JP4594167B2 - Icハンドラー - Google Patents
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Description
この特許文献2に示すICハンドラーにおける複数のトレイは、電子部品検査装置から基台の他側方に向けて並ぶように配設されている。
図1は本発明に係るICハンドラーの平面図である。同図においては、トレイ支持装置やストッカーをこれらの上にトレイが載置されていない状態で描いてある。図2は図1におけるII−II線断面図、図3は部品移動装置の構成を説明するための斜視図、図4はヘッドユニットの斜視図、図5は単位ユニットの動作方向を説明するための斜視図で、同図は二つの単位ユニットのみが描いてある。図6は単位ユニットの側面図で、同図においては構成部材の連結部分を破断して示す。この破断位置を図1中にVI−VI線によって示す。
このICハンドラー1は、図1および図2に示すように、基台2の後端部(図1においては上端部であって、図2においては右側の端部)に位置する検査領域Aと、前記基台2の前後方向の略中央部に位置する部品領域Bとの間において後述する部品移動装置3,4によって電子部品5(図2および図6参照)を移動させるものである。なお、本明細書中においては、図1において上下方向を装置の前後方向としてY方向といい、図1において左右方向を装置の左右方向としてX方向といい、紙面に直交する方向を単にZ方向という。
前記後側支柱22と前側支柱23は、長方形状のトレイTの四隅を嵌合状態で保持するように位置付けられている。前側支柱23は、図2に示すように、後側支柱22より低くなるように形成されている。
また、各フック24には、前進位置と後退位置とのいずれか一方にフック24を移動させるアクチュエータ(図示せず)が接続されている。
各トレイ支持装置12は、図1、図2、図7および図8に示すように、後述するトレイ支持装置移動装置31の板状支持台32の上に設けられたトレイ昇降用シリンダ33と、X方向に間隔をおいて互いに対向するように前記板状支持台32の上に立設された一対の縦板34と、これらの縦板34の内側にそれぞれ設けられたベルトコンベア35と、前記2枚の縦板34,34の上端部どうしの間に横架された前側受圧板36および後側受圧板37と、前記縦板34のY方向の途中の部位に設けられた一対の側部ガイド部材38,38と、装置後側の端部に設けられたトレイ用ストッパー39{図7(a)参照}などによって構成されている。
前記トレイ昇降用プレート40は、トレイTの下面を支承するためのもので、平面視においてY方向に長くなる長方形状に形成されており、前記板状支持台32に昇降ガイド41によって昇降自在に支持されている。このトレイ昇降用プレート40は、前記一対のベルトコンベア35,35の間にこれらのベルトコンベア35に対して接触することがないように挿入されている。
前記縦板34は、ベルトコンベア35を前端部から後端部にわたって側方から囲むような長さに形成されている。
前記ベルトコンベア35は、トレイTの両側部を支承しながらトレイTをY方向に搬送し、トレイ支持装置12内へのトレイTの搬入とトレイ支持装置12からのトレイTの搬出とを行うためのものである。このベルトコンベア35の駆動軸42は、3台のトレイ支持装置12をX方向に貫通するように形成され、これらのトレイ支持装置12の全てのベルトコンベア35を同時に駆動する。
これらの移載装置本体55は、前記支持板54の上にY方向に並ぶ状態で固定された第1のシリンダ61および第2のシリンダ62と、これらのシリンダ61,62のX方向の両側において前記支持板54に立設された一対の縦板63,63と、これらの縦板63の内側にそれぞれ設けられた一対のベルトコンベア64,64などによってそれぞれ構成されている。
このように形成されたトレイ支承部材65は、第1のシリンダ61と第2のシリンダ62の駆動により、ベルトコンベア64の搬送面より低くなるような待機位置(図2参照)と、前記搬送面より高い位置であってストッカー11の下端部近傍の後述する上昇位置との間で昇降する。
前記Y方向移動部材71は、図3に示すように、前記固定レール14,14にスライド部材(図示せず)を介して接続された基部71aと、この基部71bの上端部から側方(図3においては右方)に突出する一対の腕部71bとを備えている。これらの腕部71bは、Y方向に間隔をおいて並ぶように設けられており、ガイド部材71cを介して前記支持部材73をX方向に移動自在に支持している。前記ガイド部材71cは、支持部材73に設けられたレール73aを上方から支える構造が採られている。
この支持部材73をX方向に駆動する第1のX方向駆動装置74は、図3に示すように、Y方向移動部材71の上部に設けられたモータブロック81と、このモータブロック81に回転自在に支持されたボールねじ軸82と、このボールねじ軸82に螺合しかつ支持部材73に固着したナット部材82aと、前記ボールねじ軸82の一端部(第1の部品移動装置3においては左側の端部)に接続されたモータ83などによって構成されている。前記ナット部材82aは、支持部材73における開口73bを有する枠状部84とは反対側の端部に取付けられている。
これらの4個の単位ユニット85は、図1に示すように、平面視において前記4個の検査用ソケット6と同様にX方向とY方向とに並べられている。この実施の形態によるヘッドユニット75には、前記検査用ソケット6を上方から撮像するためのヘッド側撮像装置86,87が設けられている。ヘッド側撮像装置86は検査ソケット6の撮像に用いられ、ヘッド側撮像装置87はトレイ支持装置12に搬送されるトレイTの撮像に用いられる。所定のタイミングで撮像されるトレイTの所定の凹陥部あるいはフィデューシャルマークの位置から、ベルトコンベア35の搬送誤差、ボールねじ式駆動装置46の駆動量の補正量が算出される。これら補正量が加味されて、トレイ支持装置移動装置31上の各トレイTは、電子部品5の吸着、載置に際して正しい位置に配置される。
これらの撮像装置86,87は、前記枠状部84のY方向の両端部に設けられている。
Z方向駆動装置100は、図6に示すように、Z方向に延びる状態で前記Z方向支持部材98に回転自在に支持された前記ボールねじ軸113と、Z方向支持部材98の上端部に支持されかつ前記ボールねじ軸113の上端部に接続されたモータ114と、前記ボールねじ軸113の途中に螺合しかつ後述する吸着ヘッド99に結合されたナット部材115とから構成されている。
すなわち、この単位ユニット85は、図5に示すように、支持部材73に対してX方向と、Y方向と、Z方向とに吸着ノズル125を移動させるとともに、Z方向の軸線回りに吸着ノズル125を回動させる。
基台側撮像装置15の上方をヘッドユニット75が通過することにより、この基台側撮像装置15によって電子部品5が下方から撮像され、このICハンドラー1の図示していない制御装置によって、吸着ノズル125に対する電子部品5の位置が検出される。
図17に示す部品移動装置203は、基台2のX方向の両端部に固定レール204が設けられ、これらの固定レール204上に横架されるように支持部材205が設けられている。この支持部材205は、固定レール204にY方向に移動自在に支持されるとともに、ボールねじ式の第1のY方向駆動装置206によってY方向に移動する。この支持部材205は、X方向に延びるレール207を備え、このレール207によってヘッドユニット75をX方向に移動自在に支持している。
図20に示すICハンドラー1は、本発明に係るICハンドラーの参考例を示すもので、複数のストッカー11によって部品領域Bが構成されている。すなわち、このICハンドラー1は、図1〜図19に示したICハンドラー1でいうトレイ支持装置12は設けられていない。
この参考例によるストッカー11は、本願の出願人が既に出願した特開2002−303649号に記載されているストッカーと同等の構造のものである。すなわち、この参考例によるストッカー11は、複数のトレイを上下方向に重ねた状態で収容する構造であり、トレイを昇降させる昇降装置230を備えている。
このストッカー11の最上部には、上方から電子部品5やトレイTが取出しされ、あるいは戻される移載部233となる開口が設けられている。
この参考例によるICハンドラー1は、前記図19に示した部品移動装置220と同等の構造の部品移動装置240を装備し、この部品移動装置240によって、ストッカー11上のトレイTと検査用ソケット6との間で電子部品5を一度も放すことなく移動させる構成が採られている。この部品移動装置240の各部材の説明は、図19に示した符号を付し省略する。
図20に示すICハンドラー1においても図1〜図19に示すICハンドラー1と同等の効果を奏する。特に、図20に示すICハンドラー1においては、図1〜図19に示したICハンドラー1でいうトレイ支持装置12は設けられていないから、これらのICハンドラに較べてコンパクトに形成することができる。
Claims (6)
- 多数の未検査の電子部品が収納された部品供給用トレイと、検査後に良品であると判定された電子部品を収納する良品用トレイと、検査後に不良品であると判定された電子部品を収納する不良品用トレイとが位置付けられる部品領域と、前記電子部品が装填される検査用ソケットを有する検査領域と、この検査領域と前記部品領域との間で電子部品を移動させる部品移動装置とを備えたICハンドラーにおいて、
前記部品領域に、平面視において前記検査領域から離間あるいは接近するY方向とは直交するX方向に一列に並べて配置され、前記部品供給用トレイと、前記良品用トレイと、前記不良品用トレイとをそれぞれ移動が規制されるように保持する複数のトレイ支持装置と、この複数のトレイ支持装置を支持するとともにX方向に移動させるトレイ支持装置移動装置とを備え、
前記部品移動装置は、前記トレイ支持装置に保持された前記トレイと前記検査用ソケットとの間で電子部品を放すことなく吸着しながら移動する吸着ノズルを備えていることを特徴とするICハンドラー。 - 請求項1記載のICハンドラーにおいて、
前記部品領域に、前記トレイ支持装置に対して前記検査領域とは前記Y方向反対側において前記X方向に一列に並べて複数設けられ、複数のトレイを上下方向に重ねた状態で収容するストッカーと、
複数の前記ストッカーの下方をX方向に移動し、前記ストッカーとの前記トレイの受け渡しを行うとともに前記トレイを前記Y方向に移動させることで、前記ストッカーと前記トレイ支持装置との間でトレイを移動させるトレイ移載装置本体を有するトレイ移載装置とを備え、
前記トレイ支持装置移動装置は、前記ストッカーと前記トレイ支持装置との間での前記トレイの移動に際し、前記トレイ支持装置を前記トレイ移載装置本体のX方向位置に対応した位置に移動させるものであることを特徴とするICハンドラー。 - 多数の未検査の電子部品が収納された部品供給用トレイと、検査後に良品であると判定された電子部品を収納する良品用トレイと、検査後に不良品であると判定された電子部品を収納する不良品用トレイとが位置付けられる部品領域と、前記電子部品が装填される検査用ソケットを有する検査領域と、この検査領域と前記部品領域との間で電子部品を移動させる部品移動装置とを備えたICハンドラーにおいて、
前記部品領域に、平面視において前記検査領域から離間あるいは接近するY方向とは直交するX方向に一列に並べて配置され、前記部品供給用トレイと、前記良品用トレイと、前記不良品用トレイとをそれぞれ移動が規制されるように保持する複数のトレイ支持装置と、
このトレイ支持装置に対して前記検査領域とは前記Y方向反対側において前記X方向に一列に並べて複数設けられ、複数のトレイを上下方向に重ねた状態で収容するストッカーと、
複数の前記ストッカーの下方をX方向に移動し、前記ストッカーとの前記トレイの受け渡しを行うとともに前記トレイを前記Y方向に移動させることで、前記ストッカーと前記トレイ支持装置との間でトレイを移動させるトレイ移載装置本体を有するトレイ移載装置とを備え、
前記部品移動装置は、前記トレイ支持装置に保持された前記トレイと前記検査用ソケットとの間で電子部品を放すことなく吸着しながら移動する吸着ノズルを備えていることを特徴とするICハンドラー。 - 請求項3記載のICハンドラーにおいて、
前記部品領域に、前記複数のトレイ支持装置を支持するとともにX方向に移動するトレイ支持装置移動装置を備え、
このトレイ支持装置移動装置は、前記ストッカーと前記トレイ支持装置との間での前記トレイの移動に際し、前記トレイ支持装置を前記トレイ移載装置本体のX方向位置に対応した位置に移動させることを特徴とするICハンドラー。 - 請求項2ないし請求項4のうちいずれか一つに記載のICハンドラーにおいて、
前記ストッカーは、最下部にトレイ出し入れ口が形成されるとともに、このトレイ出し入れ口の近傍においてトレイを保持する保持位置と、トレイを下方に移動可能とする出入位置との間で移動可能なトレイ保持手段を備え、
前記トレイ移載装置本体は、支承する前記トレイを前記Y方向に移動させるコンベアと、前記トレイ出し入れ口を介して前記コンベア上の前記トレイを前記ストッカー内に上昇させるとともに、前記ストッカー内のトレイを前記コンベア上に下降させる昇降装置とを備え、
前記トレイ支持装置は、支承する前記トレイを前記Y方向に移動させるベルトコンベアと、前記ベルトコンベア上方に配置される受圧部材と、前記ベルトコンベア上の前記トレイを上昇させて前記受圧部材に押し付けるとともに、前記受圧部材から前記トレイを前記ベルトコンベア上に下降させる昇降装置とを備えていることを特徴とするICハンドラー。 - 請求項5記載のICハンドラーにおいて、
前記トレイ移載装置は、Y方向において前記トレイ移載装置本体と前記トレイ支持装置との間に位置し、前記トレイを支承しながらY方向に搬送する中継用コンベアを備え、
前記ストッカーと前記トレイ支持装置との間での前記トレイの移動に際し、前記トレイ移載装置は、前記トレイ移載装置本体をX方向において前記中継用コンベアに対応した位置に移動させるとともに、前記トレイ支持装置移動装置は、前記トレイ支持装置をX方向において前記中継用コンベアに対応した位置に移動させることを特徴とするICハンドラー。
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