JP5656688B2 - 透明板状物のエッジ検出装置及び研削装置 - Google Patents
透明板状物のエッジ検出装置及び研削装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5656688B2 JP5656688B2 JP2011043868A JP2011043868A JP5656688B2 JP 5656688 B2 JP5656688 B2 JP 5656688B2 JP 2011043868 A JP2011043868 A JP 2011043868A JP 2011043868 A JP2011043868 A JP 2011043868A JP 5656688 B2 JP5656688 B2 JP 5656688B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- transparent plate
- edge detection
- chuck table
- grinding
- detection device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000003708 edge detection Methods 0.000 title claims description 39
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 15
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 7
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 5
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 88
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 description 70
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 description 70
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 5
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 5
- 230000001788 irregular Effects 0.000 description 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 2
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
Images
Description
10 粗研削ユニット
11 サファイアウエーハ
15 オリエンテーションフラット
28 仕上げ研削ユニット
44 ターンテーブル
46 チャックテーブル
46a 保持面
47 切欠き
55 エッジ検出装置
56 支持台
58 マスク
59 開口
60 カメラ
66 光源
Claims (2)
- 第1面及び該第1面と反対側の第2面を有する透明板状物のエッジを検出するエッジ検出装置であって、
透明板状物より小さい支持面を有し該支持面で透明板状物の該第1面側を支持する支持台と、
該支持面より下方に配設されて該支持台で支持された透明板状物の該第1面に向かって光を照射する光源と、
該光源と該支持面との間に配設されて該光源から透明板状物の外周エッジに照射される光を遮光するとともに、該支持台を囲繞する透明板状物のサイズより小さい開口を備え、該開口を通して該光源から照射された光の一部を透明板状物に照射するマスク部と、
該支持面に対面して配設されて該光源からの光が照射された透明板状物の第2面側を撮像する撮像手段と、
該撮像手段で撮像された撮像画像に基づいて透明板状物の外周エッジを検出するエッジ検出部を有する制御手段と、
を具備したことを特徴とする透明板状物のエッジ検出装置。 - 請求項1記載のエッジ検出装置を備えた研削装置であって、
透明板状物を吸引保持する保持面を有するチャックテーブルと、
該チャックテーブルに対面して配設されて該チャックテーブルで保持された透明板状物を研削する研削砥石が環状に配設された研削ホイールを有する研削手段と、
該エッジ検出装置で検出した透明板状物の外形に基づいて、該エッジ検出装置の該支持台上での透明板状物の姿勢を補正する姿勢補正手段と、
該エッジ検出装置の該支持台で支持された透明板状物を搬送して該チャックテーブル上に載置する搬送手段とを具備し、
該チャックテーブルの該保持面は透明板状物と同形に形成されており、
該姿勢補正手段で姿勢が補正された透明板状物を該搬送手段で搬送して該保持面の形状に対応させてチャックテーブル上に載置することを特徴とする研削装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011043868A JP5656688B2 (ja) | 2011-03-01 | 2011-03-01 | 透明板状物のエッジ検出装置及び研削装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011043868A JP5656688B2 (ja) | 2011-03-01 | 2011-03-01 | 透明板状物のエッジ検出装置及び研削装置 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012179676A JP2012179676A (ja) | 2012-09-20 |
JP2012179676A5 JP2012179676A5 (ja) | 2014-03-27 |
JP5656688B2 true JP5656688B2 (ja) | 2015-01-21 |
Family
ID=47011351
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011043868A Active JP5656688B2 (ja) | 2011-03-01 | 2011-03-01 | 透明板状物のエッジ検出装置及び研削装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5656688B2 (ja) |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
NO152065C (no) * | 1983-02-24 | 1985-07-24 | Tomra Systems As | Fremgangsmaate for konturgjenkjenning av helt eller delvis transparente gjenstander, f.eks. flasker |
JPS6222576U (ja) * | 1985-07-26 | 1987-02-10 | ||
JP5117686B2 (ja) * | 2006-05-29 | 2013-01-16 | 株式会社ディスコ | 研削装置 |
GB0818625D0 (en) * | 2008-10-10 | 2008-11-19 | Renishaw Plc | Backlit vision machine |
-
2011
- 2011-03-01 JP JP2011043868A patent/JP5656688B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2012179676A (ja) | 2012-09-20 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5324231B2 (ja) | 半導体ウエハのアライメント装置 | |
JP2009123790A (ja) | 研削装置 | |
JP2010186863A (ja) | 位置合わせ機構、加工装置および位置合わせ方法 | |
TWI809228B (zh) | 切割裝置及使用切割裝置的晶圓加工方法 | |
JP2008203280A (ja) | 欠陥検査装置 | |
JP6230934B2 (ja) | 切削装置 | |
TWI751354B (zh) | 切割裝置及晶圓的加工方法 | |
TWI741151B (zh) | 工件的檢查方法、工件的檢查裝置及加工裝置 | |
JP5930519B2 (ja) | 加工装置 | |
JP2014038929A (ja) | インラインシステム | |
JP6223862B2 (ja) | 切削装置 | |
JP2014154708A (ja) | ウエーハの割れ検出方法及びウエーハの割れ検出装置 | |
JP5656688B2 (ja) | 透明板状物のエッジ検出装置及び研削装置 | |
TWI760551B (zh) | 研削方法 | |
JP2009302369A (ja) | 板状物の加工方法及び加工装置 | |
TW201615345A (zh) | 被加工物之磨削方法 | |
JP6817761B2 (ja) | ウエーハの分割方法 | |
JP2009246027A (ja) | ウェーハの位置決め検出装置および位置決め方法 | |
JP6574373B2 (ja) | 円板状ワークの研削方法 | |
CN113199353A (zh) | 加工装置 | |
JP2015226043A (ja) | ウェーハid読み取り装置 | |
JP5473715B2 (ja) | ウエーハ搬送機構の調整方法 | |
JP6192527B2 (ja) | 研削装置 | |
TWI720254B (zh) | 磨削裝置 | |
JP2021177504A (ja) | 搬送装置および加工装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140210 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20140219 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20141120 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20141125 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20141125 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5656688 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |