KR101048191B1 - 위치 정렬 대상물의 재등록 방법 및 그 방법을 기록한 기록매체 - Google Patents
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Abstract
Description
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- 촬상 수단을 이용하여 대상물의 위치 정렬을 실행하기 위해서, 미리 상기 촬상 수단에 의해서 촬상되어 등록된 상기 대상물의 위치 데이터 및 촬상 조건을 포함하는 적어도 하나의 화상 정보를 재등록하는 방법으로서,상기 화상 정보의 위치 데이터에 근거하여 상기 대상물과 상기 촬상 수단중 적어도 하나를 자동적으로 이동시켜, 상기 촬상 수단에 의해서 상기 대상물을 촬상하는 공정과,상기 화상 정보의 촬상 조건을 그대로 이용하여 재등록하는 공정을 구비한 것을 특징으로 하는위치 정렬 대상물의 재등록 방법.
- 촬상 수단을 이용하여 대상물의 위치 정렬을 실행하기 위해서, 미리 상기 촬상 수단에 의해서 저배율 및 고배율로 촬상되어 각각 등록된 상기 대상물의 위치 데이터 및 촬상 조건을 포함하는 적어도 하나씩의 제1, 제 2 화상 정보를 재등록하는 방법으로서,상기 제 1 화상 정보의 위치 데이터에 근거하여 상기 대상물과 상기 촬상 수단중 적어도 하나를 자동적으로 이동시켜, 상기 촬상 수단에 의해서 상기 대상물을 저배율로 촬상하는 공정과,상기 제 1 화상 정보의 촬상 조건을 그대로 이용하여 재등록하는 공정과, 상기 제 1 화상 정보의 위치 데이터에 근거하여 상기 대상물 또는 상기 촬상 수단을 자동적으로 이동시켜, 상기 촬상 수단에 의해서 상기 대상물을 고배율로 촬상하는 공정과,상기 제 2 화상 정보의 촬상 조건을 그대로 이용하여 재등록하는 공정을 구비한 것을 특징으로 하는위치 정렬 대상물의 재등록 방법.
- 제 1 항 또는 제 2 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 대상물을 위치 정렬하는 동안 위치 어긋남 불량이 발생하면 상기 대상물의 촬상 화상 및 이것에 대응하는 등록 화상을 표시 화면에 함께 표시하는 것을 특징으로 하는위치 정렬 대상물의 재등록 방법.
- 제 3 항에 있어서,상기 촬상 화상 및 이것에 대응하는 상기 등록 화상 각각에 표시된 위치 정렬 마크를 목표로 상기 대상물과 상기 촬상 수단중 적어도 하나를 이동 조작하는 것을 특징으로 하는위치 정렬 대상물의 재등록 방법.
- 제 1 항 또는 제 2 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 대상물이 프로브 카드 또는 피 검사체인 것을 특징으로 하는위치 정렬 대상물의 재등록 방법.
- 촬상 수단을 이용하여 대상물의 위치 정렬을 실행하기 위해서, 미리 상기 촬상 수단에 의해서 촬상되어 등록된 상기 대상물의 위치 데이터 및 촬상 조건을 포함하는 적어도 하나의 화상 정보를 재등록하기 위한 프로그램을 기록한 기록 매체로서,상기 프로그램에 의해서 컴퓨터를 구동시켜서 상기 화상 정보의 위치 데이터에 근거하여 상기 대상물 또는 상기 촬상 수단을 자동적으로 이동시켜, 상기 촬상 수단에 의해서 상기 대상물을 촬상하는 공정과상기 화상 정보의 촬상 조건을 그대로 이용하여 재등록하는 공정을 실행하는 것을 특징으로 하는기록 매체.
- 촬상 수단을 이용하여 대상물의 위치 정렬을 실행하기 위해서, 미리 상기 촬상 수단에 의해서 저배율 및 고배율로 촬상되어 각각 등록된 상기 대상물의 위치 데이터 및 촬상 조건을 포함하는 적어도 하나씩의 제1, 제 2 화상 정보를 재등록하기 위한 프로그램을 기록한 기록 매체로서,상기 프로그램에 의해서 컴퓨터를 구동시켜서 상기 제 1 화상 정보의 위치 데이터에 근거하여 상기 대상물 또는 상기 촬상 수단을 자동적으로 이동시켜, 상기 촬상 수단에 의해서 상기 대상물을 저배율로 촬상하는 공정과,상기 제 1 화상 정보의 촬상 조건을 그대로 이용하여 재등록하는 공정과,상기 제 1 화상 정보의 위치 데이터에 근거하여 상기 대상물 또는 상기 촬상 수단을 자동적으로 이동시켜, 상기 촬상 수단에 의해서 상기 대상물을 고배율로 촬상하는 공정과,상기 제 2 화상 정보의 촬상 조건을 그대로 이용하여 재등록하는 공정을 실행하는 것을 특징으로 하는기록 매체.
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