JPWO2012165142A1 - アライメント装置およびアライメント方法 - Google Patents
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Abstract
Description
11−基板
12−ダイシングテープ(フィルム)
13−ダイシングフレーム
50−ロボットアーム
100−アライメント装置
101−筐体
102−ブリッジ
110−スピンチャック(吸着回転手段)
111−スピンチャック位置調整部
120−撮像部
130−支持部(支持手段)
133−ガス供給部
150−主制御部
151−ガス供給制御部
152−昇降ステージ制御部
154−スピンチャック制御部
156−画像認識部
Claims (5)
- アライメント対象物を吸着して回転する吸着回転手段と、
前記吸着回転手段が吸着している位置とは異なる位置において不活性ガスを噴出し、回転する前記アライメント対象物を噴出される前記不活性ガスにより支持する支持手段と、を備えるアライメント装置。 - 前記支持手段をアライメント対象物に対して離接する方向に移動させる昇降手段を備えている請求項1に記載のアライメント装置。
- 前記アライメント対象物は基板が当該基板よりも大きいフィルムに貼付された構成を有しており、前記支持手段は、前記フィルムにおける基板が貼付されていない部分を少なくとも支持するようになっている請求項1または2に記載のアライメント装置。
- 前記アライメント対象物の位置を検出する位置検出手段を備えている請求項1または2に記載のアライメント装置。
- アライメント対象物を吸着回転手段により吸着させる吸着工程と、
前記吸着回転手段を回転させることにより、前記アライメント対象物を回転させる回転工程と、
回転する前記アライメント対象物の位置を検出する位置検出工程と、
前記アライメント対象物を移動させる位置調整工程と、を含むアライメント方法であって、
前記回転工程では、前記吸着回転手段が吸着している位置とは異なる位置において不活性ガスを噴出し、前記アライメント対象物を噴出される不活性ガスにより支持することを特徴とするアライメント方法。
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