TWI614824B - 探針卡調針系統、調針機構模組及調針方法 - Google Patents

Description

探針卡調針系統、調針機構模組及調針方法

本發明係有關一種探針卡調針系統、調針機構模組及調針方法，尤指一種可以自動化全區檢測出探針卡之偏移針並予以調校的系統及方法。

傳統上，探針卡檢測裝置，係利用一治具將探針卡定位在一平台上，此平台上具有一模擬晶圓各個針點墊的位置標示，並以一顯微鏡來觀測探針卡的針點位置是否符合各個針點墊的位置，並由一電腦裝置的顯示器所顯示出來，若觀測到探針卡的針點位置與針點墊之標示有誤，便由人工將探針卡由平台上取出至一校正裝置上由人工調校針點至正確位置。而其檢測的方法則必須將整個探針卡的所有針點區分為多數個待測區塊，再一一地檢測每個區塊，然而，探針卡在觀測與調校時，是在不同裝置上由人工進行，因此，探針卡必須以人工移到不同裝置上，顯得非常麻煩，且檢測過程中必須記錄區塊檢測之順序，如果沒有正確記錄，可能造成某區塊被重覆或遺漏等情形，而有浪費檢測時間或良率低的問題。

為了解決上述問題，有業者提出一種改良，如台灣 新型專利TWM418385號探針卡檢測裝置。其主要提供一可供放置受測探針卡之平台，該平台可以X軸及Y軸之平移；一影像擷取單元，為一數位相機，可供擷取探針卡的針點位置，一顯微鏡觀測單元，供觀測錯位的針點，及一控制單元，該控制單元可以控制平台在影像擷取單元及顯微鏡觀測單元的移動；檢測時將探針卡區分為多數的待測區塊A，並分區逐一的擷取每一區塊的影像，後由內建的一量測軟體來判斷針點位置是否正確，對於針點位置不正確的探針卡，則利用平台移送至顯微鏡觀測單元的位置由人工進行觀察並予調校。

該專利雖然可以解決先前技術中，利用人工將探針卡拆下再於校正設備上安裝調校的問題，但是，該技術尚有以下問題：1、該案必須將探針卡區分為多個區塊，然後分區拍攝影像再逐一比對，而探針卡上有幾萬個針，操作時有如大海撈針，不僅非常麻煩及容易遺漏，所須花費的時間也很長，一個探針卡的檢測時間約須40分鐘；2、它是採用逐一且順序地一次比對一個區塊，每一次比對時，機構移動會累積誤差，造成後面的誤差更加嚴重，導致精準度低；3、另外，該案採用四角點定位，該定位點若有誤差，則會把誤差分配到每一針，所以會影響到全部的針腳，因此，其量測的數據會受到基準點影響而發生誤差；4、調針時係使用顯微鏡，其須要一個光罩或底片來做對位的依據，必須花很多人力及時間去對位，且調整針位完全依靠人工來做，調的好不好或是否正確，完全沒有依據，全憑操作者個人的感覺，所 以其正確性低，且對同一點的重覆性的精準度也低。

另外，大陸CN102478385A號專利公開了一種探針卡檢測方法及系統，其採用的技術方案與TWM418385號專利類似，同樣具有上述問題。

為了解決上述先前技術問題，本發明提供一種探針卡調針系統及調針方法，可以全自動掃瞄比對探針卡全區資料以檢測出偏移針並予以調校。

本發明一實施例所提供的一種探針卡調針系統，供調整一探針卡上的探針，包含有：一XY軸移動載台，該XY軸移動載台以二維座標系統之X軸與Y軸移動，該XY軸移動載台供放置待測探針卡；一線性掃瞄鏡頭模組，該線性掃瞄鏡頭模組係在該XY軸移動載台移動路徑的上方，並可以在三維座標系統之Z軸移動，該線性掃瞄鏡頭模組供取得探針卡全區塊的影像資料；一CCD顯微鏡頭模組，該CCD顯微鏡頭模組設在XY軸移動載台移動路徑的上方，並可以在三維座標系統之Z軸移動；一調針機構模組，該調針機構模組包含有一CCD光學模組，一旋轉盤機構及一撥桿機構，該CCD光學模組設在XY軸移動載台移動路徑的上方，並可以在三維座標系統之Z軸移動；該旋轉盤機構具有旋轉盤及一動力機構，該旋轉盤具有一中心穿孔，該旋轉盤受該動力機構驅動而旋轉，該CCD光學模組的中心正對著該旋轉盤的中心穿孔；該撥桿機構具有一撥桿，該撥桿機構固 定在該旋轉盤下方一側，該撥桿的末端在旋轉盤中心穿孔的下方；該旋轉盤機構及該撥桿機構可以在三維座標系統之Z軸移動；一電腦裝置，該電腦裝置包含有一運算模組、一輸出入模組及一資料庫，該資料庫供儲存資料並供儲放一探針卡座標檔，該輸出入模組供輸入指令及輸出圖文訊息，該運算模組用於處理運算輸出入之各項資訊；藉由電腦裝置控制該XY軸移動載台移動該待測探針卡，由該CCD顯微鏡頭模組來調整並確認線性掃瞄鏡頭模組對該待測探針卡的掃瞄光學焦距，再利用線性掃瞄鏡頭模組掃瞄該待測探針卡全區資料，該全區資料並與座標檔資料比對，以檢測出偏移針，藉由XY軸移動載台將待測探針卡移送到該調針機構模組的位置，藉由電腦裝置驅動及控制調針機構模組調針，並在輸出入模組上顯示及操作。

上述之探針卡檢測系統，其中，該XY軸移動載台包含有：一X軸滑台機構，該X軸滑台機構具有一X軸滑台、兩個平行的X軸導軌、一X軸螺桿及一伺服馬達，該X軸滑台設有滑塊，該滑塊係滑動地設在X軸導軌上，該X軸滑台設有一可受X軸螺桿驅動的驅動座，該X軸螺桿與伺服馬達輸出連結；一Y軸滑台機構，該Y軸滑台機構具有一Y軸滑台、兩個平行的Y軸導軌、一Y軸螺桿及一伺服馬達，該Y軸滑台設有滑塊，該滑塊滑動地設在Y軸導軌上，該Y軸滑台設有一可受Y軸螺桿驅動的驅動座，該Y軸螺桿與伺服馬達輸出連結，該Y軸導軌係固定在X軸滑台上。

上述之探針卡檢測系統，其中，更包含有一第一Z軸移動模組，該第一Z軸移動模組包含有一支架、一螺桿、一伺服馬達、一驅動座、一滑軌及一滑塊，該滑塊係滑動地設在滑軌上，該驅動座設於螺桿上並可受螺桿帶動而直線移動，該螺桿與該伺服馬達輸出連結，該伺服馬達及滑軌則固定在支架上，而線性掃瞄鏡頭模組係固定在滑塊及驅動座上。

上述之探針卡檢測系統，其中，該CCD顯微鏡頭模組與該線性掃瞄鏡頭模組固定在一起，以形成同步運動。

上述之探針卡檢測系統，其中，該CCD顯微鏡頭模組與該線性掃瞄鏡頭模組對探針卡焦距的水平設定相同。

上述之探針卡檢測系統，其中，更包含有一XY軸光學尺，該XY軸光學尺提供待側探針卡的位置資料給電腦裝置，供線性掃瞄鏡頭模組掃瞄取像。

上述之探針卡檢測系統，其中，該線性掃瞄鏡頭模組包含有一光感測器及一高倍率線型掃瞄鏡頭。

上述之探針卡檢測系統，其中，更包含有一第二Z軸移動模組及一第三Z軸移動模組，該第二Z軸移動模組包含有一第一支架、一螺桿、一伺服馬達、一驅動座、一滑軌及一滑塊，該滑塊係滑動地設在滑軌上，該驅動座螺設於螺桿上，並可受螺桿帶動而直線運動，該螺桿與該伺服馬達輸出連結，而該伺服馬達及滑軌則固定在第一支架上，該CCD光學模組則固定在滑塊及驅動座上；該第三Z軸移動模組包含有一第二支架、一螺桿、 一馬達、一驅動座、一滑軌及一滑塊，該滑塊係滑動地設在滑軌上，該驅動座螺設於螺桿上，並可受螺桿帶動而直線運動，該螺桿與該馬達輸出連結，而該馬達及滑軌則固定在第二支架上，該旋轉盤機構固定在滑塊上，而第二支架則係固定在第二Z軸移動模組的滑塊及驅動座上。

上述之探針卡檢測系統，其中，該撥桿機構包含有：一固定塊，該撥桿機構藉由固定塊固定在旋轉盤下方；一X軸滑動機構，該X軸滑動機構具有一X軸滑塊，一X軸直線步進馬達，一X軸前固定塊，一X軸後固定塊，一X軸動力連結件，其中，該X軸直線步進馬達中心穿設有一X軸螺桿，該X軸螺桿兩端藉由X軸前固定塊及X軸後固定塊固定在固定塊，該X軸直線步進馬達藉由X軸動力連結件固定在X軸滑塊，而該X軸滑塊係滑動地設於該固定塊底下；一Y軸滑動機構，該Y軸滑動機構具有一Y軸滑塊，一Y軸直線步進馬達，一Y軸前固定塊，一Y軸後固定塊，一Y軸動力連結件，其中，該Y軸直線步進馬達中心穿設有一Y軸螺桿，該Y軸螺桿兩端藉由Y軸前固定塊及Y軸後固定塊固定在X軸滑塊，該Y軸直線步進馬達藉由Y軸動力連結件固定在X軸滑塊，而該Y軸滑塊係滑動地設於該X軸滑塊底下，該撥桿固定在該Y軸滑塊。

本發明另一實施例提供一種調針機構模組，該調針機構模組包含有一CCD光學模組，一旋轉盤機構及一撥桿機構，其中：該CCD光學模組設在XY軸移動載台移動路徑的上 方，並可以在三維座標系統之Z軸移動；該旋轉盤機構具有旋轉盤及一動力機構，該旋轉盤具有一中心穿孔，該旋轉盤受該動力機構驅動而旋轉，該CCD光學模組的中心正對著該旋轉盤的中心穿孔；該撥桿機構具有一撥桿，該撥桿機構固定在該旋轉盤下方一側，該撥桿的末端在旋轉盤中心穿孔的下方；該旋轉盤機構及該撥桿機構可以在三維座標系統之Z軸移動。

上述之調針機構模組，其中，更包含有一第二Z軸移動模組，該第二Z軸移動模組包含有一第一支架、一螺桿、一伺服馬達、一驅動座、一滑軌及一滑塊，該滑塊係滑動地設在滑軌上，該驅動座設於螺桿上並可受螺桿帶動而直線運動，該螺桿與該伺服馬達輸出連結，而該伺服馬達及滑軌則固定在第一支架上，該CCD光學模組則固定在滑塊及驅動座上。

上述之調針機構模組，其中，該CCD光學模組包含一CCD相機及一高倍率鏡頭組合。

上述之調針機構模組，其中，更包含有一第三Z軸移動模組，該第三Z軸移動模組包含有一第二支架、一螺桿、一伺服馬達、一驅動座、一滑軌及一滑塊，該滑塊係滑動地設在滑軌上，該驅動座設於螺桿上並可受螺桿帶動而直線運動，該螺桿與該伺服馬達輸出連結，而該伺服馬達及滑軌則固定在第二支架上，該旋轉盤機構固定在滑塊上，而第二支架則係固定在第二Z軸移動模組的滑塊及驅動座上。

上述之調針機構模組，其中，更包含有一固定架， 該旋轉盤機構藉由該固定架固定在第三Z軸移動模組的滑塊及驅動座上。

上述之調針機構模組，其中，該動力機構包含有一馬達及一動力傳輸機構，該動力傳輸機構將馬達的動力傳輸給旋轉盤。

上述之調針機構模組，其中，該撥桿機構包含有：一固定塊，該撥桿機構藉由固定塊固定在旋轉盤下方；一X軸滑動機構，該X軸滑動機構具有一X軸滑塊，一X軸直線步進馬達，一X軸前固定塊，一X軸後固定塊，一X軸動力連結件，其中，該X軸直線步進馬達中心穿設有一X軸螺桿，該X軸螺桿兩端藉由X軸前固定塊及X軸後固定塊固定在固定塊，該X軸直線步進馬達藉由X軸動力連結件固定在X軸滑塊，而該X軸滑塊係滑動地設於該固定塊底下；一Y軸滑動機構，該Y軸滑動機構具有一Y軸滑塊，一Y軸直線步進馬達，一Y軸前固定塊，一Y軸後固定塊，一Y軸動力連結件，其中，該Y軸直線步進馬達中心穿設有一Y軸螺桿，該Y軸螺桿兩端藉由Y軸前固定塊及Y軸後固定塊固定在Y軸滑塊，該Y軸直線步進馬達藉由Y軸動力連結件固定在X軸滑塊，而該Y軸滑塊係滑動地設於該X軸滑塊底下，該撥桿固定在該Y軸滑塊。

上述之調針機構模組，其中，該固定塊呈四方體，其在X軸方向具有一下凹槽；該Y軸滑塊呈四方體，其在Y軸方向具有一上凹槽；該X軸滑塊呈四方體，其下部在Y軸方向具有 一下凸體，其上部在X軸方向具有一上凸體，該上凸體藉由X軸滑軌滑動地設置在固定塊的下凹槽，該下凸體藉由Y軸滑軌滑動地設置在Y軸滑塊的上凹槽中。

本發明一實施例提供一種探針卡調針方法，包含下列步驟：將一探針卡的座標檔載入；設定檢測條件；掃瞄待測探針卡的全區資料；將待測探針卡的全區資料與座標檔做全區比對，以檢測出偏移針的數據資料；依據所檢測出的資料由電腦裝置驅動調針機模組的撥桿調針。

上述之探針卡調針方法，其中，包含設定撥桿與水平呈一斜度，並驅動撥桿下移到偏移針偏移方向的那一側，且撥桿徑向在偏移針偏移方向上；驅動撥桿往偏移針方向橫移以推動偏移針，使偏移針回到正常位置；驅動撥桿往偏移針方向橫移，回到前一步驟的位置；驅動撥桿上移回到原位。

上述之探針卡調針方法，其中，該方法包含：設定撥桿與水平呈一斜度，並驅動撥桿下移到偏移針的側邊，且令撥桿對著偏移針偏移方向；驅動撥桿水平前進，使得撥桿位在偏移針偏移方向的那一側，且撥桿徑向在偏移針偏移方向上；驅動撥桿往偏移針方向側向橫移以推動偏移針，使偏移針回到正常位置；驅動撥桿往反偏移針方向側向退回；驅動撥桿水平方向後退，以遠離偏移針；驅動撥桿上移回到原位。

本發明的有益功效：1、本發明一次性地將整個探針卡掃瞄並儲存，並且 一次性地全區整體對位比較探針卡與座標檔資料，可以快速地檢測完成，一個探針卡的檢測時間只須2分鐘左右，相較於先前技術需要40分鐘，快速很多；2、由於採用本案的方法而不需採用先前技術中之四角點定位，因此，不會把誤差分配到每一針，檢測時也不會有累積誤差的問題，所以，檢測結果較為正確及精準；3、本發明的檢測比對可以完全自動化，不須用人去找、去對位，節省很多人力成本，而且不需靠人力去對位，改善了先前技術採用人工而完全憑個人感覺去操作檢測的問題，4、本發明採用自動化調針，透過電腦裝置，利用調針機構模組可以全自動化地調校，可以改善先前技術中採用人工憑感覺調針的問題。5、本發明可以在顯示器查詢偏移針的位置，也可以在座標圖上點選任何針，以顯示其情況，並且可以輸入針號後定位取像分析，並在顯示器上直接解決問題，非常方便。

100‧‧‧探針卡調針系統

10‧‧‧XY軸移動載台

20‧‧‧線性掃瞄鏡頭模組

30‧‧‧CCD顯微鏡頭模組

40‧‧‧調針機構模組

50‧‧‧電腦裝置

70‧‧‧第一Z軸移動模組

80‧‧‧第二Z軸移動模組

11‧‧‧X軸滑台機構

12‧‧‧Y軸滑台機構

111‧‧‧X軸滑台

112‧‧‧X軸導軌

113‧‧‧X軸螺桿

114‧‧‧伺服馬達

115‧‧‧滑塊

116‧‧‧驅動座

121‧‧‧Y軸滑台

122‧‧‧Y軸導軌

123‧‧‧Y軸螺桿

124‧‧‧伺服馬達

125‧‧‧滑塊

122‧‧‧Y軸導軌

126‧‧‧驅動座

60‧‧‧探針卡

21‧‧‧光感測器

22‧‧‧高倍率鏡頭

31‧‧‧CCD相機

32‧‧‧顯微鏡頭

71‧‧‧支架

72‧‧‧螺桿

73‧‧‧伺服馬達

74‧‧‧驅動座

75‧‧‧滑軌

76‧‧‧滑塊

41‧‧‧CCD光學模組

42‧‧‧旋轉盤機構

43‧‧‧撥桿機構

421‧‧‧旋轉盤

422‧‧‧動力機構

423‧‧‧中心穿孔

431‧‧‧撥桿

81‧‧‧第一支架

82‧‧‧螺桿

83‧‧‧伺服馬達

84‧‧‧驅動座

85‧‧‧滑軌

86‧‧‧滑塊

91‧‧‧第三Z軸移動模組

411‧‧‧CCD相機

412‧‧‧高倍率鏡頭

92‧‧‧第二支架

93‧‧‧螺桿

94‧‧‧馬達

931‧‧‧驅動座

95‧‧‧滑軌

96‧‧‧滑塊

97‧‧‧固定架

98‧‧‧固定座

99‧‧‧連結架

424‧‧‧馬達

425‧‧‧動力傳輸機構

426‧‧‧軸承

46‧‧‧固定塊

47‧‧‧X軸滑動機構

48‧‧‧Y軸滑動機構

471‧‧‧X軸滑塊

472‧‧‧X軸直線步進馬達

473‧‧‧X軸前固定塊

474‧‧‧X軸後固定塊

475‧‧‧X軸動力連結件

476‧‧‧X軸螺桿

481‧‧‧Y軸滑塊

482‧‧‧Y軸直線步進馬達

483‧‧‧Y軸前固定塊

484‧‧‧Y軸後固定塊

485‧‧‧Y軸動力連結件

486‧‧‧Y軸螺桿

461‧‧‧下凹槽

487‧‧‧上凹槽

479‧‧‧下凸體

478‧‧‧上凸體

44‧‧‧X軸滑軌

45‧‧‧Y軸滑軌

51‧‧‧運算模組

52‧‧‧輸出入模組

53‧‧‧資料庫

55‧‧‧搖桿裝置

54‧‧‧探針卡座標檔

90‧‧‧機台

25‧‧‧XY軸光學尺

26‧‧‧X軸光學尺

27‧‧‧讀頭

115‧‧‧滑塊

28‧‧‧Y軸光學尺

29‧‧‧讀頭

125‧‧‧滑塊

63、64‧‧‧偏移針

65‧‧‧正常針

500‧‧‧探針卡調針方法

501~515‧‧‧為調針方法的各步驟

第1圖係本發明探針卡調針系統的前視圖。

第2圖係第1圖的一右側視圖(圖中不包含電腦裝置)。

第3A圖係本發明中調針機構的一側視圖。

第3B圖係本發明中調針機構的一剖視圖。

第4A圖係本發明中撥桿機構的前視圖。

第4B圖係第4A圖的左側視圖。

第4C圖係第4A圖的右側視圖。

第4D圖係第4A圖的後視圖。

第5圖係本發明中該撥桿機構的固定塊、XY軸滑動機構分解圖。

第6A、6B圖係第3A圖的仰視圖，顯示了不同的狀態。

第7圖係本發明的系統方塊圖。

第8A~8E圖係本發明探針卡調針的一操作實施例圖。

第9A~9G圖係本發明探針卡調針的另一操作實施例圖。

第10圖係本發明探針卡一調針方法的步驟流程圖。

第11圖係本發明探針卡另一調針方法的步驟流程圖。

第12圖係本發明探針卡另一調針方法的步驟流程圖。

為使貴 審查委員能對本發明之特徵與其特點有更進一步之了解與認同，現列舉以下較佳之實施例並配合圖式說明如下：請參閱第1~6B圖，係本發明一種探針卡調針系統100的實施例示意圖，其包含有一XY軸移動載台10、一線性掃瞄鏡頭模組20、一CCD顯微鏡頭模組30、一調針機構模組40、一電腦裝置50、一第一Z軸移動模組70及一第二Z軸移動模組80。

在一實施例中，該XY軸移動載台10以二維座標系統之X軸與Y軸移動，該XY軸移動載台10供放置待測探針卡60，而在一實施例中，該XY軸移動載台10包含有一X軸滑台機構11及一Y軸滑台機構12，該X軸滑台機構11具有 一X軸滑台111、兩個平行的X軸導軌112、一X軸螺桿113及一伺服馬達114，其中，該X軸滑台111設有滑塊115，該滑塊115係滑動地設在X軸導軌112上，另外，該X軸滑台111設有一可受X軸螺桿113驅動的驅動座116，而該X軸螺桿113與伺服馬達114輸出連結。

在一實施例中，該Y軸滑台機構12具有一Y軸滑台121、兩個平行的Y軸導軌122、一Y軸螺桿123及一伺服馬達124，該Y軸滑台121設有滑塊125，該滑塊125滑動地設在Y軸導軌122上，該Y軸滑台121設有一可受Y軸螺桿123驅動的驅動座126，該Y軸螺桿123與該伺服馬達124輸出連結，而Y軸導軌122係固定在X軸滑台111上。藉由伺服馬達124帶動Y軸螺桿123轉動以帶動驅動座126移動而同步使Y軸滑台121在Y軸導軌122上移動。同樣地，藉由伺服馬達114帶動X軸螺桿113轉動以帶動驅動座116移動而同步使X軸滑台111在X軸導軌112上移動。而XY軸移動載台10上的Y軸滑台121則可供放置一待側探針卡60，該待側探針卡60藉由XY軸移動載台10可以在二維座標系統之X軸與Y軸上移動。當然，在該待側探針卡60係由一治具固定在Y軸滑台121上，這部份屬於習用技術，於此則不再贅述。

在一實施例中，該一線性掃瞄鏡頭模組20係在該XY軸移動載台10移動路徑的上方，並可以在三維座標系統之 Z軸移動，而該線性掃瞄鏡頭模組20主要利用掃瞄的方式以供取得一待測探針卡60全區塊的影像資料，其包含有一光感測器21及一高倍率鏡頭22，以及在該線性掃瞄鏡頭模組20中內建有一同軸光光源，該同軸光光源照射方向指向待測探針卡60的針點上(圖未示)。

在一實施例中，該CCD顯微鏡頭模組30係設在XY軸移動載台10移動路徑的上方，並可以在三維座標系統之Z軸移動，其包含有一CCD相機31及一顯微鏡頭32。

在一實施例中，該第一Z軸移動模組70包含有一支架71、一螺桿72、一伺服馬達73、一驅動座74、一滑軌75及一滑塊76，其中，該滑塊76係滑動地設在滑軌75上，該驅動座74設於螺桿72上並可受螺桿72帶動而直線運動，該螺桿72與該伺服馬達73輸出連結，該伺服馬達73及滑軌75則固定在支架71上，而該線性掃瞄鏡頭模組20係固定在滑塊76及驅動座74上，因此，當伺服馬達73轉動時帶動螺桿72轉動而帶動驅動座74上下移動，令線性掃瞄鏡頭模組20在Z軸上沿著滑軌75運動。

另外，在一實施例中，該CCD顯微鏡頭模組30與該線性掃瞄鏡頭模組20固定在一起，以形成同步運動，因此，當該線性掃瞄鏡頭模組20移動時，該CCD顯微鏡頭模組30也跟著一起運動，而在一實施例中，該CCD顯微鏡頭模組30與該線性掃瞄鏡頭模組20對探針卡60焦距的水平設定相同。

一實施例中，該調針機構模組40包含有一CCD光學模組41，一旋轉盤機構42及一撥桿機構43，其中，該CCD光學模組41設在XY軸移動載台移動路徑的上方，並可以在三維座標系統之Z軸移動；該旋轉盤機構42具有旋轉盤421及一動力機構422，該旋轉盤421具有一中心穿孔423，該旋轉盤421受該動力機構422驅動而旋轉，該CCD光學模組41的中心正對著該旋轉盤421的中心穿孔423；該撥桿機構43具有一撥桿431，該撥桿機構43固定在該旋轉盤421下方一側，該撥桿431與水平約呈30~60度角，實施例採45度角，該撥桿431的末端在旋轉盤421中心穿孔423的中心的下方，並與CCD光學模組41的中心約在一垂直線上，該旋轉盤機構42及該撥桿機構43可以在三維座標系統之Z軸方向移動。

實施例中，調針機構模組40更包含有一第二Z軸移動模組80及一第三Z軸移動模組91，該第二Z軸移動模組80包含有一第一支架81、一螺桿82、一伺服馬達83、一驅動座84、一滑軌85及一滑塊86，該滑塊86係滑動地設在滑軌85上，該驅動座84螺設於螺桿82上，並可受螺桿82帶動而直線運動，該螺桿82與該伺服馬達83輸出連結，而該伺服馬達83及滑軌85則固定在第一支架81上，該CCD光學模組41則固定在滑塊86及驅動座84上。因此，當伺服馬達83轉動時帶動螺桿82轉動而帶動驅動座84上下移動， 令CCD光學模組41在Z軸上沿著滑軌85運動。另外，該第一支架81則係固定在機台90上。

在一實施例中，該CCD光學模組41包含一CCD相機411及一高倍率鏡頭412組合。

一實施例中，該第三Z軸移動模組91包含有一第二支架92、一螺桿93、一馬達94、一驅動座931、一滑軌95及一滑塊96，該滑塊96係滑動地設在滑軌95上，該驅動座931螺設在該螺桿93上，並可受螺桿93帶動而直線運動，該螺桿93與該馬達94輸出連結，而該馬達94及滑軌95則固定在第二支架92上，該旋轉盤機構42固定在滑塊96上。因此，當馬達94轉動時帶動螺桿93轉動而帶動驅動座931上下移動，令旋轉盤機構42上下移動，而撥桿機構43也同樣地上下移動，而第三Z軸移動模組91則利用其第二支架92固定在第二Z軸移動模組80的驅動座84及滑塊86，因此，CCD光學模組41及第三Z軸移動模組91的上下運動是一起而同步的，藉此，當CCD光學模組41上下移動時，旋轉盤機構42及撥桿機構43也會跟著上下移動。

一實施例中，該調針機構模組40更包含有一固定架97，該旋轉盤機構42藉由該固定架97固定在第三Z軸移動模組91的滑塊96及驅動座931上。該固定架97包含有一固定座98及一連結架99，該固定座98供固定旋轉盤機構42，該固定座98藉連結架99固定在該滑塊96上。

一實施例中，該旋轉盤機構42的動力機構422包含有一馬達424及一動力傳輸機構425，該動力傳輸機構425將馬達424的動力傳輸給旋轉盤421。實施例中，該旋轉盤421藉由一組軸承426固定在固定座98上，該動力傳輸機構425為一皮帶組，其連結該馬達424輸出及該旋轉盤421。

請參圖4A~4D所示，一實施例中，該撥桿機構43包含有一固定塊46、一X軸滑動機構47及一Y軸滑動機構48，其中，該撥桿機構43藉由固定塊46固定在旋轉盤421下方；該一X軸滑動機構47具有一X軸滑塊471，一X軸直線步進馬達472，一X軸前固定塊473，一X軸後固定塊474，一X軸動力連結件475，其中，該X軸直線步進馬達472中心穿設有一X軸螺桿476，當X軸直線步進馬達472啟動時，該X軸螺桿476會旋轉並做軸向的直線運動，該X軸螺桿476兩端藉由X軸前固定塊473及X軸後固定塊474固定在固定塊46，該X軸直線步進馬達472藉由X軸動力連結件475固定在X軸滑塊471，而該X軸滑塊471係滑動地設於該固定塊46底下。

該一Y軸滑動機構48具有一Y軸滑塊481，一Y軸直線步進馬達482，一Y軸前固定塊483，一Y軸後固定塊484，一Y軸動力連結件485，其中，該Y軸直線步進馬達482中心穿設有一Y軸螺桿486，當Y軸直線步進馬達 482啟動時，該Y軸螺桿486會旋轉並做軸向的直線運動，該Y軸螺桿486兩端藉由Y軸前固定塊483及Y軸後固定塊484固定在Y軸滑塊481，該Y軸直線步進馬達482藉由Y軸動力連結件485固定在X軸滑塊471，而該Y軸滑塊481係滑動地設於該X軸滑塊471底下，該撥桿431固定在該Y軸滑塊481。

請參圖5所示，在一實施例中，該固定塊46呈四方體，其在X軸方向具有一下凹槽461，該Y軸滑塊481呈四方體，其在Y軸方向具有一上凹槽487，該X軸滑塊471呈四方體，其下部在Y軸方向具有一下凸體479，其上部在X軸方向具有一上凸體478，該上凸體478藉由X軸滑軌44滑動地設置在固定塊46的下凹槽461，該下凸體479藉由Y軸滑軌45滑動地設置在Y軸滑塊481的上凹槽487中。

請參第7圖所示，在一實施例中，該電腦裝置50包含有一運算模組51、一輸出入模組52及一資料庫53，該資料庫53供儲存資料，且該資料庫53並供儲放一探針卡座標檔54資料，該輸出入模組52供輸入指令及輸出圖文訊息，該運算模組51用於處理運算輸出入之各項資訊。而本實施例中，該輸出入模組52為一觸控式液晶螢幕，為具有輸出輸入功能的顯示器。在另一實施例中，該輸出入模組52也可以其他選項，例如一顯示器及鍵盤組合(圖未示)。另外，前述的輸出入模組52也可以再加上一搖桿裝置55。

在一實施例中，也包含有一XY軸光學尺25，該XY軸光學尺25提供待側探針卡60的位置資料給電腦裝置50，其包含有：一X軸光學尺26及一Y軸光學尺28，其中，該X軸光學尺26具有一讀頭27，實施例中，該X軸光學尺26固定在機台90上不動，讀頭27則隨著滑塊115移動；該X軸光學尺26提供訊號給線性掃瞄鏡頭模組20使用，供線性掃瞄鏡頭模組20等間距取像；該Y軸光學尺28具有一讀頭29，實施例中，該Y軸光學尺28隨著滑塊125移動，該讀頭29固定不動，該Y軸光學尺28的位置訊號提供每一掃瞄到的位置資訊，在全區域掃瞄後併接完成一整體的XY軸位置資料。

在一實施例中，本發明則包含有一機台90供設置本案的所有元件。

使用及操作說明：

使用時，先將探針卡60放置並固定在XY軸移動載台10上，而藉由電腦裝置50的控制，該XY軸移動載台10移動該待測探針卡60，由該CCD顯微鏡頭模組30來調整並確認線性掃瞄鏡頭模組20對該待測探針卡60的掃瞄光學焦距，由XY軸光學尺25提供待側探針卡60的位置資料給電腦裝置50，並利用線性掃瞄鏡頭模組20掃瞄該待測探針卡60全區資料並予儲存在資料庫53，透過運算模組51的運算處理，該全區資料與座標檔資料比對，以檢測出待測探針卡60的不良針，不良針包含有偏移針及針點(尖)品質不良，如針點(尖)表 面氧化、磨耗、損壞、融斷及缺針等，且該些不良針的資料並予儲存在資料庫53，而在CCD顯微鏡頭模組30處理針點品質問題或藉由XY軸移動載台10將待測探針卡60移送到調針機構模組40來調校及處理偏移針，這些都可以在輸出入模組52上顯示及操作，並由電腦裝置50自動控制調針。

檢測時係整體對位比較探針卡全區資料與座標檔資料，以計算出最少數量偏移針，當檢測到不良針時，可以先選擇由CCD顯微鏡頭模組30來確認並取得所檢測出不良針的數據資料，由輸出入模組52螢幕上所顯示，並在螢幕直接處理針點品質問題，也可以將探針卡移到調針機構模組40，而先前CCD顯微鏡頭模組30所取得的數據資料在此時也可以呈現在輸出入模組52的螢幕，而調針機構模組40的CCD學模組41可以透過旋轉盤421的中心穿孔423觀察到探針卡60，因此，本案可以自動調針或可以直接在螢幕上藉由搖桿裝置54手動操作調針等工作並顯示其結果。

在調針方面，調針機構模組40的撥桿431可以藉由第二Z軸移動模組80及第三Z軸移動模組91在三維座標系統之Z軸方向位移，也可以藉由旋轉盤機構42以撥桿431的末端為中心做360度的旋轉，也可以藉由撥桿機構43的X軸滑動機構47及Y軸滑動機構48以二維座標系統之X軸與Y軸方向移動，另外，也可以藉XY軸移動載台10以二維座標系統之XY軸方向移動探針卡60，因此，調針時，XY軸方向的移 動有兩種選擇。

第8A~8E圖顯示一偏移(斜)針63的調針操作實施例步驟圖，首先將撥桿431移到偏移針63偏移方向的上方(參圖8A)，驅動撥桿431下移到偏移針63偏移方向的側邊(參圖8B)，並驅動撥桿431側向推進，以將偏移針63回到正常的位置(參圖8C)，再驅動撥桿431側向退回前一位置(參圖8D)，最後驅動撥桿431上移回到原位(圖8E)。完成一調針的操作程序。

第9A~9G圖顯示另一偏移(斜)針64的調針操作實施例步驟圖，該偏移針64已偏斜到相臨正常針65，兩者間沒有間隙或間隙太小的調針操作實施例，首先將撥桿431移到偏移針64與正常針65間的一側上方(參圖9A)，驅動撥桿431下移到正常針65與偏移針64的側邊(參圖9B)，驅動撥桿431前進，使撥桿431前進到偏移針64的下方(參圖9C)，再驅動撥桿431側向推進將偏移針64推回到正常位置(參圖9D)，再驅動撥桿431側向退回前一位置(參圖9E)及驅動撥桿431後退(參圖9F)，然後驅動撥桿431上移回到原位(參圖9G)，此種操作方法也適用第8A圖的偏移針63。

而前述兩種的操作調針方式可以完全由電腦裝置50及編程來完成，非常的精確且快速。除此，也可以透過搖桿裝置54由人工來操作。

第10圖顯示依據實施例，有關探針卡調針方法5 00，用以調校(整)一探針卡的偏移針，雖然方法500是以一系列的動作或事件來描述及說明如下，然而這些動作或事件的順序並不限定於此，例如一些動作可能脫離在此提及的這些說明以及/或描述的順序，而採用不同的順序進行以及/或與其他的動作或事件同時進行。此外，在此描述的全部動作並不是都要在一個或多個實施例或概念中實施，再者，在此描述的一個或多個動作可以採用一個或多個獨立的動作以及/或階段完成。

在步驟501中，將一探針卡的座標檔載入。先備具有一探針卡的座標檔，該座標檔可以存放在電腦裝置50的資料庫中，並予使用。

在步驟502中，設定檢測條件。例如要檢測偏移針的偏移方向及偏移角度。

在步驟503中，掃瞄待測探針卡60的全區資料。該方法係以一線性掃瞄鏡頭模組20來提供一線性掃瞄，將探針卡的全區資料數位化，而在掃瞄前先以一CCD顯微鏡頭模組30來調整及確認探針卡的掃瞄光學焦距。

在步驟504中，將待測探針卡60的全區資料與座標檔做全區比對，以檢測出偏移針的數據資料，做為驅動撥桿的依據。

在步驟505中，依據所檢出的資料，由電腦裝置驅動調針機構模組的撥桿調針。在步驟504檢測完成後，以該CCD顯微鏡頭模組30來確認並取得所檢測出偏移針的數據資 料。電腦裝置依據所檢出的資料驅動一調針機構模組進行調針，並由顯示器來顯示。

以下為撥桿調針步驟一實施例，請參第11圖所示：

在步驟506中，設定撥桿與水平面呈一斜度，驅動撥桿下移到偏移針偏移方向的那一側，且撥桿的徑向在偏移針偏移方向上。

在步驟507中，驅動撥桿往偏移針方向橫移以推動偏移針，使偏移針回到正常位置。

在步驟508中，驅動撥桿反偏移針方向橫移，回到前一步驟位置。

在步驟509中，驅動撥桿上移回到原位，即步驟506的位置。完成一個調針的步驟。

實施例中，在調針前將該撥桿設定與水平面呈30~60度角的斜度，較適合調針的進行。

以上調針步驟係針對偏移針偏移方向尚有間隙可以讓撥桿上下移動的操作模式，若偏移針偏移的方向與相臨的正常針間已無操作空間讓撥桿移動，則調針步驟可以採用圖12所示者。

圖12為撥桿調針步驟另一實施例：該實施例中，也包含步驟501~505，由於步驟501~505與前一實施例相同，在此則不予贅述。

在步驟510中，設定撥桿與水平呈一斜度並驅動 撥桿下移到偏移針的側邊，且令撥桿對著偏移針偏移方向。該方法主要係將撥桿下移到偏移針與正常針間的側邊。

在步驟511中，驅動撥桿水平方向前進，使得撥桿位在偏移針偏移方向的那一側，且撥桿徑向在偏移針偏移方向上。

在步驟512中，驅動撥桿往偏移針方向橫移以推動偏移針，藉由撥桿推動，以將偏移針推到正常位置。

在步驟513中，驅動撥桿往反偏移針方向橫移，回到步驟512的位置。

在步驟514中，驅動撥桿水平方向後退，以遠離偏移針，讓撥桿回到步驟511的位置。

在步驟515中，驅動撥桿上移回到原位，讓撥桿回到步驟510的位置，完成一個調針的步驟。

實施例中，在調針前將該撥桿設定與水平面呈30~60度角的斜度，本實施例約在45度的斜度，較適合調針的進行。

實施例中，撥桿調針可以在設定後完全由電腦裝置50來操控，也可以經由搖桿來手動操作。

而該方法500主要採用整體對位比較探針卡全區資料與座標檔資料，以計算出最少數量偏移針並逐一調整。

以上所述，僅為本發明所提供之較佳實施例而已，並非用以限制本發明之實施範圍，凡本技術領域內之相關技藝者根據本發明所為之均等變化，皆應屬本發明所涵蓋之範圍。

100‧‧‧探針卡調針系統

10‧‧‧XY軸移動載台

20‧‧‧線性掃瞄鏡頭模組

30‧‧‧CCD顯微鏡頭模組

40‧‧‧調針機構模組

50‧‧‧電腦裝置

70‧‧‧第一Z軸移動模組

80‧‧‧第二Z軸移動模組

11‧‧‧X軸滑台機構

12‧‧‧Y軸滑台機構

111‧‧‧X軸滑台

112‧‧‧X軸導軌

113‧‧‧X軸螺桿

114‧‧‧伺服馬達

115‧‧‧滑塊

116‧‧‧驅動座

121‧‧‧Y軸滑台

122‧‧‧Y軸導軌

125‧‧‧滑塊

122‧‧‧Y軸導軌

60‧‧‧探針卡

43‧‧‧撥桿機構

21‧‧‧光感測器

22‧‧‧高倍率鏡頭

31‧‧‧CCD相機

32‧‧‧顯微鏡頭

71‧‧‧支架

72‧‧‧螺桿

73‧‧‧伺服馬達

74‧‧‧驅動座

75‧‧‧滑軌

76‧‧‧滑塊

41‧‧‧CCD光學模組

42‧‧‧旋轉盤機構

81‧‧‧第一支架

83‧‧‧伺服馬達

91‧‧‧第三Z軸移動模組

92‧‧‧第二支架

94‧‧‧馬達

52‧‧‧輸出入模組

55‧‧‧搖桿裝置

90‧‧‧機台

25‧‧‧XY軸光學尺

26‧‧‧X軸光學尺

27‧‧‧讀頭

Claims (20)

1. 一種探針卡調針系統，供調整一探針卡上的探針，包含有：一XY軸移動載台，該XY軸移動載台以二維座標系統之X軸與Y軸移動，該XY軸移動載台供放置待測探針卡；一線性掃瞄鏡頭模組，該線性掃瞄鏡頭模組係在該XY軸移動載台移動路徑的上方，並可以在三維座標系統之Z軸移動，該線性掃瞄鏡頭模組供取得探針卡全區塊的影像資料；一CCD顯微鏡頭模組，該CCD顯微鏡頭模組設在XY軸移動載台移動路徑的上方，並可以在三維座標系統之Z軸移動；一調針機構模組，該調針機構模組包含有一CCD光學模組，一旋轉盤機構及一撥桿機構，該CCD光學模組設在XY軸移動載台移動路徑的上方，並可以在三維座標系統之Z軸移動；該旋轉盤機構具有旋轉盤及一動力機構，該旋轉盤具有一中心穿孔，該旋轉盤受該動力機構驅動而旋轉，該CCD光學模組的中心正對著該旋轉盤的中心穿孔；該撥桿機構具有一撥桿，該撥桿機構固定在該旋轉盤下方一側，該撥桿的末端在旋轉盤中心穿孔的下方；該旋轉盤機構及該撥桿機構可以在三維座標系統之Z軸移動；一電腦裝置，該電腦裝置包含有一運算模組、一輸出入模組及一資料庫，該資料庫供儲存資料並供儲放一探針卡座標 檔，該輸出入模組供輸入指令及輸出圖文訊息，該運算模組用於處理運算輸出入之各項資訊；藉由電腦裝置控制該XY軸移動載台移動該待測探針卡，由該CCD顯微鏡頭模組來調整並確認線性掃瞄鏡頭模組對該待測探針卡的掃瞄光學焦距，再利用線性掃瞄鏡頭模組掃瞄該待測探針卡全區資料，該全區資料並與座標檔資料比對，以檢測出偏移針，藉由XY軸移動載台將待測探針卡移送到該調針機構模組的位置，藉由電腦裝置驅動及控制調針機構模組調針，並在輸出入模組上顯示及操作。
2. 如申請專利範圍第1項所述之探針卡檢測系統，其中，該XY軸移動載台包含有：一X軸滑台機構，該X軸滑台機構具有一X軸滑台、兩個平行的X軸導軌、一X軸螺桿及一伺服馬達，該X軸滑台設有滑塊，該滑塊係滑動地設在X軸導軌上，該X軸滑台設有一可受X軸螺桿驅動的驅動座，該X軸螺桿與伺服馬達輸出連結；一Y軸滑台機構，該Y軸滑台機構具有一Y軸滑台、兩個平行的Y軸導軌、一Y軸螺桿及一伺服馬達，該Y軸滑台設有滑塊，該滑塊滑動地設在Y軸導軌上，該Y軸滑台設有一可受Y軸螺桿驅動的驅動座，該Y軸螺桿與伺服馬達輸出連結，該Y軸導軌係固定在X軸滑台上。
3. 如申請專利範圍第1項所述之探針卡檢測系統，其中，更包含有一第一Z軸移動模組，該第一Z軸移動模組包含有一支 架、一螺桿、一伺服馬達、一驅動座、一滑軌及一滑塊，該滑塊係滑動地設在滑軌上，該驅動座設於螺桿上並可受螺桿帶動而直線移動，該螺桿與該伺服馬達輸出連結，該伺服馬達及滑軌則固定在支架上，而線性掃瞄鏡頭模組係固定在滑塊及驅動座上。
4. 如申請專利範圍第3項所述之探針卡檢測系統，其中，該CCD顯微鏡頭模組與該線性掃瞄鏡頭模組固定在一起，以形成同步運動。
5. 如申請專利範圍第4項所述之探針卡檢測系統，其中，該CCD顯微鏡頭模組與該線性掃瞄鏡頭模組對探針卡焦距的水平設定相同。
6. 如申請專利範圍第1項所述之探針卡檢測系統，其中，更包含有一XY軸光學尺，該XY軸光學尺提供待側探針卡的位置資料給電腦裝置，供線性掃瞄鏡頭模組掃瞄取像。
7. 如申請專利範圍第1項所述之探針卡檢測系統，其中，該線性掃瞄鏡頭模組包含有一光感測器及一高倍率線型掃瞄鏡頭。
8. 如申請專利範圍第1項所述之探針卡檢測系統，其中，更包含有一第二Z軸移動模組及一第三Z軸移動模組，該第二Z軸移動模組包含有一第一支架、一螺桿、一伺服馬達、一驅動座、一滑軌及一滑塊，該滑塊係滑動地設在滑軌上，該驅動座螺設於螺桿上，並可受螺桿帶動而直線運動，該螺桿與 該伺服馬達輸出連結，而該伺服馬達及滑軌則固定在第一支架上，該CCD光學模組則固定在滑塊及驅動座上；該第三Z軸移動模組包含有一第二支架、一螺桿、一馬達、一驅動座、一滑軌及一滑塊，該滑塊係滑動地設在滑軌上，該驅動座螺設於螺桿上，並可受螺桿帶動而直線運動，該螺桿與該馬達輸出連結，而該馬達及滑軌則固定在第二支架上，該旋轉盤機構固定在滑塊上，而第二支架則係固定在第二Z軸移動模組的滑塊及驅動座上。
9. 如申請專利範圍第1項所述之探針卡檢測系統，其中，該撥桿機構包含有：一固定塊，該撥桿機構藉由固定塊固定在旋轉盤下方；一X軸滑動機構，該X軸滑動機構具有一X軸滑塊，一X軸直線步進馬達，一X軸前固定塊，一X軸後固定塊，一X軸動力連結件，其中，該X軸直線步進馬達中心穿設有一X軸螺桿，該X軸螺桿兩端藉由X軸前固定塊及X軸後固定塊固定在固定塊，該X軸直線步進馬達藉由X軸動力連結件固定在X軸滑塊，而該X軸滑塊係滑動地設於該固定塊底下；一Y軸滑動機構，該Y軸滑動機構具有一Y軸滑塊，一Y軸直線步進馬達，一Y軸前固定塊，一Y軸後固定塊，一Y軸動力連結件，其中，該Y軸直線步進馬達中心穿設有一Y軸螺桿，該Y軸螺桿兩端藉由Y軸前固定塊及Y軸後固定塊固定在Y軸滑塊，該Y軸直線步進馬達藉由Y軸動力連結件固定在X軸 滑塊，而該Y軸滑塊係滑動地設於該X軸滑塊底下，該撥桿固定在該Y軸滑塊。
10. 一種調針機構模組，該調針機構模組包含有一CCD光學模組，一旋轉盤機構及一撥桿機構，其中：該CCD光學模組設在XY軸移動載台移動路徑的上方，並可以在三維座標系統之Z軸移動；該旋轉盤機構具有旋轉盤及一動力機構，該旋轉盤具有一中心穿孔，該旋轉盤受該動力機構驅動而旋轉，該CCD光學模組的中心正對著該旋轉盤的中心穿孔；該撥桿機構具有一撥桿，該撥桿機構固定在該旋轉盤下方一側，該撥桿的末端在旋轉盤中心穿孔的下方；該旋轉盤機構及該撥桿機構可以在三維座標系統之Z軸移動。
11. 如申請專利範圍第10項所述之調針機構模組，其中，更包含有一第二Z軸移動模組，該第二Z軸移動模組包含有一第一支架、一螺桿、一伺服馬達、一驅動座、一滑軌及一滑塊，該滑塊係滑動地設在滑軌上，該驅動座螺設於螺桿上，並可受螺桿帶動而直線運動，該螺桿與該伺服馬達輸出連結，而該伺服馬達及滑軌則固定在第一支架上，該CCD光學模組則固定在滑塊及驅動座上。
12. 如申請專利範圍第10所述之調針機構模組，其中，該CCD光學模組包含一CCD相機及一高倍率鏡頭組合。
13. 如申請專利範圍第10項所述之調針機構模組，其中，更包含有一第三Z軸移動模組，該第三Z軸移動模組包含有一第二支架、一螺桿、一馬達、一驅動座、一滑軌及一滑塊，該滑塊係滑動地設在滑軌上，該驅動座螺設於螺桿上，並可受螺桿帶動而直線運動，該螺桿與該馬達輸出連結，而該馬達及滑軌則固定在第二支架上，該旋轉盤機構固定在滑塊上，而第二支架則係固定在第二Z軸移動模組的滑塊及驅動座上。
14. 如申請專利範圍第13項所述之調針機構模組，其中，更包含有一固定架，該旋轉盤機構藉由該固定架固定在第三Z軸移動模組的滑塊及驅動座上。
15. 如申請專利範圍第14項所述之調針機構模組，其中，該動力機構包含有一馬達及一動力傳輸機構，該動力傳輸機構將馬達的動力傳輸給旋轉盤。
16. 如申請專利範圍第13項或第14項或第15項所述之調針機構模組，其中，該撥桿機構包含有：一固定塊，該撥桿機構藉由固定塊固定在旋轉盤下方；一X軸滑動機構，該X軸滑動機構具有一X軸滑塊，一X軸直線步進馬達，一X軸前固定塊，一X軸後固定塊，一X軸動力連結件，其中，該X軸直線步進馬達中心穿設有一X軸螺桿，該X軸螺桿兩端藉由X軸前固定塊及X軸後固定塊固定在固定塊，該X軸直線步進馬達藉由X軸動力連結件固定在X軸滑 塊，而該X軸滑塊係滑動地設於該固定塊底下；一Y軸滑動機構，該Y軸滑動機構具有一Y軸滑塊，一Y軸直線步進馬達，一Y軸前固定塊，一Y軸後固定塊，一Y軸動力連結件，其中，該Y軸直線步進馬達中心穿設有一Y軸螺桿，該Y軸螺桿兩端藉由Y軸前固定塊及Y軸後固定塊固定在Y軸滑塊，該Y軸直線步進馬達藉由Y軸動力連結件固定在X軸滑塊，而該Y軸滑塊係滑動地設於該X軸滑塊底下，該撥桿固定在該Y軸滑塊。
17. 如申請專利範圍第16項所述之調針機構模組，其中，該固定塊呈四方體，其在X軸方向具有一下凹槽；該Y軸滑塊呈四方體，其在Y軸方向具有一上凹槽；該X軸滑塊呈四方體，其下部在Y軸方向具有一下凸體，其上部在X軸方向具有一上凸體，該上凸體藉由X軸滑軌滑動地設置在固定塊的下凹槽，該下凸體藉由Y軸滑軌滑動地設置在Y軸滑塊的上凹槽中。
18. 一種探針卡調針方法，包含下列步驟：將一探針卡的座標檔載入；設定檢測條件；掃瞄待測探針卡的全區資料；將待測探針卡的全區資料與座標檔做全區比對，以檢測出偏移針的數據資料；依據所檢測出的資料由電腦裝置驅動調針機模組的撥桿調針。
19. 如申請專利範圍第18項所述之探針卡調針方法，其中，包含設定撥桿與水平呈一斜度，並驅動撥桿下移到偏移針偏移方向的那一側，且撥桿徑向在偏移針偏移方向上；驅動撥桿往偏移針方向橫移以推動偏移針，使偏移針回到正常位置；驅動撥桿往偏移針方向橫移，回到前一步驟的位置；驅動撥桿上移回到原位。
20. 如申請專利範圍第18項所述之探針卡調針方法，其中，該方法包含：設定撥桿與水平呈一斜度，並驅動撥桿下移到偏移針的側邊，且令撥桿對著偏移針偏移方向；驅動撥桿水平前進，使得撥桿位在偏移針偏移方向的那一側，且撥桿徑向在偏移針偏移方向上；驅動撥桿往偏移針方向側向橫移以推動偏移針，使偏移針回到正常位置；驅動撥桿往反偏移針方向側向退回；驅動撥桿水平方向後退，以遠離偏移針；驅動撥桿上移回到原位。