JP4156968B2 - プローブ装置及びアライメント方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、プローブ装置及びアライメント方法に関し、更に詳しくは被検査体の電極とプローブカードのプローブとのアライメントを行う際に、プローブの針先を誤ることなく迅速且つ確実に検出することができるプローブ装置及びアライメント方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
半導体処理工程には被検査体、例えば複数の半導体デバイスが形成されたウエハをウエハ状態のまま検査する工程がある。この検査工程では例えばプローブ装置が用いられる。プローブ装置は、ウエハを搬送するローダ室と、ウエハの電気的特性検査を行なうプローバ室とを備えている。プローバ室は、ウエハを載置し且つ水平方向及び上下方向に移動可能に構成された載置台と、この載置台の上方に配置されたプローブカードとを備えている。そして、ウエハの電気的特性検査を行なう時には、載置台が水平方向及び上下方向に移動する際にアライメント機構と協働してウエハの検査用の電極パッドとプローブカードのプローブとを位置合わせ(アライメント)して接触させ、プローブカードを介して検査用の種々の信号をウエハに印加する。
【0003】
ウエハの電極パッドとプローブとのアライメント方法については従来から種々提案されている。例えば特許文献1にはアルミ蒸着したダミーウエハを用いてアライメントするプローバが提案されている。この場合には、載置台(チャック)上にダミーウエハを載置し、チャックがアライメント位置からテスト位置まで移動し、テスト位置でチャックが上昇してダミーウエハとプローブとを接触させてダミーウエハにプローブの針跡を付ける。その後、チャックがテスト位置からアライメント位置に戻り、ここでプローブ針位置測定装置を用いて針跡に基づいてウエハのファインアライメントするようにしている。
【0004】
しかしながら、最近ではウエハに形成されるチップが高集積化しているため、プローブによる針圧の低圧化が進み、ダミーウエハに針跡を付けることが困難になってきている。また、プローブカードのアライメントを行う度毎にダミーウエハをチャック上に載置し直さなくてはならない。そこで、プローブの針圧に影響されることなくプローブの位置を検出することができるプローブ装置及びプローブ方法が例えば特許文献2において提案されている。
【0005】
特許文献2で提案されているプローブ方法の場合には、図5の(a)に示すようにプローブカード1のプローブ1Aの針先にCCDカメラ等の撮像手段2の焦点を合わせ、この時の載置台(図示せず)のX、Yの座標位置に基づいてプローブ1Aの針先を検出するようにしている。この方法によれば、特許文献1のプローバの場合のように針跡をつける必要がないため、プローブ1Aの針圧が低圧化してもプローブ1Aの針先位置を確実に検出することができる。
【0006】
【特許文献1】
特開昭59−5641号公報(請求項1、請求項2及び第4頁左下欄第9行〜第5頁左上欄第8行)
【特許文献2】
特開平7−110364号公報(請求項1、請求項4及び段落[0019])
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来のアライメント方法の場合には、プローブカード1からの反射光や針先の形状の影響を受け、撮像手段2の焦点をプローブ1Aの針先に合わせる時間が長くなるという課題があった。また、プローブ1Aと電極パッドとを電気的に接触させる際に、プローブ1Aで電極パッド表面の酸化膜を削り取ってプローブ1Aと電極パッドの電気的な導通を取るが、この際図5の(b)に示すようにプローブ1Aの針先に削り屑D等の異物が付着し、針先と異物とを誤認する虞があった。また今後、電極パッドの大きさに合わせてプローブ1Aが細線化すると撮像手段による針先の検出が益々難しくなる虞がある。
【0008】
本発明は、上記課題を解決するためになされたもので、プローブカードのプローブと被検査体の電極の位置合わせを繰り返し行う際に、いずれの場合にもプローブの針先に異物が付着していてもその異物を除去することができると共に、プローブの針先の位置座標を誤認することなく迅速且つ確実に検出することができ、延いてはアライメント時間を短縮することができるプローブ装置及びアライメント方法を提供することを目的としている。
【0009】
【課題を解決するための手段】
本発明の請求項1に記載のプローブ装置は、被検査体を載置し且つ水平方向及び上下方向に移動する載置台と、この載置台の上方に配置されたプローブカードと、このプローブカードのプローブと上記被検査体の電極との位置合わせに用いられる撮像手段と、この撮像手段及び上記載置台を制御する制御手段とを備え、上記制御手段の制御下で上記被検査体の電気的特性検査を行うプローブ装置において、上記載置台と一体的に移動する支持台を上記載置台の側方に設けると共に上記支持台上に上記プローブの針跡を付けるためのシートを設けてなり、且つ、上記制御手段は、上記プローブカードのプローブと上記被検査体の電極の位置合わせのために、上記撮像手段によって撮像された上記シートの針跡に基づいて上記プローブの針先の位置座標を求める演算部と、上記撮像手段により撮像された上記シートの針跡の画像データを記憶する記憶部と、を備え、上記演算部は、上記プローブの針先の位置座標を複数回求める時には、上記プローブの前回の針跡から所定の距離だけ位置をずらして上記シートに付けられた上記プローブの今回の針跡を含む画像データから上記記憶部で記憶された上記前回の針跡の画像データを除く処理を行うように構成されていることを特徴とするものである。
【0010】
また、本発明の請求項2に記載のプローブ装置は、請求項1に記載の発明において、上記支持台を上記載置台に付設したことを特徴とするものである。
【0011】
また、本発明の請求項3に記載のプローブ装置は、請求項1または請求項2に記載の発明において、上記シートを上記支持台に対して着脱自在に設けたことを特徴とするものである。
【0012】
また、本発明の請求項4に記載のプローブ装置は、請求項1〜請求項3のいずれか1項に記載の発明において、上記シートは0.1〜5g/本の針圧で針跡が付く硬さを有することを特徴とするものである。
【0013】
また、本発明の請求項5に記載のプローブ装置は、請求項1〜請求項4のいずれか1項に記載の発明において、上記シートは、上記プローブの針跡を重ねることなく複数回付ける大きさを有し、上記制御手段は、上記シートの針跡の位置座標を記憶する手段と、上記針跡の位置座標と次の針跡の位置座標との距離の差を適宜設定する手段とを有することを特徴とするものである。
【0014】
また、本発明の請求項6に記載のアライメント方法は、被検査体を載置し且つ水平方向及び上下方向に移動する載置台と、この載置台の上方に配置されたプローブカードと、このプローブカードのプローブと上記被検査体の電極との位置合わせに用いられる撮像手段と、この撮像手段及び上記載置台を制御する制御手段と、を備えたプローブ装置を用いて被検査体の電気的特性検査を行う際に、上記プローブカードのプローブと上記被検査体の電極の位置合わせを行うアライメント方法であって、シートを有する支持台を上記載置台と一体的に移動させて上記シートを上記プローブカードの下方に位置させる第1の工程と、上記載置台を上昇させて上記シートに上記プローブの針跡を付ける第2の工程と、上記撮像手段により上記針跡を撮像し、撮像された上記針跡に基づいて上記プローブの針先の位置座標を求める第3の工程と、を備え、2回目以降に行われる第1、第2の工程では上記プローブの前回の針跡を付けた位置から所定の距離だけずらせた位置へ移動させた上記シートの上記前回の針跡から上記所定の距離だけずらせた位置に上記プローブの今回の針跡を付け、且つ、上記第3の工程は、上記前回の針跡と上記今回の針跡を含む画像データから上記前回の針跡の画像データを除く処理を行う工程を有することを特徴とするものである。
【0015】
また、本発明の請求項7に記載のアライメント方法は、請求項6に記載の発明において、今回の上記針跡の位置座標と次回の針跡の位置座標との差を適宜設定する工程と、上記差に基づいて上記載置台を移動させて上記今回の針跡と上記次回の針跡とをずらす工程と、を有することを特徴とするものである。
【0017】
【発明の実施の形態】
以下、図1〜図4に示す実施形態に基づいて本発明を説明する。
本実施形態のプローブ装置10は、例えば図1に示すように、被検査体(例えば、ウエハ)Wを搬送するローダ室11と、このローダ室11に隣接し且つウエハWの電気的特性検査を行うプローバ室12とを備え、制御装置の制御下でウエハWの電気的特性検査を行う。ローダ室11は、カセット収納部11B、ウエハ搬送機構(図示せず)及びプリアライメント機構(図示せず)を備え、ウエハ搬送機構によってカセット収納部11Bのカセット11Cからプローバ室12へウエハWを一枚ずつ搬送する間に、プリアライメント機構によってウエハWのオリフラまたはノッチを基準にしてウエハWのプリアライメントを行う。
【0018】
プローバ室12は、図1に示すように、ローダ室11からのウエハWを載置し且つ昇降機構を有する載置台13と、この載置台13を支持し且つX、Y方向へ移動させるXYテーブル14と、これら両者13、14の上方に配置され且つヘッドプレート15に着脱可能に取り付けられたプローブカード16と、このプローブカード16のプローブ16AとウエハWの電極パッドとのアライメントを行うアライメント機構17とを備えている。また、プローブカード16にはテストヘッドTを介してテスタ(図示せず)が接続され、テスタからの検査用信号をテストヘッドT及びプローブカード16のプローブ16Aを介してウエハWに印加し、ウエハWの電気的特性検査を行う。ここで、プローブ16Aは、例えば、高さが100μm程度、直径が10μm以下に形成され、電極パッドは、例えば数10μm角に形成され、その中心間距離は100μm程度である。
【0019】
アライメント機構17は、図1に示すように、ウエハW及び後述のダミーシートを撮像する撮像手段(例えば、CCDカメラ)17Aを有している。このCCDカメラ17Aはアライメントブリッジ17Bの中央に下向きに取り付けられている。アライメントブリッジ17Bは、左右一対のガイドレール17Cによって支持され、プローバ室12の正面の奥とプローブセンタ(プローブカード16の中心の真下)との間を一対のガイドレール17Cに従って往復移動するようになっている。また、CCDカメラ17Aは、画像処理部(図示せず)を介して制御装置に接続され、画像処理部によってウエハWの撮像画像を処理して制御装置に画像信号を出力すると共に表示装置18にそれぞれの画像を表示する。
【0020】
而して、載置台13の周面の上部には例えば図2に示すように支持台19が径方向外側に向けて水平に延設され、この支持台19の上面にはダミーシート20が粘着剤等を介して着脱自在に取り付けられている。このダミーシート20の上面にはプローブ16Aを突き刺して針跡20Aを付け、この針跡に基づいてプローブ16Aの針先のXY方向の位置座標を求める。従って、ダミーシート20は、その上面にプローブ16Aの針跡20Aが付く硬さを有するシートで且つ針跡が残るシートであれば良く、載置台13の上昇によりプローブ16Aの例えば0.1〜5g/本の針圧で針跡20Aが付く硬さを有する合成樹脂によって形成することができる。この合成樹脂としては、例えばポリオレフィン、ポリ塩化ビニル等の汎用樹脂を用いることができる。また、ダミーシート20は、プローブ16Aの針跡を複数回付けることができる大きさで、針跡を付けるに十分な厚さ例えば150μm厚に形成される。また、ダミーシート20の上面が載置台13に載置されたウエハWの上面と略同じ高さ位置になるように支持台19が載置台13に取り付けられている。
【0021】
また、本実施形態の制御装置は、ダミーシート20の撮像画像や針跡の位置座標を含む種々の情報を記憶する記憶部と、この記憶部によって記憶された種々の情報を演算する演算部とを有し、例えばダミーシート20に付いた針跡20Aに基づいてプローブ16Aの針先の位置座標を求める。また、ダミーシート20は針跡20Aを複数回取る大きさに形成されているため、複数回の針跡20Aを取るためにはその都度ダミーシート20の位置をずらしてプローブ16Aの針跡20Aを取ることができる。同じプローブレイアウトのものを使用する場合には、記憶部には一定の距離(例えば、ΔX=50μm及び/またはΔY=50μm)を予め設定することができ、制御装置はこの針跡距離差に基づいて載置台13の移動距離を制御して載置台13を一回目の針跡20Aの位置から2回目以降の針跡20Aを順次ずらして複数回の針跡20Aが重ならないようにすることができる。また、ダミーシート20の針跡20AはCCDカメラ17Aの撮像画像を表示装置18の画面に映し出すことによって画面上で確認することができる。
【0022】
次に、ダミーシート20を用いた本発明のアライメント方法の一実施形態について図3、図4をも参照しながら説明する。ここで、プローブカード16がヘッドプレート15に取り付けられ、支持台19には針跡20Aが付いていない未使用のダミーシート20が貼られているものとする。まず、プローブ16Aが突き刺さる前のダミーシート20上の撮像データを予め撮像する。図4の(a)は予想される針跡20Aであり、領域はダミーシート20より幾分小さい程度に示してあるが、実際にはダミーシート20は針跡20Aの付く領域よりも十分に大きい。この時、CCDカメラ17Aの視野は、例えば200μm×250μm程度であるため、載置台13をXY方向に移動させつつダミーシート20全域を撮像する。次に、支持台19をその中心がプローブセンタ(プローブカード16の中心の真下)に一致するように移動させる。次に、載置台13と支持台19とを上昇させると、図3の(a)に示すようにダミーシート20がプローブカード16に接近する。更に支持台19を上昇させると、図3の(b)に示すようにプローブ16Aの先端がダミーシート20の上面に突き刺さる。
【0023】
次に、載置台13を下降させた後、CCDカメラ17Aを図2に示すようにプローブセンタまで進出させ、ダミーシート20の上方に位置させる。ここで、図3の(c)に示すようにCCDカメラ17Aがダミーシート20上の針跡20A(図4の(a)参照)を撮像する。
【0024】
撮像画像は、画像処理部で加工され、載置台13の現在の座標と合わせて演算部で演算処理される。この演算処理によりプローブ16Aの各プローブ16AのXY位置座標データ及び針跡20Aの形状データ並びに針跡20AのXY位置座標データが得られる。プローブ16AのXY位置座標データは、プローブカード16に対してウエハWをアライメントする際に使用される。針跡20Aの形状データからプローブ16Aに不良が発生していないかが判断される。また、針跡20AのXY位置座標データは、次回の針跡検出に備えて記憶部に格納される。この際、仮にプローブ16Aに削り屑D等の異物が付着していても異物の影響を受けることなく確実且つ迅速に針跡20Aを検出することができ、プローブ16Aの針先のXY位置座標を確実に求めることができる。
【0025】
然る後、従来公知のようにローダ室11からプローバ室12内の載置台13上にウエハWを載置した後、ウエハWの直径及び中心を求める。即ち、載置台13がXY方向に移動する間に、例えばCCDカメラ17AによりウエハWの端部3点を検出し、この検出結果に基づいてウエハWの中心及び直径を載置台13の移動距離に基づいて制御装置の演算部において算出し、その算出値を記憶部で記憶する。引き続きCCDカメラ17AによりウエハWのスクライブラインを概観し、ウエハWを僅かに回転させてインデックス送りの方向にウエハWを合わせる。
【0026】
更に、載置台13が移動してアライメント時に用いられる基準電極パッドを探し出し、この基準電極パッドのXY位置座標を記憶部で記憶する。基準電極パッドと針跡20Aに基づいて求めたプローブ16Aの針先それぞれのXY位置座標に基づいてプローブ16Aと基準電極パッドのアライメントを行った後、載置台13が検査の開始位置へ移動して最初に検査すべきデバイスをプローブカード16の真下に位置させ、この位置で載置台13が昇降機構により上昇するとデバイスの電極パッドとこれに対応するプローブ16Aとが電気的に接触してウエハWの電気的特性検査を行う。その後、載置台13が下降した後、載置台13がウエハWを順次インデックス送りしながら全てのデバイスについて電気的特性検査を行う。ウエハWの検査終了後にはプローバ室12からローダ室11内の元の場所へウエハWを戻し、残りのウエハWについて同様の手順で検査を行う。
【0027】
所定枚数のウエハの検査が終了した後に、またはカセット11C内の全てのウエハWの検査が終了して次のカセット11CのウエハWの検査を開始する時、またはプローブレイアウトの違う異品種のウエハの検査を開始する時には、プローブ16Aのアライメントを行う。このアライメントは以下のように行われる。
【0028】
まず、今回のプローブ16Aを突き刺す前の状態、即ち、前回の針跡が残っているダミーシート20の全領域の画像データを予め撮像する。次に、前回と同様にプローブ16Aの先端がダミーシート20の上面に突き刺さり、図4の(b)に示すようにダミーシート20に針跡20Aが付く。図4の(b)の斜線の入った○印は前回の針跡であり、斜線の入らない○印は今回の針跡である。尚、図4の(b)に示すように、同じプローブレイアウトのものを何回か使用する場合には、前回の針跡の位置と今回の針跡の位置が重ならないように、支持台19の中心をプローブセンタから予め設定されている移動距離だけ移動させ、同様の動作を行わせることができる。本実施形態の場合には、針跡距離差は、X、Y方向にそれぞれΔX、ΔYであるが、ΔYだけでも良い。
【0029】
次に、前回と同様にCCDカメラ17Aがダミーシート20上の針跡20Aを撮像し、この撮像画像からプローブカード16の複数のプローブ17のXY位置座標データ及び針跡の形状データ並びに針跡20Aの位置座標データが得られる。これらの針跡20Aを求める際に、今回の針跡20Aの画像データから記憶部に格納されている前回の針跡の画像データを取り除く処理を行うことによって前回の針跡20Aを誤認識しないようにしている。そして、今回の針跡20Aの画像データは、次回の針跡検出に備えて記憶部に格納される。
【0030】
然る後、前回と同様にウエハWの電気的特性検査を行う。第3回目のプローブ16Aのアライメントも前回、前々回と同様に行われる。この時のダミーシート20上の針跡20Aを図4の(c)に示す。そして、ダミーシート20に針跡20Aを付けるスペースがなくなったら、新たなダミーシート20に交換する。
【0031】
以上説明したように本実施形態のプローブ装置を用いるアライメント方法によれば、ダミーシート20を有する支持台19を載置台13と一体的に移動させてダミーシート20をプローブカード16の下方に移動させる第1の工程と、載置台13を上昇させてダミーシート20にプローブ16Aの針跡20Aを付ける第2の工程と、CCDカメラ17Aによってダミーシート20に付いた針跡20Aを撮像してプローブ16Aの針先の位置座標を求める第3の工程と、を備え、2回目以降に行われる第1、第2の工程ではプローブ16Aの前回の針跡を付けた位置から所定の距離だけずらした位置に移動させたダミーシート20の前回の針跡から所定の距離だけずらせた位置にプローブ16Aの今回の針跡を付け、且つ、第3の工程は、前回の針跡と今回の針跡を含む画像データから前回の針跡の画像データを除く処理をする工程を有するため、アライメントを繰り返し実行する際に、プローブカードのプローブに削り屑等の異物が付着していてもダミーシート20において異物を確実に除去すると共にダミーシート20の針跡20Aに対してCCDカメラ17Aの焦点を簡単且つ確実に合わしてプローブカード16のプローブ16Aの針先の位置座標を誤認することなく迅速且つ確実に検出することができ、延いてはアライメント時間を短縮することができる。
【0032】
また、プローブ16Aの針跡20Aを採るためのダミーシート20を支持台19上に設けてあるため、搬送装置で搬送することができないフィルム状の薄いダミーシート20であっても、それを針跡検出用に使用することができる。更に、ダミーウエハを用いる場合のようにプローブ16Aのアライメントを行う度にダミーウエハを載置台13に載置する必要がない。更に、支持台19と載置台13とが一体的に移動するため、針跡20AのXY座標から容易にプローブ16Aの針先のXY座標を算出することができる。
【0033】
また、本実施形態によれば、プローブ16Aの針跡20Aが複数回付く大きさのダミーシート20を用いるため、一枚のダミーシート20で複数回のアライメント操作を実施することができ、2回目以降のアライメント工程では、ダミーシート20の針跡20Aの位置座標から適宜の距離を、2回目以降の針跡20Aの位置座標との針跡距離差を適宜設定する工程と、この針跡距離差に基づいて載置台13を移動させる工程とを有するため、一枚のダミーシート20を用いて複数回のアライメントを行なうことができ、アライメント毎にダミーウエハを交換する必要がなく、検査のスループットを向上させることができる。また、ダミーシート20の支持台19を載置台13に付設したため、新たに支持台19を移動させるための機構を設ける必要がない。
【0034】
尚、上記実施形態ではダミーシート20の支持台19を載置台13の周面上部に付設した場合について説明したが、支持台19が載置台13と一体的に移動する部位であれば他の部位に取り付けても良い。また、ダミーシート20の材料としては0.1〜5g/本の針圧で針跡が付く硬さを有する材料であれば、合成樹脂でなくても良く、適宜の材料を使用することができる。
【0035】
【発明の効果】
本発明によれば、プローブカードのプローブと被検査体の電極の位置合わせを繰り返し行う際に、いずれの場合にもプローブの針先に異物が付着していてもその異物を除去することができると共に、プローブの針先の位置座標を誤認することなく迅速且つ確実に検出することができ、延いてはアライメント時間を短縮することができるプローブ装置及びアライメント方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のプローブ装置の一実施形態の要部を破断して示す正面図である。
【図2】図1に示すプローブ装置の要部を示す斜視図である。
【図3】図1に示すプローブ装置を用いて本発明のアライメント方法の一実施形態の工程の一部を示す説明図で、(a)はプローブの真下にダミーシートと移動させた状態を示す図、(b)はプローブでダミーシートの針跡を付ける状態を示す図、(c)はシートの針跡を撮像する状態を示す図である。
【図4】本発明のアライメント方法により図3に示すダミーシートに針跡を付けた状態を示す平面図で、(a)は1回目の針跡を付けたダミーシートを示す図、(b)は2回目の針跡を付けたダミーシートを示す図、(c)は3回目の針跡を付けたダミーシートを示す図である。
【図5】従来のプローブ装置を用いたアライメント方法を説明するための説明図で、(a)はCCDカメラでプローブの針先を撮像する状態を示す図、(b)は削り屑が付着したプローブの針先を撮像する状態を示す図である。
【符号の説明】
10 プローブ装置
13 載置台
16 プローブカード
16A プローブ
17 アライメント機構
17A CCDカメラ(撮像手段)
19 支持台
20 ダミーシート(シート)
20A 針跡
W ウエハ(被検査体)
Claims (7)
- 被検査体を載置し且つ水平方向及び上下方向に移動する載置台と、この載置台の上方に配置されたプローブカードと、このプローブカードのプローブと上記被検査体の電極との位置合わせに用いられる撮像手段と、この撮像手段及び上記載置台を制御する制御手段とを備え、上記制御手段の制御下で上記被検査体の電気的特性検査を行うプローブ装置において、上記載置台と一体的に移動する支持台を上記載置台の側方に設けると共に上記支持台上に上記プローブの針跡を付けるためのシートを設けてなり、且つ、上記制御手段は、上記プローブカードのプローブと上記被検査体の電極の位置合わせのために、上記撮像手段によって撮像された上記シートの針跡に基づいて上記プローブの針先の位置座標を求める演算部と、上記撮像手段により撮像された上記シートの針跡の画像データを記憶する記憶部と、を備え、上記演算部は、上記プローブの針先の位置座標を複数回求める時には、上記プローブの前回の針跡から所定の距離だけ位置をずらして上記シートに付けられた上記プローブの今回の針跡を含む画像データから上記記憶部で記憶された上記前回の針跡の画像データを除く処理を行うように構成されていることを特徴とするプローブ装置。
- 上記支持台を上記載置台に付設したことを特徴とする請求項1に記載のプローブ装置。
- 上記シートを上記支持台に対して着脱自在に設けたことを特徴とする請求項1または請求項2に記載のプローブ装置。
- 上記シートは0.1〜5g/本の針圧で針跡が付く硬さを有することを特徴とする請求項1〜請求項3のいずれか1項に記載のプローブ装置。
- 上記シートは、上記プローブの針跡を重ねることなく複数回付ける大きさを有し、上記制御手段は、上記シートの針跡の位置座標を記憶する手段と、上記針跡の位置座標と次の針跡の位置座標との距離の差を適宜設定する手段とを有することを特徴とする請求項1〜請求項4のいずれか1項に記載のプローブ装置。
- 被検査体を載置し且つ水平方向及び上下方向に移動する載置台と、この載置台の上方に配置されたプローブカードと、このプローブカードのプローブと上記被検査体の電極との位置合わせに用いられる撮像手段と、この撮像手段及び上記載置台を制御する制御手段と、を備えたプローブ装置を用いて被検査体の電気的特性検査を行う際に、上記プローブカードのプローブと上記被検査体の電極の位置合わせを行うアライメント方法であって、シートを有する支持台を上記載置台と一体的に移動させて上記シートを上記プローブカードの下方に位置させる第1の工程と、上記載置台を上昇させて上記シートに上記プローブの針跡を付ける第2の工程と、上記撮像手段により上記針跡を撮像し、撮像された上記針跡に基づいて上記プローブの針先の位置座標を求める第3の工程と、を備え、2回目以降に行われる第1、第2の工程では上記プローブの前回の針跡を付けた位置から所定の距離だけずらせた位置へ移動させた上記シートの上記前回の針跡から上記所定の距離だけずらせた位置に上記プローブの今回の針跡を付け、且つ、上記第3の工程は、上記前回の針跡と上記今回の針跡を含む画像データから上記前回の針跡の画像データを除く処理を行う工程を有することを特徴とするアライメント方法。
- 今回の上記針跡の位置座標と次回の針跡の位置座標との差を適宜設定する工程と、上記差に基づいて上記載置台を移動させて上記今回の針跡と上記次回の針跡とをずらす工程と、を有することを特徴とする請求項6に記載のアライメント方法。
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