６２と電気的に接続される第一裏側グランド線６２ｂと、第二グランド線６４と電気的に接続される第二裏側グランド線６４ｂと、が設けられ、コネクタ側端部６６では、第一裏側グランド線６２ｂ及び第二裏側グランド線６４ｂが設けられる部分の厚さが、他部よりも厚く形成される。

この構成では、第一裏側グランド線６２ｂ及び第二裏側グランド線６４ｂが設けられる部分が他部より厚く形成されることで、この部分をコネクタ５５によって確実に挟持することができる。よって、コネクタ５５を通じて第一グランド線６２及び第二グランド線６４を確実に同軸ケーブル５０の外部導体５３に接続することができる。

以上、本発明の実施形態について説明したが、上記実施形態は本発明の適用例の一部を示したに過ぎず、本発明の技術的範囲を上記実施形態の具体的構成に限定する趣旨ではない。本明細書において、「平行」、「垂直」、「直交」、「同一」、「均一」、「一定」、「一様」等の語は、厳密な意味ではなく、本発明の技術的思想を逸脱しない範囲においてずれが許容される。

１ 筐体
５ 支持部材
５ａ 通過孔
１０ 第一接触子
１０ａ 第一対向面
１１ 第一取付部
１１ａ 第一平坦面
１２ 第一取付孔
１２ａ 第一切欠部
１５ 第一端子部
１６ 第一傾斜面
２０ 第二接触子
２０ａ 第二対向面
２１ 第二取付部
２１ａ 第二平坦面
２２ 第二取付孔
２２ａ 第二切欠部
２５ 第二端子部
２６ 第二傾斜面
３０ ベース部
５０ 同軸ケーブル（伝送部）
５１ 中心導体（シグナル伝送路）
５３ 外部導体（グランド伝送路）
６０ 伝送基板（接続部）
６２ 第一グランド線
６２ａ 第一挿通孔
６３ シグナル線
６３ａ 第二挿通孔
６４ 第二グランド線
６９ａ 第一合流線（合流線）
６９ｂ 第二合流線（合流線）
７０ 分岐部
７３ 導通線
８０ 第一取付ボルト（第一取付部材）
８１ 第一樹脂ワッシャ（絶縁部材）
８５ 第二取付ボルト（第二取付部材）
８６ 第二樹脂ワッシャ（絶縁部材）
１００ 測定装置
１１０ 第一接触子
１２０ 第二接触子
１６０ 伝送基板
２００ 測定装置
Ｏ１ 第一取付孔の中心
Ｏ２ 第二取付孔の中心
Ｐ１ 第一仮想平面
Ｐ２ 第二仮想平面

Claims (6)

1. それぞれ測定対象に押し付けられる第一接触子及び第二接触子と、
   電気信号を伝送する伝送部と、
   前記第一接触子及び前記第二接触子と前記伝送部との間を電気的に接続する伝送基板と、
   グランド電位に設定され、前記第一接触子、前記第二接触子、前記伝送部、及び前記伝送基板を支持する筐体と、を備え、
   前記伝送基板には、前記第一接触子が電気的に接続されるグランド線及び前記第二接触子が電気的に接続されるシグナル線を含む高周波伝送路が設けられ、
   前記伝送部から前記測定対象に向かう電気信号が伝送されるグランド伝送経路は、前記伝送部より前記測定対象側において前記グランド伝送経路から分岐する導通線を通じて前記筐体に電気的に接続される、
   ことを特徴とする測定装置。
2. それぞれ測定対象に押し付けられる第一接触子及び第二接触子と、
   電気信号を伝送する伝送部と、
   前記第一接触子及び前記第二接触子と前記伝送部との間を電気的に接続する伝送基板と、
   グランド電位に設定され、前記第一接触子、前記第二接触子、前記伝送部、及び前記伝送基板を支持する筐体と、を備え、
   前記伝送基板には、前記第一接触子が電気的に接続されるグランド線及び前記第二接触子が電気的に接続されるシグナル線を含む高周波伝送路が設けられ、
   前記伝送部から前記測定対象に向かう電気信号のグランド伝送経路は、導通線を通じて前記筐体に電気的に接続され、
   前記筐体は、前記測定対象を支持する支持部材を有し、
   前記導通線は、前記グランド伝送経路の一部を構成する前記伝送基板の前記グランド線と前記支持部材とを電気的に接続する、
   ことを特徴とする測定装置。
3. 請求項２に記載の測定装置であって、
   前記導通線は、前記伝送基板と一体に形成され、前記グランド線と連続する、
   測定装置。
4. 請求項３に記載の測定装置であって、
   前記第一接触子は、
   前記測定対象に押し付けられる端子部と、
   前記測定対象に対する前記端子部の押し付け方向に対して平行な平坦面を有する平板状に形成され、前記伝送基板に電気的に接続される取付部と、を有し、
   前記導通線は、前記伝送基板の側部から分岐した分岐部に設けられ、
   前記分岐部は、前記取付部の前記平坦面に対して垂直方向及び平行方向のいずれに対しても傾斜した角度で前記筐体に接続される、
   測定装置。
5. 請求項１から４のいずれか一つに記載の測定装置であって、
   前記伝送基板は、
   前記第一接触子が取り付けられる第一取付端部と、
   前記第二接触子が取り付けられる第二取付端部と、
   前記第一取付端部と前記第二取付端部とを互いに隔てるように形成されるスリットと、を有し、
   前記第一取付端部と前記第二取付端部とは、前記スリットによって互いに独立して移動可能に構成される、
   測定装置。
6. 請求項５に記載の測定装置であって、
   前記伝送基板は、帯状に形成されており、
   前記スリットは、前記伝送基板の長手方向に延びるように形成される、
   測定装置。

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