WO2006098443A1 - 顕微鏡画像撮像装置 - Google Patents

顕微鏡画像撮像装置 Download PDF

Info

Publication number
WO2006098443A1
WO2006098443A1 PCT/JP2006/305434 JP2006305434W WO2006098443A1 WO 2006098443 A1 WO2006098443 A1 WO 2006098443A1 JP 2006305434 W JP2006305434 W JP 2006305434W WO 2006098443 A1 WO2006098443 A1 WO 2006098443A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
sample
imaging
objective lens
imaging unit
stage
Prior art date
Application number
PCT/JP2006/305434
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
Shigeru Uchiyama
Takayuki Inoue
Masatoshi Okugawa
Original Assignee
Hamamatsu Photonics K.K.
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hamamatsu Photonics K.K. filed Critical Hamamatsu Photonics K.K.
Priority to EP06729423.1A priority Critical patent/EP1865354B1/en
Priority to US11/886,255 priority patent/US8422127B2/en
Priority to JP2007508232A priority patent/JP4871264B2/ja
Publication of WO2006098443A1 publication Critical patent/WO2006098443A1/ja

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B21/00—Microscopes
    • G02B21/24—Base structure
    • G02B21/241—Devices for focusing
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B21/00—Microscopes
    • G02B21/24—Base structure
    • G02B21/26—Stages; Adjusting means therefor
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B21/00—Microscopes
    • G02B21/36—Microscopes arranged for photographic purposes or projection purposes or digital imaging or video purposes including associated control and data processing arrangements
    • G02B21/365—Control or image processing arrangements for digital or video microscopes

Definitions

  • the present invention relates to a microscope image capturing apparatus that sequentially captures a local microscope image of a sample surface while scanning the sample surface mounted on the sample mounting stage in a predetermined direction.
  • a microscope image capturing apparatus including a sample mounting stage that is movable along a plane (scan plane) orthogonal to the optical axis of an objective lens.
  • a microscope image capturing apparatus sequentially captures a local microscope image of the sample surface while moving the sample mounting stage on which the sample is mounted along the scan plane.
  • the focal point of the imaging unit is finely adjusted to sequentially match a desired imaging position on the sample surface in accordance with the movement of the sample mounting stage.
  • a focusing device described in Patent Document 1 As a focusing device applicable to the microscope image pickup device having the above-described structure, for example, a focusing device described in Patent Document 1 is known.
  • the focusing apparatus described in Patent Document 1 obtains mathematical information of a virtual plane corresponding to the sample surface in advance from coordinate information of arbitrary three points X, ⁇ , and ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ on the sample surface, and based on the mathematical information, Obtain the ⁇ coordinate information of the observation point with the corrected tilt component of the sample surface, and focus the observation point by driving the objective lens in the ⁇ axis direction based on this ⁇ coordinate information.
  • Patent Document 1 Japanese Patent Laid-Open No. 9-304703
  • the objective lens drive system composed of a stepping motor has lost motion due to errors during forward and reverse rotation of the motor, gear backlash, and errors due to the torsional rigidity of the ball screw mechanism. Therefore, if the objective lens is driven in the reverse direction (minus side) immediately after being driven in one direction (plus side) along the Z-axis direction, or if it is driven to the plus side immediately after being driven to the minus side, the objective lens It becomes impossible to follow the lens calibration time, and it is impossible to reliably focus the imaging unit such as a CCD camera at each imaging position set in the imaging target area.
  • the imaging unit such as a CCD camera
  • the present invention has been made to solve the above-described problems, and the imageable area of the imaging unit is set in a predetermined direction within the imaging target area where the sample exists, regardless of the type of the focus actuator.
  • An object of the present invention is to provide a microscope image pickup apparatus having a structure capable of reliably focusing an image pickup unit on an image pickup position set in the image pickup target area.
  • the microscopic image capturing apparatus relates to a microscopic image capturing apparatus that sequentially captures a local microscopic image of a sample surface while scanning an imageable area of an image capturing unit in a predetermined direction.
  • an imaging unit such as a CCD camera, an objective lens, a first drive mechanism, a second drive mechanism, and a control unit.
  • the sample placement stage has a sample placement surface on which a sample for microscopic observation can be placed.
  • the imaging unit is arranged so as to face the sample placement surface, and a part of the sample existing in the imageable area (the region where the imaging unit can image at a time) in the imaging target area on the sample placement surface. Take images sequentially.
  • the objective lens is arranged between the imaging unit and the sample placement surface, and forms an image of the imageable area in the imaging target area (a local microscope image of the sample that is the imaging target of the imaging unit) on the imaging unit.
  • the first drive mechanism moves at least one of the sample mounting stage and the objective lens along a scan plane perpendicular to the optical axis of the objective lens.
  • the second drive mechanism moves at least one of the sample placement stage and the objective lens along the optical axis direction of the objective lens.
  • the control unit controls the first and second drive mechanisms to adjust the focus position of the imaging unit in the imaging target area while relatively moving the imageable area of the imaging unit along a predetermined scan direction. Move.
  • the sample placement surface of the sample placement stage is inclined with respect to the scan plane. More specifically, the sample mounting surface of the sample mounting stage has an inclination such that a straight line on the sample mounting surface that intersects the optical axis of the objective lens intersects the scan plane at a predetermined angle.
  • the microscope image pickup apparatus has an image pickup unit with respect to an image pickup target area as the sample mounting stage and the objective lens relatively move in a predetermined scan direction.
  • the imageable area is configured to move in the predetermined scanning direction.
  • the control unit moves the focus position of the image pickup unit along the optical axis direction of the objective lens while the imageable area of the image pickup unit relatively moves in the predetermined scan direction within the image pickup target area.
  • the first drive mechanism is controlled so that it is monotonically adjusted only in the direction.
  • This “monotonous adjustment of the focal position” includes a state where the focal position is kept constant. Therefore, the direction in which the objective lens is finely adjusted to the focal position of the imaging unit is either a minus direction that makes the focal position shallow relative to the sample surface or a positive direction that deepens the focal position relative to the sample surface.
  • the sample mounting surface of the sample mounting stage is mounted with a slide glass in which a sample, for example, a tissue piece is arranged on the sample mounting surface. It is preferable that the surface facing the imaging unit through the objective lens of the slide glass has an inclination to be inclined with respect to the scan plane. Since the volume and shape of the sample placed on the sample placement surface are not constant, the inclination of the surface of the cover glass covering the tissue piece may not depend on the inclination of the sample placement surface. In this case, there is a possibility that the direction in which the focus position of the imaging unit is finely adjusted becomes unstable in only one direction. Therefore, the inclination angle ⁇ of the sample mounting surface with respect to the scan surface is at least the extent that the sample surface on the sample mounting surface matches the inclination direction of the sample mounting surface (the inclination angles may not necessarily match). )) Is required.
  • the focal length of the image pickup unit is determined by the sample placement. It changes monotonously according to the inclination of the surface (Note that this monotonous change includes a state in which the focal length of the imaging unit is maintained). As a result, the direction in which the position of the objective lens is finely adjusted along the optical axis direction of the objective lens is limited to a certain direction.
  • the imaging unit can be accurately focused on each imaging position set in the imaging target area (a clear local microscope image of a specific part on the sample surface can be obtained).
  • the sample placement surface of the sample placement stage passes through the objective lens of the sample.
  • Surface force facing the imaging unit Slope enough to tilt with respect to the S-scan plane.
  • the direction in which the position of the objective lens is finely adjusted along the optical axis direction of the objective lens can be limited to a certain direction regardless of the volume and shape of the sample.
  • the microscope image pickup apparatus ensures that the lost motion is generated in the drive system by the stepping motor even when the stepping motor is adopted as the focus actuator. Therefore, the imaging unit can be accurately focused on each imaging position set in the imaging target area (a clear local microscopic image of a specific part on the sample surface can be obtained).
  • FIG. 1 is a perspective view showing a schematic configuration of an embodiment of a microscope image pickup apparatus according to the present invention.
  • FIG. 2 is a perspective view showing the configuration of the slide glass storage unit (including the cassette holder) shown in FIG. 1, and shows a state in which the holder part of the cassette holder is inclined.
  • FIG. 3 is a perspective view for explaining an operation of mounting the slide glass cassette to the cassette portion shown in FIG.
  • FIG. 4 is a partial perspective view showing a configuration of an X-axis stage of the slide glass transfer unit shown in FIG.
  • FIG. 5 is a plan view of the slide glass mounting portion shown in FIG. 1 in a macro observation position.
  • FIG. 6 is a plan view of the slide glass mounting portion shown in Fig. 1 in a scan position.
  • FIG. 7 is a schematic diagram showing a configuration of the slide glass imaging unit shown in FIG.
  • FIG. 8 is the first example where the imaged area force of the sample specimen in the slide glass shown in Fig. 7 is divided into multiple imaging units each having the same size as the imageable area of the imaging unit. It is a schematic diagram which shows.
  • FIG. 9 shows the focal position of the imaging unit for the imaging units arranged in a line on the sample mounting surface inclined as shown in FIG. 7 along the scanning direction shown in FIG. It is a graph.
  • FIG. 10 is a graph showing, as a comparative example, the focal position of the imaging unit with respect to the imaging units arranged in a line on the horizontal sample placement surface, along the scanning direction shown in FIG.
  • FIG. 11 is a second example in which the imaging target area force of the sample specimen in the slide glass shown in FIG. 7 is divided into a plurality of imaging units each having a size larger than the imageable area of the imaging unit. It is a schematic diagram shown.
  • FIG. 12 is a diagram for explaining another method of determining the focal position in the imaging target area.
  • FIG. 1 is a perspective view showing a schematic configuration of an embodiment of a microscope image pickup apparatus according to the present invention.
  • the microscopic image capturing apparatus shown in FIG. 1 is an apparatus that captures a microscopic image of a sample specimen, for example, a slide glass (preparation) in which a tissue piece of a pathological tissue specimen is sealed.
  • This microscope image pickup apparatus includes a slide glass storage unit 1 for storing a plurality of slide glasses sealed with sample samples, and a slide glass transfer unit 2 for taking out the slide glasses one by one from the slide glass storage unit 1 and sequentially transporting them.
  • the slide glass transported by the slide glass transport unit 2 is placed, the slide glass placing unit 3 that moves the slide glass in a predetermined direction, and the microscopic image of the sample sample on the slide glass placing unit 3
  • At least a slide glass imaging unit 4 is provided.
  • the slide glass storage unit 1 includes a support frame 11, a holder unit 12, and a slide glass cassette 13, as shown in FIG.
  • the holder 12 is held by the support frame 11 so as to be rotatable about the horizontal axis AX in the direction indicated by the arrow S1, and the support frame 11 has a slide glass outlet shown in FIG.
  • the slide glass cassette 13 is erected so that the holder 12 is held with the slide glass cassette 13 tilted so as to face upward (first posture) and the slide glass outlet is positioned vertically.
  • Holder in the second posture Hold part 12 Between these first and second postures, the holder portion 12 rotates at a constant rotational speed about the horizontal axis AX.
  • a plurality of slide glasses SG are stacked on the slide glass cassette 13 having a vertically long box shape so that it can be taken out from the front opening.
  • the slide glass transport unit 2 is disposed on the near side of the slide glass storage unit 1 and extends in the left and right Y-axis directions, and the Y-axis stage 21 A Z-axis stage 22 whose position is controlled in the left and right Y-axis directions and an X-axis stage 23 whose position is controlled in the upper and lower Z-axis directions by the Z-axis stage 22.
  • the X-axis stage 23 is driven back and forth in the front and rear X-axis directions so as to pull out the slide glass SG stored in each slide glass cassette 13 of the slide glass storage unit 1 one by one.
  • the slide glass placing portion 3 includes a step feed stage 32 and a scan feed stage 33.
  • the position of the step feed stage 32 is controlled in the X-axis direction via a ball screw mechanism by a stepping motor 31A attached to the base stage 31.
  • the position of the scan feed stage 33 is controlled in the Y-axis direction by a stepping motor 32A attached to the step feed stage 32 via a ball screw mechanism.
  • the scan feed stage 33 functions as a sample placement stage.
  • the scan feed stage 33 as the sample placement stage is formed with a notch through which the drawer node 23A (see Fig. 4) of the slide glass transport section 2 on which the slide glass SG is placed can pass vertically. ing.
  • the parts on both sides of the notch support the left and right side edges of the slide glass SG wider than the drawer node 23A, thereby forming a sample placement surface on which the slide glass SG is placed.
  • a positioning block 34 for receiving, for example, the left side of the slide glass SG placed on the sample placement surface by the drawer hand 23A is fixed.
  • a slide glass pressing arm 35 for holding the slide glass SG in a predetermined position by pressing the right side of the slide glass SG toward the positioning block 34 is provided via a pin 36.
  • the slide glass holding arm 35 includes a passive portion 35A extending toward the left side of the slide glass SG and a pushing portion 35B extending toward the right side of the slide glass SG. It has a planar shape.
  • the slide glass holding arm 35 is spring-biased so as to rotate counterclockwise about the pin 36.
  • the passive portion 35A is a contact member that is a stationary member on the base stage 31 side.
  • the pin 33C rotates around the clockwise direction.
  • the pushing portion 35B also separates the right side force of the slide glass SG.
  • the passive portion 35A moves away from the abutting plate 37, thereby moving the pin 33C. It rotates counterclockwise around the center.
  • the pushing portion 35B functions to press the right side of the slide glass SG toward the positioning block 34 and hold the slide glass SG in a predetermined position.
  • the slide glass imaging unit 4 shown in FIG. 7 As shown schematically in FIG. 7, the slide glass imaging unit 4 shown in FIG. 7 is shown schematically in FIG. 7, the slide glass imaging unit 4 shown in FIG. 7 is shown schematically in FIG. 7
  • the scan light source 41 irradiates the slide glass SG placed on the sample placement surface 33A of the scan feed stage 33 (see FIG. 6) with imaging light with a downward force.
  • the optical system 42 includes an objective lens 42A into which imaging light transmitted through the slide glass SG is incident.
  • the CCD camera 43 receives imaging light through the optical system 42.
  • the stage XY-axis drive mechanism 38 moves the scan feed stage 33 along a scan plane orthogonal to the optical axis of the objective lens 42A.
  • the focus Z-axis drive mechanism 44 adjusts the focal position of the CCD camera 43 with respect to the slide glass SG by controlling the position of the objective lens 42A of the optical system 42 along with the CCD camera 43 in the optical axis direction of the Z-axis. I have.
  • the CCD camera 43 has a configuration capable of capturing a two-dimensional image.
  • the focus Z-axis drive mechanism 44 is highly versatile and has a structure in which a ball screw mechanism is combined with a stepping motor. And these CCD camera 43 and Z axis drive for focus
  • the structure 44 is controlled by the control device 5 together with the stage XY axis drive mechanism 38 including the stepping motors 31 A and 32A for driving the above-described scan feed stage 33 (see FIG. 6) in the X axis direction and the axial direction. Be controlled.
  • the control device 5 is configured using, for example, hardware and software of a personal computer, and includes an input / output interface lZO, an AZD converter, a ROM (Read Only Memory) storing programs and data, input data, and the like.
  • RAM Random Access Memory
  • CPU Central Processing Unit
  • the control device 5 controls the XY axis drive mechanism 38 for the stage so as to move the scan feed stage 33 on which the slide glass SG is placed in the scan direction in the Y-axis direction and the step feed direction in the X-axis direction. .
  • the position of the objective lens 42A is controlled in the optical axis direction of the Z axis so that the CCD camera 43 is sequentially focused on each imaging position set in the imaging target area including the sample specimen sealed on the slide glass SG. (Fine adjustment of the focus position of the CCD camera 43).
  • the control device 5 controls the CCD camera 43 so as to sequentially capture the local microscope images of the sample surface via the objective lens 42A.
  • the focusing Z-axis drive mechanism 44 has a structure in which a ball screw mechanism is combined with a stepping motor. Therefore, when the drive direction is reversed, errors in the forward / reverse rotation of the motor, gears There is a risk of lost motion due to backlash and errors due to the torsional rigidity of the ball screw mechanism. As a result, the objective lens 42A cannot follow the optical axis direction of the Z axis in real time, and the CCD camera 43 is sequentially placed in each part of the sample specimen sealed with the slide glass SG (where the imageable area of the CCD camera 43 is located). It is predicted that it will be difficult to focus.
  • the sample placement surface 33A of the scan feed stage 33 is tilted by a predetermined tilt angle ⁇ with respect to the scan plane perpendicular to the optical axis of the objective lens 42A.
  • the inclination of the sample mounting surface 33A is set to be larger than the inclination of the surface of the slide glass SG in which the sample specimen is sealed.
  • the imaging target area F including the sample specimen is, for example, a square having a side of 25 mm, and this imaging target area F is divided into a grid of 10 X 10 in length and width, so that one side is 2.5.
  • a first example is shown in which an imaging target area F is composed of mm square imaging units F00 to F99.
  • the vertical direction of the directional solid arrow from the imaging unit F00 to the imaging F09 indicates the scanning direction
  • the horizontal direction of the directional solid line arrow from the imaging unit F00 to the imaging unit F90 indicates the step feed direction.
  • the size of the imageable area of the CCD camera 43 is substantially the same as that of each imaging unit.
  • the symbol P indicates that the position of the center point P of each imaging unit is the CCD camera for each imaging unit.
  • the image of the imageable area formed on the CCD camera 43 via the optical system 42 is defined as a local microscope image. Therefore, in the case of the first example in FIG.
  • Each microscope image is an imaging unit.
  • the inclination of the sample placement surface 33A is set so as to incline along the scanning direction, for example, so that the scanning start position is high and the end position is low.
  • control device 5 acquires focal position data at the center point P of each of the imaging units F00 to F99 shown in FIG. 8, and stores this as a focus map.
  • the control device 5 outputs a control signal to the stage XY-axis drive mechanism 38, so that the imaging positions of the CCD force sensor 43 in the order of the imaging units FOO to F99 shown in FIG. Sequentially scan in the scan direction and step feed direction to match Move feed stage 33. That is, the scan feed stage 33 moves so that each of the imaging units FOO to F99 is sequentially positioned directly below the objective lens 42A.
  • the control device 5 acquires the focus data of the CCD camera 43 at the center point P of each of the imaging units FOO to F99 located immediately below the objective lens 42A. That is, the control device 5 outputs a control signal to the focus Z-axis drive mechanism 44, and the objective lens 42A is continuously moved along the Z-axis (in the optical axis direction of the objective lens 42A) before and after the focal position of the CCD camera 43. Move the target. At the same time, the control device 5 outputs a control signal to the CCD camera 43 and causes the CCD camera 43 to pick up a plurality of microscope images having different focal positions.
  • control device 5 compares and evaluates image characteristics such as contrast and brightness of a plurality of microscope images with different focal positions, and determines the focal position at which a clear image is obtained as the center point of each of the imaging units FOO to F99. It is acquired as the focus data of CCD camera 43 in P, and a focus map of imaging units FO 0 to F99 is created.
  • the control device 5 After creating the focus map of the imaging units FOO to F99, the control device 5 outputs a control signal to the stage XY axis drive mechanism 38, and each of the imaging units FOO to F99 sequentially captures images from the CCD camera 43.
  • the scan feed stage 33 is moved as shown in FIG. 8 so as to coincide with the possible area (by sequentially moving the scan feed stage 33 in the scan direction and step feed direction shown in FIG. Move so that the objective lens 42A is positioned directly above the imaging units FOO to F99).
  • the control device 5 outputs a control signal to the focus Z-axis drive mechanism 44, and moves the objective lens 42A in the Z-axis direction so as to coincide with the focal position of the CCD camera 43 stored in the focus map.
  • the control device 5 outputs a control signal to the CCD camera 43 at a predetermined focal position, and causes the CCD camera 43 to sequentially capture the local microscope images of the imaging units FOO to F99.
  • FIG. 9 is a graph in which the focal positions are connected along the scanning direction of an arbitrary row of the imaging target area F stored as data in the above-described focus map.
  • the oblique line indicated by the two-dot chain line indicates the sample mounting surface 33A (reference surface) having an inclination of, for example, 50 ⁇ m / 25 mm (200 ⁇ m / 100 mm) as described above.
  • the focal position of the CCD camera 43 along an arbitrary line of scan directions is gradually reduced stepwise between plus 100 ⁇ m and minus 100 ⁇ m.
  • the focus Z-axis drive mechanism 44 finely adjusts the objective lens 42A in the optical axis direction of the Z-axis so that the center of the CCD camera 43 is focused on the center P of each imaging unit. Which indicates that.
  • the focus Z-axis drive mechanism 44 is used even though the focus Z-axis drive mechanism 44 has a structure in which a ball screw mechanism is combined with a stepping motor. No lost motion occurs in 44.
  • the CCD camera 43 can be accurately focused on a part of the sample specimen that matches the imageable area via the objective lens 42A.
  • FIG. 10 is a graph showing, as a comparative example, the focal position of the imaging unit with respect to the local region arranged in a line on the horizontal sample placement surface along the scanning direction shown in FIG. It is.
  • the focal position of each imaging unit along an arbitrary row of scanning directions increases and decreases in a sawtooth shape between plus 20 ⁇ m and minus 20 ⁇ m.
  • Directional force shows that the direction changes in the negative direction and changes from the negative direction to the positive direction.
  • the microscope image pickup apparatus is not limited to the above-described embodiments.
  • the focus Z-axis drive mechanism 44 shown in FIG. 7 may control the position of the scan feed stage 33 in the Z-axis direction that matches the optical axis direction of the objective lens 42A.
  • an XY axis drive mechanism or an XYZ axis drive system may be provided in the optical system 42 and the CCD camera 43!
  • the CCD camera 43 shown in FIG. 7 may be a one-dimensional CCD camera that performs a one-dimensional image capturing operation.
  • a general line sensor or TDI sensor may be applied. That is, the imaging operation of a microscope image by an imaging unit such as a one-dimensional CCD camera is performed as follows.
  • FIG. 11 the area to be imaged including the entire sample sample in the slide glass shown in FIG.
  • FIG. 11 It is a schematic diagram which shows the 2nd example divided into the some imaging unit which is threshold size.
  • the imaging target area F is divided into a plurality of strip-shaped imaging units F1 to F9.
  • the imageable area of the one-dimensional CCD camera is an area whose longitudinal direction is the X-axis direction indicated by hatching in the imaging unit F1 in FIG.
  • the imageable area is moved in the scan direction (the negative direction of the Y axis), so that a plurality of local areas of the imageable area sequentially imaged and acquired are acquired.
  • An image of the imaging unit F1 image having a strip shape in which microscopic images are arranged in the Y-axis direction is obtained.
  • the strip-like image of the imaging unit F1 is one imaging unit in the second example of FIG. As shown in Fig. 11, multiple scans of the imageable area performed in the imaging unit F1 are performed while stepping along the longitudinal direction of the imaging target area F (the positive direction of the X axis). By repeating the process, strip images of the imaging units F1 to F9 are obtained. By combining the strip-like images of the imaging units F1 to F9 obtained in this way while being arranged in the X-axis direction, an entire sample image (microscopic image of the entire imaging target area F) is generated.
  • the force exemplified in the scan feed stage 33 having the sample placement surface 33A inclined with respect to the scan plane orthogonal to the optical axis of the objective lens 42A is not limited to this.
  • a commercially available scanning feed stage force may be fixed so as to be inclined with respect to the sample mounting surface force S scanning plane.
  • a tilt stage or a tilt stage that can change the tilt angle may be applied.
  • the inclination angle of the sample mounting surface with respect to the scan plane is set based on the focus map created for the sample placed in the saddle state.
  • FIG. 12 is a schematic diagram showing another example of a method for acquiring focus information for the entire imaging target area F of the sample.
  • the focus information acquisition method shown in FIG. 12 three focus measurement positions PF are set for the imaging target area F.
  • the focus measurement is performed by the above-described method for each of the three focus measurement positions PF, thereby obtaining the in-focus position. It is.
  • an in-focus position with respect to an arbitrary position in the imaging target area F is obtained by straight line interpolation from the in-focus positions obtained based on the three focus measurement positions PF.
  • focus information such as a focal point position with respect to each part of the imaging target area F can be efficiently acquired.
  • the focal position control is performed with higher accuracy. Is possible.
  • the microscope image pickup apparatus according to the present invention can be applied to an inspection apparatus such as cell analysis.

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Multimedia (AREA)
  • Computer Vision & Pattern Recognition (AREA)
  • Microscoopes, Condenser (AREA)
  • Lens Barrels (AREA)
  • Automatic Focus Adjustment (AREA)
  • Image Input (AREA)

Abstract

　この発明は、フォーカス用アクチュエータの種類によらず、試料が存在する撮像対象エリアにおいて撮像部の撮像可能エリアを所定方向にスキャンさせる際、該撮像対象エリア内に設定される各撮像位置に撮像部の焦点を確実に合わせていくことが可能な構造を備えた顕微鏡画像撮像装置に関する。当該顕微鏡画像撮像装置は、対物レンズの光軸に直交するスキャン平面に対して傾いた試料載置面を有する試料載置ステージを備える。このような試料載置面を有する試料載置ステージを、撮像部と試料載置面の光軸方向の距離が単調に変化するようにスキャン平面に沿って移動させることで、撮像部の焦点位置は該対物レンズの光軸方向に沿って一方向のみに調節されることになる。この場合、フォーカス用アクチュエータとしてステッピングモータが適用されたとしても、ステッピングモータによる駆動系でのロストモーションの発生が確実に防止され、撮像部の焦点を撮像対象エリア内に設定される各撮像位置に確実に合わせていくことが可能になる。

Description

明 細 書
顕微鏡画像撮像装置
技術分野
[0001] この発明は、試料載置ステージに載置された試料表面を所定方向にスキャンしな がら該試料表面の局所顕微鏡画像を順次撮像していく顕微鏡画像撮像装置に関す るものである。
背景技術
[0002] 従来から、対物レンズの光軸に直交する平面 (スキャン平面）に沿って移動可能な 試料載置ステージを備えた顕微鏡画像撮像装置が知られて ヽる。このような顕微鏡 画像撮像装置は、試料が載置された試料載置ステージをスキャン平面に沿って移動 させながら該試料表面の局所顕微鏡画像を順次撮像していく。この際、撮像部の焦 点は、試料載置ステージの移動に合わせて試料表面における所望の撮像位置に逐 次一致するよう微調整される。
[0003] また、上述のような構造を有する顕微鏡画像撮像装置に適用可能なフォーカシン グ装置としては、例えば特許文献 1に記載されたフォーカシング装置が知られて 、る 。この特許文献 1に記載されたフォーカシング装置は、試料表面における任意の 3点 X、 Υ、 Ζの座標情報から予め該試料表面に相当する仮想平面の数式情報を求め、 この数式情報に基づいて該試料面の傾き成分が補正された観察点の Ζ座標情報を 求め、そして、この Ζ座標情報に基づいて対物レンズを Ζ軸方向に駆動することにより 観察点に焦点を合わせる。
特許文献 1：特開平 9— 304703号公報
発明の開示
発明が解決しょうとする課題
[0004] 発明者らは、従来の顕微鏡画像撮像装置について検討した結果、以下のような課 題を発見した。具体的には、上記特許文献 1に記載されたような従来の顕微鏡画像 撮像装置において、対物レンズを Ζ軸方向（対物レンズの光軸方向）に駆動するフォ 一力ス用ァクチユエータとして例えばステッピングモータなどが採用された場合、以下 のような課題が発生する。
[0005] すなわち、ステッピングモータにより構成された対物レンズの駆動系には、モータの 正逆回転時の誤差、ギヤのバックラッシュ、ボールネジ機構の捩じれ剛性による誤差 などに起因するロストモーションがある。そのため、対物レンズを Z軸方向に沿って一 方向（プラス側)へ駆動した直後に逆方向（マイナス側）に駆動する場合、あるいは、 マイナス側へ駆動した直後にプラス側に駆動する場合、対物レンズカ^アルタイムに 追従できなくなり、撮像対象エリア内に設定される各撮像位置に CCDカメラなどの撮 像部の焦点を確実に合わせることができなくなる。
[0006] この発明は、上述のような課題を解決するためになされたものであり、フォーカス用 ァクチユエータの種類によらず、試料が存在する撮像対象エリア内において撮像部 の撮像可能エリアを所定方向にスキャンさせる際、該撮像対象エリア内に設定される 撮像位置に撮像部の焦点を確実に合わせていくことが可能な構造を備えた顕微鏡 画像撮像装置を提供することを目的として ヽる。
課題を解決するための手段
[0007] この発明に係る顕微鏡画像撮像装置は、撮像部の撮像可能エリアを所定方向にス キャンしながら試料表面の局所顕微鏡画像を順次撮像していく顕微鏡画像撮像装 置に関し、試料載置ステージと、 CCDカメラなどの撮像部と、対物レンズと、第 1駆動 機構と、第 2駆動機構と、そして、制御部を備える。試料載置ステージは、顕微鏡観 察用試料が載置可能な試料載置面を有する。撮像部は、試料載置面に対面するよう 配置され、該試料載置面上の撮像対象エリアのうち撮像可能エリア (撮像部が一度 に撮像可能な領域）内に存在する試料の一部を順次撮像する。対物レンズは、撮像 部と試料載置面との間に配置され、撮像対象エリアのうち撮像可能エリアの像 (撮像 部の撮像対象となった試料の局所顕微鏡画像)を撮像部に結像する。第 1駆動機構 は、試料載置ステージ及び対物レンズの少なくとも 、ずれかを該対物レンズの光軸 に直交するスキャン平面に沿って移動させる。これにより、第 1駆動機構は、試料載 置ステージ及び対物レンズの相対位置を調節する。第 2駆動機構は、試料載置ステ ージ及び対物レンズの少なくとも 、ずれかを該対物レンズの光軸方向に沿って移動 させる。これにより、第 2駆動機構は、試料載置ステージ及び対物レンズの相対位置 を調節する。そして、制御部は、第 1及び第 2駆動機構を制御することで、撮像対象 エリアにおける撮像部の焦点位置を調節しながら該撮像部の撮像可能エリアを所定 のスキャン方向に沿って相対的に移動させる。
[0008] 特に、この発明に係る顕微鏡画像撮像装置にぉ ヽて、試料載置ステージの試料載 置面は、スキャン平面に対して傾いている。より具体的には、試料載置ステージの試 料載置面は、対物レンズの光軸と交差する該試料載置面上の直線がスキャン平面と 所定角度で交差する程度の傾きを有する。
[0009] 上述のように、この発明に係る顕微鏡画像撮像装置は、試料載置ステージと対物レ ンズとが所定のスキャン方向に相対的に移動するのに伴い、撮像対象エリアに対し て撮像部の撮像可能エリアが該所定のスキャン方向に移動して 、くよう構成されて ヽ る。この際、制御部は、撮像対象エリア内において撮像部の撮像可能エリアが所定 のスキャン方向に相対的に移動している間、該撮像部の焦点位置が対物レンズの光 軸方向に沿って一方向のみに単調に調節されるよう、第 1駆動機構を制御する。な お、この「焦点位置の単調な調節」には、焦点位置が一定に維持されている状態も含 まれる。そのため、対物レンズを撮像部の焦点位置に微調整する方向は、試料表面 に対して焦点位置を浅くするマイナス方向又は試料表面に対して焦点位置を深くす るプラス方向のいずれ力となる。
[0010] また、この発明に係る顕微鏡画像撮像装置にお!ヽて、試料載置ステージの試料載 置面は、試料載置面上に試料、例えば組織片が配置されたスライドガラスが載置さ れたとき、該スライドガラスの対物レンズを介して撮像部に対面する面がスキャン平面 に対して傾斜する程度の傾きを有するのが好まし 、。試料載置面上に載置される試 料の体積及び形状は一定ではなぐしたがって、該組織片を覆うカバーガラスの表面 の傾斜は、試料載置面の傾斜に依存しない場合がある。この場合、撮像部の焦点位 置を微調整する方向が一方向のみに安定しなくなる可能性がある。そのため、スキヤ ン面に対する試料載置面の傾斜角 Θは、少なくとも、試料載置面上の試料表面が該 試料載置面の傾斜方向に一致する程度 (必ずしも傾斜角は一致しなくてもょ 、)必要 となる。
[0011] なお、この発明に係る各実施例は、以下の詳細な説明及び添付図面によりさらに 十分に理解可能となる。これら実施例は単に例示のために示されるものであって、こ の発明を限定するものと考えるべきではない。
[0012] また、この発明のさらなる応用範囲は、以下の詳細な説明から明らかになる。しかし ながら、詳細な説明及び特定の事例はこの発明の好適な実施例を示すものではある 力 例示のためにのみ示されているものであって、この発明の思想及び範囲における 様々な変形及び改良はこの詳細な説明から当業者には自明であることは明らかであ る。
発明の効果
[0013] この発明に係る顕微鏡画像撮像装置によれば、撮像部の撮像可能エリアが撮像対 象エリア内を所定のスキャン方向に移動していく間、該撮像部の焦点距離は、試料 載置面の傾斜に応じて単調変化する (なお、この単調変化には、撮像部の焦点距離 が維持されている状態も含む)。その結果、対物レンズの光軸方向に沿って該対物レ ンズの位置を微調整する方向は、一定方向のみに制限される。
[0014] 上記構成により、この発明の顕微鏡画像撮像装置は、フォーカス用ァクチユエータ としてステッピングモータが適用された場合であっても、該ステッピングモータによる 駆動系でのロストモーションの発生が効果的に抑制され、撮像対象エリア内に設定さ れる各撮像位置に撮像部の焦点を正確に合わせることが可能になる (試料表面にお ける特定部位の明瞭な局所顕微鏡画像が得られる)。
[0015] また、この発明に係る顕微鏡画像撮像装置によれば、試料載置ステージの試料載 置面は、試料載置面上に試料が載置されたとき、該試料の対物レンズを介して撮像 部に対面する面力 Sスキャン平面に対して傾斜する程度の傾きを有する。この場合、試 料の体積及び形状によらず、対物レンズの光軸方向に沿って該対物レンズの位置を 微調整する方向を、一定方向のみに制限することが可能になる。
[0016] 上記構成により、この発明に係る顕微鏡画像撮像装置は、フォーカス用ァクチユエ ータとしてステッピングモータが採用された場合であっても、該ステッピングモータに よる駆動系でのロストモーションの発生が確実に防止され、撮像対象エリア内に設定 される各撮像位置に撮像部の焦点を正確に合わせることが可能になる（試料表面に おける特定部位の明瞭な局所顕微鏡画像が得られる)。 図面の簡単な説明
[図 1]は、この発明に係る顕微鏡画像撮像装置の一実施例の概略構成を示す斜視 図である。
[図 2]は、図 1に示されたスライドガラス収納部 (カセットホルダ含む）の構成を示す斜 視図であって、カセットホルダのホルダ部が傾斜した状態を示す。
[図 3]は、図 2に示されたカセット部へスライドガラスカセットを装着する作業を説明す るための斜視図である。
[図 4]は、図 2に示されたスライドガラス搬送部の X軸ステージの構成を示す部分斜視 図である。
[図 5]は、図 1に示されたスライドガラス載置部の、マクロ観察ポジションにおける平面 図である。
[図 6]は、図 1に示されたスライドガラス載置部の、スキャンポジションにおける平面図 である。
[図 7]は、図 1に示されたスライドガラス撮像部の構成を示す模式図である。
[図 8]は、図 7に示されたスライドガラス内のサンプル試料の撮像対象エリア力 それ ぞれ撮像部の撮像可能エリアと同程度のサイズである複数の撮像単位に区分された 第 1例を示す模式図である。
[図 9]は、図 7に示されたように傾斜した試料載置面上に一列に並んだ撮像単位に対 する撮像部の焦点位置を、図 8に示されたスキャニング方向に沿って示すグラフであ る。
[図 10]は、比較例として、水平な試料載置面上に一列に並んだ撮像単位に対する撮 像部の焦点位置を、図 8に示されたスキャニング方向に沿って示すグラフである。
[図 11]は、図 7に示されたスライドガラス内のサンプル試料の撮像対象エリア力 それ ぞれ撮像部の撮像可能エリアよりも大きいサイズである複数の撮像単位に区分され た第 2例を示す模式図である。
[図 12]は、撮像対象エリアにおける焦点位置の他の決定方法を説明するための図で ある。
符号の説明 [0018] 1 · · 'スライドガラス収納部 (カセットホルダ）、 2· · 'スライドガラス搬送部、 3· · 'スライドガ ラス載置部、 31…ベースステージ、 32…ステップ送りステージ、 33· ··スキャン送りス テージ、 33A…試料載置面、 38· ··ステージ用 XY軸駆動機構 (第 1駆動機構)、 4· ·· スライドガラス撮像部、 41· ··スキャン光源、 42…光学系、 43· "CCDカメラ (撮像部） 、 44· ··フォーカス用 Z軸駆動機構 (第 2駆動機構)、 45· ··制御装置、 SG…スライドガ ラス。
発明を実施するための最良の形態
[0019] 以下、この発明に係る顕微鏡画像撮像装置の一実施例を、図 1〜図 12を用いて詳 細に説明する。なお、図面の説明において、同一部分、同一要素には同一符号を付 して重複する説明を省略する。また、以下の説明では、図面の上部及び下部が装置 上部及び下部にそれぞれ対応しているものとして説明する。
[0020] 図 1は、この発明に係る顕微鏡画像撮像装置の一実施例の概略構成を示す斜視 図である。
[0021] 図 1に示された顕微鏡画像撮像装置は、サンプル試料、例えば、病理組織試料の 組織片が密封されたスライドガラス (プレパラート)などの顕微鏡画像を撮像する装置 である。この顕微鏡画像撮像装置は、サンプル試料が密封された複数のスライドガラ スを収納するスライドガラス収納部 1と、スライドガラス収納部 1からスライドガラスを 1 枚ずつ取り出し、順次搬送するスライドガラス搬送部 2と、スライドガラス搬送部 2によ り搬送されたスライドガラスを載置し、該スライドガラスを所定方向に移動させるスライ ドガラス載置部 3と、スライドガラス載置部 3上のサンプル試料の顕微鏡画像を撮像す るスライドガラス撮像部 4を、少なくとも備える。
[0022] スライドガラス収納部 1は、図 2に示されたように、支持枠 11、ホルダ部 12、スライド ガラスカセット 13を備える。なお、少なくとも支持枠 11及びホルダ部 12によりカセット ホルダが構成されている。ホルダ部 12は、水平軸 AXを中心に矢印 S1で示された方 向に回転可能な状態で支持枠 11に保持されており、支持枠 11は、スライドガラスの 取り出し口が図 2に示されたように上方を向くようにスライドガラスカセット 13が傾けら れた姿勢 (第 1姿勢)でホルダ部 12を保持するとともに、スライドガラスの取り出し口が 垂直に位置するようスライドガラスカセット 13が起立している姿勢 (第 2姿勢)でホルダ 部 12を保持する。これら第 1及び第 2姿勢間では、ホルダ部 12が水平軸 AXを中心 に一定の回転速度で回動する。また、縦長のボックス形状を有するスライドガラスカセ ット 13には、図 3に示されたように、複数のスライドガラス SGが正面の開口部から取 出し可能な状態で積層されて ヽる。
[0023] 図 2に示されたように、スライドガラス搬送部 2は、スライドガラス収納部 1の手前側に 配置されており、左右の Y軸方向に延びる Y軸ステージ 21と、 Y軸ステージ 21により 左右の Y軸方向に位置制御される Z軸ステージ 22と、 Z軸ステージ 22により上下の Z 軸方向に位置制御される X軸ステージ 23とを備える。 X軸ステージ 23には、図 4に示 されたように、スライドガラス収納部 1の各スライドガラスカセット 13に収納されたスライ ドガラス SGを 1枚ずつ引き出すように前後の X軸方向に進退駆動される引出しノ、ンド 23Aが設けられている。
[0024] ここで、図 5及び図 6に示されたように、スライドガラス載置部 3は、ステップ送りステ ージ 32と、スキャン送りステージ 33を備える。ステップ送りステージ 32は、ベースステ ージ 31に付設されたステッピングモータ 31Aによりボールねじ機構を介して X軸方向 に位置制御される。また、スキャン送りステージ 33は、ステップ送りステージ 32に付設 されたステッピングモータ 32Aによりボールねじ機構を介して Y軸方向に位置制御さ れる。なお、このスキャン送りステージ 33が試料載置ステージとして機能する。
[0025] 試料載置ステージとしてのスキャン送りステージ 33には、スライドガラス SGを載置し たスライドガラス搬送部 2の引出しノ、ンド 23A (図 4参照）が上下に通過できる切欠き が形成されている。この切欠きの両側の部分が引出しノヽンド 23Aより幅広のスライド ガラス SGの左右の側縁部を支持することで、スライドガラス SGを載置する試料載置 面が構成されている。
[0026] スキャン送りステージ 33上には、引出しハンド 23Aにより試料載置面に載置された スライドガラス SGの例えば左側の側辺を受け止める位置決めブロック 34が固定され ている。また、スキャン送りステージ 33上には、スライドガラス SGの例えば右側の側 辺を位置決めブロック 34側に押圧してスライドガラス SGを所定位置に保持するため のスライドガラス押さえアーム 35がピン 36を介して回転可能な状態で支持されている [0027] スライドガラス押さえアーム 35は、スライドガラス SGの左側の側方に向かって延びる 受動部 35Aと、スライドガラス SGの右側の側方に向力つて延びる押動部 35Bにより 構成され、 U字状の平面形状を有する。また、スライドガラス押さえアーム 35は、ピン 36を中心に反時計方向に回動するようにばね付勢されている。
[0028] このスライドガラス押さえアーム 35において、スキャン送りステージ 33が図 5に示さ れたように左端側のマクロ観察ポジションに移動すると、受動部 35Aは、ベースステ ージ 31側の不動部材である当て板 37に当接することでピン 33Cを中心に時計方向 に回動する。このとき、押動部 35Bは、スライドガラス SGの右側の側辺力も離間する
[0029] また、スライドガラス押さえアーム 35において、スキャン送りステージ 33が図 6に示さ れたように右端側のスキャンポジションに移動すると、受動部 35Aは、当て板 37から 離間することでピン 33Cを中心に反時計方向に回動する。このとき、押動部 35Bは、 スライドガラス SGの右側の側辺を位置決めブロック 34側に押圧し、該スライドガラス S Gを所定位置に保持するよう機能する。
[0030] 図 1に示されたスライドガラス撮像部 4は、図 7に模式的に示されたように、
スキャン光源 41と、光学系 42と、撮像部である CCDカメラ 43と、ステージ用 XY軸駆 動機構 38 (第 1駆動機構)と、フォーカス用 Z軸駆動機構 44 (第 2駆動機構)と、制御 装置 5 (制御部）とを備える。スキャン光源 41は、スキャン送りステージ 33 (図 6参照） の試料載置面 33Aに載置されたスライドガラス SGに下方力ゝら撮像光を照射する。光 学系 42は、スライドガラス SGを透過した撮像光が入射される対物レンズ 42Aを含む 。 CCDカメラ 43は、光学系 42を介して撮像光を受光する。ステージ用 XY軸駆動機 構 38は、スキャン送りステージ 33を、対物レンズ 42Aの光軸に直交するスキャン面に 沿って移動させる。フォーカス用 Z軸駆動機構 44は、 CCDカメラ 43とともに光学系 4 2の対物レンズ 42Aを Z軸の光軸方向に位置制御することでスライドガラス SGに対す る CCDカメラ 43の焦点位置を調整するとを備えている。
[0031] CCDカメラ 43は、 2次元画像の取り込み動作が可能な構成を有する。また、フォー カス用 Z軸駆動機構 44は、汎用性の高!、ステッピングモータにボールねじ機構を組 み合わせた構成を有する。そして、これら CCDカメラ 43及びフォーカス用 Z軸駆動機 構 44は、制御装置 5により、上述のスキャン送りステージ 33 (図 6参照）を X軸方向及 ひ Ύ軸方向に駆動するステッピングモータ 31 A、 32Aなどを含むステージ用 XY軸駆 動機構 38とともに制御される。
[0032] 制御装置 5は、例えばパーソナルコンピュータのハードウェア及びソフトウェアを利 用して構成され、入出力インターフェース lZO、 AZDコンバータ、プログラム及びデ ータを記憶した ROM (Read OnlyMemory)、入力データ等を一時記憶する RAM (Ra ndom Access Memory)、プログラムを実行する CPU (CentralProcessing Unit)等をノヽ 一ドウ アとして備える。
[0033] この制御装置 5は、スライドガラス SGを載置したスキャン送りステージ 33を Y軸方向 のスキャン方向及び X軸方向のステップ送り方向に移動させるようにステージ用 XY 軸駆動機構 38を制御する。その際、スライドガラス SGに密封されたサンプル試料を 含む撮像対象エリア内に設定される各撮像位置に順次 CCDカメラ 43の焦点が合う ように対物レンズ 42Aを Z軸の光軸方向に位置制御する（CCDカメラ 43の焦点位置 の微調整)。そして、制御装置 5は、対物レンズ 42Aを介して試料表面の局所顕微鏡 画像を順次取り込むように CCDカメラ 43を制御する。
[0034] ここで、フォーカス用 Z軸駆動機構 44は、ステッピングモータにボールねじ機構を組 み合わせた構造を有するので、駆動方向が反転する際には、モータの正逆回転時 の誤差、ギヤのバックラッシュ、ボールネジ機構の捩じれ剛性による誤差などに起因 するロストモーションが発生する虞がある。その結果、対物レンズ 42Aは Z軸の光軸 方向にリアルタイムに追従できなくなり、スライドガラス SGに密封されたサンプル試料 の各部（CCDカメラ 43の撮像可能エリアが位置する部分）に順次 CCDカメラ 43の焦 点を合わせゆくのが困難になることが予測される。
[0035] そこで、このような事態を回避して対物レンズ 42Aがサンプル試料の各部 (像対象 エリア内における撮像位置）に順次焦点を合わせることができるようにする必要がある 。そこで、この実施例において、スキャン送りステージ 33の試料載置面 33Aは、対物 レンズ 42Aの光軸に直行するスキャン平面に対して所定の傾斜角 Θだけ傾斜してい る。この試料載置面 33Aの傾きは、サンプル試料が密封されたスライドガラス SGの表 面の傾斜よりも大きくなるように設定されて 、る。 [0036] 図 8には、サンプル試料を含む撮像対象エリア Fを例えば一辺が 25mmの正方形と し、この撮像対象エリア Fを縦横 10 X 10の格子状に区分することにより、一辺が 2. 5 mmの正方形の撮像単位 F00〜F99で撮像対象エリア Fが構成されている第 1例が 示されている。なお、図中、撮像単位 F00から撮像 F09へ向力 実線矢印の縦方向 がスキャン方向を示し、撮像単位 F00から撮像単位 F90へ向力 実線矢印の横方向 がステップ送り方向を示す。また、この図 8の例では、 CCDカメラ 43の撮像可能エリ ァのサイズは各撮像単位と略同じであり、したがって、符号 Pは各撮像単位の中心点 Pの位置が各撮像単位に対する CCDカメラ 43の焦点位置となっている。また、この 明細書では、光学系 42を介して CCDカメラ 43に結像される撮像可能エリアの像を 局所顕微鏡画像と規定しているので、この図 8の第 1例の場合、得られる局所顕微鏡 画像それぞれが一撮像単位となる。
[0037] ここで、サンプル試料が病理組織試料である場合、撮像単位 F00から撮像単位 F0 9までの一列のスキャン方向の長さ 25mm内における撮像対象エリア Fの高所と低所 とを結ぶ最大傾斜は、通常、 10〜20 /ζ πι/25πιπι程度である。そこで、この実施例 においては、試料載置面 33Αの傾きの大きさは、 25~50 μ m/25mm (= 1~2 μ m/mm)の範囲のうち、例えば 50 μ m/25mm (200 μ m/ 100mm)に設定され ている。なお、試料載置面 33Aの傾斜は、スキャン方向に沿って傾斜するように、例 えばスキャンの開始位置が高ぐ終了位置が低くなるように設定されている。
[0038] 次に、以上のように構成された顕微鏡画像撮像装置の動作について説明する。な お、この顕微鏡画像撮像装置では、図 7に示されたスキャン送りステージ 33の傾斜し た試料載置面 33Aに載置されたスライドガラス SGを対象とし、これに密封されたサン プル試料を含む撮像対象エリア F (図 8参照）における各撮像単位 F00〜F99の局 所顕微鏡画像が順次撮像されるものとする。
[0039] まず、制御装置 5は、図 8に示された撮像単位 F00〜F99それぞれの中心点 Pにお ける焦点位置データを取得し、これをフォーカスマップとして記憶しておく。
[0040] フォーカスマップの作成に当たり、制御装置 5は、ステージ用 XY軸駆動機構 38へ 制御信号を出力することにより、図 8に示された撮像単位 FOO〜F99の順に CCD力 メラ 43の撮像位置が一致するようスキャン方向及びステップ送り方向に順次スキャン 送りステージ 33を移動させる。すなわち、スキャン送りステージ 33は、撮像単位 FOO 〜F99それぞれが順番に対物レンズ 42Aの直下に位置するよう移動する。
[0041] その間、制御装置 5は、対物レンズ 42Aの直下に位置する撮像単位 FOO〜F99そ れぞれの中心点 Pにおける CCDカメラ 43の焦点データを取得する。すなわち、制御 装置 5は、フォーカス用 Z軸駆動機構 44へ制御信号を出力し、対物レンズ 42Aを CC Dカメラ 43の焦点位置の前後で Z軸 (対物レンズ 42Aの光軸方向）に沿って連続的 に移動させる。同時に、制御装置 5は、 CCDカメラ 43へ制御信号を出力し、焦点位 置の異なる複数の顕微鏡画像を該 CCDカメラ 43に撮像させる。
[0042] そして、制御装置 5は、焦点位置の異なる複数の顕微鏡画像のコントラスト、明度な ど画像特性を比較評価し、鮮明な画像が得られた焦点位置を撮像単位 FOO〜F99 それぞれの中心点 Pにおける CCDカメラ 43の焦点データとして取得し、撮像単位 FO 0〜F99のフォーカスマップを作成する。
[0043] 撮像単位 FOO〜F99のフォーカスマップを作成した後、制御装置 5は、ステージ用 XY軸駆動機構 38への制御信号を出力し、撮像単位 FOO〜F99それぞれが順次 C CDカメラ 43の撮像可能エリアに一致していくよう、スキャン送りステージ 33を図 8に 示されたように移動させる（図 8に示されたスキャン方向及びステップ送り方向にスキ ヤン送りステージ 33を順次移動させることで、撮像単位 FOO〜F99それぞれの直上 に対物レンズ 42Aが位置するように移動させる）。その間、制御装置 5は、フォーカス 用 Z軸駆動機構 44への制御信号を出力し、フォーカスマップに記憶された CCDカメ ラ 43の焦点位置に一致させるよう対物レンズ 42Aを Z軸方向に移動させ。そして、制 御装置 5は、所定の焦点位置で CCDカメラ 43へ制御信号を出力し、撮像単位 FOO 〜F99それぞれの局所顕微鏡画像を順次該 CCDカメラ 43に撮像させる。
[0044] ここで、図 9は、上述のフォーカスマップにデータとして記憶された撮像対象エリア F の任意一列のスキャン方向に沿って焦点位置を結んだグラフである。図中、 2点鎖線 で示す斜線は、上述のように例えば 50 μ m/25mm (200 μ m/ 100mm)の傾斜 を有する試料載置面 33A (基準面）を示して 、る。
[0045] この図 9に示されたように、任意一列のスキャン方向に沿った CCDカメラ 43の焦点 位置は、プラス 100 μ m〜マイナス 100 μ mの間で階段状に順次減少している。これ は、各撮像単位の中心 Pに CCDカメラ 43の焦点を合わせるようにフォーカス用 Z軸 駆動機構 44が対物レンズ 42Aを Z軸の光軸方向に微調整する方向がマイナス方向 の一方のみに制限されることを示している。
[0046] したがって、この実施例に係る顕微鏡画像撮像装置によれば、フォーカス用 Z軸駆 動機構 44がステッピングモータにボールねじ機構を組み合わせた構造を有するにも 拘わらず、フォーカス用 Z軸駆動機構 44にはロストモーションが発生しなくなる。その 結果、対物レンズ 42Aを介して撮像可能エリアと一致したサンプル試料の一部に CC Dカメラ 43の焦点を正確に合わせることができるようになる。
[0047] 一方、図 10は、比較例として、水平な試料載置面上に一列に並んだ局所領域に対 する撮像部の焦点位置を、図 8に示されたスキャニング方向に沿って示すグラフであ る。この図 10に示されたグラフでは、任意一列のスキャン方向に沿った各撮像単位 の焦点位置は、プラス 20 μ m〜マイナス 20 μ mの間でノコギリ歯状に増減している。 これは、各撮像単位の中心 Pに CCDカメラ 43の焦点を合わせるようにフォーカス用 Z 軸駆動機構 44が対物レンズ 42Aを Z軸方向（対物レンズ 42Aの光軸方向）に微調整 する方向がプラス方向力 マイナス方向へ、また、マイナス方向からプラス方向へと 変化することを示している。この場合、フォーカス用 Z軸駆動機構 44にロストモーショ ンが発生し、その結果、対物レンズ 42Aが捉えるサンプル試料の各部、具体的には 各撮像単位の中心 Pに CCDカメラ 43の焦点を正確に合わせることができなくなる。
[0048] なお、この発明に係る顕微鏡画像撮像装置は、上述の実施例に限定されるもので はない。例えば、図 7に示されたフォーカス用 Z軸駆動機構 44は、スキャン送りステー ジ 33を対物レンズ 42Aの光軸方向に一致した Z軸方向に位置制御してもよ ヽ。また 、スキャン送りステージ 33に替え、 XY軸駆動機構又は XYZ軸駆動系が光学系 42及 び CCDカメラ 43に設けられてもよ!ヽ。
[0049] また、図 7に示された CCDカメラ 43は、一次元画像の取り込み動作を行う一次元 C CDカメラであってもよい。例えば、一般的なラインセンサや TDIセンサなどが適用さ れてもよい。すなわち、一次元 CCDカメラなどの撮像部による顕微鏡画像の撮像動 作は、以下のように行われる。なお、図 11は、図 7に示されたスライドガラス内のサン プル試料全体を含む撮像対象エリアが、それぞれ撮像部の撮像可能エリアよりも大 きいサイズである複数の撮像単位に区分された第 2例を示す模式図である。
[0050] 図 11に示されたように、撮像対象エリア Fは、複数のストリップ状撮像単位 F1〜F9 に区分されている。一次元 CCDカメラの撮像可能エリアは、図 11中の撮像単位 F1 内に斜線で示した X軸方向を長手方向とする領域である。試料が載置されたスキャン 送りステージ 43上において、撮像可能エリアがスキャン方向（Y軸の負の方向）に走 查されることにより、順次結像され取得される該撮像可能エリアの複数の局所顕微鏡 画像が Y軸方向に並べられた撮像単位 F1の画像 (ストリップ形状を有する画像）が得 られる。このように、この撮像単位 F1のストリップ状画像が図 11の第 2例における一 撮像単位となる。さら〖こ、図 11に示されたように、撮像単位 F1で行われた撮像可能 エリアのスキャニングが、撮像対象エリア Fの長手方向（X軸の正の方向）に沿ってス テツプしながら複数回繰り返されることにより、撮像単位 F1〜F9のストリップ状画像が それぞれ得られる。このようにして得られた撮像単位 F1〜F9のストリップ状画像を X 軸方向に並べた状態で合成することで、試料の全体画像 (撮像対象エリア F全体の 顕微鏡画像)が生成される。
[0051] また、上述の実施例では、対物レンズ 42Aの光軸に直交するスキャン平面に対して 傾斜した試料載置面 33Aを有するスキャン送りステージ 33が例示されている力 これ に限定されるものではなぐ例えば、市販のスキャン送りステージ力 その試料載置面 力 Sスキャン平面に対して傾斜するように固定されてもよい。あるいは、傾斜角度を可 変可能な傾斜ステージやチルトステージが適用されてもよい。傾斜角度が可変可能 なステージが適用される場合には、試料載置面の傾斜が無！ヽ状態で載置された試 料について作成されたフォーカスマップに基づいて、試料載置面のスキャン平面に 対する傾斜角度が設定されるのが好ましい。
[0052] また、フォーカスマップの作成に関し、図 8では、撮像単位 FOO〜F99それぞれの 中心点 Pにおける焦点位置データが取得された力 これに限定されるものではない。 図 12は、試料の撮像対象エリア F全体に対する焦点情報の取得方法の他の例を示 す模式図である。この図 12に示された焦点情報の取得方法では、撮像対象エリア F に対して 3点の焦点計測位置 PFが設定されている。そして、 3点の焦点計測位置 PF のそれぞれについて上述の方法で焦点計測が行われることで、合焦点位置が求めら れる。このとき、 3点の焦点計測位置 PFに基づいて求められた合焦点位置から、直 線補完によって撮像対象エリア F内の任意の位置に対する合焦点位置が求められる 。このような方法によっても、撮像対象エリア Fの各部に対する合焦点位置などの焦 点情報が効率的に取得され得る。また、撮像対象エリア F内において 4点以上の焦 点計測位置 PFを設定し、最小二乗法によって撮像対象エリア F内の任意の位置に 対する合焦点位置を求める場合、さらに精度良く焦点位置の制御が可能なる。
[0053] 以上の本発明の説明から、本発明を様々に変形しうることは明らかである。そのよう な変形は、本発明の思想及び範囲力 逸脱するものとは認めることはできず、すべて の当業者にとって自明である改良は、以下の請求の範囲に含まれるものである。 産業上の利用可能性
[0054] この発明に係る顕微鏡画像撮像装置は、細胞分析などの検査装置に適用可能で ある。

Claims

請求の範囲
[1] 試料が載置可能な試料載置面を有する試料載置ステージと、
前記試料載置面に対面するよう配置され、前記試料載置面上の撮像対象エリア内 の各部を順次撮像する撮像部と、
前記撮像部と前記試料載置面との間に配置された、前記撮像対象エリアのうち前 記撮像部の撮像可能エリアの局所顕微鏡画像を前記撮像部に結像するための対物 レンズと、
前記試料載置ステージ及び前記対物レンズの少なくとも!/ヽずれかを前記対物レン ズの光軸に直交するスキャン平面に沿って移動させることにより、前記試料載置ステ ージ及び前記対物レンズの相対位置を調節する第 1駆動機構と、
前記試料載置ステージ及び前記対物レンズの少なくとも!/ヽずれかを前記対物レン ズの光軸方向に沿って移動させることにより、前記試料載置ステージ及び前記対物 レンズの相対位置を調節する第 2駆動機構と、そして、
前記第 1及び第 2駆動機構を制御することで、前記撮像対象エリアにおける前記撮 像部の焦点位置を調節しながら前記撮像部の撮像可能エリアを所定のスキャン方向 に沿って相対的に移動させる制御部と、を備え、
前記試料載置ステージの試料載置面は、前記スキャン平面に対して傾 ヽて 、ること を特徴とする顕微鏡画像撮像装置。
[2] 請求項 1記載の顕微鏡画像撮像装置にお！ヽて、
前記制御部は、前記撮像対象エリア内において前記撮像部の撮像可能エリアが前 記所定のスキャン方向に相対的に移動して 、る間、前記撮像部の焦点位置が前記 対物レンズの光軸方向に沿って一方向のみに単調に調節されるよう、前記第 1駆動 機構を制御する。
[3] 請求項 1記載の顕微鏡画像撮像装置にお!ヽて、
前記試料載置ステージの試料載置面は、前記対物レンズの光軸と交差する該試料 載置面上の直線が前記スキャン平面と所定角度で交差する程度の傾きを有する。
[4] 請求項 1記載の顕微鏡画像撮像装置にお！ヽて、
前記試料載置ステージの試料載置面は、前記所定のスキャン方向に沿って 1〜2 請求項 1記載の顕微鏡画像撮像装置にぉ ヽて、
前記試料載置ステージの前記試料載置面は、前記試料載置面上に試料が載置さ れたとき、該試料の前記対物レンズを介して前記撮像部に対面する面を前記スキヤ ン平面に対して傾斜させる程度の傾きを有する。
PCT/JP2006/305434 2005-03-17 2006-03-17 顕微鏡画像撮像装置 WO2006098443A1 (ja)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
EP06729423.1A EP1865354B1 (en) 2005-03-17 2006-03-17 Microscopic image capturing device
US11/886,255 US8422127B2 (en) 2005-03-17 2006-03-17 Microscopic image capturing device
JP2007508232A JP4871264B2 (ja) 2005-03-17 2006-03-17 顕微鏡画像撮像装置

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005077990 2005-03-17
JP2005-077990 2005-03-17

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2006098443A1 true WO2006098443A1 (ja) 2006-09-21

Family

ID=36991787

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/JP2006/305434 WO2006098443A1 (ja) 2005-03-17 2006-03-17 顕微鏡画像撮像装置

Country Status (4)

Country Link
US (2) US8422127B2 (ja)
EP (1) EP1865354B1 (ja)
JP (2) JP4871264B2 (ja)
WO (1) WO2006098443A1 (ja)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2014002536A1 (ja) 2012-06-25 2014-01-03 浜松ホトニクス株式会社 顕微鏡撮像装置及び顕微鏡撮像方法
WO2014087713A1 (ja) * 2012-12-07 2014-06-12 オリンパス株式会社 撮像装置及び顕微鏡システム
WO2014109095A1 (ja) * 2013-01-09 2014-07-17 オリンパス株式会社 撮像装置、顕微鏡システム及び撮像方法
WO2015064117A1 (ja) * 2013-11-01 2015-05-07 浜松ホトニクス株式会社 画像取得装置及び画像取得装置の画像取得方法
WO2022123944A1 (ja) * 2020-12-08 2022-06-16 ソニーグループ株式会社 スライドガラス搬送装置及びスライドガラス撮影システム

Families Citing this family (28)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7825488B2 (en) * 2006-05-31 2010-11-02 Advanced Analogic Technologies, Inc. Isolation structures for integrated circuits and modular methods of forming the same
CA2610298C (en) * 2005-06-13 2013-07-30 Tripath Imaging, Inc. System and method for re-locating an object in a sample on a slide with a microscope imaging device
US8530243B2 (en) * 2009-04-20 2013-09-10 Bio-Rad Laboratories Inc. Non-scanning SPR system
JP5443096B2 (ja) * 2009-08-12 2014-03-19 株式会社ニューフレアテクノロジー 半導体製造装置および半導体製造方法
JP5732284B2 (ja) * 2010-08-27 2015-06-10 株式会社ニューフレアテクノロジー 成膜装置および成膜方法
GB2494734B (en) * 2011-09-14 2016-04-06 Malvern Instr Ltd Apparatus and method for measuring particle size distribution by light scattering
JP6136085B2 (ja) * 2011-10-05 2017-05-31 ソニー株式会社 画像取得装置、画像取得方法、およびコンピュータプログラム
JP6010450B2 (ja) * 2012-12-20 2016-10-19 浜松ホトニクス株式会社 光観察装置及び光観察方法
JP6086366B2 (ja) 2013-04-05 2017-03-01 国立研究開発法人理化学研究所 顕微鏡、焦準器具、流体保持器具、及び光学ユニット
CN105143952B (zh) 2013-04-26 2018-09-28 浜松光子学株式会社 图像取得装置以及图像取得装置的聚焦方法
EP2990850B1 (en) 2013-04-26 2020-09-16 Hamamatsu Photonics K.K. Image acquisition device and method and system for acquiring focusing information for specimen
EP2990849B1 (en) * 2013-04-26 2020-09-02 Hamamatsu Photonics K.K. Image acquisition device and method and system for creating focus map for specimen
WO2015077819A1 (en) 2013-11-26 2015-06-04 Ansell Limited Effervescent texturing
CN106030761B (zh) * 2014-01-27 2019-09-13 威科仪器有限公司 用于化学气相沉积系统的晶片载体及其制造方法
KR102449103B1 (ko) * 2014-03-12 2022-09-28 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 반도체 챔버에서의 웨이퍼 회전
EP3968004A1 (en) * 2014-12-26 2022-03-16 Sysmex Corporation Cell imaging device, cell imaging method, and sample cell
HU231246B1 (hu) 2015-08-31 2022-05-28 3Dhistech Kft Konfokális elvû tárgylemez szkenner
WO2017154895A1 (ja) * 2016-03-09 2017-09-14 浜松ホトニクス株式会社 測定装置、観察装置および測定方法
DE102016107336B4 (de) * 2016-04-20 2017-11-02 Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh Koordinatenmessgerät, Verfahren zur Herstellung eines Koordinatenmessgeräts und Verfahren zur Messung eines optischen Filters
CN106094194B (zh) * 2016-08-17 2019-06-14 江浩 显微镜下样本图片的获取方法、成像装置及其获取样本图片的方法
US10636628B2 (en) * 2017-09-11 2020-04-28 Applied Materials, Inc. Method for cleaning a process chamber
WO2020020148A1 (zh) 2018-07-23 2020-01-30 深圳市真迈生物科技有限公司 成像方法、装置及系统
CN214848503U (zh) * 2018-08-29 2021-11-23 应用材料公司 注入器设备、基板处理设备及在机器可读介质中实现的结构
JP7312020B2 (ja) * 2019-05-30 2023-07-20 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス 熱処理方法および熱処理装置
US11523046B2 (en) * 2019-06-03 2022-12-06 Molecular Devices, Llc System and method to correct for variation of in-focus plane across a field of view of a microscope objective
US11499817B2 (en) * 2020-05-29 2022-11-15 Mitutoyo Corporation Coordinate measuring machine with vision probe for performing points-from-focus type measurement operations
TW202212620A (zh) * 2020-06-02 2022-04-01 荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 處理基板之設備、形成膜之方法、及控制用於處理基板之設備之方法
CN113686857B (zh) * 2021-08-31 2024-07-19 杭州智微信息科技有限公司 一种用于骨髓涂片扫描仪的玻片盒旋转升降结构

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04110960U (ja) * 1991-01-25 1992-09-25 日本分光株式会社 顕微赤外スペクトル測定装置
JPH0756093A (ja) * 1993-08-19 1995-03-03 Fujitsu Ltd 顕微鏡のステージ装置
JPH0821961A (ja) * 1994-07-08 1996-01-23 Matsushita Electric Ind Co Ltd 顕微鏡の自動焦点装置
JP2002228421A (ja) * 2001-02-02 2002-08-14 Olympus Optical Co Ltd 走査型レーザ顕微鏡
US20020131167A1 (en) 2000-11-09 2002-09-19 Nguyen Francis T. Sample holder for an imaging system

Family Cites Families (61)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3826558A (en) * 1972-07-21 1974-07-30 Us Air Force Mechanical rotary tilt stage
US4328553A (en) * 1976-12-07 1982-05-04 Computervision Corporation Method and apparatus for targetless wafer alignment
JPS60134117U (ja) * 1984-02-16 1985-09-06 アルプス電気株式会社 光学式ロ−タリエンコ−ダ
US4819167A (en) * 1987-04-20 1989-04-04 Applied Materials, Inc. System and method for detecting the center of an integrated circuit wafer
US4833790A (en) * 1987-05-11 1989-05-30 Lam Research Method and system for locating and positioning circular workpieces
JPH0658795B2 (ja) * 1989-05-09 1994-08-03 日本電子株式会社 ダイナミックフォーカス回路
US5155336A (en) * 1990-01-19 1992-10-13 Applied Materials, Inc. Rapid thermal heating apparatus and method
JPH04110960A (ja) 1990-08-31 1992-04-13 Sharp Corp 電子写真装置の帯電装置
US5337178A (en) * 1992-12-23 1994-08-09 International Business Machines Corporation Titlable optical microscope stage
JPH06309035A (ja) * 1993-04-21 1994-11-04 Hitachi Ltd 試料ステージ
JPH07174980A (ja) 1993-12-17 1995-07-14 Olympus Optical Co Ltd 顕微鏡ステージ
US5660472A (en) * 1994-12-19 1997-08-26 Applied Materials, Inc. Method and apparatus for measuring substrate temperatures
US5755511A (en) * 1994-12-19 1998-05-26 Applied Materials, Inc. Method and apparatus for measuring substrate temperatures
US5822213A (en) * 1996-03-29 1998-10-13 Lam Research Corporation Method and apparatus for determining the center and orientation of a wafer-like object
JPH09304703A (ja) 1996-05-16 1997-11-28 Olympus Optical Co Ltd フォーカシング装置
US5781693A (en) * 1996-07-24 1998-07-14 Applied Materials, Inc. Gas introduction showerhead for an RTP chamber with upper and lower transparent plates and gas flow therebetween
US6395363B1 (en) * 1996-11-05 2002-05-28 Applied Materials, Inc. Sloped substrate support
US6157106A (en) * 1997-05-16 2000-12-05 Applied Materials, Inc. Magnetically-levitated rotor system for an RTP chamber
US6123766A (en) * 1997-05-16 2000-09-26 Applied Materials, Inc. Method and apparatus for achieving temperature uniformity of a substrate
US6226453B1 (en) * 1997-09-16 2001-05-01 Applied Materials, Inc. Temperature probe with fiber optic core
DE19748088A1 (de) * 1997-10-30 1999-05-12 Wacker Siltronic Halbleitermat Verfahren und Vorrichtung zum Erkennen einer Fehllage einer Halbleiterscheibe
JP3863993B2 (ja) * 1998-03-18 2006-12-27 オリンパス株式会社 顕微鏡
US6185030B1 (en) * 1998-03-20 2001-02-06 James W. Overbeck Wide field of view and high speed scanning microscopy
US6164816A (en) * 1998-08-14 2000-12-26 Applied Materials, Inc. Tuning a substrate temperature measurement system
JP2000241713A (ja) 1999-02-16 2000-09-08 Leica Microsystems Wetzler Gmbh 試料担持体用ホールダ
KR100593627B1 (ko) * 1999-02-16 2006-06-28 동경 엘렉트론 주식회사 처리장치, 처리시스템, 판별방법 및 검출방법
US6275742B1 (en) * 1999-04-16 2001-08-14 Berkeley Process Control, Inc. Wafer aligner system
JP3437118B2 (ja) * 1999-04-23 2003-08-18 東芝機械株式会社 ウエーハ加熱装置及びその制御方法
US6423949B1 (en) * 1999-05-19 2002-07-23 Applied Materials, Inc. Multi-zone resistive heater
US6586343B1 (en) * 1999-07-09 2003-07-01 Applied Materials, Inc. Method and apparatus for directing constituents through a processing chamber
US6500266B1 (en) * 2000-01-18 2002-12-31 Applied Materials, Inc. Heater temperature uniformity qualification tool
US7518652B2 (en) 2000-05-03 2009-04-14 Aperio Technologies, Inc. Method and apparatus for pre-focus in a linear array based slide scanner
US6610968B1 (en) * 2000-09-27 2003-08-26 Axcelis Technologies System and method for controlling movement of a workpiece in a thermal processing system
US6350964B1 (en) * 2000-11-09 2002-02-26 Applied Materials, Inc. Power distribution printed circuit board for a semiconductor processing system
US6634882B2 (en) * 2000-12-22 2003-10-21 Asm America, Inc. Susceptor pocket profile to improve process performance
KR100416292B1 (ko) * 2001-02-24 2004-01-31 (주)지우텍 위치 불량 감지 장치 및 방법
JP4690584B2 (ja) * 2001-06-06 2011-06-01 有限会社ユナテック 表面評価装置及び表面評価方法
JP4631218B2 (ja) 2001-06-21 2011-02-16 株式会社ニコン 顕微鏡装置
US6924929B2 (en) * 2002-03-29 2005-08-02 National Institute Of Radiological Sciences Microscope apparatus
US6900877B2 (en) * 2002-06-12 2005-05-31 Asm American, Inc. Semiconductor wafer position shift measurement and correction
US7778533B2 (en) * 2002-09-12 2010-08-17 Applied Materials, Inc. Semiconductor thermal process control
JP4064402B2 (ja) * 2003-01-09 2008-03-19 大日本スクリーン製造株式会社 基板処理システムおよび基板処理装置
US6950774B2 (en) * 2003-01-16 2005-09-27 Asm America, Inc. Out-of-pocket detection system using wafer rotation as an indicator
US7505832B2 (en) * 2003-05-12 2009-03-17 Applied Materials, Inc. Method and apparatus for determining a substrate exchange position in a processing system
US6855916B1 (en) * 2003-12-10 2005-02-15 Axcelis Technologies, Inc. Wafer temperature trajectory control method for high temperature ramp rate applications using dynamic predictive thermal modeling
US8500916B2 (en) * 2004-11-05 2013-08-06 HGST Netherlands B.V. Method for aligning wafers within wafer processing equipment
US7364922B2 (en) * 2005-01-24 2008-04-29 Tokyo Electron Limited Automated semiconductor wafer salvage during processing
TW200802552A (en) * 2006-03-30 2008-01-01 Sumco Techxiv Corp Method of manufacturing epitaxial silicon wafer and apparatus thereof
US8104951B2 (en) * 2006-07-31 2012-01-31 Applied Materials, Inc. Temperature uniformity measurements during rapid thermal processing
US8162584B2 (en) * 2006-08-23 2012-04-24 Cognex Corporation Method and apparatus for semiconductor wafer alignment
JP4870604B2 (ja) * 2007-03-29 2012-02-08 株式会社ニューフレアテクノロジー 気相成長装置
US8057602B2 (en) * 2007-05-09 2011-11-15 Applied Materials, Inc. Apparatus and method for supporting, positioning and rotating a substrate in a processing chamber
US8057601B2 (en) * 2007-05-09 2011-11-15 Applied Materials, Inc. Apparatus and method for supporting, positioning and rotating a substrate in a processing chamber
WO2009086042A2 (en) * 2007-12-27 2009-07-09 Lam Research Corporation Arrangements and methods for determining positions and offsets
CN102017101B (zh) * 2008-05-02 2014-06-04 应用材料公司 用于旋转基板的非径向温度控制系统
US8581153B2 (en) * 2008-09-30 2013-11-12 Tokyo Electron Limited Method of detecting abnormal placement of substrate, substrate processing method, computer-readable storage medium, and substrate processing apparatus
US8150242B2 (en) * 2008-10-31 2012-04-03 Applied Materials, Inc. Use of infrared camera for real-time temperature monitoring and control
US8109669B2 (en) * 2008-11-19 2012-02-07 Applied Materials, Inc. Temperature uniformity measurement during thermal processing
DE102009010555A1 (de) * 2009-02-25 2010-09-02 Siltronic Ag Verfahren zum Erkennen einer Fehllage einer Halbleiterscheibe während einer thermischen Behandlung
JP5384220B2 (ja) * 2009-06-22 2014-01-08 東京応化工業株式会社 アライメント装置およびアライメント方法
JP5038381B2 (ja) * 2009-11-20 2012-10-03 株式会社東芝 サセプタおよび成膜装置

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04110960U (ja) * 1991-01-25 1992-09-25 日本分光株式会社 顕微赤外スペクトル測定装置
JPH0756093A (ja) * 1993-08-19 1995-03-03 Fujitsu Ltd 顕微鏡のステージ装置
JPH0821961A (ja) * 1994-07-08 1996-01-23 Matsushita Electric Ind Co Ltd 顕微鏡の自動焦点装置
US20020131167A1 (en) 2000-11-09 2002-09-19 Nguyen Francis T. Sample holder for an imaging system
JP2002228421A (ja) * 2001-02-02 2002-08-14 Olympus Optical Co Ltd 走査型レーザ顕微鏡

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
See also references of EP1865354A4 *

Cited By (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2014002536A1 (ja) 2012-06-25 2014-01-03 浜松ホトニクス株式会社 顕微鏡撮像装置及び顕微鏡撮像方法
JP2014006391A (ja) * 2012-06-25 2014-01-16 Hamamatsu Photonics Kk 顕微鏡撮像装置及び顕微鏡撮像方法
WO2014087713A1 (ja) * 2012-12-07 2014-06-12 オリンパス株式会社 撮像装置及び顕微鏡システム
JP2014115423A (ja) * 2012-12-07 2014-06-26 Olympus Corp 撮像装置及び顕微鏡システム
US9906729B2 (en) 2012-12-07 2018-02-27 Olympus Corporation Imaging apparatus and microscope system
WO2014109095A1 (ja) * 2013-01-09 2014-07-17 オリンパス株式会社 撮像装置、顕微鏡システム及び撮像方法
JP2014134632A (ja) * 2013-01-09 2014-07-24 Olympus Corp 撮像装置、顕微鏡システム及び撮像方法
US10061110B2 (en) 2013-01-09 2018-08-28 Olympus Corporation Imaging apparatus, microscope system, and imaging method
WO2015064117A1 (ja) * 2013-11-01 2015-05-07 浜松ホトニクス株式会社 画像取得装置及び画像取得装置の画像取得方法
JP2015087723A (ja) * 2013-11-01 2015-05-07 浜松ホトニクス株式会社 画像取得装置及び画像取得装置の画像取得方法
US10422987B2 (en) 2013-11-01 2019-09-24 Hamamatsu Photonics K.K. Image acquisition device and image acquisition method for image acquisition device
WO2022123944A1 (ja) * 2020-12-08 2022-06-16 ソニーグループ株式会社 スライドガラス搬送装置及びスライドガラス撮影システム

Also Published As

Publication number Publication date
JP2012042970A (ja) 2012-03-01
US20090002811A1 (en) 2009-01-01
US8422127B2 (en) 2013-04-16
US20130084390A1 (en) 2013-04-04
JP5209103B2 (ja) 2013-06-12
EP1865354A4 (en) 2011-01-26
JPWO2006098443A1 (ja) 2008-08-28
JP4871264B2 (ja) 2012-02-08
EP1865354B1 (en) 2016-03-16
EP1865354A1 (en) 2007-12-12

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5209103B2 (ja) 顕微鏡画像撮像装置
JP5923026B2 (ja) 画像取得装置及び画像取得方法
US20150153552A1 (en) Imaging system and techniques
EP2916160B1 (en) Image acquisition device and method for focusing image acquisition device
JP5307221B2 (ja) 画像取得装置及び画像取得装置のフォーカス方法
US9134523B2 (en) Predictive focusing for image scanning systems
US9906729B2 (en) Imaging apparatus and microscope system
KR20080075778A (ko) 자동 외관검사장치
JP2006039315A (ja) 自動焦点装置及びそれを用いた顕微鏡装置
US9435982B2 (en) Focus position changing apparatus and confocal optical apparatus using the same
JP5981241B2 (ja) 顕微鏡撮像装置及び顕微鏡撮像方法
JP6419761B2 (ja) 撮像配置決定方法、撮像方法、および撮像装置
JP5301642B2 (ja) 画像取得装置及び画像取得装置のフォーカス方法
EP3333608B1 (en) Image capturing appartus and focusing method thereof
JP2005070225A (ja) 表面画像投影装置及び表面画像投影方法
JP6802636B2 (ja) 顕微鏡システムおよび標本観察方法
JP4603177B2 (ja) 走査型レーザ顕微鏡
JP2012211842A (ja) 形状測定装置
JP2009223164A (ja) 顕微鏡画像撮影装置
JP2013127580A (ja) 画像取得装置及び画像取得装置のフォーカス方法
EP2947489A1 (en) Image acquisition device and focus method for image acquisition device
JP2010051983A (ja) 立体回路基板の製造装置及びその製造方法
JP2007327903A (ja) 外観検査装置
JP2013088570A (ja) 顕微鏡装置
WO2014112083A1 (ja) 画像取得装置及び画像取得装置のフォーカス方法

Legal Events

Date Code Title Description
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application
WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 2007508232

Country of ref document: JP

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 2006729423

Country of ref document: EP

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: RU

WWP Wipo information: published in national office

Ref document number: 2006729423

Country of ref document: EP

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 11886255

Country of ref document: US