JP5986041B2 - 画像取得装置及び画像取得装置のフォーカス方法 - Google Patents
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- 試料が載置されるステージと、
前記試料に対峙して配置された対物レンズと、
前記ステージの位置又は前記対物レンズの位置を前記対物レンズの光軸方向に駆動する駆動手段と、
前記試料の光像を画像取得用の第1の光路及び焦点制御用の第2の光路に分岐する光分岐手段を含む導光光学系と、
前記第1の光路に分岐された第1の光像による第1の画像データを取得する第1の撮像手段と、
前記第2の光路に分岐された第2の光像による第2の画像データの2次元画像を取得可能な第2の撮像手段と、
前記第2の画像データを解析し、その解析結果に基づいて前記駆動手段による前記ステージの位置又は前記対物レンズの位置の変更を制御する焦点制御手段と、
前記第2の撮像手段の撮像面に、前記第2の光像の一部画像データを取得する第1の撮像領域及び第2の撮像領域を設定する領域制御手段と、
前記第2の光路に配置され、前記撮像面の面内方向に沿って前記第2の光像に光路差を生じさせる光路差生成部材と、を備え、
前記領域制御手段は、前記第1の撮像手段に入射する前記第1の光像と共役な光像が入射する領域と前記第1の撮像領域との間の間隔と、前記第1の撮像手段に入射する前記第1の光像と共役な光像が入射する領域と前記第2の撮像領域との間の間隔とが異なるように前記第1の撮像領域の位置及び前記第2の撮像領域の位置を設定することを特徴とする画像取得装置。 - 前記ステージを所定の速度で走査するステージ制御手段を更に備え、
前記領域制御手段は、前記第1の撮像手段に入射する前記第1の光像と共役な光像が入射する領域に対して前記撮像面における前記試料の走査方向の手前側に位置するように前記第1の撮像領域の位置及び前記第2の撮像領域の位置を設定することを特徴とする請求項1記載の画像取得装置。 - 前記光路差生成部材は、前記撮像面の面内方向に沿って連続的に厚さが変化する部分を有する部材であり、
前記領域制御手段は、前記光路差生成部材の厚みの異なる部分に重なるように前記第1の撮像領域と前記第2の撮像領域とを設定することを特徴とする請求項1又は2記載の画像取得装置。 - 前記焦点制御手段による制御に基づいて、前記試料に対する前記対物レンズの位置を相対的に制御する対物レンズ制御手段を備え、
前記対物レンズ制御手段は、前記焦点制御手段による焦点位置の解析実行中は前記対物レンズの駆動を行わず、前記焦点制御手段による焦点位置の解析非実行中に前記対物レンズを前記試料に対して一方向に移動させることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項記載の画像取得装置。 - 試料が載置されるステージと、
前記試料に対峙して配置された対物レンズと、
前記ステージの位置又は前記対物レンズの位置を前記対物レンズの光軸方向に駆動する駆動手段と、
前記試料の光像を画像取得用の第1の光路及び焦点制御用の第2の光路に分岐する光分岐手段を含む導光光学系と、
前記第1の光路に分岐された第1の光像による第1の画像データを取得する第1の撮像手段と、
前記第2の光路に分岐された第2の光像による第2の画像データの2次元画像を取得可能な第2の撮像手段と、
前記第2の画像データを解析し、その解析結果に基づいて前記駆動手段による前記ステージの位置又は前記対物レンズの位置の変更を制御する焦点制御手段と、を備えた画像取得装置のフォーカス方法であって、
前記第2の撮像手段の撮像面に、前記第2の光像の一部画像データを取得する第1の撮像領域及び第2の撮像領域を設定し、
前記撮像面の面内方向に沿って前記第2の光像に光路差を生じさせる光路差生成部材を前記第2の光路に配置し、
領域制御手段によって、前記第1の撮像手段に入射する前記第1の光像と共役な光像が入射する領域と前記第1の撮像領域との間の間隔と、前記第1の撮像手段に入射する前記第1の光像と共役な光像が入射する領域と前記第2の撮像領域との間の間隔とが異なるように前記第1の撮像領域の位置及び前記第2の撮像領域の位置を設定することを特徴とする画像取得装置のフォーカス方法。 - 前記画像取得装置は、
前記ステージを所定の速度で走査するステージ制御手段を備え、
前記領域制御手段により、前記第1の撮像手段に入射する前記第1の光像と共役な光像が入射する領域に対して前記撮像面における前記試料の走査方向の手前側に位置するように前記第1の撮像領域の位置及び前記第2の撮像領域の位置を設定することを特徴とする請求項5記載の画像取得装置のフォーカス方法。 - 前記光路差生成部材として、前記撮像面の面内方向に沿って連続的に厚さが変化する部分を有する部材を用い、
前記領域制御手段によって、前記光路差生成部材の厚みの異なる部分に重なるように前記第1の撮像領域と前記第2の撮像領域とを設定することを特徴とする請求項5又は6記載の画像取得装置のフォーカス方法。 - 前記画像取得装置は、
前記焦点制御手段による制御に基づいて、前記試料に対する前記対物レンズの位置を相対的に制御する対物レンズ制御手段を備え、
前記対物レンズ制御手段によって、前記焦点制御手段による焦点位置の解析実行中は前記対物レンズの駆動を行わず、前記焦点制御手段による焦点位置の解析非実行中に前記対物レンズを前記試料に対して一方向に移動させることを特徴とする請求項5〜7のいずれか一項記載の画像取得装置のフォーカス方法。
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