JP2011003837A - アライメント装置およびアライメント方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】アライメント対象物10を吸着して回転するスピンチャック110を備えたアライメント装置100であって、スピンチャック110が吸着している位置とは異なる位置において、回転するアライメント対象物10を支持する支持部130を備えているアライメント装置100を用いる。これにより、アライメント対象物10の自重による撓み等の変形を抑制して、高精度のアライメントを行うことができる。
【選択図】図1
Description
本発明の一実施形態に係るアライメント装置について、図1〜4を参照して説明する。アライメント装置100は、アライメント対象物10のアライメント(位置合わせ)を行う装置である。図1は、アライメント装置100の概略構成を模式的に示す断面図である。図2は、アライメント装置100の概略構成を模式的に示す上面図であり、(a)は、アライメント対象物10から下方(スピンチャック110へ向かう方向)を観察したときの上面図を示し、(b)は、アライメント装置100をブリッジ102のさらに上方から観察したときの上面図を示す。
本実施形態に係るアライメント対象物10は、基板11が、基板11よりも大きいダイシングテープ(フィルム)12に貼付された構成を有しており、ダイシングテープ12の中央部に基板11が貼付されている。また、ダイシングテープ12は、外枠であるダイシングフレーム13によって保持されている(以上、図1および図2(b)参照)。
スピンチャック110は、真空ポンプ等の機構によりアライメント対象物10を真空吸着して、吸着された状態のアライメント対象物10を吸着面の面内方向に回転させることができるものであればよい。例えば、一般的な真空チャックおよびモータから構成されるスピンチャックを用いることができる。なお、本明細書において、用語「真空吸着」とは、被吸着物と接触する接触部を減圧状態にして、周囲との気圧差により、被吸着物を吸着することを意図しており、上記接触部(被吸着物と接触部とで形成される空間)は必ずしもいわゆる真空状態である必要はない。また、「真空吸着」は、「真空引き」とも記載することがある。
支持部130は、スピンチャック110が吸着している位置とは異なる位置において、回転するアライメント対象物10を支持するものである。本明細書において、「或る物体を或る位置において支持する」とは、上記或る物体の上記或る位置に対して、重力方向とは反対方向のベクトル成分を有する力を加えることを指す。
上述したように、アライメント対象物10の位置を検出する位置検出手段は、投光部120、受光部121および位置検出部156を含んで構成される。投光部120は、ブリッジ102に設けられており、アライメント対象物10に対して上方から光を照射する。受光部121は、筐体101上に設けられており、投光部120から照射された光を受光する。
アライメント装置100の概略動作を以下に説明する。図4は、アライメント装置100の概略機能を模式的に説明するブロック図である。図4に示すように、アライメント装置100の主制御部150は、昇降ステージ制御部152、スピンチャック制御部154および位置検出部(判断手段)156を備えている。
主制御部150に、アライメント対象物10の色(特に、光を透過させるダイシングテープ12の色)に係る情報が予め入力されている場合には、位置検出部156は、受光部121の光の検出結果と、上記予め入力されたアライメント対象物10の色に係る情報とからアライメント対象物10の位置を検出してもよい。
11 基板
12 ダイシングテープ(フィルム)
13 ダイシングフレーム
50 ロボットアーム
100 アライメント装置
101 筐体
102 ブリッジ
110 スピンチャック(吸着回転手段)
111 スピンチャック位置調整部
120 投光部(光照射手段)
121 受光部(光検出手段)
130 支持部(支持手段)
131 ローラー(回転補助手段)
132 昇降ステージ(接触部移動手段)
150 主制御部
152 昇降ステージ制御部
154 スピンチャック制御部
156 位置検出部(判断手段)
Claims (10)
- アライメント対象物を吸着して回転する吸着回転手段を備えたアライメント装置であって、
上記吸着回転手段が吸着している位置とは異なる位置において、回転する上記アライメント対象物を支持する支持手段を備えていることを特徴とするアライメント装置。 - 上記支持手段は、上記吸着回転手段が吸着している位置よりも上記アライメント対象物の回転中心から遠い位置において、上記アライメント対象物を支持するようになっていることを特徴とする請求項1に記載のアライメント装置。
- 上記支持手段は、回転する上記アライメント対象物に接する接触部と、上記接触部を上記アライメント対象物に対して離接する方向に移動させる接触部移動手段とを備えていることを特徴とする請求項1または2に記載のアライメント装置。
- 上記接触部は、上記吸着回転手段の回転に伴う上記アライメント対象物の回転動作を補助する回転補助手段を備えていることを特徴とする請求項3に記載のアライメント装置。
- 上記回転補助手段は、上記アライメント対象物に接し、当該対象物の回転に伴って自らも回転する回転体であることを特徴とする請求項4に記載のアライメント装置。
- 上記回転体は、上記吸着回転手段の回転軸に直交する回転軸を中心に回転するようになっていることを特徴とする請求項5に記載のアライメント装置。
- 上記アライメント対象物は基板が当該基板よりも大きいフィルムに貼付された構成を有しており、
上記支持手段は、上記フィルムにおける基板が貼付されていない部分を少なくとも支持するようになっていることを特徴とする請求項1から6のいずれか1項に記載のアライメント装置。 - 上記アライメント対象物の位置を検出する位置検出手段を備えていることを特徴とする請求項1から7のいずれか1項に記載のアライメント装置。
- アライメント対象物を吸着回転手段に吸着させる吸着工程;
上記吸着回転手段を回転させることにより、上記アライメント対象物を回転させる回転工程;
回転する上記アライメント対象物の位置を検出する位置検出工程;および
上記アライメント対象物を移動させる位置調整工程;を包含するアライメント方法であって、
上記回転工程では、支持手段によって、上記吸着回転手段が吸着している位置とは異なる位置において上記アライメント対象物を支持することを特徴とするアライメント方法。 - アライメント対象物を吸着して回転する吸着回転手段と、
上記アライメント対象物の位置を検出する位置検出手段とを備えたアライメント装置であって、
上記位置検出手段は、上記アライメント対象物に光を照射する光照射手段、アライメント対象物を透過した光を検出する光検出手段、および、当該光検出手段の検出結果と、予め入力されたアライメント対象物の色を示す情報とから上記アライメント対象物の位置を判断する判断手段とを備えていることを特徴とするアライメント装置。
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Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012210676A (ja) * | 2011-03-31 | 2012-11-01 | Sinfonia Technology Co Ltd | ロボットアーム型搬送装置 |
WO2012165141A1 (ja) * | 2011-06-02 | 2012-12-06 | タツモ株式会社 | アライメント装置およびアライメント方法 |
WO2012165142A1 (ja) * | 2011-06-02 | 2012-12-06 | タツモ株式会社 | アライメント装置およびアライメント方法 |
US8958907B2 (en) | 2011-03-31 | 2015-02-17 | Sinfonia Technology Co., Ltd. | Robot arm apparatus |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2006098443A1 (ja) * | 2005-03-17 | 2006-09-21 | Hamamatsu Photonics K.K. | 顕微鏡画像撮像装置 |
JP5384220B2 (ja) * | 2009-06-22 | 2014-01-08 | 東京応化工業株式会社 | アライメント装置およびアライメント方法 |
GB2481476B (en) * | 2010-11-29 | 2012-07-04 | Ophir Optronics Ltd | Centring method for optical elements |
US8312637B2 (en) * | 2010-06-18 | 2012-11-20 | GM Global Technology Operations LLC | Alignment tool for replacement of ultrasonic welder horn |
DE102014118833A1 (de) * | 2014-12-17 | 2016-06-23 | Mechatronic Systemtechnik Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zum Vorausrichten eines flachen Substrats |
CN108941942B (zh) * | 2018-09-06 | 2023-09-22 | 广西中科蓝谷半导体科技有限公司 | 一种光刻机小工件卡具的使用方法 |
CN115673909B (zh) * | 2023-01-03 | 2023-03-10 | 北京特思迪半导体设备有限公司 | 一种半导体基材双面抛光中的平面控制方法及系统 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000077502A (ja) * | 1998-08-27 | 2000-03-14 | Ando Electric Co Ltd | 電子部品検査装置及び電子部品検査方法 |
JP2006237501A (ja) * | 2005-02-28 | 2006-09-07 | Nitto Denko Corp | 半導体ウエハの位置決定方法およびこれを用いた装置 |
JP2007158241A (ja) * | 2005-12-08 | 2007-06-21 | Disco Abrasive Syst Ltd | 加工装置のチャックテーブル |
JP2008205277A (ja) * | 2007-02-21 | 2008-09-04 | Disco Abrasive Syst Ltd | フレームクランプ装置および切削装置 |
JP2008246276A (ja) * | 2007-03-29 | 2008-10-16 | Disco Abrasive Syst Ltd | 樹脂被覆装置及びレーザー加工装置 |
JP2009095953A (ja) * | 2007-10-18 | 2009-05-07 | Disco Abrasive Syst Ltd | ウェーハの加工装置 |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002329769A (ja) * | 2001-04-27 | 2002-11-15 | Lintec Corp | アライメント装置 |
US20080010845A1 (en) * | 2002-04-26 | 2008-01-17 | Accretech Usa, Inc. | Apparatus for cleaning a wafer substrate |
JP2006135272A (ja) | 2003-12-01 | 2006-05-25 | Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd | 基板のサポートプレート及びサポートプレートの剥離方法 |
JP4920416B2 (ja) * | 2004-09-03 | 2012-04-18 | 三星ダイヤモンド工業株式会社 | 研磨装置及び研磨方法 |
US7497026B2 (en) * | 2007-01-11 | 2009-03-03 | Sokudo Co., Ltd. | Method and system for detection of wafer centering in a track lithography tool |
KR101419389B1 (ko) * | 2007-07-25 | 2014-07-21 | 주성엔지니어링(주) | 기판 지지 어셈블리 및 이를 포함하는 기판 처리 장치 |
JP5248825B2 (ja) * | 2007-09-06 | 2013-07-31 | 株式会社ディスコ | チャックテーブルに保持された被加工物の高さ位置検出装置 |
JP5384220B2 (ja) * | 2009-06-22 | 2014-01-08 | 東京応化工業株式会社 | アライメント装置およびアライメント方法 |
-
2009
- 2009-06-22 JP JP2009147698A patent/JP5384220B2/ja active Active
-
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- 2010-06-21 DE DE102010024481A patent/DE102010024481A1/de not_active Withdrawn
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000077502A (ja) * | 1998-08-27 | 2000-03-14 | Ando Electric Co Ltd | 電子部品検査装置及び電子部品検査方法 |
JP2006237501A (ja) * | 2005-02-28 | 2006-09-07 | Nitto Denko Corp | 半導体ウエハの位置決定方法およびこれを用いた装置 |
JP2007158241A (ja) * | 2005-12-08 | 2007-06-21 | Disco Abrasive Syst Ltd | 加工装置のチャックテーブル |
JP2008205277A (ja) * | 2007-02-21 | 2008-09-04 | Disco Abrasive Syst Ltd | フレームクランプ装置および切削装置 |
JP2008246276A (ja) * | 2007-03-29 | 2008-10-16 | Disco Abrasive Syst Ltd | 樹脂被覆装置及びレーザー加工装置 |
JP2009095953A (ja) * | 2007-10-18 | 2009-05-07 | Disco Abrasive Syst Ltd | ウェーハの加工装置 |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012210676A (ja) * | 2011-03-31 | 2012-11-01 | Sinfonia Technology Co Ltd | ロボットアーム型搬送装置 |
US8958907B2 (en) | 2011-03-31 | 2015-02-17 | Sinfonia Technology Co., Ltd. | Robot arm apparatus |
WO2012165141A1 (ja) * | 2011-06-02 | 2012-12-06 | タツモ株式会社 | アライメント装置およびアライメント方法 |
WO2012165142A1 (ja) * | 2011-06-02 | 2012-12-06 | タツモ株式会社 | アライメント装置およびアライメント方法 |
JPWO2012165141A1 (ja) * | 2011-06-02 | 2015-02-23 | タツモ株式会社 | アライメント装置およびアライメント方法 |
JPWO2012165142A1 (ja) * | 2011-06-02 | 2015-02-23 | タツモ株式会社 | アライメント装置およびアライメント方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
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