JP5301642B2 - 画像取得装置及び画像取得装置のフォーカス方法 - Google Patents
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- 試料に向けて光を照射する光源と、
前記試料の光像を画像取得用の第1の光路及び焦点制御用の第2の光路に分岐する光分岐手段を含む導光光学系と、
前記第1の光路に分岐された第1の光像による第1の画像を取得する第1の撮像手段と、
前記第2の光路に分岐された第2の光像による第2の画像を取得する第2の撮像手段と、
前記第2の画像を解析し、その解析結果に基づいて前記第1の撮像手段による撮像の焦点位置を制御する焦点制御手段と、備え、
前記第2の撮像手段は、前記第2の光像の一部画像を取得する第1の撮像領域及び第2の撮像領域が設定された撮像面を有し、
前記第2の光路には、前記撮像面の面内方向に沿って前記第2の光像に連続的な光路差を生じさせる光路差生成部材が配置され、
前記撮像面における前記第1の撮像領域の位置及び前記第2の撮像領域の位置の少なくとも一方を前記面内方向に沿って制御する領域制御手段を更に備えたことを特徴とする画像取得装置。 - 前記光路差生成部材は、前記撮像面の面内方向に沿って厚みが変化する部分を有するガラス部材であることを特徴とする請求項1記載の画像取得装置。
- 前記領域制御手段は、前記第1の撮像領域と前記第2の撮像領域との間の間隔が変わるように、前記第1の撮像領域の位置及び前記第2の撮像領域の位置のいずれか一方を前記面内方向に沿って変更することを特徴とする請求項1又は2記載の画像取得装置。
- 前記領域制御手段は、前記第1の撮像領域と前記第2の撮像領域との間の間隔が変わるように、前記第1の撮像領域の位置及び前記第2の撮像領域の位置の双方を前記面内方向に沿って変更することを特徴とする請求項1又は2記載の画像取得装置。
- 前記領域制御手段は、前記第1の撮像領域と前記第2の撮像領域との間の間隔を維持したまま、前記第1の撮像領域の位置及び前記第2の撮像領域の位置の双方を前記面内方向に沿って変更することを特徴とする請求項1又は2記載の画像取得装置。
- 前記試料に対峙する対物レンズと、
前記焦点制御手段による制御に基づいて、前記試料に対する前記対物レンズの位置を相対的に制御する対物レンズ制御手段とを備え、
前記対物レンズ制御部は、前記焦点制御手段による焦点位置の解析実行中は前記対物レンズの駆動を行わず、前記焦点制御手段による焦点位置の解析非実行中に前記対物レンズを前記試料に対して一方向に移動させることを特徴とする請求項1〜5のいずれか一項記載の画像取得装置。 - 試料に向けて光を照射する光源と、
前記試料の光像を画像取得用の第1の光路及び焦点制御用の第2の光路に分岐する光分岐手段を含む導光光学系と、
前記第1の光路に分岐された第1の光像による第1の画像を取得する第1の撮像手段と、
前記第2の光路に分岐された第2の光像による第2の画像を取得する第2の撮像手段と、
前記第2の画像を解析し、その解析結果に基づいて前記第1の撮像手段による撮像の焦点位置を制御する焦点制御手段と、備えた画像取得装置のフォーカス方法であって、
前記第2の撮像手段に、前記第2の光像の一部画像を取得する第1の撮像領域及び第2の撮像領域が設定された撮像面を設け、
前記第2の光路に、前記撮像面の面内方向に沿って前記第2の光像に連続的な光路差を生じさせる光路差生成部材を配置し、
領域制御手段によって、前記撮像面における前記第1の撮像領域の位置及び前記第2の撮像領域の位置の少なくとも一方を前記面内方向に沿って制御することを特徴とする画像取得装置のフォーカス方法。 - 前記光路差生成部材として、前記撮像面の面内方向に沿って厚みが変化する部分を有するガラス部材を用いることを特徴とする請求項7記載の画像取得装置のフォーカス方法。
- 前記領域制御手段によって、前記第1の撮像領域と前記第2の撮像領域との間の間隔が変わるように、前記第1の撮像領域の位置及び前記第2の撮像領域の位置のいずれか一方を前記面内方向に沿って変更することを特徴とする請求項7又は8記載の画像取得装置のフォーカス方法。
- 前記領域制御手段によって、前記第1の撮像領域と前記第2の撮像領域との間の間隔が変わるように、前記第1の撮像領域の位置及び前記第2の撮像領域の位置の双方を前記面内方向に沿って変更することを特徴とする請求項7又は8記載の画像取得装置のフォーカス方法。
- 前記領域制御手段によって、前記第1の撮像領域と前記第2の撮像領域との間の間隔を維持したまま、前記第1の撮像領域の位置及び前記第2の撮像領域の位置の双方を前記面内方向に沿って変更することを特徴とする請求項7又は8記載の画像取得装置のフォーカス方法。
- 前記画像取得装置は、
前記試料に対峙する対物レンズと、
前記焦点制御手段による制御に基づいて、前記試料に対する前記対物レンズの位置を相対的に制御する対物レンズ制御手段とを備え、
前記対物レンズ制御手段によって、前記焦点制御手段による焦点位置の解析実行中は前記対物レンズの駆動を行わず、前記焦点制御手段による焦点位置の解析非実行中に前記対物レンズを前記試料に対して一方向に移動させることを特徴とする請求項7〜11のいずれか一項記載の画像取得装置のフォーカス方法。
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