JP4652129B2 - 基板搬送教示方法および基板搬送装置 - Google Patents
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一方、主搬送ロボットの基板保持ハンドには、基板を所定位置に落とし込む案内面を有する落とし込み型のものが適用される場合が多い。これは、インデクサロボットの基板保持ハンド上では前記基板把持機構の働きにより正確な位置に基板が保持され、処理ユニットにおいても定位置に基板が保持されるため、主搬送ロボットの基板保持ハンド上における精密な位置制御が不必要だからである。このような落とし込み型の基板保持ハンドを採用することで、基板の把持に要する時間を省くことができるので、主搬送ロボットによる基板搬送時間を短縮できるという利益がある。
この特許文献1に開示された先行技術では、搬送ロボットの基板保持ハンドに基板と同形同大のセンサ治具を保持させ、搬送位置には被検出部を保持させて、センサ治具に設けられたセンサヘッドによって被検出部を検出することによって、適正な搬送位置に対応した基板保持ハンドの位置を求めるようにしている。
主搬送ロボット基板保持ハンドとして、インデクサロボットの基板保持ハンドのように、バックラッシュのない把持型のものを用いることが考えられるが、基板受け渡しのたびに基板把持/解除動作が必要となるから、基板受け渡しに要する時間が長くなる。したがって、高速な基板搬送が阻害されるので、好ましくない。
また、この発明の他の目的は、落とし込み型の基板保持部を用いながらも、高精度な基板搬送情報を自動生成でき、これにより、精密な基板搬送を行うことができる基板搬送装置を提供することである。
請求項2記載の発明は、前記教示情報生成ステップが、前記センサによって前記被検出部が検出されるときの前記第1基板保持部および前記第2基板保持部の相対位置関係を求める位置関係検出ステップと、この位置関係検出ステップによって求められた相対位置関係に対して、前記所定のバックラッシュに基づく補正を施す補正ステップとを含むことを特徴とする請求項1記載の基板搬送教示方法である。
また、前記基板保持部駆動機構は、前記第1基板保持部を所定位置で静止状態とし、前記第2基板保持部を駆動することによって基板の受け渡しを行わせるものであってもよい。この場合、前記教示情報は、前記所定位置にある第1基板保持部に対して適正な第2基板保持部の位置を表すものであることが好ましい。
さらに、第2基板保持部側には、治具基板を保持させるのではなく、被検出部を固定したり、センサを固定したりしてもよい。
こうして、落とし込み型の基板保持部を備えた基板搬送装置において、そのバックラッシュの影響を抑制または解消した高精度な搬送教示が可能となる。
請求項2および請求項4の発明によれば、センサによって被検出部が検出されるときの第1および第2基板保持部の位置関係が検出され、これに対して、バックラッシュに基づく補正が行われる。バックラッシュは、第1基板保持部の設計段階ですでに既知であるから、この既知のバックラッシュに基づく補正を行うことによって、高精度な教示情報を生成することができる。
図1は、この発明の一実施形態に係る基板処理装置のレイアウトを説明するための図解的な平面図である。この基板処理装置は、インデクサ部1と、このインデクサ部1に結合された処理部2とを備えている。インデクサ部1は、複数枚の基板W(たとえば半導体ウエハ)を積層状態で保持することができるキャリヤ3を所定方向に沿って整列状態で保持することができるキャリヤ保持部4と、このキャリヤ保持部4に沿って形成された搬送路5内を走行することができるインデクサロボット6とを備えている。このインデクサロボット6は、一対のアーム7,8を独立して駆動することができるダブルアーム型のロボットであって、アーム7,8の先端部には、上下に位置をずらせて上ハンド9Aおよび下ハンド9Bがそれぞれ結合されている。インデクサロボット6は、アーム7,8を駆動することによって、上ハンド9Aおよび下ハンド9Bを独立して進退させる進退駆動機構10を備えている。さらに、図示は省略するが、インデクサロボット6は、アーム7,8を鉛直軸線回りに回転させるアーム回転駆動機構と、アーム7,8を昇降させる昇降駆動機構と、インデクサロボット6を搬送路5内で往復移動させるための往復移動機構とを備えている。
キャリヤ3内における基板Wの位置には、ばらつきが生じているのが通常である。そこで、キャリヤ3内の基板Wをハンド9A,9Bですくいとるときには、シリンダ85のロッド86は収縮状態に制御される。そして、基板Wが規制部材83,84および基板支持部材87によって下方から支持された後に、シリンダ85のロッド86は伸張状態に制御される。これにより、基板Wは、規制部材83,84の基板支持面83a,84aおよび基板支持部材87上でスライドし、規制面83b,84bに押し付けられた適正位置へと導かれる。こうして、基板Wは、ロッド86と規制面83b,84bとの間で挟持された状態で、インデクサロボットアクセス位置17まで搬送されることになる。
シャトル搬送機構15から基板Wを受け取る際には、シリンダ85のロッド86は収縮状態に制御される。そして、シャトル搬送機構15から基板Wが受け渡されると、シリンダ85のロッド86が伸張状態に制御され、これにより、当該基板Wは、ロッド86と規制面83b,84bとの間に挟持された状態となる。この状態で、その基板Wは、キャリヤ3へと搬送される。
この構成により、基板Wは、案内傾斜面98によってその周端面が案内されることによって、基板支持面96へと落とし込まれ、その後は、基板規制面97によって水平移動が規制される。ハンド13A,13Bは、この落とし込み状態で基板Wを保持して、シャトル搬送機構15と処理ユニット12との間で基板Wを搬送している。このように、ハンド13A,13Bは、いわゆる落とし込み型のハンドを構成している。
図5は、シャトル搬送機構15の平面図であり、図6は、図5の矢印A方向から見た正面図であり、図7は図5の矢印B方向から見た側面図である。
上ハンド19Aは、この実施形態では、インデクサ部1寄りに配置された基板支持部45A,46Aによって構成されており、下ハンド19Bは、主搬送ロボット11側に配置された基板支持部45B,46Bによって構成されている。
一方の治具基板110は被検出側治具基板である。この被検出側治具基板110は、処理対象の基板Wと同形同大の円盤状治具本体111と、この治具本体の中心から垂直に立ち上がった被検出部112とを備えている。被検出部112は、たとえば、円柱形状を有しており、治具本体111に結合された小径部113と、この小径部113の上端に結合された大径部114とを有し、小径部113と大径部114との間に段差部115が形成された構成となっている。
図9は、上記の基板処理装置の制御に関する構成を示すブロック図である。この基板処理装置は、制御装置60を備えており、この制御装置60により、インデクサロボット6、主搬送ロボット11およびシャトル搬送機構15の各部を制御する。制御装置60には、作業者が各種の指令を入力するための入力操作部61が接続されている。
さらに、制御装置60は、シャトル搬送機構15のハンド19A,19Bを主搬送ロボットアクセス位置18まで移動させる。その一方で、制御装置60は、主搬送ロボット11の上ハンド13Aに備えられたシリンダ100を作動させ、そのロッド101を進出させる。これにより、センサ側治具基板120は、上ハンド13A上において、基板ガイド93,94の基板規制面97に対してX方向に沿って押し付けられ、ロッド101と当該基板ガイド93,94との間に挟持される。すなわち、センサ側治具基板120と基板ガイド93,94との間の隙間が零とされ、バックラッシュB1が解消される。
なお、センサ側治具基板120を固定するロッド101は制御装置60の指令で動作するものでなくともよく、たとえば、ロッド101に連結されたスプリングを、手動で、縮んだ状態から伸びた状態にリリースすることで、センサ側治具基板120にロッド101が押し付けられるものであってもよい。シャトル搬送機構15のハンド19A,19Bに設けられるロッド54A,54Bについても同様の構成を採ることができる。
前述のように治具基板110,120がハンド19A,13Aにそれぞれ挟持状態で保持された状態で、制御装置60の主搬送ロボット制御部107は、センサ側治具基板120の孔122内に被検出側治具基板110の被検出部112が遊挿される位置に上ハンド13Aを導く。この状態から、さらに、主搬送ロボット制御部107は、上ハンド13Aを一定高さに保持し、X方向に沿って前後に微動(進退駆動機構14による進退)させる。
処理ユニット12に備えられたスピンチャック65に対する主搬送ロボット11の上下のハンド13A,13Bのアクセス位置の教示も同様にして行われ、求められた教示位置情報は教示情報記憶部141に格納される。この場合には、スピンチャック65に被検出側治具基板110を保持させればよい。
通常運転時には、主搬送ロボット制御部107は、教示情報記憶部141に格納された教示位置情報に従って、主搬送ロボット11を駆動する。これにより、バックラッシュを解消した状態で求められた精密な教示位置情報に基づいてハンド13A,13Bの位置が制御されるので、確実な基板受け渡しを行うことができる。しかも、通常運転時には、主搬送ロボット11およびシャトル搬送機構15は、シリンダ100,53A,53Bを用いた基板Wの挟持は行わず、基板Wを基板ガイド93〜95や支持爪47A,47B,48A,48Bへの落とし込みによって保持するようにしているから、高速な基板搬送が可能になる。
たとえば、前述の実施形態では、処理ユニット12には、メカニカルチャックからなるスピンチャック65が備えられていて、処理ユニット12内において基板Wが正確な定位置に保持されるようになっている。一方、スピンチャックには、別の種類のものとして、図12に示すように、回転軸148の上端に水平に固定された円盤状の真空吸着ヘッド149によって基板の下面中央領域を真空吸着して保持するバキュームチャックがある。このバキュームチャックを処理ユニット12におけるスピンチャックとして用いる構成としてもよい。
なお、治具基板押し付け機構151は、着脱式のものとし、オートティーチングの際にのみ真空吸着ヘッド149に取り付けられることが好ましい。
2 処理部
3 キャリヤ
4 キャリヤ保持部
5 搬送路
6 インデクサロボット
7,8 アーム
9A 上ハンド
9B 下ハンド
10 進退駆動機構
11 主搬送ロボット
12 処理ユニット
13A 上ハンド
13B 下ハンド
14 進退駆動機構
15 シャトル搬送機構
16 搬送路
17 インデクサロボットアクセス位置
18 主搬送ロボットアクセス位置
19A 上ハンド
19B 下ハンド
21 レール
22 本体部
23 直動機構
24 座板部
25 摺動ブロック
26 支柱
27 支持板
28A,28B 支持梁
30A 上ハンド駆動機構
30B 下ハンド駆動機構
31A,31B 昇降板
32 結合部材
33A,33B ガイド軸
34A,34B 取付板
35A,35B ガイド
36A,36B ボールねじ機構
37 軸受
38 ボールナット
39 ねじ軸
40 プーリ
41A,41B モータ
42 貫通孔
43 ベルト
45A,45B 基板支持部
46A,46B 基板支持部
47A,47B,48A,48B 支持爪
53A,53B シリンダ
54A,54B ロッド
55 駆動部
56 結合部材
60 制御装置
61 入力操作部
64 挟持ピン
65 スピンチャック
70 受け渡し仲介機構
71 回転駆動機構
72 昇降駆動機構
80 基部
81,82 腕部
83,84 規制部材
83a,84a 基板支持面
83b,84b 規制面
85 シリンダ
86 ロッド
87 基板支持部材
90 基部
91,92 腕部
93〜95 基板ガイド
96 基板支持面
97 基板規制面
98 案内傾斜面
100 シリンダ
101 ロッド
105 インデクサロボット制御部
106 シャトル搬送機構制御部
107 主搬送ロボット制御部
110 被検出側治具基板
111 治具本体
112 被検出部
113 小径部
114 大径部
115 段差部
120 センサ側治具基板
121 治具本体
122 孔
123 第1透過型センサ
124 第2透過型センサ
125 発光部
126 受光部
127 第1検出ライン
128 発光部
129 受光部
130 第2検出ライン
135 センサ駆動部
136 センサ信号入力部
139 ハンド位置生成部
140 教示情報生成部
141 教示情報記憶部
145 位置検出部
146 補正処理部
148 回転軸
149 真空吸着ヘッド
150 凹部
151 治具基板押し付け機構
153 シリンダ
154 レバー
155 内側面
156 規制面
W 基板
Claims (4)
- 所定の基板保持位置へと基板を案内して落とし込む落とし込み案内部を有し、さらに所定のバックラッシュが生じている状態で基板の端面に対向する規制面を有する第1基板保持部と、この第1基板保持部との間で基板が受け渡される第2基板保持部と、前記第1基板保持部および前記第2基板保持部の相対位置関係を変化させることにより、前記第1および第2基板保持部間で基板の受け渡しを行わせる基板保持部駆動機構とを備えた基板搬送装置に適用され、前記第1および第2基板保持部間での基板の受け渡し時における前記第1基板保持部および前記第2基板保持部の適正な相対位置関係を表す教示情報を生成する方法であって、
前記基板とほぼ同形同大の外形を有するとともに被検出部およびこの被検出部を検出するためのセンサのうちの一方を備えた治具基板を、前記落とし込み案内部によって位置合わせして前記第1基板保持部に保持させるステップと、
前記第1基板保持部に保持された治具基板を、所定方向に沿って前記規制面に向けて押し付ける治具基板押し付けステップと、
前記第2基板保持部に、前記被検出部および前記センサのうちの他方を位置固定するステップと、
前記センサによる前記被検出部の検出状態と前記所定のバックラッシュとに基づいて、前記第1および第2基板保持部の前記適正な相対位置関係を表す教示情報を生成する教示情報生成ステップとを含むことを特徴とする基板搬送教示方法。 - 前記教示情報生成ステップは、
前記センサによって前記被検出部が検出されるときの前記第1基板保持部および前記第2基板保持部の相対位置関係を求める位置関係検出ステップと、
この位置関係検出ステップによって求められた相対位置関係に対して、前記所定のバックラッシュに基づく補正を施す補正ステップとを含むことを特徴とする請求項1記載の基板搬送教示方法。 - 所定の基板保持位置へと基板を案内して落とし込む落とし込み案内部、および前記基板保持位置に落とし込まれた基板の端面に所定のバックラッシュが生じている状態で対向する規制面を有する第1基板保持部と、
この第1基板保持部との間で基板が受け渡される第2基板保持部と、
前記第1基板保持部および前記第2基板保持部の相対位置関係を変化させることにより、前記第1および第2基板保持部間で基板の受け渡しを行わせる基板保持部駆動機構と、
基板の受け渡し時における前記第1基板保持部および前記第2基板保持部の適正な相対位置関係を表す教示情報を記憶する教示情報記憶手段と、
この教示情報記憶手段に記憶された教示情報に基づいて、前記基板保持部駆動機構の動作を制御する制御手段と、
前記基板とほぼ同形同大の外形を有するとともに被検出部およびこの被検出部を検出するためのセンサのうちの一方を有する治具基板を、前記落とし込み案内部によって位置合わせして前記第1基板保持部に保持させた状態で、前記保持された治具基板を、所定方向に沿って前記規制面に向けて押し付ける治具基板押し付け手段と、
この治具基板押し付け手段によって前記規制面に向けて押し付けられた状態で前記治具基板を前記第1基板保持部に保持させ、前記第2基板保持部に前記被検出部および前記センサのうちの他方を位置固定した状態で、前記センサによる前記被検出部の検出状態と前記バックラッシュとに基づいて、前記第1および第2基板保持部の適正な相対位置関係を表す教示情報を生成して前記教示情報記憶手段に格納する教示情報生成手段とを含むことを特徴とする基板搬送装置。 - 前記教示情報生成手段は、
前記センサによって前記被検出部が検出されるときの前記第1基板保持部および前記第2基板保持部の相対位置関係を求める位置関係検出手段と、
この位置関係検出手段によって求められた相対位置関係に対して、前記バックラッシュに基づく補正を施す補正手段とを含むことを特徴とする請求項3記載の基板搬送装置。
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