JP3288568B2 - アライメント装置および方法 - Google Patents
アライメント装置および方法Info
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- JP3288568B2 JP3288568B2 JP29854795A JP29854795A JP3288568B2 JP 3288568 B2 JP3288568 B2 JP 3288568B2 JP 29854795 A JP29854795 A JP 29854795A JP 29854795 A JP29854795 A JP 29854795A JP 3288568 B2 JP3288568 B2 JP 3288568B2
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば液晶パネル
などの光透過型表示パネルの検査などに適用して好適な
アライメント装置および方法に関する。
などの光透過型表示パネルの検査などに適用して好適な
アライメント装置および方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】液晶パネルなどの光透過型表示パネル
は、その金属薄膜端子に、電気信号入力のためのプロー
ブピンを接触させて検査が行われる。その際、従来の液
晶パネルなどの光透過型表示パネルは、端子部が大きい
ので、設計数値のみによって組み立てられたジグによ
る、メカ的な位置決めのみのラフなアライメントで充分
プローブピンを接触できた。しかし、光透過型表示パネ
ルの高精細化に伴って、光透過型表示パネル内に角形ア
ライメントマークを設け、高倍率のＣＣＤカメラを利用
したアライメントを行うようになってきた。
は、その金属薄膜端子に、電気信号入力のためのプロー
ブピンを接触させて検査が行われる。その際、従来の液
晶パネルなどの光透過型表示パネルは、端子部が大きい
ので、設計数値のみによって組み立てられたジグによ
る、メカ的な位置決めのみのラフなアライメントで充分
プローブピンを接触できた。しかし、光透過型表示パネ
ルの高精細化に伴って、光透過型表示パネル内に角形ア
ライメントマークを設け、高倍率のＣＣＤカメラを利用
したアライメントを行うようになってきた。
【０００３】図６に、この角形アライメントマークとプ
ローブピンの関係を示す。プローブブロック上に立てら
れたアライメント用プローブピンを、高倍率のＣＣＤカ
メラにて位置確認して、角形アライメントマークの対角
位置に対応させるように接触させる。
ローブピンの関係を示す。プローブブロック上に立てら
れたアライメント用プローブピンを、高倍率のＣＣＤカ
メラにて位置確認して、角形アライメントマークの対角
位置に対応させるように接触させる。
【０００４】また、自動アライメント装置では、図７に
示すように、光透過型表示パネル内の角形アライメント
マークの中央を、画像処理にて認識し、任意のアライメ
ントポイントまで自動ＸＹθステージにて自動的に移動
させる。
示すように、光透過型表示パネル内の角形アライメント
マークの中央を、画像処理にて認識し、任意のアライメ
ントポイントまで自動ＸＹθステージにて自動的に移動
させる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】近年、光透過型表示パ
ネルの高精細化の進展に伴って、その金属薄膜端子の端
子幅や端子ピッチも微細化が進み、アライメントマーク
とアライメント用プローブピンを対応させるだけでは、
正確にアライメントを行うことが困難になっていた。
ネルの高精細化の進展に伴って、その金属薄膜端子の端
子幅や端子ピッチも微細化が進み、アライメントマーク
とアライメント用プローブピンを対応させるだけでは、
正確にアライメントを行うことが困難になっていた。
【０００６】このため、金属薄膜端子とプローブピンの
接触にずれを生じる。その結果、プローブピンが端子に
接触しない部分が発生し、その非接触の端子に対応する
信号線にスイッチング素子を介して接続されている画素
部分に信号が入力されていないため、一般的に用いられ
ているノーマリーホワイトパネルでは、そのまま光が透
過し線欠陥と同じように見えてしまう。そのため、検査
の信頼性が低くなっていた。さらに非接触による表示の
不良部分を無くすため、プローブピンの接触位置を微調
整する必要があり、検査の作業時間が長くなってしまう
という問題点があった。
接触にずれを生じる。その結果、プローブピンが端子に
接触しない部分が発生し、その非接触の端子に対応する
信号線にスイッチング素子を介して接続されている画素
部分に信号が入力されていないため、一般的に用いられ
ているノーマリーホワイトパネルでは、そのまま光が透
過し線欠陥と同じように見えてしまう。そのため、検査
の信頼性が低くなっていた。さらに非接触による表示の
不良部分を無くすため、プローブピンの接触位置を微調
整する必要があり、検査の作業時間が長くなってしまう
という問題点があった。
【０００７】また自動アライメント装置は、信頼性で優
れているものの、投資額に対する効果の面で採用できる
装置が限られており、価格面に問題点があった。
れているものの、投資額に対する効果の面で採用できる
装置が限られており、価格面に問題点があった。
【０００８】そこで本発明は上記問題点を解決するもの
で、費用対効果が優れ、信頼性の高いアライメント装置
および方法を提供することを目的とする。
で、費用対効果が優れ、信頼性の高いアライメント装置
および方法を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上述の目的を達成するた
めに、本発明の請求項１に記載のアライメント装置は、
光透過型パネルを固定保持する保持手段と、この保持手
段を前後、左右、回転方向に移動するステージと、前記
光透過型パネルの金属薄膜端子に接触するプローブピン
と、このプローブピンを照明するランプと、前記金属薄
膜端子を通して前記金属薄膜端子に接触した前記プロー
ブピンの先端影を前記プローブピンに対向する方向から
撮像する撮像手段と、前記撮像手段の撮像した映像を表
示する表示手段とを具備することを特徴とする。
めに、本発明の請求項１に記載のアライメント装置は、
光透過型パネルを固定保持する保持手段と、この保持手
段を前後、左右、回転方向に移動するステージと、前記
光透過型パネルの金属薄膜端子に接触するプローブピン
と、このプローブピンを照明するランプと、前記金属薄
膜端子を通して前記金属薄膜端子に接触した前記プロー
ブピンの先端影を前記プローブピンに対向する方向から
撮像する撮像手段と、前記撮像手段の撮像した映像を表
示する表示手段とを具備することを特徴とする。
【００１０】本発明の請求項２に記載のアライメント装
置は、請求項１に記載のアライメント装置を構成する手
段に加えて、前記撮像手段と同軸方向より前記光透過型
パネルを照明する落射照明手段を具備することを特徴と
する。
置は、請求項１に記載のアライメント装置を構成する手
段に加えて、前記撮像手段と同軸方向より前記光透過型
パネルを照明する落射照明手段を具備することを特徴と
する。
【００１１】本発明の請求項３に記載のアライメント方
法は、保持手段に保持された光透過型パネルの金属薄膜
端子にプローブピンを接触し、このプローブピンをラン
プにて照明し、このプローブピンに対向する方向に設置
された撮像手段にて、前記金属薄膜端子を通して、前記
金属薄膜端子に接触した前記プローブピンの先端影を撮
像して、その映像を表示手段に表示し、その表示結果に
基づき、前記金属端子部と前記プローブピンのずれ量を
認識し、前後、左右、回転方向に移動するステージによ
って、前記ずれ量に応じて前記保持手段を移動してアラ
イメントを行うことを特徴とする。
法は、保持手段に保持された光透過型パネルの金属薄膜
端子にプローブピンを接触し、このプローブピンをラン
プにて照明し、このプローブピンに対向する方向に設置
された撮像手段にて、前記金属薄膜端子を通して、前記
金属薄膜端子に接触した前記プローブピンの先端影を撮
像して、その映像を表示手段に表示し、その表示結果に
基づき、前記金属端子部と前記プローブピンのずれ量を
認識し、前後、左右、回転方向に移動するステージによ
って、前記ずれ量に応じて前記保持手段を移動してアラ
イメントを行うことを特徴とする。
【００１２】
【発明の実施の形態】図１は、本発明の実施の形態のア
ライメント装置の概略構成図である。（Ａ）は装置全体
図、（Ｂ）は液晶表示パネル２０の端子部にプローブピ
ン５が接触する部分Ｂの拡大図である。本実施の形態で
は、液晶表示パネル２０の点欠陥や線欠陥を確認するた
めに、液晶表示パネル２０を駆動するように、その端子
部に電気信号を入力する。そのため吸着テーブル２にて
液晶表示パネル２０を吸着保持し、セラミックでできた
プローブブロック４に、高さばらつきを吸収できる機構
を有するプローブピン５を埋め込み、液晶表示パネル２
０の端子部と接触させる。その際、プローブピン用ライ
ト６にて、プローブピン側から端子部を照明し、同軸落
射ライト１１による照明と合わせて、ＣＣＤカメラ９に
て撮像し、モニタ１０に表示する。
ライメント装置の概略構成図である。（Ａ）は装置全体
図、（Ｂ）は液晶表示パネル２０の端子部にプローブピ
ン５が接触する部分Ｂの拡大図である。本実施の形態で
は、液晶表示パネル２０の点欠陥や線欠陥を確認するた
めに、液晶表示パネル２０を駆動するように、その端子
部に電気信号を入力する。そのため吸着テーブル２にて
液晶表示パネル２０を吸着保持し、セラミックでできた
プローブブロック４に、高さばらつきを吸収できる機構
を有するプローブピン５を埋め込み、液晶表示パネル２
０の端子部と接触させる。その際、プローブピン用ライ
ト６にて、プローブピン側から端子部を照明し、同軸落
射ライト１１による照明と合わせて、ＣＣＤカメラ９に
て撮像し、モニタ１０に表示する。
【００１３】次に図２に本実施の形態のアライメント装
置の機構図を示す。液晶表示パネル２０を載置するリフ
ター１の上方に、この液晶表示パネル２０を吸着保持す
る吸着テーブル２が設置され、吸着テーブル２は、Ｘ、
Ｙ、θの各方向にモータにて移動するＸＹθテーブル３
に固定されている。またＸＹθテーブル３には、吸着テ
ーブル２に吸着保持された液晶表示パネル２０をテスト
ヘッド７に接触するための上下機構が備わっている。テ
ストヘッド７は検査する液晶表示パネルの仕様に合わせ
て作成され、本実施の形態では４型パネルの仕様に合わ
せて、プローブブロック４とプローブピン５とプローブ
用ライト６（なつめ球、１００ｃｄ以上、プローブピン
の近傍に設置）とが搭載されている。このプローブブロ
ック４とプローブピン５とプローブ用ライト６とは、
Ｘ、Ｙ２方向の端子部に対応できるように２組搭載され
ている。さらにＸＹθテーブルの下部には、液晶表示パ
ネルを点灯するための高輝度バックライト８が備えられ
ている。また本装置の上部には、液晶表示パネル２０の
端子部とテストヘッド７のプローブピン５との位置を特
定するＣＣＤカメラ９と、このＣＣＤカメラ９と同軸で
照明する同軸落射ライト１１が装備され、さらにアライ
メントに必要な各種の周辺機器が装備されている。この
ＣＣＤカメラ９と同軸落射ライト１１も、Ｘ、Ｙ２方向
の端子部に対応できるように２組装備されている。
置の機構図を示す。液晶表示パネル２０を載置するリフ
ター１の上方に、この液晶表示パネル２０を吸着保持す
る吸着テーブル２が設置され、吸着テーブル２は、Ｘ、
Ｙ、θの各方向にモータにて移動するＸＹθテーブル３
に固定されている。またＸＹθテーブル３には、吸着テ
ーブル２に吸着保持された液晶表示パネル２０をテスト
ヘッド７に接触するための上下機構が備わっている。テ
ストヘッド７は検査する液晶表示パネルの仕様に合わせ
て作成され、本実施の形態では４型パネルの仕様に合わ
せて、プローブブロック４とプローブピン５とプローブ
用ライト６（なつめ球、１００ｃｄ以上、プローブピン
の近傍に設置）とが搭載されている。このプローブブロ
ック４とプローブピン５とプローブ用ライト６とは、
Ｘ、Ｙ２方向の端子部に対応できるように２組搭載され
ている。さらにＸＹθテーブルの下部には、液晶表示パ
ネルを点灯するための高輝度バックライト８が備えられ
ている。また本装置の上部には、液晶表示パネル２０の
端子部とテストヘッド７のプローブピン５との位置を特
定するＣＣＤカメラ９と、このＣＣＤカメラ９と同軸で
照明する同軸落射ライト１１が装備され、さらにアライ
メントに必要な各種の周辺機器が装備されている。この
ＣＣＤカメラ９と同軸落射ライト１１も、Ｘ、Ｙ２方向
の端子部に対応できるように２組装備されている。
【００１４】図３は、４型の液晶表示パネルにテストヘ
ッドのプローブピンを接触させて、駆動信号を入力する
際の様子を示す。信号発生器からの駆動信号は、コネク
タを介して、基板３１に入力される。基板３１からは、
プローブピン３４を介して、ソース側フレキシブル基板
３２とゲート側フレキシブル基板３３に駆動信号が伝え
られる。ソース側フレキシブル基板３２とゲート側フレ
キシブル基板３３は、４型の液晶表示パネルの金属薄膜
端子の端子ピッチに適合した配列に変換して、プローブ
ピン５を介して、液晶表示パネルの金属薄膜端子に駆動
信号を伝える。
ッドのプローブピンを接触させて、駆動信号を入力する
際の様子を示す。信号発生器からの駆動信号は、コネク
タを介して、基板３１に入力される。基板３１からは、
プローブピン３４を介して、ソース側フレキシブル基板
３２とゲート側フレキシブル基板３３に駆動信号が伝え
られる。ソース側フレキシブル基板３２とゲート側フレ
キシブル基板３３は、４型の液晶表示パネルの金属薄膜
端子の端子ピッチに適合した配列に変換して、プローブ
ピン５を介して、液晶表示パネルの金属薄膜端子に駆動
信号を伝える。
【００１５】図４は、液晶表示パネル２０の金属薄膜端
子にプローブピン５を接触する際、プローブ用ライト６
と同軸落射ライト１１にて照明して、プローブピンの先
端影が映し出された様子を示す。
子にプローブピン５を接触する際、プローブ用ライト６
と同軸落射ライト１１にて照明して、プローブピンの先
端影が映し出された様子を示す。
【００１６】次に、本発明の実施の形態のアライメント
方法について図５に示すフローチャートを参照して説明
する。まずリフター１に液晶表示パネル２０を載置する
（ステップ１）。そして吸着テーブル２のスライド部を
引き出し（ステップ２）、液晶表示パネル２０を吸着保
持し（ステップ３）、吸着テーブル２のスライド部を押
し込む（ステップ４）。次に液晶表示パネル２０の端子
部をテストヘッド７に接触するように位置決めして（ス
テップ５）、モニタ１０に液晶表示パネル２０の端子部
を映し出し（ステップ６）、吸着テーブル２を下降させ
て、プローブピン５を液晶表示パネル２０の端子部に仮
接触させる（ステップ７）。そしてプローブ用ライト６
と同軸落射ライト１１にて、端子部とプローブピン５を
照明する（ステップ８）。作業者は、モニタ１０に映し
出されたプローブピンの先端影によって端子部とプロー
ブピン５とのずれ量を認識し（ステップ９）、吸着テー
ブル２をいったん上昇させ（ステップ１０）、ずれ量に
応じてＸＹθテーブル３を移動させて、アライメントを
行う（ステップ１１）。そして再びプローブピン５を液
晶表示パネル２０の端子部に接触させる（ステップ１
２）。そして作業者は液晶表示パネル２０の点灯を確認
する（ステップ１３）。
方法について図５に示すフローチャートを参照して説明
する。まずリフター１に液晶表示パネル２０を載置する
（ステップ１）。そして吸着テーブル２のスライド部を
引き出し（ステップ２）、液晶表示パネル２０を吸着保
持し（ステップ３）、吸着テーブル２のスライド部を押
し込む（ステップ４）。次に液晶表示パネル２０の端子
部をテストヘッド７に接触するように位置決めして（ス
テップ５）、モニタ１０に液晶表示パネル２０の端子部
を映し出し（ステップ６）、吸着テーブル２を下降させ
て、プローブピン５を液晶表示パネル２０の端子部に仮
接触させる（ステップ７）。そしてプローブ用ライト６
と同軸落射ライト１１にて、端子部とプローブピン５を
照明する（ステップ８）。作業者は、モニタ１０に映し
出されたプローブピンの先端影によって端子部とプロー
ブピン５とのずれ量を認識し（ステップ９）、吸着テー
ブル２をいったん上昇させ（ステップ１０）、ずれ量に
応じてＸＹθテーブル３を移動させて、アライメントを
行う（ステップ１１）。そして再びプローブピン５を液
晶表示パネル２０の端子部に接触させる（ステップ１
２）。そして作業者は液晶表示パネル２０の点灯を確認
する（ステップ１３）。
【００１７】上記アライメント方法を実行することによ
って、高精度にアライメントされた状態で、液晶表示パ
ネルの金属薄膜端子に対して、プローブピンを接触で
き、短時間で高信頼の検査が可能となる。
って、高精度にアライメントされた状態で、液晶表示パ
ネルの金属薄膜端子に対して、プローブピンを接触で
き、短時間で高信頼の検査が可能となる。
【００１８】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の請求項１
および請求項３に記載のアライメント装置および方法
は、プローブピンに光を照射することによって、光透過
型パネルの金属薄膜端子を通してプローブピンの先端影
を認識可能となった。このためプローブピンの先端影を
ＣＣＤカメラを用いて映し出すことができ、高精細パネ
ルの微細端子部にプローブピンを正確に導くことができ
る。その結果、検査用の電気信号を光透過型パネルに正
確に入力することができ、低コストで、検査の信頼性向
上とアライメント時間の短縮が可能となる。
および請求項３に記載のアライメント装置および方法
は、プローブピンに光を照射することによって、光透過
型パネルの金属薄膜端子を通してプローブピンの先端影
を認識可能となった。このためプローブピンの先端影を
ＣＣＤカメラを用いて映し出すことができ、高精細パネ
ルの微細端子部にプローブピンを正確に導くことができ
る。その結果、検査用の電気信号を光透過型パネルに正
確に入力することができ、低コストで、検査の信頼性向
上とアライメント時間の短縮が可能となる。
【００１９】本発明の請求項２に記載のアライメント装
置は、ＣＣＤカメラと同軸の落射照明手段を装備したこ
とによって、光透過型パネルの端子部を鮮明に確認可能
となる。
置は、ＣＣＤカメラと同軸の落射照明手段を装備したこ
とによって、光透過型パネルの端子部を鮮明に確認可能
となる。
【図１】本発明のアライメント装置の概略構成図であ
り、（Ａ）は装置全体図、（Ｂ）は要部Ｂの拡大図であ
る。
り、（Ａ）は装置全体図、（Ｂ）は要部Ｂの拡大図であ
る。
【図２】本発明のアライメント装置の機構図である。
【図３】液晶表示パネルに、テストヘッドのプローブピ
ンを介して駆動信号を入力する様子を示す図である。
ンを介して駆動信号を入力する様子を示す図である。
【図４】液晶表示パネルにプローブピンの先端影が映し
出された様子を示す図である。
出された様子を示す図である。
【図５】本発明のアライメント方法を示すフローチャー
トである。
トである。
【図６】従来の角形アライメントマークとプローブピン
の関係を示す図である。
の関係を示す図である。
【図７】従来の自動アライメント装置の自動アライメン
トを示す図である。
トを示す図である。
１ リフター ２ 吸着テーブル ３ ＸＹθテーブル ４ プローブブロック ５ プローブピン ６ プローブ用ライト ７ テストヘッド ８ 高輝度バックライト ９ ＣＣＤカメラ １０ モニタ １１ 同軸落射ライト ２０ 液晶表示パネル
フロントページの続き (56)参考文献 特開 平７−35808（ＪＰ，Ａ) 特開 平７−283272（ＪＰ，Ａ) 特開 平７−174518（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−282204（ＪＰ，Ａ) 特公 平６−3476（ＪＰ，Ｂ２) 特公 平４−52690（ＪＰ，Ｂ２) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01B 11/00 G01R 31/00
Claims (3)
- 【請求項１】 光透過型パネルを固定保持する保持手段
と、 この保持手段を前後、左右、回転方向に移動するステー
ジと、 前記光透過型パネルの金属薄膜端子に接触するプローブ
ピンと、 このプローブピンを照明するランプと、前記金属薄膜端子を通して前記金属薄膜端子に接触した
前記プローブピンの先端影を 前記プローブピンに対向す
る方向から撮像する撮像手段と、 前記撮像手段の撮像した映像を表示する表示手段とを具
備することを特徴とするアライメント装置。 - 【請求項２】 前記撮像手段と同軸方向より前記光透過
型パネルを照明する落射照明手段を具備することを特徴
とする請求項１に記載のアライメント装置。 - 【請求項３】 保持手段に保持された光透過型パネルの
金属薄膜端子にプローブピンを接触し、 このプローブピンをランプにて照明し、 このプローブピンに対向する方向に設置された撮像手段
にて、前記金属薄膜端子を通して前記金属薄膜端子に接
触した前記プローブピンの先端影を撮像して、その映像
を表示手段に表示し、 その表示結果に基づき、前記金属端子部と前記プローブ
ピンのずれ量を認識し、前後、左右、回転方向に移動す
るステージによって、前記ずれ量に応じて前記保持手段
を移動してアライメントを行うことを特徴とするアライ
メント方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29854795A JP3288568B2 (ja) | 1995-11-16 | 1995-11-16 | アライメント装置および方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29854795A JP3288568B2 (ja) | 1995-11-16 | 1995-11-16 | アライメント装置および方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09138111A JPH09138111A (ja) | 1997-05-27 |
| JP3288568B2 true JP3288568B2 (ja) | 2002-06-04 |
Family
ID=17861150
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29854795A Expired - Lifetime JP3288568B2 (ja) | 1995-11-16 | 1995-11-16 | アライメント装置および方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3288568B2 (ja) |
Families Citing this family (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100449515B1 (ko) * | 1996-09-25 | 2004-11-20 | 삼성전자주식회사 | Lcd패널테스트장치 |
| JP5051947B2 (ja) * | 2001-05-14 | 2012-10-17 | ヤマハファインテック株式会社 | 導通検査装置 |
| KR100768122B1 (ko) * | 2006-02-17 | 2007-10-17 | (주)알티에스 | 패널 상태 검사 장치 및 그 방법 |
| JP5197249B2 (ja) * | 2008-09-05 | 2013-05-15 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 液晶パネル検査装置及び液晶パネル検査方法 |
| JP5750883B2 (ja) * | 2010-12-21 | 2015-07-22 | 富士通株式会社 | プローブ装置及びプローブ測定方法 |
| US9410907B2 (en) * | 2013-12-19 | 2016-08-09 | Clarus Vision, Inc. | Methods and apparatuses for testing capacitive touch screen films |
| CN105277750B (zh) * | 2015-11-30 | 2018-03-27 | 惠州市德赛自动化技术有限公司 | 一种显示屏检测设备 |
| CN115684019A (zh) * | 2022-11-30 | 2023-02-03 | 合肥欣奕华智能机器股份有限公司 | 一种显示面板检测设备的对位装置、标定及对位方法 |
-
1995
- 1995-11-16 JP JP29854795A patent/JP3288568B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH09138111A (ja) | 1997-05-27 |
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