JP2006332460A - ウェーハの搬送装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ウェーハを把持するウェーハ把持部41と、前記ウェーハ把持部41を支持するアーム部40と、機台1とを有し、前記機台1は、機台座10と、前記アーム部40を固定支持し、かつ前記機台座10に対して回転自在なる旋回基軸3とを有し、前記ウェーハ把持部41は、前記ウェーハのノッチやオリフラを含む基準位置を検知する位置検知センサ5を有し、前記ウェーハが載置されるウェーハ置台11を前記旋回基軸3が回転する回転軸心上に位置するように前記機台1に設けた。
【選択図】図1
Description
Claims (12)
- ウェーハを把持するウェーハ把持部と、前記ウェーハ把持部を支持するアーム部と、前記アーム部を回転自在に支持する機台とを有し、
前記ウェーハ把持部は、前記ウェーハのノッチやオリフラを含む基準位置を検知する位置検知センサを有し、
前記ウェーハが載置されるウェーハ置台を前記アーム部が回転する回転軸心上に設けたことを特徴とするウェーハの搬送装置。 - 請求項1記載のウェーハの搬送装置において、
前記アーム部は、回動自在に連結された複数のアームを有することを特徴とするウェーハ搬送装置。 - 請求項1記載のウェーハの搬送装置において、
前記ウェーハ置台の周り回転する前記アーム部の回転可能な角度が、360度以上であることを特徴とするウェーハの搬送装置。 - 請求項1記載のウェーハの搬送装置において、
前記ウェーハ置台の上にウェーハ支持突起を複数設け、
前記ウェーハ把持部は、把持ハンドベースと、前記把持ハンドベースから延びる少なくとも二本の把持ハンドを有し、
前記二本の把持ハンドは、前記ウェーハ置台に置かれる前記ウェーハより上側に位置することを特徴とするウェーハの搬送装置。 - 請求項4記載のウェーハの搬送装置において、
前記二本の把持ハンド、および把持ハンドベースに前記ウェーハの外周部を把持したり、離したりする把持駒を設け、
前記把持駒が前記ウェーハの外周部を把持する際に把持駒の下端面が前記ウェーハ置台に接触しないように前記ウェーハ支持突起の高さを規定したことを特徴とするウェーハの搬送装置。 - ウェーハを把持するウェーハ把持部と、前記ウェーハ把持部を支持するアーム部と、機台とを有し、
前記機台は、機台座と、前記アーム部を固定支持し、かつ前記機台座に対して回転自在なる旋回基軸とを有し、
前記ウェーハ把持部は、前記ウェーハのノッチやオリフラを含む基準位置を検知する位置検知センサを有し、
前記ウェーハが載置されるウェーハ置台を前記旋回基軸が回転する回転軸心上に位置するように前記機台に設けたことを特徴とするウェーハの搬送装置。 - 請求項6記載のウェーハの搬送装置において、
前記機台は、前記旋回基軸を回転自在に、かつ昇降自在に支持する旋回基軸受と、前記ウェーハ置台を支持する置台支持ロッドを有することを特徴とするウェーハの搬送装置。 - 請求項6記載のウェーハの搬送装置において、
前記ウェーハ置台が前記旋回基軸の内側に位置することを特徴とするウェーハの搬送装置。 - ウェーハを把持するウェーハ把持部と、前記ウェーハ把持部を支持するアーム部と、前記アーム部を回転自在に支持する機台とを有し、
前記ウェーハ把持部は、前記ウェーハのノッチやオリフラを含む基準位置を検知する位置検知センサを有し、
前記ウェーハが載置されるウェーハ置台を前記アーム部の回転軸心上に設け、
前記ウェーハ置台に前記ウェーハを置いたら、前記ウェーハ把持部をウェーハから離し、前記ウェーハ把持部を前記ウェーハの周りに回して前記基準位置を前記位置検知センサで検知することを特徴とするウェーハの基準位置検知方法。 - 請求項9に記載されたウェーハの基準位置検知方法において、
前記ウェーハの周りに回りながら前記位置検知センサは、前記ウェーハの側面または上面に形成された前記基準位置を検知することを特徴とするウェーハの基準位置検知方法。 - ウェーハを把持するウェーハ把持部と、前記ウェーハ把持部を支持するアーム部と、前記アーム部を回転自在に支持する機台とを有し、
前記ウェーハ把持部は、前記ウェーハのノッチやオリフラを含む基準位置を検知する位置検知センサを有し、
前記ウェーハが載置されるウェーハ置台を前記アーム部の回転軸心上に設け、
前記ウェーハ置台に前記ウェーハを置いたら、前記ウェーハ把持部をウェーハから離し、前記ウェーハ把持部をウェーハの周りに回して前記基準位置を前記位置検知センサで検知し、
前記基準位置の検知後に、前記ウェーハを前記ウェーハ把持部で再び把持して搬送先に搬送することを特徴とするウェーハの搬送方法。 - 請求項11に記載されたウェーハの搬送方法において、
前記ウェーハ把持部が前記搬送先の搬送位置に前記ウェーハを搬入する際の搬送位置に対するウェーハ把持部の搬入角度が一定であることを特徴とするウェーハの搬送方法。
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