JP6088806B2 - 電子部品実装装置用直動機構 - Google Patents

Description

本発明は、電子部品実装装置において基板に電子部品を搭載する搭載ヘッドを移動させる直動機構に関する。

一般に、基板上に電子部品を搭載する電子部品実装装置は、吸着ノズルを備える搭載ヘッドを有し、当該吸着ノズルで電子部品を保持して基板上に搭載する。電子部品実装装置は、搭載ヘッドを基板の表面に平行な方向に移動させる移動部を有する。移動部は、搭載ヘッドを基板の表面に平行な第一方向に直線状に移動させる第一直動機構部と、搭載ヘッドを基板の表面に平行であって第一方向と直交する第二方向に直線状に移動させる第二直動機構部からなる。

従来、例えば、特許文献１は、電子部品を基板に実装する実装作業に使用される電子部品実装用装置に配設されリニアモータによって被駆動体を第一方向に直線駆動する直動機構（第一直動機構部）が示されている。この直動機構は、被駆動体（搭載ヘッド）を第一方向にガイドするため架台上に配設されたガイドレールと、被駆動体に結合されガイドレールにスライド自在に嵌合したスライダを有する連結部材と、固定子と可動子の対向方向を被駆動体側に向けた姿勢で第一方向に配設されたリニアモータと、固定子を第一方向に固定保持する固定子保持部と、可動子の背面に結合され、かつ連結部材と結合された移動プレートと、固定子保持部の側面に配設され、移動プレートの上端部に装着されたガイドローラと当接するガイドレールと、固定子保持部の側面に配設され、移動プレートの下端部に固着されたスライダに嵌着するガイドレールと、からなる。

特許第４０３９３４２号公報

直動機構において、第一直動機構は、被駆動体である第二直動機構の両端を支持した状態で、当該第二直動機構を第二直動機構による搭載ヘッドの移動方向（第二方向）に直交する第一方向に移動させる。このような構成の第一直動機構は、電子部品の搭載時間の短縮化を図るため、搭載ヘッドを移動させるための駆動を高速化することが求められる。この要求に応じるために、第二直動機構の両端側にそれぞれリニアモータを配置する第一直動機構が望まれている。

しかし、第二直動機構の両端側にそれぞれリニアモータを配置する構成の場合、電子部品実装装置を大型化させる問題がある。例えば、図８に示すように、リニアモータ１１３の固定子１１３ｂと可動子１１３ａとの対向方向を垂直方向に向けて配置すると、リニアモータ１１３が水平方向（Ｘ方向）に大きく幅Ｗ０を有するため、電子部品実装装置を大型化させることになる。

一方、例えば、特許文献１のようにリニアモータの固定子と可動子との対向方向を水平方向に向けて配置すると、リニアモータが作用する水平方向の吸引力を受ける直動ガイド（ガイドレールおよびスライダ）、および第二直動機構を支持するために垂直方向の荷重を受ける直動ガイドが必要となる。直動ガイドは、自身の真直度が低下すると寿命が大幅に減少する。また、複数の直動ガイドにより被駆動体を支持する場合は、互いの平行度が悪いと寿命が減少する。このため、特許文献１のように、水平方向に力を受ける直動ガイドと、垂直方向の力を受ける直動ガイドとをそれぞれ有する場合、真直度および相互の平行度を確保するため、相互の取り付けに高い精度が要求される。特許文献１では、直動ガイドの相互の取り付けに要求される高い精度を緩和するために、水平方向に力を受ける直動ガイド側を、垂直方向の力を受ける直動ガイド側に対して凸部と溝部との嵌合により第一方向にのみ拘束力が作用するように構成しており、この結果、部品点数が多くなり第一直動機構の大型化を招いている。なお、特許文献１は、リニアモータを第二直動機構の一端側にのみ設けた構成である。

図８に示すように、第二直動機構の垂直方向の荷重を受ける直動ガイド１１４とリニアモータ１１３、およびその吸引力を受ける直動ガイド１１４とを同一の水平面に取り付ける場合は、構成が簡素であっても真直度及び互いの平行度が出し易いが、第二直動機構が長くなり装置が大型化してしまう。

大型化を回避する方法として、例えば、図９に示すような構成が考えられる。直動ガイド１１４を水平方向と垂直方向に配置した場合である。この構成であれば、水平方向（Ｘ方向）に小さい幅Ｗ１とすることができる。しかし、この様に配置すると、直動ガイド１１４の寿命を満足するために、それぞれのガイドレールを取り付けるフレーム１１１の取付面１１１ａ，１１１ｂ同士の直角度を精密に機械加工しなければならないが、高速移動が求められる直動機構においては、必要とされる加工精度を実現することは加工コスト的にも加工技術的にも困難である。さらに、直交する面において複数の直動ガイドの互いの平行度を確保することも難しい。

本発明は上述した課題を解決するものであり、被駆動体の両端側にリニアモータを配置したうえで、電子部品実装装置の大型化を抑えるとともに、直動ガイドの寿命減少の無い真直度と平行度とを確保することのできる電子部品実装装置用直動機構を提供することを目的とする。

上述の目的を達成するために、第１の発明の電子部品実装装置用直動機構は、基板に電子部品を搭載する電子部品実装装置に用いられて被駆動体を水平方向で直線状に移動させる電子部品実装装置用直動機構において、前記直動機構は、前記被駆動体の両側にそれぞれ配置されており、前記電子部品実装装置の筐体に固定されたフレームと、被駆動体に固定されたベースと、前記ベースにおける垂直面に取り付けられた移動子、および前記フレームにおける垂直面に取り付けられた固定子が前記被駆動体を移動させる水平方向に対して直交する水平方向に対向配置されたリニアモータと、前記リニアモータの上方で前記フレームにおける上向きの水平面に取り付けられて前記被駆動体を移動させる方向に延在する摺動レール、および前記ベースにおける下向きの水平面に取り付けられて前記摺動レールの延在方向に沿って移動自在に前記摺動レールに嵌合するスライダからなる直動ガイドと、前記リニアモータの下方で前記フレームに取り付けられて前記被駆動体を移動させる方向に延在する案内レール、および前記ベース側に取り付けられて前記案内レールの延在方向に沿って移動自在に前記案内レールに係合する移動部からなる補助ガイドと、前記直動ガイドにおける前記摺動レールへの前記スライダの嵌合、および前記補助ガイドにおける前記案内レールへの前記移動部の係合を維持しつつ、前記ベースの垂直方向の変位を許容する可動部と、を含むことを特徴とする。

この電子部品実装装置用直動機構によれば、被駆動体の両側において、移動子および固定子が被駆動体を移動させる水平方向に対して直交する水平方向に対向配置されたリニアモータを備えることで、リニアモータの水平方向の寸法を減少させることができ、これにより電子部品実装装置の大型化を抑えることができる。

しかも、補助ガイドは、スライダ（移動部）が垂直方向に移動調整可能な可動部としての支持部材を介してベースに取り付けられ、ベースの垂直方向の変位を許容することから、直動ガイドの取り付けに高い精度が要求されない。この結果、直動ガイドは１つの構成でよく、複数の直動ガイドを用いることと比較して直動ガイドの取り付けに高い精度が要求されず、容易に真直度を確保することが可能になる。

一方、摺動レールにスライダが嵌合する直動ガイドを、リニアモータの上方に配置するとともに、フレームにおける上向きの水平面に摺動レールを取り付け、ベースにおける下向きの水平面にスライダを取り付けたことから、当該直動ガイドによって、被駆動体を支持するための垂直方向の荷重を受けることができる。しかも、補助ガイドを、リニアモータの下方に配置することで、リニアモータが作用する水平方向の吸引力を受けることが可能になる。しかも、可動部が、直動ガイドおよび補助ガイドに影響を与えずベースの垂直方向の変位を許容することから、直動ガイドの取り付けに高い精度が要求されない。この結果、直動ガイドは１つの構成でよく、複数の直動ガイドを用いることと比較して直動ガイドの取り付けに高い精度が要求されず、容易に真直度を確保することができる。

従って、この電子部品実装装置用直動機構によれば、電子部品実装装置の大型化を抑えつつ被駆動体の両側にリニアモータを配置し、被駆動体を移動させるための駆動を高速化して電子部品の搭載時間の短縮化を図ることができ、かつ直動ガイドの真直度を確保して駆動が高速化されても直動ガイドの寿命の減少を抑えることができる。

また、第２の発明の電子部品実装装置用直動機構は、第１の発明において、前記可動部が、前記補助ガイドにおいて、前記リニアモータの下方であって前記フレームにおける前記垂直面に取り付けられて前記被駆動体を移動させる方向に延在する前記案内レール、および前記ベースにおける前記垂直面に取り付けられて前記案内レールに対して前記リニアモータの前記移動子と前記固定子との対向方向で接触しつつ前記案内レールの延在方向に沿って転動可能に設けられた移動部としてのローラからなることを特徴とする。

この電子部品実装装置用直動機構によれば、案内レールと、当該案内レールに接触するローラとからなる簡素な構成により可動部を得ることができる。

また、第３の発明の電子部品実装装置用直動機構は、第２の発明において、前記フレームにおける垂直面と前記案内レールとの間に前記案内レールと前記ローラとの接触を調整するシムを含むことを特徴とする。

この電子部品実装装置用直動機構によれば、シムがスペーサとなって案内レールにおけるローラと接触する滑走面の垂直に対する角度が調整される。このため、案内レールの滑走面の位置精度が向上するので、案内レールの滑走面とローラとの接触を円滑にし、駆動が高速化されても補助ガイドおよび直動ガイドの寿命の減少を抑えることができる。

また、第４の発明の電子部品実装装置用直動機構は、第２または第３の発明において、前記ベースにおける垂直面と前記ローラとの間に前記案内レールと前記ローラとの接触を調整するシムを含むことを特徴とする。

この電子部品実装装置用直動機構によれば、シムがスペーサとなってローラと当該ローラが接触する案内レールの滑走面との間隔が調整される。このため、ローラと案内レールの滑走面との隙間がなくなるので、案内レールの滑走面とローラとの接触を確保し、駆動が高速化されても補助ガイドおよび直動ガイドの寿命の減少を抑えることができる。

また、第５の発明の電子部品実装装置用直動機構は、第２〜第４の何れか１つの発明において、前記ローラを回転可能に支持するベアリングを含むことを特徴とする。

この電子部品実装装置用直動機構によれば、ベアリングによりローラの回転を円滑にし、駆動が高速化されても補助ガイドおよび直動ガイドの寿命の減少を抑えることができる。

また、第６の発明の電子部品実装装置用直動機構は、第１の発明において、前記可動部が、前記補助ガイドの前記移動部を支持する支持部材を、前記ベースに対して垂直方向に調整移動可能に設け、前記案内レールが前記フレーム側における下向きの水平面に取り付けられ、前記移動部が前記支持部材における上向きの水平面に取り付けられていることを特徴とする。

補助ガイドの移動部を支持部材に取り付ける場合、リニアモータを避けて下側から取り付け作業を行えるため、リニアモータ側に取り付け作業の領域を用意しなくてもよく、電子部品実装装置の大型化を抑えつつ可動部を得ることができる。しかも、直動ガイドと補助ガイドとが、上下で互いに平行な面に取り付けられているため、組み付け時には水平方向の平行度のみ出すことで、精度を確保することができる。

本発明によれば、被駆動体の両端側にリニアモータを配置したうえで、電子部品実装装置の大型化を抑えるとともに、直動ガイドの寿命減少の無い真直度と平行度とを確保することができる。

図１は、電子部品実装装置の概略構成を示す概略平面図である。 図２は、本発明の実施形態１に係る直動機構の概略平面図である。 図３は、本発明の実施形態１に係る直動機構の概略正面図である。 図４は、本発明の実施形態１に係る直動機構の調整機構を示す概略正面図である。 図５は、本発明の実施形態１に係る直動機構の補助ガイドを示す概略正面図である。 図６は、本発明の実施形態２に係る直動機構の概略平面図である。 図７は、本発明の実施形態２に係る直動機構の概略正面図である。 図８は、従来例に係る直動機構の概略正面図である。 図９は、従来例に係る直動機構の概略正面図である。

以下、本発明につき図面を参照しつつ詳細に説明する。なお、下記の発明を実施するための形態（以下、実施形態という。）により本発明が限定されるものではない。また、下記実施形態における構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のもの、いわゆる均等の範囲のものが含まれる。さらに、下記実施形態で開示した構成要素は適宜組み合わせることが可能である。

以下に、本発明にかかる電子部品実装装置の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、この実施形態によりこの発明が限定されるものではない。図１は、電子部品実装装置の概略構成を示す概略平面図である。

図１に示す電子部品実装装置１は、基板Ｂの上に電子部品を搭載する装置である。電子部品実装装置１は、筐体２に、基板搬送部３と、電子部品供給装置４と、搭載ヘッド５と、移動部６と、ノズル交換部７と、電子部品認識部８と、電子部品貯留部９とが配置されている。

筐体２は、矩形状の本体２ａの四面に、前カバー２ｂ、後カバー２ｃ、および両側部カバー２ｄ，２ｄを有し、電子部品実装装置１を構成する各部を収納する箱として構成されている。この筐体２は、本体２ａに、基板搬送部３と、電子部品供給装置４と、搭載ヘッド５と、移動部６とを有する電子部品供給搭載部１Ａが配置されている。また、図には明示しないが、筐体２は、前カバー２ｂに操作部および表示部が配置されている。さらに、筐体２は、一方（例えば、図１中左側）の側部カバー２ｄにおいて、電子部品供給搭載部１Ａの基板搬送部３に搬送される基板Ｂを筐体２内に搬入する搬入口２ｄａが設けられている。また、筐体２は、他方（例えば、図１中右側）の側部カバー２ｄにおいて、電子部品供給搭載部１Ａの基板搬送部３から搬送される基板Ｂを筐体２外に排出する排出口２ｄｂが設けられている。

電子部品供給搭載部１Ａについて説明する。基板搬送部３は、筐体２の前後をＹ方向とした場合に、当該Ｙ方向に対して水平方向で直交するＸ方向に基板Ｂを搬送するものである。基板搬送部３は、Ｘ方向に延在する一対のレール３ａに基づき、搭載対象面を上面とした基板Ｂを支持しつつレール３ａに沿ってＸ方向に移動させる搬送機構を有する。この基板搬送部３は、筐体２内に基板Ｂを供給する機器から搬入口２ｄａを介して供給された基板Ｂを、レール３ａの延在方向の所定位置まで搬送する。基板Ｂは、この所定位置にて搭載対象面に電子部品が搭載される。また、基板搬送部３は、搭載対象面に電子部品が搭載された基板Ｂを、所定位置からレール３ａの延在方向に搬送し、排出口２ｄｂを介して筐体２外に排出して次工程（例えば、リフロー工程）の機器へ受け渡す。なお、基板搬送部３の搬送機構としては、種々の構成を用いることができ、例えば、基板Ｂの搬送方向に沿って配置されたレール３ａと、レール３ａに沿って循環するエンドレスベルト（図示せず）とを組合せ、エンドレスベルトに基板Ｂを載置した状態で搬送するベルト方式の搬送機構がある。

ここで、基板Ｂは、電子部品を搭載する部材であればよく、その構成は特に限定されない。本実施形態の基板Ｂは、板状部材であり、表面に配線パターンが設けられている。また、基板Ｂは、配線パターンの表面に、リフローによって配線パターンと電子部品とを接合する接合部材であるはんだが付着している。

電子部品供給装置４は、基板搬送部３の前側および後側にそれぞれ配置されており、基板Ｂに搭載する電子部品を多数保持し、搭載ヘッド５に供給可能、つまり、搭載ヘッド５で吸着保持可能な状態で保持位置に供給するものである。電子部品供給装置４は、凹部に電子部品を保持し、封止材によって凹部を封止されたテープを送ると同時にテープの封止材を取り除いて、凹部内の電子部品を露出させ、搭載ヘッド５で吸着保持可能な状態とするテープフィーダ方式のレーン４ａが、Ｙ方向に延在し、かつＸ方向に複数並設されている。なお、電子部品供給装置４は、テープフィーダ方式に限定されるものではない。

搭載ヘッド５は、電子部品供給装置４の電子部品を保持し、当該電子部品を、基板搬送部３において所定位置に搬送された基板Ｂに搭載するものである。搭載ヘッド５は、電子部品を電子部品供給装置４から基板Ｂに移動させるため、移動部６により移動可能に設けられている。

図には明示しないが、搭載ヘッド５は、複数（例えば、６本）のノズルと、ノズル駆動部とを有する。ノズルは、Ｘ方向に一列に配置されている。各ノズルは、電子部品を吸着する吸着機構であり、電子部品を吸着保持する吸着ノズルが装着される。また、各ノズルは、吸着ノズルを着脱する着脱機構を有する。ノズル駆動部は、ノズルを上下方向（Ｘ方向およびＹ方向に直交する方向）に移動させる移動機構と、ノズルから空気を吸引する吸引機構とを有する。また、図には明示しないが、搭載ヘッド５は、撮影装置と、高さセンサとを有する。撮影装置は、搭載ヘッド５の下方領域であって、例えば、基板Ｂや、電子部品が搭載された基板Ｂなどを撮影するため、カメラと、照明装置とを有し、照明装置で視野を照明しつつ、カメラで画像を取得する。高さセンサは、搭載ヘッド５の下方領域であって、例えば、基板Ｂや、電子部品が搭載された基板Ｂとの距離を計測するもので、レーザ光を照射する発光素子と、反射して戻ってくるレーザ光を受光する受光素子とを有し、レーザ光を発光してから受光するまでの時間で対面する部分との距離を計測するレーザセンサを用いることができる。また、高さセンサは、測定時の自身の位置および基板Ｂの位置を用いて、電子部品の高さを検出する。

移動部６は、搭載ヘッド５をＸ方向およびＹ方向に直線状に移動させるものである。このため、移動部６は、Ｘ直動機構部６１と、Ｙ直動機構部６２とを含む。Ｘ直動機構部６１は、Ｘ方向に延在するＸ軸レール６１ａを有し、このＸ軸レール６１ａに搭載ヘッド５を支持し、かつＸ軸レール６１ａの延在方向に沿って搭載ヘッド５をＸ方向に移動させる。搭載ヘッド５をＸ方向に移動させる機構としては、リニアモータを用いた搬送機構が用いられる。

Ｙ直動機構部６２は、本実施形態における直動機構１０を有するもので、Ｘ直動機構部６１のＸ軸レール６１ａの両端部を支持しつつ、被駆動体であるＸ直動機構部６１のＸ軸レール６１ａおよび搭載ヘッド５をＹ方向に移動させるものである。このＹ直動機構部６２の詳細は後述する。

ノズル交換部７は、本実施形態では、基板搬送部３と後側の電子部品供給装置４との間であって搭載ヘッド５の可動領域と重なる位置に設けられている。ノズル交換部７は、交換用の吸着ノズルが載置されるものである。ノズル交換部７は、複数の吸着ノズルを挿入保持するための複数のノズル保持穴７ａを有する。このノズル交換部７に載置される吸着ノズルは、大きさや形状など種類の異なる電子部品に対応して吸着保持し得る複数種のもので、この複数種の個々の吸着ノズルが各ノズル保持穴７ａに挿入保持される。

なお、電子部品実装装置１は、ノズル交換部７に保持された吸着ノズルの種類を検出する機能を有する。この機能として、例えば、ノズル交換部７は、ノズル保持穴７ａの下方から光を照射する照射装置７ｂを含み構成されている。ノズル交換部７において、各ノズル保持穴７ａは、それぞれ同じ形状とされている。一方、種類の異なる吸着ノズルは、各ノズル保持穴７ａに挿入保持されるものの、それぞれ形状が異なる。このため、照射装置７ｂから照射された光は、形状が同じノズル保持穴７ａと、形状が異なる吸着ノズルとの隙間を透過するため、種類の異なる吸着ノズルそれぞれに対応して透過面積や透過量が異なる。そして、吸着ノズルが装着される搭載ヘッド５は、照射装置７ｂから照射される光の透過面積や透過量を撮影するカメラ５ａを含み構成されている。すなわち、照射装置７ｂから照射される光の透過面積や透過量を搭載ヘッド５のカメラ５ａにより撮影する。そして、撮影した光の透過面積や透過量を解析することでノズル交換部７に保持された吸着ノズルの種類を検出することができる。

電子部品認識部８は、本実施形態では、ノズル交換部７とともに、基板搬送部３と後側の電子部品供給装置４との間であって搭載ヘッド５の可動領域と重なる位置に設けられている。電子部品認識部８は、搭載ヘッド５に保持される電子部品を認識するものである。電子部品認識部８としては、例えば、画像認識装置があり、搭載ヘッド５の下方から撮影するカメラや、撮影領域を照明する照明ユニットを有する。画像認識装置は、搭載ヘッド５に装着された吸着ノズルで吸着保持された電子部品の状態、すなわち、電子部品の形状や、吸着ノズルによる電子部品の保持状態を認識する。具体的に、電子部品認識部８は、その上方位置に搭載ヘッド５が移動されると、搭載ヘッド５の吸着ノズルを鉛直方向下側から撮影する。そして、撮影した画像を解析することで、吸着ノズルで吸着された電子部品の形状や、吸着ノズルによる電子部品の保持状態を認識することができる。

また、電子部品認識部８は、例えば、電子部品が有する端子の下端部の高さを測定してコプラナリティ検査を実施するコプラナリティ検査装置がある。また、電子部品認識部８は、例えば、電子部品の容量や抵抗の測定をする測定装置がある。また、電子部品認識部８は、例えば、吸着ノズルによる電子部品の吸着時での電子部品に対する衝撃力を測定する測定装置がある。これらは、基板Ｂに電子部品を搭載する基板Ｂの生産中では使用頻度の低いものである。

なお、電子部品を認識する機能は、搭載ヘッド５に設けられていてもよい。この電子部品を認識する機能は、図には明示しないが、例えば、レーザ認識装置がある。レーザ認識装置は、光源と受光素子とを有する。このレーザ認識装置は、搭載ヘッド５の吸着ノズルで吸着保持した電子部品に対して、光源により上方からレーザ光を照射し受光素子で受光する。そして、受光素子で検出したレーザ光を解析することで、電子部品の状態、すなわち、電子部品の形状や、吸着ノズルによる電子部品の保持状態を認識することができる。このレーザ認識装置と、上記電子部品認識部８とをともに備えると、吸着ノズルにより吸着保持された電子部品の状態をより正確に認識することが可能になる。

電子部品貯留部９は、本実施形態では、ノズル交換部７および電子部品認識部８とともに、基板搬送部３と後側の電子部品供給装置４との間であって搭載ヘッド５の可動領域と重なる位置に設けられている。電子部品貯留部９は、搭載ヘッド５が吸着ノズルで保持しているが、基板Ｂに実装しない電子部品を貯留する箱である。つまり、電子部品実装装置１では、基板Ｂに実装しない電子部品を廃棄する廃棄ボックスとなる。電子部品実装装置１は、搭載ヘッド５が保持している電子部品の中に基板Ｂに実装しない電子部品がある場合、搭載ヘッド５を電子部品貯留部９と対面する位置に移動させ、保持している電子部品を解放することで、電子部品を電子部品貯留部９に投入する。

［実施形態１］
以下に、本実施形態に係る直動機構１０を有するＹ直動機構部６２について説明する。図２は、本実施形態に係る直動機構の概略平面図であり、図３は、本実施形態に係る直動機構の概略正面図である。

上述したように、Ｙ直動機構部６２は、本実施形態における直動機構１０を有している。直動機構１０は、被駆動体であるＸ直動機構部６１のＸ軸レール６１ａの両端側にそれぞれ配置されている。そして、直動機構１０は、フレーム１１と、ベース１２と、リニアモータ１３と、直動ガイド１４と、補助ガイド１５とを含み構成されている。

フレーム１１は、電子部品実装装置１における筐体２の本体２ａに固定されている。フレーム１１は、本体２ａの上面に立設され、被駆動体を移動させるＹ方向に沿って延在する板状に形成されている。フレーム１１は、Ｘ方向であって被駆動体側に向く垂直面１１ａと、上向きの水平面１１ｂとを有している。

ベース１２は、垂直方向に延在する垂直部１２Ａと、水平方向に延在する水平部１２Ｂとを有し、正面視でＬ字状の断面形状に形成されている。垂直部１２Ａは、フレーム１１と被駆動体との間に配置されるもので、被駆動体側に向く垂直面１２Ａａと、フレーム１１の垂直面１１ａに対向する垂直面１２Ａｂとを有している。水平部１２Ｂは、フレーム１１の上方に配置されるもので、下向きの水平面１２Ｂａを有している。このベース１２は、垂直部１２Ａの垂直面１２Ａａに、被駆動体であるＸ直動機構部６１のＸ軸レール６１ａの端部が固定される。

リニアモータ１３は、移動子１３ａと、固定子１３ｂとを有している。移動子１３ａは、ベース１２における垂直部１２Ａの垂直面１２Ａｂに取り付けられている。移動子１３ａは、例えば、磁界を起こす電磁石がＹ方向に少なくとも１対並べて設けられている。固定子１３ｂは、フレーム１１における垂直面１１ａに取り付けられている。固定子１３ｂは、フレーム１１に対し、被駆動体を移動させるＹ方向に沿って設けられる。固定子１３ｂは、例えば、永久磁石がＹ方向に沿って磁極を交互に並べて配置されている。なお、移動子１３ａが永久磁石で、固定子１３ｂが電磁石であってもよい。このリニアモータ１３は、移動子１３ａと固定子１３ｂとが、被駆動体を移動させる水平方向に対して直交する水平方向に対向配置される。

直動ガイド１４は、摺動レール１４ａと、スライダ１４ｂとを有している。摺動レール１４ａは、リニアモータ１３の上方であって、フレーム１１における上向きの水平面１１ｂに取り付けられている。摺動レール１４ａは、被駆動体を移動させるＹ方向に沿って延在して設けられている。スライダ１４ｂは、ベース１２における水平部１２Ｂの下向きの水平面１２Ｂａに取り付けられている。スライダ１４ｂは、摺動レール１４ａの延在方向であるＹ方向に沿って移動自在に摺動レール１４ａに嵌合する。また、スライダ１４ｂは、ベース１２に対して複数箇所（本実施形態では２箇所）に設けられている。

補助ガイド１５は、案内レール１５ａと、ローラ（移動部）１５ｂとを有している。案内レール１５ａは、リニアモータ１３の下方であって、フレーム１１における垂直面１１ａに取り付けられている。案内レール１５ａは、被駆動体を移動させるＹ方向に沿って延在して設けられている。ローラ１５ｂは、ベース１２における垂直部１２Ａの垂直面１２Ａｂに取り付けられている。ローラ１５ｂは、ベース１２の垂直面１２Ａｂに対して回転支持部１５ｃにより取り付けられ、案内レール１５ａの延在方向であるＹ方向に沿って転動可能に設けられている。このローラ１５ｂは、案内レール１５ａに対してリニアモータ１３の移動子１３ａと固定子１３ｂとの対向方向で接触する。また、ローラ１５ｂは、ベース１２に対して複数箇所（本実施形態では２箇所）に設けられている。

このようなＹ直動機構部６２の各直動機構１０は、ベース１２に固定した被駆動体であるＸ直動機構部６１のＸ軸レール６１ａおよび搭載ヘッド５を、直動ガイド１４を介してフレーム１１に支持し、被駆動体を移動させるＹ方向に沿って移動可能とする。また、Ｙ直動機構部６２の各直動機構１０は、補助ガイド１５の案内レール１５ａとローラ１５ｂとの接触によりフレーム１１に対するベース１２の水平方向の間隔を確保する。すなわち、リニアモータ１３の移動子１３ａと固定子１３ｂとの対向間隔を確保する。そして、Ｙ直動機構部６２の各直動機構１０は、リニアモータ１３を駆動することで、直動ガイド１４および補助ガイド１５により、フレーム１１に対してベース１２とともに被駆動体を支持しつつＹ方向に沿って移動させる。

また、本実施形態における補助ガイド１５の構成は、可動部をなす。可動部は、直動ガイド１４における摺動レール１４ａへのスライダ１４ｂの嵌合、および補助ガイド１５における案内レール１５ａへのローラ１５ｂの係合を維持しつつ、ベース１２の垂直方向の変位を許容するものである。すなわち、補助ガイド１５は、案内レール１５に対してローラ１５ｂが接触して転動する構成であるため、ベース１２が垂直方向に変位しても案内レール１５ａへのローラ１５ｂの係合状態は維持される。そして、ベース１２の垂直方向への変位をローラ１５ｂが移動部となって吸収することから、直動ガイド１４における摺動レール１４ａへのスライダ１４ｂの嵌合状態が維持される。

このように、本実施形態の電子部品実装装置用直動機構は、基板Ｂに電子部品を搭載する電子部品実装装置１に用いられて被駆動体（Ｘ直動機構部６１のＸ軸レール６１ａおよび搭載ヘッド５）を水平方向で直線状に移動させる電子部品実装装置用直動機構において、直動機構１０は、被駆動体の両側にそれぞれ配置されており、電子部品実装装置１の筐体２に固定されたフレーム１１と、被駆動体に固定されたベース１２と、ベース１２における垂直面１２Ａｂに取り付けられた移動子１３ａ、およびフレーム１１における垂直面１１ａに取り付けられた固定子１３ｂが被駆動体を移動させる水平方向（Ｙ方向）に対して直交する水平方向に対向配置されたリニアモータ１３と、リニアモータ１３の上方であってフレーム１１における上向きの水平面１１ｂに取り付けられて被駆動体を移動させる方向（Ｙ方向）に延在する摺動レール１４ａ、およびベース１２における下向きの水平面１２Ｂａに取り付けられて摺動レール１４ａの延在方向に沿って移動自在に摺動レール１４ａに嵌合するスライダ１４ｂからなる直動ガイド１４と、リニアモータ１３の下方でフレーム１１に取り付けられて被駆動体を移動させる方向に延在する案内レール１５ａ、およびベース１２側に取り付けられて案内レール１５ａの延在方向に沿って移動自在に案内レール１５ａに係合するローラ（移動部）１５ｂからなる補助ガイド１５と、直動ガイド１４における摺動レール１４ａへのスライダ１４ｂの嵌合、および補助ガイド１５における案内レール１５ａへのローラ１５ｂの係合を維持しつつ、ベース１２の垂直方向の変位を許容する可動部と、を含む。

この電子部品実装装置用直動機構によれば、被駆動体の両側において、移動子１３ａおよび固定子１３ｂが被駆動体を移動させる水平方向（Ｙ方向）に対して直交する水平方向に対向配置されたリニアモータ１３を備えることで、リニアモータ１３の水平方向の寸法を減少させることができ、これにより電子部品実装装置１の大型化を抑えることが可能になる。

一方、摺動レール１４ａにスライダ１４ｂが嵌合する直動ガイド１４を、リニアモータ１３の上方に配置するとともに、フレーム１１における上向きの水平面１１ｂに摺動レール１４ａを取り付け、ベース１２における下向きの水平面１２Ｂａにスライダ１４ｂを取り付けたことから、当該直動ガイド１４によって、被駆動体を支持するための垂直方向の荷重を受けることが可能になる。しかも、リニアモータ１３の移動子１３ａと固定子１３ｂとの対向方向で案内レール１５ａにローラ１５ｂが接触する補助ガイド１５を、リニアモータ１３の下方に配置することで、リニアモータ１３が作用する水平方向の吸引力を受けることが可能になる。しかも、補助ガイド１５は、案内レール１５ａにローラ（移動部）１５ｂが接触する可動部として構成され、ベース１２の垂直方向の変位を許容することから、直動ガイド１４の取り付けに高い精度が要求されない。この結果、直動ガイド１４は１つの構成でよく、複数の直動ガイドを用いることと比較して直動ガイド１４の取り付けに高い精度が要求されず、容易に真直度を確保することが可能になる。

従って、この電子部品実装装置用直動機構によれば、電子部品実装装置１の大型化を抑えつつ被駆動体の両側にリニアモータ１３を配置し、被駆動体（Ｘ直動機構部６１のＸ軸レール６１ａおよび搭載ヘッド５）を移動させるための駆動を高速化して電子部品の搭載時間の短縮化を図ることができ、かつ直動ガイド１４の真直度を確保して駆動が高速化されても直動ガイド１４の寿命の減少を抑えることができる。

また、本実施形態の電子部品実装装置用直動機構は、可動部が、補助ガイド１５において、リニアモータ１３の下方であってフレーム１１における垂直面１１ａに取り付けられて被駆動体を移動させる方向（Ｙ方向）に延在する案内レール１５ａ、およびベース１２における垂直面１２Ａｂに取り付けられて案内レール１５ａに対してリニアモータ１３の移動子１３ａと固定子１３ｂとの対向方向で接触しつつ案内レール１５ａの延在方向に沿って転動可能に設けられた移動部としてのローラ１５ｂからなることが好ましい。

この電子部品実装装置用直動機構によれば、案内レール１５ａと、当該案内レール１５ａに接触するローラ１５ｂとからなる簡素な構成により可動部を得ることが可能になる。

また、本実施形態の電子部品実装装置用直動機構は、図４の直動機構の調整機構を示す概略正面図に示すように、フレーム１１における垂直面１１ａと案内レール１５ａとの間に案内レール１５ａとローラ１５ｂとの接触を調整するシム１６ａを含むことが好ましい。

この電子部品実装装置用直動機構によれば、シム１６ａがスペーサとなって案内レール１５ａにおけるローラ１５ｂと接触する滑走面の垂直に対する角度が調整される。このため、案内レール１５ａの滑走面の位置精度が向上するので、案内レール１５ａの滑走面とローラ１５ｂとの接触を円滑にし、駆動が高速化されても補助ガイド１５および直動ガイド１４の寿命の減少を抑えることができる。

また、本実施形態の電子部品実装装置用直動機構は、図４に示すように、ベース１２における垂直面１２Ａｂとローラ１５ｂの回転支持部１５ｃとの間に案内レール１５ａとローラ１５ｂとの接触を調整するシム１６ｂを含むことが好ましい。

この電子部品実装装置用直動機構によれば、シム１６ｂがスペーサとなってローラ１５ｂと当該ローラ１５ｂが接触する案内レール１５ａの滑走面との間隔が調整される。このため、ローラ１５ｂと案内レール１５ａの滑走面との隙間がなくなるので、案内レール１５ａの滑走面とローラ１５ｂとの接触を確保し、駆動が高速化されても補助ガイド１５および直動ガイド１４の寿命の減少を抑えることができる。

また、本実施形態の電子部品実装装置用直動機構は、図５の直動機構の補助ガイドを示す概略正面図に示すように、ローラ１５ｂを回転可能に支持するベアリング１７を含むことが好ましい。

ベアリング１７は、ローラ１５ｂの内輪として配置され、回転支持部１５ｃに軸１５ｄを介して取り付けられる。この電子部品実装装置用直動機構によれば、ベアリング１７によりローラ１５ｂの回転を円滑にし、駆動が高速化されても補助ガイド１５および直動ガイド１４の寿命の減少を抑えることができる。

［実施形態２］
以下に、本実施形態に係る直動機構１０を有するＹ直動機構部６２について説明する。図６は、本実施形態に係る直動機構の概略平面図であり、図７は、本実施形態に係る直動機構の概略正面図である。

なお、本実施形態の直動機構は、上述した実施形態１の直動機構に対し、補助ガイドおよび可動部の構成が異なり、他の構成は同様である。従って、以下では、実施形態１と同等部分には同一の符号を付してその説明を省略する。

補助ガイド１５は、案内レール１５ｄと、スライダ（移動部）１５ｅとを有している。案内レール１５ｄは、リニアモータ１３の下方であって、フレーム１１における垂直面１１ａに固定された固定部材１８に取り付けられている。固定部材１８は、断面Ｌ字形状に形成され、被駆動体を移動させるＹ方向に沿って延在して設けられている。この固定部材１８は、断面Ｌ字形状の一片がフレーム１１の垂直面１１ａに固定され、断面Ｌ字形状の他片が、フレーム１１の垂直面１１ａからベース１２の垂直部１２Ａに向けて水平方向（Ｘ方向）に延在する。案内レール１５ｄは、この固定部材１８の他片における下向きの水平面１８ａに取り付けられ、被駆動体を移動させるＹ方向に沿って延在して設けられている。

スライダ１５ｅは、ベース１２における垂直部１２Ａの垂直面１２Ａａに取り付けられた支持部材１９に取り付けられている。支持部材１９は、断面Ｌ字形状に形成されている。この支持部材１９は、断面Ｌ字形状の一片がベース１２における垂直部１２Ａの垂直面１２Ａａに対して垂直方向に調整移動可能に取り付けられ、断面Ｌ字形状の他片が、ベース１２の垂直部１２Ａの下端をくぐりフレーム１１に向けて水平方向（Ｘ方向）に延在し、その上向きの水平面１９ａが固定部材１８の下向きの水平面１８ａに垂直方向で対向する。スライダ１５ｅは、この支持部材１９の他片における水平面１９ａに取り付けられている。スライダ１５ｅは、案内レール１５ｄの延在方向であるＹ方向に沿って移動自在に案内レール１５ｄに嵌合する。また、スライダ１５ｅは、支持部材１９に対して複数箇所（本実施形態では２箇所）に設けられている。

また、支持部材１９の垂直方向の調整移動は、例えば、ベース１２の垂直部１２Ａまたは支持部材１９の一片に垂直方向に長い長穴が設けられ、支持部材１９の一片またはベース１２の垂直部１２Ａが、この長穴に対してネジで固定される。他に、ベース１２の垂直部１２Ａと支持部材１９の一片とが凹凸の嵌合により相対的に垂直方向に移動可能に設けられ、互いにネジで固定されてもよい。

各直動機構１０を組み付ける場合、まず、Ｘ方向の一方（例えば、図７左側）の直動ガイド１４の真直度を直定規にて出しフレーム１１に取り付ける。次に、Ｘ方向の他方（例えば、図７右側）の直動ガイド１４、Ｘ方向の両側の補助ガイド１５の平行度を、先に真直度を出した一方の直動ガイド１４を基準として出しフレーム１１に取り付ける。Ｘ直動機構部６１のＸ軸レール６１ａと各直動ガイド１４とは、ベース１２を介して取り付けられる。また、補助ガイド１５は、支持部材１９に取り付けられる。このとき、支持部材１９は、ベース１２に対して垂直方向に移動可能な状態であり、上側の直動ガイド１４とその下側の補助ガイド１５との高さ交差は、支持部材１９の移動調整により吸収される。補助ガイド１５は、その上側の直動ガイド１４と上下が反転して配置され、スライダ１５ｅが案内レール１５ｄの下側に配置されている。このため、補助ガイド１５を支持部材１９に取り付ける場合、支持部材１９の下側からネジを挿入するので、リニアモータ１３と支持部材１９との間に距離を大きく取る必要がなく、電子部品実装装置１の大型化を抑えることが可能である。上方のリニアモータ１３側からネジを挿入すると、その分の距離をリニアモータ１３と支持部材１９との間に取らなければならず、上下方向に電子部品実装装置１が大型化してしまう。

このようなＹ直動機構部６２の各直動機構１０は、ベース１２に固定した被駆動体であるＸ直動機構部６１のＸ軸レール６１ａおよび搭載ヘッド５を、直動ガイド１４を介してフレーム１１に支持し、被駆動体を移動させるＹ方向に沿って移動可能とする。また、Ｙ直動機構部６２の各直動機構１０は、補助ガイド１５により、フレーム１１に対するベース１２の水平方向の間隔を確保する。すなわち、リニアモータ１３の移動子１３ａと固定子１３ｂとの対向間隔を確保する。そして、Ｙ直動機構部６２の各直動機構１０は、リニアモータ１３を駆動することで、直動ガイド１４および補助ガイド１５により、フレーム１１に対してベース１２とともに被駆動体を支持しつつＹ方向に沿って移動させる。

また、本実施形態における補助ガイド１５のスライダ（移動部）１５ｅが取り付けられる支持部材１９は、可動部をなす。可動部としての支持部材１９は、ベース１２に対して垂直方向に移動調整可能に取り付けられている。すなわち、支持部材１９は、ベース１２が垂直方向に変位しても案内レール１５ｄへのスライダ１５ｅの嵌合状態は維持される。そして、ベース１２の垂直方向への変位をその移動調整により吸収することから、直動ガイド１４における摺動レール１４ａへのスライダ１４ｂの嵌合状態が維持される。

このように、本実施形態の電子部品実装装置用直動機構は、基板Ｂに電子部品を搭載する電子部品実装装置１に用いられて被駆動体（Ｘ直動機構部６１のＸ軸レール６１ａおよび搭載ヘッド５）を水平方向で直線状に移動させる電子部品実装装置用直動機構において、直動機構１０は、被駆動体の両側にそれぞれ配置されており、電子部品実装装置１の筐体２に固定されたフレーム１１と、被駆動体に固定されたベース１２と、ベース１２における垂直面１２Ａｂに取り付けられた移動子１３ａ、およびフレーム１１における垂直面１１ａに取り付けられた固定子１３ｂが被駆動体を移動させる水平方向（Ｙ方向）に対して直交する水平方向に対向配置されたリニアモータ１３と、リニアモータ１３の上方であってフレーム１１における上向きの水平面１１ｂに取り付けられて被駆動体を移動させる方向（Ｙ方向）に延在する摺動レール１４ａ、およびベース１２における下向きの水平面１２Ｂａに取り付けられて摺動レール１４ａの延在方向に沿って移動自在に摺動レール１４ａに嵌合するスライダ１４ｂからなる直動ガイド１４と、リニアモータ１３の下方でフレーム１１に取り付けられて被駆動体を移動させる方向に延在する案内レール１５ｄ、およびベース１２側に取り付けられて案内レール１５ｄの延在方向に沿って移動自在に案内レール１５ｄに嵌合するスライダ（移動部）１５ｅからなる補助ガイド１５と、直動ガイド１４における摺動レール１４ａへのスライダ１４ｂの嵌合、および補助ガイド１５における案内レール１５ｄへのスライダ１５ｅの係合を維持しつつ、ベース１２の垂直方向の変位を許容する可動部と、を含む。

この電子部品実装装置用直動機構によれば、被駆動体の両側において、移動子１３ａおよび固定子１３ｂが被駆動体を移動させる水平方向（Ｙ方向）に対して直交する水平方向に対向配置されたリニアモータ１３を備えることで、リニアモータ１３の水平方向の寸法を減少させることができ、これにより電子部品実装装置１の大型化を抑えることが可能になる。

一方、摺動レール１４ａにスライダ１４ｂが嵌合する直動ガイド１４を、リニアモータ１３の上方に配置するとともに、フレーム１１における上向きの水平面１１ｂに摺動レール１４ａを取り付け、ベース１２における下向きの水平面１２Ｂａにスライダ１４ｂを取り付けたことから、当該直動ガイド１４によって、被駆動体を支持するための垂直方向の荷重を受けることが可能になる。しかも、補助ガイド１５を、リニアモータ１３の下方に配置することで、リニアモータ１３が作用する水平方向の吸引力を受けることが可能になる。しかも、補助ガイド１５は、スライダ（移動部）１５ｅが垂直方向に移動調整可能な可動部としての支持部材１９を介してベース１２に取り付けられ、ベース１２の垂直方向の変位を許容することから、直動ガイド１４の取り付けに高い精度が要求されない。この結果、直動ガイド１４は１つの構成でよく、複数の直動ガイドを用いることと比較して直動ガイド１４の取り付けに高い精度が要求されず、容易に真直度を確保することが可能になる。

従って、この電子部品実装装置用直動機構によれば、電子部品実装装置１の大型化を抑えつつ被駆動体の両側にリニアモータ１３を配置し、被駆動体（Ｘ直動機構部６１のＸ軸レール６１ａおよび搭載ヘッド５）を移動させるための駆動を高速化して電子部品の搭載時間の短縮化を図ることができ、かつ直動ガイド１４の真直度を確保して駆動が高速化されても直動ガイド１４の寿命の減少を抑えることができる。

また、本実施形態の電子部品実装装置用直動機構は、可動部が、補助ガイド１５のスライダ（移動部）１５ｅを支持する支持部材１９を、ベース１２に対して垂直方向に調整移動可能に設け、案内レール１５ｄがフレーム１１側における下向きの水平面１８ａに取り付けられ、スライダ（移動部）１５ｅが支持部材１９における上向きの水平面１９ａに取り付けられていることが好ましい。

この電子部品実装装置用直動機構によれば、上述したように、補助ガイド１５のスライダ１５ｅを支持部材１９に取り付ける場合、リニアモータ１３を避けて下側から取り付け作業を行えるため、リニアモータ１３側に取り付け作業の領域を用意しなくてもよく、電子部品実装装置１の大型化を抑えつつ可動部を得ることが可能になる。しかも、直動ガイドと補助ガイドとが、上下で互いに平行な面に取り付けられているため、組み付け時には水平方向の平行度のみ出すことで、精度を確保することが可能である。

１ 電子部品実装装置
２ 筐体
１０ 直動機構
１１ フレーム
１１ａ 垂直面
１１ｂ 水平面
１２ ベース
１２Ａ 垂直部
１２Ａａ 垂直面
１２Ａｂ 垂直面
１２Ｂ 水平部
１２Ｂａ 水平面
１３ リニアモータ
１３ａ 移動子
１３ｂ 固定子
１４ 直動ガイド
１４ａ 摺動レール
１４ｂ スライダ
１５ 補助ガイド
１５ａ 案内レール
１５ｂ ローラ（移動部：可動部）
１５ｃ 回転支持部
１５ｄ 案内レール
１５ｅ スライダ（移動部）
１６ａ シム
１６ｂ シム
１７ ベアリング
１９ 支持部材（可動部）

Claims (5)

1. 基板に電子部品を搭載する電子部品実装装置に用いられて被駆動体を水平方向で直線状に移動させる電子部品実装装置用直動機構において、
   前記直動機構は、前記被駆動体の両側にそれぞれ配置されており、
   前記電子部品実装装置の筐体に固定されたフレームと、
   被駆動体に固定されたベースと、
   前記ベースにおける垂直面に取り付けられた移動子、および前記フレームにおける垂直面に取り付けられた固定子が前記被駆動体を移動させる水平方向に対して直交する水平方向に対向配置されたリニアモータと、
   前記リニアモータの上方で前記フレームにおける上向きの水平面に取り付けられて前記被駆動体を移動させる方向に延在する摺動レール、および前記ベースにおける下向きの水平面に取り付けられて前記摺動レールの延在方向に沿って移動自在に前記摺動レールに嵌合するスライダからなる直動ガイドと、
   前記リニアモータの下方で前記フレームに取り付けられて前記被駆動体を移動させる方向に延在する案内レール、および前記ベース側に取り付けられて前記案内レールの延在方向に沿って移動自在に前記案内レールに係合する移動部からなる補助ガイドと、
   前記直動ガイドにおける前記摺動レールへの前記スライダの嵌合、および前記補助ガイドにおける前記案内レールへの前記移動部の係合を維持しつつ、前記ベースの垂直方向の変位を許容する可動部と、
   を含み、
   前記可動部が、前記補助ガイドにおいて、前記リニアモータの下方であって前記フレームにおける前記垂直面に取り付けられて前記被駆動体を移動させる方向に延在する前記案内レール、および前記ベースにおける前記垂直面に取り付けられて前記案内レールに対して前記リニアモータの前記移動子と前記固定子との対向方向で接触しつつ前記案内レールの延在方向に沿って転動可能に設けられた移動部としてのローラからなることを特徴とする電子部品実装装置用直動機構。
2. 前記フレームにおける垂直面と前記案内レールとの間に前記案内レールと前記ローラとの接触を調整するシムを含むことを特徴とする請求項１に記載の電子部品実装装置用直動機構。
3. 前記ベースにおける垂直面と前記ローラとの間に前記案内レールと前記ローラとの接触を調整するシムを含むことを特徴とする請求項１または２に記載の電子部品実装装置用直動機構。
4. 前記ローラを回転可能に支持するベアリングを含むことを特徴とする請求項１〜３の何れか１つに記載の電子部品実装装置用直動機構。
5. 基板に電子部品を搭載する電子部品実装装置に用いられて被駆動体を水平方向で直線状に移動させる電子部品実装装置用直動機構において、
   前記直動機構は、前記被駆動体の両側にそれぞれ配置されており、
   前記電子部品実装装置の筐体に固定されたフレームと、
   被駆動体に固定されたベースと、
   前記ベースにおける垂直面に取り付けられた移動子、および前記フレームにおける垂直面に取り付けられた固定子が前記被駆動体を移動させる水平方向に対して直交する水平方向に対向配置されたリニアモータと、
   前記リニアモータの上方で前記フレームにおける上向きの水平面に取り付けられて前記被駆動体を移動させる方向に延在する摺動レール、および前記ベースにおける下向きの水平面に取り付けられて前記摺動レールの延在方向に沿って移動自在に前記摺動レールに嵌合するスライダからなる直動ガイドと、
   前記リニアモータの下方で前記フレームに取り付けられて前記被駆動体を移動させる方向に延在する案内レール、および前記ベース側に取り付けられて前記案内レールの延在方向に沿って移動自在に前記案内レールに係合する移動部からなる補助ガイドと、
   前記直動ガイドにおける前記摺動レールへの前記スライダの嵌合、および前記補助ガイドにおける前記案内レールへの前記移動部の係合を維持しつつ、前記ベースの垂直方向の変位を許容する可動部と、
   を含み、
   前記可動部が、前記補助ガイドの前記移動部を支持する支持部材を、前記ベースに対して垂直方向に調整移動可能に設け、前記案内レールが前記フレーム側における下向きの水平面に取り付けられ、前記移動部が前記支持部材における上向きの水平面に取り付けられていることを特徴とする電子部品実装装置用直動機構。

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