JP2007096062A - 電子部品移載装置 - Google Patents

Abstract

【課題】ヘッドユニットの重量が増加しても電子部品を正確に載置することができる電子部品移載装置を提供する。
【解決手段】基台２の上方において、互いに離間して水平方向に配置される一対のＸ方向ガイドレール２５を備える。両端部がそれぞれ前記Ｘ方向ガイドレール２５に移動自在に支持されたヘッドユニット４，５を備える。前記一対のＸ方向ガイドレール２５に挟まれたヘッドユニット４，５の中間部に昇降可能に支持された吸着ヘッドと、前記ヘッドユニット４，５をＸ方向ガイドレールに沿って往復動させるＸ方向駆動装置２７を備える。吸着ヘッドをヘッドユニット４，５に対して昇降させる昇降装置とを備え、電子部品を吸着ノズルで吸着し、前記Ｘ方向駆動装置２７によりヘッドユニット４，５を所定位置まで移動するとともに、昇降装置により吸着ノズルを下降させることで、電子部品を所定位置へ移載する。
【選択図】 図１

Description

本発明は、吸着ノズルを昇降可能に保持するヘッドが設けられたヘッドユニットを少なくとも一方向に移動可能とし、吸着ノズルで電子部品を吸着運搬し、吸着ノズルを下降させて所定位置に載置する電子部品移載装置に関するものである。

従来、電子部品移載装置の一つとして、電子部品をプリント配線板の所定位置に載置し実装する表面実装機がある。従来の表面実装機としては、たとえば特許文献１に開示されているように、吸着ノズルを有する吸着ヘッドをヘッドユニットに支持させ、このヘッドユニットをプリント配線板の上方で水平な２方向へ平行移動させる構成のものがある。前記ヘッドユニットを移動させるための移動装置は、プリント配線板を搬送するコンベアの上方に設けられており、前記コンベアとともに基台の上に装備されている。以下においては、前記水平な２方向のうち一方をプリント配線板の搬送方向と平行なＸ方向といい、他方を前記搬送方向とは直交するＹ方向という。

前記移動装置は、Ｘ方向送り機構とＹ方向送り機構と、Ｘ・Ｙ方向に移動可能なヘッドユニットから構成される。前記Ｙ方向送り機構は、基台の両側部に位置付けられＹ方向に延びる一対のＹ方向ガイドレールと、このＹ方向ガイドレールに移動自在に支持され、一対のＹ方向ガイドレール間に横架されＸ方向に延びる支持部材と、この支持部材をＹ方向ガイドレールに沿って往復動させるＹ方向駆動装置からなる。前記Ｘ方向送り機構は、前記支持部材にＸ方向に延びるように設けられたＸ方向ガイドレールと、このＸ方向ガイドレールに移動自在に支持された前記ヘッドユニットを、前記Ｘ方向ガイドレールに沿って往復動させるＸ方向駆動装置によって構成される。

前記ヘッドユニットは、支持部材のＹ方向一方の側方において支持部材に移動可能に支持されている。このヘッドユニットに設けられた吸着ヘッドは、上下方向に延びるように形成されており、下端部に吸着ノズルが取付けられている。また、この吸着ヘッドは、前記吸着ノズルを昇降させる昇降装置と、吸着ノズルを上下方向の軸線回りに回転させる回転駆動装置とを備えている。
近年の表面実装機は、実装効率を向上させるために、例えば特許文献２に開示されているように、一つのヘッドユニットに複数の吸着ヘッドが装備されている。
特開２００２−１３４９９４号公報（第１図） 特開２００３−１６３４９７号公報（第１図）

上述したように構成された従来の表面実装機において、ヘッドユニットは、複数の吸着ヘッドを装備しているために相対的に重量が重いものである。従来の表面実装機に装備されている支持部材は、そのＹ方向一方の側方に重心位置が支持部材の幅方向中央から離間する前記ヘッドユニットを、Ｙ方向一端部において支持している。言い換えれば、支持部材は、ヘッドユニットを片持ち状態で支持している。

このため、従来の表面実装機においては、支持部材におけるヘッドユニットを支持する部分には常時大きな曲げモーメントが作用していることになる。したがって、従来の表面実装機に用いられている支持部材は、このような大きな曲げモーメントに抗してヘッドユニットを確実に支持することができるように形成されている。

しかしながら、従来の表面実装機においては、ヘッドユニットに機能部品を追加した場合などのようにヘッドユニットの重量が増大すると、支持部材の剛性をさらに高めなければならない。支持部材の剛性を高めるに当たっては、支持部材を大きく形成したり補強部材を設ける必要がある。

しかし、表面実装機に搭載する支持部材の重量や大きさなどには限界があるから、従来の表面実装機においては、ヘッドユニットに重量の嵩む機能部品を装備することはできなかった。なお、従来の表面実装機において、ヘッドユニットの重量が増加すると、上記曲げモーメントにより吸着ノズルの軸線が傾斜する結果、吸着ノズルが斜めに昇降することになり、電子部品の実装位置がずれ易くなるおそれがある。

以上は、ヘッドユニットがＸ・Ｙ両方向に移動可能な場合であるが、例えば上記における支持部材がＹ方向に基板上に固定され、ヘッドユニットが支持部材の側方をＸ方向に移動可能に支持装置に支持され、基板がＹ方向に移動可能な表面実装機においても、ヘッドユニットの重量に起因し、曲げモーメントが発生し、電子部品の実装位置が主にＹ方向にずれ易くなるおそれがある。

また、吸着ノズルを昇降可能に保持するヘッドが設けられたヘッドユニットを少なくとも一方向に移動可能とし、吸着ノズルで電子部品を吸着運搬し、吸着ノズルを下降させて所定位置の検査ソケット上に載置するＩＣハンドラーにおいても、前記ヘッドユニットが、支持部材の一方の側方においてヘッドユニットの重心位置が支持部材の幅方向中央から離間する形で、支持部材に移動可能に支持されているものにおいては、電子部品を正しく検査ソケット上に載置できず、検査が不能になり易くなるおそれがある。

本発明はこのような問題を解決するためになされたもので、ヘッドユニットの重量が増加しても電子部品を正確に載置することができる電子部品移載装置を提供することを目的とする。

この目的を達成するために、本発明に係る電子部品移載装置は、基台の上方において、互いに離間して水平方向に配置される一対の第１のガイドレールと、両端部がそれぞれ前記第１のガイドレールに移動自在に支持されるヘッドユニットと、前記一対の第１のガイドレールに挟まれたヘッドユニットの中間部に昇降可能に支持された吸着ヘッドと、前記ヘッドユニットを前記第１のガイドレールに沿って往復動させる第１の駆動装置と、前記吸着ヘッドをヘッドユニットに対して昇降させる昇降装置とを備え、電子部品を吸着ノズルで吸着し、前記第１の駆動装置によりヘッドユニットを所定位置まで移動するとともに、昇降装置により吸着ノズルを下降させることで、電子部品を所定位置へ移載するものである。

請求項２に記載した発明に係る電子部品移載装置は、基台の上に水平方向に延びるように一対の第２のガイドレールを設け、第１のガイドレールを配置した支持部材を、その両端部をそれぞれ前記第２のガイドレールに移動可能に支持させ、前記第１のガイドレールの延在方向と第２のガイドレールの延在方向とを交差させ、前記支持部材を前記第２のガイドレールに沿って往復動させる第２の駆動装置を備え、電子部品を吸着ノズルで吸着し、第１の駆動装置と第２の駆動装置とによりヘッドユニットを所定位置まで移動するとともに、昇降装置により吸着ノズルを下降させることで、電子部品を所定位置へ移載するものである。

請求項３に記載した発明に係る電子部品移載装置は、請求項２に記載した電子部品移載装置において、支持部材を、平面視において第２のガイドレールと交差する方向に延びる一対の第１の枠部と、この第１の枠部の間に位置する第２の枠部とによって額縁状に形成し、第１のガイドレールを、前記第１の枠部にそれぞれ設け、ヘッドユニットを、平面視において前記支持部材の内側に位置付けたものである。

請求項４に記載した発明に係る電子部品移載装置は、請求項３に記載した電子部品移載装置において、第２の駆動装置を、第２のガイドレールと平行に延びるボールねじ軸と、このボールねじ軸に螺合するボールねじナットとを有するボールねじ機構によって構成し、前記ボールねじナットを、支持部材の第１の枠部間を連結する第２の枠部に取付けたものである。

請求項５に記載した発明に係る電子部品移載装置は、請求項１ないし請求項４のうちいずれか一つに記載した電子部品移載装置において、ヘッドユニットを、一つの支持部材に第１のガイドレールの延在方向に並ぶ状態で２台装備し、第１の駆動装置を、各ヘッドユニット毎に設けたものである。

請求項６に記載した発明に係る電子部品移載装置は、請求項１ないし請求項５のうちいずれか一つに記載した電子部品移載装置において、ヘッドユニットに複数の吸着ヘッドを装備させ、これらの吸着ヘッドのうち少なくとも一つの吸着ヘッドを水平方向に移動させ、他の少なくとも一つの吸着ヘッドに対する距離を変化させる第３の駆動装置を装備したものである。

請求項７に記載した発明に係る電子部品移載装置は、請求項６に記載した電子部品移載装置において、第３の駆動装置を、吸着ヘッドを第２のガイドレールの延在方向に移動させる第２方向駆動装置によって構成したものである。

請求項８に記載した発明に係る電子部品移載装置は、請求項７に記載した電子部品移載装置において、ヘッドユニットに、吸着ヘッドを第１のガイドレールの延在方向に移動させる第１方向駆動装置を備えさせ、第２のガイドレールの延在方向に移動可能な少なくとも一つの吸着ヘッドの内の、少なくとも一つの吸着ヘッドを、前記第１方向駆動装置により第１のガイドレールの延在方向にも移動可能としたものである。

請求項９に記載した発明に係る電子部品移載装置は、請求項６に記載した電子部品移載装置において、第３の駆動装置を、吸着ヘッドを第１のガイドレールの延在方向に移動させる第１方向駆動装置により構成したものである。

請求項１０に記載した発明に係る電子部品移載装置は、請求項１ないし請求項５のうちいずれか一つに記載した電子部品移載装置において、ヘッドユニットに、複数の吸着ヘッドを設け、これらの吸着ヘッドのうち少なくとも一つの吸着ヘッドを第２のガイドレールの延在方向に移動させる第２方向駆動装置と、少なくとも一つの吸着ヘッドを第１のガイドレールの延在方向に移動させる第１方向駆動装置とからなる第３の駆動装置を装備し、この第１方向駆動装置により、第１のガイドレールの延在方向に移動可能な吸着ヘッドを、他の少なくとも一つの吸着ヘッドとの距離を変化可能とするとともに、前記第２方向駆動装置により、第２のガイドレールの延在方向に移動可能な吸着ヘッドを、他の少なくとも一つの吸着ヘッドとの距離を変化可能としたものである。

請求項１１に記載した発明に係る電子部品移載装置は、請求項９または請求項１０に記載した電子部品移載装置において、第１のガイドレールの延在方向に移動可能な少なくとも一つの吸着ヘッドの内の、少なくとも一つの吸着ヘッドを、前記第２方向駆動装置により第２のガイドレールの延在方向にも移動可能としたものである。

請求項１２に記載した発明に係る電子部品移載装置は、請求項１ないし請求項１１のうちいずれか一つに記載した電子部品移載装置において、基台上に電子部品を供給する部品供給部を備え、電子部品を吸着ノズルで吸着し、ヘッドユニットを所定位置まで移動するとともに、昇降装置により吸着ノズルを下降することで、基台上に配置されるプリント配線板上の所定位置へ電子部品を移載実装する表面実装機を構成するものである。

請求項１３に記載した発明に係る電子部品移載装置は、請求項１ないし請求項１１のうちいずれか一つに記載した電子部品移載装置において、基台上に未検査の電子部品を供給する未検査部品供給部と、検査済みの電子部品を受け取る検査済み品受け部とが配置され、未検査部品を吸着ノズルで吸着し、ヘッドユニットを所定位置まで移動するとともに、昇降装置により吸着ノズルを下降させることで、基台上所定位置に配置された検査ソケットに未検査部品を移載するとともに、検査を終えた後検査済み品を吸着ノズルにより検査済み品受け部に移動させるＩＣハンドラーを構成するものである。

本発明によれば、ヘッドユニットの両端部を支持部材によって支持することができる。このため、ヘッドユニットの重量によって支持部材に曲げモーメントが作用することはないか、作用したとしても無視できるほど小さいから、ヘッドユニットに機能部品を追加したりしてその重量が増大したとしても、電子部品を被載置位置に正確に載置することができる。

請求項４記載の発明によれば、第１の駆動装置を第２の駆動装置との干渉を避けながら支持部材の第２の枠部に接続することができる。このため、支持部材に第１の駆動装置を接続するにあたって、支持部材を大型化することなく第１の駆動装置用の取付スペースを広くとることができるから、支持部材をコンパクトに形成することができる。

請求項５記載の発明によれば、２台のヘッドユニットを電子部品が被載置位置に正しく載置されるように装備することができるから、電子部品を移載する効率をより一層向上させることができる。

請求項６ないし請求項１１記載の発明によれば、第３の駆動装置を装備することにより重量が増加するにもかかわらず、電子部品を被載置位置に正確に載置することができる。
また、この発明による電子部品移載装置によれば、複数の吸着ヘッドどうしの間隔を変えることができるとともに、ヘッドユニットに対する吸着ヘッドの水平方向の位置を変えることができる。このため、この電子部品移載装置では、複数の吸着ヘッドにおいて同時に電子部品を吸着すること、あるいは複数の吸着ヘッドにおいて同時に電子部品を被載置位置に載置することのいずれか一方、あるいは両方が可能となる。

したがって、この発明によれば、第３の駆動装置の装備によってヘッドユニットの重量が増大するにもかかわらず、ヘッドユニットを安定した状態で支持することができ、しかも、複数の吸着ヘッドにおいて同時吸着、あるいは同時装着のいずれか一方、あるいは両方が可能となるから、部品移載効率が著しく高い電子部品移載装置を提供することができる。

請求項１２記載の発明によれば、電子部品をより一層正確にプリント配線板に実装できる表面実装機を提供することができる。
請求項１３記載の発明によれば、被検査用電子部品をより一層正確に検査用ソケットに装填できるＩＣハンドラーを提供することができる。

（第１の実施の形態）
以下、本発明に係る電子部品移載装置の一実施の形態を図１ないし図１２によって詳細に説明する。ここでは、本発明に係る電子部品移載装置を表面実装機に適用する場合の形態について説明する。
図１はこの実施の形態による表面実装機の構成を示す平面図、図２は同じく側面図、図３はヘッドユニットの構成を示す平面図、図４はヘッドユニットの側面図である。図５〜図７は第３の駆動装置の構成を示す断面図で、図５は図４におけるＶ−Ｖ線断面図、図６は図４におけるVI−VI線断面図、図７は図４におけるVII−VII線断面図である。
図８は吸着ヘッドの縦断面図で、同図は図３におけるIII−III線断面図である。図９は本発明に係る表面実装機の斜視図、図１０はヘッドユニットの一部を拡大して示す斜視図、図１１は部品認識用カメラの構成を示す斜視図、図１２は部品認識用カメラを支持部材に装着した形態を示す図である。

これらの図において、符号１で示すものは、この実施の形態による表面実装機を示す。この表面実装機１は、図１、図２および図９に示すように、基台２と、この基台２上に設けられたコンベア３と、後述するヘッドユニット４，５をＸ方向（図１においては左右方向）とＹ方向（図１においては上下方向）とに移動させるための移動装置６とを備えている。

前記基台２は、Ｘ方向の両端部に位置する側部支持台７，７と、これらの側部支持台７，７どうしの間に相対的に低くなるように形成された主支持部８とを備えている。
前記コンベア３は、前記主支持部８に搭載されており、側部支持台７に形成された搬送口７ａ（図９参照）を通してプリント配線板９（図９参照）を図１において右側から左側へ搬送する。このコンベア３には、プリント配線板９を基台２の略中央部となる実装位置に固定するためのクランプ機構（図示せず）が設けられている。

基台２の主支持部８上であってＹ方向の両端部には、電子部品１１（図１１参照）を供給するための多数のテープフィーダー１２，１２‥‥が設けられている。前記移動装置６は、このテープフィーダー１２の部品供給部１２ａ（図９参照）と、前記実装位置にあるプリント配線板９との間でヘッドユニット４，５を移動させるように構成されている。

この移動装置６は、図１、図２および図９に示すように、前記基台２の側部支持台７に搭載されている。この側部支持台７上には、Ｙ方向に延びるＹ方向ガイドレール１３が取付けられている。このＹ方向ガイドレール１３によって、本発明でいう第２のガイドレールが構成されている。このＹ方向ガイドレール１３には、後述する支持部材１４がＹ方向に移動自在に支持されている。

支持部材１４は、図１に示すように、平面視において前記Ｙ方向ガイドレール１３と交差する方向に延びる一対の第１の枠部１５，１５と、これらの第１の枠部１５，１５の間に位置する第２の枠部１６とによって額縁状に形成されている。前記一対の第１の枠部１５，１５どうしは、これら第１の枠部１５，１５どうしの間に後述するヘッドユニット４，５の一部を収容することができるように、所定の間隔を保つように離間させている。第１の枠部１５は、Ｘ方向の両端部においてそれぞれＹ方向ガイドレール１３に支持されている。

前記第２の枠部１６は、Ｙ方向に延びるように形成され、第１の枠部１５のＸ方向の端部どうしを接続しており、前記Ｙ方向ガイドレール１３に支持されている。
この第２の枠部１６には、支持部材１４をＹ方向に往復動させるためのＹ方向駆動装置２１が接続されている。このＹ方向駆動装置２１によって、本発明でいう第２の駆動装置が構成されている。なお、本実施の形態においては、第１の枠部材（本発明でいう第１の枠部）１５、１５と、この第１の枠部材１５、１５の間に位置する第２の枠部材（本発明でいう第２の枠部）１６、１６をそれぞれ個別の部材で構成し、組み立てによって額縁状に一体化して支持部材１４を形成している。しかしながら、支持部材１４は鋳造や鍛造等で一体に形成しても良く、あるいは２つ以上の部材を組み立てて形成しても良い。

前記Ｙ方向駆動装置２１は、前記側部支持台７の上でＹ方向に延びる状態で側部支持台７に回転自在に支持されたボールねじ軸２２と、このボールねじ軸２２を回転させるモータ２３と、ボールねじ軸２２に螺合するボールねじナット２２ａ（図９参照）を有しかつ前記第２の枠部１６に取付けられた連結部材２４とを備えている。この連結部材２４は、第２の枠部１６のＹ方向の中央部に接続されている。

支持部材１４を構成する一対の第１の枠部１５には、Ｘ方向に延びるＸ方向ガイドレール２５がそれぞれ取付けられている。これらのＸ方向ガイドレール２５，２５は、後述するヘッドユニット４，５の脚部材２６（図４および図９参照）をＸ方向に移動自在に支持している。このＸ方向ガイドレール２５によって、本発明でいう第１のガイドレールが構成されている。また、前記第１の枠部１５の上には、ヘッドユニット４，５をＸ方向に平行移動させるためのＸ方向駆動装置２７，２７が設けられている。このＸ方向駆動装置２７によって、本発明でいう第１の駆動装置が構成されている。

この実施の形態による表面実装機１においては、支持部材１４に２台のヘッドユニット４，５が搭載されているために、Ｘ方向駆動装置２７も２台設けられている。２台のヘッドユニット４，５のうち図１において左側に位置する第１のヘッドユニット４は、一対の第１の枠部１５，１５のうち図１において上側に位置する第１の枠部１５に設けられたＸ方向駆動装置２７によって駆動する。図１において右側に位置する第２のヘッドユニット５は、図１において下側に位置する第１の枠部１５に設けられたＸ方向駆動装置２７によって駆動する。

Ｘ方向駆動装置２７は、第１の枠部１５の上でＸ方向に延びる状態で第１の枠部１５に回転自在に支持されたボールねじ軸２８と、このボールねじ軸２８を回転させるモータ２９と、ボールねじ軸２８に螺合するボールねじナット３０を有しかつヘッドユニット４，５に取付けられた連結部材３１（図４参照）とを備えている。

第１のヘッドユニット４と第２のヘッドユニット５は、互いに同一の構造のものであり、図１に示すように、支持部材１４に前後方向が反対となるように搭載されている。このため、ここにおいては、第１のヘッドユニット４について詳細に説明し、第２のヘッドユニット５については、同一符号を付し詳細な説明は省略する。

第１のヘッドユニット４は、図３および図４に示すように、平面視において矩形状に形成された主フレーム３２と、この主フレーム３２の内側（ヘッドユニット４の中間部またはヘッドユニット５の中間部）に設けられた第１〜第３の吸着ヘッド３３〜３５と、部品認識用カメラ３６などを備えている。前記主フレーム３２は、図３に示すように、装置前側（図３においては下側）に位置する前壁４１と、後壁４２と、左側壁４３および右側壁４４などによって構成されている。

このヘッドユニットを前記支持部材１４に搭載するための前記脚部材２６は、図３および図４に示すように、前記主フレーム３２の前壁４１と後壁４２とにおけるＸ方向の両端部にそれぞれ設けられている。これらの脚部材２６は、前壁４１および後壁４２からＹ方向に突出しており、先端部にスライダ４５を備えている。このスライダ４５は、前記Ｘ方向ガイドレール２５に移動自在に支持されている。

前記主フレーム３２における装置前側であって、Ｘ方向の中央部には、図５に示すように、Ｙ方向に延びる一対のガイド壁４６，４６が設けられている。このガイド壁４６，４６間には、Ｙ方向に延びるガイドレール４７と、このガイドレール４７に移動自在に支持されたスライダ４８とからなるＹ方向のスライド機構４９を介して後述する第１の吸着ヘッド３３が装着されている。前記ガイドレール４７は第１の吸着ヘッド３３に固定され、スライダ４８はガイド壁４６に固定されている。

また、主フレーム３２の前記前壁４１には、図３および図５に示すように、第１の吸着ヘッド３３をＹ方向に往復動させるための第２方向駆動装置５１が設けられている。この第２方向駆動装置５１は、主フレーム３２に軸線方向がＹ方向を指向するように取付けられたモータ５２と、このモータ５２の出力軸５２ａに設けられたボールねじ軸５３と、このボールねじ軸５３に螺合する状態で第１の吸着ヘッド３３に固定されたボールねじナット５４などによって構成されている。すなわち、第１の吸着ヘッド３３は、主フレーム３２内におけるＹ方向の一端側であってＸ方向の中央部にＹ方向にのみ移動可能に装備され、前記第２方向駆動装置５１によってＹ方向に往復動させられる。

前記主フレーム３２の後部には、図３に示すように、Ｘ方向に延びるガイドレール５５と、このガイドレール５５に移動自在に支持されたスライダ５６とからなるＸ方向のスライド機構を介して二つの副フレーム５７，５８がそれぞれＸ方向に移動自在に設けられている。前記ガイドレール５５は、主フレーム３２の後壁４２に固定され、スライダ５６は副フレーム５７，５８の後述するＸ方向延在部５７ａ，５８ａに固定されている。

前記二つの副フレーム５７，５８は、図３、図６および図７に示すように、主フレーム３２の後壁４２と平行にＸ方向と上下方向とに延びるＸ方向延在部５７ａ，５８ａと、このＸ方向延在部５７ａ，５８ａのＸ方向の一端からＹ方向であって前記後壁４２とは反対側へ延びるＹ方向延在部５７ｂ，５８ｂとによってそれぞれ断面Ｌ字状に形成されている。これらの副フレーム５７，５８のうち図３において左側に位置する第１の副フレーム５７のＹ方向延在部５７ｂは、Ｘ方向延在部５７ａの左側の端部に接続されている。一方、図３において右側に位置する第２の副フレーム５８のＹ方向延在部５８ｂは、Ｘ方向延在部５８ａの右側の端部に接続されている。

前記二つの副フレーム５７，５８のＹ方向延在部５７ｂ，５８ｂには、図６に示すように、第２、第３の吸着ヘッド３４，３５を副フレーム５７，５８とともにＸ方向に移動させるための第１方向駆動装置６１がそれぞれ設けられている。これらの第１方向駆動装置６１は、主フレーム３２の左側壁４３または右側壁４４に軸線方向がＸ方向を指向するように取付けられたモータ６２と、このモータ６２の出力軸６２ａに設けられたボールねじ軸６３と、このボールねじ軸６３に螺合する状態で前記Ｙ方向延在部５７ｂ，５８ｂに固定されたボールねじナット６４などによって構成されている。

二つの副フレーム５７，５８のうち図３において左側に位置する第１の副フレーム５７を駆動する第１方向駆動装置６１のモータ６２は、図３に示すように、主フレーム３２の左側壁４３から左側方に突出するように取付けられ、他方の第２の副フレーム５８を駆動する第１方向駆動装置６１のモータ６２は、主フレーム３２の右側壁４４から右側方に突出するように取付けられている。

前記第１の副フレーム５７のＹ方向延在部５７ｂにおける主フレーム３２の左側壁４３とは反対側には、図３および図７に示すように、Ｙ方向に延びるガイドレール６５と、このガイドレール６５に移動自在に支持されたスライダ６６とからなるＹ方向のスライド機構６７を介して第２の吸着ヘッド３４がＹ方向に移動自在に装着されている。

一方、第２の副フレーム５８のＹ方向延在部５８ｂにおける主フレーム３２の右側壁４４とは反対側には、図３に示すように、Ｙ方向に延びるガイドレール６８と、このガイドレール６８に移動自在に支持されたスライダ６９とからなるＹ方向のスライド機構７０を介して第３の吸着ヘッド３５がＹ方向に移動自在に装着されている。これら二つのスライド機構６７，７０のガイドレール６５，６８は、第２、第３の吸着ヘッド３４，３５に固定され、スライダ６６，６９はＹ方向延在部５７ｂ，５８ｂに固定されている。

前記第１の副フレーム５７のＸ方向延在部５７ａと、第２の副フレーム５８のＸ方向延在部５８ａとには、図７および図８に示すように、第２、第３の吸着ヘッド３４，３５をＹ方向に移動させるための第２方向駆動装置７１がそれぞれ設けられている。
これらの第２方向駆動装置７１は、副フレーム５７，５８のＸ方向延在部５７ａ，５８ａに軸線方向がＹ方向を指向するように取付けられたモータ７２と、このモータ７２の出力軸７２ａに設けられたボールねじ軸７３と、このボールねじ軸７３に螺合する状態で第２または第３の吸着ヘッド３４，３５に固定されたボールねじナット７４などによって構成されている。前記二つのモータ７２，７２は、主フレーム３２の後壁４２に形成された開口部４２ａ（図７参照）を通り主フレーム３２から後方に突出している。前記開口部４２ａは、第２、第３の吸着ヘッド３４，３５とともに前記モータ７２がＸ方向に移動するときにこのモータ７２と後壁４２との干渉を避けるためのものである。

すなわち、第２の吸着ヘッド３４と第３の吸着ヘッド３５とは、主フレーム３２の内側にＸ方向とＹ方向とにそれぞれ移動自在に装備され、前記第１方向駆動装置６１によって主フレーム３２に対してＸ方向に往復動させられるとともに、前記第２方向駆動装置７１によって主フレーム３２に対してＹ方向に往復動させられる。この実施の形態においては、上述した第１方向駆動装置６１と、第２方向駆動装置５１，７１とによって、本発明でいう第３の駆動装置が構成されている。

第１〜第３の吸着ヘッド３３〜３５は、図４、図８および図１０に示すように、前記第２方向駆動装置５１，７１のボールねじナット５４，７４が取付けられた吸着ヘッド本体８１と、この吸着ヘッド本体８１に上下方向（以下においてはＺ方向という）のスライド機構８２を介して昇降自在に支持された昇降部材８３と、この昇降部材８３の下端部に取付けられた吸着ノズル８４などを備えている。
前記Ｚ方向のスライド機構８２は、吸着ヘッド本体８１に上下方向に延びるように固定されたガイドレール８５と、このガイドレール８５に昇降自在に支持されかつ昇降部材８３に固定されたスライダ８６とから構成されている。

前記吸着ヘッド本体８１は、主フレーム３２をＺ方向に貫通する長さに形成されており、昇降部材８３を昇降させるためのＺ方向駆動装置９１を備えている。このＺ方向駆動装置９１は、吸着ヘッド本体８１の上端部に軸線が下方を指向する状態で取付けられたモータ９２と、このモータ９２の出力軸９２ａに接続されたボールねじ軸９３と、このボールねじ軸９３に螺合する状態で昇降部材８３に固定されたボールねじナット９４などによって構成されている。

前記昇降部材８３は、吸着ノズル８４をＺ方向の軸線回りに回転自在に支持しており、この吸着ノズル８４を前記軸線回りに回転させるための回転駆動装置９５と、吸着ノズル８４から空気を吸引するための空気吸引用パイプ９６（図１０参照）とを備えている。前記回転駆動装置９５は、昇降部材８３における吸着ノズル８４の上方の部位に軸線が下方を指向するように設けられたモータ９７によって吸着ノズル８４を回転させる構成が採られている。

このように構成された第１〜第３の吸着ヘッド３３〜３５は、図３に示すように、吸着ノズル８４がＸ方向に一列に並ぶように主フレーム３２に装備されている。詳述すると、第１の吸着ヘッド３３は、主フレーム３２の前部であってＸ方向の中央部に前壁４１から後方に延びるように設けられている。第２の吸着ヘッド３４と第３の吸着ヘッド３５とは、主フレーム３２の後部であってＸ方向の両側部に後壁４２から前方に延びるようにそれぞれ設けられている。

第１〜第３の吸着ヘッド３３〜３５をこのように主フレーム３２に装着することによって、３個の吸着ノズル８４の相互の間隔を第１方向駆動装置６１によって変えることができるとともに、各吸着ノズル８４の主フレーム３２に対するＹ方向の位置を第２方向駆動装置５１，７１によって変えることができる。すなわち、この実施の形態による表面実装機１においては、吸着ノズル８４どうしの間隔を多数のテープフィーダー１２の設置間隔と一致させることができるから、３本の吸着ノズル８４によって一度に電子部品１１を吸着することができる。

吸着ノズル８４に電子部品１１を吸着したときの吸着ノズル８４に対する電子部品１１の位置は、主フレーム３２に設けられた部品認識用カメラ３６（図３、図４および図１１参照）により電子部品１１を下方から撮像し、画像処理によって検出する。

部品認識用カメラ３６は、図３、図４、図１１および図１２に示すように、主フレーム３２の右側壁４４から右方（図１１や図１２においては左方）に突出するとともに軸線がＸ方向を指向する状態で前記右側壁４４に支持されたモータ１０１と、このモータ１０１の出力軸１０１ａに設けられたボールねじ軸１０２と、このボールねじ軸１０２に螺合するボールねじナット１０３が固定された移動部材１０４と、この移動部材１０４に取付けられたカメラ本体１０５とから構成されている。

前記移動部材１０４は、Ｘ方向に延びるガイドレール１０６（図１１参照）と、このガイドレール１０６に移動自在に支持されたスライダ１０７とからなるＸ方向のスライド機構１０８によって主フレーム３２の下端部にＸ方向へ移動自在に支持されている。このスライド機構１０８は、図３に示すように、移動部材１０４が第２の吸着ヘッド３４より外側（左側）の位置と、第３の吸着ヘッド３５より外側（右側）の位置との間で移動できるように形成されている。また、前記移動部材１０４は、図１１に示すように、多数の照明用ＬＥＤ１０９を備え、撮影時には、吸着ノズル８４に吸着された電子部品１１に下方から光を照射するように構成されている。

カメラ本体１０５は、リニアセンサやエリアセンサなどの撮像素子（図示せず）を備え、図４に示すように、Ｙ方向に延びるように移動部材１０４に取付けられている。この部品認識用カメラ３６による電子部品１１の撮像は、吸着ノズル８４に電子部品１１が吸着されている状態で前記モータ１０１を有するボールねじ式の駆動装置１１０によって移動部材１０４をＸ方向に移動させながら、移動部材１０４内に設けられたミラー（図示せず）を介して吸着ノズル８４側を下方から見上げるようにして行われる。

この部品認識用カメラ３６によって検出された電子部品１１の吸着位置ずれは、前記第１方向駆動装置６１と第２方向駆動装置５１，７１の駆動により各吸着ノズル８４の位置を変えることによって修正する。第１の吸着ヘッド３３に設けた吸着ノズル８４において生じた吸着位置ずれは、第２方向駆動装置５１により第１の吸着ヘッド３３をＹ方向に移動させるとともに、ヘッドユニット４，５をＸ方向駆動装置２７によってＸ方向に移動させることによって修正する。また、第１の吸着ヘッド３３において、電子部品１１がＺ方向の軸線回りに回されたような状態で吸着されている場合は、回転駆動装置９５により吸着ノズル８４を回転させることによって上記回転方向の位置ずれを修正する。

第２の吸着ヘッド３４と第３の吸着ヘッド３５とに設けた吸着ノズル８４で生じた吸着位置ずれは、前記ヘッドユニット４，５のＸ方向への移動量を加算した状態で第１方向駆動装置６１により第２，第３の吸着ヘッド３４，３５をＸ方向に移動させ、かつ第２方向駆動装置７１によって第２，第３の吸着ヘッド３４，３５をＹ方向に移動させることによって修正する。また、第２および第３の吸着ヘッド３４，３５において、電子部品１１がＺ方向の軸線回りに回されたような状態で吸着されている場合は、回転駆動装置９５により吸着ノズル８４を回転させることによって上記回転方向の位置ずれを修正する。

この表面実装機１においては、上述した第１方向駆動装置６１と第２方向駆動装置５１，７１とによって３本の吸着ノズル８４の相互の間隔と、各吸着ノズル８４の主フレーム３２に対するＹ方向の位置とを変えることができるから、吸着ノズル８４毎に電子部品１１をプリント配線板９の所定の実装位置に位置決めすることができる。すなわち、この表面実装機１では、電子部品１１を３本の吸着ノズル８４によってプリント配線板９に同時に実装することができる。

この実施の形態における部品認識カメラ３６は、図３、図４および図１１に示すように、主フレーム３２の下面に取り付け、第１のヘッドユニット４や第２のヘッドユニット５がＸ方向に移動中でも停止していても、またどの位置にあっても、モータ１０１の駆動により、吸着された部品の認識を可能とするものである。一方、図１２に示すように、部品認識用カメラ３６を支持部材１４の下面に取り付けることもできる。

図１２に示す部品認識用カメラ３６は、支持部材１４の一方の第１の枠部１５にＸ方向のスライド機構１１１を介して支持されている。このスライド機構１１１は、第１の枠部１５に固定されたガイドレール１１２と、このガイドレール１１２に移動自在に支持されかつ移動部材１０４に固定されたスライダ１１３とによって構成されている。この形態を採るに当たって、モータ１０１は、図示していないブラケットによって第１の枠部１５に支持、固定されている。これによると、同様、第１のヘッドユニット４や第２のヘッドユニット５をＸ方向に移動中モータ１０１を駆動して部品認識用カメラ３６をＸ方向に移動させることで、相対速度を高める場合には短時間に部品認識が可能となる。なお、部品認識用カメラ３６を支持部材１４の下面に取り付ける場合、固定することでスライド機構１１１やモータ１０１が不要になる分、部品認識用カメラ３６を軽量化することができる。

上述したように構成された表面実装機１においては、平面視において額縁状に形成された支持部材１４の一対の第１の枠部１５（Ｘ方向ガイドレール２５）にヘッドユニット４，５の前後方向の両端部が移動自在に支持されている。このため、ヘッドユニット４，５の重量によって支持部材１４に曲げモーメントが作用することはないか、作用したとしても無視できるほど小さくなる。

したがって、この実施の形態による表面実装機１は、第１〜第３の吸着ヘッド３３〜３５を水平方向に移動させるための第１方向駆動装置６１および第２方向駆動装置５１，７１や、部品認識用カメラ３６などを装備していることから従来の表面実装機１に較べてヘッドユニット４，５の重量が増大しているにもかかわらず、電子部品１１の実装ミスが発生することはなく、電子部品１１をプリント配線板９に高い精度で実装することができる。

この実施の形態による表面実装機１は、支持部材１４の第２の枠部１６に、Ｙ方向駆動装置２１のボールねじナットを有する連結部材２４が取付けられている。このため、Ｙ方向駆動装置２１を支持部材１４に接続するに当たって、支持部材１４の第１の枠部１５上に位置するＸ方向駆動装置２７との干渉を避けることができる。したがって、この表面実装機１によれば、支持部材１４にＹ方向駆動装置２１を接続するに当って、支持部材１４を大型化することなくＹ方向駆動装置２１用の取付スペースを広くとることができるから、支持部材１４をコンパクトに形成することができる。

この実施の形態による表面実装機１のヘッドユニットは、一つの支持部材１４にＸ方向ガイドレール２５の延在方向に並ぶように２台装備され、各ヘッドユニット毎にＸ方向駆動装置２７が設けられている。このため、この表面実装機１によれば、２台のヘッドユニット４，５を電子部品１１がプリント配線板９に正しく実装されるように装備することができるから、２台のヘッドユニット４，５により実装を行うことにより実装効率がより一層向上する。

この実施の形態による表面実装機１は、第１方向駆動装置６１と第２方向駆動装置５１，７１とを備えており、第１〜第３吸着ヘッド３３〜３５どうしの間隔を変えることができるとともに、ヘッドユニット４，５に対する第１〜第３の吸着ヘッド３３〜３５のＹ方向の位置を変えることができる。このため、この表面実装機１は、全ての吸着ヘッド３３〜３５において同時に電子部品１１を吸着し、全ての吸着ヘッド３３〜３５において同時に電子部品１１をプリント配線板９に実装することができる。

（第２の実施の形態）
本発明に係る電子部品移載装置は、図１３に示すように、ＩＣハンドラーに適用することができる。
図１３は本発明に係る電子部品移載装置を装備したＩＣハンドラーの構成を示す平面図である。同図において前記図１〜図１２によって説明したものと同一もしくは同等の部材については、同一符号を付し詳細な説明は適宜省略する。

図１３に示すＩＣハンドラー２００は、基台２０１の一端部（図１３においては右側の端部）に設けられた複数の検査用ソケット２０２と、基台２０１に設けられた４台のパレット用昇降テーブル２０３と、これらの昇降テーブル２０３と前記検査用ソケット２０２との間に設けられた部品認識カメラ２０４と、基台２０１の上方でヘッドユニット４，５をＸ方向とＹ方向とに移動させるための移動装置２０５などを備えている。

前記検査用ソケット２０２は、図示していない電子部品に対して電気的な検査を行うためのもので、電子部品が一つずつ装填されるように構成されている。
前記パレット用昇降テーブル２０３は、多数の電子部品を収納した複数のパレット２０６〜２０９を上下方向に重ねた状態で支持するとともに、これらのパレット２０６〜２０９を昇降させることができるように構成されている。

４台の昇降テーブル２０３のうち、図１３において最も右側に位置する昇降テーブル２０３は、未検査の電子部品が収納されたパレット２０６が装填され、図１３においてこの昇降テーブル２０３の左側に隣接する昇降テーブル２０３は、検査後に良品であると判定された電子部品を収納するためのパレット２０７が装填されている。さらに、この昇降テーブル２０３の左隣に位置する昇降テーブル２０３は、検査後に不良品であると判定された電子部品を収納するためのパレット２０８が装填され、最も左側に位置する昇降テーブル２０３は、空のパレット２０９が装填されている。この最も左側に位置する昇降テーブル２０３には、未検査の電子部品が全て搬出されたパレット２０６が後述するパレット移動用ヘッド２１０によって移載される。

前記部品認識カメラ２０４は、電子部品を下方から撮像し、吸着ノズル８４に対する電子部品の位置を画像処理によって検出するためのものである。
前記移動装置２０５は、基台２０１上でＹ方向に延びる一対のＹ方向ガイドレール２１１，２１１と、このＹ方向ガイドレール２１１に両端部が移動自在に支持された支持部材１４と、この支持部材１４をＹ方向に往復動させるボールねじ式のＹ方向駆動装置（図示せず）とを備えている。

前記Ｙ方向ガイドレール２１１には、支持部材１４の他に、パレット移動用ヘッド２１０がＹ方向に移動自在に装着されている。このパレット移動用ヘッド２１０は、未検査の電子部品が無くなったパレット２０６を吸着し、空パレット用昇降テーブル２０３に移動させるとともに、良品用パレット２０７や不良品用パレット２０８が電子部品で満たされた場合にこれらのパレット２０７，２０８の上に空パレット用昇降テーブル２０３から空のパレット２０９を移載するためのもので、パレットを上方から吸着するための吸着ノズル２１２を備えている。昇降テーブル２０３は、このようなパレットの移動に連動し、最も上にあるパレットの高さを一定に保つように構成されている。

この実施の形態によるヘッドユニット４，５は、そのＹ方向の両端部が支持部材１４にＸ方向へ移動自在に支持されており、図示していない第１の駆動装置によってＸ方向に往復動させられる。また、このヘッドユニット４，５は、第１の実施の形態を採る場合でいう第２または第３の吸着ヘッド４４，４５と同等の構造の吸着ヘッド２１３をそれぞれ１本ずつ装備している。すなわち、この吸着ヘッド２１３は、吸着ノズル８４をヘッドユニット４，５に対してＸ方向とＹ方向とに移動させるとともに昇降させ、かつ上下方向の軸線回りに回転させることができるように構成されている。

このように構成されたＩＣハンドラー２００においては、ヘッドユニット４，５に設けられた吸着ヘッド２１３によってパレット２０６の未検査の電子部品を２個同時に吸着し、これらの電子部品を部品認識カメラ２０４によって撮像し、吸着位置の補正を行った後に検査用ソケット２０２に同時に装填することができる。この電子部品は、検査終了後に吸着ヘッド２１３によって良品用パレット２０７または不良品用パレット２０８に移載される。

この実施の形態によるＩＣハンドラー２００においては、ヘッドユニット４，５の両端部が支持部材１４に支持されているから、支持部材１４に曲げモーメントが作用することはないか、作用したとしても無視できるほど小さくなる。このため、電子部品を検査用ソケット２０２により一層正確に装填することができる。この実施の形態によるＩＣハンドラー２００は、複数の電子部品をパレット２０６で同時に吸着し、検査用ソケット２０２に同時に装填することができるから、装填ミスを起こすことがないことと相俟って、検査効率が高いものとなる。

本発明に係る部品移載装置を装備した表面実装機の構成を示す平面図である。 本発明に係る表面実装機の構成を示す側面図である。 ヘッドユニットの構成を示す平面図である。 ヘッドユニットの側面図である。 第３の駆動装置の構成を示す断面図である。 第３の駆動装置の構成を示す断面図である。 第３の駆動装置の構成を示す断面図である。 吸着ヘッドの縦断面図である。 本発明に係る表面実装機１の斜視図である。 ヘッドユニットの一部を拡大して示す斜視図である。 部品認識用カメラの構成を示す斜視図である。 部品認識用カメラを支持部材に装着した形態を示す図である。 本発明に係る電子部品移載装置を装備したＩＣハンドラーの構成を示す平面図である。

符号の説明

２…基台、４，５…ヘッドユニット、１３…Ｙ方向ガイドレール、１４…支持部材、１５…第１の枠部、１６…第２の枠部、２１…Ｙ方向駆動装置、２２…ボールねじ軸、２４…連結部材、２５…Ｘ方向ガイドレール、２７…Ｘ方向駆動装置、３２…主フレーム、３３…第１の吸着ヘッド、３４…第２の吸着ヘッド、３５…第３の吸着ヘッド、５７，５８…副フレーム、６１…第１方向駆動装置、５１，７１…第２方向駆動装置、８４…吸着ノズル、２００…ＩＣハンドラー、２０５…移動装置、２１３…吸着ヘッド。

Claims (13)

1. 基台の上方において、互いに離間して水平方向に配置される一対の第１のガイドレールと、
   両端部がそれぞれ前記第１のガイドレールに移動自在に支持されるヘッドユニットと、
   前記一対の第１のガイドレールに挟まれたヘッドユニットの中間部に昇降可能に支持された吸着ヘッドと、
   前記ヘッドユニットを前記第１のガイドレールに沿って往復動させる第１の駆動装置と、
   前記吸着ヘッドをヘッドユニットに対して昇降させる昇降装置とを備え、
   電子部品を吸着ノズルで吸着し、前記第１の駆動装置によりヘッドユニットを所定位置まで移動するとともに、昇降装置により吸着ノズルを下降させることで、電子部品を所定位置へ移載する電子部品移載装置。
2. 請求項１記載の電子部品移載装置において、
   基台の上に水平方向に延びるように一対の第２のガイドレールを設け、
   第１のガイドレールを配置した支持部材を、その両端部をそれぞれ前記第２のガイドレールに移動可能に支持させ、
   前記第１のガイドレールの延在方向と第２のガイドレールの延在方向とを交差させ、
   前記支持部材を前記第２のガイドレールに沿って往復動させる第２の駆動装置を備え、
   電子部品を吸着ノズルで吸着し、第１の駆動装置と第２の駆動装置とによりヘッドユニットを所定位置まで移動するとともに、昇降装置により吸着ノズルを下降させることで、電子部品を所定位置へ移載する電子部品移載装置。
3. 請求項２記載の電子部品移載装置において、
   支持部材は、平面視において第２のガイドレールと交差する方向に延びる一対の第１の枠部と、この第１の枠部の間に位置する第２の枠部とによって額縁状に形成され、
   第１のガイドレールは、前記第１の枠部にそれぞれ設けられ、
   ヘッドユニットは、平面視において前記支持部材の内側に位置付けられている電子部品移載装置。
4. 請求項３記載の電子部品移載装置において、
   第２の駆動装置は、第２のガイドレールと平行に延びるボールねじ軸と、このボールねじ軸に螺合するボールねじナットとを有するボールねじ機構によって構成され、
   前記ボールねじナットは、支持部材の第２の枠部に取付けられている電子部品移載装置。
5. 請求項１ないし請求項４のうちいずれか一つに記載の電子部品移載装置において、
   ヘッドユニットは、一つの支持部材に第１のガイドレールの延在方向に並ぶ状態で２台装備され、
   第１の駆動装置は、各ヘッドユニット毎に設けられている電子部品移載装置。
6. 請求項１ないし請求項５のうちいずれか一つに記載の電子部品移載装置において、
   ヘッドユニットは複数の吸着ヘッドを有し、
   これらの吸着ヘッドのうち少なくとも一つの吸着ヘッドを水平方向に移動させ、他の少なくとも一つの吸着ヘッドに対する距離を変化させる第３の駆動装置を装備している電子部品移載装置。
7. 請求項６記載の電子部品移載装置において、
   第３の駆動装置は、吸着ヘッドを第２のガイドレールの延在方向に移動させる第２方向駆動装置により構成される電子部品移載装置。
8. 請求項７記載の電子部品移載装置において、
   ヘッドユニットは、吸着ヘッドを第１のガイドレールの延在方向に移動させる第１方向駆動装置を備え、
   第２のガイドレールの延在方向に移動可能な少なくとも一つの吸着ヘッドの内の、少なくとも一つの吸着ヘッドを、前記第１方向駆動装置により第１のガイドレールの延在方向にも移動可能とした電子部品移載装置。
9. 請求項６記載の電子部品移載装置において、
   第３の駆動装置は、吸着ヘッドを第１のガイドレールの延在方向に移動させる第１方向駆動装置により構成される電子部品移載装置。
10. 請求項１ないし請求項５のうちいずれか一つに記載の電子部品移載装置において、
    ヘッドユニットは、複数の吸着ヘッドを有し、
    これらの吸着ヘッドのうち少なくとも一つの吸着ヘッドを第２のガイドレールの延在方向に移動させる第２方向駆動装置と、少なくとも一つの吸着ヘッドを第１のガイドレールの延在方向に移動させる第１方向駆動装置とからなる第３の駆動装置を装備し、
    この第１方向駆動装置により、第１のガイドレールの延在方向に移動可能な吸着ヘッドを、他の少なくとも一つの吸着ヘッドとの距離を変化可能とするとともに、前記第２方向駆動装置により、第２のガイドレールの延在方向に移動可能な吸着ヘッドを、他の少なくとも一つの吸着ヘッドとの距離を変化可能とした電子部品移載装置。
11. 請求項９または請求項１０記載の電子部品移載装置において、
    第１のガイドレールの延在方向に移動可能な少なくとも一つの吸着ヘッドの内の、少なくとも一つの吸着ヘッドを、前記第２方向駆動装置により第２のガイドレールの延在方向にも移動可能とした電子部品移載装置。
12. 請求項１ないし請求項１１のうちいずれか一つに記載の電子部品移載装置は、
    基台上に電子部品を供給する部品供給部を備え、電子部品を吸着ノズルで吸着し、ヘッドユニットを所定位置まで移動するとともに、昇降装置により吸着ノズルを下降することで、基台上に配置されるプリント配線板上の所定位置へ電子部品を移載実装する表面実装機を構成する電子部品移載装置。
13. 請求項１ないし請求項１１のうちいずれか一つに記載の電子部品移載装置は、
    基台上に未検査の電子部品を供給する未検査部品供給部と、検査済みの電子部品を受け取る検査済み品受け部とが配置され、未検査部品を吸着ノズルで吸着し、ヘッドユニットを所定位置まで移動するとともに、昇降装置により吸着ノズルを下降させることで、基台上所定位置に配置された検査ソケットに未検査部品を移載するとともに、検査を終えた後検査済み品を吸着ノズルにより検査済み品受け部に移動させるＩＣハンドラーを構成する電子部品移載装置。
    

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