KR20150039065A - 기판 반송 장치, 기판 검사 장치 및 전자 부품 실장 장치 - Google Patents

기판 반송 장치, 기판 검사 장치 및 전자 부품 실장 장치 Download PDF

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KR20150039065A
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야마하하쓰도키 가부시키가이샤
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Abstract

(과제)
프린트 기판의 하면에 탑재되어 있는 부품의 높이에 제약을 받을 일이 없는 기판 반송 장치를 제공한다.
(해결 수단)
반송로(6)를 형성하는 한 쌍의 반송용 컨베이어(3, 4)와, 프린트 기판(2)의 정지 위치를 결정하는 기판 위치 결정 장치(5)를 구비한다. 기판 위치 결정 장치(5)는 상방으로부터 보았을 때 반송로(6)의 옆이며 반송로(6)의 하방으로부터 반송로(6)로 비스듬히 출납되는 스토퍼(23)를 갖는다. 스토퍼(23)는 프린트 기판(2)이 접촉하는 상승 위치와 프린트 기판(2)이 접촉할 일이 없는 하강 위치 사이에서 왕복한다. 스토퍼(23)가 하강 위치로 이동한 상태에서 기판 위치 결정 장치(5)가 상방으로부터 보았을 때 반송로(6)의 밖에 위치하고 있다.

Description

기판 반송 장치, 기판 검사 장치 및 전자 부품 실장 장치{SUBSTRATE TRANSPORT APPARATUS, SUBSTRATE INSPECTING APPARATUS, AND ELECTRONIC COMPONENT MOUNTING APPARATUS}
본 발명은 프린트 기판이 접촉하는 위치 결정 장치를 구비한 기판 반송 장치 및 이 기판 반송 장치를 구비한 기판 검사 장치, 전자 부품 실장 장치에 관한 것이다.
종래, 프린트 기판을 반송하는 기판 반송 장치로서는, 예를 들면 특허문헌 1에 기재되어 있는 바와 같이 프린트 기판의 양측부를 지지하는 한 쌍의 컨베이어를 구비한 것이 있다. 이 특허문헌 1에 개시된 기판 반송 장치는 프린트 기판의 정지 위치를 결정하기 위한 스토퍼를 구비하고 있다.
이 스토퍼는 실린더의 피스톤 로드에 설치되어 있고, 컨베이어에 의해 이송된 프린트 기판의 전단이 접촉하는 상승 위치와, 반송로의 하방에 위치하는 하강 위치 사이에서 이동한다.
실린더는 상방으로부터 보았을 때 한 쌍의 컨베이어 사이, 즉 상방으로부터 보았을 때 반송로 내에 배치되어 있다.
또한, 이 실린더는 반송 방향의 상류측을 향함에 따라서 점차로 상방에 위치하는 상태로 경사져 있다. 즉, 스토퍼는 상승 위치로부터 하강 위치로 이동함으로써 프린트 기판의 반송 방향의 하류측으로 이동한다.
이러한 종류의 기판 반송 장치는 전자 부품 실장 장치나 기판 검사 장치 등에 사용되고 있다. 전자 부품 실장 장치는 프린트 기판의 상면에 전자 부품을 실장하는 것이다. 기판 검사 장치는 프린트 기판을 상방으로부터 촬상 장치에 의해 촬상하고, 화상에 의거하여 부품의 위치, 실장 상태 등을 검사하는 것이다.
일본 특허 공개 2009-302100호 공보
특허문헌 1에 개시되어 있는 기판 반송 장치는 프린트 기판의 하면에 대형 부품이 탑재되어 있으면 이 부품이 스토퍼에 충돌할 우려가 있었다. 즉, 이 기판 반송 장치는 프린트 기판의 하면에 탑재되어 있는 부품의 높이에 제약을 받는다고 하는 문제가 있었다.
이 때문에, 이 기판 반송 장치를 구비한 전자 부품 실장 장치에 있어서는 하면에 대형 부품이 탑재된 프린트 기판의 상면에 전자 부품을 실장하는 것은 불가능하다. 또한, 이 기판 반송 장치를 구비한 기판 검사 장치에 있어서는 하면에 대형 부품이 탑재된 프린트 기판의 검사를 행하는 것은 불가능하다.
본 발명은 이러한 문제를 해소하기 위해서 이루어진 것으로, 프린트 기판의 하면에 탑재되어 있는 부품의 높이에 제약을 받을 일이 없는 기판 반송 장치, 기판 검사 장치 및 전자 부품 실장 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
이 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 의한 기판 반송 장치는 프린트 기판의 양측부를 지지함과 아울러 반송로를 형성하는 한 쌍의 반송용 컨베이어와, 상기 컨베이어에 의해 반송된 상기 프린트 기판의 정지 위치를 결정하는 기판 위치 결정 장치를 구비하고, 상기 기판 위치 결정 장치는 상방으로부터 보았을 때 상기 반송로의 옆이며 상기 반송로의 하방으로부터 상기 반송로로 비스듬히 출납되는 스토퍼를 갖고, 상기 스토퍼는 상기 컨베이어에 의해 이송된 프린트 기판이 접촉하는 상승 위치와 상기 프린트 기판이 접촉할 일이 없는 하강 위치 사이에서 왕복하는 것이며, 상기 스토퍼가 상기 하강 위치로 이동한 상태에서 상기 기판 위치 결정 장치가 상방으로부터 보았을 때 상기 반송로의 밖에 위치하고 있는 것이다.
본 발명은 상기 발명에 있어서, 상기 스토퍼는 상기 하강 위치로부터 상기 상승 위치로 이동함으로써 프린트 기판의 반송 방향의 하류측으로부터 상류측을 향해서 이동하는 것을 특징으로 한다.
본 발명은 상기 발명에 있어서, 상기 기판 위치 결정 장치의 동력원은 실린더이며, 상기 스토퍼는 상기 실린더의 피스톤 로드에 설치되어 있는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 의한 기판 검사 장치는 상기 발명에 의한 기판 반송 장치와, 이 기판 반송 장치에 의해 소정의 정지 위치에 위치 결정된 프린트 기판을 상방으로부터 촬상하는 촬상 장치를 구비하고 있는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 의한 전자 부품 실장 장치는 상기 발명에 의한 기판 반송 장치와, 이 기판 반송 장치에 의해 소정의 정지 위치에 위치 결정된 프린트 기판에 전자 부품을 적재하는 부품 이송 장치를 구비하고 있는 것을 특징으로 한다.
(발명의 효과)
본 발명에 의하면, 기판 위치 결정 장치가 상방으로부터 보았을 때 반송로의 밖에 위치하고 있기 때문에, 반송로의 하방이 넓게 개방된다. 따라서, 프린트 기판의 하면에 탑재되어 있는 부품의 높이에 제약을 받을 일이 없는 기판 반송 장치를 제공할 수 있다.
도 1은 본 발명에 의한 기판 반송 장치의 구성을 설명하기 위한 평면도이다. 도 1은 스토퍼가 상승 위치에 위치 부여되어 있는 상태를 나타낸다.
도 2는 도 1에 있어서의 II-II선 단면도이며, 스토퍼가 상승 위치에 위치 부여되어 있는 상태를 나타낸다.
도 3은 본 발명에 의한 기판 반송 장치의 구성을 설명하기 위한 평면도이며, 스토퍼가 하강 위치에 위치 부여되어 있는 상태를 나타낸다.
도 4는 도 3에 있어서의 III-III선 단면도이며, 스토퍼가 하강 위치에 위치 부여되어 있는 상태를 나타낸다.
도 5는 본 발명에 의한 기판 검사 장치의 구성을 설명하기 위한 평면도이다.
도 6은 본 발명에 의한 전자 부품 실장 장치의 구성을 설명하기 위한 평면도이다.
(제 1 실시형태)
이하, 본 발명에 의한 기판 반송 장치의 일실시형태를 도 1∼도 4에 의해 상세하게 설명한다.
도 1에 나타내는 기판 반송 장치(1)는 프린트 기판(2)을 수평 방향으로 반송하기 위한 것이다. 프린트 기판(2)으로서는 도 2 중에 2점 쇄선으로 나타내는 바와 같이, 그 하면에 높이가 높은 부품(P)이 탑재되어 있는 것이라도 사용할 수 있다. 여기에서 말하는 프린트 기판(2)의 하면에 탑재된 부품(P)의 높이란, 프린트 기판(2)의 하면으로부터 부품(P)의 하단까지의 길이를 말한다. 이하에 있어서는 프린트 기판(2)의 반송 방향과 평행한 방향(도 1에 있어서 좌우 방향)을 단순히 X방향이라고 하고, 반송 방향과는 직교하는 수평 방향을 단순히 Y방향이라고 한다.
이 기판 반송 장치(1)는 프린트 기판(2)을 반송하기 위한 한 쌍의 컨베이어(3, 4)와, 이들 컨베이어(3, 4)에 의해 반송된 프린트 기판(2)의 정지 위치를 결정하는 기판 위치 결정 장치(5)를 구비하고 있다.
한 쌍의 컨베이어(3, 4)는 프린트 기판(2)의 양측부를 지지함과 아울러 반송로(6)를 형성하는 것이다. 이들 컨베이어(3, 4)는 도 2에 나타내는 바와 같이, 기대(7) 상에 부착되어 있다. 한쪽의 컨베이어(4)는 다른쪽의 컨베이어(3)와의 간격을 바꾸는 간격 변경 장치(8)(도 1 참조)를 통해서 기대(7)에 지지되어 있다.
이들 컨베이어(3, 4)는 무단 벨트로 이루어지는 반송용 벨트(9)를 각각 구비하고 있다. 프린트 기판(2)은 이 벨트(9) 상에 적재되어 벨트(9)와 함께 X방향으로 이동한다. 이 벨트(9)는 상술한 반송로(6)의 바닥의 일부를 구성하고 있다.
이 반송용 벨트(9)는 X방향의 양단부에 위치하는 복수의 풀리(11∼14)를 포함하는 구동 장치(15)에 의해 구동된다.
구동 장치(15)는 Y방향으로 연장되는 구동축(16)과, 모터(17)를 구비하고 있다. 구동축(16)은 컨베이어(3)의 벨트(9)를 구동하는 풀리(16a)와, 컨베이어(4)의 벨트(9)를 구동하는 풀리(16b)를 접속하고 있다. 모터(17)는 구동축(16)을 회전시킨다.
모터(17)의 구동에 의해 구동축(16)이 회전함으로써 반송용 벨트(9)가 회전하고, 이 벨트(9) 상에 적재되어 있는 프린트 기판(2)이 X방향으로 이동한다. 모터(17)의 회전 속도는 프린트 기판(2)이 미리 결정한 감속 위치를 통과했을 때에 낮아지고, 프린트 기판(2)이 미리 결정한 정지 위치에 도달했을 때에 0이 된다. 이 정지 위치는 후술하는 기판 위치 결정 장치(5)에 의해 결정된다.
기판 위치 결정 장치(5)는 도 1 및 도 2에 나타내는 바와 같이, 실린더(21)와, 이 실린더(21)의 피스톤 로드(22)에 설치된 스토퍼(23)를 구비하고 있다. 이 실시형태에 의한 실린더(21)는 공기압 실린더이며, 한쪽의 컨베이어(3)의 하부에 미리 결정된 자세를 유지하는 상태에서 부착용 브래킷(21a)을 통해서 지지되어 있다. 이 실시형태에 의한 기판 위치 결정 장치(5)의 동력원은 실린더(21)이다.
피스톤 로드(22)는 실린더(21)의 일단부에 공기가 공급됨으로써 실린더(21)로부터 돌출되는 방향으로 이동하고, 실린더(21)의 타단부에 공기가 공급됨으로써 실린더(21) 내에 삽입되는 방향으로 이동한다. 스토퍼(23)는 이 피스톤 로드(22)의 선단부에 부착되어 있다. 이하에 있어서는 피스톤 로드(22)가 실린더(21)로부터 돌출되는 방향으로 이동하는 것을 단순히 「실린더(21)가 신장한다」고 하고, 피스톤 로드(22)가 실린더(21) 내에 삽입되는 방향으로 이동하는 것을 단순히 「실린더(21)가 수축한다」고 한다.
상술한 실린더(21)의 자세란, 도 1에 나타내는 바와 같이 상방으로부터 보았을 때 피스톤 로드(22)가 다른쪽의 컨베이어(4)의 반송 방향 상류측을 지향함과 아울러, 도 2에 나타내는 바와 같이 컨베이어(3, 4)의 반송 방향 하류측으로부터 보았을 때 피스톤 로드(22)가 다른쪽의 컨베이어(4)의 상방을 지향하는 자세이다. 이렇게 피스톤 로드(22)가 반송로(6)의 안쪽이며 반송 방향의 상류측을 지향하는 상태로 왕복하면, 스토퍼(23)는 상방으로부터 보았을 때 반송로(6)의 옆(도 3 참조)이며 반송로(6)의 하방(도 4 참조)으로부터 반송로(6)로 비스듬히 출납된다.
이 실시형태에 의한 스토퍼(23)는 도 2에 나타내는 바와 같이, 실린더(21)가 가장 신장된 상태에 있어서 반송 방향의 하류측으로부터 보았을 때 반송로(6)와 교차하는 상승 위치에 위치 부여된다. 스토퍼(23)가 이 상승 위치에 위치 부여되어 있는 상태에서 프린트 기판(2)이 컨베이어(3, 4)에 의해 이송되면 프린트 기판(2)이 스토퍼(23)에 접촉한다. 또한, 이 스토퍼(23)는 도 4에 나타내는 바와 같이 실린더(21)가 가장 수축된 상태에 있어서 반송 방향의 하류측으로부터 보았을 때 컨베이어(3)의 하방이 되는 하강 위치에 위치 부여된다.
이 때문에, 이 스토퍼(23)는 컨베이어(3, 4)에 의해 이송된 프린트 기판(2)이 접촉하는 상승 위치와 프린트 기판(2)이 접촉할 일이 없는 하강 위치 사이에서 왕복한다. 실린더(21)가 수축해서 스토퍼(23)가 하강 위치로 이동한 상태에 있어서는, 도 3에 나타내는 바와 같이 상방으로부터 보았을 때 기판 위치 결정 장치(5)[실린더(21) 및 스토퍼(23)]가 반송로(6)의 밖에 위치하고 있다.
이렇게 구성된 기판 반송 장치(1)는 실린더(21)가 신장해서 스토퍼(23)가 상승 위치에 위치하고 있는 상태에서 프린트 기판(2)이 반입된다. 이 프린트 기판(2)은 컨베이어(3, 4)에 의해 반송 방향의 하류측으로 이송되고, 스토퍼(23)에 접촉함으로써 미리 결정된 정지 위치에 정지한다. 프린트 기판(2)이 스토퍼(23)에 접촉할 때에는 반송 속도가 감속되고 있기 때문에, 프린트 기판(2)에 충격이 가해질 일은 없다. 컨베이어(3, 4)는 프린트 기판(2)이 스토퍼(23)에 접촉했을 때에 정지한다.
프린트 기판(2)이 컨베이어(3, 4)로부터 반출될 때에는, 우선 실린더(21)가 수축해서 스토퍼(23)가 하강 위치로 이동한다. 이때, 스토퍼(23)는 하강에 수반하여 반송 방향의 하류측으로 이동하고, 프린트 기판(2)으로부터 이간된다. 스토퍼(23)가 하강 위치로 이동함으로써, 도 3에 나타내는 바와 같이 기판 위치 결정 장치(5)가 상방으로부터 보았을 때 반송로(6)의 밖에 위치하게 되어, 도 4에 나타내는 바와 같이 반송로(6)의 하방이 넓게 개방된다.
따라서, 이 실시형태에 의하면 프린트 기판(2)의 하면에 탑재되어 있는 부품(P)의 높이에 제약을 받을 일이 없기 때문에, 보다 많은 종류의 프린트 기판(2)을 반송 가능한 기판 반송 장치를 제공할 수 있다.
이 실시형태에 의한 스토퍼(23)는 하강 위치로부터 상승 위치로 이동함으로써 프린트 기판(2)의 반송 방향의 하류측으로부터 상류측을 향해서 이동한다.
이 때문에, 스토퍼(23)는 프린트 기판(2)을 정지시킨 후에 하강 위치로 이동할 때에 프린트 기판(2)으로부터 반송 방향의 하류측으로 이간된다. 따라서, 이 실시형태에 의하면 스토퍼(23)가 하강할 때에 프린트 기판(2)을 마찰할 일이 없기 때문에, 프린트 기판(2)이 마찰에 의해 상처나는 것을 확실하게 막을 수 있다.
이 실시형태에 의한 기판 위치 결정 장치(5)의 동력원은 실린더(21)이다. 스토퍼(23)는 이 실린더(21)의 피스톤 로드(22)에 설치되어 있다.
이 때문에, 스토퍼(23)를 상승 위치와 하강 위치 사이에서 이동시키는 것에 있어서 스토퍼(23)의 이동 경로를 결정하기 위한 기구나 가이드 부재 등은 불필요하다.
따라서, 이 실시형태에 의하면 제조 비용이 낮게 억제된 기판 위치 결정 장치를 제공할 수 있다. 또한, 기판 위치 결정 장치(5)의 동력원은 실린더(21)에 한정되는 것이 아니라 적당하게 변경할 수 있다. 기판 위치 결정 장치(5)의 동력원으로서는 모터나 솔레노이드 등을 사용할 수 있다.
또한, 이 실시형태에 의한 실린더(21)는 한쪽의 컨베이어(3)에 지지되어 있다. 그러나, 실린더(21)는 기대(7)에 부착용 브래킷(도시하지 않음)을 통해서 부착할 수 있다.
(제 2 실시형태)
본 발명에 의한 기판 반송 장치는 도 5에 나타낸 바와 같이, 기판 검사 장치에 사용할 수 있다. 도 5에 있어서, 상기 도 1∼도 4에 의해 설명한 것과 동일 또는 동등의 부재에 대해서는 동일한 부호를 붙여서 상세한 설명을 적당하게 생략한다.
도 5에 나타내는 기판 검사 장치(31)는 기대(7)와, 이 기대(7) 상에 설치된 기판 반송 장치(1) 및 촬상 장치(32)를 구비하고 있다.
촬상 장치(32)는 기판 반송 장치(1)에 의해 소정의 정지 위치에 위치 결정된 프린트 기판(2)을 상방으로부터 촬상하는 것이다. 촬상은 프린트 기판(2)의 상방에 위치 부여된 카메라(33)에 의해 행해진다. 카메라(33)는 조명(34)과 함께 촬상 헤드(35)로서 X방향 이동 장치(36)에 지지되어 있다. X방향 이동 장치(36)는 촬상 헤드(35)를 X방향으로 이동시키는 것이다. 이 X방향 이동 장치(36)는 Y방향 이동 장치(37)에 지지되어 있다. Y방향 이동 장치(37)는 X방향 이동 장치(36)를 Y방향으로 이동시키는 것이다.
이 기판 검사 장치(31)는 전자 부품이 실장된 프린트 기판(2)의 검사를 행하는 것이기 때문에, 생산 라인의 하류측에 설치되는 경우가 많다. 이 때문에, 프린트 기판(2)의 하면에 탑재된 부품(P)의 높이에 제약을 받을 일이 없는 기판 반송 장치(1)를 장착함으로써, 범용성이 높은 기판 검사 장치를 실현할 수 있다.
기판 반송 장치(1)의 기판 위치 결정 장치(5)는 반송로(6)의 하방에 설치되어 있다. 이 때문에, 이 기판 위치 결정 장치(5)는 조명(34)의 광을 차단할 일은 없다. 즉, 이 실시형태에 의하면 프린트 기판(2)의 하면에 탑재되어 있는 부품(P)의 높이에 제약을 받지 않을 뿐만 아니라, 프린트 기판(2)의 상면에 탑재되어 있는 부품의 검사를 정밀도 좋게 행하는 것이 가능한 기판 검사 장치를 제공할 수 있다.
(제 3 실시형태)
본 발명에 의한 기판 반송 장치는 도 6에 나타내는 바와 같이, 전자 부품 실장 장치에 사용할 수 있다. 도 6에 있어서, 상기 도 1∼도 4에 의해 설명한 것과 동일 또는 동등의 부재에 대해서는 동일한 부호를 붙여서 상세한 설명을 적당하게 생략한다.
도 6에 나타내는 전자 부품 실장 장치(41)는 기대(7)와, 이 기대(7) 상에 설치된 기판 반송 장치(1) 및 부품 이송 장치(42)를 구비하고 있다.
부품 이송 장치(42)는 기판 반송 장치(1)에 의해 소정의 정지 위치에 위치 결정된 프린트 기판(2)에 전자 부품(도시하지 않음)을 적재하는 것이다.
전자 부품은 기대(7)의 양측부에 설치된 전자 부품 공급 장치(43)로부터 공급된다.
전자 부품의 이송은 프린트 기판(2)의 상방에 위치하는 복수의 흡착 헤드(44)에 의해 행해진다. 흡착 헤드(44)의 하단부에는 전자 부품을 흡착하는 흡착 노즐(도시하지 않음)이 승강 가능하게 설치되어 있다. 복수의 흡착 헤드(44)는 헤드 유닛(45)으로서 X방향 이동 장치(46)에 지지되어 있다.
X방향 이동 장치(46)는 헤드 유닛(45)을 X방향으로 이동시키는 것이다. 이 X방향 이동 장치(46)는 Y방향 이동 장치(47)에 지지되어 있다. Y방향 이동 장치(47)는 X방향 이동 장치(46)를 Y방향으로 이동시키는 것이다.
이 실시형태에 의하면, 프린트 기판(2)의 하면에 탑재되어 있는 부품의 높이에 제약을 받을 일이 없는 전자 부품 실장 장치를 제공할 수 있다.
본 발명에 의한 기판 반송 장치(1)는 상술한 기판 검사 장치(31)나 전자 부품 실장 장치(41) 이외에, 프린트 기판을 취급하는 장치이면 어떤 것이라도 사용할 수 있다.
1 : 기판 반송 장치. 2 : 프린트 기판
6 : 반송로 3, 4 : 컨베이어
5 : 기판 위치 결정 장치 21 : 실린더
22 : 피스톤 로드 23 : 스토퍼
31 : 기판 검사 장치 32 : 촬상 장치
41 : 전자 부품 실장 장치 42 : 부품 이송 장치

Claims (7)

  1. 프린트 기판의 양측부를 지지함과 아울러 반송로를 형성하는 한 쌍의 반송용 컨베이어와,
    상기 컨베이어에 의해 반송된 상기 프린트 기판의 정지 위치를 결정하는 기판 위치 결정 장치를 구비하고,
    상기 기판 위치 결정 장치는 상방으로부터 보았을 때 상기 반송로의 옆이며 상기 반송로의 하방으로부터 상기 반송로로 비스듬히 출납되는 스토퍼를 갖고,
    상기 스토퍼는 상기 컨베이어에 의해 이송된 프린트 기판이 접촉하는 상승 위치와 상기 프린트 기판이 접촉할 일이 없는 하강 위치 사이에서 왕복하는 것이고,
    상기 스토퍼가 상기 하강 위치로 이동한 상태에서 상기 기판 위치 결정 장치가 상방으로부터 보았을 때 상기 반송로의 밖에 위치하고 있는 것을 특징으로 하는 기판 반송 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 스토퍼는 상기 하강 위치로부터 상기 상승 위치로 이동함으로써 프린트 기판의 반송 방향의 하류측으로부터 상류측을 향해서 이동하는 것을 특징으로 하는 기판 반송 장치.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 기판 위치 결정 장치의 동력원은 실린더이며,
    상기 스토퍼는 상기 실린더의 피스톤 로드에 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 반송 장치.
  4. 제 1 항 또는 제 2 항에 기재된 기판 반송 장치와,
    이 기판 반송 장치에 의해 소정의 정지 위치에 위치 결정된 프린트 기판을 상방으로부터 촬상하는 촬상 장치를 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 기판 검사 장치.
  5. 제 1 항 또는 제 2 항에 기재된 기판 반송 장치와,
    이 기판 반송 장치에 의해 소정의 정지 위치에 위치 결정된 프린트 기판에 전자 부품을 적재하는 부품 이송 장치를 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 전자 부품 실장 장치.
  6. 제 3 항에 기재된 기판 반송 장치와,
    이 기판 반송 장치에 의해 소정의 정지 위치에 위치 결정된 프린트 기판을 상방으로부터 촬상하는 촬상 장치를 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 기판 검사 장치.
  7. 제 3 항에 기재된 기판 반송 장치와,
    이 기판 반송 장치에 의해 소정의 정지 위치에 위치 결정된 프린트 기판에 전자 부품을 적재하는 부품 이송 장치를 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 전자 부품 실장 장치.
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