JP2007158241A - 加工装置のチャックテーブル - Google Patents
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Abstract
【解決手段】加工手段によって加工が施される被加工物を保持する加工装置のチャックテーブルであって、基台部421と、基台部の表面に設けられ被加工物を保持する保持面を備えた複数の保持部422と、複数の保持部の周囲に形成された外気流通部423と、外気流通部に開口し吸引手段に連通する吸引穴424と、外気流通部に開口し冷却液供給手段に連通する冷却液供給穴425とを具備している。
【選択図】図3
Description
基台部と、該基台部の表面に設けられ被加工物を保持する保持面を備えた複数の保持部と、該複数の保持部の周囲に形成された外気流通部と、該外気流通部に開口し吸引手段に連通する吸引穴と、該外気流通部に開口し冷却液供給手段に連通する冷却液供給穴と、を具備し、
該吸引穴に作用する吸引力により該外気流通部に外気が導入され、該外気流通部に導入された外気によって該冷却液供給穴から該外気流通部に供給された冷却液を気化し、その気化熱によって該保持部を冷却せしめる、
ことを特徴とする加工装置のチャックテーブルが提供される。
図1には、本発明に従って構成されたチャックテーブルを装備した加工装置としてのレーザー加工装置の斜視図が示されている。図1に示すレーザー加工装置は、静止基台2と、該静止基台2に矢印Xで示す加工送り方向に移動可能に配設され被加工物を保持するチャックテーブル機構3と、静止基台2に上記矢印Xで示す方向と直角な矢印Yで示す割り出し方向に移動可能に配設されたレーザー光線照射ユニット支持機構6と、該レーザー光線ユニット支持機構6に矢印Zで示す焦点位置調整方向に移動可能に配設されたレーザー光線照射ユニット7とを具備している。
図2および図3に示すチャックテーブル4は、図3に示すようにステンレス鋼等の金属材によって形成された円柱状の本体41と、該本体41の上部に設けられた吸着チャック部42とからなっており、円柱状の本体41が上記第2の滑動ブロック33の上面に配設された円筒状の支持筒体34に軸受340を介して回転可能に支持されている。吸着チャック部42は、本体41の上部に設けられた円形状の基台部421と、該基台部421の表面に設けられ被加工物を保持する保持面422aを備えた複数の保持部422と、該複数の保持部422の周囲に形成された外気流通部423と、基台部421の中心部に形成され外気流通部423に開口する吸引穴424と、基台部421の外周部に形成され外気流通部423に開口する複数の冷却液供給穴425とからなっている。上記複数の保持部422の高さは、0.5〜1mmに設定されている。上記吸引穴424は、本体41に形成された吸引通路411を介して吸引手段43に連通している。この吸引手段43の吸引量は、図示の実施形態においては1分間に100リットル(100リットル/分)に設定されている。また、上記複数の冷却液供給穴425は、本体41に形成された供給通路412を介して冷却液供給手段44に連通している。なお、冷却液供給手段44は、図示の実施形態においては冷却水を供給する。この冷却液供給手段44の供給量は、図示の実施形態においては1分間に100cc(100cc/分)に設定されている。
ここで、上記レーザー加工装置によってレーザー加工が施される被加工物としての半導体ウエーハについて、図4を参照して説明する。図4に示す半導体ウエーハ10はシリコンウエーハからなり、その表面10aには複数のデバイス101がマトリックス状に形成されている。そして、各デバイス101は、格子状に形成されたストリート102によって区画されている。この半導体ウエーハ10は、環状のフレーム11に装着された粘着テープ12に加工面である表面10aを上側にして裏面が貼着される。なお、半導体ウエーハ10に裏面から加工する場合には、半導体ウエーハ10の表面10aを粘着テープ12に貼着する。この粘着テープ12は、例えば厚さが100μmのポリオレフィンやポリエチレン等の合成樹脂シートの表面にアクリル系樹脂粘着材が厚さ5μm程度敷設されたテープが用いられている。
光源 :LD励起QスイッチNd:YVO4スレーザー
波長 :355nmのパルスレーザー
パルス出力 :14μJ
集光スポット径 :φ13μm
繰り返し周波数 :100kHz
加工送り速度 :100mm/秒
3:チャックテーブル機構
31、31:一対の案内レール
32:第一の滑動ブロック
33:第2の滑動ブロック
37:加工送り手段
38:第1の割り出し送り手段
4:チャックテーブル
41:チャックテーブルの本体
42:吸着チャック部
421:基台部
422:保持部
423:外気流入部
424:吸引穴
425:冷却液供給穴
43:吸引手段
44:冷却液供給手段
6:レーザー光線照射ユニット支持機構
61、61:一対の案内レール
62:可動支持基台
63:第2の割り出し送り手段
7:レーザー光線照射ユニット
71:ユニットホルダ
72:レーザー光線照射手段
73:集光器
8:撮像手段
10:半導体ウエーハ
11:環状のフレーム
12:粘着テープ
Claims (2)
- 加工手段によって加工が施される被加工物を保持する加工装置のチャックテーブルであって、
基台部と、該基台部の表面に設けられ被加工物を保持する保持面を備えた複数の保持部と、該複数の保持部の周囲に形成された外気流通部と、該外気流通部に開口し吸引手段に連通する吸引穴と、該外気流通部に開口し冷却液供給手段に連通する冷却液供給穴と、を具備し、
該吸引穴に作用する吸引力により該外気流通部に外気が導入され、該外気流通部に導入された外気によって該冷却液供給穴から該外気流通部に供給された冷却液を気化し、その気化熱によって該保持部を冷却せしめる、
ことを特徴とする加工装置のチャックテーブル。 - 該複数の保持部は、基台部の表面に設けられた複数の柱状突起からなっている、請求項1記載の加工装置のチャックテーブル。
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