CN103841815A - 电子部件安装装置用直动机构 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种电子部件安装装置用直动机构，其抑制装置的大型化，确保直动引导部的竖直度和平行度。其配置在被驱动体的两侧，包含：固定框架；基座；线性电动机；直动引导部，其由滑动导轨和滑块构成，该滑动导轨安装在线性电动机的上方且框架中的朝上的水平面上，该滑块安装在基座中的朝下的水平面上，沿滑动导轨移动；辅助引导部，其由导轨和滚轮构成，该导轨安装在线性电动机的下方且框架的垂直面上，沿与滑动导轨相同的方向延伸，该滚轮安装在基座的垂直面上，在线性电动机的移动件和固定件的相对方向上与导轨接触，沿导轨滚动；以及可动部，其在维持直动引导部的嵌合和辅助引导部的卡合的同时，容许基座的垂直方向的位移。

Description

电子部件安装装置用直动机构

技术领域

本发明涉及一种在电子部件安装装置中使得用于向基板搭载电子部件的搭载头移动的直动机构。

背景技术

通常，向基板上搭载电子部件的电子部件安装装置，具有具备吸附吸嘴的搭载头，利用该吸附吸嘴保持电子部件，并将该电子部件向基板上搭载。电子部件安装装置具有移动部，该移动部使搭载头向与基板的表面平行的方向移动。移动部由下述部分构成：第一直动机构部，其使搭载头向与基板的表面平行的第一方向（Y方向）以直线状移动；以及第二直动机构部，其使搭载头向与基板的表面平行且与第一方向正交的第二方向（X方向）以直线状移动。

当前，例如在专利文献1中示出了一种直动机构（第一直动机构部），其配置在用于将电子部件向基板安装的安装作业的电子部件安装用装置中，利用线性电动机将被驱动体向第一方向直线驱动。该直动机构由下述部分构成：导轨，其配置在架台上，用于将被驱动体（搭载头）向第一方向引导；连结部件，其与被驱动体结合，具有可自由滑动地与导轨嵌合的滑块；线性电动机，其以使固定件和可动件的相对方向朝向被驱动体侧的姿态配置在第一方向上；固定件保持部，其将固定件固定保持在第一方向上；移动板，其与可动件的背面结合且与连结部件结合；导轨，其配置在固定件保持部的侧面，与在移动板的上端部安装的引导滚轮抵接；导轨，其配置在固定件保持部的侧面，与在移动板的下端部紧固的滑块嵌合。

专利文献1：日本专利第4039342号公报

在直动机构中，第一直动机构（Y轴直动机构）在对作为被驱动体的第二直动机构（X轴直动机构）的两端进行支撑的状态下，使该第二直动机构向与通过第二直动机构实现的搭载头的移动方向（第二方向）正交的第一方向移动。对于这种结构的第一直动机构，为了实现电子部件搭载时间的缩短，而要求用于使搭载头移动的驱动高速化。为了应对该要求，而期望在第二直动机构的两端侧分别配置线性电动机的第一直动机构。

但是，在构成为在第二直动机构的两端侧分别配置线性电动机的情况下，存在使电子部件安装装置大型化的问题。例如，如图8所示，如果使线性电动机113的固定件113b和可动件113a的相对方向朝向垂直方向而配置，则线性电动机113在水平方向（X方向）上具有较大的宽度W0，因此使电子部件安装装置大型化。

另一方面，如果例如如专利文献1所示将线性电动机的固定件和可动件的相对方向朝向水平方向而配置，则需要用于承受线性电动机所作用的水平方向的吸引力的直动引导部（导轨以及滑块）、以及用于承受垂直方向的负载以支撑第二直动机构的直动引导部。如果直动引导部自身的竖直度降低，则大幅度减少寿命。另外，在利用多个直动引导部对被驱动体进行支撑的情况下，如果彼此的平行度差，则寿命减少。

因此，在如专利文献1所示，分别具有承受水平方向力的直动引导部和承受垂直方向力的直动引导部的情况下，为了确保竖直度以及彼此的平行度，而对彼此的安装要求高精度。在专利文献1中，为了缓和对直动引导部彼此的安装要求的高精度，而构成为，利用凸部和槽部的嵌合，使承受水平方向力的直动引导部侧仅在第一方向上向承受垂直方向力的直动引导部侧作用约束力。其结果，部件个数变多，导致第一直动机构大型化。此外，在专利文献1中构成为，仅在第二直动机构的一端侧设置线性电动机。

如图8所示，在同一水平面上安装用于承受第二直动机构（X轴直动机构）的垂直方向的负载的直动引导部114和线性电动机113，以及用于承受该吸引力的直动引导部114的情况下，结构简单，易于实现竖直度以及彼此的平行度。但是，第一直动机构变长，使装置大型化。

作为避免大型化的方法，例如考虑如图9所示的结构。是将直动引导部114配置在与水平方向垂直方向上的情况。如果是该结构，则可以在水平方向（X方向）上得到较小的宽度W1。但是，如果这样配置，则为了满足直动引导部114的寿命，而必须对安装各个导轨的框架111的安装面111a、111b之间的直角角度进行精密的机械加工。其结果，在要求高速移动的直动机构中，从加工成本上以及加工技术上均难以实现所需加工精度。另外，在正交的面上，难以确保多个直动引导部彼此的平行度。

发明内容

本发明用于解决上述课题，其目的在于，提供一种电子部件安装装置用直动机构，其能够在被驱动体的两端侧配置线性电动机的基础上，抑制电子部件安装装置的大型化，并且确保直动引导部的不会使寿命减少的竖直度和平行度。

为了实现上述目的，第1发明的电子部件安装装置用直动机构在向基板上搭载电子部件的电子部件安装装置中使用，使被驱动体在水平方向上以直线状移动，其特征在于，所述直动机构分别配置在所述被驱动体的两侧，包含下述部分：框架，其固定在所述电子部件安装装置的框体上；基座，其固定在所述被驱动体上；线性电动机，其将安装在所述基座中的垂直面上的移动件、以及安装在所述框架中的垂直面上的固定件，沿与作为基板的输送方向的X方向正交的Y方向而相对配置；直动引导部，其由滑动导轨和滑块构成，该滑动导轨安装在所述线性电动机的上方且所述框架中的朝上的水平面上，沿所述Y方向延伸，该滑块安装在所述基座中的朝下的水平面上，沿所述Y方向可自由移动地与所述滑动导轨嵌合；辅助引导部，其由导轨和移动部构成，该导轨安装在所述线性电动机的下方且所述框架上，沿所述Y方向延伸，该移动部安装在所述基座侧，沿所述Y方向可自由移动地与所述导轨卡合；以及可动部，其在维持所述滑块向所述直动引导部中的所述滑动导轨的嵌合、以及所述移动部向所述辅助引导部中的所述导轨的卡合的同时，容许所述基座的垂直方向的位移。

根据该电子部件安装装置用直动机构，在被驱动体的两侧具有将移动件以及固定件沿Y方向相对配置的线性电动机，因此，可以减少线性电动机的水平方向的尺寸，由此可以抑制电子部件安装装置的大型化。

并且，辅助引导部由沿Y方向可自由移动地与上述导轨卡合的移动部构成。其结果，直动引导部为1个的结构即可，与使用多个直动引导部的情况相比，对于直动引导部的安装不要求高精度，可以容易地确保竖直度。

另一方面，在线性电动机的上方配置使滑块与滑动导轨嵌合的直动引导部，并且，在框架中的朝上的水平面上安装滑动导轨，在基座中的朝下的水平面上安装滑块，因此，可以利用该直动引导部，承受用于支撑被驱动体的垂直方向的负载。并且，通过在线性电动机的下方配置辅助引导部，从而可以承受线性电动机所作用的水平方向的吸引力。并且，可动部不对直动引导部和辅助引导部造成影响，容许基座的垂直方向的位移，因此，对于直动引导部的安装不要求高精度。其结果，直动引导部为1个的结构即可，与使用多个直动引导部的情况相比，对于直动引导部的安装不要求高精度，可以容易地确保竖直度。

因此，根据该电子部件安装装置用直动机构，在抑制电子部件安装装置的大型化的同时，在被驱动体的两侧配置线性电动机，使得用于使被驱动体移动的驱动高速化，可以缩短电子部件的搭载时间，并且，确保直动引导部的竖直度，即使驱动高速化，也可以抑制直动引导部寿命的减少。

另外，第2发明的电子部件安装装置用直动机构的特征在于，在第1发明中，所述可动部由所述导轨和作为移动部的滚轮构成，所述导轨在所述辅助引导部中，安装在所述线性电动机的下方且所述框架中的所述垂直面上，沿所述Y方向延伸，该滚轮安装在所述基座中的所述垂直面上，在所述线性电动机的所述移动件和所述固定件之间的相对方向上与所述导轨接触的同时，沿所述Y方向可转动地设置。

根据该电子部件安装装置用直动机构，通过由导轨和与该导轨接触的滚轮构成的简单结构，从而可以得到可动部。

另外，第3发明的电子部件安装装置用直动机构的特征在于，在第2发明中，在所述框架中的垂直面和所述导轨之间包含垫片，其对所述导轨和所述滚轮之间的接触进行调整。

根据该电子部件安装装置用直动机构，垫片成为间隔物，对相对于导轨中的与滚轮接触的滑动面的垂直的角度进行调整。因此，提高导轨的滑动面的位置精度，因此，顺利地实现导轨的滑动面和滚轮的接触，即使驱动高速化，也可以抑制辅助引导部以及直动引导部寿命的减少。

另外，第4发明的电子部件安装装置用直动机构的特征在于，在第2或第3发明中，在所述基座中的垂直面和所述滚轮之间包含垫片，其对所述导轨和所述滚轮之间的接触进行调整。

根据该电子部件安装装置用直动机构，垫片成为间隔物，对滚轮和该滚轮所接触的导轨的滑动面之间的间隔进行调整。因此，消除滚轮和导轨的滑动面的间隙，因此，确保导轨的滑动面和滚轮的接触，即使驱动高速化，也可以抑制辅助引导部以及直动引导部寿命的减少。

另外，第5发明的电子部件安装装置用直动机构的特征在于，在第2至第4发明中的任一个发明中，包含可旋转地支撑所述滚轮的轴承。

根据该电子部件安装装置用直动机构，可以利用轴承顺利地实现滚轮的旋转，即使驱动高速化，也可以抑制辅助引导部以及直动引导部寿命的减少。

另外，第6发明的电子部件安装装置用直动机构的特征在于，在第1发明中，所述可动部以能够相对于所述基座沿垂直方向进行调整移动的方式，设置用于对所述辅助引导部的所述移动部进行支撑的支撑部件，所述导轨安装在所述框架侧的朝下的水平面上，所述移动部安装在所述支撑部件中的朝上的水平面上。

在将辅助引导部的移动部向支撑部件上安装的情况下，能够避开线性电动机而从下侧进行安装作业，因此，可以不在线性电动机侧准备安装作业的区域，可以在抑制电子部件安装装置大型化的同时得到可动部。并且，由于直动引导部和辅助引导部安装在沿上下彼此平行的面上，所以在组装时，仅实现水平方向的平行度，因此可以确保精度。

发明的效果

根据本发明，能够在被驱动体的两端侧配置线性电动机的基础上，抑制电子部件安装装置的大型化，并且确保直动引导部的不会使寿命减少的竖直度和平行度。

附图说明

图1是表示电子部件安装装置的概略结构的概略俯视图。

图2是本发明的实施方式1所涉及的直动机构的概略俯视图。

图3是本发明的实施方式1所涉及的直动机构的概略正视图。

图4是表示本发明的实施方式1所涉及的直动机构的调整机构的概略正视图。

图5是表示本发明的实施方式1所涉及的直动机构的辅助引导部的概略正视图。

图6是本发明的实施方式2所涉及的直动机构的概略俯视图。

图7是本发明的实施方式2所涉及的直动机构的概略正视图。

图8是现有技术例所涉及的直动机构的概略正视图。

图9是现有技术例所涉及的直动机构的概略正视图。

符号的说明

1电子部件安装装置

2框体

10直动机构

11框架

11a垂直面

11b水平面

12基座

12A垂直部

12Aa垂直面

12Ab垂直面

12B水平部

12Ba水平面

13线性电动机

13a移动件

13b固定件

14直动引导部

14a滑动导轨

14b滑块

15辅助引导部

15a导轨

15b滚轮（移动部：可动部）

15c旋转支撑部

15d导轨

15e滑块（移动部）

16a垫片

16b垫片

17轴承

19支撑部件（可动部）

具体实施方式

下面，参照附图，对本发明进行详细说明。此外，本发明并不由下述用于实施发明的方式（以下称为实施方式）限定。另外，在下述实施方式中的构成要素中，包含本领域技术人员可以容易想到的要素、实质上相同的要素等所谓等同范围内的要素。另外，在下述实施方式中公开的构成要素可以适当组合。

下面，基于附图，对本发明所涉及的电子部件安装装置的实施方式进行详细说明。此外，本发明并不受本实施方式限定。图1是表示电子部件安装装置的概略结构的示意图。

此外，如以下的说明所示，在输送基板的水平面中，将输送基板的方向作为X方向，将与X方向正交的方向作为Y方向。另外，将与X方向、Y方向正交的方向作为上下方向。

图1所示的电子部件安装装置1是向基板B上搭载电子部件的装置。作为电子部件安装装置1，在框体2中配置有基板输送部3、电子部件供给装置4、搭载头5、移动部6、吸嘴更换部7、电子部件识别部8、以及电子部件储存部9。

框体2在矩形状的主体2a的4个面上具有前罩2b、后罩2c以及两个侧部罩2d、2d，作为用于收容构成电子部件安装装置1的各部分的箱体而构成。该框体2在主体2a中配置有电子部件供给搭载部1A，该电子部件供给搭载部1A具有基板输送部3、电子部件供给装置4、搭载头5以及移动部6。另外，虽然在图中没有明确示出，但框体2在前罩2b上配置有操作部以及显示部。另外，框体2在一个（例如图1中左侧）的侧部罩2d上，设置有用于将输送至电子部件供给搭载部1A的基板输送部3的基板B向框体2内搬入的搬入口2da。另外，框体2在另一个（例如图1中右侧）的侧部罩2d中，设置有用于将从电子部件供给搭载部1A的基板输送部3输送的基板B向框体2外排出的排出口2db。

对电子部件供给搭载部1A进行说明。基板输送部3在将框体2的前后作为Y方向的情况下，向在水平方向上与该Y方向正交的X方向输送基板B。基板输送部3具有输送机构，该输送机构基于沿X方向延伸的一对导轨3a，对以搭载对象面为上表面的基板B进行支撑，同时沿导轨3a向X方向移动。该基板输送部3将从向框体2内供给基板B的设备经由搬入口2da供给的基板B，输送至导轨3a的延伸方向的规定位置。在该规定位置向基板B的搭载对象面上搭载电子部件。另外，基板输送部3将在搭载对象面上搭载有电子部件的基板B，从规定位置向导轨3a的延伸方向输送，经由排出口2db向框体2外排出，并向下一个工序（例如，回流工序）的设备传递。此外，作为基板输送部3的输送机构，可以使用各种结构，例如，可以使用传送带方式的输送机构，在这种方式的输送机构中，将沿基板B的输送方向配置的导轨3a和沿导轨3a循环的环形带（未图示）组合，在将基板B载置于环形带上的状态下进行输送。

在这里，基板B只要是用于搭载电子部件的部件即可，其结构不特别地限定。本实施方式的基板B是板状部件，表面设置有配线图案。另外，在基板B上的配线图案的表面，附着作为利用回流将配线图案和电子部件接合的接合部件的焊料。

电子部件供给装置4分别配置在基板输送部3的前侧及后侧，对多个向基板B搭载的电子部件进行保持，在能够向搭载头5供给、即能够利用搭载头5吸附保持的状态下，将电子部件向保持位置供给。电子部件供给装置4对在凹部中保持电子部件并利用密封材料将凹部密封而形成的保持带进行输送，并且去除保持带的密封材料，使凹部内的电子部件露出，成为能够利用搭载头5吸附保持的状态。这种保持带供给器方式的轨道4a沿Y方向延伸，并且沿X方向并列设置多个。此外，电子部件供给装置4并不限定于保持带供给器方式。

搭载头5对电子部件供给装置4的电子部件进行保持，将该电子部件向在基板输送部3中输送至规定位置的基板B上搭载。搭载头5设置为能够通过移动部6进行移动，以使电子部件从电子部件供给装置4向基板B移动。

虽然在图中没有明确示出，但搭载头5具有多个（例如，6个）吸嘴以及吸嘴驱动部。吸嘴沿X方向配置为一列。各吸嘴是吸附电子部件的吸附机构，安装有用于吸附保持电子部件的吸附吸嘴。另外，各吸嘴具有用于装卸吸附吸嘴的装卸机构。吸嘴驱动部具有：移动机构，其使吸嘴沿上下方向（与X方向以及Y方向正交的方向）移动；以及吸引机构，其从吸嘴吸引空气。另外，虽然在图中没有明确示出，但搭载头5具有拍摄装置和高度传感器。拍摄装置为了对搭载头5的下方区域、例如基板B或搭载有电子部件的基板B等进行拍摄，具有照相机和照明装置，在利用照明装置对视野进行照明的同时，利用照相机取得图像。高度传感器是对搭载头5的下方区域、例如与基板B或搭载有电子部件的基板B之间的距离进行测量的部件，可以使用激光传感器，该激光传感器具有照射激光的发光元件、以及对反射回来的激光进行受光的受光元件，根据发出激光后直至受光为止的时间，对与相对部分之间的距离进行测量。另外，高度传感器使用测定时的自身位置以及基板B的位置，对电子部件的高度进行检测。

移动部6是使搭载头5向X方向以及Y方向以直线状移动的机构。因此，移动部6包含X直动机构部61和Y直动机构部62。X直动机构部61具有沿X方向延伸的X轴导轨61a，在该X轴导轨61a上支撑搭载头5，并且沿X轴导轨61a的延伸方向使搭载头5向X方向移动。作为使搭载头5向X方向移动的机构，采用使用线性电动机的输送机构。

Y直动机构部62具有本实施方式中的直动机构10，对X直动机构部61的X轴导轨61a的两端部进行支撑，同时使作为被驱动体的X直动机构部61的X轴导轨61a以及搭载头5沿Y方向移动。该Y直动机构部62的详细内容在后面记述。

在本实施方式中，吸嘴更换部7设置在基板输送部3和后侧的电子部件供给装置4之间、且与搭载头5的可动区域重合的位置上。吸嘴更换部7载置有更换用的吸附吸嘴。吸嘴更换部7具有用于插入保持多个吸附吸嘴的多个吸嘴保持孔7a。载置于该吸嘴更换部7上的吸附吸嘴是能够与大小及形状等种类不同的电子部件相对应而进行吸附保持的多个种类，该多个种类的各个吸附吸嘴插入保持在各吸嘴保持孔7a中。

此外，电子部件安装装置1具有对吸嘴更换部7所保持的吸附吸嘴的种类进行检测的功能。作为该功能，例如，吸嘴更换部7构成为，包含从吸嘴保持孔7a的下方照射光的照射装置7b。在吸嘴更换部7中，各吸嘴保持孔7a分别形成为相同的形状。另一方面，种类不同的吸附吸嘴插入保持在各吸嘴保持孔7a中，但各自的形状不同。因此，从照射装置7b照射的光透过形状相同的吸嘴保持孔7a和形状不同的吸附吸嘴之间的间隙，因此，与种类不同的吸附吸嘴分别相对应而使透过面积及透过量不同。另外，安装吸附吸嘴的搭载头5构成为，包含对从照射装置7b照射的光的透过面积及透过量进行拍摄的照相机5a。即，利用搭载头5的照相机5a对从照射装置7b照射的光的透过面积及透过量进行拍摄。并且，通过对拍摄的光的透过面积及透过量进行解析，从而可以对吸嘴更换部7所保持的吸附吸嘴的种类进行检测。

在本实施方式中，电子部件识别部8与吸嘴更换部7一起设置在基板输送部3和后侧的电子部件供给装置4之间、且与搭载头5的可动区域重合的位置上。电子部件识别部8对搭载头5所保持的电子部件进行识别。作为电子部件识别部8，例如存在图像识别装置，其具有从搭载头5的下方进行拍摄的照相机、及对拍摄区域进行照明的照明单元。图像识别装置对利用搭载头5上安装的吸附吸嘴吸附保持的电子部件的状态，即，电子部件的形状及吸附吸嘴的电子部件保持状态进行识别。具体地说，电子部件识别部8在使搭载头5移动至其上方位置后，从铅垂方向下侧对搭载头5的吸附吸嘴进行拍摄。然后，通过对所拍摄的图像进行解析，从而可以对由吸附吸嘴吸附的电子部件的形状、及吸附吸嘴的电子部件保持状态进行识别。

另外，电子部件识别部8例如具有共面检查装置，该共面检查装置测定电子部件所具有的端子的下端部的高度，实施共面检查。另外，电子部件识别部8例如具有对电子部件的容量或电阻进行测定的测定装置。另外，电子部件识别部8例如具有测定利用吸附吸嘴吸附电子部件时对电子部件造成的冲击力的测定装置。这些是在向基板B搭载电子部件的基板B生产中使用频度较低的装置。

此外，识别电子部件的功能也可以设置在搭载头5上。对于该识别电子部件的功能，虽然在图中没有明确示出，但例如存在激光识别装置。激光识别装置具有光源和受光元件。该激光识别装置利用光源从上方对由搭载头5的吸附吸嘴吸附保持的电子部件照射激光，并利用受光元件进行受光。然后，通过对利用受光元件检测出的激光进行解析，从而可以识别电子部件的状态，即，电子部件的形状及吸附吸嘴的电子部件保持状态。如果具有该激光识别装置和上述电子部件识别部8这两者，则可以更准确地识别由吸附吸嘴吸附保持的电子部件的状态。

在本实施方式中，电子部件储存部9与吸嘴更换部7以及电子部件识别部8一起设置在基板输送部3和后侧的电子部件供给装置4之间、且与搭载头5的可动区域重合的位置上。电子部件储存部9是储存由搭载头5利用吸附吸嘴进行了保持但不向基板B上安装的电子部件的箱体。即，在电子部件安装装置1中，成为用于废弃不向基板B上安装的电子部件的废弃箱。电子部件安装装置1在由搭载头5保持的电子部件中存在不向基板B上安装的电子部件的情况下，使搭载头5向与电子部件储存部9相对的位置移动，通过放开所保持的电子部件，从而将电子部件放入电子部件储存部9中。

［实施方式1］

下面，对具有本实施方式所涉及的直动机构10的Y直动机构部62进行说明。图2是本实施方式所涉及的直动机构的概略俯视图，图3是本实施方式所涉及的直动机构的概略正视图。

如上述所示，Y直动机构部62具有本实施方式中的直动机构10。直动机构10分别配置在作为被驱动体的X直动机构部61的X轴导轨61a的两端侧。另外，直动机构10包含框架11、基座12、线性电动机13、直动引导部14以及辅助引导部15而构成。

框架11固定在电子部件安装装置1中的框体2的主体2a上。框架11直立设置在主体2a的上表面，形成为沿使被驱动体移动的Y方向延伸的板状。框架11具有朝向X方向且朝向被驱动体侧的垂直面11a、以及朝上的水平面11b。

基座12具有沿垂直方向延伸的垂直部12A、以及沿水平方向延伸的水平部12B，在正面观察时形成为L字状的剖面形状。垂直部12A配置在框架11和被驱动体之间，具有朝向被驱动体侧的垂直面12Aa、以及与框架11的垂直面11a相对的垂直面12Ab。水平部12B配置在框架11的上方，具有朝下的水平面12Ba。该基座12在垂直部12A的垂直面12Aa上，固定作为被驱动体的X直动机构部61的X轴导轨61a的端部。

线性电动机13具有移动件13a和固定件13b。移动件13a安装在基座12中的垂直部12A的垂直面12Ab上。移动件13a例如沿Y方向并列地设置有至少1对用于产生磁场的电磁铁。固定件13b安装在框架11中的垂直面11a上。固定件13b沿使被驱动体移动的Y方向设置在框架11上。固定件13b例如将永磁铁沿Y方向以磁极交替排列的方式配置。此外，也可以使移动件13a为永磁铁，使固定件13b为电磁铁。该线性电动机13沿Y方向相对配置移动件13a和固定件13b。

直动引导部14具有滑动导轨14a和滑块14b。滑动导轨14a安装在线性电动机13的上方且框架11中的朝上的水平面11b上。滑动导轨14a设置为，沿使被驱动体移动的Y方向延伸。滑块14b安装在基座12中的水平部12B的朝下的水平面12Ba上。滑块14b沿作为滑动导轨14a的延伸方向的Y方向可自由移动地与滑动导轨14a嵌合。另外，滑块14b相对于基座12设置在多个部位（在本实施方式中为2个部位）上。

辅助引导部15具有导轨15a和滚轮（移动部）15b。导轨15a安装在线性电动机13的下方且框架11中的垂直面11a上。导轨15a设置为，沿使被驱动体移动的Y方向延伸。滚轮15b安装在基座12中的垂直部12A的垂直面12Ab上。滚轮15b相对于基座12的垂直面12Ab通过旋转支撑部15c进行安装，设置为能够沿作为导轨15a的延伸方向的Y方向转动。该滚轮15b与导轨15a接触。该接触的方向是线性电动机13的移动件13a和固定件13b的相对方向。另外，滚轮15b相对于基座12设置在多个部位（在本实施方式中为2个部位）上。

这种Y直动机构部62的各直动机构10，将固定在基座12上的作为被驱动体的X直动机构部61的X轴导轨61a以及搭载头5，经由直动引导部14支撑在框架11上。另外，各直动机构10能够沿使被驱动体移动的Y方向移动。

另外，Y直动机构部62的各直动机构10，通过辅助引导部15的导轨15a和滚轮15b的接触，从而确保基座12相对于框架11的水平方向的间隔。即，确保线性电动机13的移动件13a和固定件13b的相对间隔。并且，Y直动机构部62的各直动机构10通过驱动线性电动机13，从而利用直动引导部14以及辅助引导部15，在相对于框架11支撑基座12和被驱动体的同时，使它们沿Y方向移动。

另外，本实施方式中的辅助引导部15的结构形成可动部。可动部维持直动引导部14中的滑块14b与滑动导轨14a的嵌合、以及辅助引导部15中的滚轮15b与导轨15a的卡合，同时，容许基座12的垂直方向的位移。即，辅助引导部15构成为，使滚轮15b与导轨15a接触并转动，因此，即使基座12向垂直方向位移，也维持滚轮15b与导轨15a的卡合状态。并且，由于滚轮15b成为移动部而吸收基座12向垂直方向的位移，所以维持直动引导部14中的滑块14b与滑动导轨14a的嵌合状态。

如上述所示，本实施方式的电子部件安装装置用直动机构，用于向基板B搭载电子部件的电子部件安装装置1，使被驱动体（X直动机构部61的X轴导轨61a以及搭载头5）在水平方向上以直线状移动，在该电子部件安装装置用直动机构中，直动机构10分别配置在被驱动体的两侧，包含下述部分：框架11，其固定在电子部件安装装置1的框体2上；基座12，其固定在被驱动体上；线性电动机13，其将安装在基座12中的垂直面12Ab上的移动件13a、以及安装在框架11中的垂直面11a上的固定件13b沿Y方向相对配置；直动引导部14，其由滑动导轨14a和滑块14b构成，该滑动导轨14a安装在线性电动机13的上方且框架11中的朝上的水平面11b上，沿Y方向延伸，该滑块14b安装在基座12中的朝下的水平面12Ba上，沿Y方向可自由移动地与滑动导轨14a嵌合；辅助引导部15，其由导轨15a和滚轮（移动部）15b构成，该导轨15a安装在线性电动机13的下方且框架11上，沿Y方向延伸，该滚轮（移动部）15b安装在基座12侧，沿Y方向可自由移动地与导轨15a卡合；以及可动部，其维持直动引导部14中的滑块14b向滑动导轨14a的嵌合、以及辅助引导部15中的滚轮15b向导轨15a的卡合，同时容许基座12的垂直方向的位移。

根据该电子部件安装装置用直动机构，在被驱动体的两侧具有将移动件13a以及固定件13b沿Y方向相对配置的线性电动机13，因此，可以减少线性电动机13的水平方向的尺寸，由此可以抑制电子部件安装装置1的大型化。

另一方面，在线性电动机13的上方配置使滑块14b与滑动导轨14a嵌合的直动引导部14，并且，在框架11中的朝上的水平面11b上安装滑动导轨14a，在基座12中的朝下的水平面12Ba上安装滑块14b，因此，可以利用该直动引导部14，承受用于支撑被驱动体的垂直方向的负载。并且，通过在线性电动机13的下方配置以线性电动机13的移动件13a和固定件13b的相对方向使滚轮15b与导轨15a接触的辅助引导部15，因此，可以承受线性电动机13所作用的水平方向的吸引力。

并且，辅助引导部15作为使滚轮（移动部）15b与导轨15a接触的可动部而构成，容许基座12的垂直方向的位移，因此，对于直动引导部14的安装不要求高精度。其结果，直动引导部14为1个的结构即可，与使用多个直动引导部的情况相比，对于直动引导部14的安装不要求高精度，可以容易地确保竖直度。

因此，根据该电子部件安装装置用直动机构，在抑制电子部件安装装置1的大型化的同时，在被驱动体的两侧配置线性电动机13，使得用于使被驱动体（X直动机构部61的X轴导轨61a以及搭载头5）移动的驱动高速化，可以缩短电子部件的搭载时间，并且，确保直动引导部14的竖直度，即使驱动高速化，也可以抑制直动引导部14寿命的减少。

另外，在本实施方式的电子部件安装装置用直动机构中，优选可动部由导轨15a和作为移动部的滚轮15b构成，该导轨15a在辅助引导部15中，安装在线性电动机13的下方且框架11中的垂直面11a上，沿使被驱动体移动的方向（Y方向）延伸，该滚轮15b安装在基座12中的垂直面12Ab上，在线性电动机13的移动件13a和固定件13b的相对方向上与导轨15a接触的同时，沿导轨15a的延伸方向（Y方向）可转动地设置。

根据该电子部件安装装置用直动机构，通过由导轨15a和与该导轨15a接触的滚轮15b构成的简单结构，从而可以得到可动部。

另外，在本实施方式的电子部件安装装置用直动机构中，优选如图4的表示直动机构的调整机构的概略正视图所示，在框架11中的垂直面11a和导轨15a之间包含垫片16a，该垫片16a用于对导轨15a和滚轮15b的接触进行调整。

根据该电子部件安装装置用直动机构，垫片16a成为间隔物，对相对于导轨15a中的与滚轮15b接触的滑动面的垂直的角度进行调整。因此，提高导轨15a的滑动面的位置精度，因此，顺利地实现导轨15a的滑动面和滚轮15b的接触，即使驱动高速化，也可以抑制辅助引导部15以及直动引导部14寿命的减少。

另外，在本实施方式的电子部件安装装置用直动机构中，优选如图4所示，在基座12中的垂直面12Ab和滚轮15b的旋转支撑部15c之间包含垫片16b，该垫片16b对导轨15a和滚轮15b的接触进行调整。

根据该电子部件安装装置用直动机构，垫片16b成为间隔物，对滚轮15b和该滚轮15b所接触的导轨15a的滑动面之间的间隔进行调整。因此，消除滚轮15b和导轨15a的滑动面的间隙，因此，确保导轨15a的滑动面和滚轮15b的接触，即使驱动高速化，也可以抑制辅助引导部15以及直动引导部14寿命的减少。

另外，在本实施方式的电子部件安装装置用直动机构中，优选如图5的表示直动机构的辅助引导部的概略正视图所示，包含可旋转地支撑滚轮15b的轴承17。

轴承17作为滚轮15b的内轮而配置，经由轴15d安装在旋转支撑部15c上。根据该电子部件安装装置用直动机构，可以利用轴承17顺利地实现滚轮15b的旋转，即使驱动高速化，也可以抑制辅助引导部15以及直动引导部14寿命的减少。

［实施方式2］

下面，对具有本实施方式所涉及的直动机构10的Y直动机构部62进行说明。图6是本实施方式所涉及的直动机构的概略俯视图，图7是本实施方式所涉及的直动机构的概略正视图。

此外，本实施方式的直动机构相对于上述实施方式1的直动机构，辅助引导部以及可动部的结构不同，其他结构相同。因此，以下，对于与实施方式1相同的部分，标注相同的标号，省略其说明。

辅助引导部15具有导轨15d和滑块（移动部）15e。导轨15d安装在线性电动机13的下方且框架11中的垂直面11a上所固定的固定部件18上。固定部件18的剖面形成为L字形状，设置为沿使被驱动体移动的Y方向延伸。在该固定部件18中，剖面L字形状的一边固定在框架11的垂直面11a上，剖面L字形状另一边从框架11的垂直面11a向基座12的垂直部12A沿水平方向（X方向）延伸。导轨15d安装在该固定部件18的另一边中的朝下的水平面18a上，设置为沿使被驱动体移动的Y方向延伸。

滑块15e安装在支撑部件19上，该支撑部件19安装在基座12中的垂直部12A的垂直面12Aa上。支撑部件19的剖面形成为L字形状。在该支撑部件19中，剖面L字形状的一边以相对于基座12中的垂直部12A的垂直面12Aa可沿垂直方向调整移动的方式安装，剖面L字形状的另一边进入基座12的垂直部12A的下端，朝向框架11沿水平方向（X方向）延伸，其朝上的水平面19a与固定部件18的朝下的水平面18a在垂直方向上相对。滑块15e安装在该支撑部件19的另一边中的水平面19a上。滑块15e沿作为导轨15d的延伸方向的Y方向可自由移动地与导轨15d嵌合。另外，滑块15e相对于支撑部件19设置在多个部位（在本实施方式中为2个部位）上。

另外，对于支撑部件19的垂直方向的调整移动，例如，在基座12的垂直部12A或者支撑部件19的一边上设置沿垂直方向较长的长孔，支撑部件19的一边或者基座12的垂直部12A利用螺钉相对于该长孔进行固定。除此之外，基座12的垂直部12A和支撑部件19的一边通过凹凸的嵌合而以能够相对地沿垂直方向移动的方式设置，彼此也可以利用螺钉固定。

在组装各直动机构10的情况下，首先，利用直尺得到X方向的一侧（例如图7左侧）的直动引导部14的竖直度，并向框架11上安装。然后，以先得到竖直度的一侧的直动引导部14为基准，得到X方向的另一侧（例如图7右侧）的直动引导部14、X方向的两侧的辅助引导部15的平行度，并向框架11上安装。X直动机构部61的X轴导轨61a和各直动引导部14经由基座12而安装。

另外，辅助引导部15安装在支撑部件19上。此时，支撑部件19是相对于基座12可沿垂直方向移动的状态，上侧的直动引导部14及其下侧的辅助引导部15的高度交叉，通过支撑部件19的移动调整而被吸收。辅助引导部15与其上侧的直动引导部14上下翻转而配置，将滑块15e配置在导轨15d的下侧。因此，在将辅助引导部15向支撑部件19上安装的情况下，从支撑部件19的下侧插入螺钉，因此，不需要在线性电动机13和支撑部件19之间设置较大的距离，可以抑制电子部件安装装置1的大型化。如果从上方的线性电动机13侧插入螺钉，则必须在线性电动机13和支撑部件19之间设置相应的距离，在上下方向上使得电子部件安装装置1大型化。

这种Y直动机构部62的各直动机构10，将固定在基座12上的作为被驱动体的X直动机构部61的X轴导轨61a以及搭载头5，经由直动引导部14支撑在框架11上，能够沿使被驱动体移动的Y方向移动。另外，Y直动机构部62的各直动机构10，通过辅助引导部15，确保基座12相对于框架11的水平方向的间隔。即，确保线性电动机13的移动件13a和固定件13b的相对间隔。并且，Y直动机构部62的各直动机构10通过驱动线性电动机13，从而利用直动引导部14以及辅助引导部15，在相对于框架11支撑基座12和被驱动体的同时，使它们沿Y方向移动。

另外，安装本实施方式中的辅助引导部15的滑块（移动部）15e的支撑部件19形成可动部。作为可动部的支撑部件19以能够相对于基座12沿垂直方向移动调整的方式安装在基座12上。即，对于支撑部件19，即使基座12沿垂直方向位移，也维持滑块15e与导轨15d的嵌合状态。并且，由于通过支撑部件19的移动调整而吸收基座12的向垂直方向的位移，所以维持直动引导部14中的滑块14b向滑动导轨14a的嵌合状态。

如上述所示，本实施方式的电子部件安装装置用直动机构，用于向基板B搭载电子部件的电子部件安装装置1，使被驱动体（X直动机构部61的X轴导轨61a以及搭载头5）在水平方向上以直线状移动，在该电子部件安装装置用直动机构中，直动机构10分别配置在被驱动体的两侧，包含下述部分：框架11，其固定在电子部件安装装置1的框体2上；基座12，其固定在被驱动体上；线性电动机13，其将安装在基座12中的垂直面12Ab上的移动件13a、以及安装在框架11中的垂直面11a上的固定件13b沿与使被驱动体移动的水平方向（Y方向）正交的水平方向相对配置；直动引导部14，其由滑动导轨14a和滑块14b构成，该滑动导轨14a安装在线性电动机13的上方且框架11中的朝上的水平面11b上，沿使被驱动体移动的方向（Y方向）延伸，该滑块14b安装在基座12中的朝下的水平面12Ba上，沿滑动导轨14a的延伸方向可自由移动地与滑动导轨14a嵌合；辅助引导部15，其由导轨15d和滑块（移动部）15e构成，该导轨15d安装在线性电动机13的下方且框架11上，沿使被驱动体移动的方向延伸，该滑块（移动部）15e安装在基座12侧，沿导轨15d的延伸方向可自由移动地与导轨15d嵌合；以及可动部，其维持直动引导部14中的滑块14b向滑动导轨14a的嵌合、以及辅助引导部15中的滑块15e向导轨15d的卡合，同时容许基座12的垂直方向的位移。

根据该电子部件安装装置用直动机构，在被驱动体的两侧，具有将移动件13a以及固定件13b沿与使被驱动体移动的水平方向（Y方向）正交的水平方向相对配置的线性电动机13，因此，可以减少线性电动机13的水平方向的尺寸，由此，可以抑制电子部件安装装置1的大型化。

另一方面，在线性电动机13的上方配置使滑块14b与滑动导轨14a嵌合的直动引导部14，并且，在框架11中的朝上的水平面11b上安装滑动导轨14a，在基座12中的朝下的水平面12Ba上安装滑块14b，因此，可以利用该直动引导部14，承受用于支撑被驱动体的垂直方向的负载。并且，通过在线性电动机13的下方配置辅助引导部15，从而可以承受线性电动机13所作用的水平方向的吸引力。并且，辅助引导部15经由能够对滑块（移动部）15e沿垂直方向进行移动调整的、作为可动部的支撑部件19而安装在基座12上，容许基座12的垂直方向的位移，因此，对于直动引导部14的安装不要求高精度。其结果，直动引导部14为1个的结构即可，与使用多个直动引导部的情况相比，对于直动引导部14的安装不要求高精度，可以容易地确保竖直度。

因此，根据该电子部件安装装置用直动机构，在抑制电子部件安装装置1的大型化的同时，在被驱动体的两侧配置线性电动机13，使得用于使被驱动体（X直动机构部61的X轴导轨61a以及搭载头5）移动的驱动高速化，可以缩短电子部件的搭载时间，并且，确保直动引导部14的竖直度，即使驱动高速化，也可以抑制直动引导部14寿命的减少。

另外，在本实施方式的电子部件安装装置用直动机构中，优选可动部设置为，能够相对于基座12沿垂直方向对支撑辅助引导部15的滑块（移动部）15e的支撑部件19进行调整移动，导轨15d安装在框架11侧的朝下的水平面18a上，滑块（移动部）15e安装在支撑部件19中的朝上的水平面19a上。

根据该电子部件安装装置用直动机构，如上述所示，在将辅助引导部15的滑块15e向支撑部件19上安装的情况下，能够避开线性电动机13而从下侧进行安装作业，因此，可以不在线性电动机13侧准备安装作业的区域，可以在抑制电子部件安装装置1大型化的同时得到可动部。并且，由于直动引导部和辅助引导部安装在沿上下彼此平行的面上，所以在组装时，仅实现水平方向的平行度，因此可以确保精度。

Claims (7)

1.一种电子部件安装装置用直动机构，其在向基板上搭载电子部件的电子部件安装装置中使用，使被驱动体在水平方向上以直线状移动，

其特征在于，

所述直动机构分别配置在所述被驱动体的两侧，

包含下述部分：

框架，其固定在所述电子部件安装装置的框体上；

基座，其固定在所述被驱动体上；

线性电动机，其将安装在所述基座中的垂直面上的移动件、以及安装在所述框架中的垂直面上的固定件，沿与作为基板的输送方向的X方向正交的Y方向而相对配置；

直动引导部，其由滑动导轨和滑块构成，该滑动导轨安装在所述线性电动机的上方且所述框架中的朝上的水平面上，沿所述Y方向延伸，该滑块安装在所述基座中的朝下的水平面上，沿所述Y方向可自由移动地与所述滑动导轨嵌合；

辅助引导部，其由导轨和移动部构成，该导轨安装在所述线性电动机的下方且所述框架上，沿所述Y方向延伸，该移动部安装在所述基座侧，沿所述Y方向可自由移动地与所述导轨卡合；以及

可动部，其在维持所述滑块向所述直动引导部中的所述滑动导轨的嵌合、以及所述移动部向所述辅助引导部中的所述导轨的卡合的同时，容许所述基座的垂直方向的位移。

2.根据权利要求1所述的电子部件安装装置用直动机构，其特征在于，

所述可动部由所述导轨和作为移动部的滚轮构成，

所述导轨在所述辅助引导部中，安装在所述线性电动机的下方且所述框架中的所述垂直面上，沿所述Y方向延伸，

该滚轮安装在所述基座中的所述垂直面上，在所述线性电动机的所述移动件和所述固定件之间的相对方向上与所述导轨接触的同时，沿所述Y方向可转动地设置。

3.根据权利要求2所述的电子部件安装装置用直动机构，其特征在于，

在所述框架中的垂直面和所述导轨之间包含垫片，其对所述导轨和所述滚轮之间的接触进行调整。

4.根据权利要求2或3所述的电子部件安装装置用直动机构，其特征在于，

在所述基座中的垂直面和所述滚轮之间包含垫片，其对所述导轨和所述滚轮之间的接触进行调整。

5.根据权利要求2或3所述的电子部件安装装置用直动机构，其特征在于，

包含可旋转地支撑所述滚轮的轴承。

6.根据权利要求4所述的电子部件安装装置用直动机构，其特征在于，

包含可旋转地支撑所述滚轮的轴承。

7.根据权利要求1所述的电子部件安装装置用直动机构，其特征在于，

所述可动部以能够相对于所述基座沿垂直方向进行调整移动的方式，设置用于对所述辅助引导部的所述移动部进行支撑的支撑部件，所述导轨安装在所述框架侧的朝下的水平面上，所述移动部安装在所述支撑部件中的朝上的水平面上。

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