JP6585492B2 - 電子部品実装装置 - Google Patents

Description

本発明は、電子部品実装装置に関する。

電子部品実装装置は、実装ヘッドを使って電子部品を基板に実装する。特許文献１に開示されているように、電子部品実装装置は、様々な外形寸法の電子部品を基板に実装可能である。

特開平１１−１３５９９０号公報

従来技術においては、小型電子部品及び大型電子部品のそれぞれを基板に実装するために、小型電子部品用の吸着ユニット及び大型電子部品用の吸着ユニットの両方が電子部品実装装置に設けられる。しかし、電子部品実装装置の構造によっては、電子部品実装装置の汎用性が損なわれる可能性がある。

本発明の態様は、高い汎用性を有する電子部品実装装置を提供することを目的とする。

本発明の態様に従えば、電子部品を着脱可能に保持するノズル及び前記ノズルを支持するシャフトをそれぞれ有し、前記ノズルに保持された電子部品を基板に実装可能な複数の吸着ユニットと、複数の前記吸着ユニットのうち第１吸着ユニットの前記ノズルを移動するための動力を発生する第１モータと、複数の前記吸着ユニットのうち第２吸着ユニットの前記ノズルを移動するための動力を前記第１モータよりも高出力で動力を発生する第２モータと、複数の前記吸着ユニットの前記シャフトが所定面内の第１軸方向に等間隔で配置されるように複数の前記吸着ユニットを支持する支持部材と、を備える電子部品実装装置が提供される。

本発明の態様によれば、第１モータと第１モータよりも高出力で動力を発生する第２モータとが設けられることにより、第１モータが発生する動力により作動する第１吸着ユニットを使って小型電子部品を高速に実装し、第２モータが発生する動力により作動する第２吸着ユニットを使って大型電子部品を円滑に実装することができる。複数の吸着ユニットのシャフトは等間隔で配置されるので、小型電子部品のみを実装する場合には、第１吸着ユニット及び第２吸着ユニットの両方を使って複数の小型電子部品を同時に保持して実装することができる。このように、第１モータ及び第２モータが設けられ、複数のシャフトが等間隔に配置されることにより、電子部品実装装置は、小型電子部品及び大型電子部品の両方を実装する場合、及び小型電子部品のみを実装する場合の両方に対応することができる。様々な生産形態に対応できるので、電子部品実装装置の汎用性は向上する。

本発明の態様において、前記第１モータの出力軸に接続される第１駆動プーリと、前記第１駆動プーリに支持される第１ベルトと、前記第１ベルトを介して前記第１駆動プーリと連結され、複数の前記シャフトのうち第１シャフトに接続される第１従動プーリと、前記第２モータの出力軸に接続される第２駆動プーリと、前記第２駆動プーリに支持される第２ベルトと、前記第２ベルトを介して前記第２駆動プーリと連結され、複数の前記シャフトのうち第２シャフトに接続される第２従動プーリと、を備え、前記第２駆動プーリの外径は前記第１駆動プーリの外径よりも大きく、前記第２駆動プーリの重量は前記第１駆動プーリの重量よりも大きい、ことが好ましい。

回転慣性モーメントが小さいプーリに連結されるノズルで大型電子部品を移動した場合、ノズルの移動が不安定になり、ハンチングが発生する可能性がある。ハンチングとは、モータが発生する動力でノズルを移動させ、モータの出力を停止した後においてもノズルが十分に停止せずに振動する現象をいう。第２駆動プーリの外径及び重量を大きくすることにより、第２駆動プーリの回転慣性モーメントは大きくなる。そのため、第２駆動プーリに連結されるノズルで大型電子部品を移動した場合、ハンチングの発生が抑制される。したがって、大型電子部品の基板に実装するときの位置決め精度の低下が抑制される。

本発明の態様において、前記第１モータは前記第１シャフトを回転させるための動力を発生し、前記第２モータは前記第２シャフトを回転させるための動力を発生する、ことが好ましい。

ハンチングは、ノズルに保持された大型電子部品を回転させたときに発生する可能性が高い。第２シャフトを回転させるための第２モータに接続される第２駆動プーリの回転慣性モーメントを大きくすることにより、ハンチングの発生を抑制することができる。

本発明の態様において、前記第１モータは、前記第１吸着ユニットに対応付けられて設けられ、前記第２モータは、前記第２吸着ユニットに対応付けられて設けられ、前記第２モータの数は前記第１モータの数よりも少ない、ことが好ましい。

高出力の第２モータの数を低出力の第１モータの数よりも少なくすることにより、実装ヘッドの大型化が抑制され、吸着ユニットが消費する電力を抑制することができる。

本発明の態様において、複数の前記第１駆動プーリと前記第２駆動プーリとが前記第１軸方向に配置され、隣り合う第１駆動プーリと第２駆動プーリとの距離は、隣り合う第１駆動プーリと第１駆動プーリとの距離よりも大きい、ことが好ましい。

高出力の第２モータの外形は、低出力の第１モータの外形よりも大きい可能性が高い。隣り合う第１モータの出力軸と第２モータの出力軸との距離を、隣り合う第１モータの出力軸と第１モータの出力軸との距離よりも大きくし、隣り合う第１駆動プーリと第２駆動プーリとの距離を、隣り合う第１駆動プーリと第１駆動プーリとの距離よりも大きくして、第１モータの出力軸に接続される第１駆動プーリと第１シャフトに接続される第１従動プーリとを第１ベルトで連結し、第２モータの出力軸に接続される第２駆動プーリと第２シャフトに接続される第２従動プーリとを第２ベルトで連結することにより、第１モータと第２モータとを第１軸方向に円滑に配置しつつ、複数の吸着ユニットのシャフトを第１軸方向に等間隔で配置することができる。

本発明の態様において、前記第２ベルトに設けられたアライメントマークと、前記アライメントマークを検出する検出器と、前記検出器の検出結果に基づいて、前記第２ベルトが位置決めされるように前記第２モータを制御する位置決め部と、を備えることが好ましい。

駆動プーリと従動プーリとがベルトを介して連結されている場合、ベルトの移動誤差又は製造誤差等に起因して、駆動プーリの回転量に対する従動プーリの回転量が目標値又は予測値から外れてしまう可能性がある。特に、大型電子部品を保持するノズルを駆動するための第２従動プーリの回転誤差が存在すると、大型電子部品の回転方向の位置誤差が顕著に現れ、基板に実装される大型電子部品の位置誤差をもたらす。第２ベルトにアライメントマークを設け、そのアライメントマークを検出器で検出することによって、第２ベルトの原点復帰を含む位置決めをすることができる。

本発明の態様において、前記第１吸着ユニットは、前記第１軸方向において前記第２吸着ユニットの両側に配置される、ことが好ましい。

複数の吸着ユニットが第１軸方向に配置されている場合において、大型電子部品を保持する第２吸着ユニットのノズルが最も端に配置されている場合、そのノズルで保持されている大型電子部品が周囲の部材（例えばカメラなど）と接触してしまう可能性がある。第２吸着ユニットの両側に第１吸着ユニットが配置されることにより、第２吸着ユニットのノズルで保持されている大型電子部品が周囲の部材と接触してしまうことが抑制される。

本発明の態様において、複数の前記第１吸着ユニットで複数の第１電子部品が前記基板に実装される前又は実装された後に、前記第２吸着ユニットで前記第１電子部品よりも寸法が大きい第２電子部品が前記基板に実装されるように前記第１吸着ユニット及び前記第２吸着ユニットを制御する制御部を備える、ことが好ましい。

これにより、高出力の第２モータで駆動する第２吸着ユニットによって、大型電子部品である第２電子部品が基板に円滑に実装され、第１モータで駆動する第１吸着ユニットによって、小型電子部品である第１電子部品が基板に高速に実装される。

本発明の態様において、前記制御部は、複数の前記第１吸着ユニット及び前記第２吸着ユニットで前記第１電子部品が前記基板に実装されるように前記第１吸着ユニット及び前記第２吸着ユニットを制御する、ことが好ましい。

これにより、第１吸着ユニット及び第２吸着ユニットを含む複数の吸着ユニットによって、小型電子部品である複数の第１電子部品を基板に高速に実装することができる。

本発明の態様によれば、高い汎用性を有する電子部品実装装置が提供される。

図１は、第１実施形態に係る電子部品実装装置の一例を示す模式図である。 図２は、第１実施形態に係る実装ヘッドの一例を模式的に示す側面図である。 図３は、第１実施形態に係る実装ヘッドの一例を模式的に示す正面図である。 図４は、第１実施形態に係る実装ヘッドの一例を模式的に示す斜視図である。 図５は、第１実施形態に係る実装ヘッドの一部を後方から見た図である。 図６は、第１実施形態に係る実装ヘッドの一部を下方から見た斜視図である。 図７は、第１実施形態に係る実装ヘッドの一部を下方から見た図である。 図８は、第１実施形態に係る実装ヘッドの一部を上方から見た図である。 図９は、第１実施形態に係る電子部品実装装置の一例を示す機能ブロック図である。 図１０は、第１実施形態に係る吸着ユニットによって実装される第１電子部品及び第２電子部品の一例を模式的に示す図である。 図１１は、第１実施形態に係る電子部品実装方法の一例を示すフローチャートである。 図１２は、第２実施形態に係る回転モータ及び動力伝達機構の一例を模式的に示す図である。

以下、本発明に係る実施形態について図面を参照しながら説明するが、本発明はこれに限定されない。以下で説明する実施形態の構成要素は、適宜組み合わせることができる。また、一部の構成要素を用いない場合もある。また、以下で説明する実施形態における構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のもの、いわゆる均等の範囲のものが含まれる。

以下の説明においては、ＸＹＺ直交座標系を設定し、このＸＹＺ直交座標系を参照しつつ各部の位置関係について説明する。所定面内の第１軸と平行な方向をＸ軸方向（第１軸方向）とし、第１軸と直交する所定面内の第２軸と平行な方向をＹ軸方向（第２軸方向）とし、所定面と直交する第３軸と平行な方向をＺ軸方向（第３軸方向）とする。Ｘ軸（第１軸）を中心とする回転（傾斜）方向をθＸ方向とし、Ｙ軸（第２軸）を中心とする回転（傾斜）方向をθＹ方向とし、Ｚ軸（第３軸）を中心とする回転（傾斜）方向をθＺ方向とする。所定面はＸＹ平面を含む。ＸＹ平面は、Ｘ軸及びＹ軸を含む。本実施形態において、所定面と水平面とは平行である。Ｚ軸方向は鉛直方向（上下方向）である。Ｚ軸は、ＸＹ平面と直交する。

＜第１実施形態＞
第１実施形態について説明する。図１は、本実施形態に係る電子部品実装装置１の一例を示す模式図である。図２は、本実施形態に係る電子部品実装装置１が有する実装ヘッド１００の一例を模式的に示す側面図である。図３は、本実施形態に係る実装ヘッド１００の一例を模式的に示す正面図である。

電子部品実装装置１は、電子部品Ｃを基板Ｐに実装する。電子部品実装装置１は、表面実装装置１又はマウンタ１とも呼ばれる。電子部品Ｃは、リードを有するリード型電子部品（挿入型電子部品）でもよいし、リードを有しないチップ型電子部品（搭載型電子部品）でもよい。リード型電子部品は、基板Ｐの開口にリードが挿入されることによって基板Ｐに実装される。チップ型電子部品は、基板Ｐに搭載されることによって基板Ｐに実装される。

電子部品実装装置１は、基板Ｐを搬送する基板搬送装置２と、電子部品Ｃを供給可能な電子部品供給装置３と、複数の吸着ユニット１０を有し電子部品供給装置３から基板Ｐまで電子部品Ｃを搬送する実装ヘッド１００と、実装ヘッド１００を移動する移動システム４と、交換されるノズル１１を保持する交換ノズル保持装置５と、電子部品実装装置１の基台６と、電子部品実装装置１を制御する制御装置７とを備える。

基板搬送装置２は、電子部品Ｃが実装される基板Ｐを搬送する。基板搬送装置２は、不図示の基板をＸ軸方向に搬送するための搬送ベルトと、搬送ベルトを送るベルト駆動部と、搬送ベルトと支持する支持体と、支持体を上下動する昇降体を備える。そして、昇降体により支持体が上昇すると、基板は支持体と基板ガイドに保持される。

電子部品供給装置３は、電子部品Ｃを吸着ユニット１０に供給する。電子部品供給装置３は、電子部品Ｃを複数支持する。実装ヘッド１００は、電子部品供給装置３から電子部品Ｃが供給される電子部品供給エリアと、基板Ｐが配置される実装エリアとの間を移動可能である。電子部品供給エリアと実装エリアとは異なるエリアである。本実施形態において、電子部品供給装置３は、基板搬送装置２の基板Ｐの搬送経路の両側（＋Ｘ側及び−Ｘ側）に配置される。吸着ユニット１０は、電子部品供給装置３から供給された電子部品Ｃを基板Ｐに実装する。電子部品供給装置３から供給される電子部品Ｃは、同種の電子部品でもよいし、異種の電子部品でもよい。

交換ノズル保持装置５は、複数種類のノズル１１を保持する。交換ノズル保持装置５は、吸着ユニット１０に対して交換されるノズル１１を複数保持する。交換ノズル保持装置５により、吸着ユニット１０に装着されるノズル１１が交換される。吸着ユニット１０は、その装着されたノズル１１で電子部品Ｃを保持する。

図２及び図３に示すように、実装ヘッド１００は、Ｘ軸方向に配置される複数の吸着ユニット１０と、複数の吸着ユニット１０を支持する支持部材１２とを有する。吸着ユニット１０は、電子部品Ｃを着脱可能に保持するノズル１１と、ノズル１１を支持するシャフト１３とを有する。実装ヘッド１００は、シャフト１３を保持するホルダ１４と、ホルダ１４を支持する支持部材１２とを有する。

複数の吸着ユニット１０は、Ｘ軸方向に一列に配置される。本実施形態において、吸着ユニット１０は、複数（６つ）設けられる。複数の吸着ユニット１０は、電子部品Ｃを着脱可能に保持するノズル１１及びノズル１１を支持するシャフト１３をそれぞれ有し、ノズル１１に保持された電子部品Ｃを基板Ｐに実装可能である。ノズル１１は、電子部品Ｃを吸着する吸着ノズルであり、シャフト１３の下端部に配置される。ノズル１１の下端部には、気体を吸引する吸着孔が設けられている。ノズル１１の下端部と電子部品Ｃとが接触した状態で、吸着孔から気体が吸引されることにより、ノズル１１は、電子部品Ｃを保持する。また、吸着孔からの気体の吸引が停止されることにより、電子部品Ｃはノズル１１から解放される。なお、ノズル１１は、電子部品Ｃを掴んで保持する把持ノズルでもよい。

移動システム４は、実装ヘッド１００をＸ軸方向に移動するＸ軸駆動装置８と、実装ヘッド１００をＹ軸方向に移動するＹ軸駆動装置９と、吸着ユニット１０をＺ軸方向に移動するＺ軸駆動装置１５と、吸着ユニット１０をθＺ方向に移動（回転）するθＺ駆動装置１６とを有する。

Ｘ軸駆動装置８は、実装ヘッド１００をＸ軸方向にガイドするガイド部材８Ｇと、実装ヘッド１００をＸ軸方向に移動するための動力を発生するアクチュエータとを有する。実装ヘッド１００は、複数の吸着ユニット１０を支持する支持部材１２を備える。支持部材１２は、Ｘ軸駆動装置８に連結され、Ｘ軸方向に移動可能に支持される。アクチュエータの作動により、実装ヘッド１００と一緒に支持部材１２もＸ軸方向に移動する。

Ｙ軸駆動装置９は、Ｘ軸駆動装置８をＹ軸方向にガイドするガイド部材９Ｇと、ガイド部材９ＧをＹ軸方向に移動するための動力を発生するアクチュエータとを有する。Ｙ軸駆動装置９によりＸ軸駆動装置８がＹ軸方向に移動することによって、ガイド部材８Ｇに支持されている実装ヘッド１００がガイド部材８Ｇと一緒にＹ軸方向に移動する。

Ｚ軸駆動装置１５は、支持部材１２に支持され、ホルダ１４をＺ軸方向に移動する。Ｚ軸駆動装置１５は、ノズル１１をＺ軸方向に移動するための動力を発生する回転モータ１７と、回転モータ１７で発生した動力をシャフト１３に伝達する動力伝達機構１８とを有する。回転モータ１７が作動すると、回転モータ１７で発生した動力は、動力伝達機構１８を介してホルダ１４に伝達される。ホルダ１４は、回転モータ１７で発生した動力により、Ｚ軸方向に移動する。ホルダ１４がＺ軸方向に移動すると、そのホルダ１４に保持されているシャフト１３及びそのシャフト１３に支持されているノズル１１は、ホルダ１４と一緒にＺ軸方向に移動する。

θＺ駆動装置１６は、支持部材１２に支持され、シャフト１３をθＺ方向に移動（回転）する。θＺ駆動装置１６は、ノズル１１をθＺ方向に移動（回転）するための動力を発生する回転モータ１９と、回転モータ１９で発生した動力をシャフト１３に伝達する動力伝達機構２０とを有する。回転モータ１９が作動すると、回転モータ１９で発生した動力は、動力伝達機構１９を介してシャフト１３に伝達される。シャフト１３は、回転モータ１９で発生した動力により、θＺ方向に移動する。シャフト１３がθＺ方向に移動すると、そのシャフト１３に支持されているノズル１１は、シャフト１３と一緒にθＺ方向に移動する。

複数の吸着ユニット１０のそれぞれについて、Ｚ軸駆動装置１５及びθＺ駆動装置１６が設けられる。複数の吸着ユニット１０は、Ｚ軸駆動装置１５及びθＺ駆動装置１６の作動により、支持部材１２に対して、Ｚ軸方向及びθＺ方向の２つの方向に個別に移動可能である。

本実施形態においては、移動システム４により、ノズル１１は、Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸、及びθＺの４つの方向に移動可能である。Ｘ軸駆動装置８及びＹ軸駆動装置９は、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に支持部材１２を移動可能なヘッド駆動装置として機能する。Ｚ軸駆動装置１５及びθＺ駆動装置１６は、支持部材１２に対して吸着ユニット１０（ノズル１１）をＺ軸方向及びθＺ方向に移動可能なノズル駆動装置として機能する。

また、図２に示すように、実装ヘッド１００は、ノズル１１に保持された電子部品Ｃを検出する部品検出装置２１を有する。部品検出装置２１は、レーザ光を射出する発光部と受光部とを有し、電子部品Ｃ又はノズル１１の輪郭を取得して、部品形状を認識する。部品検出装置２１は、ノズル１１に保持されている電子部品Ｃの状態を検出する。電子部品Ｃの状態は、電子部品Ｃの形状、及びノズル１１で保持されている電子部品Ｃの姿勢の少なくとも一方を含む。なお、部品検出装置２１はカメラであってもよい。

部品検出装置２１の発光部は、吸着ユニット１０に対して−Ｙ方向に配置され、部品検出装置２１の受光部は、吸着ユニット１０に対して＋Ｙ方向に配置される。部品検出装置２１は、支持部材１２に支持される。Ｘ軸駆動装置９及びＹ軸駆動装置８により支持部材１２がＸ軸方向及びＹ軸方向に移動されることによって、その支持部材１２に支持されている部品検出装置２１は、支持部材１２と一緒に移動する。

図４は、本実施形態に係る実装ヘッド１００の一例を模式的に示す斜視図である。図５は、本実施形態に係る実装ヘッド１００の一部を−Ｙ側から見た図である。図６は、本実施形態に係る実装ヘッド１００の一部を下方から見た斜視図である。図７は、図６の一部を下方から見た図である。図８は、本実施形態に係る実装ヘッド１００の一部を上方から見た図である。

以下、図２から図８を参照しながら、実装ヘッド１００の構造について説明する。図２に示すように、支持部材１２は、Ｚ軸方向に延在する鉛直部１２Ａと、鉛直部１２Ａの上端部から＋Ｙ方向に延在する上水平部１２Ｂと、鉛直部１２Ａの下端部から−Ｙ方向に延出する下水平部１２Ｃとを有する。回転モータ１７は、上水平部１２Ｂに支持される。回転モータ１９は、下水平部１２Ｃに支持される。

鉛直部１２Ａは、Ｚ軸方向に延在するガイド部２２を有する。ホルダ１４は、ガイド部２２を移動可能なスライド部２３を有する。ホルダ１４は、ガイド部２２によってＺ軸方向にガイドされながら移動可能である。

動力伝達機構１８は、回転モータ１７の出力軸１７１に接続される駆動プーリ２４と、ホルダ１４と上水平部１２Ｂとを連結するボールねじ機構２７と、ボールねじ機構２７のねじ軸２７Ａに接続される従動プーリ２５と、駆動プーリ２４と従動プーリ２５とを連結するベルト２６とを有する。ボールねじ機構２７のねじ軸２７Ａは、上水平部１２Ｂに設けられたベアリング２８に回転可能に支持される。ボールねじ機構２７のナット２７Ｂは、ホルダ１４に固定される。

ＸＹ平面内において、回転モータ１７の出力軸１７１の中心軸の位置と駆動プーリ２４の中心軸の位置とは一致する。ＸＹ平面内において、ねじ軸２７Ａの中心軸の位置と従動プーリ２５の中心軸の位置とは一致する。

回転モータ１７が作動すると、出力軸１７１に接続されている駆動プーリ２４が回転する。駆動プーリ２４が回転すると、駆動プーリ２４に支持されているベルト２６が移動し、従動プーリ２５が回転する。従動プーリ２５が回転すると、ねじ軸２７Ａが回転する。ねじ軸２７Ａが回転することにより、ナット２７Ｂに固定されているホルダ１４がガイド部２２にガイドされながらＺ軸方向に移動する。ホルダ１４がＺ軸方向に移動すると、そのホルダ１４に保持されているシャフト１３及びそのシャフト１３に支持されているノズル１１は、ホルダ１４と一緒にＺ軸方向に移動する。

動力伝達機構２０は、回転モータ１９の出力軸１９１に接続される駆動プーリ２９と、シャフト１３に接続される従動プーリ３０と、駆動プーリ２９と従動プーリ３０とを連結するベルト３１とを有する。シャフト１３は、ホルダ１４に設けられたベアリング３２、支持部材１２に設けられたベアリング３３、及び支持部材１２に設けられたベアリング３４に回転可能に支持される。

ＸＹ平面内において、回転モータ１９の出力軸１９１の中心軸の位置と駆動プーリ２９の中心軸の位置とは一致する。ＸＹ平面内において、シャフト１３の中心軸の位置と従動プーリ３０の中心軸の位置とは一致する。

回転モータ１９が作動すると、出力軸１９１に接続されている駆動プーリ２９が回転する。駆動プーリ２９が回転すると、駆動プーリ２９に支持されているベルト３１が移動し、従動プーリ３０が回転する。従動プーリ３０が回転すると、従動プーリ３０に固定されているシャフト１３は、従動プーリ３０と一緒にθＺ方向に回転する。

シャフト１３は、Ｚ軸方向に延在する。図３に示すように、支持部材１２は、複数の吸着ユニット１０のシャフト１３がＸ軸方向に等間隔で配置されるように、それら複数の吸着ユニット１０を支持する。

複数（６つ）のシャフト１３の構造及び寸法は、それぞれ等しい。また、複数のシャフト１３の重量も、それぞれ等しい。シャフト１３の中心軸ＡＸとそのシャフト１３に隣り合うシャフト１３の中心軸ＡＸとのＸ軸方向の距離Ｇａは、それぞれ等しい。

複数の吸着ユニット１０のそれぞれについて、Ｚ軸駆動装置１５及びθＺ駆動装置１６が設けられる。複数（６つ）の回転モータ１９のうち、特定の回転モータ１９は、他の回転モータ１９よりも高出力で動力を発生する。

以下の説明において、第１の出力で動力を発生する回転モータ１９を適宜、第１モータ１９Ａ、と称し、第１モータ１９Ａよりも高出力な第２の出力で動力を発生する回転モータ１９を適宜、第２モータ１９Ｂ、と称する。

また、以下の説明において、第１モータ１９Ａの出力軸１９１に接続される駆動プーリ２９を適宜、第１駆動プーリ２９Ａ、と称し、第１駆動プーリ２９Ａに支持されるベルト３１を適宜、第１ベルト３１Ａ、と称し、第１ベルト３１Ａを介して第１駆動プーリ２９Ａと連結される従動プーリ３０を適宜、第１従動プーリ３０Ａ、と称し、第１従動プーリ３０Ａと接続されるシャフト１３を適宜、第１シャフト１３Ａ、と称する。

また、以下の説明において、第２モータ１９Ｂの出力軸１９１に接続される駆動プーリ２９を適宜、第２駆動プーリ２９Ｂ、と称し、第２駆動プーリ２９Ｂに支持されるベルト３１を適宜、第２ベルト３１Ｂ、と称し、第２ベルト３１Ｂを介して第２駆動プーリ２９Ｂと連結される従動プーリ３０を適宜、第２従動プーリ３０Ｂ、と称し、第２従動プーリ３０Ｂと接続されるシャフト１３を適宜、第２シャフト１３Ｂ、と称する。

また、以下の説明において、第１シャフト１３Ａを含み第１モータ１９Ａによって作動する吸着ユニット１０を適宜、第１吸着ユニット１０Ａ、と称し、第２シャフト１３Ｂを含み第２モータ１９Ｂによって作動する吸着ユニット１０を適宜、第２吸着ユニット１０Ｂ、と称する。

第１モータ１９Ａは、第１吸着ユニット１０Ａの第１シャフト１３ＡをθＺ方向に回転させるための動力を発生する。第２モータ１９Ｂは、第２吸着ユニット１０Ｂの第２シャフト１３ＢをθＺ方向に回転させるための動力を発生する。

第１モータ１９Ａは、第１吸着ユニット１０Ａに１対１で対応付けられて設けられる。第２モータ１９Ｂは、第２吸着ユニット１０Ｂに１対１で対応付けられて設けられる。本実施形態において、第２モータ１９Ｂ（第２吸着ユニット１０Ｂ）の数は、第１モータ１９Ａ（第１吸着ユニット１０Ａ）の数よりも少ない。本実施形態においては、高出力で動力を発生する第２モータ１９Ｂは、１つ設けられる。第１モータ１９Ａは、５つ設けられる。第２吸着ユニット１０Ｂは、１つ設けられる。第１吸着ユニット１０Ａは、５つ設けられる。

図３に示すように、Ｘ軸方向において、第２吸着ユニット１０Ｂの両側に、第１吸着ユニット１０Ａが配置される。すなわち、第２吸着ユニット１０Ｂは、Ｘ軸方向に配置された複数（６つ）の吸着ユニット１０のうち端部には配置されず、中央部に配置される。Ｘ軸方向に配置された複数の吸着ユニット１０のうち端部には第１吸着ユニット１０Ａが配置される。

図５、図６、及び図７に示すように、第２モータ１９Ｂの外形は、第１モータ１９Ａの外形よりも大きい。

また、第２駆動プーリ２９Ｂの外径は、第１駆動プーリ２９Ａの外径よりも大きい。第２駆動プーリ２９Ｂの重量は、第１駆動プーリ２９Ａの重量よりも大きい。

図７に示すように、複数の第１駆動プーリ２９Ａと第２駆動プーリ２９ＢとがＸ軸方向に配置される。複数の駆動プーリ２９の中心軸のＹ軸方向の位置は、実質的に同一である。隣り合う第１駆動プーリ２９Ａの中心軸と第２駆動プーリ２９Ｂの中心軸との距離Ｇｂは、隣り合う第１駆動プーリ２９Ａの中心軸と第１駆動プーリ２９Ａの中心軸との距離Ｇｃよりも大きい。距離Ｇｂは、隣り合う第１モータ１９Ａの出力軸１９１と第２モータ１９Ｂの出力軸１９１との距離と等しい。距離Ｇｃは、隣り合う第１モータ１９Ａの出力軸１９１と第１モータ１９Ａの出力軸１９１との距離と等しい。

複数の第１従動プーリ３０Ａと第２従動プーリ３０ＢとがＸ軸方向に配置される。複数の従動プーリ３０の中心軸のＹ軸方向の位置は、実質的に同一である。隣り合う従動プーリ３０の中心軸の距離Ｇａは、全て等しい。距離Ｇａは、隣り合うシャフト１３の中心軸の距離Ｇａと等しい。

距離Ｇａは、距離Ｇｂよりも小さい。距離Ｇａは、距離Ｇｃよりも小さい。なお、距離Ｇａは、距離Ｇｃと等しくてもよい。

図８に示すように、複数の駆動プーリ２４がＸ軸方向に配置される。複数の駆動プーリ２４の中心軸のＹ軸方向の位置は、実質的に同一である。隣り合う駆動プーリ２４の中心軸の距離Ｇｄは、全て等しい。距離Ｇｄは、隣り合う回転モータ１７の出力軸１７１の距離と等しい。

複数の従動プーリ２５がＸ軸方向に配置される。複数の従動プーリ２５の中心軸のＹ軸方向の位置は、実質的に同一である。隣り合う従動プーリ２５の中心軸の距離Ｇｅは、全て等しい。距離Ｇｅは、隣り合うねじ軸２７Ａの中心軸の距離と等しい。

図６に示すように、第２ベルト３１Ｂにアライメントマーク３５が設けられる。アライメントマーク３５は、第２ベルト３１Ｂに１つ設けられる。アライメントマーク３５は、Ｚ軸方向に形成された白色の線状又は帯状のマークである。電子部品実装装置１は、アライメントマーク３５を検出する検出器（図６には図示せず）を備える。検出器は、支持部材１２に支持される。検出器は、アライメントマーク３５に検出光を照射し、第２ベルト３１Ｂで反射した検出光を受光することによって、アライメントマーク３５の位置を検出する。

図９は、本実施形態に係る電子部品実装装置１の一例を示す機能ブロック図である。制御装置７は、吸着ユニット１０及び移動システム４に制御信号を出力して、吸着ユニット１０及び移動システム４を制御する。アライメントマーク３５を検出する検出器３６、記憶装置３７、及び入力装置３８が制御装置７に接続される。

制御装置７は、コンピュータシステムを含む。制御装置７は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）のようなプロセッサを含む。制御装置７は、吸着ユニット１０、移動システム４、検出器３６、記憶装置３７、及び入力装置３８との間で信号の入出力を実施可能な入出力インターフェース回路を含む入出力部７１と、検出器３６の検出結果に基づいて、第２ベルト３１Ｂが位置決めされるように第２モータ１９Ｂを制御する位置決め部７２と、吸着ユニット１０（第１吸着ユニット１０Ａ及び第吸着ユニット１０Ｂ）及び回転モータ１９（第１モータ１９Ａ及び第２モータ１９Ｂ）を制御する制御信号を出力する制御部７３とを有する。

記憶装置３７は、ＲＯＭ（Read Only Memory）又はＲＡＭ（Random Access Memory）のような内部メモリ及びハードディスク装置のような外部メモリを含む。入力装置３８は、作業者により操作される入力デバイスを含む。入力装置３８は、キーボード、マウス、及びタッチパネルの少なくとも一つを含む。

制御装置７のプロセッサは、記憶装置３７に記憶されているコンピュータプログラムに従って、電子部品実装装置１を制御するための制御信号を生成する。制御装置７の各種の機能は、プロセッサにより実行される。

図１０は、吸着ユニット１０によって基板Ｐに実装される第１電子部品Ｃａ及び第２電子部品Ｃｂの一例を模式的に示す図である。本実施形態においては、小型電子部品である第１電子部品Ｃａと、第１電子部品Ｃａよりも外形寸法が大きい第２電子部品Ｃｂとが基板Ｐに実装される。

吸着ユニット１０（１０Ａ，１０Ｂ）はそれぞれ中心軸ＡＸを有する。中心軸ＡＸはＺ軸と平行である。上述のように、本実施形態において、吸着ユニット１０（１０Ａ，１０Ｂ）は、Ｘ軸方向に複数配置される。複数の吸着ユニット１０（１０Ａ，１０Ｂ）の構造及び寸法は、実質的に同一である。また、複数の吸着ユニット１０（１０Ａ，１０Ｂ）は、Ｘ軸方向において等間隔で配置される。Ｘ軸方向及びＹ軸方向における複数の吸着ユニット１０の相対位置は実質的に変化しない。Ｚ軸駆動装置１５及びθＺ駆動装置１６を含むノズル駆動装置によって、Ｚ軸方向及びθＺ方向における複数の吸着ユニット１０の相対位置が変化する。

吸着ユニット１０は、フランジ部４１を有する。吸着ユニット１０のフランジ部４１の外面が、中心軸ＡＸから最も遠い吸着ユニット１０の最外部４０である。吸着ユニット１０のノズル１１は、吸着ユニット１０のフランジ部４１から−Ｚ方向に向かって突出する。ＸＹ平面内におけるノズル１１の外形寸法は、最外部４０の外形寸法（最大外形寸法）よりも小さい。

本実施形態において、ノズル１１の周囲にコイルばね４２が配置される。コイルばね４２により、ノズル１１が電子部品Ｃを保持するときにノズル１１及び電子部品Ｃに作用する衝撃が緩和される。

電子部品供給装置３は、吸着ユニット１０（１０Ａ，１０Ｂ）よりも下方（−Ｚ側）に配置される。電子部品供給装置３は、複数の電子部品Ｃを供給する。電子部品供給装置３は、複数の電子部品Ｃを支持する支持面３Ｓを有する。支持面３Ｓは、ＸＹ平面と実質的に平行である。第１吸着ユニット１０Ａのノズル１１Ａは、第１吸着ユニット１０Ａの最外部４０を含むフランジ部４１から電子部品供給装置３の支持面３Ｓに向かって突出する。第２吸着ユニット１０Ｂのノズル１１Ｂは、第２吸着ユニット１０Ｂの最外部４０を含むフランジ部４１から電子部品供給装置３の支持面３Ｓに向かって突出する。

電子部品供給装置３は、外形寸法が異なる複数の電子部品Ｃを供給可能である。図１０に示すように、電子部品供給装置３は、第１電子部品Ｃａと、第１電子部品Ｃａよりも外形寸法が大きい第２電子部品Ｃｂとを供給可能である。

第１電子部品Ｃａの外形寸法は、第１電子部品Ｃａの中心軸ＣＸａとＸＹ平面内において中心軸ＣＸａから最も遠い第１電子部品Ｃａの最外部との距離Ｒａを含む。また、第１電子部品Ｃａの外形寸法は、Ｚ軸方向における第１電子部品Ｃａの上面と下面との距離である高さＨａを含む。

第２電子部品Ｃｂの外形寸法は、第２電子部品Ｃｂの中心軸ＣＸｂとＸＹ平面内において中心軸ＣＸｂから最も遠い第２電子部品Ｃｂの最外部との距離Ｒｂを含む。また、第２電子部品Ｃｂの外形寸法は、Ｚ軸方向における第２電子部品Ｃｂの上面と下面との距離である高さＨｂを含む。

本実施形態において、第２電子部品Ｃｂの距離Ｒｂは、第１電子部品Ｃａの距離Ｒａよりも大きい。第２電子部品Ｃｂの高さＨｂは、第１電子部品Ｃａの高さＨａよりも大きい（高い）。

第１電子部品Ｃａは、隣り合う吸着ユニット１０で同時に保持可能な外形寸法を有する。隣り合う吸着ユニット１０のノズル１１で第１電子部品Ｃａを同時に保持しても、それら第１電子部品Ｃａは接触しない。

第２電子部品Ｃｂは、隣り合う吸着ユニット１０で同時に保持不可能な外形寸法を有する。ある吸着ユニット１０が第２電子部品Ｃｂを保持し、その吸着ユニット１０の隣の吸着ユニット１０が電子部品Ｃ（第１電子部品Ｃａ又は第２電子部品Ｃｂ）を保持した場合、第２電子部品Ｃｂは、隣の電子部品Ｃと接触してしまう。

次に、本実施形態に係る電子部品実装装置１の動作の一例について説明する。図１１は、本実施形態に係る電子部品実装方法の一例を示すフローチャートである。制御部７３は、レシピと呼ばれる実装条件を取得する（ステップＳＰ１）。実装条件は、基板Ｐに実装される電子部品Ｃの種類を含む。本実施形態においては、実装条件は、第１電子部品Ｃａのみを実装する条件、及び第１電子部品Ｃａと第２電子部品Ｃｂとの両方を実装する条件の少なくとも一方を含む。実装条件が記憶装置３７に記憶され、制御部７３は記憶装置３７から実装条件を取得する。なお、作業者により入力装置３８が操作されることにより、制御部７３に実装条件が入力されてもよい。

検出器３６は、第２ベルト３１Ｂに設けられているアライメントマーク３５を検出する。検出器３６によるアライメントマーク３５の検出結果は、位置決め部７２に出力される。位置決め部７２は、検出器３６の検出結果に基づいて第２モータ１９Ｂを制御して、第２ベルト３１Ｂの位置決めを実施する（ステップＳＰ２）。位置決め部７２は、アライメントマーク３５の検出結果に基づいて、アライメントマーク３５が基準点（原点）に配置されるように、第２ベルト３１Ｂの位置を調整する。

制御部７３は、取得した実装条件に基づいて、第２電子部品Ｃｂを実装するか否かを判定する（ステップＳＰ３）。すなわち、制御部７３は、取得した実装条件に基づいて、第１電子部品Ｃａのみを実装するか、又は、第１電子部品Ｃａと第２電子部品Ｃｂとの両方を実装するか、を判定する。

ステップＳＰ３において、第２実装部品Ｃｂを実装すると判定した場合（ステップＳＰ３：Ｙｅｓ）、すなわち、第１電子部品Ｃａと第２電子部品Ｃｂとの両方を実装すると判定した場合、制御部７３は、実装ヘッド１００を部品供給エリアに移動して、複数の第１吸着ユニット１０Ａのそれぞれで複数の第１電子部品Ｃａを同時に保持する。複数の第１吸着ユニット１０Ａのそれぞれで複数の第１電子部品Ｃａが保持された後、制御部７３は、実装ヘッド１００を実装エリアに移動して、複数の第１電子部品Ｃａを基板Ｐに実装する（ステップＳＰ４）。なお、制御部７３は、実装ヘッド１００を部品供給エリアに移動して、複数の第１吸着ユニット１０Ａ及び第２吸着ユニット１０Ｂのそれぞれで複数の第１電子部品Ｃａを同時に保持した後、実装ヘッド１００を実装エリアに移動して、複数の第１電子部品Ｃａを基板Ｐに実装してもよい。

次に、制御部７３は、実装ヘッド１００を部品供給エリアに移動して、第２吸着ユニット１０Ｂで第２電子部品Ｃｂを保持する。第２吸着ユニット１０Ｂで第２電子部品Ｃｂが保持された後、制御部７３は、実装ヘッド１００を実装エリアに移動して、第２電子部品Ｃｂを基板Ｐに実装する（ステップＳＰ５）。なお、第２吸着ユニット１０Ｂで保持される第２電子部品Ｃｂと第１吸着ユニット１０Ａで保持される第１電子部品Ｃａとが干渉しない場合、第１吸着ユニット１０Ａは第１電子部品Ｃｂを保持して基板Ｐに実装してもよい。

なお、第１電子部品Ｃａ及び第２電子部品Ｃｂの両方を基板Ｐに実装する場合、制御部７３は、第２電子部品Ｃｂを基板Ｐに実装した後、第１電子部品Ｃａを基板Ｐに実装してもよい。

ステップＳＰ３において、第２実装部品Ｃｂを実装しないと判定した場合（ステップＳＰ３：Ｎｏ）、すなわち、第２電子部品Ｃｂを実装せず、第１電子部品Ｃａを実装すると判定した場合、制御部７３は、実装ヘッド１００を部品供給エリアに移動して、複数の第１吸着ユニット１０Ａ及び第２吸着ユニット１０Ｂのそれぞれで複数の第１電子部品Ｃａを同時に保持する。複数の第１吸着ユニット１０Ａ及び第２吸着ユニット１０Ｂのそれぞれで複数の第１電子部品Ｃａが保持された後、制御部７３は、実装ヘッド１００を実装エリアに移動して、複数の第１電子部品Ｃａを基板Ｐに実装する（ステップＳＰ６）。

以上説明したように、本実施形態によれば、第１モータ１９Ａと、第１モータ１９Ａよりも高出力で動力を発生する第２モータ１９Ｂとが設けられる。そのため、第１モータ１９Ａが発生する動力により作動する第１吸着ユニット１０Ａを使って、小型電子部品である第１電子部品Ｃａを高速に実装することができる。また、第２モータ１０Ｂが発生する動力により作動する第２吸着ユニット１０Ｂを使って、小型電子部品である第１電子部品Ｃａ及び大型電子部品である第２電子部品Ｃｂを円滑に実装することができる。

また、本実施形態においては、複数の吸着ユニット１０のシャフト１３は等間隔で配置されるので、第１電子部品Ｃａのみを基板Ｐに実装する場合には、第１吸着ユニット１０Ａ及び第２吸着ユニット１０Ｂの両方を使って複数の第１電子部品Ｃａを同時に保持して実装することができる。

このように、第１モータ１９Ａ及び第２モータ１９Ｂが設けられ、複数のシャフト１３が等間隔に配置されることにより、電子部品実装装置１は、第１電子部品Ｃａ及び第２電子部品Ｃｂの両方を実装する実装条件、及び第１電子部品Ｃａのみを実装する実装条件の両方に対応することができる。様々な生産形態に対応できるので、電子部品実装装置１の汎用性は向上する。

また、本実施形態によれば、第１モータ１９Ａの出力軸１９１に接続される第１駆動プーリ２９Ａと、第１駆動プーリ２９Ａに支持される第１ベルト３１Ａと、第１ベルト３１Ａを介して第１駆動プーリ２９Ａと連結され、第１シャフト１３Ａに接続される第１従動プーリ３０Ａと、第２モータ１９Ｂの出力軸１９１に接続される第２駆動プーリ２９Ｂと、第２駆動プーリ２９Ｂに支持される第２ベルト３１Ｂと、第２ベルト３１Ｂを介して第２駆動プーリ２９Ｂと連結され、第２シャフト１３Ｂに接続される第２従動プーリ３０Ｂとが設けられる。第２駆動プーリ２９Ｂの外径は第１駆動プーリ２９Ａの外径よりも大きく、第２駆動プーリ２９Ｂの重量は第１駆動プーリ２９Ａの重量よりも大きい。第２駆動プーリ２９Ｂの外径及び重量を大きくすることにより、第２駆動プーリ２９Ｂの回転慣性モーメントは大きくなる。そのため、第２駆動プーリ２９Ｂに連結される第２吸着ユニット１０Ｂのノズル１１で第２電子部品Ｃｂを移動した場合、ハンチングの発生が抑制される。したがって、第２電子部品Ｃｂを基板Ｐに実装するときの位置決め精度の低下が抑制される。また、ハンチングがおさまることを待ってから実装を行う必要が無いため、実装時間の短縮化を図ることができる。

また、本実施形態によれば、第１モータ１９Ａは第１シャフト１３Ａを回転させるための動力を発生し、第２モータ１９Ｂは第２シャフト１３Ｂを回転させるための動力を発生する。ハンチングは、ノズル１１に保持された第２電子部品Ｃｂを回転させたときに発生する可能性が高い。第２シャフト１３Ｂを回転させるための第２モータ１９Ｂに接続される第２駆動プーリ２９Ｂの回転慣性モーメントを大きくすることにより、ハンチングの発生を抑制することができる。

また、本実施形態によれば、第１モータ１９Ａは、複数の第１吸着ユニット１０Ａに対応付けられて複数設けられ、第２モータ１９Ｂは、第２吸着ユニット１０Ｂに対応付けられて設けられる。また、第２モータ１９Ｂの数は第１モータ１９Ａの数よりも少ない。高出力の第２モータ１９Ｂの数を低出力の第１モータ１９Ａの数よりも少なくすることにより、実装ヘッド１００の大型化が抑制され、実装ヘッド１００が消費する電力を抑制することができる。また、第１モータ１９Ａが複数の第１吸着ユニット１０Ａに対応付けられて複数設けられることにより、第１吸着ユニット１０Ａの位置決め精度は向上する。

また、本実施形態によれば、複数の第１駆動プーリ２９Ａと第２駆動プーリ２９ＢとがＸ軸方向に配置され、隣り合う第１駆動プーリ２９Ａと第２駆動プーリ２９Ｂとの距離Ｇｂは、隣り合う第１駆動プーリ２９Ａと第１駆動プーリ２９Ａとの距離Ｇｃよりも大きい。上述のように、高出力の第２モータ１９Ｂの外形は、低出力の第１モータ１９Ａの外形よりも大きい可能性が高い。隣り合う第１モータ１９Ａの出力軸１９１と第２モータ１９Ｂの出力軸１９１との距離を、隣り合う第１モータ１９Ａの出力軸１９１と第１モータ１９Ａの出力軸１９１との距離よりも大きくし、隣り合う第１駆動プーリ１９Ａの中心軸と第２駆動プーリ１９Ｂの中心軸との距離Ｇｂを、隣り合う第１駆動プーリ１９Ａの中心軸と第１駆動プーリ１９Ａの中心軸との距離Ｇｃよりも大きくして、第１モータ１９Ａの出力軸１９１に接続される第１駆動プーリ２９Ａと第１シャフト１３Ａに接続される第１従動プーリ３０Ａとを第１ベルト３１Ａで連結し、第２モータ１９Ｂの出力軸１９１に接続される第２駆動プーリ２９Ｂと第２シャフト１３Ｂに接続される第２従動プーリ３０Ｂとを第２ベルト３１Ｂで連結することにより、第１モータ１９Ａと第２モータ１９ＢとをＸ軸方向に円滑に配置しつつ、複数の吸着ユニット１０のシャフト１３をＸ軸方向に等間隔で配置することができる。また、距離Ｇａが距離Ｇｃよりも小さくする、又は、距離Ｇａと距離Ｇｃとを等しくすることにより、実装ヘッド１００の小型化を図ることができる。

また、本実施形態によれば、第２ベルト３１Ｂに設けられたアライメントマーク３５と、アライメントマーク３５を検出する検出器３６と、検出器３６の検出結果に基づいて、第２ベルト３１Ｂが位置決めされるように第２モータ１９Ｂを制御する位置決め部７２と、を備える。駆動プーリ２９と従動プーリ３０とがベルト３１を介して連結されている場合、ベルト３１の移動誤差又は製造誤差等に起因して、駆動プーリ２９の回転量に対する従動プーリ３０の回転量が目標値又は予測値から外れてしまう可能性がある。特に、大型電子部品である第２電子部品Ｃｂを保持するノズル１１を駆動するための第２従動プーリ２９Ｂの回転誤差が存在すると、第２電子部品Ｃｂの回転方向（θＺ方向）の位置誤差が電子部品Ｃのサイズに比例して顕著に現れ、基板Ｐに実装される第２電子部品Ｃｂの位置誤差をもたらす。第２ベルト３１Ｂにアライメントマーク３５を設け、そのアライメントマーク３５を検出器３６で検出することによって、第２ベルト３１Ｂの原点復帰を含む位置決めをすることができる。

また、本実施形態によれば、第１吸着ユニット１０Ａは、Ｘ軸方向において第２吸着ユニット１０Ｂの両側に配置され、端部には配置されない。複数の吸着ユニット１０がＸ軸方向に配置されている場合において、第２電子部品Ｃｂを保持する第２吸着ユニット１０Ｂのノズル１１が最も端部に配置されている場合、そのノズル１１で保持されている第２電子部品Ｃｂが周囲の部材と接触してしまう可能性がある。第２吸着ユニット１０Ｂの両側に第１吸着ユニット１０Ａが配置され、第２吸着ユニット１０Ｂを端部に配置しないようにして、第１吸着ユニット１０からノズル１１を外したりノズル１１を＋Ｚ方向に移動したりすることにより、第２吸着ユニット１０Ｂのノズル１１で保持されている第２電子部品Ｃｂが周囲の部材と接触してしまうことが抑制される。

また、本実施形態によれば、制御部７３は、複数の第１吸着ユニット１０Ａで複数の第１電子部品Ｃａが基板Ｐに実装される前又は実装された後に、第２吸着ユニット１０Ｂで第１電子部品Ｃａよりも外形寸法が大きい第２電子部品Ｃｂが基板Ｐに実装されるように第１吸着ユニット１０Ａ及び第２吸着ユニット１０Ｂを制御する。これにより、高出力の第２モータ１９Ｂで駆動する第２吸着ユニット１０Ｂによって、大型電子部品である第２電子部品Ｃｂが基板Ｐに円滑に実装され、第１モータ１９Ａで駆動する第１吸着ユニット１０Ａによって、小型電子部品である第１電子部品Ｃａが基板Ｐに低消費電力で高速に実装される。

また、本実施形態によれば、制御部７３は、複数の第１吸着ユニット１０Ａ及び第２吸着ユニット１０Ｂで複数の第１電子部品Ｃａが基板Ｐに実装されるように第１吸着ユニット１０Ａ及び第２吸着ユニット１０Ｂを制御する。これにより、第１吸着ユニット１０Ａ及び第２吸着ユニット１０Ｂを含む複数の吸着ユニット１０によって、小型電子部品である複数の第１電子部品Ｃａを基板Ｐに高速に実装することができる。

なお、本実施形態において、Ｚ駆動装置１５の複数の回転モータ１７のうち、特定の回転モータ１７の出力を、他の回転モータ１７の出力よりも大きくしてもよい。また、高出力の回転モータ１７に接続される駆動プーリ２４の外径及び重量を、低出力の回転モータ１７に接続される駆動プーリ２４の外径及び重量よりも大きくしてもよい。

なお、本実施形態において、６つの吸着ユニット１０のうち、１つの吸着ユニット１０が第２吸着ユニット１０Ｂであることとした。６つの吸着ユニット１０のうち、２つ又は３つの吸着ユニット１０が第２吸着ユニット１０Ｂでもよい。第２吸着ユニット１０Ｂが複数設けられる場合、第２吸着ユニット１０Ｂと第２吸着ユニット１０Ｂとの間に第１吸着ユニット１０Ａが設けられることが好ましい。これより、２つの第２吸着ユニット１０Ｂで第２電子部品Ｃｂを同時に保持しても、第２電子部品Ｃｂと第２電子部品Ｃｂとの接触が抑制される。

＜第２実施形態＞
第２実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成要素については同一の符号を付し、その説明を簡略又は省略する。

上述の実施形態においては、第１モータ１９Ａが複数の第１吸着ユニット１０Ａに対応付けられて複数設けられ、第２モータ１９Ｂも第２吸着ユニット１０Ｂに対応付けられて設けられることとした。図１２に示す模式図のように、１つの第１モータ１９Ａで発生する動力で、複数の吸着ユニット１０ＡがθＺ方向に回転されてもよい。１つの第１モータ１９Ａで発生する動力は、１つの無端ベルトからなる第１ベルト３１Ａを介して、複数の第１吸着ユニット１０Ａに伝達される。第１ベルト３１Ａは、複数の第１従動プーリ３０Ａに支持される。第２吸着ユニット１０Ｂは、第２モータ１９Ｂで発生する動力によってθＺ方向に回転する。また、その場合に、複数の第１吸着ユニット１０ＡそれぞれにθＺ方向の移動を検出するエンコーダ（図示せず）を設けると、より回転方向（θＺ方向）の位置誤差が小さくなる。

１ 電子部品実装装置
２ 基板搬送装置
２Ｇ ガイド部材
２Ｈ 基板保持部材
３ 電子部品供給装置
４ 移動システム
５ 交換ノズル保持装置
６ 基台
７ 制御装置
８ Ｙ軸駆動装置
９ Ｘ軸駆動装置
１０ 吸着ユニット
１０Ａ 第１吸着ユニット
１０Ｂ 第２吸着ユニット
１１ ノズル
１２ 支持部材
１２Ａ 鉛直部
１２Ｂ 上水平部
１２Ｃ 下水平部
１３ シャフト
１４ ホルダ
１５ Ｚ駆動装置
１６ θＺ駆動装置
１７ 回転モータ
１８ 動力伝達機構
１９ 回転モータ
１９Ａ 第１モータ
１９Ｂ 第２モータ
２０ 動力伝達機構
２１ 部品検出装置
２２ ガイド部
２３ スライド部
２４ 駆動プーリ
２５ 従動プーリ
２６ ベルト
２７ ボールねじ機構
２７Ａ ねじ軸
２７Ｂ ナット
２８ ベアリング
２９ 駆動プーリ
２９Ａ 第１駆動プーリ
２９Ｂ 第２駆動プーリ
３０ 従動プーリ
３０Ａ 第１従動プーリ
３０Ｂ 第２従動プーリ
３１ ベルト
３１Ａ 第１ベルト
３１Ｂ 第２ベルト
３２ ベアリング
３３ ベアリング
３４ ベアリング
３５ アライメントマーク
３６ 検出器
３７ 記憶装置
３８ 入力装置
７１ 入出力部
７２ 位置決め部
７３ 制御部
１００ 実装ヘッド
１７１ 出力軸
１９１ 出力軸
Ｃ 電子部品
Ｃａ 第１電子部品
Ｃｂ 第２電子部品
Ｐ 基板

Claims (9)

1. 電子部品を着脱可能に保持するノズル及び前記ノズルを支持するシャフトをそれぞれ有し、前記ノズルに保持された電子部品を基板に実装可能な複数の吸着ユニットと、
   複数の前記吸着ユニットのうち第１吸着ユニットの前記ノズルを移動するための動力を発生する第１モータと、
   複数の前記吸着ユニットのうち第２吸着ユニットの前記ノズルを移動するための動力を前記第１モータよりも高出力で動力を発生する第２モータと、
   複数の前記吸着ユニットの前記シャフトが所定面内の第１軸方向に等間隔で配置されるように複数の前記吸着ユニットを支持する支持部材と、
   を備える電子部品実装装置。
2. 前記第１モータの出力軸に接続される第１駆動プーリと、
   前記第１駆動プーリに支持される第１ベルトと、
   前記第１ベルトを介して前記第１駆動プーリと連結され、複数の前記シャフトのうち第１シャフトに接続される第１従動プーリと、
   前記第２モータの出力軸に接続される第２駆動プーリと、
   前記第２駆動プーリに支持される第２ベルトと、
   前記第２ベルトを介して前記第２駆動プーリと連結され、複数の前記シャフトのうち第２シャフトに接続される第２従動プーリと、
   を備え、
   前記第２駆動プーリの外径は前記第１駆動プーリの外径よりも大きく、前記第２駆動プーリの重量は前記第１駆動プーリの重量よりも大きい、
   請求項１に記載の電子部品実装装置。
3. 前記第１モータは前記第１シャフトを回転させるための動力を発生し、
   前記第２モータは前記第２シャフトを回転させるための動力を発生する、
   請求項２に記載の電子部品実装装置。
4. 前記第１モータは、前記第１吸着ユニットに対応付けられて設けられ、
   前記第２モータは、前記第２吸着ユニットに対応付けられて設けられ、
   前記第２モータの数は前記第１モータの数よりも少ない、
   請求項２又は請求項３に記載の電子部品実装装置。
5. 複数の前記第１駆動プーリと前記第２駆動プーリとが前記第１軸方向に配置され、
   隣り合う第１駆動プーリと第２駆動プーリとの距離は、隣り合う第１駆動プーリと第１駆動プーリとの距離よりも大きい、
   請求項４に記載の電子部品実装装置。
6. 前記第２ベルトに設けられたアライメントマークと、
   前記アライメントマークを検出する検出器と、
   前記検出器の検出結果に基づいて、前記第２ベルトが位置決めされるように前記第２モータを制御する位置決め部と、
   を備える請求項２から請求項５のいずれか一項に記載の電子部品実装装置。
7. 前記第１吸着ユニットは、前記第１軸方向において前記第２吸着ユニットの両側に配置される、
   請求項１から請求項６のいずれか一項に記載の電子部品実装装置。
8. 複数の前記第１吸着ユニットで複数の第１電子部品が前記基板に実装される前又は実装された後に、前記第２吸着ユニットで前記第１電子部品よりも外形寸法が大きい第２電子部品が前記基板に実装されるように前記第１吸着ユニット及び前記第２吸着ユニットを制御する制御部を備える、
   請求項１から請求項７のいずれか一項に記載の電子部品実装装置。
9. 前記制御部は、複数の前記第１吸着ユニット及び前記第２吸着ユニットで前記第１電子部品が前記基板に実装されるように前記第１吸着ユニット及び前記第２吸着ユニットを制御する、
   請求項８に記載の電子部品実装装置。

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