JP5307221B2 - 画像取得装置及び画像取得装置のフォーカス方法 - Google Patents
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 20
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 370
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 176
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 84
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 5
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 5
- 239000005357 flat glass Substances 0.000 description 4
- 230000006641 stabilisation Effects 0.000 description 3
- 238000011105 stabilization Methods 0.000 description 3
- 239000012472 biological sample Substances 0.000 description 2
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 2
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 2
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 2
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 1
- 230000002457 bidirectional effect Effects 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 230000000295 complement effect Effects 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 230000006870 function Effects 0.000 description 1
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
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Landscapes
- Automatic Focus Adjustment (AREA)
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Claims (12)
- 試料が載置されるステージと、
前記ステージを所定の速度で走査するステージ制御手段と、
前記試料に向けて光を照射する光源と、
前記試料の光像を画像取得用の第1の光路及び焦点制御用の第2の光路に分岐する光分岐手段を含む導光光学系と、
前記第1の光路に分岐された第1の光像による第1の画像を取得する第1の撮像手段と、
前記第2の光路に分岐された第2の光像による第2の画像を取得する第2の撮像手段と、
前記第2の画像を解析し、その解析結果に基づいて前記第1の撮像手段による撮像の焦点位置を制御する焦点制御手段と、
前記第2の撮像手段の撮像面に、前記第2の光像の一部画像を取得する第1の撮像領域及び第2の撮像領域を設定する領域制御手段と、
前記第2の光路に配置され、前記撮像面の面内方向に沿って前記第2の光像に光路差を生じさせる光路差生成部材と、を備え、
前記領域制御手段は、前記ステージの走査速度と、前記第1の撮像領域と前記第2の撮像領域との間の間隔とに基づいて、前記第1の撮像領域での撮像から前記第2の撮像領域での撮像までの待ち時間を設定することを特徴とする画像取得装置。 - 前記第2の撮像手段は、エリアセンサであることを特徴とする請求項1記載の画像取得装置。
- 前記光路差生成部材は、前記撮像面の少なくとも一部に重なるように配置された平板部材であり、
前記領域制御手段は、前記平板部材のエッジ部分による前記第2の光像の影を避けるように、前記平板部材に重なる領域と前記平板部材に重ならない領域とに前記第1の撮像領域と前記第2の撮像領域とをそれぞれ設定することを特徴とする請求項2記載の画像取得装置。 - 前記光路差生成部材は、前記撮像面の面内方向に沿って連続的に厚さが変化する部分を有する部材であり、
前記領域制御手段は、前記光路差生成部材の厚みの異なる部分に重なるように前記第1の撮像領域と前記第2の撮像領域とを設定することを特徴とする請求項2記載の画像取得装置。 - 前記第1の撮像領域と前記第2の撮像領域とは、別々のラインセンサによって構成されていることを特徴とする請求項1記載の画像取得装置。
- 前記試料に対峙する対物レンズと、
前記焦点制御手段による制御に基づいて、前記試料に対する前記対物レンズの位置を相対的に制御する対物レンズ制御手段とを備え、
前記対物レンズ制御部は、前記焦点制御手段による焦点位置の解析実行中は前記対物レンズの駆動を行わず、前記焦点制御手段による焦点位置の解析非実行中に前記対物レンズを前記試料に対して一方向に移動させることを特徴とする請求項1〜5のいずれか一項記載の画像取得装置。 - 試料が載置されるステージと、
前記ステージを所定の速度で走査するステージ制御手段と、
前記試料に向けて光を照射する光源と、
前記試料の光像を画像取得用の第1の光路及び焦点制御用の第2の光路に分岐する光分岐手段を含む導光光学系と、
前記第1の光路に分岐された第1の光像による第1の画像を取得する第1の撮像手段と、
前記第2の光路に分岐された第2の光像による第2の画像を取得する第2の撮像手段と、
前記第2の画像を解析し、その解析結果に基づいて前記第1の撮像手段による撮像の焦点位置を制御する焦点制御手段と、を備えた画像取得装置のフォーカス方法であって、
前記第2の撮像手段の撮像面に、前記第2の光像の一部画像を取得する第1の撮像領域及び第2の撮像領域を設定し、
前記撮像面の面内方向に沿って前記第2の光像に光路差を生じさせる光路差生成部材を前記第2の光路に配置し、
領域制御手段によって、前記ステージの走査速度と、前記第1の撮像領域と前記第2の撮像領域との間の間隔とに基づいて、前記第1の撮像領域での撮像から前記第2の撮像領域での撮像までの待ち時間を設定することを特徴とする画像取得装置のフォーカス方法。 - 前記第2の撮像手段として、エリアセンサを用いることを特徴とする請求項7記載の画像取得装置のフォーカス方法。
- 前記光路差生成部材として、前記撮像面の少なくとも一部に重なるように配置された平板部材を用い、
前記領域制御手段によって、前記平板部材のエッジ部分による前記第2の光像の影を避けるように、前記平板部材に重なる領域と前記平板部材に重ならない領域とに前記第1の撮像領域と前記第2の撮像領域とをそれぞれ設定することを特徴とする請求項8記載の画像取得装置のフォーカス方法。 - 前記光路差生成部材として、前記撮像面の面内方向に沿って連続的に厚さが変化する部分を有する部材を用い、
前記領域制御手段によって、前記光路差生成部材の厚みの異なる部分に重なるように前記第1の撮像領域と前記第2の撮像領域とを設定することを特徴とする請求項8記載の画像取得装置のフォーカス方法。 - 前記第1の撮像領域と前記第2の撮像領域とを別々のラインセンサによって構成することを特徴とする請求項7記載の画像取得装置のフォーカス方法。
- 前記画像取得装置は、
前記試料に対峙する対物レンズと、
前記焦点制御手段による制御に基づいて、前記試料に対する前記対物レンズの位置を相対的に制御する対物レンズ制御手段とを備え、
前記対物レンズ制御手段によって、前記焦点制御手段による焦点位置の解析実行中は前記対物レンズの駆動を行わず、前記焦点制御手段による焦点位置の解析非実行中に前記対物レンズを前記試料に対して一方向に移動させることを特徴とする請求項7〜11のいずれか一項記載の画像取得装置のフォーカス方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011277532A JP5307221B2 (ja) | 2011-12-19 | 2011-12-19 | 画像取得装置及び画像取得装置のフォーカス方法 |
US14/398,029 US9971140B2 (en) | 2011-12-19 | 2013-01-17 | Image capturing apparatus and focusing method thereof |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011277532A JP5307221B2 (ja) | 2011-12-19 | 2011-12-19 | 画像取得装置及び画像取得装置のフォーカス方法 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013133506A Division JP6023012B2 (ja) | 2013-06-26 | 2013-06-26 | 画像取得装置及び画像取得装置のフォーカス方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013127578A JP2013127578A (ja) | 2013-06-27 |
JP5307221B2 true JP5307221B2 (ja) | 2013-10-02 |
Family
ID=48778141
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011277532A Active JP5307221B2 (ja) | 2011-12-19 | 2011-12-19 | 画像取得装置及び画像取得装置のフォーカス方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5307221B2 (ja) |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2014112083A1 (ja) | 2013-01-17 | 2014-07-24 | 浜松ホトニクス株式会社 | 画像取得装置及び画像取得装置のフォーカス方法 |
WO2014112085A1 (ja) | 2013-01-17 | 2014-07-24 | 浜松ホトニクス株式会社 | 画像取得装置及び画像取得装置のフォーカス方法 |
CN105008975B (zh) | 2013-01-17 | 2018-06-26 | 浜松光子学株式会社 | 图像取得装置以及图像取得装置的聚焦方法 |
EP3333608B1 (en) | 2013-01-17 | 2021-02-24 | Hamamatsu Photonics K.K. | Image capturing appartus and focusing method thereof |
JP6115344B2 (ja) | 2013-06-18 | 2017-04-19 | 株式会社デンソー | エジェクタ |
JP7032053B2 (ja) | 2017-04-13 | 2022-03-08 | 浜松ホトニクス株式会社 | 画像取得装置及び画像取得方法 |
JP6889009B2 (ja) | 2017-04-13 | 2021-06-18 | 浜松ホトニクス株式会社 | 画像取得システム及び画像取得方法 |
JP7126809B2 (ja) | 2017-04-13 | 2022-08-29 | 浜松ホトニクス株式会社 | 画像取得装置及び画像取得方法 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08320430A (ja) * | 1995-05-23 | 1996-12-03 | Nikon Corp | 自動焦点検出装置 |
US7232980B2 (en) * | 2004-05-24 | 2007-06-19 | Hamamatsu Photonics K.K. | Microscope system |
-
2011
- 2011-12-19 JP JP2011277532A patent/JP5307221B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2013127578A (ja) | 2013-06-27 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20130510 |
|
A871 | Explanation of circumstances concerning accelerated examination |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A975 | Report on accelerated examination |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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R250 | Receipt of annual fees |
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