JP2007207863A - レーザー加工方法およびレーザー加工装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】被加工物を保持するチャックテーブルと、チャックテーブルに保持された被加工物にレーザー光線を照射するレーザー光線照射手段とを具備するレーザー加工装置を用い、被加工物を保護テープに貼着した状態で保護テープ側をチャックテーブルに載置し、レーザー光線照射手段から被加工物にレーサー光線を照射してレーザー加工を施すレーザー加工方法であって、チャックテーブルと保護テープとの間に湿潤部材を介在してレーザー加工を施す。
【選択図】図6
Description
このような問題は、ウエーハに対して透過性を有する波長のパルスレーザー光線を照射し、ウエーハの内部に変質層を形成するレーザー加工方法においても発生する。
該チャックテーブルと該保護テープとの間に湿潤部材を介在してレーザー加工を施す、
ことを特徴とするレーザー加工方法が提供される。
該チャックテーブルの該保持面に水を供給する水供給手段と、該保持面に負圧を作用せしめる吸引手段を備えている、
ことを特徴とするレーザー加工装置が提供される。
図1には、本発明に従って構成されたレーザー加工装置の斜視図が示されている。図1に示すレーザー加工装置は、静止基台2と、該静止基台2に矢印Xで示す加工送り方向に移動可能に配設され被加工物を保持するチャックテーブル機構3と、静止基台2に上記矢印Xで示す方向と直角な矢印Yで示す割り出し方向に移動可能に配設されたレーザー光線照射ユニット支持機構6と、該レーザー光線ユニット支持機構6に矢印Zで示す焦点位置調整方向に移動可能に配設されたレーザー光線照射ユニット7とを具備している。
図2および図3に示すチャックテーブル4は、図2に示すようにステンレス鋼等の金属材によって形成された円柱状の本体41と、該本体41の上部に設けられた円形状の吸着チャック部42とからなっており、円柱状の本体41が上記第2の滑動ブロック33の上面に配設された円筒状の支持筒体34に軸受340を介して回転可能に支持されている。吸着チャック部42の上面である被加工物を保持する保持面42aには、図3に示すように円弧状の水供給溝431と円弧状の吸引溝441が対向して形成されている。円弧状の水供給溝431と円弧状の吸引溝441は、図示の実施形態においては幅が1mm、深さが1mmに設定されている。また、吸着チャック部42の保持面42aには、円弧状の水供給溝431とそれぞれ連通する複数の直線状の水供給細溝432と、円弧状の吸引溝441とそれぞれ連通する複数の直線状の吸引細溝442とが交互に形成されている。この直線状の水供給細溝432と直線状の水供給細溝432は、図示の実施形態においては幅が100μm、深さが100μm、溝間隔が150μmに設定されている。
ここで、上記レーザー加工装置によってレーザー加工が施される被加工物としての光デバイスについて、図4を参照して説明する。図4に示す光デバイスウエーハ10は、例えば厚さが80μmのGaAs基板からなり、その表面10aには複数の光デバイス101がマトリックス状に形成されている。そして、各光デバイス101は、格子状に形成されたストリート102によって区画されている。この光デバイスウエーハ10は、環状のフレーム11に装着された保護テープ12に加工面である表面10aを上側にして裏面が貼着される。なお、光デバイスウエーハ10に裏面から加工する場合には、光デバイスウエーハ10の表面10aを保護テープ12に貼着する。この保護テープ12は、例えば厚さが70μmのポリオレフィンやポリエチレン等の合成樹脂シートの表面にアクリル系樹脂粘着材が厚さ5μm程度敷設されたテープが用いられている。
光源 :LD励起QスイッチNd:YVO4スレーザー
波長 :355nmのパルスレーザー
繰り返し周波数 :10kHz
平均出力 :6W
集光スポット径 :φ15μm
加工送り速度 :200mm/秒
3:チャックテーブル機構
31、31:一対の案内レール
32:第一の滑動ブロック
33:第2の滑動ブロック
37:加工送り手段
38:第1の割り出し送り手段
4:チャックテーブル
41:チャックテーブルの本体
42:吸着チャック部
43:水供給手段
44:吸引手段
6:レーザー光線照射ユニット支持機構
61、61:一対の案内レール
62:可動支持基台
63:第2の割り出し送り手段
7:レーザー光線照射ユニット
71:ユニットホルダ
72:レーザー光線照射手段
73:集光器
8:撮像手段
10:光デバイスウエーハ
11:環状のフレーム
12:保護テープ
Claims (4)
- 被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物にレーザー光線を照射するレーザー光線照射手段とを具備するレーザー加工装置を用い、被加工物を保護テープに貼着した状態で該保護テープ側を該チャックテーブルに載置し、該レーザー光線照射手段から被加工物にレーサー光線を照射してレーザー加工を施すレーザー加工方法であって、
該チャックテーブルと該保護テープとの間に湿潤部材を介在してレーザー加工を施す、
ことを特徴とするレーザー加工方法。 - 該湿潤部材は、吸水シートに水を浸透させて構成される、請求項1記載のレーザー加工方法。
- 該吸水シートは,濾紙からなっている、請求項2記載のレーザー加工方法。
- 被加工物を保持する保持面を有するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物にレーザー光線を照射するレーザー光線照射手段と、を具備するレーザー加工装置において、
該チャックテーブルの該保持面に水を供給する水供給手段と、該保持面に負圧を作用せしめる吸引手段を備えている、
ことを特徴とするレーザー加工装置。
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