JP4798571B2 - 位置認識可能な処理装置および処理方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、被処理物と、その被処理物に所定の処理を施す処理部を、位置認識手段を用いて位置決めしたのち被処理物の処理を行う位置認識可能な処理装置および処理方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来から、被検査物や被加工物等の被処理物を処理装置で処理する場合、精度のよい処理が行えるようにするために、被処理物の位置と検査装置や加工装置等の処理部の位置を正確に合わせることが要求されている。このため、例えば、特開2000−249738号公報に開示されているように、処理装置に画像撮影装置を設けて、この画像撮影装置による撮影画像にもとづいて、被処理物と処理部の位置を合わせたのち、処理部で被処理物を処理することが行われている。
【0003】
そして、従来の処理装置では、処理部の位置から所定距離離れた位置に画像撮影装置を固定して、画像撮影装置の直下に配置された被処理物を撮影し被処理物の位置を認識したのち、その位置から処理を行う位置までの距離分、被処理物を移動させることにより、処理部が処理を行う位置に被処理物が位置するようにすることが行われている。また、他の処理装置では、処理部近傍の位置に画像撮影装置を配設して、斜めの方向から処理位置における被処理物を撮影することにより、その撮影画像にもとづいて被処理物を位置決めすることが行われている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前者の処理装置では、実際に被処理物を処理する位置と異なる位置で被処理物の位置を認識するため、位置認識後に、被処理物を処理位置に移動させる必要がある。このように、位置決め時と処理時とで被処理物の位置が異なるため処理時の位置が必ずしも一定にならず、誤差が生じ易いという問題がある。また、画像撮影装置で被処理物の位置認識をしたのち、被処理物を移動させる位置決め動作が行われるため、位置認識から被処理物の処理までの時間が長くなるという問題もある。
【0005】
また、後者の処理装置では、処理位置で被処理物の位置認識ができるが、画像撮影装置の取り付け場所が被処理物と処理部を結ぶ軸上から離れた位置に限られ、画像撮影装置の撮影方向は、被処理物に対して斜めの方向になるという制限がある。この結果、位置認識に最適な位置に画像撮影装置を配設することができず、被処理物の精度のよい位置認識が難しいという問題がある。また、この処理装置では、処理部の撮影ができないため、処理部の位置にずれが生じている場合には、適正な処理が行えないという問題もある。
【0006】
【発明の概要】
本発明は、上記した問題に対処するためになされたもので、その目的は、画像撮影装置の取り付け位置を位置認識のための最適な位置にするとともに、被処理物と処理部の位置認識が同時にできるようにすることにより、高精度な位置決めおよび適正な処理が可能になる位置認識可能な処理装置および同装置を用いた処理方法を提供することである。
【0007】
上記の目的を達成するため、本発明に係る位置認識可能な処理装置の特徴は、被処理物を固定するための固定テーブルと、固定テーブルの上方に設けられ、固定テーブルに対して、近接・離間方向に移動して被処理物に所定の処理を施す処理部と、被処理物および処理部の位置を認識する画像撮影装置とを備えた位置認識可能な処理装置であって、固定テーブルを透明体で構成し、画像撮影装置を固定テーブルの下方に配設するとともに、画像撮影装置を固定テーブルに対して相対的に移動させる移動機構を設け、被処理物を、電極パターンが設けられたシート状のワークで構成して、処理部をプローブを備えた導通検査装置で構成し、画像撮影装置がプローブと電極パターンとを撮影するようにしたことにある。
【0008】
この場合、前記移動機構を、前記画像撮影装置を前記固定テーブルに対して平面内で直交する2方向に移動させるもので構成することが好ましい。
【0009】
前記のように構成した本発明の特徴によれば、画像撮影装置は、透明の固定テーブルを通して被処理物および処理部を撮影できるため、固定テーブルの下方における位置認識に好適な位置に設置することができ、その位置から被処理物と処理部の双方の位置を同時に認識することができる。これによって、精度のよい位置認識および位置決めが可能になる。
【0010】
さらに、移動機構を、画像撮影装置を移動させるもので構成することにより、位置認識に最適な位置に画像撮影装置を移動させ被処理物と処理部の位置認識を行うことができる。また、被処理物が複数並んでいる場合には、画像撮影装置を移動させて複数箇所で位置認識が行えるようになる。これによって、処理の効率が向上する。
【0011】
また、本発明の他の構成上の特徴は、処理部に、下方に向いた発光装置を取り付けたことにある。これによると、発光装置からの透過光を利用して撮影することができ、ハレーションがなくなって良好な画像を得ることができる。
【0012】
また、本発明の他の構成上の特徴は、被処理物を固定するための透明の固定テーブルと、被処理物に所定の処理を施す処理部と、固定テーブルの下方に配設され、被処理物および処理部の位置を認識する画像撮影装置と、画像撮影装置を固定テーブルに対して相対的に移動させる移動機構を備えた位置認識可能な処理装置を用いて、被処理物および処理部の位置を位置決めしたのち処理する処理方法において、画像撮影装置で処理部を撮影し、画像撮影装置を処理部の真下に位置させる工程と、被処理物を固定テーブルと処理部との間における固定テーブル上に固定する固定工程と、画像撮影装置で、被処理物の被処理位置を撮影し、被処理位置を処理部の位置に合わせて一致させる位置合わせ工程と、位置合わせ後に、処理部で被処理物を処理する処理工程とで構成したことにある。
【0013】
また、本発明の他の特徴は、電極パターンが設けられたシート状のワークからなる被処理物を固定するための透明の固定テーブルと、プローブを備えた導通検査装置からなり被処理物の導通検査を行う処理部と、固定テーブルの下方に配設され、プローブおよび電極パターンを撮影する画像撮影装置と、画像撮影装置を固定テーブルに対して相対的に移動させる移動機構を備えた位置認識可能な処理装置を用いて、被処理物および処理部を位置決めしたのちに被処理物を導通検査する処理方法において、被処理物を固定テーブルと処理部との間における固定テーブル上に固定する固定工程と、画像撮影装置が撮影する画像に応じて、被処理物における被処理位置と処理部の位置を位置合わせする位置合わせ工程と、位置合わせ後に、処理部で被処理物を導通検査する処理工程とで構成したことにある。
【0014】
この処理方法では、位置合わせ工程において、画像撮影装置と、被処理物および処理部とで透明の固定テーブルを上下に挟んだ状態で、画像撮影装置で、被処理物および処理部の位置認識を行える。例えば、画像撮影装置、被処理物および処理部が垂直線上に位置するような位置認識に好ましい位置に画像撮影装置を置いて、その撮影画像によって、被処理物および処理部の位置認識が行える。これによると、画像撮影装置の撮影角度に傾斜がなくなり、精度のよい位置認識ができるとともに、被処理物と処理部の位置認識が同時にできるため、時間の短縮が図れる。その結果、この発明によれば、被処理物と処理部の位置決めを精度よく行うことができ、処理工程において、被処理物の処理を正確に行えるようになる。
【0015】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施形態を図面を用いて説明する。図1は同実施形態に係る位置認識可能な処理装置の画像撮影装置および画像撮影装置を移動させる移動機構を含む中央部分の概略を示す正面図であり、図2ないし図4はその各部分を示す平面図である。この処理装置中央部分10は、四角板状の平面部11aと脚部11bからなる台部11の上面に、画像撮影装置としてのCCDカメラ12と、そのCCDカメラ12を移動させる移動機構としてのX軸移動機構13およびY軸移動機構14が設けられて構成されている。
【0016】
CCDカメラ12は平面部11aと平行する水平面内で移動可能に組付けられており、X軸移動機構13によって、X軸方向(図1ないし図4における台部11の長手方向に沿う方向)に移動可能で、Y軸移動機構14によって、X軸方向に直交するY軸方向(図2ないし図4における台部11の長手方向に直交する方向)に移動可能になっている。
【0017】
X軸移動機構13は、平面部11aの上面に配設されたモータ15と、このモータ15の回転軸15aに連結されX軸方向に延びるボールねじ16と、縦断面形状が凹形のレール部17と、レール部17に沿って移動する移動部材18とで構成されている。レール部17は、支持部材19a,19bを介して平面部11aの上面にX軸方向に沿って取り付けられており、その凹部内に移動部材18が摺動可能に取り付けられている。また、移動部材18にはねじ穴(図示せず)が設けられて、このねじ穴にボールねじ16が螺合している。
【0018】
前記レール部17の凹部両端には、それぞれ図示せぬ穴部が設けられた壁部17a,17bが、その上部側を凹部から上方に突出させた状態で取り付けられており、壁部17aの穴部には、モータ15の回転軸15aが挿通し、壁部17bの穴部にはボールねじ16の先端部が回転自在に支持されている。したがって、モータ15の駆動により、回転軸15aが回転すると、回転軸15aとともにボールねじ16が回転し、それによって、移動部材18がレール部17に沿ってX軸方向に移動する。
【0019】
Y軸移動機構14は、移動部材18の上面に取り付けられたレール部20と、このレール部20の一端に固定されたモータ21と、このモータ21の回転軸21aに連結されたボールねじ22と、レール部20に沿って移動する移動部材(図5(b)参照)23とで構成されている。レール部20はX軸移動機構13のレール部17と同形に形成されており、レール部17と直交するY軸方向に沿って配設され、その凹部内に移動部材23が摺動可能に取り付けられている。また、移動部材23の略中央にはねじ穴23aが設けられて、このねじ穴23aにボールねじ22が螺合している。
【0020】
そして、移動部材23の下部側の長手方向に沿う両側面には、突条23b,23cが突設され、この突条23b,23cに対応するレール20の両内側面には突条23b,23cと摺接する溝部がそれぞれ設けられている。これによって、移動部材23は、レール部20から浮き上がったり、がたついたりすることなく、レール部20に沿ってスムーズに移動できる。なお、この突条と溝部は、移動部材18とレール部17のそれぞれ対応する部分にも形成されており、それによって、移動部材18は、レール部17に沿ってスムーズに移動できるようになっている。
【0021】
さらに、前記レール部17と同様、レール部20の両端にも、それぞれ穴部が設けられた壁部20a,20bが、その上部側を凹部から上方に突出させた状態で取り付けられており、壁部20aの穴部には、モータ21の回転軸21aが挿通し、壁部20bの穴部にはボールねじ22の先端部が回転自在に支持されている。したがって、モータ21を駆動させると、回転軸21aおよびボールねじ22が回転し、それによって、移動部材23がレール部20に沿ってY軸方向に移動する。
【0022】
また、移動部材23の上面には、図5(a),(b)に示すような板状のキャリッジベース24が取り付けられ、そのキャリッジベース24の一端に上下調節部25を介してCCDカメラ12が取り付けられている。上下調節部25の下面には、CCDカメラ12の高さを調節する調節ねじ25aが設けられ、前側面には、調節ねじ25aによって調節された高さにCCDカメラ12を固定するための固定ねじ25bが設けられている。また、キャリッジベース24の一端には、上方に延びたのち水平方向に延びる断面L形の取り付け片26がボルト26aで固定され、その水平部26bの上面にリング状の照明装置27が取り付けられている。なお、水平部26bには、CCDカメラ12のレンズ部12aが挿通する挿通穴が設けられており、レンズ部12aは、この挿通穴および照明装置27の中心穴を挿通して、その上端が上方に露呈している。
【0023】
また、キャリッジベース24の他端には、水平状の取り付け片28がボルト28aで固定され、その取り付け片28の上面にケーブルガイド29の先端部が固定されている。このケーブルガイド29は、内部が空洞29aになったキャタピラー状に形成されており、空洞29a内にCCDカメラ12や照明装置27に接続された各種のケーブル30が収容されている。このケーブルガイド29の先端部は、キャリッジベース24の移動に追従して移動し、ケーブル30がキャリッジベース24の移動によって互いに絡んだり、装置の他の部分に引っかかったりすることを防止する。なお、レール部20の先端部にも同様のケーブルガイド31の先端部が固定されて、モータ15の駆動によって、レール部20が移動する際に、ケーブルが絡まないようになっている。
【0024】
また、台部11の上面におけるX軸移動機構13の周囲に対応する部分には、Y軸方向の幅が長くなった支柱32a,32b,32c,32dがそれぞれボルト33a,33b,33c,33dによって固定されている。そして、その支柱32a,32bの上面および支柱32c,32dの上面にそれぞれ、上面が水平面に形成された細板状の基台34aおよび34bが掛け渡されている。
【0025】
さらに、台部11の上面における支柱32a,32bおよび支柱32c,32dを囲む両外側部分には、基台34a,34bの上面と略高さの等しい平板状の支持板35a,35bがボルト36a,36bの固定により立設されている。そして、図3のように、基台34a,34bおよび支持板35a,35bの上面にそれぞれ架け渡された状態で、5本のシャフト37a,37b,37c,37d,37eが一定間隔を保って載置されている。これらのシャフト37a,37b,37c,37d,37eは、すべて同径同長で真っ直ぐの丸棒で形成されている。
【0026】
また、基台34a,34bおよび支持板35a,35bの上面における各シャフト37a,37b,37c,37d,37eの間およびシャフト37eの前方側部分(シャフト37e側を前方側とし、シャフト37a側を後方側とする。)には、図4に示すように、それぞれ、水平板38a,38b,38c,38d,38e,38fが、各シャフト37a,37b,37c,37d,37eを、多少の自由度を持たせた状態で位置決めするように取り付けられている。
【0027】
なお、水平板38b,38cは、他の水平板38a,38d,38e,38fよりも短く設定されて、シャフト37b,37c間に設置されている。そして、水平板38bと38cの間には、CCDカメラ12のレンズ部12aおよび照明装置27を上方に露呈するための窓部となる隙間が設けられ、その隙間に透明のアクリル板からなる透かし部38gが取り付けられている。
【0028】
台部11の上面におけるX軸方向に沿う両側の後方側(シャフト37aの両端側)には、それぞれ柱39a,39bが立設され、各シャフト37a,37b,37c,37d,37eおよび水平板38a,38b,38c,38d,38e,38fの周囲には枠状台40が設けられている。そして、枠状台40の前方側には、操作パネル41が設けられている。
【0029】
また、台部11の後方には、X軸移動機構13およびY軸移動機構14に代わって、または、X軸移動機構13およびY軸移動機構14とともに、本発明の移動機構となり得るXYテーブル駆動装置(一部しか図示していない)42が設置されている。このXYテーブル駆動装置42には、X軸移動機構、Y軸移動機構(ともに平面部11aの下方に設置されている)およびθ軸移動機構43が備わっている。
【0030】
そして、このXY駆動装置42は、図6および図7に示したXYテーブル44を支持するとともに、X軸方向、Y軸方向およびθ軸方向(水平面上で回転する方向)に移動させる。XYテーブル44は、平面視略台形状の被固定部44aと四角枠状の取付け部44bとで構成され、被固定部44aの係合穴44cをθ軸移動機構43のモータ43aに連結された係合軸43bに係合させて、XYテーブル駆動装置42のXYテーブル取付部42aに固定されている。そして、モータ43aを駆動させることにより、XYテーブル44は、θ軸方向に回転する。
【0031】
また、平面部11aの下方に設置されたX軸移動機構、Y軸移動機構は、X軸移動機構13、Y軸移動機構14と同様に構成され、それぞれ備わったモータを駆動させることにより、XYテーブル44をθ軸移動機構43とともに、X軸方向およびY軸方向に移動させる。
【0032】
XYテーブル44における取付け部44bの下面には、透明アクリル板からなるベース45が取り付けられ、ベース45の上面に、図8に示した透明アクリル板からなる固定テーブル46が取り付けられている。ベース45の下面両側には、図9に示すような細径のシャフト47が、シャフト支持部47aによって取り付けられている。この一対のシャフト47は、シャフト37b,37c等と直交して点接触できる状態で配設されており、これによってベース45および固定テーブル46の水平度が良好に保たれる。
【0033】
また、ベース45の上面における両側中央部には、図10に示すようなガイドピン48a,48bが立設されており、このガイドピン48a,48bに対応するXYテーブル44における取付け部44bの部分には挿通穴44cが設けられている。そして、挿通穴44c内におけるガイドピン48a,48bの周囲には小径の球体49が複数個配設されている。このため、ベース45は、XYテーブル44に対して上下に摺動できるようになっている。
【0034】
さらに、ベース45の上面における両側前後部の四箇所と、その四ヶ所に対応するXYテーブル44の部分の間に、取り付けピンを介して、ばね50a,50b,50c,50dが取り付けられている。ベース45および固定テーブル46がシャフト37b,37c等の上に載っている通常の状態では、ベース45および固定テーブル46は、ばね50a,50b,50c,50dの弾性力に抗して、自重で、シャフト47をシャフト37b,37c等に圧接させる。この場合、シャフト37b,37cの二本のシャフトがメインシャフトとして、一対のシャフト47と接触して、固定テーブル46を水平に保つようになっており、他のシャフト37a,37d,37eは補助シャフトとして、ベース45および固定テーブル46を支受する。
【0035】
固定テーブル46は、複数の電極パターンがプリントされたシート状のワーク(図9参照)46cを固定するためのもので、上面に格子状のエア抜き用線状溝46aおよび幅広の浅い溝46bが設けられている。また、この固定テーブル46には、エア抜き用の吸引装置(図示せず)がホース51aおよび継手51b等を介して接続されており、固定テーブル46上にシート状のワーク46cを設置した状態で、吸引装置を駆動させると、固定テーブル46の上面にワーク46cが吸引固定される。
【0036】
また、柱39a,39bの上端を結ぶ部分にはレール部を備えた支持部(図示せず)が架け渡されており、この支持部に、ワーク46cに所定の処理を施す処理部としての一対のプローブヘッド52a,52b(以下、プローブヘッド52と記す)およびこのプローブヘッド52をそれぞれZ軸方向(上下方向)に移動させるためのZ軸移動機構が設けられている。
【0037】
プローブヘッド52は、シート状ワーク46cの電極パターン(図示せず)が適正に導通しているかどうかを検査するものであり、図11および図12に示すように構成されている。すなわち、このプローブヘッド52は、所定側面に窓部が設けられた四角箱状の収容部52cと、その収容部52cの側面に連なって取り付けられた2個の枠状の収容部52d,52eと、収容部52cの下方に取り付けられた略四角錐のプローブ固定部52fとからなる基台部分を備えている。そして、プローブ固定部52fの内部には、収容凹部52gが設けられて、その収容凹部52g内に、LEDからなる発光体53が収容されている。収容凹部52gの底面には、外部に通じる通光路52hが設けられて、発光体53から発光される光が下方に透光するようになっている。
【0038】
また、プローブ固定部52fの下面四箇所には、先端にプローブ54が突出したフレキシブル基板54aが固定具55a,55bによって固定されている。この取り付け部分は、図13および図14に示すように構成されている。すなわち、細線状のプローブ54の上に異方性導電ゴムからなるシート54bが積層され、そのシート54bの上面に、フレキシブル基板54aが積層されてこれらが一体化している。そして、そのフレキシブル基板54aの上面を、弾性ゴム54cを介して固定具55aで押圧した状態で、その固定具55aをボルト55cでプローブ固定部52fの下面に固定している。
【0039】
プローブ54は、図11で示したプローブ固定部52fの両側二面には、内側と外側にそれぞれ2個(実際には、複数個のプローブ54が1個のフレキシブル基板54aに組み付けられているが、この一組を1個としている。)取り付けられ、図12で示したプローブ固定部52fの両側二面にはそれぞれ1個だけ取り付けられている。図11に示した内側のプローブ54は、幅広の固定具55bによってシート54b、フレキシブル基板54aとともに、プローブ固定部52fに固定され、その固定具55bの下面に外側のプローブ54が固定具55aによって、シート54b、フレキシブル基板54aとともに固定されている。
【0040】
このプローブ54は、フレキシブル基板54aを介して、収容部52c,52d,52eに設けられたコネクタ56に接続され、さらに、フラットケーブル56aを介して図示せぬ検査装置に接続されている。また、この六個のプローブ54の先端部の平面上における形状は、ワーク46cの電極パターンにおける電極部と同形になるように設定され、その電極部にプローブ54の先端部を接触させることにより導通検査が行えるようになっている。
【0041】
なお、この処理装置には、前述した各装置等の他に、画像処理装置や位置制御用のマイクロコンピュータが設けられており、CCDカメラ12が捉える画像を画像処理して位置データに変換するとともに、ワーク46cの電極部とプローブ54との二つの位置データの差を補正データとしてX軸移動機構13、Y軸移動機構14、XYテーブル駆動装置42のX軸移動機構、Y軸移動機構およびθ軸移動機構43に出力する機能を有する。
【0042】
このような構成において、ワーク46cに設けられた複数の電極パターンに沿って、その各電極パターンの導通検査を行う際には、CCDカメラ12でプローブヘッド52を撮影しながら、X軸移動機構13およびY軸移動機構14を駆動してCCDカメラ12のレンズ部12aがプローブヘッド52のプローブ54の真下に位置するようにする。
【0043】
そして、XYテーブル44に取り付けられた固定テーブル46の上面にワーク46cを載置するとともに、エア抜き用の吸引装置を作動させて、固定テーブル46上面とワーク46cの間を吸気することにより、ワーク46cを固定テーブル46上に固定する。ついで、XYテーブル駆動装置42のX軸移動機構およびY軸移動機構を駆動して、ワーク46cの電極パターンの位置が透かし部38gの上方になるように、固定テーブル46を移動させる。つぎに、θ軸移動機構43を駆動して、電極パターンの縦横の並びがY軸方向およびX軸方向に揃うように、固定テーブル46を回転させる。
【0044】
そして、電極パターンの並びがY軸方向およびX軸方向に揃った状態で、CCDカメラ12によってワーク46cの電極パターンのうちの最初に導通検査をする電極パターンを撮影しながら、XYテーブル駆動装置42のX軸移動機構およびY軸移動機構を駆動して、その電極パターンの電極部位置とプローブヘッド52のプローブ54の位置を合わせて一致させる。
【0045】
そして、プローブヘッド52を上下移動させるZ軸移動機構を駆動させることにより、プローブヘッド52を下降させて、プローブ54と電極パターンの電極部を接触させる。これによって、電極パターンが導通しているかどうかの検査ができ、その結果が、検査装置に表示される。ついで、次の電極パターンの検査を行う場合には、Z軸移動機構を駆動させることにより、プローブヘッド52を上昇させ、その状態で、XYテーブル駆動装置42のX軸移動機構またはY軸移動機構を駆動して、次の電極パターンの位置とプローブヘッド52の位置を合わせる。
【0046】
そして、Z軸移動機構を駆動させることにより、プローブヘッド52を下降させて、プローブ54を位置合わせした電極パターンの電極部に接触させる。これによって、この電極パターンが導通しているかどうかの検査ができる。なお、この処理装置には、2個のプローブヘッド52が設けられているため、最初の検査終了後、他のプローブヘッド52の位置にCCDカメラ12を移動させ、そのプローブヘッド52と、その下方の電極パターンの位置認識および位置決めを行うことができる。このため、二箇所で順次操作を進めることができる。
【0047】
上記の操作を繰り返すことにより、ワーク46cのすべての電極パターンについて導通検査を行うことができる。このように、この処理装置では、CCDカメラ12と、ワーク46cおよびプローブヘッド52との間に配設された透かし部38g、ベース45およびテーブル46が透明体で構成されているため、CCDカメラ12、ワーク46cおよびプローブヘッド52を一直線上に位置させることができる。このため、CCDカメラ12の撮影角度にいわゆるオフセットがなくなって、ワーク46cの精度のよい位置決めができ、その結果、適正な導通検査ができるようになる。
【0048】
また、CCDカメラ12でワーク46cやプローブヘッド52を撮影する際、CCDカメラ12側に取り付けられた照明装置27で被撮影物側を照射して、鮮明な画像が得られるようにしているとともに、プローブヘッド52に設けた発光体53を発光させることにより、ハレーションの発生を防止し、良好な画像が得られるようにしている。
【0049】
さらに、水平に配置された基台34a,34bの上面に、シャフト37b,37c等を一定間隔で並設して、このシャフト37b,37c等の上面に、シャフト37b,37c等と直交する一対の細径のシャフト47が下面に取り付けられたベース45を載置している。そして、そのベース45の上面に、固定テーブル46が配設されるため、ワーク46cの水平度が良好になる。
【0050】
すなわち、基台34a,34bとシャフト37b,37c等との接触、およびシャフト47とベース45との接触は線接触になり、シャフト37b,37c等とシャフト47との接触は点接触になる。平面同士を水平度を保ったまま接触させることは精度を要求されることからコストアップにつながり設計上難しいが、線接触や点接触の状態で互いを水平に保つことは比較的容易にできる。この結果、上記の構成をとることによりワーク46cを水平に固定でき、さらに検査の確実性が増すようになる。
【0051】
なお、前記実施形態では、透かし部38gおよびベース45を透明の板で構成しているが、透かし部38gは何もない単なる窓で構成してもよいし、ベース45は枠体で構成することもできる。
【0052】
また、他の実施形態として、この処理装置を、ワークに設けられたパターンを、その形状に合わせて打ち抜くパンチング装置に利用することもできる。この場合、ワークを固定する固定テーブル側に金型が必要であれば、その金型位置以外の部分に、画像撮影装置を配設する。また、これ以外でも、被処理物と処理部の位置を認識したのち位置決めし、処理を行う装置であればどのような装置でも本発明は利用することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の一実施形態による処理装置の中央部分を示す概略正面図である。
【図2】 図1の平面図である。
【図3】 処理装置の基台にシャフトを並設した状態を示す平面図である。
【図4】 図3におけるシャフト間に水平板を配設した状態を示す平面図である。
【図5】 (a)はCCDカメラが取り付けられたキャリッジベースの平面図であり、(b)はその正面図である。
【図6】 XYテーブルの平面図である。
【図7】 XYテーブルがXYテーブル駆動装置に取り付けられた状態を示す正面図である。
【図8】 (a)は固定テーブルの平面図であり、(b)はその一部を切り欠いた正面図である。
【図9】 シャフトと固定テーブルの組み付け状態を示す部分拡大図である。
【図10】 XYテーブルとベースの組み付け状態を示す部分拡大図である。
【図11】 (a)はプローブヘッドの縦断面図であり、(b)はその下面における一面を説明する図である。
【図12】 (a)は、図11の縦断面と直交する断面におけるプローブヘッドの縦断面図であり、(b)はその下面における一面を説明する図である。
【図13】 プローブの固定状態を示す斜視図である。
【図14】 プローブの固定状態を示す縦断面図である。
【符号の説明】
12…CCDカメラ、13…X軸移動機構、14…Y軸移動機構、15,21…モータ、16,22…ボールねじ、17,20…レール部、18,23…移動部材、38g…透かし部、42…XYテーブル駆動装置、43…θ軸移動機構、44…XYテーブル、45…ベース、46…固定テーブル、46a…エア抜き用線状溝、46b…溝、46c…ワーク、52a,52b…プローブヘッド、53…発光体、54…プローブ。
Claims (5)
- 被処理物を固定するための固定テーブルと、
前記固定テーブルの上方に設けられ、前記固定テーブルに対して、近接・離間方向に移動して前記被処理物に所定の処理を施す処理部と、
前記被処理物および前記処理部の位置を認識する画像撮影装置と
を備えた位置認識可能な処理装置であって、
前記固定テーブルを透明体で構成し、
前記画像撮影装置を前記固定テーブルの下方に配設するとともに、
前記画像撮影装置を前記固定テーブルに対して相対的に移動させる移動機構を設け、
前記被処理物を、電極パターンが設けられたシート状のワークで構成して、前記処理部をプローブを備えた導通検査装置で構成し、
前記画像撮影装置が前記プローブと前記電極パターンとを撮影するようにしたことを特徴とする位置認識可能な処理装置。 - 前記移動機構を、前記画像撮影装置を前記固定テーブルに対して平面内で直交する2方向に移動させるもので構成した請求項1に記載の位置認識可能な処理装置。
- 前記処理部に、下方に向けて発光装置が取り付けられている請求項1または2に記載の位置認識可能な処理装置。
- 被処理物を固定するための透明の固定テーブルと、前記被処理物に所定の処理を施す処理部と、前記固定テーブルの下方に配設され、前記被処理物および前記処理部の位置を認識する画像撮影装置と、前記画像撮影装置を前記固定テーブルに対して相対的に移動させる移動機構を備えた位置認識可能な処理装置を用いて、前記被処理物および前記処理部の位置を位置決めしたのち処理する処理方法において、
前記画像撮影装置で前記処理部を撮影し、前記画像撮影装置を前記処理部の真下に位置させる工程と、
前記被処理物を前記固定テーブルと前記処理部との間における前記固定テーブル上に固定する固定工程と、
前記画像撮影装置で、前記被処理物の被処理位置を撮影し、前記被処理位置を前記処理部の位置に合わせて一致させる位置合わせ工程と、
前記位置合わせ後に、前記処理部で前記被処理物を処理する処理工程と
で構成した処理方法。 - 電極パターンが設けられたシート状のワークからなる被処理物を固定するための透明の固定テーブルと、プローブを備えた導通検査装置からなり前記被処理物の導通検査を行う処理部と、前記固定テーブルの下方に配設され、前記プローブおよび前記電極パターンを撮影する画像撮影装置と、前記画像撮影装置を前記固定テーブルに対して相対的に移動させる移動機構を備えた位置認識可能な処理装置を用いて、前記被処理物および前記処理部を位置決めしたのちに前記被処理物を導通検査する処理方法において、
前記被処理物を前記固定テーブルと前記処理部との間における前記固定テーブル上に固定する固定工程と、
前記画像撮影装置が撮影する画像に応じて、前記被処理物における被処理位置と前記処理部の位置を位置合わせする位置合わせ工程と、
前記位置合わせ後に、前記処理部で前記被処理物を導通検査する処理工程と
で構成した処理方法。
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