JP2002341074A - 位置認識可能な処理装置および処理方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 画像撮影装置の取り付け位置を位置認識のた
めの最適な位置にするとともに、被処理物と処理部の位
置認識が同時にできるようにすることにより、高精度な
位置決めおよび適正な処理が可能になる処理装置および
処理方法を提供すること。 【解決手段】 ワーク４６ｃを固定する固定テーブル４
６と、固定テーブル４６上のワーク４６ｃに所定の処理
を施すプローブヘッド５２と、ワーク４６ｃおよびプロ
ーブヘッド５２の位置を認識するＣＣＤカメラ１２とを
備えた処理装置であって、固定テーブル４６を透明体で
構成し、ＣＣＤカメラ１２を固定テーブル４６の下方に
配設するとともに、ＣＣＤカメラ１２を固定テーブル４
６に対して移動させるＸ軸移動機構１３、Ｙ軸移動機構
移動機構１４を設けた。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、被処理物と、その
被処理物に所定の処理を施す処理部を、位置認識手段を
用いて位置決めしたのち被処理物の処理を行う位置認識
可能な処理装置および処理方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来から、被検査物や被加工物等の被処
理物を処理装置で処理する場合、精度のよい処理が行え
るようにするために、被処理物の位置と検査装置や加工
装置等の処理部の位置を正確に合わせることが要求され
ている。このため、例えば、特開２０００−２４９７３
８号公報に開示されているように、処理装置に画像撮影
装置を設けて、この画像撮影装置による撮影画像にもと
づいて、被処理物と処理部の位置を合わせたのち、処理
部で被処理物を処理することが行われている。

【０００３】そして、従来の処理装置では、処理部の位
置から所定距離離れた位置に画像撮影装置を固定して、
画像撮影装置の直下に配置された被処理物を撮影し被処
理物の位置を認識したのち、その位置から処理を行う位
置までの距離分、被処理物を移動させることにより、処
理部が処理を行う位置に被処理物が位置するようにする
ことが行われている。また、他の処理装置では、処理部
近傍の位置に画像撮影装置を配設して、斜めの方向から
処理位置における被処理物を撮影することにより、その
撮影画像にもとづいて被処理物を位置決めすることが行
われている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前者の
処理装置では、実際に被処理物を処理する位置と異なる
位置で被処理物の位置を認識するため、位置認識後に、
被処理物を処理位置に移動させる必要がある。このよう
に、位置決め時と処理時とで被処理物の位置が異なるた
め処理時の位置が必ずしも一定にならず、誤差が生じ易
いという問題がある。また、画像撮影装置で被処理物の
位置認識をしたのち、被処理物を移動させる位置決め動
作が行われるため、位置認識から被処理物の処理までの
時間が長くなるという問題もある。

【０００５】また、後者の処理装置では、処理位置で被
処理物の位置認識ができるが、画像撮影装置の取り付け
場所が被処理物と処理部を結ぶ軸上から離れた位置に限
られ、画像撮影装置の撮影方向は、被処理物に対して斜
めの方向になるという制限がある。この結果、位置認識
に最適な位置に画像撮影装置を配設することができず、
被処理物の精度のよい位置認識が難しいという問題があ
る。また、この処理装置では、処理部の撮影ができない
ため、処理部の位置にずれが生じている場合には、適正
な処理が行えないという問題もある。

【０００６】

【発明の概要】本発明は、上記した問題に対処するため
になされたもので、その目的は、画像撮影装置の取り付
け位置を位置認識のための最適な位置にするとともに、
被処理物と処理部の位置認識が同時にできるようにする
ことにより、高精度な位置決めおよび適正な処理が可能
になる位置認識可能な処理装置および同装置を用いた処
理方法を提供することである。

【０００７】上記の目的を達成するため、本発明に係る
位置認識可能な処理装置の特徴は、被処理物を固定する
ための固定テーブルと、固定テーブルの上方に設けら
れ、固定テーブルに対して、近接・離間方向に移動して
被処理物に所定の処理を施す処理部と、被処理物および
処理部の位置を認識する画像撮影装置とを備えた位置認
識可能な処理装置であって、固定テーブルを透明体で構
成し、画像撮影装置を固定テーブルの下方に配設すると
ともに、画像撮影装置を固定テーブルに対して相対的に
移動させる移動機構を設けたことにある。

【０００８】この場合、前記移動機構を、前記画像撮影
装置を前記固定テーブルに対して平面内で直交する２方
向に移動させるもので構成することが好ましい。

【０００９】前記のように構成した本発明の特徴によれ
ば、画像撮影装置は、透明の固定テーブルを通して被処
理物および処理部を撮影できるため、固定テーブルの下
方における位置認識に好適な位置に設置することがで
き、その位置から被処理物と処理部の双方の位置を同時
に認識することができる。これによって、精度のよい位
置認識および位置決めが可能になる。

【００１０】さらに、移動機構を、画像撮影装置を移動
させるもので構成することにより、位置認識に最適な位
置に画像撮影装置を移動させ被処理物と処理部の位置認
識を行うことができる。また、被処理物が複数並んでい
る場合には、画像撮影装置を移動させて複数箇所で位置
認識が行えるようになる。これによって、処理の効率が
向上する。

【００１１】また、本発明の他の構成上の特徴は、処理
部に、下方に向いた発光装置を取り付けたことにある。
これによると、発光装置からの透過光を利用して撮影す
ることができ、ハレーションがなくなって良好な画像を
得ることができる。

【００１２】また、本発明の他の構成上の特徴は、被処
理物を電極パターンが設けられたシート状のワークで構
成し、処理部を、その電極パターンが導通しているか否
かを検査する導通検査装置で構成することにある。この
場合、本件発明の作用効果を良好に発揮でき、精度のよ
い導通検査が可能になる。

【００１３】また、本発明の他の特徴は、被処理物を固
定するための透明の固定テーブルと、被処理物に所定の
処理を施す処理部と、固定テーブルの下方に配設され、
被処理物および処理部の位置を認識する画像撮影装置
と、画像撮影装置を固定テーブルに対して相対的に移動
させる移動機構を備えた位置認識可能な処理装置を用い
て、被処理物および処理部の位置を位置決めしたのち処
理する処理方法を、被処理物を固定テーブルと処理部と
の間における固定テーブル上に固定する固定工程と、画
像撮影装置が撮影する画像に応じて、被処理物における
被処理位置と処理部の位置を位置合わせする位置合わせ
工程と、位置合わせ後に、処理部で被処理物を処理する
処理工程とで構成したことにある。

【００１４】この処理方法では、位置合わせ工程におい
て、画像撮影装置と、被処理物および処理部とで透明の
固定テーブルを上下に挟んだ状態で、画像撮影装置で、
被処理物および処理部の位置認識を行える。例えば、画
像撮影装置、被処理物および処理部が垂直線上に位置す
るような位置認識に好ましい位置に画像撮影装置を置い
て、その撮影画像によって、被処理物および処理部の位
置認識が行える。これによると、画像撮影装置の撮影角
度に傾斜がなくなり、精度のよい位置認識ができるとと
もに、被処理物と処理部の位置認識が同時にできるた
め、時間の短縮が図れる。その結果、この発明によれ
ば、被処理物と処理部の位置決めを精度よく行うことが
でき、処理工程において、被処理物の処理を正確に行え
るようになる。

【００１５】

【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施形態を図面
を用いて説明する。図１は同実施形態に係る位置認識可
能な処理装置の画像撮影装置および画像撮影装置を移動
させる移動機構を含む中央部分の概略を示す正面図であ
り、図２ないし図４はその各部分を示す平面図である。
この処理装置中央部分１０は、四角板状の平面部１１ａ
と脚部１１ｂからなる台部１１の上面に、画像撮影装置
としてのＣＣＤカメラ１２と、そのＣＣＤカメラ１２を
移動させる移動機構としてのＸ軸移動機構１３およびＹ
軸移動機構１４が設けられて構成されている。

【００１６】ＣＣＤカメラ１２は平面部１１ａと平行す
る水平面内で移動可能に組付けられており、Ｘ軸移動機
構１３によって、Ｘ軸方向（図１ないし図４における台
部１１の長手方向に沿う方向）に移動可能で、Ｙ軸移動
機構１４によって、Ｘ軸方向に直交するＹ軸方向（図２
ないし図４における台部１１の長手方向に直交する方
向）に移動可能になっている。

【００１７】Ｘ軸移動機構１３は、平面部１１ａの上面
に配設されたモータ１５と、このモータ１５の回転軸１
５ａに連結されＸ軸方向に延びるボールねじ１６と、縦
断面形状が凹形のレール部１７と、レール部１７に沿っ
て移動する移動部材１８とで構成されている。レール部
１７は、支持部材１９ａ，１９ｂを介して平面部１１ａ
の上面にＸ軸方向に沿って取り付けられており、その凹
部内に移動部材１８が摺動可能に取り付けられている。
また、移動部材１８にはねじ穴（図示せず）が設けられ
て、このねじ穴にボールねじ１６が螺合している。

【００１８】前記レール部１７の凹部両端には、それぞ
れ図示せぬ穴部が設けられた壁部１７ａ，１７ｂが、そ
の上部側を凹部から上方に突出させた状態で取り付けら
れており、壁部１７ａの穴部には、モータ１５の回転軸
１５ａが挿通し、壁部１７ｂの穴部にはボールねじ１６
の先端部が回転自在に支持されている。したがって、モ
ータ１５の駆動により、回転軸１５ａが回転すると、回
転軸１５ａとともにボールねじ１６が回転し、それによ
って、移動部材１８がレール部１７に沿ってＸ軸方向に
移動する。

【００１９】Ｙ軸移動機構１４は、移動部材１８の上面
に取り付けられたレール部２０と、このレール部２０の
一端に固定されたモータ２１と、このモータ２１の回転
軸２１ａに連結されたボールねじ２２と、レール部２０
に沿って移動する移動部材（図５（ｂ）参照）２３とで
構成されている。レール部２０はＸ軸移動機構１３のレ
ール部１７と同形に形成されており、レール部１７と直
交するＹ軸方向に沿って配設され、その凹部内に移動部
材２３が摺動可能に取り付けられている。また、移動部
材２３の略中央にはねじ穴２３ａが設けられて、このね
じ穴２３ａにボールねじ２２が螺合している。

【００２０】そして、移動部材２３の下部側の長手方向
に沿う両側面には、突条２３ｂ，２３ｃが突設され、こ
の突条２３ｂ，２３ｃに対応するレール２０の両内側面
には突条２３ｂ，２３ｃと摺接する溝部がそれぞれ設け
られている。これによって、移動部材２３は、レール部
２０から浮き上がったり、がたついたりすることなく、
レール部２０に沿ってスムーズに移動できる。なお、こ
の突条と溝部は、移動部材１８とレール部１７のそれぞ
れ対応する部分にも形成されており、それによって、移
動部材１８は、レール部１７に沿ってスムーズに移動で
きるようになっている。

【００２１】さらに、前記レール部１７と同様、レール
部２０の両端にも、それぞれ穴部が設けられた壁部２０
ａ，２０ｂが、その上部側を凹部から上方に突出させた
状態で取り付けられており、壁部２０ａの穴部には、モ
ータ２１の回転軸２１ａが挿通し、壁部２０ｂの穴部に
はボールねじ２２の先端部が回転自在に支持されてい
る。したがって、モータ２１を駆動させると、回転軸２
１ａおよびボールねじ２２が回転し、それによって、移
動部材２３がレール部２０に沿ってＹ軸方向に移動す
る。

【００２２】また、移動部材２３の上面には、図５
（ａ），（ｂ）に示すような板状のキャリッジベース２
４が取り付けられ、そのキャリッジベース２４の一端に
上下調節部２５を介してＣＣＤカメラ１２が取り付けら
れている。上下調節部２５の下面には、ＣＣＤカメラ１
２の高さを調節する調節ねじ２５ａが設けられ、前側面
には、調節ねじ２５ａによって調節された高さにＣＣＤ
カメラ１２を固定するための固定ねじ２５ｂが設けられ
ている。また、キャリッジベース２４の一端には、上方
に延びたのち水平方向に延びる断面Ｌ形の取り付け片２
６がボルト２６ａで固定され、その水平部２６ｂの上面
にリング状の照明装置２７が取り付けられている。な
お、水平部２６ｂには、ＣＣＤカメラ１２のレンズ部１
２ａが挿通する挿通穴が設けられており、レンズ部１２
ａは、この挿通穴および照明装置２７の中心穴を挿通し
て、その上端が上方に露呈している。

【００２３】また、キャリッジベース２４の他端には、
水平状の取り付け片２８がボルト２８ａで固定され、そ
の取り付け片２８の上面にケーブルガイド２９の先端部
が固定されている。このケーブルガイド２９は、内部が
空洞２９ａになったキャタピラー状に形成されており、
空洞２９ａ内にＣＣＤカメラ１２や照明装置２７に接続
された各種のケーブル３０が収容されている。このケー
ブルガイド２９の先端部は、キャリッジベース２４の移
動に追従して移動し、ケーブル３０がキャリッジベース
２４の移動によって互いに絡んだり、装置の他の部分に
引っかかったりすることを防止する。なお、レール部２
０の先端部にも同様のケーブルガイド３１の先端部が固
定されて、モータ１５の駆動によって、レール部２０が
移動する際に、ケーブルが絡まないようになっている。

【００２４】また、台部１１の上面におけるＸ軸移動機
構１３の周囲に対応する部分には、Ｙ軸方向の幅が長く
なった支柱３２ａ，３２ｂ，３２ｃ，３２ｄがそれぞれ
ボルト３３ａ，３３ｂ，３３ｃ，３３ｄによって固定さ
れている。そして、その支柱３２ａ，３２ｂの上面およ
び支柱３２ｃ，３２ｄの上面にそれぞれ、上面が水平面
に形成された細板状の基台３４ａおよび３４ｂが掛け渡
されている。

【００２５】さらに、台部１１の上面における支柱３２
ａ，３２ｂおよび支柱３２ｃ，３２ｄを囲む両外側部分
には、基台３４ａ，３４ｂの上面と略高さの等しい平板
状の支持板３５ａ，３５ｂがボルト３６ａ，３６ｂの固
定により立設されている。そして、図３のように、基台
３４ａ，３４ｂおよび支持板３５ａ，３５ｂの上面にそ
れぞれ架け渡された状態で、５本のシャフト３７ａ，３
７ｂ，３７ｃ，３７ｄ，３７ｅが一定間隔を保って載置
されている。これらのシャフト３７ａ，３７ｂ，３７
ｃ，３７ｄ，３７ｅは、すべて同径同長で真っ直ぐの丸
棒で形成されている。

【００２６】また、基台３４ａ，３４ｂおよび支持板３
５ａ，３５ｂの上面における各シャフト３７ａ，３７
ｂ，３７ｃ，３７ｄ，３７ｅの間およびシャフト３７ｅ
の前方側部分（シャフト３７ｅ側を前方側とし、シャフ
ト３７ａ側を後方側とする。）には、図４に示すよう
に、それぞれ、水平板３８ａ，３８ｂ，３８ｃ，３８
ｄ，３８ｅ，３８ｆが、各シャフト３７ａ，３７ｂ，３
７ｃ，３７ｄ，３７ｅを、多少の自由度を持たせた状態
で位置決めするように取り付けられている。

【００２７】なお、水平板３８ｂ，３８ｃは、他の水平
板３８ａ，３８ｄ，３８ｅ，３８ｆよりも短く設定され
て、シャフト３７ｂ，３７ｃ間に設置されている。そし
て、水平板３８ｂと３８ｃの間には、ＣＣＤカメラ１２
のレンズ部１２ａおよび照明装置２７を上方に露呈する
ための窓部となる隙間が設けられ、その隙間に透明のア
クリル板からなる透かし部３８ｇが取り付けられてい
る。

【００２８】台部１１の上面におけるＸ軸方向に沿う両
側の後方側（シャフト３７ａの両端側）には、それぞれ
柱３９ａ，３９ｂが立設され、各シャフト３７ａ，３７
ｂ，３７ｃ，３７ｄ，３７ｅおよび水平板３８ａ，３８
ｂ，３８ｃ，３８ｄ，３８ｅ，３８ｆの周囲には枠状台
４０が設けられている。そして、枠状台４０の前方側に
は、操作パネル４１が設けられている。

【００２９】また、台部１１の後方には、Ｘ軸移動機構
１３およびＹ軸移動機構１４に代わって、または、Ｘ軸
移動機構１３およびＹ軸移動機構１４とともに、本発明
の移動機構となり得るＸＹテーブル駆動装置（一部しか
図示していない）４２が設置されている。このＸＹテー
ブル駆動装置４２には、Ｘ軸移動機構、Ｙ軸移動機構
（ともに平面部１１ａの下方に設置されている）および
θ軸移動機構４３が備わっている。

【００３０】そして、このＸＹ駆動装置４２は、図６お
よび図７に示したＸＹテーブル４４を支持するととも
に、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向およびθ軸方向（水平面上で回
転する方向）に移動させる。ＸＹテーブル４４は、平面
視略台形状の被固定部４４ａと四角枠状の取付け部４４
ｂとで構成され、被固定部４４ａの係合穴４４ｃをθ軸
移動機構４３のモータ４３ａに連結された係合軸４３ｂ
に係合させて、ＸＹテーブル駆動装置４２のＸＹテーブ
ル取付部４２ａに固定されている。そして、モータ４３
ａを駆動させることにより、ＸＹテーブル４４は、θ軸
方向に回転する。

【００３１】また、平面部１１ａの下方に設置されたＸ
軸移動機構、Ｙ軸移動機構は、Ｘ軸移動機構１３、Ｙ軸
移動機構１４と同様に構成され、それぞれ備わったモー
タを駆動させることにより、ＸＹテーブル４４をθ軸移
動機構４３とともに、Ｘ軸方向およびＹ軸方向に移動さ
せる。

【００３２】ＸＹテーブル４４における取付け部４４ｂ
の下面には、透明アクリル板からなるベース４５が取り
付けられ、ベース４５の上面に、図８に示した透明アク
リル板からなる固定テーブル４６が取り付けられてい
る。ベース４５の下面両側には、図９に示すような細径
のシャフト４７が、シャフト支持部４７ａによって取り
付けられている。この一対のシャフト４７は、シャフト
３７ｂ，３７ｃ等と直交して点接触できる状態で配設さ
れており、これによってベース４５および固定テーブル
４６の水平度が良好に保たれる。

【００３３】また、ベース４５の上面における両側中央
部には、図１０に示すようなガイドピン４８ａ，４８ｂ
が立設されており、このガイドピン４８ａ，４８ｂに対
応するＸＹテーブル４４における取付け部４４ｂの部分
には挿通穴４４ｃが設けられている。そして、挿通穴４
４ｃ内におけるガイドピン４８ａ，４８ｂの周囲には小
径の球体４９が複数個配設されている。このため、ベー
ス４５は、ＸＹテーブル４４に対して上下に摺動できる
ようになっている。

【００３４】さらに、ベース４５の上面における両側前
後部の四箇所と、その四ヶ所に対応するＸＹテーブル４
４の部分の間に、取り付けピンを介して、ばね５０ａ，
５０ｂ，５０ｃ，５０ｄが取り付けられている。ベース
４５および固定テーブル４６がシャフト３７ｂ，３７ｃ
等の上に載っている通常の状態では、ベース４５および
固定テーブル４６は、ばね５０ａ，５０ｂ，５０ｃ，５
０ｄの弾性力に抗して、自重で、シャフト４７をシャフ
ト３７ｂ，３７ｃ等に圧接させる。この場合、シャフト
３７ｂ，３７ｃの二本のシャフトがメインシャフトとし
て、一対のシャフト４７と接触して、固定テーブル４６
を水平に保つようになっており、他のシャフト３７ａ，
３７ｄ，３７ｅは補助シャフトとして、ベース４５およ
び固定テーブル４６を支受する。

【００３５】固定テーブル４６は、複数の電極パターン
がプリントされたシート状のワーク（図９参照）４６ｃ
を固定するためのもので、上面に格子状のエア抜き用線
状溝４６ａおよび幅広の浅い溝４６ｂが設けられてい
る。また、この固定テーブル４６には、エア抜き用の吸
引装置（図示せず）がホース５１ａおよび継手５１ｂ等
を介して接続されており、固定テーブル４６上にシート
状のワーク４６ｃを設置した状態で、吸引装置を駆動さ
せると、固定テーブル４６の上面にワーク４６ｃが吸引
固定される。

【００３６】また、柱３９ａ，３９ｂの上端を結ぶ部分
にはレール部を備えた支持部（図示せず）が架け渡され
ており、この支持部に、ワーク４６ｃに所定の処理を施
す処理部としての一対のプローブヘッド５２ａ，５２ｂ
（以下、プローブヘッド５２と記す）およびこのプロー
ブヘッド５２をそれぞれＺ軸方向（上下方向）に移動さ
せるためのＺ軸移動機構が設けられている。

【００３７】プローブヘッド５２は、シート状ワーク４
６ｃの電極パターン（図示せず）が適正に導通している
かどうかを検査するものであり、図１１および図１２に
示すように構成されている。すなわち、このプローブヘ
ッド５２は、所定側面に窓部が設けられた四角箱状の収
容部５２ｃと、その収容部５２ｃの側面に連なって取り
付けられた２個の枠状の収容部５２ｄ，５２ｅと、収容
部５２ｃの下方に取り付けられた略四角錐のプローブ固
定部５２ｆとからなる基台部分を備えている。そして、
プローブ固定部５２ｆの内部には、収容凹部５２ｇが設
けられて、その収容凹部５２ｇ内に、ＬＥＤからなる発
光体５３が収容されている。収容凹部５２ｇの底面に
は、外部に通じる通光路５２ｈが設けられて、発光体５
３から発光される光が下方に透光するようになってい
る。

【００３８】また、プローブ固定部５２ｆの下面四箇所
には、先端にプローブ５４が突出したフレキシブル基板
５４ａが固定具５５ａ，５５ｂによって固定されてい
る。この取り付け部分は、図１３および図１４に示すよ
うに構成されている。すなわち、細線状のプローブ５４
の上に異方性導電ゴムからなるシート５４ｂが積層さ
れ、そのシート５４ｂの上面に、フレキシブル基板５４
ａが積層されてこれらが一体化している。そして、その
フレキシブル基板５４ａの上面を、弾性ゴム５４ｃを介
して固定具５５ａで押圧した状態で、その固定具５５ａ
をボルト５５ｃでプローブ固定部５２ｆの下面に固定し
ている。

【００３９】プローブ５４は、図１１で示したプローブ
固定部５２ｆの両側二面には、内側と外側にそれぞれ２
個（実際には、複数個のプローブ５４が１個のフレキシ
ブル基板５４ａに組み付けられているが、この一組を１
個としている。）取り付けられ、図１２で示したプロー
ブ固定部５２ｆの両側二面にはそれぞれ１個だけ取り付
けられている。図１１に示した内側のプローブ５４は、
幅広の固定具５５ｂによってシート５４ｂ、フレキシブ
ル基板５４ａとともに、プローブ固定部５２ｆに固定さ
れ、その固定具５５ｂの下面に外側のプローブ５４が固
定具５５ａによって、シート５４ｂ、フレキシブル基板
５４ａとともに固定されている。

【００４０】このプローブ５４は、フレキシブル基板５
４ａを介して、収容部５２ｃ，５２ｄ，５２ｅに設けら
れたコネクタ５６に接続され、さらに、フラットケーブ
ル５６ａを介して図示せぬ検査装置に接続されている。
また、この六個のプローブ５４の先端部の平面上におけ
る形状は、ワーク４６ｃの電極パターンにおける電極部
と同形になるように設定され、その電極部にプローブ５
４の先端部を接触させることにより導通検査が行えるよ
うになっている。

【００４１】なお、この処理装置には、前述した各装置
等の他に、画像処理装置や位置制御用のマイクロコンピ
ュータが設けられており、ＣＣＤカメラ１２が捉える画
像を画像処理して位置データに変換するとともに、ワー
ク４６ｃの電極部とプローブ５４との二つの位置データ
の差を補正データとしてＸ軸移動機構１３、Ｙ軸移動機
構１４、ＸＹテーブル駆動装置４２のＸ軸移動機構、Ｙ
軸移動機構およびθ軸移動機構４３に出力する機能を有
する。

【００４２】このような構成において、ワーク４６ｃに
設けられた複数の電極パターンに沿って、その各電極パ
ターンの導通検査を行う際には、ＣＣＤカメラ１２でプ
ローブヘッド５２を撮影しながら、Ｘ軸移動機構１３お
よびＹ軸移動機構１４を駆動してＣＣＤカメラ１２のレ
ンズ部１２ａがプローブヘッド５２のプローブ５４の真
下に位置するようにする。

【００４３】そして、ＸＹテーブル４４に取り付けられ
た固定テーブル４６の上面にワーク４６ｃを載置すると
ともに、エア抜き用の吸引装置を作動させて、固定テー
ブル４６上面とワーク４６ｃの間を吸気することによ
り、ワーク４６ｃを固定テーブル４６上に固定する。つ
いで、ＸＹテーブル駆動装置４２のＸ軸移動機構および
Ｙ軸移動機構を駆動して、ワーク４６ｃの電極パターン
の位置が透かし部３８ｇの上方になるように、固定テー
ブル４６を移動させる。つぎに、θ軸移動機構４３を駆
動して、電極パターンの縦横の並びがＹ軸方向およびＸ
軸方向に揃うように、固定テーブル４６を回転させる。

【００４４】そして、電極パターンの並びがＹ軸方向お
よびＸ軸方向に揃った状態で、ＣＣＤカメラ１２によっ
てワーク４６ｃの電極パターンのうちの最初に導通検査
をする電極パターンを撮影しながら、ＸＹテーブル駆動
装置４２のＸ軸移動機構およびＹ軸移動機構を駆動し
て、その電極パターンの電極部位置とプローブヘッド５
２のプローブ５４の位置を合わせて一致させる。

【００４５】そして、プローブヘッド５２を上下移動さ
せるＺ軸移動機構を駆動させることにより、プローブヘ
ッド５２を下降させて、プローブ５４と電極パターンの
電極部を接触させる。これによって、電極パターンが導
通しているかどうかの検査ができ、その結果が、検査装
置に表示される。ついで、次の電極パターンの検査を行
う場合には、Ｚ軸移動機構を駆動させることにより、プ
ローブヘッド５２を上昇させ、その状態で、ＸＹテーブ
ル駆動装置４２のＸ軸移動機構またはＹ軸移動機構を駆
動して、次の電極パターンの位置とプローブヘッド５２
の位置を合わせる。

【００４６】そして、Ｚ軸移動機構を駆動させることに
より、プローブヘッド５２を下降させて、プローブ５４
を位置合わせした電極パターンの電極部に接触させる。
これによって、この電極パターンが導通しているかどう
かの検査ができる。なお、この処理装置には、２個のプ
ローブヘッド５２が設けられているため、最初の検査終
了後、他のプローブヘッド５２の位置にＣＣＤカメラ１
２を移動させ、そのプローブヘッド５２と、その下方の
電極パターンの位置認識および位置決めを行うことがで
きる。このため、二箇所で順次操作を進めることができ
る。

【００４７】上記の操作を繰り返すことにより、ワーク
４６ｃのすべての電極パターンについて導通検査を行う
ことができる。このように、この処理装置では、ＣＣＤ
カメラ１２と、ワーク４６ｃおよびプローブヘッド５２
との間に配設された透かし部３８ｇ、ベース４５および
テーブル４６が透明体で構成されているため、ＣＣＤカ
メラ１２、ワーク４６ｃおよびプローブヘッド５２を一
直線上に位置させることができる。このため、ＣＣＤカ
メラ１２の撮影角度にいわゆるオフセットがなくなっ
て、ワーク４６ｃの精度のよい位置決めができ、その結
果、適正な導通検査ができるようになる。

【００４８】また、ＣＣＤカメラ１２でワーク４６ｃや
プローブヘッド５２を撮影する際、ＣＣＤカメラ１２側
に取り付けられた照明装置２７で被撮影物側を照射し
て、鮮明な画像が得られるようにしているとともに、プ
ローブヘッド５２に設けた発光体５３を発光させること
により、ハレーションの発生を防止し、良好な画像が得
られるようにしている。

【００４９】さらに、水平に配置された基台３４ａ，３
４ｂの上面に、シャフト３７ｂ，３７ｃ等を一定間隔で
並設して、このシャフト３７ｂ，３７ｃ等の上面に、シ
ャフト３７ｂ，３７ｃ等と直交する一対の細径のシャフ
ト４７が下面に取り付けられたベース４５を載置してい
る。そして、そのベース４５の上面に、固定テーブル４
６が配設されるため、ワーク４６ｃの水平度が良好にな
る。

【００５０】すなわち、基台３４ａ，３４ｂとシャフト
３７ｂ，３７ｃ等との接触、およびシャフト４７とベー
ス４５との接触は線接触になり、シャフト３７ｂ，３７
ｃ等とシャフト４７との接触は点接触になる。平面同士
を水平度を保ったまま接触させることは精度を要求され
ることからコストアップにつながり設計上難しいが、線
接触や点接触の状態で互いを水平に保つことは比較的容
易にできる。この結果、上記の構成をとることによりワ
ーク４６ｃを水平に固定でき、さらに検査の確実性が増
すようになる。

【００５１】なお、前記実施形態では、透かし部３８ｇ
およびベース４５を透明の板で構成しているが、透かし
部３８ｇは何もない単なる窓で構成してもよいし、ベー
ス４５は枠体で構成することもできる。

【００５２】また、他の実施形態として、この処理装置
を、ワークに設けられたパターンを、その形状に合わせ
て打ち抜くパンチング装置に利用することもできる。こ
の場合、ワークを固定する固定テーブル側に金型が必要
であれば、その金型位置以外の部分に、画像撮影装置を
配設する。また、これ以外でも、被処理物と処理部の位
置を認識したのち位置決めし、処理を行う装置であれば
どのような装置でも本発明は利用することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の一実施形態による処理装置の中央部
分を示す概略正面図である。

【図２】 図１の平面図である。

【図３】 処理装置の基台にシャフトを並設した状態を
示す平面図である。

【図４】 図３におけるシャフト間に水平板を配設した
状態を示す平面図である。

【図５】 （ａ）はＣＣＤカメラが取り付けられたキャ
リッジベースの平面図であり、（ｂ）はその正面図であ
る。

【図６】 ＸＹテーブルの平面図である。

【図７】 ＸＹテーブルがＸＹテーブル駆動装置に取り
付けられた状態を示す正面図である。

【図８】 （ａ）は固定テーブルの平面図であり、
（ｂ）はその一部を切り欠いた正面図である。

【図９】 シャフトと固定テーブルの組み付け状態を示
す部分拡大図である。

【図１０】 ＸＹテーブルとベースの組み付け状態を示
す部分拡大図である。

【図１１】 （ａ）はプローブヘッドの縦断面図であ
り、（ｂ）はその下面における一面を説明する図であ
る。

【図１２】 （ａ）は、図１１の縦断面と直交する断面
におけるプローブヘッドの縦断面図であり、（ｂ）はそ
の下面における一面を説明する図である。

【図１３】 プローブの固定状態を示す斜視図である。

【図１４】 プローブの固定状態を示す縦断面図であ
る。

【符号の説明】

１２…ＣＣＤカメラ、１３…Ｘ軸移動機構、１４…Ｙ軸
移動機構、１５，２１…モータ、１６，２２…ボールね
じ、１７，２０…レール部、１８，２３…移動部材、３
８ｇ…透かし部、４２…ＸＹテーブル駆動装置、４３…
θ軸移動機構、４４…ＸＹテーブル、４５…ベース、４
６…固定テーブル、４６ａ…エア抜き用線状溝、４６ｂ
…溝、４６ｃ…ワーク、５２ａ，５２ｂ…プローブヘッ
ド、５３…発光体、５４…プローブ。

フロントページの続き (72)発明者 笠原 健 静岡県浜松市青屋町283番地 ヤマハファ インテック株式会社内 (72)発明者 原 卓也 静岡県浜松市青屋町283番地 ヤマハファ インテック株式会社内 (72)発明者 伊藤 猛 静岡県浜松市青屋町283番地 ヤマハファ インテック株式会社内 Ｆターム(参考） 2F065 AA20 CC25 JJ26 PP03 PP12 2F078 CA08 CB12 2G014 AA02 AA03 AB59 AB62 AC09 AC12 3C048 BC02

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】被処理物を固定するための固定テーブル
   と、 前記固定テーブルの上方に設けられ、前記固定テーブル
   に対して、近接・離間方向に移動して前記被処理物に所
   定の処理を施す処理部と、 前記被処理物および前記処理部の位置を認識する画像撮
   影装置とを備えた位置認識可能な処理装置であって、 前記固定テーブルを透明体で構成し、 前記画像撮影装置を前記固定テーブルの下方に配設する
   とともに、 前記画像撮影装置を前記固定テーブルに対して相対的に
   移動させる移動機構を設けたことを特徴とする位置認識
   可能な処理装置。
2. 【請求項２】前記移動機構を、前記画像撮影装置を前記
   固定テーブルに対して平面内で直交する２方向に移動さ
   せるもので構成した請求項１に記載の位置認識可能な処
   理装置。
3. 【請求項３】前記処理部に、下方に向けて発光装置が取
   り付けられている請求項１または２に記載の位置認識可
   能な処理装置。
4. 【請求項４】前記被処理物が、電極パターンが設けられ
   たシート状のワークで、前記処理部が導通検査装置であ
   る請求項１ないし３のいずれか一つに記載の位置認識可
   能な処理装置。
5. 【請求項５】被処理物を固定するための透明の固定テー
   ブルと、前記被処理物に所定の処理を施す処理部と、前
   記固定テーブルの下方に配設され、前記被処理物および
   前記処理部の位置を認識する画像撮影装置と、前記画像
   撮影装置を前記固定テーブルに対して相対的に移動させ
   る移動機構を備えた位置認識可能な処理装置を用いて、
   前記被処理物および前記処理部の位置を位置決めしたの
   ち処理する処理方法において、 前記被処理物を前記固定テーブルと前記処理部との間に
   おける前記固定テーブル上に固定する固定工程と、 前記画像撮影装置が撮影する画像に応じて、前記被処理
   物における被処理位置と前記処理部の位置を位置合わせ
   する位置合わせ工程と、 前記位置合わせ後に、前記処理部で前記被処理物を処理
   する処理工程とで構成した処理方法。