JP2000077502A - 電子部品検査装置及び電子部品検査方法 - Google Patents
電子部品検査装置及び電子部品検査方法Info
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- JP2000077502A JP2000077502A JP10242181A JP24218198A JP2000077502A JP 2000077502 A JP2000077502 A JP 2000077502A JP 10242181 A JP10242181 A JP 10242181A JP 24218198 A JP24218198 A JP 24218198A JP 2000077502 A JP2000077502 A JP 2000077502A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 電子部品のパッドとプローブカードの電極と
をアライメントする画像処理において、レンズを移動さ
せる光学的なピント合わせに依らずに、倍率変化のない
自動的なピント合わせが行え、省スペースの面でも優れ
る電子部品検査装置及び電子部品検査方法を提供する。 【解決手段】 プローブカードの下方において、水平方
向及び垂直方向に移動するカメラ２により、プローブカ
ード上の電子部品を撮影し、カメラ２で撮影された電子
部品の画像を取り込んでからモニタに表示するオートフ
ォーカス装置、即ち、画像処理装置３及び演算処理装置
６によって、カメラ２が移動する毎にカメラ２の垂直位
置座標ｚを登録して、予め記憶された電子部品の画像と
カメラ２で撮影された電子部品の画像とを比較してマッ
チング率ｍを出力し、カメラ２の垂直位置座標ｚに基づ
いてマッチング率ｍが最も高い位置でカメラ２の移動を
停止し、カメラ２で撮影された電子部品の画像を自動で
ピント合わせする。
をアライメントする画像処理において、レンズを移動さ
せる光学的なピント合わせに依らずに、倍率変化のない
自動的なピント合わせが行え、省スペースの面でも優れ
る電子部品検査装置及び電子部品検査方法を提供する。 【解決手段】 プローブカードの下方において、水平方
向及び垂直方向に移動するカメラ２により、プローブカ
ード上の電子部品を撮影し、カメラ２で撮影された電子
部品の画像を取り込んでからモニタに表示するオートフ
ォーカス装置、即ち、画像処理装置３及び演算処理装置
６によって、カメラ２が移動する毎にカメラ２の垂直位
置座標ｚを登録して、予め記憶された電子部品の画像と
カメラ２で撮影された電子部品の画像とを比較してマッ
チング率ｍを出力し、カメラ２の垂直位置座標ｚに基づ
いてマッチング率ｍが最も高い位置でカメラ２の移動を
停止し、カメラ２で撮影された電子部品の画像を自動で
ピント合わせする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、電子部品の検査装
置とその検査方法に関するものである。
置とその検査方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】電子部品の一つとしてＴＡＢ（Tape Aut
omated Bonding）がある。ＴＡＢには、例えば、ＬＣＤ
（Liquid Crystal Display：液晶ディスプレイ）の駆動
用ＩＣ（Integrated Circuit：集積回路）があり、その
ＩＣのパッドをプローブカードの電極とコンタクトする
ことにより、その電気的特性を測定する検査が行われ
る。そして、ＴＡＢハンドラにおいては、ＴＡＢのパッ
ドとプローブカードの電極とを画像処理によりアライメ
ントするため、ピントを合わせる必要がある。自動でピ
ントを合わせるものとしてオートフォーカス装置があ
り、従来のオートフォーカス装置は、周知のように、光
学的にピントを合わせるものであった。
omated Bonding）がある。ＴＡＢには、例えば、ＬＣＤ
（Liquid Crystal Display：液晶ディスプレイ）の駆動
用ＩＣ（Integrated Circuit：集積回路）があり、その
ＩＣのパッドをプローブカードの電極とコンタクトする
ことにより、その電気的特性を測定する検査が行われ
る。そして、ＴＡＢハンドラにおいては、ＴＡＢのパッ
ドとプローブカードの電極とを画像処理によりアライメ
ントするため、ピントを合わせる必要がある。自動でピ
ントを合わせるものとしてオートフォーカス装置があ
り、従来のオートフォーカス装置は、周知のように、光
学的にピントを合わせるものであった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、従来のような
光学的にピントを合わせるオートフォーカス装置では、
内部レンズ同士を移動させるため、レンズ径が通常より
太くなり、スペースが大きくなるとともに、レンズ先端
位置によらずピントを合わせるので、画像の倍率も変化
する。ところが、ＴＡＢハンドラにおいては、画像処理
によりアライメントするという機能の面から、ワークで
あるＴＡＢのモニタ倍率が変化してはいけないという制
約があり、光学的なオートフォーカス装置を使用できな
い。
光学的にピントを合わせるオートフォーカス装置では、
内部レンズ同士を移動させるため、レンズ径が通常より
太くなり、スペースが大きくなるとともに、レンズ先端
位置によらずピントを合わせるので、画像の倍率も変化
する。ところが、ＴＡＢハンドラにおいては、画像処理
によりアライメントするという機能の面から、ワークで
あるＴＡＢのモニタ倍率が変化してはいけないという制
約があり、光学的なオートフォーカス装置を使用できな
い。
【０００４】そこで、本発明の目的は、電子部品のパッ
ドとプローブカードの電極とをアライメントする画像処
理において、レンズを移動させる光学的なピント合わせ
に依らずに、倍率変化のない自動的なピント合わせが行
え、省スペースの面でも優れる電子部品検査装置及び電
子部品検査方法を提供することにある。
ドとプローブカードの電極とをアライメントする画像処
理において、レンズを移動させる光学的なピント合わせ
に依らずに、倍率変化のない自動的なピント合わせが行
え、省スペースの面でも優れる電子部品検査装置及び電
子部品検査方法を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】以上の課題を解決すべく
請求項１記載の発明は、プローブカード上に電子部品を
配置し、電子部品のパッドとプローブカードの電極とを
画像処理によりアライメントして電子部品を検査する装
置であって、前記プローブカードの下方に配置され、前
記プローブカード上の前記電子部品を撮影するカメラ
と、前記カメラを水平方向及び垂直方向に移動するカメ
ラ移動装置と、前記カメラで撮影された前記電子部品の
画像を取り込むとともに、前記カメラ移動装置の駆動で
前記カメラが移動する毎に前記カメラの垂直位置座標を
登録して、予め記憶された前記電子部品の画像と前記カ
メラで撮影された前記電子部品の画像とを比較してマッ
チング率を出力するパターンマッチング機能を有し、そ
のマッチング率と前記カメラの前記垂直位置座標の関係
から自動でピント合わせするオートフォーカス装置と、
前記カメラで撮影された前記電子部品の画像を前記オー
トフォーカス装置を経て表示するモニタと、を備え、前
記オートフォーカス装置により、前記カメラの前記垂直
位置座標に基づいて前記マッチング率が最も高い位置で
前記カメラ移動装置の駆動を停止し、前記カメラで撮影
された前記電子部品の画像を自動でピント合わせするよ
うにした構成、を特徴としている。
請求項１記載の発明は、プローブカード上に電子部品を
配置し、電子部品のパッドとプローブカードの電極とを
画像処理によりアライメントして電子部品を検査する装
置であって、前記プローブカードの下方に配置され、前
記プローブカード上の前記電子部品を撮影するカメラ
と、前記カメラを水平方向及び垂直方向に移動するカメ
ラ移動装置と、前記カメラで撮影された前記電子部品の
画像を取り込むとともに、前記カメラ移動装置の駆動で
前記カメラが移動する毎に前記カメラの垂直位置座標を
登録して、予め記憶された前記電子部品の画像と前記カ
メラで撮影された前記電子部品の画像とを比較してマッ
チング率を出力するパターンマッチング機能を有し、そ
のマッチング率と前記カメラの前記垂直位置座標の関係
から自動でピント合わせするオートフォーカス装置と、
前記カメラで撮影された前記電子部品の画像を前記オー
トフォーカス装置を経て表示するモニタと、を備え、前
記オートフォーカス装置により、前記カメラの前記垂直
位置座標に基づいて前記マッチング率が最も高い位置で
前記カメラ移動装置の駆動を停止し、前記カメラで撮影
された前記電子部品の画像を自動でピント合わせするよ
うにした構成、を特徴としている。
【０００６】また、請求項４記載の発明は、プローブカ
ード上に電子部品を配置し、電子部品のパッドとプロー
ブカードの電極とを画像処理によりアライメントして電
子部品を検査する方法であって、前記プローブカードの
下方において、水平方向及び垂直方向に移動するカメラ
により、前記プローブカード上の前記電子部品を撮影
し、前記カメラで撮影された前記電子部品の画像をオー
トフォーカス装置に取り込んでからモニタに表示し、前
記オートフォーカス装置によって、前記カメラが移動す
る毎に前記カメラの垂直位置座標を登録して、予め記憶
された前記電子部品の画像と前記カメラで撮影された前
記電子部品の画像とを比較してマッチング率を出力し、
前記カメラの前記垂直位置座標に基づいて前記マッチン
グ率が最も高い位置で前記カメラの移動を停止し、前記
カメラで撮影された前記電子部品の画像を自動でピント
合わせするようにしたこと、を特徴としている。
ード上に電子部品を配置し、電子部品のパッドとプロー
ブカードの電極とを画像処理によりアライメントして電
子部品を検査する方法であって、前記プローブカードの
下方において、水平方向及び垂直方向に移動するカメラ
により、前記プローブカード上の前記電子部品を撮影
し、前記カメラで撮影された前記電子部品の画像をオー
トフォーカス装置に取り込んでからモニタに表示し、前
記オートフォーカス装置によって、前記カメラが移動す
る毎に前記カメラの垂直位置座標を登録して、予め記憶
された前記電子部品の画像と前記カメラで撮影された前
記電子部品の画像とを比較してマッチング率を出力し、
前記カメラの前記垂直位置座標に基づいて前記マッチン
グ率が最も高い位置で前記カメラの移動を停止し、前記
カメラで撮影された前記電子部品の画像を自動でピント
合わせするようにしたこと、を特徴としている。
【０００７】ここで、検査対象となる電子部品として
は、ＴＡＢ（そのＩＣ）が挙げられるが、プリント基板
等に実装されたＩＣ等、他の電子部品であっても良い。
カメラは、プローブカードの下方からプローブカードの
電子部品を撮影できるものであれば、どのようなもので
も良い。モニタは、カメラで撮影された電子部品の画像
を表示できるものであれば、どのようなものでも良い。
カメラ移動装置は、垂直方向の駆動機構として、例え
ば、パルスモータ及びボールねじ機構が挙げられるが、
カメラを水平方向及び垂直方向に移動できるものであれ
ば、どのような構成のものでも良い。オートフォーカス
装置は、例えば、画像処理装置及び演算処理装置の組み
合わせによるものが挙げられるが、同様の機能を有する
ものであれば、どのような構成のものでも良い。
は、ＴＡＢ（そのＩＣ）が挙げられるが、プリント基板
等に実装されたＩＣ等、他の電子部品であっても良い。
カメラは、プローブカードの下方からプローブカードの
電子部品を撮影できるものであれば、どのようなもので
も良い。モニタは、カメラで撮影された電子部品の画像
を表示できるものであれば、どのようなものでも良い。
カメラ移動装置は、垂直方向の駆動機構として、例え
ば、パルスモータ及びボールねじ機構が挙げられるが、
カメラを水平方向及び垂直方向に移動できるものであれ
ば、どのような構成のものでも良い。オートフォーカス
装置は、例えば、画像処理装置及び演算処理装置の組み
合わせによるものが挙げられるが、同様の機能を有する
ものであれば、どのような構成のものでも良い。
【０００８】以上のように、請求項１または４記載の発
明によれば、プローブカードの下方において、水平方向
及び垂直方向に移動するカメラにより、プローブカード
上の電子部品を撮影し、カメラで撮影された電子部品の
画像を取り込んでからモニタに表示するオートフォーカ
ス装置によって、カメラが移動する毎にカメラの垂直位
置座標を登録して、予め記憶された電子部品の画像とカ
メラで撮影された電子部品の画像とを比較してマッチン
グ率を出力し、カメラの垂直位置座標に基づいてマッチ
ング率が最も高い位置でカメラの移動を停止し、カメラ
で撮影された電子部品の画像を自動でピント合わせする
電子部品検査装置または電子部品検査方法なので、レン
ズを移動させる光学的なピント合わせに依らずに、倍率
変化のないピント合わせが自動で行え、画像処理におい
て、電子部品のパッドとプローブカードの電極とをアラ
イメントできる。しかも、レンズを移動させる光学的な
ピント合わせを行う必要がないことから、省スペース化
が図れる。
明によれば、プローブカードの下方において、水平方向
及び垂直方向に移動するカメラにより、プローブカード
上の電子部品を撮影し、カメラで撮影された電子部品の
画像を取り込んでからモニタに表示するオートフォーカ
ス装置によって、カメラが移動する毎にカメラの垂直位
置座標を登録して、予め記憶された電子部品の画像とカ
メラで撮影された電子部品の画像とを比較してマッチン
グ率を出力し、カメラの垂直位置座標に基づいてマッチ
ング率が最も高い位置でカメラの移動を停止し、カメラ
で撮影された電子部品の画像を自動でピント合わせする
電子部品検査装置または電子部品検査方法なので、レン
ズを移動させる光学的なピント合わせに依らずに、倍率
変化のないピント合わせが自動で行え、画像処理におい
て、電子部品のパッドとプローブカードの電極とをアラ
イメントできる。しかも、レンズを移動させる光学的な
ピント合わせを行う必要がないことから、省スペース化
が図れる。
【０００９】請求項２記載の発明は、請求項１記載の電
子部品検査装置であって、前記オートフォーカス装置
は、前記カメラで撮影された前記電子部品の画像を取り
込み、予め記憶された前記電子部品の画像と前記カメラ
で撮影された前記電子部品の画像とを比較してマッチン
グ率を出力するパターンマッチング機能を有する画像処
理装置と、前記カメラ移動装置の駆動で前記カメラが移
動する毎に前記カメラの垂直位置座標を登録するととも
に、前記画像処理装置から出力された前記マッチング率
を登録し、前記マッチング率と前記カメラの前記垂直位
置座標の関係から前記カメラ移動装置の駆動を制御する
演算処理装置と、からなる構成、を特徴としている。
子部品検査装置であって、前記オートフォーカス装置
は、前記カメラで撮影された前記電子部品の画像を取り
込み、予め記憶された前記電子部品の画像と前記カメラ
で撮影された前記電子部品の画像とを比較してマッチン
グ率を出力するパターンマッチング機能を有する画像処
理装置と、前記カメラ移動装置の駆動で前記カメラが移
動する毎に前記カメラの垂直位置座標を登録するととも
に、前記画像処理装置から出力された前記マッチング率
を登録し、前記マッチング率と前記カメラの前記垂直位
置座標の関係から前記カメラ移動装置の駆動を制御する
演算処理装置と、からなる構成、を特徴としている。
【００１０】このように、請求項２記載の発明によれ
ば、請求項１記載のオートフォーカス装置が、カメラで
撮影された電子部品の画像を取り込んで、予め記憶され
た電子部品の画像と比較してマッチング率を出力するパ
ターンマッチング機能を有する画像処理装置と、請求項
１記載のカメラ移動装置の駆動でカメラが移動する毎に
カメラの垂直位置座標を登録するとともに、画像処理装
置から出力されたマッチング率を登録し、そのマッチン
グ率とカメラの垂直位置座標の関係からカメラ移動装置
の駆動を制御する演算処理装置と、からなるので、画像
処理装置によって、カメラで撮影された電子部品の画像
と予め記憶された電子部品の画像と比較してマッチング
率を出力でき、演算処理装置によって、マッチング率と
カメラの垂直位置座標の関係からカメラ移動装置の駆動
を制御して、倍率変化のないピント合わせが自動で行え
る。
ば、請求項１記載のオートフォーカス装置が、カメラで
撮影された電子部品の画像を取り込んで、予め記憶され
た電子部品の画像と比較してマッチング率を出力するパ
ターンマッチング機能を有する画像処理装置と、請求項
１記載のカメラ移動装置の駆動でカメラが移動する毎に
カメラの垂直位置座標を登録するとともに、画像処理装
置から出力されたマッチング率を登録し、そのマッチン
グ率とカメラの垂直位置座標の関係からカメラ移動装置
の駆動を制御する演算処理装置と、からなるので、画像
処理装置によって、カメラで撮影された電子部品の画像
と予め記憶された電子部品の画像と比較してマッチング
率を出力でき、演算処理装置によって、マッチング率と
カメラの垂直位置座標の関係からカメラ移動装置の駆動
を制御して、倍率変化のないピント合わせが自動で行え
る。
【００１１】請求項３記載の発明は、請求項２記載の電
子部品検査装置であって、前記カメラ移動装置の駆動系
から前記カメラの前記垂直位置座標を検出して前記演算
処理装置に送信する検出器を備えた構成、を特徴として
いる。検出器は、例えば、パルスモータのパルスを拾う
形式のものが挙げられるが、カメラ移動装置の駆動系か
らカメラの垂直位置座標を検出できるものであれば、ど
のような種類のものでも良い。
子部品検査装置であって、前記カメラ移動装置の駆動系
から前記カメラの前記垂直位置座標を検出して前記演算
処理装置に送信する検出器を備えた構成、を特徴として
いる。検出器は、例えば、パルスモータのパルスを拾う
形式のものが挙げられるが、カメラ移動装置の駆動系か
らカメラの垂直位置座標を検出できるものであれば、ど
のような種類のものでも良い。
【００１２】このように、請求項３記載の発明によれ
ば、請求項１記載のカメラ移動装置の駆動系からカメラ
の垂直位置座標を検出して請求項２記載の演算処理装置
に送信する検出器を備えたので、カメラの垂直位置座標
を検出して演算処理装置に送信できる。
ば、請求項１記載のカメラ移動装置の駆動系からカメラ
の垂直位置座標を検出して請求項２記載の演算処理装置
に送信する検出器を備えたので、カメラの垂直位置座標
を検出して演算処理装置に送信できる。
【００１３】そして、請求項５記載の発明は、請求項４
記載の電子部品検査方法であって、前記カメラを垂直方
向に粗いピッチで移動させてピント合わせしてから細か
いピッチで移動させてピント合わせしていくようにする
こと、を特徴としている。
記載の電子部品検査方法であって、前記カメラを垂直方
向に粗いピッチで移動させてピント合わせしてから細か
いピッチで移動させてピント合わせしていくようにする
こと、を特徴としている。
【００１４】このように、請求項５記載の発明によれ
ば、請求項４記載のカメラを垂直方向に粗いピッチで移
動させてピント合わせしてから細かいピッチで移動させ
てピント合わせしていくので、必要に応じて詳細なピン
ト合わせが行える。
ば、請求項４記載のカメラを垂直方向に粗いピッチで移
動させてピント合わせしてから細かいピッチで移動させ
てピント合わせしていくので、必要に応じて詳細なピン
ト合わせが行える。
【００１５】
【発明の実施の形態】以下に、本発明に係る電子部品検
査装置及び電子部品検査方法の実施の形態例を図１から
図５に基づいて説明する。先ず、図１は本発明の電子部
品検査装置を適用した一例としてのＴＡＢハンドラ用オ
ートフォーカス装置のブロック構成図で、図２はそのカ
メラＸＹＺステージ（カメラ移動装置）のＺ方向（垂直
方向）の駆動機構の構成を示すとともに、その駆動制御
及び画像処理をブロックで示した概略構成図である。
査装置及び電子部品検査方法の実施の形態例を図１から
図５に基づいて説明する。先ず、図１は本発明の電子部
品検査装置を適用した一例としてのＴＡＢハンドラ用オ
ートフォーカス装置のブロック構成図で、図２はそのカ
メラＸＹＺステージ（カメラ移動装置）のＺ方向（垂直
方向）の駆動機構の構成を示すとともに、その駆動制御
及び画像処理をブロックで示した概略構成図である。
【００１６】図１において、１はＴＡＢ（電子部品）、
２はＴＡＢ１を映し出すモニタカメラ（カメラ）、３は
画像処理装置、４はモニタカメラ２をＸＹ方向（水平方
向）及びＺ方向（垂直方向）に移動制御可能なカメラＸ
ＹＺステージ（カメラ移動装置）、５はモニタカメラ２
により写された画像を表示するモニタＴＶ（モニタ）、
６は演算処理装置である。ここで、図５はＴＡＢ１の構
成を示した平面図で、１ＡはＴＡＢ１のテープ上のテス
トパッド１ＣとＩＣチップ１Ｃとを電気的に接続するリ
ード、１ＢはＬＣＤ駆動用のＩＣチップ、１Ｃはテスト
パッド、１Ｄはリード１Ａ及びＩＣチップ１Ｂを保護す
るためのレジスト、１ＥはＴＡＢ１のテープ上に設けた
テンプレートである。
２はＴＡＢ１を映し出すモニタカメラ（カメラ）、３は
画像処理装置、４はモニタカメラ２をＸＹ方向（水平方
向）及びＺ方向（垂直方向）に移動制御可能なカメラＸ
ＹＺステージ（カメラ移動装置）、５はモニタカメラ２
により写された画像を表示するモニタＴＶ（モニタ）、
６は演算処理装置である。ここで、図５はＴＡＢ１の構
成を示した平面図で、１ＡはＴＡＢ１のテープ上のテス
トパッド１ＣとＩＣチップ１Ｃとを電気的に接続するリ
ード、１ＢはＬＣＤ駆動用のＩＣチップ、１Ｃはテスト
パッド、１Ｄはリード１Ａ及びＩＣチップ１Ｂを保護す
るためのレジスト、１ＥはＴＡＢ１のテープ上に設けた
テンプレートである。
【００１７】カメラＸＹＺステージ４のＺ方向の駆動機
構の構成を示した図２において、４Ａはボールねじ、４
Ｂはボールねじ４Ａを回転するパルスモータ、４Ｃはパ
ルスモータ４Ｂの回転を検出して間接的にモニタカメラ
２のＺ位置座標ｚを演算処理装置６に送信する検出器、
４Ｄはパルスモータ４Ｂの回転を制御する駆動制御装置
である。演算処理装置６は、画像処理装置３より送られ
るマッチング率ｍと検出器４Ｃより送られるＺ位置座標
ｚを比較し演算する仕組みとなっている。本発明のオー
トフォーカス装置は、このような画像処理装置３及び演
算処理装置６により構成されている。
構の構成を示した図２において、４Ａはボールねじ、４
Ｂはボールねじ４Ａを回転するパルスモータ、４Ｃはパ
ルスモータ４Ｂの回転を検出して間接的にモニタカメラ
２のＺ位置座標ｚを演算処理装置６に送信する検出器、
４Ｄはパルスモータ４Ｂの回転を制御する駆動制御装置
である。演算処理装置６は、画像処理装置３より送られ
るマッチング率ｍと検出器４Ｃより送られるＺ位置座標
ｚを比較し演算する仕組みとなっている。本発明のオー
トフォーカス装置は、このような画像処理装置３及び演
算処理装置６により構成されている。
【００１８】このオートフォーカス装置による機能につ
いて説明する。即ち、ボールねじ４Ａが駆動制御装置４
Ｄにより停止し、検出器４ＣよりＺ位置座標ｚが演算処
理装置６に送られると、演算処理装置６は、画像処理装
置３に画像のパターンマッチング処理を指示する。図４
は本発明によるピント位置決定方法を説明するもので、
図４（ａ）は粗いピッチ送りでのカメラ位置−マッチン
グ率線図、図４（ｂ）は細かいピッチ送りでのカメラ位
置−マッチング率線図である。
いて説明する。即ち、ボールねじ４Ａが駆動制御装置４
Ｄにより停止し、検出器４ＣよりＺ位置座標ｚが演算処
理装置６に送られると、演算処理装置６は、画像処理装
置３に画像のパターンマッチング処理を指示する。図４
は本発明によるピント位置決定方法を説明するもので、
図４（ａ）は粗いピッチ送りでのカメラ位置−マッチン
グ率線図、図４（ｂ）は細かいピッチ送りでのカメラ位
置−マッチング率線図である。
【００１９】次に、画像処理装置３は、指示に従って現
在の撮像画面をパターンマッチング処理し、マッチング
率ｍを演算処理装置６に送信する。演算処理装置６は、
Ｚ位置座標ｚとマッチング率ｍを記憶し、駆動制御装置
４Ｄに次のＺ位置座標ｚにモニタカメラ２を移動させる
よう指示する。その移動距離は、例えば、２mm単位とす
る（図４（ａ）参照）。数カ所の検出後、マッチング率
ｍの最も高いＺ位置座標ｚ付近にピントの合う位置があ
るので、演算処理装置６は、駆動制御装置４Ｄに信号を
送信し、モニタカメラ２をＺ位置座標ｚに移動させる。
このような粗検出後、移動距離を、例えば、０．５mm単
位（図４（ｂ）参照）、０．１mm単位・・・・と順次細
かくし、必要に応じて詳細に検出していく。
在の撮像画面をパターンマッチング処理し、マッチング
率ｍを演算処理装置６に送信する。演算処理装置６は、
Ｚ位置座標ｚとマッチング率ｍを記憶し、駆動制御装置
４Ｄに次のＺ位置座標ｚにモニタカメラ２を移動させる
よう指示する。その移動距離は、例えば、２mm単位とす
る（図４（ａ）参照）。数カ所の検出後、マッチング率
ｍの最も高いＺ位置座標ｚ付近にピントの合う位置があ
るので、演算処理装置６は、駆動制御装置４Ｄに信号を
送信し、モニタカメラ２をＺ位置座標ｚに移動させる。
このような粗検出後、移動距離を、例えば、０．５mm単
位（図４（ｂ）参照）、０．１mm単位・・・・と順次細
かくし、必要に応じて詳細に検出していく。
【００２０】以上において、図示しないが、ＴＡＢ１と
その下方のモニタカメラ２との間には、ＴＡＢ１を載せ
るプローブカードが配置され、また、ＴＡＢ１の上方に
は、プッシャが配置されている。なお、プローブカード
上には電極が設けられ、また、プローブカード下方には
テスタ及び工業用内視鏡が配置されている。このような
図示しない機構部品は、本出願人の提案による実願平４
−４１７７７号に開示されており、プローブカード上に
おいて、ＴＡＢ１はプッシャにより電極に押し付けられ
る。そして、ＴＡＢ１のテストパッド１Ｃと電極の接触
状態を、工業用内視鏡とモニタカメラ２をＸＹ方向に移
動させて確認する。ＴＡＢ１が位置決め（ＴＡＢと電極
の位置合わせ機構については、本出願人の提案による実
願平３−７４３０２号参照）されると、テスタから試験
信号がＴＡＢ１に送られ、ＴＡＢ１が試験される。工業
用内視鏡はＴＡＢ１のテストパッド１Ｃと電極の接触状
態を映し出し拡大してモニタカメラ２に送る。
その下方のモニタカメラ２との間には、ＴＡＢ１を載せ
るプローブカードが配置され、また、ＴＡＢ１の上方に
は、プッシャが配置されている。なお、プローブカード
上には電極が設けられ、また、プローブカード下方には
テスタ及び工業用内視鏡が配置されている。このような
図示しない機構部品は、本出願人の提案による実願平４
−４１７７７号に開示されており、プローブカード上に
おいて、ＴＡＢ１はプッシャにより電極に押し付けられ
る。そして、ＴＡＢ１のテストパッド１Ｃと電極の接触
状態を、工業用内視鏡とモニタカメラ２をＸＹ方向に移
動させて確認する。ＴＡＢ１が位置決め（ＴＡＢと電極
の位置合わせ機構については、本出願人の提案による実
願平３−７４３０２号参照）されると、テスタから試験
信号がＴＡＢ１に送られ、ＴＡＢ１が試験される。工業
用内視鏡はＴＡＢ１のテストパッド１Ｃと電極の接触状
態を映し出し拡大してモニタカメラ２に送る。
【００２１】図３は本発明によるピント位置決定方法の
制御を説明するフローチャートを示したもので、このフ
ローチャートに基づいてピント位置決定の仕方を以下に
説明する。先ず、ステップＳ１１で、ＴＡＢ１上のテン
プレート１Ｅの理論的な色・形状を画像処理装置３に予
め記憶させておく。次に、ステップＳ１２で、ＴＡＢ１
の図示しない搬送機構によりテンプレート１Ｅをモニタ
カメラ２の上方に移動させると、モニタＴＶ５には、ピ
ントの合っていない状態で画像が表示される。このと
き、モニタカメラ２は必ず自動で最下部に移動させるよ
うにしておく。
制御を説明するフローチャートを示したもので、このフ
ローチャートに基づいてピント位置決定の仕方を以下に
説明する。先ず、ステップＳ１１で、ＴＡＢ１上のテン
プレート１Ｅの理論的な色・形状を画像処理装置３に予
め記憶させておく。次に、ステップＳ１２で、ＴＡＢ１
の図示しない搬送機構によりテンプレート１Ｅをモニタ
カメラ２の上方に移動させると、モニタＴＶ５には、ピ
ントの合っていない状態で画像が表示される。このと
き、モニタカメラ２は必ず自動で最下部に移動させるよ
うにしておく。
【００２２】続くステップＳ１３で、カメラＸＹＺステ
ージ４によるモニタカメラ２のＺ方向の移動ピッチを決
定する。次に、ステップＳ１４で、カメラＸＹＺステー
ジ４のボールねじ４Ａの回転駆動によりモニタカメラ２
をＺ方向に粗ピッチ送りし、その都度、画像処理装置３
にてパターンマッチングを行う。そして、続くステップ
Ｓ１５で、マッチング率ｍとカメラＺ位置座標ｚの関係
を演算処理装置６に登録させる。このような粗ピッチ送
りによる粗チェックにより、マッチング率ｍの最も高い
Ｚ位置座標付近に、ピントの最も合う位置があることに
なる。
ージ４によるモニタカメラ２のＺ方向の移動ピッチを決
定する。次に、ステップＳ１４で、カメラＸＹＺステー
ジ４のボールねじ４Ａの回転駆動によりモニタカメラ２
をＺ方向に粗ピッチ送りし、その都度、画像処理装置３
にてパターンマッチングを行う。そして、続くステップ
Ｓ１５で、マッチング率ｍとカメラＺ位置座標ｚの関係
を演算処理装置６に登録させる。このような粗ピッチ送
りによる粗チェックにより、マッチング率ｍの最も高い
Ｚ位置座標付近に、ピントの最も合う位置があることに
なる。
【００２３】従って、続くステップＳ１６において、マ
ッチング率ｍが最高か否かを判断し、最高ならば、次の
ステップＳ１７へ進み、また、最高でなければ、再び前
記ステップＳ１４に戻って以降の処理を繰り返す。次
に、ステップＳ１７において、更に細かくチェックする
か否かを判断し、否であれば、処理を終了し、また、更
に細かくチェックする場合は、再び前記ステップＳ１３
に戻って以降の処理を繰り返す。即ち、マッチング率の
最も高い位置から、図４（ａ）及び（Ｂ）に示したよう
に、＋方向、−方向にさらに細かくピッチ送りしなが
ら、マッチング率ｍとカメラＺ位置座標ｚの関係を演算
処理装置６に登録させる。このように、必要に応じて、
さらに細かくピッチ送りをしながらピントを合わせてい
く。
ッチング率ｍが最高か否かを判断し、最高ならば、次の
ステップＳ１７へ進み、また、最高でなければ、再び前
記ステップＳ１４に戻って以降の処理を繰り返す。次
に、ステップＳ１７において、更に細かくチェックする
か否かを判断し、否であれば、処理を終了し、また、更
に細かくチェックする場合は、再び前記ステップＳ１３
に戻って以降の処理を繰り返す。即ち、マッチング率の
最も高い位置から、図４（ａ）及び（Ｂ）に示したよう
に、＋方向、−方向にさらに細かくピッチ送りしなが
ら、マッチング率ｍとカメラＺ位置座標ｚの関係を演算
処理装置６に登録させる。このように、必要に応じて、
さらに細かくピッチ送りをしながらピントを合わせてい
く。
【００２４】以上の通り、予め記憶されたＴＡＢ１のテ
ンプレート１Ｅの画像（理論的な色・形状）と比較して
マッチング率ｍを出力するパターンマッチング機能を有
する画像処理装置３と、パルスモータ４Ｂの駆動により
モニタカメラ２が移動する毎にカメラＺ位置座標ｚを登
録し、かつ、画像処理装置３から出力されたマッチング
率ｍを登録し、そのマッチング率ｍとカメラＺ位置座標
ｚの関係から駆動制御装置４Ｄを介してパルスモータ４
Ｂの駆動を制御する演算処理装置６と、からなるオート
フォーカス装置としたため、以下の効果が得られる。即
ち、画像処理装置３によって、モニタカメラ２で撮影さ
れたＴＡＢ１のテンプレート１Ｅと予め記憶されたＴＡ
Ｂ１のテンプレート１Ｅの画像（理論的な色・形状）と
比較してマッチング率ｍを出力でき、演算処理装置６に
よって、マッチング率ｍとカメラＺ位置座標ｚの関係か
ら駆動制御装置４Ｄを介しパルスモータ４Ｂの駆動を制
御して、倍率変化のないピント合わせが自動で行える。
ンプレート１Ｅの画像（理論的な色・形状）と比較して
マッチング率ｍを出力するパターンマッチング機能を有
する画像処理装置３と、パルスモータ４Ｂの駆動により
モニタカメラ２が移動する毎にカメラＺ位置座標ｚを登
録し、かつ、画像処理装置３から出力されたマッチング
率ｍを登録し、そのマッチング率ｍとカメラＺ位置座標
ｚの関係から駆動制御装置４Ｄを介してパルスモータ４
Ｂの駆動を制御する演算処理装置６と、からなるオート
フォーカス装置としたため、以下の効果が得られる。即
ち、画像処理装置３によって、モニタカメラ２で撮影さ
れたＴＡＢ１のテンプレート１Ｅと予め記憶されたＴＡ
Ｂ１のテンプレート１Ｅの画像（理論的な色・形状）と
比較してマッチング率ｍを出力でき、演算処理装置６に
よって、マッチング率ｍとカメラＺ位置座標ｚの関係か
ら駆動制御装置４Ｄを介しパルスモータ４Ｂの駆動を制
御して、倍率変化のないピント合わせが自動で行える。
【００２５】このように、レンズを移動させる光学的な
ピント合わせに依らずに、倍率変化のないピント合わせ
が自動で行えるものであり、画像処理において、ＴＡＢ
１のＩＣチップ１Ｂのテストパッド１Ｃとプローブカー
ドの電極とをアライメントできる。そして、レンズを移
動させる光学的なピント合わせを行う必要がないため、
省スペース化にも寄与するといった利点も得られる。
ピント合わせに依らずに、倍率変化のないピント合わせ
が自動で行えるものであり、画像処理において、ＴＡＢ
１のＩＣチップ１Ｂのテストパッド１Ｃとプローブカー
ドの電極とをアライメントできる。そして、レンズを移
動させる光学的なピント合わせを行う必要がないため、
省スペース化にも寄与するといった利点も得られる。
【００２６】なお、以上の実施の形態例においては、Ｔ
ＡＢ（そのＩＣ）としたが、本発明はこれに限定される
ものではなく、他の電子部品であっても良い。例えば、
透明基板等の透過性基板に実装されたＩＣ等の電子部品
等が挙げられる。
ＡＢ（そのＩＣ）としたが、本発明はこれに限定される
ものではなく、他の電子部品であっても良い。例えば、
透明基板等の透過性基板に実装されたＩＣ等の電子部品
等が挙げられる。
【００２７】
【発明の効果】以上のように、請求項１記載の発明に係
る電子部品検査装置または請求項４記載の発明に係る電
子部品検査方法によれば、カメラが移動する毎にカメラ
の垂直位置座標を登録して、予め記憶された電子部品の
画像とカメラで撮影された電子部品の画像とを比較して
マッチング率を出力し、カメラの垂直位置座標に基づい
てマッチング率が最も高い位置でカメラの移動を停止
し、カメラで撮影された電子部品の画像を自動でピント
合わせするオートフォーカス装置としたため、レンズを
移動させる光学的なピント合わせに依らずに、倍率変化
のないピント合わせを自動で行うことができ、画像処理
において、電子部品のパッドとプローブカードの電極と
をアライメントすることができる。しかも、レンズを移
動させる光学的なピント合わせを行う必要がないため、
省スペース化を図ることができる。
る電子部品検査装置または請求項４記載の発明に係る電
子部品検査方法によれば、カメラが移動する毎にカメラ
の垂直位置座標を登録して、予め記憶された電子部品の
画像とカメラで撮影された電子部品の画像とを比較して
マッチング率を出力し、カメラの垂直位置座標に基づい
てマッチング率が最も高い位置でカメラの移動を停止
し、カメラで撮影された電子部品の画像を自動でピント
合わせするオートフォーカス装置としたため、レンズを
移動させる光学的なピント合わせに依らずに、倍率変化
のないピント合わせを自動で行うことができ、画像処理
において、電子部品のパッドとプローブカードの電極と
をアライメントすることができる。しかも、レンズを移
動させる光学的なピント合わせを行う必要がないため、
省スペース化を図ることができる。
【００２８】請求項２記載の発明に係る電子部品検査装
置によれば、画像処理装置により、カメラで撮影された
電子部品の画像と予め記憶された電子部品の画像と比較
してマッチング率を出力することができ、演算処理装置
により、マッチング率とカメラの垂直位置座標の関係か
らカメラ移動装置の駆動を制御して、請求項１記載の発
明のように、倍率変化のないピント合わせを自動で行う
ことができる。
置によれば、画像処理装置により、カメラで撮影された
電子部品の画像と予め記憶された電子部品の画像と比較
してマッチング率を出力することができ、演算処理装置
により、マッチング率とカメラの垂直位置座標の関係か
らカメラ移動装置の駆動を制御して、請求項１記載の発
明のように、倍率変化のないピント合わせを自動で行う
ことができる。
【００２９】請求項３記載の発明に係る電子部品検査装
置によれば、カメラ移動装置の駆動系からカメラの垂直
位置座標を検出する検出器により、カメラの垂直位置座
標を検出して演算処理装置に送信することができる。
置によれば、カメラ移動装置の駆動系からカメラの垂直
位置座標を検出する検出器により、カメラの垂直位置座
標を検出して演算処理装置に送信することができる。
【００３０】そして、請求項５記載の発明に係る電子部
品検査方法によれば、カメラを垂直方向に粗いピッチで
移動させてピント合わせしてから細かいピッチで移動さ
せてピント合わせしていくため、請求項４記載の発明に
より得られる効果に加えて、必要に応じて詳細なピント
合わせを行うことができるといった利点が得られる。
品検査方法によれば、カメラを垂直方向に粗いピッチで
移動させてピント合わせしてから細かいピッチで移動さ
せてピント合わせしていくため、請求項４記載の発明に
より得られる効果に加えて、必要に応じて詳細なピント
合わせを行うことができるといった利点が得られる。
【図１】本発明の電子部品検査装置を適用した一例とし
てのＴＡＢハンドラ用オートフォーカス装置のブロック
構成図である。
てのＴＡＢハンドラ用オートフォーカス装置のブロック
構成図である。
【図２】図１のカメラＸＹＺステージ（カメラ移動装
置）のＺ軸方向の駆動機構の構成を示すとともに、その
駆動制御及び画像処理をブロックで示した概略構成図で
ある。
置）のＺ軸方向の駆動機構の構成を示すとともに、その
駆動制御及び画像処理をブロックで示した概略構成図で
ある。
【図３】本発明によるピント位置決定方法の制御を説明
するフローチャートである。
するフローチャートである。
【図４】本発明によるピント位置決定方法を説明するも
ので、（ａ）は粗いピッチ送りでのカメラ位置−マッチ
ング率線図、（ｂ）は細かいピッチ送りでのカメラ位置
−マッチング率線図である。
ので、（ａ）は粗いピッチ送りでのカメラ位置−マッチ
ング率線図、（ｂ）は細かいピッチ送りでのカメラ位置
−マッチング率線図である。
【図５】図１のＴＡＢの構成を示した平面図である。
ｍ マッチング率 ｚ Ｚ位置座標 １ ＴＡＢ（電子部品） １Ａ リード １Ｂ ＩＣチップ（電子部品） １Ｃ テストパッド １Ｄ レジスト １Ｅ テンプレート ２ モニタカメラ（カメラ） ３ 画像処理装置 ４ カメラＸＹＺステージ（カメラ移動装置） ４Ａ ボールねじ ４Ｂ パルスモータ ４Ｃ 検出器 ４Ｄ 駆動制御装置 ５ モニタＴＶ（モニタ） ６ 演算処理装置
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 2G003 AA00 AA07 AF03 AG12 AG16 AH00 AH01 2G011 AA17 AC06 AC14 AE02 2G032 AA00 AE04 AE12 AF02 AF04 2G051 AA61 AB20 CA04 CC01 CD04 EA14 FA10 5F031 CA05 CA13 JA04 JA13 JA27 JA40 MA33
Claims (5)
- 【請求項１】プローブカード上に電子部品を配置し、電
子部品のパッドとプローブカードの電極とを画像処理に
よりアライメントして電子部品を検査する装置であっ
て、 前記プローブカードの下方に配置され、前記プローブカ
ード上の前記電子部品を撮影するカメラと、 前記カメラを水平方向及び垂直方向に移動するカメラ移
動装置と、 前記カメラで撮影された前記電子部品の画像を取り込む
とともに、前記カメラ移動装置の駆動で前記カメラが移
動する毎に前記カメラの垂直位置座標を登録して、予め
記憶された前記電子部品の画像と前記カメラで撮影され
た前記電子部品の画像とを比較してマッチング率を出力
するパターンマッチング機能を有し、そのマッチング率
と前記カメラの前記垂直位置座標の関係から自動でピン
ト合わせするオートフォーカス装置と、 前記カメラで撮影された前記電子部品の画像を前記オー
トフォーカス装置を経て表示するモニタと、 を備え、 前記オートフォーカス装置により、前記カメラの前記垂
直位置座標に基づいて前記マッチング率が最も高い位置
で前記カメラ移動装置の駆動を停止し、前記カメラで撮
影された前記電子部品の画像を自動でピント合わせする
こと、を特徴とする電子部品検査装置。 - 【請求項２】前記オートフォーカス装置は、 前記カメラで撮影された前記電子部品の画像を取り込
み、予め記憶された前記電子部品の画像と前記カメラで
撮影された前記電子部品の画像とを比較してマッチング
率を出力するパターンマッチング機能を有する画像処理
装置と、 前記カメラ移動装置の駆動で前記カメラが移動する毎に
前記カメラの垂直位置座標を登録するとともに、前記画
像処理装置から出力された前記マッチング率を登録し、
前記マッチング率と前記カメラの前記垂直位置座標の関
係から前記カメラ移動装置の駆動を制御する演算処理装
置と、 からなること、を特徴とする請求項１記載の電子部品検
査装置。 - 【請求項３】前記カメラ移動装置の駆動系から前記カメ
ラの前記垂直位置座標を検出して前記演算処理装置に送
信する検出器を備えたこと、を特徴とする請求項２記載
の電子部品検査装置。 - 【請求項４】プローブカード上に電子部品を配置し、電
子部品のパッドとプローブカードの電極とを画像処理に
よりアライメントして電子部品を検査する方法であっ
て、 前記プローブカードの下方において、水平方向及び垂直
方向に移動するカメラにより、前記プローブカード上の
前記電子部品を撮影し、 前記カメラで撮影された前記電子部品の画像をオートフ
ォーカス装置に取り込んでからモニタに表示し、 前記オートフォーカス装置によって、前記カメラが移動
する毎に前記カメラの垂直位置座標を登録して、予め記
憶された前記電子部品の画像と前記カメラで撮影された
前記電子部品の画像とを比較してマッチング率を出力
し、前記カメラの前記垂直位置座標に基づいて前記マッ
チング率が最も高い位置で前記カメラの移動を停止し、
前記カメラで撮影された前記電子部品の画像を自動でピ
ント合わせすること、を特徴とする電子部品検査方法。 - 【請求項５】前記カメラを垂直方向に粗いピッチで移動
させてピント合わせしてから細かいピッチで移動させて
ピント合わせしていくこと、を特徴とする請求項４記載
の電子部品検査方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10242181A JP2000077502A (ja) | 1998-08-27 | 1998-08-27 | 電子部品検査装置及び電子部品検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10242181A JP2000077502A (ja) | 1998-08-27 | 1998-08-27 | 電子部品検査装置及び電子部品検査方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000077502A true JP2000077502A (ja) | 2000-03-14 |
Family
ID=17085523
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10242181A Pending JP2000077502A (ja) | 1998-08-27 | 1998-08-27 | 電子部品検査装置及び電子部品検査方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000077502A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001337044A (ja) * | 2000-05-30 | 2001-12-07 | Honda Motor Co Ltd | 鋳造品の外観検査方法 |
| KR100570276B1 (ko) | 2005-10-04 | 2006-04-11 | (주)글로벌링크 | 이방성 도전필름의 압흔 검사방법 |
| KR100792764B1 (ko) * | 2007-10-26 | 2008-01-11 | 주식회사 대겸이엔지 | Ｌｃｄ 패널 패턴과 프로브 핀 매칭을 위한 얼라인광학장치 |
| WO2009089142A3 (en) * | 2008-01-07 | 2009-10-08 | Motorola, Inc. | Digital camera focusing using stored object recognition |
| JP2011003837A (ja) * | 2009-06-22 | 2011-01-06 | Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd | アライメント装置およびアライメント方法 |
| US8982247B2 (en) | 2010-10-22 | 2015-03-17 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Altering focus lens magnification in a video frame |
| CN111386595A (zh) * | 2017-12-01 | 2020-07-07 | 东京毅力科创株式会社 | 探针的针头位置调节方法和检查装置 |
-
1998
- 1998-08-27 JP JP10242181A patent/JP2000077502A/ja active Pending
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001337044A (ja) * | 2000-05-30 | 2001-12-07 | Honda Motor Co Ltd | 鋳造品の外観検査方法 |
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| WO2009089142A3 (en) * | 2008-01-07 | 2009-10-08 | Motorola, Inc. | Digital camera focusing using stored object recognition |
| JP2011003837A (ja) * | 2009-06-22 | 2011-01-06 | Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd | アライメント装置およびアライメント方法 |
| US8982247B2 (en) | 2010-10-22 | 2015-03-17 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Altering focus lens magnification in a video frame |
| CN111386595A (zh) * | 2017-12-01 | 2020-07-07 | 东京毅力科创株式会社 | 探针的针头位置调节方法和检查装置 |
| KR20200090211A (ko) * | 2017-12-01 | 2020-07-28 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 프로브 니들의 니들 팁 위치 조정 방법 및 검사 장치 |
| KR102362929B1 (ko) * | 2017-12-01 | 2022-02-14 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 프로브 니들의 니들 팁 위치 조정 방법 및 검사 장치 |
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