KR20080026067A - 위치 정렬 대상물의 재등록 방법 및 그 방법을 기록한 기록매체 - Google Patents

위치 정렬 대상물의 재등록 방법 및 그 방법을 기록한 기록매체 Download PDF

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Abstract

본 발명은 프로브(12A)가 기종등의 상이함에의해, 촬상화상(16A)가 변동한경우, 변동후의 프로브(12A)의 촬상화상(16A)을 단시간에 재등록할수 있는 위치정렬 대상물의 재등록 방법을 제공한다.
본 발명의 재등록 방법은, 전회 등록한 4개의 프로브(12)에 대응하는 매크로1점째~매크로4점째의 제 1 화상정보의 위치데이타에 근거하여, 제1 CCD 카메라(14)를 자동적으로 이동시켜, 이 카메라(14)에의해 프로브(12A)의 선단을 저배율로 매크로 1점째∼매크로 4점째로서 촬상하는 공정과, 제1 화상정보의 촬상조건 및 재등록시의 촬상화상을 그대로 재등록 하는 공정과, 제1 화상정보의 위치데이터에 근거하여 제1 CCD 카메라(14)를 자동적으로 이동시켜, 이 카메라(14)에 의하여 프로브(12A)를 고배율로 마이크로 1점째~마이크로4점째로서 촬상하는 공정과, 전회 등록한 제2 화상정보의 촬상조건 및 재등록시의 촬상화상을 그대로 재등록하는공정을 구비하고 있다.

Description

위치 정렬 대상물의 재등록 방법 및 그 방법을 기록한 기록 매체{METHOD FOR RE-REGISTERING AN OBJECT TO BE ALIGNED AND STORAGE MEDIUM STORING A PROGRAM FOR EXECUTING THE METHOD}
본 발명은 위치 정렬 대상물의 재등록 방법 및 그 방법을 기록한 기록 매체에 관한 것으로, 보다 상세하게는 예컨대 웨이퍼 등의 피 검사체와 프로브를 전기적으로 접촉시켜 피 검사체의 검사를 실행하기 전에 피 검사체의 특정한 검사용 전극 및 프로브를 대상물로서 촬상 수단으로 검출하여, 대상물을 재등록하는 방법 및 그 방법을 기록한 기록 매체에 관한 것이다.
웨이퍼의 반도체 제조공정은 여러 가지의 처리공정을 구비하고 있다. 각 처리공정에서는 웨이퍼를 탑재대 상에 탑재하여, 탑재대 상에서 웨이퍼에 대하여 각각의 처리가 실시된다. 웨이퍼를 처리할 때에는 처리에 앞서 웨이퍼를 정확하게 위치 결정하는 얼라이먼트 조작을 실행한 후, 소정의 처리를 실시하는 경우가 있다.
예컨대, 도 5에 나타내는 검사 장치를 이용하여 웨이퍼의 검사를 실행하는 경우에도, 웨이퍼의 각 디바이스의 복수의 검사용 전극과 이들에 대응하는 프로브와의 얼라이먼트를 실행한 후, 복수의 검사용 전극과 이들에 대응하는 프로브를 전기적으로 접촉시켜 검사를 실행한다. 이 검사 장치는 예컨대, 도 5의 (a), (b)에 도시하는 바와 같이 웨이퍼W를 로드, 언로드하는 로더실(1)과, 웨이퍼W의 전기적 특성검사를 실행하는 프로버실(2)을 구비하고 있다. 로더실(1)은 카세트C 내의 웨이퍼W를 프로버실(2)로 반송하는 반송아암(3)과 반송아암(3)에 의해서 웨이퍼W를 반송하는 사이에 웨이퍼W의 사전 정렬을 행하는 사전 정렬기구(4)를 구비하고 있다. 프로버실(2)은 사전 정렬 후의 웨이퍼W를 탑재하는 X, Y, Z 및 θ 방향으로 이동 가능한 탑재대(5)와, 탑재대(5)의 위쪽에 배치된 프로브 카드(6)와, 프로브 카드(6)의 복수의 프로브(6A)와 탑재대(5) 상의 웨이퍼W와의 얼라이먼트를 행하는 얼라이먼트 기구(7)를 구비하고, 제어 장치(도시하지 않음)의 제어하에서 구동한다. 또한, 프로브 카드(6)는 헤드 플레이트(8)의 개구부에 고정되어 있다. 헤드 플레이트(8)의 상면에는 테스트 헤드T가 배치되고, 프로브 카드(6)는 헤드 플레이트(8)를 거쳐서 테스터(도시하지 않음)에 전기적으로 접속되어 있다.
그리고, 사전 정렬기구(4)는 웨이퍼W를 탑재하는 회전 가능한 회전대(4A)와 웨이퍼W의 외주연부에 형성된 오리엔테이션 플랫과 노치를 광학적으로 검출하는 광학적 검출 수단(도시하지 않음)을 구비하여, 웨이퍼W를 탑재한 회전대(4A)가 회전하는 사이에 광학적 검출 수단으로 웨이퍼W의 오리엔테이션 플랫 또는 노치를 검출함으로써, 웨이퍼W를 소정의 방향으로 사전 정렬한다.
또한, 얼라이먼트 기구(7)는 도 5의 (a), (b)에 도시하는 바와 같이 프로 브(6A)를 촬상하도록 탑재대(5) 측 쪽에 부착된 제 1 CCD 카메라(7A)와, 웨이퍼W를 촬상하는 제 2 CCD 카메라(7B)와, 제 2 CCD 카메라(7B)를 지지하는 얼라이먼트 브리지(7C)와, 얼라이먼트 브리지(7C)를 프로브 센터로 안내하는 좌우 한 쌍의 가이드 레일(7D)을 구비하고, 제 1 CCD 카메라(7A)에서 프로브(6A)를 촬상함과 동시에 제 2 CCD 카메라(7B)에서 웨이퍼W의 검사용 전극을 촬상하고, 각각의 촬상 위치 데이터에 근거하여 프로브(6A)와 검사용 전극과의 얼라이먼트를 행한다.
그런데, 프로브(6A)와 웨이퍼W의 얼라이먼트에 앞서, 제1, 제 2 CCD 카메라(7A, 7B)를 이용하여 소정의 프로브(6A)의 바늘 선단 및 웨이퍼W의 검사용 전극을 검출하여 촬상하고, 그 때의 위치 데이터 등을 등록하는 작업이 있다. 이 등록 작업은 프로브(6A) 및 웨이퍼W를 촬상하고, 예컨대 표시 장치의 표시 화면(9)의 멀티 윈도우에 각각 표시된 촬상 화상과 인접하는 조작 패널을 이용하여 행하여진다. 예컨대 프로브 카드(6)의 네 모서리의 프로브(6A)는 표시 화면(9)의 촬상화상과 조작 패널을 이용하여, 예컨대 도 6에 나타내는 순서로 등록된다. 그것을 위하여는 우선 제 1 CCD 카메라(7A)에 의해서 프로브 카드(6)를 저배율로 촬상하여 프로브(6A)의 위치를 검출한 후, 고배율로 그 프로브(6A)의 바늘 선단을 촬상하여 얼라이먼트에 제공한다.
우선, 제어 장치의 제어하에서 제 1 CCD 카메라(7A)가 프로브 센터(프로브 카드(6)의 중심)에 위치하도록 탑재대(5)를 자동적으로 이동시켜 제 1 CCD 카메라(7A)로 프로브 카드(6)를 프로브(6A) 측에서 저배율로 촬상하고, 그 화상을 표시 화면(9)에 표시하여 프로브 카드(6) 전체를 개략적으로 관찰한다. 그리고, 표시 화면(9)의 촬상 화상을 보면서 조작 패널의 조작에 의해 탑재대(5)를 프로브 센터로부터 소정의 프로브(6A)로 이동시켜 제 1 CCD 카메라(7A)의 초점을 프로브(6A)의 바늘 선단에 맞춤과 동시에 제 1 CCD 카메라(7A)의 시야 및 조도(이하, 「촬상 조건」이라고 한다)를 선택하고 그 때의 탑재대(5)의 위치 데이터 및 촬상 조건을 매크로 1점째의 제 1 화상 정보로서 등록한다(스텝 S1). 계속해서, 조작 패널을 조작하여 탑재대(5)를 마찬가지로 이동시켜 제 1 CCD 카메라(7A)의 초점을 매크로 1점째의 프로브(6A)에서 별도의 프로브(6A)의 바늘 선단에 맞추어 촬상 조건을 선택하고 그 때의 탑재대(5)의 위치 데이터 및 촬상 조건을 매크로 2점째의 제 1 화상 정보로서 등록한 후 (스텝 S2), 마찬가지로 해서 탑재대(5)를 거쳐서 제 1 CCD 카메라(7A)를 다른 프로브(6A)로 이동시켜 그 때의 바늘 선단의 위치 데이터 및 촬상 조건을 매크로 3점째의 제 1 화상 정보로서 등록하고 (스텝 S3), 또 다른 프로브(6A)의 바늘 선단의 위치 데이터 및 촬상 조건을 매크로 4점째의 제 1 화상 정보로서 등록한다 (스텝 S4).
상술한 바와 같이, 저배율로 4개의 프로브(6A)를 매크로 1점째∼매크로 4점째로서 촬상하여 각각의 제 1 화상 정보를 등록하고, 제 1 CCD 카메라(7A)를 얼라이먼트시에 이용되는 고배율로 전환한 후, 매크로 1점째의 위치 데이터에 근거하여 탑재대(5)를 거쳐서 제 1 CCD 카메라(7A)를 자동적으로 이동시켜, 제 1 CCD 카메라(7A)의 초점을 매크로 1점째에 대응하는 프로브(6A)의 바늘 선단에 맞추어, 마이크로 1점째로서의 촬상 조건을 선택하고, 이 촬상 조건을 위치 데이터와 함께 마이크로 1점째의 제 2 화상 정보로서 등록한다 (스텝 S5). 계속해서, 매크로 2점째의 위치 데이터에 근거하여 탑재대(5)를 거쳐서 제 1 CCD 카메라(7A)를 자동적으로 이동시켜, 제 1 CCD 카메라(7A)의 초점을 매크로 2점째에 대응하는 프로브(6A)의 바늘 선단에 맞추어 마이크로 2점째로서의 촬상 조건을 선택하고, 이 촬상 조건을 위치 데이터와 함께 마이크로 2점째의 제 2 화상 정보로서 등록한 후 (스텝 S6), 마찬가지로 해서 매크로 3점째로 탑재대(5)를 자동적으로 이동시켜, 그 프로브(6A)를 마이크로 3점째로서 제 1 CCD 카메라(7A)로 촬상하고, 그 때의 촬상 조건을 선택하여 위치 데이터와 함께 마이크로 3점째의 제 2 화상 정보로서 등록하고 (스텝 S7), 또한 매크로 4점째로 자동적으로 탑재대(5)를 이동시켜, 그 프로브(6A)를 마이크로 4점째로서 제 1 CCD 카메라(7A)로 촬상하고, 그 때의 촬상 조건을 선택하여 위치 데이타와 함께 마이크로 4점째의 제 2 화상 정보로서 등록 하는 것으로(스텝 S8), 일련의 프로브의 등록작업을 종료하고 웨이퍼W와의 얼라이먼트에 제공한다.
또한, 웨이퍼W에 대해서도 프로브(6A)의 경우와 동일 요령으로 웨이퍼W의 복수 개소의 위치 데이터 및 촬상 조건을 각각 등록한다. 그런 후, 프로브(6A) 및 웨이퍼W의 등록 데이터를 이용하여, 프로브(6A)와 웨이퍼W를 얼라이먼트한 후, 웨이퍼W를 인덱스 이송하여 웨이퍼W에 형성된 복수의 디바이스의 전기적 특성검사를 실행한다.
그러나, 동일한 웨이퍼W의 전기적 특성검사를 반복해 가는 사이에, 그때까지의 프로브 카드(6)와는 다른 기종의 프로브 카드(6)를 사용하는 경우가 있지만, 이 경우에는 프로브 카드(6)의 수단이 실질적으로 동일하더라도 예컨대, 기종에 의해 프로브(6A)의 형태가 다르고 촬상 화상이 변동하기 때문에, 변동 후의 촬상 화상을 컴퓨터 상에서 인식할 수 없게 되어, 전환 후의 프로브 카드(6)를 재등록할 필요가 발생한다. 또한, 프로브 카드(6)가 더러워진 경우도 재등록이 필요하게 된다. 종래 방법으로 재등록하기 위해서는 도 6에 나타내는 등록작업을 처음부터 모두 다시 하지 않으면 안 되어, 그의 재등록 작업에 많은 시간을 할애하지 않을 수가 없었다. 이것은 예컨대 웨이퍼W가 실질적으로 동일한 검사 수단이더라도 전 처리에 변경이 있었던 경우에는, 그 웨이퍼W에 대하여 재등록할 필요가 있고, 그 재등록 작업에 시간을 많이 할애하지 않을 수가 없었다.
본 발명은 상기 과제를 해결하기 위해서 이루어진 것으로, 위치 정렬 대상물이 실질적으로 동일한 것으로 기종 등의 상이함에 의해 촬상 화상이 변동한 경우에도, 변동 후의 대상물의 촬상 화상을 단 시간에서 재등록할 수 있는 위치 정렬 대상물의 재등록 방법 및 그 방법을 기록한 기록 매체를 제공하는 것을 목적으로 하고 있다.
본 발명의 청구항 1에 기재된 위치 정렬 대상물의 재등록 방법은 촬상 수단을 이용하여 대상물의 위치 정렬을 실행하기 위해서, 미리 상기 촬상 수단에 의해서 촬상되어 등록된 상기 대상물의 위치 데이터 및 촬상 조건을 포함하는 적어도 하나의 화상 정보를 재등록하는 방법으로서, 상기 화상 정보의 위치 데이터에 근거하여 상기 대상물과 상기 촬상 수단중 적어도 하나를 자동적으로 이동시켜, 상기 촬상 수단에 의해서 상기 대상물을 촬상하는 공정과, 상기 화상 정보의 촬상 조건을 그대로 이용하여 재등록하는 공정을 구비한 것을 특징으로 하는 것이다.
또한, 본 발명의 청구항 2에 기재된 위치 정렬 대상물의 재등록 방법은 촬상 수단을 이용하여 대상물의 위치 정렬을 실행하기 위해서, 미리 상기 촬상 수단에 의해서 저배율 및 고배율로 촬상되어 각각 등록된 상기 대상물의 위치 데이터 및 촬상 조건을 포함하는 적어도 하나씩의 제1, 제 2 화상 정보를 재등록하는 방법으로서, 상기 제 1 화상 정보의 위치 데이터에 근거하여 상기 대상물과 상기 촬상 수단중 적어도하나를 자동적으로 이동시켜, 상기 촬상 수단에 의해서 상기 대상물을 저배율로 촬상하는 공정과, 상기 제 1 화상 정보의 촬상 조건을 그대로 이용하여 재등록하는 공정과, 상기 제 1 화상 정보의 위치 데이터에 근거하여 상기 대상물 또는 상기 촬상 수단을 자동적으로 이동시켜, 상기 촬상 수단에 의해서 상기 대상물을 고배율로 촬상하는 공정과, 상기 제 2 화상 정보의 촬상 조건을 그대로 이용하여 재등록하는 공정을 구비한 것을 특징으로 하는 것이다.
또한, 본 발명의 청구항 3에 기재된 위치 정렬 대상물의 재등록 방법은 청구 항 1 또는 청구항 2에 기재된 발명에 있어서, 상기 대상물을 위치 정렬 하는동안 위치 어긋난 불량이 발생하면 상기 대상물의 촬상 화상 및 이것에 대응하는 등록 화상을 표시 화면에 함께 표시하는 것을 특징으로 하는 것이다.
또한, 본 발명의 청구항 4에 기재된 위치 정렬 대상물의 재등록 방법은 청구항 1∼청구항 3 중 어느 1항에 기재된 발명에 있어서, 상기 촬상 화상 및 이것에 대응하는 상기 등록 화상 각각에 표시된 위치 정렬 마크를 목표로 상기 대상물과 상기 촬상 수단중 적어도 하나를 이동 조작하는 것을 특징으로 하는 것이다.
또한, 본 발명의 청구항 5에 기재된 위치 정렬 대상물의 재등록 방법은, 청구항 1∼청구항 4 중 어느 1항에 기재된 발명에 있어서, 상기 대상물이 프로브 카드 또는 피 검사체인 것을 특징으로 하는 것이다.
또한, 본 발명의 청구항 6에 기재된 기록 매체는 촬상 수단을 이용하여 대상물의 위치 정렬을 실행하기 위해서, 미리 상기 촬상 수단에 의해서 촬상되어 등록된 상기 대상물의 위치 데이터 및 촬상 조건을 포함하는 적어도 하나의 화상 정보를 재등록하기 위한 프로그램을 기록한 기록 매체로서, 상기 프로그램에 의해서 컴퓨터를 구동시켜서 상기 화상 정보의 위치 데이터에 근거하여 상기 대상물 또는 상기 촬상 수단을 자동적으로 이동시켜, 상기 촬상 수단에 의해서 상기 대상물을 촬상하는 공정과 상기 화상 정보의 촬상 조건을 그대로 이용하여 재등록하는 공정을 실행하는 것을 특징으로 하는 것이다.
또한, 본 발명의 청구항 7에 기재된 기록 매체는 촬상 수단을 이용하여 대상물의 위치 정렬을 실행하기 위해서, 미리 상기 촬상 수단에 의해서 저배율 및 고배 율로 촬상되어 각각 등록된 상기 대상물의 위치 데이터 및 촬상 조건을 포함하는 적어도 하나씩의 제1, 제 2 화상 정보를 재등록하기 위한 프로그램을 기록한 기록 매체로서, 상기 프로그램에 의해서 컴퓨터를 구동시켜서 상기 제 1 화상 정보의 위치 데이터에 근거하여 상기 대상물 또는 상기 촬상 수단을 자동적으로 이동시켜, 상기 촬상 수단에 의해서 상기 대상물을 저배율로 촬상하는 공정과, 상기 제 1 화상 정보의 촬상 조건을 그대로 이용하여 재등록하는 공정과, 상기 제 1 화상 정보의 위치 데이터에 근거하여 상기 대상물 또는 상기 촬상 수단을 자동적으로 이동시켜, 상기 촬상 수단에 의해서 상기 대상물을 고배율로 촬상하는 공정과, 상기 제 2 화상 정보의 촬상 조건을 그대로 이용하여 재등록하는 공정을 실행하는 것을 특징으로 하는 것이다.
본 발명에 의하면, 위치 정렬 대상물이 실질적으로 동일한 것으로 기종 등의 상이함에 의해 촬상 화상이 변동한 경우에도, 변동 후의 대상물의 촬상 화상을 단시간에 재등록할 수 있는 위치 정렬 대상물의 재등록 방법 및 그 방법을 기록한 기록 매체를 제공할 수 있다.
이하, 도 1∼도 4에 나타내는 실시예에 근거하여 본 발명을 설명한다.
우선, 본 발명의 위치 정렬 대상물의 재등록 방법을 기록한 기록 매체를 구 비한 검사 장치에 대하여 설명한다. 이 검사 장치(10)는 예컨대, 도 1에 도시하는 바와 같이 피 검사체인 웨이퍼W를 탑재하는 이동 가능한 탑재대(11)와, 이 탑재대(11)의 위쪽에 배치된 프로브 카드(12)와, 이 프로브 카드(12)의 복수의 프로브(12A)와 탑재대(11) 상의 웨이퍼W와의 얼라이먼트를 행하는 얼라이먼트 기구(13)와, 얼라이먼트 기구(13)를 구성하는 제 l, 제 2 촬상 수단(예컨대 CCD 카메라, 14, 15)과, 제1, 제 2 CCD 카메라(14, 15)에 의해서 촬상된 화상을 표시하는 표시 화면(16)을 갖는 표시 장치와, 이들의 구성기기를 제어하는 컴퓨터로 이루어지는 제어 장치(17)를 구비하고, 제어 장치(17)의 제어하에서 얼라이먼트 기구(13)에 의해서 탑재대(11) 상의 웨이퍼W와 프로브 카드(12)의 복수의 프로브(12A)와의 얼라이먼트를 실행한 후, 복수의 프로브(12A)와 웨이퍼W를 전기적으로 접촉시켜 웨이퍼W의 전기적 특성검사를 실행하도록 구성되어 있다.
또한, 검사 장치(10)는 도 1에 도시하는 바와 같이 키보드 등의 입력부(18)를 구비하고, 입력부(18)에 의해서 여러 가지의 검사 조건을 입력할 수 있으며, 표시 화면(16) 상에 표시된 메뉴나 아이콘(도시하지 않음)을 지정하여 여러 가지의 프로그램 등을 실장할 수 있다.
탑재대(11)는 도 1에 도시하는 바와 같이 구동 기구(11A) 및 검출기(예컨대, 인코더, 11B)를 구비하고, 구동 기구(11A)를 거쳐서 X, Y, Z 및 θ 방향으로 이동함과 동시에 인코더(11B)를 거쳐서 이동량을 검출하도록 구성되어 있다. 구동 기구(11A)는 탑재대(11)가 배치된 XY 테이블을 구동하는 예컨대, 모터와 볼나사를 주체로 하는 수평 구동 기구(도시하지 않음)와, 탑재대(11)에 내장된 승강 구동 기구 와, 탑재대(11)를 θ 방향으로 회전시키는 θ 구동 기구를 구비하고 있다. 인코더(11B)는 모터의 회전수를 거쳐서 XY테이블의 X, Y 방향으로의 이동거리를 각각 검출하여, 각각의 검출 신호를 제어 장치(17)로 송신한다. 제어 장치(17)는 인코더(11B)로부터의 신호에 근거하여 구동 기구(11A)를 제어하고, 그로 인해 탑재대(11)의 X, Y 방향으로의 이동량을 제어한다.
얼라이먼트 기구(13)는 상술한 바와 같이, 제1, 제2 CCD 카메라(14, 15) 및 얼라이먼트 브리지(19)를 구비하고 있다. 도 1에 도시하는 바와 같이, 제 1 CCD 카메라(14)는 탑재대(11)의 측 쪽에 장착되고, 제 2 CCD 카메라(15)는 얼라이먼트 브리지(19)에 장착되어 있다. 제1, 제 2 CCD 카메라 (l4, 15)는 모두 저배율과 고배율의 2개의 배율을 갖춰, 소정의 배율로 프로브(12A)나 웨이퍼W를 촬상한다.
제 1 CCD 카메라(14)는 얼라이먼트 브리지(19)가 프로브실 내의 배면으로 후퇴한 뒤, 프로브 카드(12)의 하방으로 탑재대(11)가 X, Y 방향으로 이동하는 사이에, 프로브 카드(12)의 하방으로부터 복수의 프로브(12A)의 바늘 선단을 소정의 배율로 촬상하여, 촬상 신호를 제어 장치(17)로 송신하고, 제어 장치(17)를 거쳐서 프로브를 표시 화면(16) 상에 표시한다. 또한, 제 2 CCD 카메라(15)는 얼라이먼트 브리지(19)를 거쳐서 프로버실의 배면에서 프로브 센터까지 진출하여 프로브 카드(12)와 탑재대(11) 사이에 위치하고, 여기서 탑재대(11)가 X, Y 방향으로 이동하는 사이에, 웨이퍼W를 위쪽으로부터 소정의 배율로 촬상하여 촬상 신호를 제어 장치(17)로 송신하고, 제어 장치(17)를 거쳐서 그 웨이퍼 화상을 표시 화면(16) 상에 표시한다.
제어 장치(17)는 중앙 연산 처리부(17A)와, 본 발명의 위치 정렬 대상물을 재등록하기 위한 프로그램을 포함하는 각종의 프로그램이 기억된 프로그램 기억부(17B)와, 여러 가지의 데이터를 기억하는 기억부(17C)와, 제1, 제 2 CCD 카메라(14, 15)로부터의 촬상 신호를 화상 처리하는 화상 처리부(14A, 15A)와, 이들의 화상 처리부(14A, 15A)로부터의 화상 신호를 화상 데이터로서 기억하는 화상 기억부(14B, 15B)와, 이들의 화상 신호에 근거하여 표시 화면(16)에 촬상 화상 등을 표시하기 위한 표시 제어부(14C, 15C)를 구비하고, 중앙 연산 처리부(17A)와 프로그램 기억부(17B), 기억부(17 C)와의 사이에서 신호를 송수신하여 검사 장치(10)의 각종 구성기기를 제어한다.
중앙 연산 처리부(17A)에는 입력부(18)가 접속되고, 입력부(18)로부터 입력된 각종의 데이터 신호를 중앙 연산 처리부(17A)에서 처리하여 기억부(17C)에 저장한다. 본 실시예에서는 프로그램 기억부(17B)에 본 발명의 위치 정렬 대상물의 재등록 방법을 실행하기 위한 프로그램이 저장되고, 표시 화면(16)에는 촬상 화상(16A) 및 조작 패널(16B) 등이 표시된다. 조작 패널(16B)은 후술하는 바와 같이, 얼라이먼트에 앞서 제 l, 제 2 CCD 카메라(14, 15)를 이동 조작하고, 혹은 프로브 카드(12)의 위치 데이터 등의 화상 정보를 등록하는 기능을 갖고 있다. 즉, 제1, 제 2 CCD 카메라(14, 15)는 조작 패널(16B)의 수평 이동 조작키K1을 가압하는 것으로 X, Y 방향으로 이동함과 동시에, 조작 패널(16B)의 상하 이동 조작키K2를 가압하는 것으로 Z 방향으로 이동하도록 구성되어 있다.
또한, 중앙 연산 처리부(17A)에는 화상 기억부(14B, 15B) 및 표시 제어 부(14C, 15C)가 접속되고, 제1, 제 2 CCD 카메라(14, 15)에 의한 촬상 화상을 중앙 연산 처리부(17A) 및 표시 제어부(14C, 15C)를 거쳐서 표시 화면(16) 상에 각각 표시한다. 화상 기억부(14B, 15B)에는 제1, 제 2 CCD 카메라(14, 15)에 의한 현재의 촬상 화상 이외에, 과거의 촬상 화상이나 가공 화상 등을 저장할 수 있다.
본 발명의 위치 정렬 대상물의 재등록 방법 등의 프로그램은 여러 가지의 기록 매체를 거쳐서 프로그램 기억부(17B)에 저장된다. 또한, 이들의 프로그램은 통신 매체에 의해서 각종 검사 장치에 다운로드할 수도 있다. 본 실시예에서는 프로그램 기억부(17B)에 저장된 위치 정렬 대상물의 재등록 방법의 프로그램을 실행하도록 하고 있다.
이어서, 도 2를 참조하면서 본 발명의 위치 정렬 대상물의 재등록 방법의 1 실시예에 대하여 설명한다. 위치 정렬 대상물의 재등록 작업은 예컨대 이미 등록되어 있는 웨이퍼W나 프로브 카드(12)가 위치정렬 대상물과 실질적으로 동일하고 각각의 촬상 화상에 변동이 발생한 경우에 행하여진다. 즉, 프로브 카드(12)가 실질적으로 동일하더라도, 그 기종에 의해 프로브(12A) 등의 형태가 다른 경우가 있고, 형태가 다르면 그 촬상 화상이 변동하여, 변동 후의 촬상 화상을 컴퓨터 상에서 인식할 수 없게 된다. 이 경우, 본 발명의 위치 정렬 대상물의 재등록 방법을 이용하여, 예컨대 미리 등록되어 있는 위치 데이터 및 촬상 조건을 포함하는 등록 화상 정보를 이용하여 변동 후의 프로브 카드(12) 및/또는 웨이퍼W의 촬상 화상을 단시간에 재등록할 수 있다. 본 실시예에서는 프로브 카드(12)의 프로브(12A)를 재등록하는 방법에 대하여 설명한다. 또한, 본 실시예에서는 프로브(12A) 및 웨이 퍼W가 위치 정렬 대상물로 된다.
우선, 예컨대 수평 이동 조작키K1과 상하 이동 조작키K2를 조작하여 표시 화면(16) 상에서 위치 정렬 대상물의 재등록 방법의 프로그램을 선택하면, 제어 장치(17)를 거쳐서 그 프로그램을 도 2에 나타내는 흐름에 따라서 실행한다. 즉, 도 2에 도시하는 바와 같이, 제어 장치(17)의 제어하에서 도 6에 나타내는 프로브 등록작업으로 등록된 전회의 매크로 1점째의 제 1 화상 정보의 위치 데이터를 이용하여 프로버실 내의 제 1 CCD 카메라(14)가 탑재대(11)를 거쳐서 매크로 1점째에 자동적으로 이동함과 동시에, 제 1 CCD 카메라(14)가 전회 등록된 제 1 화상 정보의 매크로 1점째의 촬상 조건(시야 및 조도)을 자동적으로 반영하여 매크로 1점째에 해당하는 프로브(12A)의 바늘 선단을 저배율로 촬상하고, 그 촬상 화상을 매크로 1점째의 등록 화상으로서 자동적으로 화상 기억부(14B)에 등록한다 (스텝 S11). 이 때, 프로브 카드(12)의 기종이 다르더라도 프로브(12A)의 바늘 선단의 위치 데이터는 변하지 않기 때문에, 전회의 등록 화상 정보의 위치 데이터 및 촬상 조건을 그대로 이용할 수 있다. 이와 같이, 매크로 1점째에 해당하는 프로브(12A)의 바늘 선단을 재등록할 때에, 새롭게 위치 데이터나 촬상 조건을 설정하여 다시 설정하는 일 없이, 전회의 매크로 1점째의 위치 데이터 및 촬상 조건을 자동적으로 그대로 이용할 수 있어, 재등록 작업을 상당히 단축할 수 있다.
이어서, 도 2에 도시하는 바와 같이, 제어 장치(17)의 제어하에서 전회의 제 1 화상 정보의 매크로 2점째의 위치 데이터를 이용하여 제 1 CCD 카메라(14)가 탑재대(11)를 거쳐서 매크로 2점째에 자동적으로 이동함과 동시에, 제 1 CCD 카메 라(14)가 전회의 제 1 화상 정보의 매크로 2점째의 촬상 조건(시야 및 조도)을 자동적으로 반영하여 매크로 2점째에 해당하는 프로브(12A)의 바늘 선단을 저배율로 촬상하고, 그 촬상 화상을 매크로 2점째의 등록 화상으로서 자동적으로 화상 기억부(14B)에 등록한 후(스텝 S12), 제 1 CCD 카메라(14)는 탑재대(11)를 거쳐서 전회의 제 1 화상 정보의 매크로 3점째의 위치 데이터를 이용하여 매크로 3점째로 자동적으로 이동함과 동시에, 전회의 제 1 화상 정보의 촬상 조건으로 매크로 3점째에 해당 하는 프로브(12A)의 바늘 선단을 저배율로 촬상하고, 그 촬상 화상을 매크로 3점째의 등록 화상으로서 자동적으로 화상 기억부(14B)에 등록한다 (스텝 13). 또한, 제 1 CCD 카메라(14)는 탑재대(11)를 거쳐서 전회의 제 1 화상 정보의 매크로 4점째의 위치 데이터를 이용하여 매크로 4점째로 자동적으로 이동함과 동시에, 전회의 제 1 화상 정보의 촬상 조건으로 매크로 4점째에 해당하는 프로브(12A)의 바늘 선단을 저배율로 촬상하고, 그 촬상 화상을 매크로 4점째의 등록 화상으로서 자동적으로 화상 기억부(14B)에 등록한다(스텝 S14).
이상과 같이, 제 1 CCD 카메라(14)에 의해서 저배율로 프로브 카드(12)의 네 모서리의 프로브(12A)의 바늘 선단을 재등록한 후, 이들의 프로브(12A)의 바늘 선단을 제 1 CCD 카메라(14)에 의해서 고배율로 아래와 같이 재등록한다.
도 2에 도시하는 바와 같이, 스텝 S11에서 재등록한 매크로 1점째의 위치 데이터를 이용하여 제 1 CCD 카메라(14)가 탑재대(11)를 거쳐서 마이크로 1점째로 자동적으로 이동함과 동시에, 제 1 CCD 카메라(14)가 전회의 제 2 화상 정보의 마이크로 1점째의 촬상 조건(시야 및 조도)을 자동적으로 반영하여 마이크로 1점째에 해당하는 프로브(12A)의 바늘 선단을 고배율로 촬상하고, 그 촬상 화상을 마이크로 1점째의 등록 화상으로서 자동적으로 화상 기억부(14B)에 등록한다 (스텝 S15). 스텝 S11에서 재등록된 위치 데이터 및 전회의 제 2 화상 정보의 촬상 조건을 그대로 이용함으로써, 새롭게 위치 데이터나 촬상 조건을 다시 설정하는 일 없이, 마이크로 1점째의 촬상 화상을 재등록할 수 있어, 그 재등록 작업을 상당히 단축할 수 있다.
이어서, 스텝 S12에서 재등록한 매크로 2점째의 위치 데이터를 이용하여 제 1 CCD 카메라(14)가 탑재대(11)를 거쳐서 마이크로 2점째로 자동적으로 이동함과 동시에, 제 1 CCD 카메라(14)가 전회의 제 2 화상 정보의 마이크로 2점째의 촬상 조건을 자동적으로 반영하여 마이크로 2점째에 해당하는 프로브(12A)의 바늘 선단을 고배율로 촬상하고, 그 촬상 화상을 마이크로 2점째의 등록 화상으로서 자동적으로 화상 기억부(14B)에 등록한 후 (스텝 S16), 제 1 CCD 카메라(14)는 마찬가지로 스텝 S13의 매크로 3점째의 위치 데이터를 이용하여 마이크로 3점째로 자동적으로 이동함과 동시에, 전회의 제 2 화상 정보의 촬상 조건으로 마이크로 3점째에 해당하는 프로브(12A)의 바늘 선단을 고배율로 촬상하고, 그 촬상 화상을 마이크로 3점째의 등록 화상으로서 자동적으로 화상 기억부(14B)에 등록한다 (스텝 S17). 또한, 제 1 CCD 카메라(14)는 스텝 S14의 매크로 4점째의 위치 데이터를 이용하여 마이크로 4점째로 자동적으로 이동함과 동시에, 전회의 제 2 화상 정보의 촬상 조건으로 매크로 4점째에 해당하는 프로브(12A)의 바늘 선단을 고배율로 촬상하고, 그 촬상 화상을 매크로 4점째의 등록 화상으로서 자동적으로 화상 기억부(14B)에 등록 하여 (스텝 S18), 일련의 재등록 작업을 종료한다. 오퍼레이터는 일련의 재등록 작업에서는 제 1 CCD 카메라(14)의 동작을 확인하는 것만으로 끝나므로, 단시간에 재등록 작업을 종료할 수 있다.
프로브 카드(12)의 재등록을 종료하면, 이 프로브 카드(12)와 웨이퍼W와의 얼라이먼트를 행한 후, 웨이퍼W의 전기적 특성검사를 실행할 수 있다. 얼라이먼트는 웨이퍼W 마다 실행하는 것으로 된다. 얼라이먼트를 반복하는 사이에 예컨대, 얼라이먼트용의 프로브(12A)가 무엇인가의 원인으로 위치 어긋나면, 얼라이먼트의 어시스트 기능이 작동하여 얼라이먼트를 중단한다. 이 경우, 본 실시예에서는 어시스트 구제기능이 부가되어 있고, 이 어시스트 구제기능을 거쳐서 불량을 해소하여, 단시간에 얼라이먼트를 속행할 수 있도록 되어 있다.
즉, 어시스트 구제기능이 작동하면, 예컨대 도 3에 도시하는 바와 같이, 표시 화면(16)에는 4개의 화면이 자동적으로 표시된다. 표시 화면(16)의 좌상의 화면에 얼라이먼트 마크 M이 바늘 선단으로부터 위치 어긋난 불량이 있는 프로브(12A)의 촬상 화상(16A)이 표시되고, 그 우측 옆의 화면에 촬상 화상(16A)에 대응하는 등록 화상(16C)이 표시된다. 이 등록 화상(16C)에서는 얼라이먼트 마크 M'가 소정의 바늘 선단에 위치하고 있다. 또한, 등록 화상(16C)의 하측의 화면에 조작 패널(16B)이 표시되고, 조작 패널(16B)의 왼쪽 옆에 촬상 화상(16A)의 불량의 현재 상태 및 지시사항이 문자 정보(16D)로 표시된다. 오퍼레이터는 등록 화상(16C)을 보면서 문자 정보(16D)의 지시사항에 따라서 조작 패널(16B)의 수평 이동 조작키K1을 가압조작하여 촬상 화면(16A)을 이동시킨다. 촬상 화면(16A)이 등 록 화상(16C)과 일치하면 소정의 프로브(12A)의 불량이 해소되었기 때문에, 오퍼레이터는 확정 종료키 K3을 가압조작함으로써 어시스트 구제기능을 정지시킨다. 이에 따라, 어시스트 기능이 자동적으로 해제되어 얼라이먼트 동작으로 되돌아가서, 얼라이먼트를 정확하게 속행할 수 있다. 등록 화상(16C)은 상술한 프로브 등록시에 프로브 카드(12)의 네 모서리의 프로브(12A)의 바늘선단을 촬상하여 위치 데이터 및 촬상 조건과 함께 촬상 화상(16A)이 그 때마다 화상 기억부(14B)에 등록된 것이다.
것에 대하여 상기 어시스트 구제 기능을 구비하지 않는 기존의 어시스트 기능의 경우에는, 도 4에 도시하는 바와 같이 얼라이먼트 마크 M이 바늘선단으로부터 위치 어긋난 촬상 화상(16A) 및 조작 패널(16B)이 표시되고, 촬상 화상(16A)에 대응하는 등록 화상(16C)이 표시되지 않는다. 이와 같이, 기존의 어시스트 기능이 발생한 경우, 표시 화면(16)에는 촬상 화상(16A) 밖에 표시되지 않기 때문에, 오퍼레이터는 복수의 바늘 선단의 어떤 바늘선단에 얼라이먼트 마크 M을 맞추어 어시스트 기능을 해제하면 좋을지를 판단할 수 없다. 어시스트 기능을 해제하기 위해서는 등록한 위치를 정확하게 기억하여 두는가, 프로브의 등록 매뉴얼 등을 참조하지 않으면 안 되어, 얼라이먼트로 되돌리기 위해서 시간을 많이 할애하지 않을 수가 없다. 또한, 어시스트 기능을 해제할 때에, 얼라이먼트 마크 M을 본래의 바늘 선단과는 별도의 바늘 선단에 맞추면, 그 후의 얼라이먼트를 정확하게 실행할 수 없어 검사불량을 일으키게 된다.
이상 설명한 바와 같이, 본 실시예에 의하면 예컨대, 실질적으로 동일한 수 단으로 프로브 카드(12)의 기종만이 변경되고, 변경 후의 프로브 카드(12)의 프로브(12A)의 바늘 선단을 재등록하는 경우에는, 전회 등록된 제 1 화상 정보의 위치 데이터에 근거하여 제 1 CCD 카메라(14)를 자동적으로 이동시켜, 제 1 CCD 카메라(14)에 의해서 프로브(12A)의 바늘 선단을 저배율로 매크로 1점째∼매크로 4점째로서 각각 촬상하는 공정과, 매크로 1점째∼매크로 4점째 각각의 제 1 화상 정보의 촬상 조건을 그대로 이용하고 재등록하는 공정과, 매크로 1점째∼매크로 4점째를 각각 나타내는 제 1 화상 정보의 위치 데이터에 근거하여 제 1 CCD 카메라(14)를 자동적으로 이동시켜, 제 1 CCD 카메라(14)에 의해서 프로브(12A)의 바늘 선단을 고배율로 마이크로 1점째∼마이크로 4점째로서 각각 촬상하는 공정과, 전회 등록된 마이크로 1점째∼마이크로 4점째 각각의 제 2 화상 정보의 촬상 조건을 그대로 이용하여 재등록하는 공정을 구비하고 있기 때문에, 프로브 카드(12)가 실질적으로 동일한 것으로 기종의 상이함이나 프로브(12A)의 바늘 선단의 오염에 의해 프로브(12A)의 촬상 화상이 변동한 경우에도, 전회 등록된 제1, 제 2 화상 정보의 위치 데이터 및 촬상 조건을 그대로 이용할 수 있어, 변동 후의 프로브(12A)의 촬상 화상을 상당히 단시간에 재등록할 수 있다.
또한, 본 실시예에 의하면, 프로브(12A)의 촬상 화상(16A) 및 이 촬상 화상(16A)에 대응하는 등록 화상(16C)을 함께 표시하도록 하였기 때문에, 현재의 촬상 화상(16A)과 이것에 대응하는 등록 화상(16C)이 동일한지 여부를 표시 화면(16) 상에서 확인할 수 있다.
또한, 본 실시예에 의하면, 프로브(12A)의 촬상 화상(16A) 및 이것에 대응하 는 등록 화상 각각에 표시된 얼라이먼트 마크 M, M'을 목표로 제 1 CCD(14)를 이동조작하도록 했기 때문에, 웨이퍼W와 프로브(12A)의 얼라이먼트시에 어시스트 기능이 발생하면, 표시 화면(16)에 표시된 조작 패널(16B)의 이동 조작키 K1, K2를 이용하여 제 1 CCD 카메라(14)를 이동시켜 촬상 화면(16A)을 등록 화상(16C)에 단시간에 일치시켜, 얼라이먼트 동작으로 신속히 복귀시킬 수 있다.
또한, 본 발명은 상기 실시예에 하등 제한되는 것이 아니라, 필요에 따라서 각종 처리 장치에 적용할 수 있다. 또한, 얼라이먼트 대상물은 프로브 및 웨이퍼에 제한되는 것이 아니라, 유리 기판 등의 여러 가지 것에 대해서도 적용할 수 있다. 또한, 상기 실시예에서는 복수개의 프로브(12A)의 바늘 선단을 각각 다른 배율로 촬상하여, 각각의 제1, 제 2 화상 정보를 재등록하고 있지만, 배율을 변경하는 일 없이 재등록하는 방법이라도 좋다. 요는, 촬상 수단을 이용하여 대상물의 위치 정렬을 하기 위해서, 미리 상기 촬상 수단에 의해서 촬상되어 등록된 상기 대상물의 위치 데이터 및 촬상 조건을 포함하는 적어도 1개의 화상 정보를 재등록할 때에, 상기 화상 정보의 위치 데이터에 근거하여 상기 대상물 또는 상기 촬상 수단을 자동적으로 이동시켜 상기 촬상 수단에 의해서 상기 대상물을 촬상하는 공정과, 상기 화상 정보의 촬상 조건을 그대로 이용하여 재등록하는 공정을 구비한 위치 정렬 대상물의 재등록 방법이면 본 발명에 포함된다.
본 발명은 반도체 제조 장치나 검사 장치에 있어서 적합하게 이용할 수 있 다.
도 1은 본 발명 방법의 1실시예를 실시하기 위해서 이용되는 검사 장치의 구성을 나타내는 블럭도이고,
도 2는 본 발명 방법의 1실시예의 하나인 프로브의 재등록 작업을 나타내는 플로우차트이고,
도 3은 얼라이먼트시에 발생하는 어시스트 구제기능이 표시된 표시 화면을 도시하는 도면이고,
도 4는 도 3에 나타내는 어시스트 구제기능을 구비하지 않는 얼라이먼트시에 발생하는 어시스트 기능이 표시된 표시 화면을 도시하는 도면이고,
도 5는 검사 장치의 일례를 도시한 도면으로, (a)는 정면의 일부를 판단하여 도시하는 정면도, (b)는 검사 장치의 내부를 도시하는 평면도이고,
도 6은 프로브의 등록작업을 나타내는 플로차트이다.
(도면의 주요부분에 관한 부호의 설명)
12A: 프로브(대상물) 14: 제1 CCD 카메라(촬상 수단)
16: 표시 화면 16A: 촬상 화면
16B: 조작 패널 16C: 등록 화상
M, M': 얼라이먼트 마크(위치 정렬 마크)
W: 웨이퍼

Claims (7)

  1. 촬상 수단을 이용하여 대상물의 위치 정렬을 실행하기 위해서, 미리 상기 촬상 수단에 의해서 촬상되어 등록된 상기 대상물의 위치 데이터 및 촬상 조건을 포함하는 적어도 하나의 화상 정보를 재등록하는 방법으로서,
    상기 화상 정보의 위치 데이터에 근거하여 상기 대상물과 상기 촬상 수단중 적어도 하나를 자동적으로 이동시켜, 상기 촬상 수단에 의해서 상기 대상물을 촬상하는 공정과,
    상기 화상 정보의 촬상 조건을 그대로 이용하여 재등록하는 공정을 구비한 것을 특징으로 하는
    위치 정렬 대상물의 재등록 방법.
  2. 촬상 수단을 이용하여 대상물의 위치 정렬을 실행하기 위해서, 미리 상기 촬상 수단에 의해서 저배율 및 고배율로 촬상되어 각각 등록된 상기 대상물의 위치 데이터 및 촬상 조건을 포함하는 적어도 하나씩의 제1, 제 2 화상 정보를 재등록하는 방법으로서,
    상기 제 1 화상 정보의 위치 데이터에 근거하여 상기 대상물과 상기 촬상 수단중 적어도 하나를 자동적으로 이동시켜, 상기 촬상 수단에 의해서 상기 대상물을 저배율로 촬상하는 공정과,
    상기 제 1 화상 정보의 촬상 조건을 그대로 이용하여 재등록하는 공정과, 상기 제 1 화상 정보의 위치 데이터에 근거하여 상기 대상물 또는 상기 촬상 수단을 자동적으로 이동시켜, 상기 촬상 수단에 의해서 상기 대상물을 고배율로 촬상하는 공정과,
    상기 제 2 화상 정보의 촬상 조건을 그대로 이용하여 재등록하는 공정을 구비한 것을 특징으로 하는
    위치 정렬 대상물의 재등록 방법.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 대상물을 위치 정렬 하는동안 위치 어긋난 불량이 발생하면 상기 대상물의 촬상 화상 및 이것에 대응하는 등록 화상을 표시 화면에 함께 표시하는 것을 특징으로 하는
    위치 정렬 대상물의 재등록 방법.
  4. 제 2 항에 있어서,
    상기 촬상 화상 및 이것에 대응하는 상기 등록 화상 각각에 표시된 위치 정렬 마크를 목표로 상기 대상물과 상기 촬상 수단중 적어도 하나를 이동 조작하는 것을 특징으로 하는
    위치 정렬 대상물의 재등록 방법.
  5. 제 1 항 또는 제 2 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 대상물이 프로브 카드 또는 피 검사체인 것을 특징으로 하는
    위치 정렬 대상물의 재등록 방법.
  6. 촬상 수단을 이용하여 대상물의 위치 정렬을 실행하기 위해서, 미리 상기 촬상 수단에 의해서 촬상되어 등록된 상기 대상물의 위치 데이터 및 촬상 조건을 포함하는 적어도 하나의 화상 정보를 재등록하기 위한 프로그램을 기록한 기록 매체로서,
    상기 프로그램에 의해서 컴퓨터를 구동시켜서 상기 화상 정보의 위치 데이터에 근거하여 상기 대상물 또는 상기 촬상 수단을 자동적으로 이동시켜, 상기 촬상 수단에 의해서 상기 대상물을 촬상하는 공정과
    상기 화상 정보의 촬상 조건을 그대로 이용하여 재등록하는 공정을 실행하는 것을 특징으로 하는
    기록 매체.
  7. 촬상 수단을 이용하여 대상물의 위치 정렬을 실행하기 위해서, 미리 상기 촬상 수단에 의해서 저배율 및 고배율로 촬상되어 각각 등록된 상기 대상물의 위치 데이터 및 촬상 조건을 포함하는 적어도 하나씩의 제1, 제 2 화상 정보를 재등록하기 위한 프로그램을 기록한 기록 매체로서,
    상기 프로그램에 의해서 컴퓨터를 구동시켜서 상기 제 1 화상 정보의 위치 데이터에 근거하여 상기 대상물 또는 상기 촬상 수단을 자동적으로 이동시켜, 상기 촬상 수단에 의해서 상기 대상물을 저배율로 촬상하는 공정과,
    상기 제 1 화상 정보의 촬상 조건을 그대로 이용하여 재등록하는 공정과,
    상기 제 1 화상 정보의 위치 데이터에 근거하여 상기 대상물 또는 상기 촬상 수단을 자동적으로 이동시켜, 상기 촬상 수단에 의해서 상기 대상물을 고배율로 촬상하는 공정과,
    상기 제 2 화상 정보의 촬상 조건을 그대로 이용하여 재등록하는 공정을 실행하는 것을 특징으로 하는
    기록 매체.
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