JP2006332460A5 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
JP2006332460A5
JP2006332460A5 JP2005156151A JP2005156151A JP2006332460A5 JP 2006332460 A5 JP2006332460 A5 JP 2006332460A5 JP 2005156151 A JP2005156151 A JP 2005156151A JP 2005156151 A JP2005156151 A JP 2005156151A JP 2006332460 A5 JP2006332460 A5 JP 2006332460A5
Authority
JP
Japan
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2005156151A
Other versions
JP2006332460A (ja
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP2005156151A priority Critical patent/JP2006332460A/ja
Priority claimed from JP2005156151A external-priority patent/JP2006332460A/ja
Publication of JP2006332460A publication Critical patent/JP2006332460A/ja
Publication of JP2006332460A5 publication Critical patent/JP2006332460A5/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

JP2005156151A 2005-05-27 2005-05-27 ウェーハの搬送装置 Pending JP2006332460A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005156151A JP2006332460A (ja) 2005-05-27 2005-05-27 ウェーハの搬送装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005156151A JP2006332460A (ja) 2005-05-27 2005-05-27 ウェーハの搬送装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2006332460A JP2006332460A (ja) 2006-12-07
JP2006332460A5 true JP2006332460A5 (ja) 2007-09-06

Family

ID=37553810

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2005156151A Pending JP2006332460A (ja) 2005-05-27 2005-05-27 ウェーハの搬送装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2006332460A (ja)

Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5800447B2 (ja) * 2007-03-09 2015-10-28 アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドApplied Materials,Incorporated 基板移送用高温抗垂下エンドエフェクター
JP5226443B2 (ja) * 2008-09-22 2013-07-03 株式会社ウインズ 半導体ウエーハ搬送用ハンド
TWI479596B (zh) * 2010-03-15 2015-04-01 Tokyo Electron Ltd 半導體晶圓搬運用手
KR101749075B1 (ko) * 2010-03-19 2017-06-20 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 반도체 웨이퍼 반송용 핸드
CN102189542B (zh) * 2010-03-19 2014-01-22 东京毅力科创株式会社 半导体晶圆输送用机械手
CN107324041B (zh) * 2016-04-29 2019-11-26 上海微电子装备(集团)股份有限公司 用于片盒夹持的机械手及自动片盒搬运装置
JP6309047B2 (ja) * 2016-07-01 2018-04-11 キヤノントッキ株式会社 基板挟持装置、成膜装置及び成膜方法
US9919430B1 (en) * 2016-12-06 2018-03-20 Jabil Inc. Apparatus, system and method for providing an end effector
JP7046531B2 (ja) * 2017-09-04 2022-04-04 キヤノン株式会社 ロボットの制御方法、ロボットの制御装置、情報処理方法、情報処理装置、教示方法、教示装置、ロボットの制御方法を用いた物品の製造方法、プログラムおよび記録媒体
JP2023161815A (ja) * 2022-04-26 2023-11-08 川崎重工業株式会社 基板搬送ロボットシステムおよび基板搬送ロボット

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10335410A (ja) * 1997-05-29 1998-12-18 Sony Corp ウエハ搬送装置及びウエハアライメント方法
JP2003142553A (ja) * 2001-11-07 2003-05-16 Tokyo Seimitsu Co Ltd ウエハ搬送装置、ウエハ搬送方法及びウエハ載置台
JP2003218183A (ja) * 2002-01-24 2003-07-31 Kondo Seisakusho:Kk ウエハ搬送装置
JP2003338532A (ja) * 2002-05-21 2003-11-28 Hirata Corp 基板ハンドリング装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
BE2012C042I2 (ja)
BRPI0601358B8 (pt) Aplicador de clipe cirúrgico
BRPI0601402B8 (pt) Aplicador de grampos cirúrgicos
BR122017004707A2 (ja)
BRPI0609157A8 (ja)
BRPI0608519A2 (ja)
BR122020005056A2 (ja)
AP2140A (ja)
BR122016029989A2 (ja)
BRPI0604219A (ja)
BRPI0618215B8 (ja)
BY2237U (ja)
CN105122969C (ja)
CN300725994S (zh) 鞋底
CN300726001S (zh) 鞋帮
CN300726699S (zh) 调料瓶套装(d)
CN300726698S (zh) 调料瓶套装(e)
CN300726697S (zh) 调料瓶套装(b)
CN300725992S (zh) 鞋底
CN300725990S (zh) 鞋帮
CN300725991S (zh) 鞋帮
CN300726695S (zh) 调料瓶套装(a)
CN300725993S (zh) 鞋帮
CN300726592S (zh) 碗用具(双壁式4)
CN300725995S (zh) 鞋帮