KR20040086439A - 프로브 에어리어의 설정 방법, 시스템 및 프로브 장치 - Google Patents

프로브 에어리어의 설정 방법, 시스템 및 프로브 장치 Download PDF

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Abstract

형상이 일정하지 않은 부정형 웨이퍼나 손상 웨이퍼 등의 경우에는, 오퍼레이터가 설계상의 에지 칩의 어드레스를 지정하는 것이 어려워, 프로브 에어리어를 설정하는 것이 곤란하다. 본 발명의 프로브 에어리어의 설정 방법은, 적어도 X, Y방향으로 이동 가능한 메인 척(18)에 웨이퍼 W를 재치하고, 메인 척(18)을 거쳐서 웨이퍼 W를 X, Y방향으로 이동시키면서 상부 카메라(21A)에 의해 웨이퍼 W의 모든 에지 칩을 검색하여 프로브 에어리어를 설정한다. 그 때에, 검색을 개시할 에치 칩을 선택한 후, 칩의 검색 방법을 X방향 또는 Y방향으로 전환하면서 에지 칩을 웨이퍼의 주회 방향으로 순차 검색한다.

Description

프로브 에어리어의 설정 방법, 시스템 및 프로브 장치{PROBE AREA SETTING METHOD AND PROBE DEVICE}
본 출원은 2002년 2월 26일에 제출된 일본 특허 출원 제2002-50565호에 근거하여 우선권을 주장하고, 그 모든 내용은 본원 명세서 및 도면에 인용된다.
발명의 배경
본 발명은 웨이퍼 형상의 기판(이하, 「웨이퍼」라고 칭함) W상에서의 프로브 에어리어(즉, 검색 영역)를 설정하는 방법과 시스템, 및 동(同) 시스템을 구비하는 프로브 장치에 관한 것으로, 더 자세하게는 웨이퍼의 외주에 형성된 피검사체(이하, 「칩」이라고 칭함)를 검출하여 프로브 에어리어를 자동적으로 설정할 수 있는 프로브 에어리어의 설정 방법과 시스템, 및 동 시스템을 구비하는 프로브 장치에 관한 것이다.
종래의 프로브 장치는 웨이퍼를 반송하는 동시에 웨이퍼를 프리얼라이먼트(pre-alignment)하는 로더실과, 이 로더실로부터 웨이퍼를 수취하여 칩의 전기적 특성을 검사하는 프로버실을 구비하고 있다. 프로버실에서는 웨이퍼를 재치한 재치대(stage)(이하, 「메인 척」이라고 칭함)가 X, Y, Z 및 θ방향으로 이동한다. 얼라이먼트 기구가 검출한 웨이퍼의 에지의 위치에 근거하여 프로브 에어리어가 설정된다. 프로브 에어리어는 웨이퍼 W상에서 검사되어야 할 칩이 형성되어 있는 범위이다. 프로브 장치는 복수의 프로브를 구비하는 프로브 카드를 사용하여 이 프로브 에어리어의 범위내의 칩을 검사한다. 프로브 에어리어의 설정이 종료한 후, 웨이퍼와 메인 척의 위쪽에 배치된 프로브 카드의 프로브와의 위치 맞춤이 실행된다. 칩을 재치한 재치대를 상승하는 것에 의해, 칩의 전극은 프로브에 전기적으로 접촉한다. 프로브와 테스터 사이에 배치된 테스트 헤드를 거쳐서, 테스터가 웨이퍼의 전기적 특성을 검사한다.
종래, 오퍼레이터는 외주 피검사체(이하, 「에지 칩」이라고 칭함)의 설계상의 위치 좌표(어드레스)를 입력 장치에 입력하는 것에 의해, 프로브 에어리어를 설정하고 있었다.
발명의 간단한 개요
정상 형상의 웨이퍼는 물론, 예를 들면 일부가 손상된 균열 웨이퍼, 작은 칩이 형성된 웨이퍼 또는 형상이 일정하지 않는 부정형인 웨이퍼 등에 형성된 칩을 검사하는 경우에는, 오퍼레이터가 설계상의 에지 칩의 어드레스를 입력 장치에 입력하는 것은 매우 곤란했었다. 그 때문에, 프로브 에어리어의 설정에 장 시간을 필요로 하여, 실질적으로 프로브 에어리어를 설정하는 것이 어렵다고 하는 과제가 있었다. 또한, 일본 특허 공개 평성 제7-58176호 공보에는 균열 웨이퍼를 위한 웨이퍼 검사 장치가 제안되어 있지만, 이 공보는 프로브 에어리어의 설정은 제안하고 있지 않다.
본 발명은 상기 과제 중 적어도 하나를 해결하는 것을 목적으로 하고 있다. 본원 발명의 하나의 관점에 따라서, 정형 웨이퍼는 물론 상기 부정형인 웨이퍼에서도, 에지 칩의 위치를 검색하는 것에 의해 프로브 에어리어는 확실 또한 용이하게 설정될 수 있다.
본 발명의 한층 더한 과제 및 이점은 이하에 기재된다. 그 일부는 해당 개시로부터 자명하거나, 또는 본 발명의 실시에 의해 분명하게 될 수 있다. 본 발명의 목적 및 이점은 여기에 특별히 지적되는 수단 및 그 조합에 의해 실현될 수 있다.
본 발명의 제 1 관점에 따라서, 재치대 및 재치대의 표면을 촬상하기 위한 촬상 장치를 구비하는 프로브 장치에서, 재치대에 재치된 웨이퍼 형상의 기판상에 프로브 에어리어를 설정하는 방법이 제공된다. 본 발명의 제 1 관점에 근거하는 프로브 에어리어의 설정 방법은, 하기 (1)~(10)의 바람직한 구성 중 어느 하나, 또는 하기의 구성 중 어느 하나를 조합시킨 구성을 구비할 수 있다.
(1) (a) 재치대에 기판을 재치한다. (b) 기판의 가장 외주에 형성된 피검사체를 외주 피검사체로서 선택하고, 그 위치를 특정한다. (c) 재치대 및 촬상 장치 중 적어도 하나를 X, Y방향 중 어느 한 방향으로 이동시키는 것에 의해, 촬상 장치의 검색 방향을 X, Y방향 중 어느 한 방향으로 전환하면서, 기판상의 외주에 형성된 모든 외주 피검사체를 검색하고, 그 위치를 특정한다. (d) 상기 (c)에 의해 특정된 모든 외주 피검사체의 위치에 근거하여 프로브 에어리어를 결정한다.
(2) 상기 (b)는 재치대를 X, Y방향으로 이동하는 것에 의해 실시된다.
(3) 상기 (c)는 또한, 상기 (b)에서 특정된 외주 피검사체를 시점으로 하고, 특정된 외주 피검사체에 인접하는 피검사체를 기판의 주회(周回) 방향으로 순차 검색하여, 기판상의 모든 외주 피검사체를 특정한다. 이 외주 피검사체의 특정은 하기 (c1) 및 (c2)를 구비한다.
(c1) X방향 양단의 외주에 형성된 각각의 피검사체를 검색하는 X방향 양단의 검색. 이 X방향 양단의 검색은 이미 특정된 외주 피검사체로부터 제 1의 Y방향으로 검색 위치를 이동하여 피검사체를 검색한다. 여기에서, (c1-1) 제 1의 Y방향에 피검사체가 있는 경우는, 거기서부터 더욱 X방향 바깥쪽으로 검색 위치를 이동한다. 그리고, 이동한 위치에 피검사체가 있는 경우는 피검사체가 없어질 때까지 그대로 X방향 바깥쪽으로 검색 위치를 이동하고, 이동한 위치에 피검사체가 없는 경우는 하나 앞의 피검사체로 되돌아가 그 피검사체를 외주 피검사체로 특정한 후, 검색 위치를 다시 제 1의 Y방향으로 이동한다. (c1-2) 제 1의 Y방향에 피검사체가 없는 경우는, 검색 위치를 X방향 안쪽으로 이동한다. 그리고, 이동한 방향에 피검사체가 있는 경우는 그 피검사체를 외주 피검사체로 특정한 후, 검색 위치를 다시 제 1의 Y방향으로 이동하고, 이동한 방향에 피검사체가 없는 경우는 Y방향 단의 검색을 실행한다.
(c2) Y방향 양단의 외주에 형성된 각각의 피검사체를 검색하는 Y방향 양단의 검색. 이 Y방향 양단의 검색은 이미 특정된 외주 피검사체로부터 제 1의 X방향으로 검색 위치를 이동하여 피검사체를 검색한다. 여기에서, (c2-1) 제 1의 X방향에 피검사체가 있는 경우는, 거기서부터 더욱 Y방향 바깥쪽으로 검색 위치를 이동한다. 그리고, 이동한 위치에 피검사체가 있는 경우는 X방향 단의 검색을 실행하고, 이동한 위치에 피검사체가 없는 경우는 하나 앞의 피검사체로 되돌아가 그 피검사체를 외주 피검사체로 특정한 후, 검색 위치를 다시 제 1의 X방향으로 이동한다. (c2-2) 제 1의 X방향에 피검사체가 없는 경우는, 검색 위치를 Y방향 안쪽으로 이동하여 X방향 단의 검색을 실행한다.
(4) 상기 (c)는 또한, 상기 (b)에서 특정된 외주 피검사체를 시점으로 하고, 특정된 외주 피검사체에 인접하는 피검사체를 기판의 주회 방향으로 순차 검색하여 기판상의 모든 외주 피검사체를 특정한다. 이 외주 피검사체의 특정은 하기 (c3) 및 (c4)를 구비한다.
(c3) X방향 양단의 외주에 형성된 피검사체를 검색하는 X방향 양단의 검색. 이 X방향 양단의 검색은 이미 특정된 외주 피검사체로부터 제 1의 Y방향으로 검색 위치를 복수의 피검사체만큼 이동하여 피검사체를 검색한다. 여기에서, (c3-1) 제 1의 Y방향에 피검사체가 있는 경우는, 거기서부터 더욱 X방향 바깥쪽으로 검색 위치를 피검사체 하나만큼 이동한다. 그리고, 이동한 위치에 피검사체가 있는 경우는 피검사체가 없어질 때까지 그대로 X방향 바깥쪽으로 이동하고, 이동한 위치에 피검사체가 없는 경우는 하나 앞의 피검사체로 되돌아가 그 피검사체를 외주 피검사체로 특정한 후, 검색 위치를 다시 제 1의 Y방향으로 이동한다. (c3-2) 제 1의 Y방향에 피검사체가 없는 경우는, 검색 위치를 X방향 안쪽으로 피검사체 하나만큼 이동한다. 그리고, X방향 안쪽으로 이동한 방향에 피검사체가 있는 경우는 그 피검사체를 외주 피검사체로 특정한 후, 검색 위치를 다시 제 1의 Y방향으로 이동하고, X방향 안쪽으로 이동한 방향에 피검사체가 없는 경우는 직전의 외주 피검사체의 하나 다음의 피검사체까지 되돌아가서 검색 위치를 X방향 안쪽으로 피검사체 하나만큼 이동한다.
(c4) Y방향 양단의 외주에 형성된 피검사체를 검색하는 Y방향 양단의 검색. 이 Y방향 양단의 검색은 이미 특정된 외주 피검사체로부터 제 1의 X방향으로 검색 위치를 복수의 피검사체만큼 이동하여 피검사체를 검색한다. 여기에서, (c4-1) 제 1의 X방향에 피검사체가 있는 경우는, 거기서부터 더욱 Y방향 바깥쪽으로 검색 위치를 피검사체 하나만큼 이동한다. 그리고, 이동한 위치에 피검사체가 있는 경우는 X방향 단의 검색을 실행하고, 이동한 위치에 피검사체가 없는 경우는 하나 앞의 피검사체로 되돌아가 그 피검사체를 외주 피검사체로 특정한 후, 검색 위치를 다시 제 1의 X방향으로 이동한다. (c4-2) 제 1의 X방향에 피검사체가 없는 경우는, 검색 위치를 Y방향 안쪽으로 피검사체 하나만큼 이동하여 X방향 단의 검색을 실행한다.
(5) 상기 (c)는 상기 (b)에서 특정된 외주 피검사체를 시점으로 하고, 특정된 외주 피검사체에 인접하는 피검사체를 기판의 주회 방향으로 순차 검색하여, 기판상의 모든 외주 피검사체를 특정한다.
(6) 상기 프로브 에어리어를 설정하는 웨이퍼 형상의 기판은, 외주의 피검사체의 위치를 미리 특정하는 것이 곤란한, 손상 기판, 부정형 기판, 및 피검사체가 작은 기판내의 1개의 웨이퍼 형상의 기판이다.
(7) 상기 (c)에서 상기 외주에 형성된 복수의 피검사체의 위치를 순차 특정하기 위한 검색은 X방향으로의 검색 위치의 이동에 미리 한계를 설정한다.
(8) 검색이 한계를 초과했을 때 및 한계에 이르렀을 때 중 어느 하나의 때에는, 기판의 검색 위치의 이동 방향을 X방향으로부터 Y방향으로 전환한다.
(9) 전후하여 특정된 2개의 외주 피검사체를 연결하는 선상에 위치하는 피검사체를 외주 피검사체로서 특정한다.
(10) 피검사체와 소자 패턴을 상이하게 하는 피검사체를 검색 대상으로부터 제외한다.
또한, 본 발명의 제 2 관점에 따라서, 웨이퍼 형상의 기판상에 형성된 복수의 피검사체를 검색하여 기판의 프로브 에어리어를 설정하는 시스템이 제공된다. 본원 발명의 제 2 관점에 근거하는 시스템은, 하기 (11)~(15)의 바람직한 구성 중 어느 하나, 또는 하기의 구성 중 어느 하나를 조합시킨 구성을 구비할 수 있다.
(11) 상기 시스템은, 재치대와, 피검사체의 소자 패턴을 기억하는 제 2 기억 수단과, 재치대상에 재치된 피검사체의 소자 패턴을 촬상하기 위한 촬상 수단과, 최초의 외주 피검사체를 선택하는 수단과, 최초로 선택한 외주 피검사체를 시점로 하여, 기판상에 형성된 피검사체를 기판의 주회 방향으로 순차 검색하고, 또한, 기판의 가장 외주에 형성된 외주 피검사체의 위치를 특정하는 제어ㆍ연산 처리부를 구비한다. 이 제어ㆍ연산 처리부는 촬상 수단이 촬상한 상을 제 2 기억 수단에 기억된 소자 패턴과 비교하여, 촬상 수단이 촬상한 상이 소자 패턴과 일치하는지 여부를 판단한다.
(12) 제어ㆍ연산 처리부는 특정된 외주 피검사체에 인접하는 피검사체로부터순차 검색하여, 기판을 주회하는 방향으로 검색 위치를 이동시켜 프로브 에어리어를 설정한다.
(13) 제어ㆍ연산 처리부는 피검사체의 검색 위치를 복수의 피검사체만큼 X, Y방향으로 이동시킨다.
(14) 제어ㆍ연산 처리부는 전후하여 특정된 2개의 외주 피검사체를 연결하는 선상에 위치하는 피검사체를 외주 피검사체로서 특정한다.
(15) 제어ㆍ연산 처리부는 검색 위치를 기판의 중심 위치로부터 소정의 바깥쪽으로 이동시켜 피검사체의 검색을 개시한 후, 그 방향에서 특정된 외주 피검사체를 이후의 검색의 시점으로 한다.
또한, 본 발명의 제 3 관점에 따라서, 반도체 기판상에 형성된 복수의 피검사체를 검색하여 기판의 프로브 에어리어를 설정하는 시스템을 구비하는 프로브 장치가 제공된다. 이 프로브 장치는, 재치대와, 피검사체의 소자 패턴을 기억하는 제 2 기억 수단과, 재치대상에 재치된 피검사체의 소자 패턴을 촬상하기 위한 촬상 수단과, 기판상에 형성된 피검사체를 기판의 주회 방향으로 순차 검색하고, 기판의 가장 외주에 형성된 외주 피검사체의 위치를 특정하는 제어ㆍ연산 처리부를 구비한다. 이 제어ㆍ연산 처리부는 촬상 수단이 촬상한 상을 제 2 기억 수단에 기억된 소자 패턴과 비교하여, 촬상 수단이 촬상한 상이 소자 패턴과 일치하는지 여부를 판단한다.
첨부한 도면은 명세서에 도입되고, 및 그 일부를 구성하여 본 발명의 바람직한 실시예를 나타낸다. 그리고, 도면은 상기에서 기술한 일반적인 기술과 이하에 기술하는 바람직한 실시예에 관한 상세한 설명에 의해, 본 발명의 설명에 이용되는 것이다.
도 1(a), 1(b)는 본 발명의 프로브 에어리어의 설정 방법을 적용한 프로브 장치의 일 실시예를 나타내는 도면이고, 도 1(a)는 그 일부를 파단(破斷)하여 나타내는 정면도, 도 1(b)는 그 평면도,
도 2(a), 도 2(b) 및 도 2(c)는 도 1의 프로브 장치의 주요부를 나타내는 도면이고, 도 2(a)는 그 블록도, 도 2(b)는 표시 화면, 도 2(c)는 스텝 사이즈 입력 화면을 나타내는 도면,
도 3(a)는 도 1에 나타내는 프로브 장치의 프로버실내의 동작을 나타내는 흐름도로서, 도 3(b)는 본 발명의 프로브 에어리어의 설정 방법의 개요를 나타내는 흐름도,
도 4(a), 도 4(b)는 각각 본 발명의 프로브 에어리어의 설정 방법을 이용하여 에지 칩을 검색하는 상태를 나타내는 설명도,
도 5는 본 발명의 프로브 에어리어의 설정 방법의 일 실시예를 이용하여 균열 웨이퍼의 에지 칩을 검색한 결과를 나타내는 설명도,
도 6(a), 도 6(b)는 본 발명의 프로브 에어리어의 설정 방법의 일 실시예를 이용하여 웨이퍼의 상측 검색을 할 때의 설명도,
도 7(a), 도 7(B)는 본 발명의 프로브 에어리어의 설정 방법의 일 실시예를 이용하여 웨이퍼의 좌측 검색을 할 때의 설명도,
도 8(a), 도 8(b)는 본 발명의 프로브 에어리어의 설정 방법의 일 실시예를 이용하여 웨이퍼의 하측 검색을 할 때의 설명도,
도 9(a), 도 9(b)는 본 발명의 프로브 에어리어의 설정 방법의 일 실시예를 이용하여 웨이퍼의 우측 검색을 할 때의 설명도,
도 10은 본 발명의 프로브 에어리어의 설정 방법의 다른 실시예를 이용하여 웨이퍼의 좌측 검색을 할 때의 설명도,
도 11은 본 발명의 프로브 에어리어의 설정 방법의 다른 실시예를 이용하여 웨이퍼의 하측 검색을 할 때의 설명도,
도 12는 도 10 및 11에 나타낸 다른 실시예를 이용한 프로브 에어리어의 설정 방법으로 웨이퍼 모든 주위의 에지 칩을 검색할 때의 설명도이다.
이하, 도면을 참조하면서 본 발명을 설명한다. 도 1(a) 및 도 1(b)에 나타내는 바와 같이, 실시예 1의 프로브 장치(10)는 로더실(11)과 프로버실(12)을 갖고 있다. 로더실(11)에서는 웨이퍼 W를 반송하는 동시에 웨이퍼 W를 프리얼라이먼트한다. 프로버실(12)에서는 로더실(11)로부터 반송된 웨이퍼 W의 전기적 특성이 검사된다. 프로브 장치(10)는 도 2(a)에 나타내는 바와 같이, 이들 양쪽의 실(11, 12)내의 기기를 제어하는 제어 장치(13)와, 입력 장치(14) 및 표시 장치(15)를 구비할 수 있다. 본 실시예의 프로브 장치(10)는 종래의 프로브 장치에 준하여 구성될 수 있다. 입력 장치(14)는 예를 들면 키보드나 조이스틱 등에 의해서 구성될 수 있다. 표시 장치(15)는 촬상 수단이 촬상한 화상을 표시하는 동시에 검사에 관련되는 여러 가지의 설정 화면 등을 표시할 수 있다.
도 1(b)에 나타내는 바와 같이, 로더실(11)은 웨이퍼 반송 기구(이하, 「핀셋」이라고 칭함)(16) 및 서브 척(17)을 구비하고 있다. 웨이퍼 반송 기구(16)는 예를 들면 카세트 C와 프로버실(12) 사이에서 웨이퍼 W를 반송할 수 있다. 핀셋(16)이 웨이퍼 W를 반송하는 사이에, 서브 척(17)은 웨이퍼 W의 오리엔테이션 플랫(orientation flat) 또는 노치(notch)를 기준으로 하여 웨이퍼 W를 프리얼라이먼트할 수 있다.
프로버실(12)은 도 1(a) 및 도 1(b)에 나타내는 바와 같이, 웨이퍼 W를 재치하는 메인 척(18)과, 메인 척(18)을 X, Y 및 Z방향으로 이동시키는 XY 테이블 등의 이동 기구(19)와, 얼라이먼트 기구(21)를 구비할 수 있다. 얼라이먼트 기구(21)는 이동 기구(19)에 의해 메인 척(18)을 X, Y방향으로 이동시킴으로써, 웨이퍼 W와 그 위쪽에 배치된 프로브 카드(20)의 프로브(20A)의 위치 맞춤(얼라이먼트)을 실행한다. 프로브 카드(20)는 프로버실(12)의 상벽(上壁)을 형성하는 헤드 플레이트(22)에 고정될 수 있다. 프로브 카드(20)에 대하여 테스트 헤드 T가 전기적으로 접속·비접속 가능하게 배치되어 있다.
얼라이먼트 기구(21)는 도 1(a, b)에 나타내는 바와 같이, 웨이퍼 W를 촬상하는 상부 카메라(21A)와, 상부 카메라(21A)를 지지하는 정렬 브리지(21B)와, 얼라이먼트 브리지(21B)를 Y방향으로 이동 가능하게 지지하는 한 쌍의 가이드 레일(21C)과, 메인 척(18)에 부설되고 또한 프로브 카드(20)를 촬상하는 하부 카메라(21D)를 구비할 수 있다. 상부 카메라(21A)는 가이드 레일(21C)을 따라서 프로브의 중심(프로브 센터)까지 진출하여, 웨이퍼 W를 촬상할 수 있다. 하부 카메라(21D)는 프로브(20A)를 촬상한다. 이들 상하의 카메라(21A, 21B)에 의해서 촬상된 화상을 기초로 양자의 얼라이먼트가 행해진다. 이 상태는 표시 장치(15)에 출력할 수 있다.
본 발명의 실시예 1의 프로브 장치는 웨이퍼 W상에 형성된 복수의 칩을 검색하여 웨이퍼 W의 프로브 에어리어를 설정하는 시스템을 구비하고 있다. 이 시스템의 실시예는, 재치대(18)와, 칩의 소자 패턴을 기억하는 제 2 기억 장치(13B)와, 재치 대상에 재치된 웨이퍼 W의 칩의 소자 패턴을 촬상하기 위한 상부 카메라(21A)와, 최초의 에지 칩을 선택하는 수단과, 제어 장치(13)를 구성하는 제어ㆍ연산 처리부(13C)를 갖을 수 있다.
제어ㆍ연산 처리부(13C)는 상부 카메라(21A)에 의해서 촬상된 각 칩의 상을 제 2 기억 수단에 기억된 소자 패턴과 순차 비교하여 일치하는지 여부를 판단한다. 웨이퍼 W상에 형성된 칩을 웨이퍼 W의 주회 방향으로 순차 검색하여, 칩마다 이 판단을 실행하는 것에 의해, 웨이퍼 W의 가장 외주에 형성된 에지 칩의 위치를 특정한다. 이 판단에서, 제 2 기억 수단에 기억된 소자 패턴과 상이한 패턴의 칩은 에지 칩의 검색 대상으로부터 제외할 수 있다.
실시예 1의 제어 장치(13)에는 프로브 에어리어를 자동적으로 설정하는 소프트웨어가 저장되어 있다. 즉, 제어 장치(13)는 도 2(a)에 나타내는 바와 같이, 제 1, 제 2 기억 장치(13A, 13B) 및 제어ㆍ연산 처리부(13C)를 구비하고 있다. 제 1 기억 장치(13A)는 프로브 에어리어 설정용의 프로그램이나 그 외의 제어용 프로그램을 저장한다. 이들 프로그램은 제 2 기억 장치(13B)에 읽어 들여지고, 제어ㆍ연산 처리부(13c)는 이 프로그램에 따라서 프로브 장치(10)를 구동한다.
프로브 에어리어의 설정은 상부 카메라(21A)에 의해서 개개의 칩의 소자 패턴을 촬상하여 행해질 수 있다. 이 때, 상부 카메라(21A)는 촬상하는 칩의 위치에 맞춰져야 한다. 이 칩과 상부 카메라(21A)와의 위치 맞춤은 상부 카메라(21A)를 이동시켜 실행할 수도 있지만, 웨이퍼 W를 재치한 메인 척을 이동 기구(19)에 의해서 이동시켜 실행할 수도 있다. 실시예 1의 프로브 장치에서는, 제어 장치(13)가 이동 기구(19)를 제어하여, 메인 척을 X, Y방향으로 이동시켜 위치 맞춤을 실행한다.
프로브 에어리어 설정용의 프로그램에 따라, 웨이퍼 W를 재치한 메인 척은 X, Y방향으로 이동하고, 상부 카메라(21A)는 웨이퍼 W의 외주에 위치하는 복수의 에지 칩을 자동적으로 촬상하여 검색할 수 있다. 본원 발명의 실시예에 의한 프로브 장치는 웨이퍼 W의 형상에 좌우되는 일 없이 프로브 에어리어를 설정하는 프로그램을 구비할 수 있다. 이 프로그램은 도 2(b)에 나타내는 바와 같이, 표시 장치(15)의 표시 화면(15A)에 프로브 에어리어의 설정 화면을 표시하고, 이 표시 화면을 이용하여 프로브 에어리어를 설정하기 위한 각종 조건의 설정을 가능하게 한다.
표시 장치(15)는, 예를 들면 화면 우측에 조작 화면(15B)을 표시할 수 있어,화면 좌측에 웨이퍼 W의 촬상 화상 또는 웨이퍼 맵 등의 화상을 표시할 수 있다. 조작 화면상의, 예를 들면「자동 에어리어 설정」에 접촉하면, 화면에 도 2(c)와 같은 스텝 사이즈 입력 화면(15C)이 표시된다. 「자동 에어리어 설정」에 접촉하면, 화면 좌측에 카메라 화상이 표시되어 있었던 경우에는 카메라 화상을 표시하고, 웨이퍼 맵이 표시되어 있었던 경우에는 웨이퍼 맵을 표시할 수 있다. 스텝 사이즈는 웨이퍼 W상의 검색 위치의 이동 거리를 칩 사이즈로 나타낸 것이고, 에지 칩을 인식한 후에 지정 칩만큼만 이동을 실행하여, 거기서부터 다시 에지 칩의 인식을 개시하기 위한 파라미터이다. 스텝 사이즈의 설정 범위는 예를 들면 1~99로 할 수 있다. 「1」로 입력하면 X방향 또는 Y방향으로 칩 1개만큼 검색 위치를 스텝 이동시키고, 「2」로 입력하면 검색 위치를 칩 2개만큼 스텝 이동시킬 수 있다. 스텝 사이즈의 입력 화면(15C)에는 스텝 사이즈 외에 「개시」 및 「중지」가 동시에 표시되고, 스텝 사이즈를 입력한 후, 「개시」에 접촉하면 프로브 에어리어의 자동 설정을 개시하고, 「중지」에 접촉하면 프로브 에어리어의 자동 설정을 중지할 수 있다. 또한, 자동 에어리어 설정을 사용하지 않고서 수동으로 프로브 에어리어를 설정하는 경우는, 도 2(b)의 조작 화면에서 어드레스를 입력할 수 있다.
또한, 도시하고 있지 않지만, 프로브 에어리어의 자동 설정이 개시되면 화상 표시 부분은 칩을 확대하여 표시할 수 있다. 여기서, 프로브 에어리어의 설정을 개시하는 최초의 에지 칩(예를 들면, 웨이퍼 W의 상측의 에지 칩)을 스타트 칩으로 하고, 예를 들면 조이 스틱으로 선택할 수 있다. 이 때는, 스타트 칩의 일부를 화면 중앙의 십자 마크에 맞추는 것에 의해, 스타트 칩을 지정할 수 있다. 십자 마크는 칩의 어느 부위에도 맞출 수 있지만, 예를 들면 칩의 모서리에 맞출 수 있다. 이 스타트 칩을 지정한 후, 조작 화면의 「확정 종료」에 접촉하는 것에 의해, 프로브 에어리어의 자동 설정이 개시된다. 프로브 에어리어의 자동 설정을 개시하면, 최초의 에지 칩을 개시점으로 하여, 메인 척(18)을 X 또는 Y방향으로 순차 이동시키고, 웨이퍼의 주회 방향으로 웨이퍼 W의 에지 칩을 순차 검색해 간다. 에지 칩을 주회 방향으로 검색하는 것에 의해, 검색 루트를 최단으로 할 수 있어, 프로브 에어리어를 효율적으로 설정할 수 있다. 이 때의 주회 방향은 시계 회전 또는 반시계 회전 중 어느 것이어도 가능하지만, 본 실시예에서는 반시계 회전으로 검색하는 예를 설명한다. 모든 에지 칩의 검색을 종료한 시점에서 프로브 에어리어가 설정될 수 있다.
또한, 스타트 칩의 특정을 상술한 바와 같이, 조이 스틱을 사용하지 않고 자동으로 실행할 수도 있다. 예를 들면, 검색 위치를 메인 척(18)의 중심부로부터 소정의 바깥 방향, 예를 들면 위쪽으로 이동시키면서 칩을 자동 검색하여, 그 방향에서 에지 칩과 인식된 칩을 스타트 칩으로 할 수 있다 . 여기서 웨이퍼 W의 바깥 방향이란, 웨이퍼 W의 중심으로부터 외주를 향하는 방향을 가리키며, 안쪽이란, 웨이퍼 W 외주부로부터 중심을 향하는 방향을 가리킨다.
다음에, 본 발명의 프로브 에어리어의 설정 방법이 적용된 프로브 장치(10)의 동작에 대하여 도면을 참조하면서 구체적으로 설명한다. 프로브 장치(10)가 기동하면, 로더실(11)내 및 프로버실(12)내의 각 기기는 제어 장치(13)의 제어하에서 구동한다. 즉, 로더실(11)내에서 핀셋(16)이 카세트 C내의 웨이퍼 W를 한 장 취출하여, 서브 척(17)상에 재치한다. 서브 척(17)상에서 웨이퍼 W의 프리얼라이먼트가 행해진 후, 핀셋(16)이 웨이퍼 W를 프로버실(12)로 반송한다. 프로버실(12)에서는 메인 척(18)이 대기하고 있어, 도 3(a)에 나타내는 바와 같이 메인 척(18)상에 웨이퍼 W를 재치한다(S1). 프로버실(12)내에서는 메인 척(18) 및 얼라이먼트 기구(21)가 웨이퍼 W를 얼라이먼트한다(S2). 다음으로, 칩을 검색하기 위해서 사용하는 소자 패턴(이하, 「기준으로 되는 소자 패턴」이라고 칭함)을 인식하기 위해서, 웨이퍼 W에 형성된 칩을 상부 카메라(21A)가 촬상한다. 촬상된 화상은 화상 처리부(23)가 처리한 후, 제어ㆍ연산 처리부(13C)가 화상 인식한다. 이 기준으로 되는 소자 패턴이 제 2 기억 장치(13B)에서 기억된다. 이 때, 촬상하는 칩은 웨이퍼 W상의 대표적인 칩이어도 무방하고, 또는 복수의 칩을 촬상해도 무방하다. 또는, 칩의 소자 패턴이 기지(旣知)이면, 검사 개시 전에 미리 제 2 기억 장치에 입력해 놓는 것도 가능하다(S3). 다음으로, 프로브 에어리어 설정용의 프로그램이 기동하여, 상부 카메라(21A)가 웨이퍼 W의 외주에 위치하는 에지 칩을 순차 자동 인식하고, 프로브 에어리어를 설정한다(S4). 프로브 에어리어를 설정한 후, 프로브 에어리어내의 각 칩을 순차 검사한다(S5). 모든 칩의 검사를 종료하면, 핀셋(16)이 메인 척(18)상의 웨이퍼 W를 언로드하여(S6), 카세트 C내로 되돌린다.
S3의 프로브 에어리어 자동 인식 공정에서, 스타트 칩을 자동으로 검색하는 순서를 설명한다. 도 3(b)에 나타내는 바와 같이, 먼저 검색 개시 위치를 웨이퍼 W의 중심에 위치하는 칩(센터 칩)으로 설정한다(S11). 다음에 카메라가 센터 칩으로부터 소정의 바깥 방향, 예를 들면 Y방향으로 1칩씩 촬상해 가고, 각 칩의 상과미리 제 2 기억 장치에 기억되어 있는 기준으로 되는 소자 패턴을 비교한다. 이 비교를 되풀이하는 것에 의해 칩의 유무를 판단해 가고, Y방향 상단에 위치하는 에지 칩을 검색한다(S12). 이 칩이 스타트 칩으로서 결정된다. 이 때, 상부 카메라(21A)에 의해서 촬상된 각 칩의 소자 패턴은, 직접 제어ㆍ연산 처리부(13C)로 보내져 비교될 수도 있지만, 일단 제어 장치(13)내의 기억 장치에 기억되어도 무방하다.
그 후, 예를 들면 도 4(a)에 나타내는 바와 같이 스타트 칩을 시점으로 하여, 웨이퍼 W를 주회하면서 에지 칩을 특정해 간다. 웨이퍼 W를 주회하는 방향은, 시계 회전 및 반시계 회전 중 어느 쪽이어도 가능하지만, 본 실시예에서는 도 4(a) 및 4(b)에 나타내는 바와 같이 반시계 회전으로 검색하는 동작을 설명한다. 여기서는, 화살표 ①로 나타내는 방향으로의 Y방향 상측의 에지 칩의 검색(이하, 「상측 검색」이라고 칭함), 화살표 ②로 나타내는 방향으로의 X방향 좌측의 에지 칩의 검색(이하, 「좌측 검색」이라고 칭함), 화살표 ③으로 나타내는 방향으로의 Y방향 하측의 에지 칩의 검색(이하, 「하측 검색」이라고 칭함), 화살표 ④로 나타내는 방향으로의 X방향 우측의 에지 칩의 검색(이하, 「우측 검색」이라고 칭함)이라고 하는 바와 같이 에지 칩을 순차 검색한다(S13). 이 때, 동 도면에 왕복 화살표로 나타내는 바와 같이, 검색 위치를 에지 칩의 외측에 왕복 이동시켜, 에지 칩의 외측에 칩이 없는 것을 확인하여 에지 칩을 확정할 수 있다. 웨이퍼 W의 외주를 일주하여 모든 에지 칩을 검색하면 프로브 에어리어의 자동 설정을 종료한다(S14). 또한, 부정형인 웨이퍼 W에 대해서도 도 4(b)의 각 화살표로 나타내는 바와 같이반시계 회전으로 에지 칩을 순차 검색하여 일주할 수 있다. 이와 같이, 본 발명의 실시예에 의하면, 예를 들면 도 5에 나타내는 손상 웨이퍼 W나 부정형 웨이퍼 W, 또한, 칩이 작은 웨이퍼 W 등과 같이 에지 칩의 위치를 미리 특정하는 것이 곤란한 웨이퍼 W이어도 마찬가지의 순서로 모든 에지 칩(동 도면에서는 검은 환형으로 나타내고 있음)을 확실하게 검색하여 프로브 에어리어를 설정할 수 있다. 또한, 칩의 소자 패턴을 기준으로 되는 소자 패턴과 비교하여 검색하기 때문에, 손상된 에지 칩을 프로브 에어리어로부터 제외할 수도 있다.
다음에, 스타트 칩을 시점으로 해서 다른 에지 칩을 반시계 회전으로 검색하여, 프로브 에어리어를 설정하는 순서를 도 6~도 9를 참조하면서 설명한다. 또한, 실시예 1은 스텝 사이즈를 「1」로 설정한 경우이다.
먼저, 메인 척(18)을 X방향 오른쪽으로 스텝 이동시켜 Y방향 상단의 에지 칩을 X방향 왼쪽을 향해서 검색하는 상측 검색을 실행한다. 이 상측 검색을, 예를 들면 도 6(a) 및 6(b)를 참조하면서 설명한다.
도 6(a)에 나타낸 상측 검색에서는, 스타트 칩 Ts로부터 실선의 화살표로 나타내는 바와 같이 제 1의 X방향으로 검색한다. 여기서는 X방향 왼쪽으로 검색 위치를 1칩만큼 스텝 이동하여, 1번째의 칩 T1을 검출한다. 이 칩 T1의 소자 패턴이 미리 제 2 기억 장치에 기억되어 있는 기준으로 되는 소자 패턴과 일치하고 있는지 여부를 판단하고, 일치하면 칩 있음으로 판단한다. 다음으로, 이 칩 T1으로부터 파선의 화살표로 나타내는 바와 같이 Y방향 바깥쪽(위쪽)으로 검색 위치를 1칩만큼이동하여, 칩의 유무를 검색한다. 이 경우에는 칩이 없다고 판단되어, 검색 위치는 칩 T1으로 되돌려진다. 그리고 이 1번째의 칩 T1을 Y방향 상단의 에지 칩으로서 확정한다. 마찬가지로 하여, 웨이퍼가 실선 화살표로 나타내는 바와 같이 X방향 왼쪽으로 1칩만큼 스텝 이동한 후, 파선 화살표로 나타내는 바와 같이 Y방향 위쪽으로 이동하고, 다음으로 원위치로 되돌아가 2번째의 칩 T2를 Y방향 상단의 에지 칩으로서 확정한다. 마찬가지로 하여, 3번째의 칩 T3로 이동한 후, Y방향 바깥쪽(위쪽)으로 1칩만큼 이동하여 칩의 유무를 검색한다. 이 경우, 3번째의 칩 T3의 Y방향 위쪽에 칩이 있기 때문에, 검색 방향을 X방향 단 검색(여기서는 우측 검색)으로 전환한다. 그리고, 이후는 후술하는 우측 검색을 실행하여 X방향 오른쪽 단의 에지 칩을 Y방향 위쪽을 향해서 검색한다.
또한, 상측 검색에서 도 6(a)와는 반대로 도 6(b)에 나타내는 바와 같이, 스타트 칩 Ts로부터 3번째의 에지 칩 T3의 Y방향 안쪽(아래쪽)에 칩이 있는 경우에는, 검색 방향은 좌측 검색으로 전환된다. 도 6(b)와 같은 경우, 칩 T3로부터 X방향 왼쪽으로 검색 위치를 이동했을 때, 칩이 없다고 판단된다. 그렇게 하면, 검색 위치가 Y방향 안쪽(아래쪽)으로 이동된다. 그리고, 이후는 후술하는 좌측 검색이 행해져, X방향 왼쪽 단의 에지 칩이 Y방향 아래쪽을 향해서 검색된다.
도 6(b)에 나타내는 상측 검색을 종료하면 메인 척(18)은 Y방향 위쪽으로 이동된다. 환언하면 웨이퍼 W상의 검색 위치를 Y방향 안쪽(아래쪽)으로 스텝 이동시켜 에지 칩을 검색하는 좌측 검색으로 이행한다. 이 좌측 검색을, 예를 들면 도 7(a) 및 7(b)를 참조하면서 설명한다.
도 7(a)에 나타내는 좌측 검색에서는, 스타츠 칩 Ts로부터 실선 화살표로 나타내는 바와 같이 Y방향 아래쪽으로 검색 위치를 1칩만큼 스텝 이동하여 1번째의 칩 T1을 검출한다. 이 칩 T1이 소자 패턴과 일치하고 있는지 여부를 판단하고, 일치하면 칩 있음으로 판단한다. 다음으로, 검색 방향을 Y방향으로부터 X방향으로 전환하여, 이 칩 T1으로부터 파선 화살표로 나타내는 바와 같이 X방향 바깥쪽으로 검색해 간다. 이 경우는 왼쪽으로 1칩만큼 이동하여 검색해 간다. 이 X방향 바깥쪽으로는, 칩의 유무를 확인하면서 칩이 없어질 때까지 스텝 이동한다. 도 7(a)에서는, 4번째의 칩으로부터 더욱 X방향 왼쪽으로 스텝 이동하면 칩이 없어진다. 그렇게 하면, 검색 위치는 하나 앞의 칩, 이 경우는 4번째의 칩으로 되돌려져, 이 칩이 에지 칩 TE로서 확정된다. 그리고, 검색 위치는 이 에지 칩 TE로부터 다시 Y방향 아래쪽으로 스텝 이동되어, 좌측 검색이 마찬가지로 계속된다.
실시예 1에서는, X방향으로 스텝 이동하여 에지 칩을 검색할 때에, 검색 위치가 이동하는 한계를 검색 범위 리미트(즉, 검색 한계)로서 설정할 수 있다. 예를 들면, 도 7(a)의 예에서도, Y방향 아래쪽으로 스텝 이동한 후, 칩 T1으로부터 X방향 왼쪽으로 스텝 이동할 때, 그 스텝 이동이 검색 범위 리미트내의 이동인지 여부가 판단된다. 검색 위치의 X방향으로의 이동 범위가 검색 범위 리미트에 도달해도 칩이 없어지지 않았을 경우에는, 검색 방향을 Y방향의 검색, 여기서는 상측 검색으로 전환할 수 있다. 이러한 검색 범위 리미트를 설정하는 것에 의해, 검색 방향을 웨이퍼 W의 외주를 따르도록 수정할 수 있어, 쓸데없는 검색을 막을 수 있기 때문에, 프로브 에어리어의 설정에 필요로 하는 시간을 단축할 수 있다.
또한, 도 7(b)에 나타내는 좌측 검색에서는, 스타트 칩 Ts로부터 실선 화살표로 나타내는 바와 같이 Y방향 아래쪽으로 1칩만큼 스텝 이동해도 칩을 검출하지 못한다. 그 경우에는, 에지 칩이 그 위치의 X방향 안쪽(오른쪽)에 있다고 판단하여, 검색 방향을 Y방향으로부터 X방향으로 전환한다. 그리고 X방향 오른쪽으로 칩의 유무를 판단하면서 검색 범위 리미트에 도달할 때까지 스텝 이동하고, 검색 범위 리미트내에서 칩 있음으로 판단한 경우에는 그 칩을 에지 칩 TE로서 확정한다. 에지 칩 TE를 검색한 경우에는 Y방향 아래쪽으로 1칩만큼 스텝 이동하여, 좌측 검색을 되풀이한다. 한편, 검색 범위 리미트에 도달할 때까지 칩이 없었을 경우에는, 좌측 검색으로부터 하측 검색으로 전환되어, X방향 오른쪽으로 스텝 이동하면서 에지 칩을 검색할 수 있다.
도 7(b)에 나타내는 좌측 검색을 종료하면, 메인 척(18)을 X방향 왼쪽, 환언하면 웨이퍼 W상의 검색 위치를 X방향 오른쪽으로 이동시켜 Y방향 하단의 에지 칩을 검색하는 하측 검색으로 이행한다. 이 하측 검색을, 예를 들면 도 8(a) 및 8(b)를 참조하면서 설명한다.
도 8(a)에 나타내는 하측 검색에서는, 스타트 칩 Ts로부터 실선의 화살표로나타내는 바와 같이 X방향 오른쪽으로 검색 위치를 1칩만큼 스텝 이동시켜 1번째의 칩 T1을 검출한다. 이 칩 T1이 소자 패턴과 일치하고 있는지 여부를 판단하고, 일치하면 칩 있음으로 판단한다. 다음으로, 이 칩 T1으로부터 파선의 화살표로 나타내는 바와 같이 Y방향 아래쪽으로 1칩만큼 이동하여, 칩의 유무를 검색한다. 이 경우에는 칩 없음으로 판단되기 때문에, 칩 T1으로 되돌아가, 이 칩 T1을 Y방향 하단의 에지 칩으로서 확정한다. 마찬가지로 하여, 검색 위치가 실선 화살표로 나타내는 바와 같이 X방향 오른쪽으로 1칩만큼 스텝 이동된 후, 파선 화살표로 나타내는 바와 같이 Y방향 아래쪽의 칩을 검색한다. 여기에 칩이 없으면 검색 위치를 원위치로 되돌리고, 2번째의 칩 T2를 Y방향 하단의 에지 칩으로서 확정한다. 마찬가지로 하여, 2번째의 칩 T2로부터 X방향 오른쪽으로 검색 위치를 이동하면, 이 경우에는 칩이 없다고 판단된다. 그렇게 하면, 검색 위치가 Y방향 안쪽, 이 경우는 위쪽으로 이동되어, 하측 검색으로부터 우측 검색으로 전환된다.
또한, 도 8(b)에 나타내는 하측 검색에서는, 스타트 칩 Ts로부터 3번째의 칩 T3의 Y방향 아래쪽에 칩이 있다. 이 경우에는, X방향 단의 검색으로 전환되고, 이 경우는 좌측 검색이 행해진다.
도 8(a)에 나타내는 하측 검색을 종료하면 메인 척(18)을 Y방향 아래쪽으로 스텝 이동시켜 X방향 오른쪽 단의 에지 칩을 Y방향 안쪽(위쪽)을 향해서 검색하는 우측 검색으로 이행한다. 이 우측 검색을, 예를 들면 도 9(a) 및 9(b)를 참조하면서 설명한다.
도 9(a)에 나타내는 우측 검색에서는, 스타트 칩 Ts로부터 실선 화살표로 나타내는 바와 같이 Y방향 위쪽으로 검색 위치를 1칩만큼 스텝 이동하여, 1번째의 칩 T1을 검출한다. 이 칩 T1이 소자 패턴과 일치하고 있는지 여부를 판단하고, 일치하면 칩 있음으로 판단한다. 다음으로, 이 칩 T1으로부터 파선 화살표로 나타내는 바와 같이 X방향 오른쪽으로, 하나씩 칩의 유무를 확인하면서 스텝 이동한다. 이 이동은 상기한 검색 범위 리미트내에서 칩이 없어질 때까지 계속된다. 도 9(a)에서는 4번째의 칩으로부터 더욱 X방향 오른쪽으로 스텝 이동하면 칩이 없어져, 칩 없음으로 판단된다. 그래서 검색 위치는 4번째의 칩으로 되돌려지고, 이 칩이 에지 칩 TE로서 확정된다. 4번째의 칩이 에지 칩 TE로서 확정되면, 검색 위치는 다시 Y방향 위쪽으로 스텝 이동되어, 순차적으로 오른쪽 단의 에지 칩이 마찬가지로 검색된다. 한편, X방향 오른쪽으로 칩을 검색해 갈 때, 검색 범위 리미트에 도달해도 칩이 존재하는 경우에는, 검색 위치가 Y방향 안쪽으로 이동되어, X방향 단의 검색으로 전환된다. 도 9(a)의 경우는, 우측 검색이 하측 검색으로 전환된다. 그리고, 검색 위치가 X방향 오른쪽으로 더욱 스텝 이동되어, 에지 칩이 검색된다.
또한, 도 9(b)에 나타내는 우측 검색에서는, 실선 화살표로 나타내는 바와 같이, 검색 위치가 스타트 칩 Ts로부터 Y방향 위쪽으로 1칩만큼 스텝 이동했을 때, 칩이 없다고 판단된다. 이 경우는 검색 방향을 X방향 안쪽으로 전환하고, 칩이 발견될 때까지 스텝 이동한다. 이 이동은, 검색 범위 리미트에 도달할 때까지 행해진다. 검색 리미트의 범위내에서 칩이 발견된 경우, 그 칩이 에지 칩 TE로서 확정된다. 에지 칩 TE가 확정된 경우에는, 검색 위치가 Y방향 위쪽으로 1칩만큼 스텝 이동되어, 우측 검색이 속행된다. 한편, 검색 범위 리미트에 도달해도 칩이 없는 경우, Y방향 단의 검색으로 전환된다. 도 9(b)의 경우는 우측 검색으로부터 상측 검색으로 전환된다.
상술한 바와 같이 상측 검색, 좌측 검색, 하측 검색 및 상측 검색을 순차 실행하는 것에 의해, 웨이퍼 W 전체 주위의 에지 칩을 검색할 수 있다. 웨이퍼 W 전체 주위의 에지 칩이 검색되어, 프로브 에어리어가 설정되면, 프로브 에어리어 자동 인식 공정이 종료된다.
이상 설명한 바와 같이 실시예 1에 의하면, 상부 카메라(21A)에 의한 기준으로 되는 소자 패턴의 촬상과, X방향 양단에 위치하는 복수의 에지 칩 각각의 소자 패턴을 미리 기억되어 있는 기준으로 되는 소자 패턴과 비교하면서 검색하는 X방향 양단 검색과, Y방향 양단에 위치하는 복수의 에지 칩 각각의 소자 패턴을 미리 기억되어 있는 기준으로 되는 소자 패턴과 비교하면서 검색하는 Y방향 양단 검색을 실행할 수 있다. 또한, 검색 위치를 웨이퍼 W의 주회 방향으로 이동하면서 에지 칩을 검색하기 때문에, 도 4(b)에 나타내는 부정형 웨이퍼 W나 도 5에 나타내는 균열 웨이퍼 W이어도, 부적격한 칩을 제외하여 에지 칩을 확실히 검색할 수 있다. 이에 의해서, 프로브 에어리어를 용이하게 또한 효율적으로 설정할 수 있다. 또한, 좌측 검색, 우측 검색에서는 X방향의 이동 한계(검색 범위 리미트)를 설정하여, 검색 범위 리미트를 초과했을 때에는 웨이퍼 W의 검색 방향을 전환하는 것에 의해, X방향 양단의 에지 칩을 빠짐 없이 확실히 검색하여, 프로브 에어리어를 설정할 수 있다.
도 10~도 12는 본 발명의 실시예 2에 따라서 프로브 에어리어를 설정하는 방법을 나타내고 있다. 실시예 2에서는, 예를 들면 스텝 사이즈를 「3」으로 설정할 수 있다. 이 경우, 검색 위치는 칩 3개만큼 스텝 이동되어, 상측 검색, 좌측 검색, 하측 검색 및 우측 검색이 순차 실행된다. 에지 칩이 전부 특정되는 것에 의해 프로브 에어리어가 설정된다.
도 10에 나타내는 실시예 2의 좌측 검색에서는, 검색 위치를 스타트 칩 Ts로부터 Y방향 아래쪽으로 칩 3개만큼 스텝 이동시켜, 1번째의 칩 T1을 검출한다. 이 칩 T1의 소자 패턴이 미리 제 2 기억 장치에 기억되어 있는 기준으로 되는 소자 패턴과 일치하고 있는지 여부를 판단하고, 일치하면 칩 있음으로 판단한다. 다음으로, 도 7에 나타낸 좌측 검색과 마찬가지로, 검색 위치는 이 칩 T1으로부터 화살표로 나타내는 바와 같이 X방향 왼쪽으로 1칩만큼 스텝 이동된다. 이 이동은 칩이 없어질 때까지 계속된다. 검색 위치가 이동했을 때에 칩이 없었을 경우, 검색 위치는 하나 앞의 칩으로 되돌아가, 이 칩을 에지 칩 TE로서 확정한다. 에지 칩 TE가 특정되면, 검색 위치는 다시 Y방향 아래쪽으로 칩 3개만큼 스텝 이동된다. 이 조작을 되풀이하는 것에 의해, 왼쪽 단의 에지 칩을 순차 특정해 간다. 우측 검색에서도 상술한 좌측 검색에 준하여, 검색 위치를 Y방향 위쪽으로 칩 3개만큼 스텝 이동시켜 에지 칩을 검색한다. 또한, 도 10에서 검은 환형이 표시된 칩은, 후술의 방법에 의해서 특정하는 에지 칩이다.
도 11에 나타내는 실시예 2의 하측 검색에서는, 도 11의 파선 화살표로 나타내는 바와 같이 좌측 검색으로부터 스타트 칩 Ts에 도달한다. 이 칩 Ts로부터 하측 검색으로 전환되고, X방향, 이 경우는 오른쪽으로 칩 3개만큼 스텝 이동하여 1번째의 칩을 검색한다. 칩 있음으로 판단되면, 이 1번째의 칩이 에지 칩 TE로서 확정된다. 다음으로, 이 에지 칩 TE로부터 실선 화살표로 나타내는 바와 같이 X방향 오른쪽으로 3칩만큼 스텝 이동하여, 마찬가지로 칩을 검색한다. 이번은 칩 없음으로 판단되기 때문에, 검색 위치가 Y방향 안쪽으로 이동된다. 그리고 하측 검색이 우측 검색으로 전환된다.
다음에, 도 12를 참조하면서 웨이퍼 W 전체 주위를 스텝 사이즈 「3」으로 반시계 회전으로 검색하는 경우에 대해서 설명한다. 먼저, 좌표상의 위치에 의해, 스타트 칩 Ts를 수동으로 선택한다(이 경우, 도 12의 Y방향 상단의 중앙의 칩). 그 좌표 위치에 칩이 존재하는지 여부를 상부 카메라(21A)의 촬상 화상의 화상 처리를 실행하여 확인한다. 스타트 칩 Ts가 존재하면, 프로그램에 의한 프로브 에어리어의 자동 설정을 개시하여, 그 위치로부터 먼저 X방향 왼쪽으로 1칩만큼 스텝 이동하여칩을 검색한다. 칩이 없어질 때까지 X방향 왼쪽으로 이동한다. 도 12의 경우에는, 스타트 칩 Ts로부터 1칩만큼 스텝 이동한 위치에 칩이 있으므로, 이 칩을 에지 칩 TE로서 확정한다. 이 에지 칩 TE의 더욱 X방향 왼쪽으로 칩의 유무를 확인하고, 칩이 없다고 판단되면, 에지 칩 TE에서 상측 검색이 좌측 검색으로 전환된다.
좌측 검색은 도 10에 나타낸 경우와 마찬가지로 Y방향 아래쪽으로 칩 3개만큼 스텝 이동하여, 1번째의 칩 T1을 검출한다. 이 칩 T1의 소자 패턴이 미리 제 2 기억 장치에 기억되어 있는 소자 패턴과 일치하고 있는지 여부가 판단되고, 일치하고 있으면 칩 있음으로 판단된다. 다음에, 이 칩 T1으로부터 화살표로 나타내는 바와 같이 X방향 왼쪽으로 검색 위치가 1칩만큼 이동된다. 이 방향으로의 이동은 칩을 하나씩 검색하면서 행해진다. 이동했을 때에 칩이 없다고 판단된 경우, 하나 앞의 칩으로 되돌아가, 그 칩이 에지 칩(여기서는 TE2)으로서 특정된다.
이와 같이 하여 특정된 에지 칩(TE2)과, 그 하나 앞에 특정된 에지 칩(TE)에는, 그 사이에 아직 특정되어 있지 않은 에지 칩(도 12에서는 좌측에 검은 환형이 표시되어 있는 2개의 칩)이 존재한다. 이들 특정되어 있지 않은 에지 칩은, 그것들을 사이에 두고 미리 특정되어 있는 에지 칩(도 12에서는 TE와 TE2)을 직선으로 연결하여, 이 직선상에 위치하는 것에 의해 에지 칩으로서 특정된다. 이와 같이, 스텝 사이즈가 1 이상으로 설정된 검색 방법에서는, 설정된 스텝 사이즈로 검색 위치가 이동한 전후에 특정된 에지 칩을 직선으로 연결하여, 그 선상에 위치하는 칩을 에지 칩으로서 특정할 수 있다. 이 방법에 의해, 칩을 하나씩 검색하는 것보다도 검색 시간을 단축하는 것이 가능하고, 프로브 에어리어의 설정을 용이하게 할 수 있다.
계속해서, 에지 칩 TE2로부터 Y방향 아래쪽으로 3칩만큼 스텝 이동하여 좌측 검색을 실행한다. 이 때, 칩이 없다고 판단된 경우에는, 검색 방향이 X방향 오른쪽으로 전환된다. 그리고 검색 위치가 검색 범위 리미트내에서 1칩씩 스텝 이동된다. 이 검색 범위 리미트내의 검색에 의해 칩이 있다고 판단되면, 그 칩이 에지 칩(TE3)으로서 확정된다. 이 에지 칩 TE3로부터 또한 좌측 검색이 계속되어, 다시 Y방향 아래쪽으로 3칩만큼 스텝 이동된다. 여기서 도 12에 나타내는 바와 같이 칩이 없다고 판단된 경우, 검색 방향이 X방향 오른쪽으로 전환된다. 그리고 검색 범위 리미트내에서 검색 위치를 1칩만큼 스텝 이동시켜, 칩을 검색해 간다.
이 방향으로의 검색에서, 검색 범위 리미트내에 칩이 없다고 판단된 경우는, 직전에 특정된 에지 칩 TE3으로부터 하나 다음 칩, 즉 TE3의 아래의 칩까지 되돌아간다. 그리고 이 칩의 위치로부터 재차 X방향 오른쪽을 향해서 칩이 검색되어, 칩 있음으로 판단되면 이 칩이 에지 칩 TE4로서 특정된다. 또한, 이 에지 칩 TE4로부터 Y방향 아래쪽으로 1칩만큼만 스텝 이동되어, 칩 없음으로 판단되면, 검색 방향은 Y방향 아래쪽으로부터 X방향 오른쪽으로 전환된다. X방향 오른쪽을 향해서 칩이 검색되어, 검색 범위 리미트내에서 칩 없음으로 판단되면, 검색 위치가 그 위치로부터 Y방향 위쪽을 향해서 1칩만큼 스텝 이동되어, 칩이 검색된다. 도 12에서는 칩이 있다고 판단되고, 이 칩은 에지 칩 TE5로 특정된다. 이 칩 TE5로부터 이번은 Y방향 단(하측) 검색이 행해져, X방향 오른쪽으로 검색 위치가 3칩만큼 스텝 이동된다.
이 때의 이동처에 칩이 없으면, 그 이동처로부터 다음의 에지 칩을 검색할 때까지 1칩만큼 검색 위치가 되돌려지고, 칩이 있다고 판단된 시점에서 그 칩이 에지 칩 TE6로서 특정된다. 그 후는 이 에지 칩 TE6를 스타트 칩으로 하여, 하측 검색으로부터 우측 검색으로 전환된다.
도 12의 우측 검색에서는, 3칩만큼 Y방향 안쪽(위쪽)으로 스텝 이동하여 오른쪽 단의 에지 칩을 검색한다. 그 이동처에 칩이 없으면, 검색 방향은 Y방향 위쪽으로부터 X방향 왼쪽으로 전환되고, 검색 위치가 1칩만큼 스텝 이동된다. 그리고, 그 이동처에 칩이 있다고 판단되면, 그 칩이 에지 칩 TE7으로서 확정된다. 그 후는 다시 Y방향 위쪽으로 검색하고, 3칩만큼 스텝 이동하여 마찬가지로 검색을 되풀이한다.
도 12에서, 우측 검색에 의해 에지 칩 TE8을 검색한 후, 동 도면의 화살표 ①로 나타내는 바와 같이 Y방향 위쪽으로 3칩만큼 이동하면, 스타트 칩이 속하는 행을 넘어 버린다. 이러한 경우, 동 도면의 화살표 ②로 나타내는 바와 같이 Y방향으로 1칩만큼만 이동하여, 우측 검색에 의해 스타트 칩 Ts와 동일 행에 마지막의 에지 칩 TE9을 검색한 시점에서 검색을 종료할 수 있다. 또한, 만일 스타트 칩 Ts와 마지막의 에지 칩 TE9보다 Y방향 위쪽에 칩 라인이 존재해도, 그 라인의 검색을 하지 않아 검색 시간을 절약할 수 있다. 한편, 스타트 칩을 자동 검색한 경우에는, 스타트 칩 Ts까지 되돌아갔을 때에서 검색을 종료할 수 있다.
이상 설명한 바와 같이 실시예 2에 의하면, 상부 카메라(21A)에 의한 칩의 소자 패턴의 촬상과, X방향 양단에 위치하는 복수의 에지 칩의 소자 패턴을 상기 소자 패턴과 비교하면서 Y방향으로 3칩만큼 스텝 이동하여 X방향 양단의 에지 칩을 검색하는 X방향 양단 검색과, Y방향 양단에 위치하는 복수의 에지 칩의 소자 패턴을 상기 소자 패턴과 비교하면서 X방향으로 3칩만큼 스텝 이동하여 Y방향 양단의 에지 칩을 검색하는 Y방향 양단 검색을 구비하고, 웨이퍼 W를 주회하는 방향으로 검색하기 때문에, 실시예 1과 마찬가지의 작용 효과에 부가하여 프로브 에어리어의 설정 시간을 단축할 수 있다.
또한, 실시예 2에서, X방향, Y방향 함께 동일한 스텝 사이즈로 스텝 이동해도 무방하다. 예를 들면, 도 12에서 TE로부터 T1까지 Y방향으로 스텝 이동하고, T1으로부터 X방향 바깥쪽으로 동일 스텝 사이즈로 이동을 실행하여, 만약에 칩이 없는 경우는 역방향으로 1스텝씩 되돌아가 에지 칩을 특정할 수도 있다. 상기 스텝 이동은 도 12의 모든 방향에서 마찬가지이다.
또한, 본 발명은 상기 각 실시예에 하등 제한되는 것은 아니고, 본 발명의 요지에 반하지 않는 한 프로브 에어리어의 설정을 여러 가지로 변경할 수 있다. 예를 들면, 웨이퍼 W를 시계 회전으로 검색해도 무방하다. 또한, 상기 실시예에서는 웨이퍼 W의 상단으로부터 검색하는 경우에 대해 설명했지만, 웨이퍼 W의 임의의 단부로부터 검색을 개시해도 무방하다.
본원 발명의 실시예에 의하면, 칩의 소자 패턴을 카메라로 촬상하여, 에지 칩을 순차 검색해 가는 구성에 의해, 프로브 에어리어의 설정을 자동으로 실행할 수 있는 프로브 장치 및 프로브 방법을 제공할 수 있다.
또한, 본원 발명의 실시예에 의하면, 검색 위치를 조건에 근거하여 X, Y방향으로 이동하면서 에지 칩을 검색하는 것에 의해, 웨이퍼를 주회하여 에지 칩을 검색할 수 있어, 프로브 에어리어의 설정을 효율적으로 단시간에 실행할 수 있다.
또한, 본원 발명의 실시예에 의하면, 결손이 있는 동등하고 부정형인 웨이퍼나 칩이 작은 웨이퍼 등과 같이 외주의 칩의 위치를 특정할 수 없는 웨이퍼이어도, 외주의 칩을 자동으로 검색하여 프로브 에어리어를 확실 또한 용이하게 설정할 수 있는 프로브 에어리어의 설정 방법 및 프로브 장치를 제공할 수 있다.
또한, 본원 발명의 실시예에 의하면, 이미 특정된 에지 칩을 시점으로 하고, 특정된 에지 칩에 인접하는 칩을 웨이퍼의 주회 방향으로 순차 검색하여, 웨이퍼 W상의 모든 에지 칩을 특정하는 것에 의해, 검색 위치의 이동을 최단으로 할 수 있어, 프로브 에어리어의 설정을 효율적으로 실행할 수 있다.
또한, 본원 발명의 실시예에 의하면, 검색 위치를 웨이퍼의 중심 위치로부터 소정의 바깥 방향으로 이동시켜 칩을 검색하고, 그 방향에서 특정된 에지 칩을 그 이후의 검색의 시점으로 하는 구성에 의해, 프로브 에어리어의 설정을 완전히 자동으로 실행할 수 있다.
또한, 본원 발명의 실시예에 의하면, 외주에 형성된 복수의 칩을 순차 검색할 때에, X방향으로의 검색 위치의 이동에 한계를 설정하여, 이동이 한계를 초과했을 때에는 검색 위치의 이동 방향을 X방향으로부터 Y방향으로 전환하는 것에 의해, 검색 방향을 웨이퍼 W의 외주를 따르도록 수정할 수 있어, 쓸데없는 검색을 막을 수 있기 때문에, 프로브 에어리어의 설정에 필요로 하는 시간을 단축할 수 있다.
또한, 본원 발명의 실시예에 의하면, 전후하여 검색된 2개의 외주 피검사체를 연결하는 선상에 위치하는 피검사체를 외주 피검사체로서 특정하는 것에 의해, 칩을 하나씩 검색하는 것보다도 검색 시간을 단축할 수 있고, 프로브 에어리어의 설정을 용이하게 할 수 있다.
더한 특징 및 변경은 해당 기술 분야의 당업자에게는 용이하게 착상될 것이다. 그 때문에, 본 발명은 보다 넓은 관점으로 생기는 것으로, 여기에 개시된 특정의 상세한 설명 및 대표적인 실시예에 한정되는 것이 아니다. 따라서, 첨부된 청구항 및 그 균등물에 의해서 정의되는 일반적인 발명 개념의 취지와 범위로부터 일탈하는 일 없이 다양한 변경을 할 수 있다.

Claims (16)

  1. 재치대(載置臺) 및 해당 재치대의 표면을 촬상하기 위한 촬상 장치를 구비하는 프로브 장치에서, 해당 재치대에 재치된 웨이퍼 형상의 기판상에 프로브 에어리어를 설정하는 방법으로서,
    (a) 해당 재치대에 해당 기판을 재치하는 단계와,
    (b) 상기 기판의 가장 외주에 형성된 피검사체를 외주 피검사체로서 선택하여 그 위치를 특정하는 단계와,
    (c) 해당 재치대 및 해당 촬상 장치 중 적어도 하나를 X, Y방향 중 어느 하나로 이동시키는 것에 의해, 상기 촬상 장치의 검색 방향을 X, Y방향 중 어느 하나로 전환하면서 해당 기판상의 외주에 형성된 모든 외주 피검사체를 검색하여, 그 위치를 특정하는 단계와,
    (d) 상기 (c)에 의해 특정된 모든 외주 피검사체의 위치에 근거하여 프로브 에어리어를 결정하는 단계
    를 포함하는 프로브 에어리어의 설정 방법.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 (b)는 해당 재치대를 X, Y방향으로 이동하는 것에 의해 실시되는 프로브 에어리어의 설정 방법.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 (c)는 (c1) 및 (c2)를 더 구비하는 프로브 에어리어의 설정 방법으로서,
    상기 (b)에서 특정된 외주 피검사체를 시점으로 하고, 특정된 외주 피검사체에 인접하는 피검사체를 기판의 주회(周回) 방향으로 순차 검색하여, 해당 기판상의 모든 외주 피검사체를 특정하는, 이 외주 피검사체의 특정은 하기 (c1) 및 (c2)를 더 구비하되,
    (c1) X방향 양단의 외주에 형성된 각각의 피검사체를 검색하는 X방향 양단의 검색, 이 X방향 양단의 검색은 이미 특정된 외주 피검사체로부터 제 1의 Y방향으로 검색 위치를 이동하여 피검사체를 검색하는 단계는,
    (c1-1) 제 1의 Y방향에 피검사체가 있는 경우는, 거기서부터 더욱 X방향 바깥쪽으로 검색 위치를 이동하고, 그리고, 이동한 위치에 피검사체가 있는 경우는 피검사체가 없어질 때까지 그대로 X방향 바깥쪽으로 검색 위치를 이동하며, 이동한 위치에 피검사체가 없는 경우는 하나 앞의 피검사체로 되돌아가 해당 피검사체를 외주 피검사체로 특정한 후, 검색 위치를 다시 제 1의 Y방향으로 이동하는 단계와,
    (c1-2) 제 1의 Y방향에 피검사체가 없는 경우는, 검색 위치를 X방향 안쪽으로 이동하고, 그리고, 이동한 방향에 피검사체가 있는 경우는 해당 피검사체를 외주 피검사체로 특정한 후, 검색 위치를 다시 제 1의 Y방향으로 이동하며, 이동한 방향에 피검사체가 없는 경우는 Y방향 단의 검색을 실행하는 단계
    를 포함하고,
    (c2) Y방향 양단의 외주에 형성된 각각의 피검사체를 검색하는 Y방향 양단의 검색, 이 Y방향 양단의 검색은 이미 특정된 외주 피검사체로부터 제 1의 X방향으로 검색 위치를 이동하여 피검사체를 검색하는 단계는,
    (c2-1) 제 1의 X방향에 피검사체가 있는 경우는, 거기서부터 더욱 Y방향 바깥쪽으로 검색 위치를 이동하고, 그리고, 이동한 위치에 피검사체가 있는 경우는 X방향 단의 검색을 실행하며, 이동한 위치에 피검사체가 없는 경우는 하나 앞의 피검사체로 되돌아가 해당 피검사체를 외주 피검사체로 특정한 후, 검색 위치를 다시 제 1의 X방향으로 이동하는 단계와,
    (c2-2) 제 1의 X방향에 피검사체가 없는 경우는, 검색 위치를 Y방향 안쪽으로 이동하여 X방향 단의 검색을 실행하는 단계
    를 포함하는 프로브 에어리어의 설정 방법.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 (c)는 (c3) 및 (c4)를 더 구비하는 프로브 에어리어의 설정 방법으로서,
    상기 (b)에서 특정된 외주 피검사체를 시점으로 하고, 특정된 외주 피검사체에 인접하는 피검사체를 기판의 주회 방향으로 순차적으로 검색하여, 해당 기판상의 모든 외주 피검사체를 특정하는 이 외주 피검사체의 특정은 하기 (c3) 및 (c4)을 구비하되,
    (c3) X방향 양단의 외주에 형성된 피검사체를 검색하는 X방향 양단의 검색, 이 X방향 양단의 검색은 이미 특정된 외주 피검사체로부터 제 1의 Y방향으로 검색 위치를 복수의 피검사체만큼 이동하여 피검사체를 검색하는 단계는
    (c3-1) 제 1의 Y방향에 피검사체가 있는 경우는, 거기서부터 더욱 X방향 바깥쪽으로 검색 위치를 피검사체 하나만큼 이동하고, 그리고, 이동한 위치에 피검사체가 있는 경우는 피검사체가 없어질 때까지 그대로 X방향 바깥쪽으로 이동하여, 이동한 위치에 피검사체가 없는 경우는 하나 앞의 피검사체로 되돌아가 해당 피검사체를 외주 피검사체로 특정한 후, 검색 위치를 다시 제 1의 Y방향으로 이동하는 단계와,
    (c3-2) 제 1의 Y방향에 피검사체가 없는 경우는, 검색 위치를 X방향 안쪽으로 피검사체 하나만큼 이동하고, 그리고, X방향 안쪽으로 이동한 방향에 피검사체가 있는 경우는 해당 피검사체를 외주 피검사체로 특정한 후, 검색 위치를 다시 제 1의 Y방향으로 이동하며, X방향 안쪽으로 이동한 방향에 피검사체가 없는 경우는 직전의 외주 피검사체의 하나 다음 피검사체까지 되돌아가 검색 위치를 X방향 안쪽으로 피검사체 하나만큼 이동하는 단계
    를 포함하고,
    (c4) Y방향 양단의 외주에 형성된 피검사체를 검색하는 Y방향 양단의 검색, 이 Y방향 양단의 검색은 이미 특정된 외주 피검사체로부터 제 1의 X방향으로 검색 위치를 복수의 피검사체만큼 이동하여 피검사체를 검색하는 단계는,
    (c4-1) 제 1의 X방향에 피검사체가 있는 경우는, 거기서부터 더욱 Y방향 바깥쪽으로 검색 위치를 피검사체 하나만큼 이동하고, 그리고, 이동한 위치에 피검사체가 있는 경우는 X방향 단의 검색을 하며, 이동한 위치에 피검사체가 없는 경우는 하나 앞의 피검사체로 되돌아가 해당 피검사체를 외주 피검사체로 특정한 후, 검색 위치를 다시 제 1의 X방향으로 이동하는 단계와,
    (c4-2) 제 1의 X방향에 피검사체가 없는 경우는, 검색 위치를 Y방향 안쪽으로 피검사체 하나만큼 이동하여 X방향 단의 검색을 실행하는 단계
    를 포함하는 프로브 에어리어의 설정 방법.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 (c)는 상기 (b)에서 특정된 외주 피검사체를 시점으로 하고, 특정된 외주 피검사체에 인접하는 피검사체를 기판의 주회 방향으로 순차 검색하여, 해당 기판상의 모든 외주 피검사체를 특정하는 프로브 에어리어의 설정 방법.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 프로브 에어리어를 설정하는 웨이퍼 형상의 기판은, 외주의 피검사체의 위치를 미리 특정하는 것이 곤란한, 손상 기판, 부정형 기판, 및 피검사체가 작은 기판 중 하나의 웨이퍼 형상의 기판인 프로브 에어리어의 설정 방법.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 (c)에서, 상기 외주에 형성된 복수의 피검사체의 위치를 순차 특정하기 위한 검색은 X방향으로의 검색 위치의 이동에 미리 한계를 설정하는 프로브 에어리어의 설정 방법.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 검색이 상기 한계를 초과했을 때 및 상기 한계에 이르렀을 때 중 어느 하나의 때에는, 상기 기판의 검색 위치의 이동 방향을 X방향으로부터 Y방향으로 전환하는 것을 특징으로 하는 프로브 에어리어의 설정 방법.
  9. 제 4 항에 있어서,
    전후하여 특정된 2개의 외주 피검사체를 연결하는 선상에 위치하는 피검사체를 외주 피검사체로서 특정하는 프로브 에어리어의 설정 방법.
  10. 제 1 항에 있어서,
    상기 피검사체와 소자 패턴을 상이하게 하는 피검사체를 검색 대상으로부터제외하는 것을 특징으로 프로브 에어리어의 설정 방법.
  11. 웨이퍼 형상의 기판상에 형성된 복수의 피검사체를 검색하여 해당 기판의 프로브 에어리어를 설정하는 시스템으로서,
    해당 시스템은,
    재치대(18),
    피검사체의 소자 패턴을 기억하는 제 2 기억 수단(13B),
    재치대상에 재치된 피검사체의 소자 패턴을 촬상하기 위한 촬상 수단(21A),
    최초의 외주 피검사체를 선택하는 수단
    을 구비하되,
    해당 최초에 선택한 외주 피검사체를 시점으로 하고, 해당 기판상에 형성된 피검사체를 기판의 주회 방향으로 순차 검색하고, 또한, 상기 기판의 가장 외주에 형성된 외주 피검사체의 위치를 특정하는 제어ㆍ연산 처리부(13C), 해당 제어ㆍ연산 처리부는 상기 촬상 수단이 촬상한 상을 제 2 기억 수단에 기억된 소자 패턴과 비교하여, 상기 촬상 수단이 촬상한 상기 상이 상기 소자 패턴과 일치하는지 여부를 판단하는
    프로브 에어리어의 설정 시스템.
  12. 제 11 항에 있어서,
    상기 제어ㆍ연산 처리부는 특정된 외주 피검사체에 인접하는 피검사체로부터 순차 검색하여, 웨이퍼 W를 주회하는 방향으로 검색 위치를 이동시켜 프로브 에어리어를 설정하는 프로브 에어리어의 설정 시스템.
  13. 제 11 항에 있어서,
    상기 제어ㆍ연산 처리부는 피검사체의 검색 위치를 복수의 피검사체만큼 X, Y방향으로 이동시키는 것을 특징으로 하는 프로브 에어리어의 설정 시스템.
  14. 제 11 항에 있어서,
    상기 제어ㆍ연산 처리부는 전후하여 특정된 2개의 외주 피검사체를 연결하는 선상에 위치하는 피검사체를 외주 피검사체로서 특정하는 것을 특징으로 하는 프로브 에어리어의 설정 시스템.
  15. 제 11 항에 있어서,
    상기 제어ㆍ연산 처리부는 검색 위치를 상기 기판의 중심 위치로부터 소정의바깥 방향으로 이동시켜 피검사체의 검색을 개시한 후, 해당 방향에서 특정된 외주 피검사체를 이후의 검색의 시점으로 하는 것을 특징으로 하는 프로브 에어리어의 설정 시스템.
  16. 반도체 웨이퍼상에 형성된 복수의 피검사체를 검색하여 해당 기판의 프로브 에어리어를 설정하는 시스템을 구비하는 프로브 장치로서,
    해당 시스템은,
    재치대(18),
    피검사체의 소자 패턴을 기억하는 제 2 기억 수단(13B),
    재치대상에 재치된 피검사체의 소자 패턴을 촬상하기 위한 촬상 수단(21A),
    해당 기판상에 형성된 피검사체를 기판의 주회 방향으로 순차 검색하여, 상기 기판의 가장 외주에 형성된 외주 피검사체의 위치를 특정하는 제어ㆍ연산 처리부(13C)
    를 구비하되,
    해당 제어ㆍ연산 처리부는 상기 촬상 수단이 촬상한 상을 제 2 기억 수단에 기억된 소자 패턴과 비교하여, 상기 촬상 수단이 촬상한 상기 상이 상기 소자 패턴과 일치하는지 여부를 판단하는
    프로브 장치.
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