CN1873423B - 电子元件自动移载装置 - Google Patents

Abstract

本发明的电子元件自动移载装置，包括，使收容多个电子元件的托盘(T)进行定位的托盘支撑装置；装填有电子元件的检查用插座；在该检查用插座与上述托盘支撑装置之间移动电子元件的第一移动装置以及第二电子元件移动装置。上述托盘支撑装置，从俯视方向看沿着与离开上述检查用插座的方向正交的方向(X方向)并列设置有多个。上述第一移动装置和第二电子元件移动装置，包括吸附电子元件同时使该电子元件在上述托盘支撑装置的托盘(T)与检查用插座之间移动的吸嘴。采用本发明，可缩短电子元件自动移载装置在电子元件检查装置和多个托盘之间移动电子元件时的生产节拍时间。

Description

电子元件自动移载装置

技术领域

本发明涉及一种在托盘与检查装置之间移动电子元件的电子元件自动移载装置。

背景技术

作为以往的电子元件自动移载装置，例如有专利文献1(日本专利公开公报特开平11-333775号图3)和专利文献2(日本专利公开公报特开平2003-262658号图1)所示的电子元件自动移载装置。该专利文献1所示的电子元件自动移载装置上，电子元件检查装置所处的检查区域被设置在基座的一侧部。该检查领域上，设置有从上方装填电子元件的检查用插座和连接于该检查用插座的上述电子元件检查装置。

上述电子元件，在收容于托盘上的状态下供给到基座上并由多个电子元件移动装置装填于上述检查用插座。托盘，使用多个未检查电子元件用托盘、合格品用托盘、不合格品用托盘等多个托盘，并从电子元件检查装置向基座的另一方侧排成两列进行设置。电子元件，通过多个电子元件移动装置在这些托盘与电子元件检查装置之间移动。

上述多个电子元件移动装置是指，多个托盘所处的元件区域与上述检查区域之间的滑动式移动装置、在该滑动式移动装置与各托盘之间移动电子元件的第一吸附式移动装置、和在上述滑动式移动装置与检查用插座之间移动电子元件的第二吸附式移动装置。

另外，专利文献2所示的电子元件自动移载装置，具备不放开托盘上所吸附的电子元件而装填于检查用插座上，并将检查之后的电子元件移动到合格品托盘或者不合格品托盘上的电子元件移动装置。

该专利文献2所示的电子元件自动移载装置的多个托盘，从电子元件检查装置向基座的另一侧排成两列进行设置。

上述电子元件移动装置，具备平行于这些托盘地延伸的导轨和随着该导轨可平行移动并且与导轨的延伸方向正交的方向可平行移动的头部单元。该头部单元上，下端部上可向上下方向移动地设置有具有吸嘴的吸附头部。

专利文献1或者专利文献2所记载的以往的电子元件自动移载装置，在与电子元件检查装置分离的方向上排列有托盘。为此，从处于远离电子元件检查位置的位置上的托盘上取出电子元件时，或者将检查后的电子元件载置到处于这些位置上的托盘上时，存在电子元件的移动距离变长，或者生产节拍时间变长的问题。

发明内容

本发明是为了解决上述问题而提出的，其目的在于，在电子元件检查装置与多个托盘之间移动电子元件时，提供可缩短生产节拍时间的电子元件自动移载装置。

为了达到此目的，本发明的包括，具有对收容多个电子元件的托盘进行定位的元件区域，以及可设置装填上述电子元件的检查用插座的检查区域；使电子元件在上述基座的检查区域和元件区域之间移动的电子元件移动装置；上述元件区域，从俯视方向看沿着与离开上述检查区域的方向正交的方向并列设置有多个，上述电子元件移动装置，具有吸附电子元件同时使该电子元件在位于上述基座的元件区域的托盘与位于上述基座的检查区域的检查用插座之间移动的吸嘴。

根据此构成，在上述以往的电子元件自动移载装置中，在与位置最接近检查用插座的托盘处于同等距离的位置上可以装配全部的托盘，因此较之以往的电子元件自动移载装置可缩短生产节拍时间。

技术方案2所涉及的发明的电子元件自动移载装置，在技术方案1所涉及的电子元件自动移载装置中，元件区域，设置有保持托盘并限制托盘移动的多个托盘支撑装置，该电子元件自动移载装置，还包括，相对于上述托盘支撑装置，在与检查区域相反的一侧，沿着与托盘支撑装置排列方向平行的方向予以设置的多个储料器(stocker)，该些储料器可收容在上下方向上予以重叠的多个托盘；使托盘在上述储料器和上述托盘支撑装置之间移动的托盘移载装置。

技术方案2所涉及的发明的电子元件自动移载装置，在技术方案2所涉及的电子元件自动移载装置中，上述储料器，包括位于最下部的托盘进出口；在位于托盘进出口附近的保持托盘的保持位置，和使托盘向下方移动的出入位置之间移动可能的托盘保持装置，上述托盘移载装置，包括升降储料器中的托盘的升降装置；在储料器的下方支撑托盘的传送带。

根据技术方案2或者3所涉及的发明，在托盘支撑装置中，对于托盘进行电子元件的吸附或者装载时，可相对于储料器取放并非该操作对象的托盘。为此，为了替换托盘而不需停止进行电子元件的吸附、装载的动作，因此为能缩短生产节拍时间。

技术方案4所涉及的发明的电子元件自动移载装置，在技术方案1至3中任一项的电子元件自动移载装置中，具备有多个电子元件移动装置，在基座的两侧对称设置，并将电子元件交替装填至上述检查用插座。

如此一来，检查电子元件时根据另一方的电子元件移动装置可预先准备下一个电子元件，因此能进一步缩短生产节拍时间。

技术方案5所涉及的发明的电子元件自动移载装置，在技术方案1至3中任一项的电子元件自动移载装置中，电子元件移动装置，包括，升降吸嘴的同时使其转动的吸附头部、支撑上述多个吸嘴的头部单元、使该头部单元沿水平方向移动的头部单元用移动装置。

如此一来，通过对应于吸嘴配备多个检查用插座，可一次将多个电子元件装填到多个检查用插座上。根据此发明，与将电子元件逐个装填到检查用插座的电子元件自动移载装置上的构成相比，提高了检查效率，并且能进一步缩短生产节拍时间。

技术方案6所涉及的发明的电子元件自动移载装置，在技术方案1所涉及的电子元件自动移载装置中，元件区域，设置有多个可收容在上下方向上予以重叠的多个托盘的储料器，上述储料器，其最上部设置有开口，并且具有使上述托盘升降的升降装置，以及可从上述开口取出上述托盘并移载到其他储料器的托盘移载装置

如此一来，在托盘支撑装置上，对于托盘进行电子元件的吸附或者装载时，可相对于托盘取放并非该操作对象的托盘。为此，为了更换托盘而不需要停止进行电子元件的吸附、装载的动作，因此能进一步缩短生产节拍时间。

技术方案7所涉及的发明的电子元件自动移载装置，在技术方案1所涉及的电子元件自动移载装置中，上述检查区域，可设置多个检查用插座，上述电子元件移动装置，包括吸附多个被检查用电子元件的多个吸嘴、使上述吸嘴所吸附的多个电子元件在吸附状态下沿水平方向移动并装填至多个检查用插座的头部单元、为了使上述多个吸嘴的间隔与上述多个检查用插座的间隔相一致而使上述吸嘴予以移动的吸嘴移动装置，上述多个吸嘴中的至少一个，沿水平方向移动自如地支撑在头部单元上。

技术方案8所涉及的发明的电子元件自动移载装置，包括，支撑装填有被检查用电子元件的多个检查用插座的基座；吸附多个被检查用电子元件的多个吸嘴；使上述吸嘴所吸附的多个电子元件在吸附状态下相对于上述基座沿水平方向移动并装填至多个检查用插座的头部单元；为了使上述多个吸嘴的间隔与上述多个检查用插座的间隔相一致而使上述吸嘴予以移动的吸嘴移动装置，上述多个吸嘴中至少一个，沿水平方向移动自如地支撑在上述头部单元上。

根据技术方案7或8所涉及的发明，由于可利用吸嘴移动装置将吸嘴相对于其他吸嘴移动到水平方向上，因此，不更换头部单元，即可使吸嘴之间的间隔与插座之间的间隔简单而准确地一致。

技术方案9所涉及的发明的电子元件自动移载装置，在技术方案8所涉及的电子元件自动移载装置中，头部单元，包括从上方拍摄多个检查用插座的插座用拍摄装置，以及根据该插座用拍摄装置所拍摄的图像检测出检查用插座的间隔的插座间隔检查装置。

这样一来，因改变需检查的电子元件种类等而更换检查用插座时，移动头部单元并利用插座用拍摄装置从上方拍摄检查用插座来检测出新的检查用插座间的间隔，可容易地进行设定。

技术方案10所涉及的发明的电子元件自动移载装置，在技术方案9所涉及的电子元件自动移载装置中，各吸嘴，分别围绕上下方向的轴线转动自如地支撑在头部单元上，头部单元，具有变更多个吸嘴的转动方向的角度的转动驱动装置，该电子元件自动移载装置，还包括根据插座用拍摄装置所拍摄的图像，检测出检查用插座围绕上下方向的轴线的角度，并控制转动驱动装置的动作量使吸嘴围绕轴线的角度与检查用插座的角度相一致的转动方向定位装置。

如此一来，可使检查用插座的上下方向的轴线角度与吸嘴的上下方向的轴线角度一致，因此可以将多个电子元件更为准确地装填到检查用插座上。

技术方案11所涉及的发明的电子元件自动移载装置，在技术方案8所涉及的电子元件自动移载装置中，还包括，从下方拍摄吸嘴所吸附的电子元件的电子元件拍摄装置；根据电子元件拍摄装置所拍摄的图像，检测出电子元件的间隔的电子元件间隔检查装置；为了使电子元件间隔检查装置所检测的吸附后的电子元件的间隔与检查用插座的间隔相一致而使吸嘴移动装置动作的吸嘴移动装置。

如此一来，利用吸嘴吸附电子元件时，即使是电子元件的位置与目标位置偏离，也会利用吸嘴移动装置修改该位置偏差。因此，根据本发明的电子元件自动移载装置，即使在吸附电子元件时电子元件相对于吸嘴产生位置偏差，也可以将该电子元件准确地装填到检查用插座上。

技术方案12所涉及的发明的电子元件自动移载装置，在技术方案11所涉及的电子元件自动移载装置中，还包括，对头部单元移动至位于检查用插座上方的可装填电子元件的部位的移动方向和移动距离所涉及的数据进行补正，使头部单元的上述移动方向和移动距离对应于通过上述吸嘴移动装置的驱动而予以移动的吸嘴的移动量的补正装置

如此一来，为了修正吸附电子元件时电子元件相对于吸嘴的位置偏差，即使是吸嘴的位置从初期的位置发生变化，也可通过补正装置修正头部单元的移动方向与距离的数据，因此，头部单元动作，反映出该吸嘴的位置变化。因此，根据本发明，可以将电子元件更为准确地装填到检查用插座上。

技术方案13所涉及的发明的电子元件自动移载装置，在技术方案11至12中任一项所涉及的电子元件自动移载装置中，各吸嘴，分别围绕上下方向的轴线转动自如地支撑在头部单元上，头部单元，具有变更多个吸嘴的转动方向的角度的转动驱动装置，该电子元件自动移载装置，还包括根据电子元件拍摄装置所拍摄的图像，检测出电子元件围绕上下方向的轴线的角度，并控制转动驱动装置的动作量使吸嘴围绕轴线的角度与电子元件的角度相一致的转动方向定位装置。

如此一来，可使吸附在吸嘴的电子元件5的上下方向的轴线角度与检查用插座的上下方向的轴线角度一致，因此可以将电子元件更为准确地装填到检查用插座上。

技术方案14所涉及的发明的电子元件自动移载装置，在技术方案8所涉及的电子元件自动移载装置中，头部单元，在基座的上方沿着水平的且相互正交的2个方向进行移动，吸嘴移动装置，通过两个电动机使上述吸嘴沿着平行于头部单元的移动方向的2个方向独立地进行移动。电动机。

如此一来，即使多个检查用插座排成多列时，也可使多个检查用插座之间的间隔与电子元件的间隔一致，因此，能够以高精度来定位电子元件并装填到检查用插座上。

技术方案15所涉及的发明的电子元件自动移载装置，在技术方案8所涉及的电子元件自动移载装置中，还包括，搭载有多个检查用插座，且装卸可能地安装在基座上的测试头部。

如此一来，由于在基座上可装卸地安装有与电子元件自动移载装置分体形成的测试头部，如果将测试头部安装到电子元件自动移载装置的基座上并进行电子元件检查，与在载置基座的底板上脱离于基座地载置测试头部的电子元件自动移载装置相比，即使外部环境的震动被传递到底板上，也可准确地对检查用插座的吸嘴进行对位。

技术方案16所涉及的发明的电子元件自动移载装置，在技术方案15所涉及的电子元件自动移载装置中，还包括，对装填于检查用插座的多个电子元件，经测试头部输入检测电流，以此检查上述电子元件的检查装置主体。

如此一来，可简单地相互关联地利用检查装置主体移载电子元件检查与电子元件的检查用插座。

技术方案17所涉及的发明的电子元件自动移载装置，在技术方案16所涉及的电子元件自动移载装置中，检查装置主体，支撑在基座上，检查用插座与检查装置主体之间的可流过检测电流的路径的途中，设置有拆装可能的连接器，检查装置主体，相对于检查用插座可进行电分离或者机械分离。

如此一来，无需改变检查装置主体即可更换测试头部，因此可以检查多种电子元件。并且，作为电子元件自动移载装置的一部分构件的检查装置主体的传送变得容易。

技术方案18所涉及的发明的电子元件自动移载装置，在技术方案8所涉及的电子元件自动移载装置中，头部单元，使多个吸嘴吸附位于未检查电子元件用托盘中的电子元件，并装填至多个检查用插座，在检查之后将电子元件移动至已检查电子元件用托盘，吸嘴移动装置，在头部单元从未检查电子元件用托盘移动至多个检查用插座的途中，使移动可能的吸嘴进行移动，以此将所吸附的电子元件的间隔，从由未检查电子元件用托盘的多个电子元件收容用凹陷部的间隔所决定的间隔，变更为多个检查用插座的间隔。未检查电子元件用托盘已检查电子元件用托盘未检查电子元件用托盘未检查电子元件用托盘

如此一来，未检查电子元件用托盘的多个电子元件收容用凹陷部之间的间隔与多个检查用插座的间隔不同时，可以通过移动可移动吸嘴来消除上述两者间隔的不同。因此，载本发明涉及的电子元件自动移载装置中，由于可以利用多个吸嘴一次吸附多个未检查元件用托盘或加热板上的多个电子元件，途中不必放开即可装填到检查用插座上，所以可以提高检查的效率。

技术方案19所涉及的发明的电子元件自动移载装置，在技术方案18所涉及的电子元件自动移载装置中，吸嘴移动装置，在头部单元从检查用插座移动至已检查电子元件用托盘的途中，使移动可能的吸嘴进行移动，以此将所吸附的电子元件的间隔，从由多个检查用插座的间隔所决定的间隔，变更为已检查电子元件用托盘的多个电子元件收容用凹陷部的间隔。已检查电子元件用托盘已检查电子元件用托盘

如此一来，当多个检查用插座的间隔与已检查电子元件用托盘的多个电子元件收容用凹陷部的间隔不同时，可以通过移动可移动吸嘴来消除上述两者间隔的不同。因此，在本发明的电子元件自动移载装置中，由于可以利用多个吸嘴将检查后的多个电子元件一次移载到已检查完毕的电子元件托盘上，因此可以进一步提高检查效率。

技术方案20所涉及的发明的电子元件自动移载装置，在技术方案18所涉及的电子元件自动移载装置中，吸嘴移动装置，在头部单元从已检查电子元件用托盘移动至未检查电子元件用托盘的途中，使移动可能的吸嘴进行移动，以此将吸附电子元件时的电子元件的间隔，从由已检查电子元件用托盘的多个电子元件收容用凹陷部的间隔所决定的间隔，变更为由未检查电子元件用托盘的多个电子元件收容用凹陷部的间隔所决定的间隔。已检查电子元件用托盘未检查电子元件用托盘已检查电子元件用托盘未检查电子元件用托盘

如此一来，当已检查电子元件用托盘的多个电子元件收容用凹陷部之间的间隔与未检查电子元件用托盘的多个电子元件收容用凹陷部的间隔不同时，可以通过移动可移动吸嘴来消除上述两者间隔的不同。因此，本发明所涉及的电子元件自动移载装置，将检查后的电子元件返回到已检查电子元件用托盘上之后，在未检查电子元件用托盘上可以重新用多个吸嘴一次吸附电子元件，因此检查效率进一步提高。

技术方案21所涉及的发明的电子元件自动移载装置，在技术方案18至20中的任一项所涉及的电子元件自动移载装置中，头部单元，包括从上方拍摄由上述多个检查用插座、上述未检查电子元件用托盘的多个电子元件收容用凹陷部、上述已检查电子元件用托盘的多个电子元件收容用凹陷部所构成的载置部中的至少一部分的载置部用拍摄装置；根据上述载置部用拍摄装置所拍摄的图像来检测上述载置部的间隔的载置部间隔检查装置。

如此一来，在随着电子元件种类的变化而改变托盘的种类或改变托盘的电子元件收容用凹陷部之间的间隔时，或者因改变需检查的电子元件种类等而更换检查用插座时，移动头部单元并利用载置部用拍摄装置从上方拍摄托盘与检查用插座，从而可以容易地检测并设定新的托盘的电子元件收容用凹陷部之间的间隔或者检查用插座的间隔。

技术方案22所涉及的发明的电子元件自动移载装置，在技术方案21所涉及的电子元件自动移载装置中，各吸嘴，分别围绕上下方向的轴线转动自如地支撑在上述头部单元上，头部单元，具有变更上述多个吸嘴的转动方向的角度的转动驱动装置，该电子元件自动移载装置，还包括根据上述载置部用拍摄装置所拍摄的图像，检测出载置部在上下方向轴线周围的角度，并控制上述转动驱动装置的动作量使上述吸嘴在上述轴线周围的角度与上述载置部的角度相一致的转动方向定位装置。

如此一来，由于可使托盘的多个电子元件收容用凹陷部的上下方向的轴线角度、检查用插座的上下方向的轴线角度与吸嘴的上下方向的轴线角度一致，因此可以将多个电子元件更准确地装填到检查用插座上的同时，可移载到已检查电子元件用托盘上。

技术方案23所涉及的发明的电子元件自动移载装置，在技术方案11所涉及的电子元件自动移载装置中，电子元件拍摄装置，设置于装载有检查用插座的基座上。

如此一来，在从吸嘴吸附电子元件的吸附位置移动到检查用插座的途中，可以从下方拍摄电子元件。因此，不必为了拍摄电子元件而将头部单元移动到与检查用插座所处方向不同的方向，即可使头部大致以直线状移动，因此可缩短头部的移动时间，并可缩短生产节拍时间。

技术方案24所涉及的发明的电子元件自动移载装置，包括，多个收容电子元件托盘的托盘收容用储料器；与储料器之间进行托盘的取放，同时使托盘在储料器和在水平方向上与储料器相距一定距离的支撑位置之间进行移动的托盘移载支撑装置；具有吸附托盘所收容的电子元件，并相对于位于支撑位置的托盘进行电子元件取放的电子元件移动装置；位于托盘的下方并使托盘升降的升降装置；通过升降装置的驱动从下方按压上述托盘的上下方向定位部件；上下方向定位部件，设置在托盘移载支撑装置中的与托盘一起沿水平方向移动的部位。

如此一来，由于上下方向定位部件随托盘一起移动，所以不会因支撑该上下方向定位部件的部件而限制托盘的移动。由此，根据本发明，采用可牢固地支撑上下方向定位部件的结构的同时，可提供容易传送托盘的电子元件自动移载装置。

技术方案25所涉及的发明的电子元件自动移载装置，在技术方案24所涉及的电子元件自动移载装置中，托盘移载支撑装置，包括具有与储料器之间进行托盘取放的第一托盘保持部，并使该第一托盘保持部沿着与储料器并列的方向进行移动的第一支撑装置；具有在支撑位置与储料器平行排列的多个第二托盘保持部，并使该些第二托盘保持部沿着与储料器并列的方向进行移动的第二支撑装置；分别设置于第一托盘保持部与第二托盘保持部，并在第一托盘保持部，第二托盘保持部，处于在与储料器的排列方向正交的水平方向上予以并列的状态下，在两个托盘保持部之间传送托盘的移送装置；上下方向定位部件，设置在第二托盘保持部上。

如此一来，托盘，在第二支撑装置上向储料器排列的方向和与该方向正交的水平方向移动，因此，设计传送路径时的自由度进一步提高。并且，根据此发明，可同时进行第一支撑装置的向储料器的托盘的取放动作和在第二支撑装置的托盘上元件移动装置对电子元件的吸附、载置动作。

由此，在第二支撑装置上，对于托盘进行电子元件的吸附或者装载时，可相对于托盘取放并非该操作对象的托盘。因此，根据本发明，为了更换托盘而不需要停止进行电子元件的吸附、装载的动作，因此可以利用电子元件移动装置高效地进行电子元件的取放。

技术方案26所涉及的发明的电子元件自动移载装置，在技术方案24至25中的任一的项所涉及的电子元件自动移载装置中，升降装置，通过上述上下方向定位部件所设置的部件而予以支撑。。

如此一来，将托盘挤压在上下方向定位部件上并在上下方向定位的状态下，可移动到水平方向，因此，电子元件移动装置，随着上述移动可将改变相对于托盘取放电子元件的位置。因此，例如，可以在吸嘴移动距离最短的最佳位置上进行元件移动装置的电子元件的取放动作，因此可以更为有效进行上述电子元件的取放动作。并且，本发明所涉及的电子元件自动移载装置，在移动托盘时可以通过升降装置的驱动而预先挤压在上下方向定位部件上，因此，不会发生托盘从托盘支撑装置脱落，并高速移动托盘的现象。

技术方案27所涉及的发明的电子元件自动移载装置，在技术方案24至25中任一项所涉及的电子元件自动移载装置中，升降装置设置于支撑位置的基座上。

如此一来，可以利用基座牢固地支撑升降装置，以相对较大的力将托盘挤压在上下方向定位部件上，因此更可稳定地支撑托盘的同时，可更可靠地修正偏斜及倾斜。

技术方案28所涉及的发明的电子元件自动移载装置，包括，一侧端部支撑有装填了被检查用电子元件的多个检查用插座的基座；沿着与离开检查用插座的方向正交的水平方向并列设置在基座上的多个托盘用储料器；与储料器之间进行托盘的取放，同时使托盘在与储料器并列的方向和与此方向正交的水平方向上进行移动，且平行于储料器而并列支撑多个托盘的托盘移载支撑装置；从托盘移载支撑装置所支撑的未检查电子元件用托盘中吸附未检查的电子元件并装填至检查用插座，并将经过检查的电子元件移载至托盘移载支撑装置所支撑的已检查电子元件用托盘的电子元件移动装置；托盘移载支撑装置，设置在检查用插座与储料器之间，即电子元件移动装置的动作可能范围内。

本发明的电子元件自动移载装置，电子元件移动装置吸附、装载电子元件的多个托盘，在检查用插座与储料器之间，在与储料器平行的状态下进行设置，因此可以使这些所有托盘与检查用插座之间的距离大致相同。由此，根据本发明，与为了进行上述吸附、装载，电子元件移动装置的吸附部分越过托盘向与检查用托盘相反一侧移动的以往电子元件自动移载装置相比，可缩短生产节拍时间。

技术方案29所涉及的发明的电子元件自动移载装置，在技术方案28所涉及的电子元件自动移载装置中，托盘移载支撑装置，包括具有与储料器之间进行托盘取放的第一托盘保持部，并使该第一托盘保持部沿着与储料器并列的方向进行移动的第一支撑装置；具有与储料器平行排列的多个第二托盘保持部，并使该些第二托盘保持部沿着与储料器并列的方向进行移动的第二支撑装置；分别设置于第一托盘保持部与第二托盘保持部，并在第一托盘保持部，第二托盘保持部，处于在与储料器的排列方向正交的水平方向上予以并列的状态下，在两个托盘保持部之间传送托盘的移送装置。

技术方案30所涉及的发明的电子元件自动移载装置，在技术方案29所涉及的电子元件自动移载装置中，移送装置为传送带。

技术方案31所涉及的发明的电子元件自动移载装置，在技术方案29所涉及的电子元件自动移载装置中，第一支撑装置的第一托盘保持部，具有在两个传送带的内侧，使托盘在位于传送带上方的与储料器之间进行托盘取放的上升位置，和通过传送带予以支撑时的下降位置之间进行升降的第一升降装置。技术方案32所涉及的发明的电子元件自动移载装置，在技术方案29所涉及的电子元件自动移载装置中，第二支撑装置的第二托盘保持部，具有在两个传送带的内侧，使托盘在位于传送带上方的与电子元件移动装置之间进行电子元件取放的上升位置，和通过传送带予以支撑的下降位置之间进行升降的第二升降装置。

根据技术方案29至32所涉及的发明，可同时进行向第一支撑装置的储料器的托盘的取放动作和在第二支撑装置的托盘上的电子元件移动装置的电子元件的吸收、装载动作。由此，为了更换托盘而不需要停止进行电子元件的吸附及装载的动作，因此可进一步缩短生产节拍时间。

根据本发明，电子元件移动装置不必越过托盘向远离检查用插座侧的方向移动，即可利用该电子元件移动装置将全部的电子元件移动到托盘与检查用插座之间。因此，本发明所涉及的电子元件自动移载装置，在上述以往电子元件自动移载装置中，可以将所有托盘配置到与位置最接近检查用插座的托盘距离相等的位置上。因此，根据本发明，可提供生产节拍时间比以往的电子元件自动移载装置缩短的电子元件自动移载装置。

附图说明

图1是本发明的电子元件自动移载装置的平面图。

图2是图1的II-II线剖面图。

图3是为了说明电子元件移动装置结构的立体图。

图4是头部单元的立体图。

图5是为了说明单位单元的动作方向的立体图。

图6是单位单元的侧面图。

图7是表示托盘支撑装置结构的图。

图8是为了说明托盘移载装置与托盘支撑装置的动作的平面图。

图9是为了说明托盘移载装置与储料器的动作的正面图。

图10是为了说明托盘移载装置与储料器的动作的正面图。

图11是为了说明托盘移载装置与储料器的动作的正面图。

图12是为了说明托盘移载装置与储料器的动作的正面图。

图13是表示电子元件自动移载装置的简略结构的立体图。

图14是表示本发明的电子元件自动移载装置的控制系统结构的方框图。

图15是表示电子元件自动移载装置的其他实施方式的平面图。

图16是图15的XVI-XVI线剖面图。

图17是表示电子元件自动移载装置的其他实施方式的平面图。

图18是表示电子元件自动移载装置的其他实施方式的平面图。

图19是表示电子元件自动移载装置的其他实施方式的平面图。

图20是表示电子元件自动移载装置的其他实施方式的平面图。

图21是表示电子元件自动移载装置的其他实施方式的平面图。

图22是具有加热板的电子元件自动移载装置的平面图。

图23是表示电子元件自动移载装置的其他实施方式的平面图。

图24是表示排列检查用插座的示例的平面图。

图25是表示电子元件自动移载装置的其他实施方式的平面图。

图26是表示电子元件自动移载装置的其他实施方式的平面图。

具体实施方式

以下，根据图1至图13详细说明本发明的电子元件自动移载装置的实施方式。

图1是本发明的电子元件自动移载装置的平面图。在该图中描述了托盘支撑装置和储料器上方未放置托盘时的状态。图2是图1的II-II线剖面图、图3是为了说明电子元件移动装置结构的立体图、图4是头部单元的立体图、图5是为了说明单位单元的动作方向的立体图，该图仅描述了两个单位单元。图6是单位单元的侧面图，在该图中，断开构成部件的连接部分来表示。图1中的VI-VI线表示该断开位置。

图7是表示托盘支撑装置结构的图，该图(a)是侧面图，该图(b)是正面图。图8是为了说明托盘移载装置与托盘支撑装置的动作的平面图。图9至图12是为了说明托盘移载装置与储料器的动作的正面图。图13是表示电子元件自动移载装置的简略结构的立体图。

在这些图中，附图标记1表示该实施方式中的电子元件自动移载装置。

如图1及图2所示，该电子元件自动移载装置1，是通过后述电子元件移动装置3和4使电子元件5(参照图2及图6)在位于基座2的后端部(图1中是上端部，图2中是右侧的端部)的检查区域A与位于上述基座2的前后方向的大致中央部的元件区域B之间移动。另外，在本说明书中，将图1中的上下方向作为装置的前后方向，称为Y方向，将图1中的左右方向作为装置的左右方向，称为X方向，并将与纸面正交相交的方向称为Z方向。

在上述基座2的检查区域A设置有开口2a，在该开口2a的下方将设有多个载置有被检查用的电子元件5的检查用插座6的测试头部8可装卸地固定在基座2上。上述检查用插座6，通过测试头部8或者直接通过图中未显示的检查用电缆，在基座2内与电子元件自动移载装置1独立地载置在地面上的检查装载主体7(参照图2)连接。而且，该检查用插座6，采用从上方装填电子元件5(参照图2及图6)的结构，并设置在基座2的X方向的大体中央部。在本实施方式中，设置有4个检查用插座6。这些检查用插座6设置成在X方向上排列的2个检查用插座6、6在Y方向上排列有两组。电子元件5的检查，是在检查用插座6上载置有电子元件5的状态下，在电子元件5和检查装置主体7之间输入、输出检测电流来实施的。在上述检查用电缆的任一端或中间部上装配有可装卸的接线器。

在上述基座2上设置有：位于该基座2的前端部的多个储料器11、11……；位于这些储料器11与上述检查用插座6之间的托盘支撑装置12；在上述储料器11和托盘支撑装置12之间移动后述托盘T(参照图2)的托盘移载装置13；由位于基座2的X方向的两端部的固定导轨14支撑的第一电子元件移动装置3及第二电子元件移动装置4；以及为了从下方拍摄由上述电子元件移动装置3和4吸附着进行移动的电子元件5的多个基座侧拍摄装置15。

以下，详细说明上述基座2上的各装置。

上述储料器11，如图2所示，是以上下方向重叠的状态收容多个托盘T的结构，并且如图1所示，以排列在X方向上的状态设置有多个。如图8所示，上述托盘T，由塑料形成从俯视方向看在Y方向上较长的长方形盘状。在该托盘T上形成有多个为了收容电子元件5的凹陷部(图中未示)，并且该凹陷部开口朝上。

如图1、图2及图13所示，上述储料器11，具备：位于最下部，从俯视看呈四边形的框体21；立设在该框体21的后端部上并且剖面呈L字形的后侧支柱22；立设在该框体21的前端部并断面呈L字形的前侧支柱23；设置在上述框体21上的托盘支撑用的钩部钩部24(参照图9至图12)。图13中仅描述了多个储料器中位于X方向的两端部的储料器。

如图2所示，该储料器11，搭载在设置于上述基座2的前端部上的储料器用框架25上。图1中未表示该储料器用框架25。在该储料器用框架25上的上述储料器11的框体21的下方部位上，形成有托盘进出口26(参照图2)。

储料器11的上述框体21形成下述结构：可以在上下方向上将处于水平状态的托盘T装填到内部的开口部分。

对上述后侧支柱22与前侧支柱23进行定位，以便以嵌合状态保持长方形托盘T的4个角部。如图2所示，前侧支柱23低于后侧支柱22。

上述钩部钩部24，是用来支撑储料器11内的托盘T，从俯视看，可以在其前端部临近上述框体21的开口部分内的前进位置和该前端部向开口部分外露出的后退位置之间往复移动地支撑在框体21上。在本实施方式中，通过该钩部钩部24来构成记载在技术方案3中的发明所述的托盘保持装置。在本实施方式中，上述前进位置构成技术方案3中所述的保持位置，后退位置构成技术方案3中所述的出入位置。

另外，在各钩部钩部24上，连接有向前进位置和后退位置的任一方移动钩部钩部24的致动器27(参照图14)。该致动器27的动作，由设置在控制装置200上的基本动作控制装置201进行控制。

该钩部钩部24的上述前端部(未图示)如下形成，将其插入到在托盘T侧部上朝向侧面开口的凹陷部内。另外，在图9至图12中所示的钩部钩部24，描述成由上述前端部支撑托盘T的下端的结构，以便能够容易地判断出支撑有托盘T的状态和放开托盘T之后的状态。另外，该钩部钩部24除了如上所述的平行移动的结构外，还可以采用下述结构：从俯视看，在前端部面对上述开口部分内的横向状态和钩部钩部整体转动约90°使得前端部朝下并且前端部向上述开口部分之外露出的纵向状态之间转动的结构。

托盘移载支撑装置由上述托盘支撑装置12等构成。如图1、图2及图8所示，该托盘移载支撑装置由以下部分构成：位于上述储料器11的下方的托盘移载装置13(第一支撑装置)；位于上述元件区域B的托盘支撑装置12(第二支撑装置)；以及具有位于这些第一、第二支撑装置之间的转接用传送带56，并在两装置之间传送托盘的传送装置。

上述托盘支撑装置12，是本发明中所说的元件区域B的组成部分，如图1所示，在X方向上3台排成一列。即，从俯视看，在与远离检查区域A的方向(Y方向)正交的方向(X方向)上并列设置有多个元件区域B。如图8所示，这些托盘支撑装置12上支撑有：收容未检查的电子元件5的未检查电子元件用托盘T1；收容检查后被判定为合格品的电子元件5的合格品用托盘T2；以及收容检查后被判定为不合格品的电子元件5的不合格品用托盘T3。

这些托盘支撑装置12，在由后述的元件区域移动装置31支撑的状态下沿X方向移动。而且，该托盘支撑装置12的台数并不限定在3台，根据需要可进行增减。这些托盘支撑装置12和元件区域移动装置31的动作，由图14中表示的控制装置200的基本动作控制装置201来控制。

如图1、图2、图7及图8所示，各托盘支撑装置12由以下部分构成：设置在后述元件区域移动装置31的板状支撑台32上的托盘升降用气缸33；在X方向上相隔间隔而相对地立设在上述板状支撑台32上的一对纵向板34；分别设置在这些纵向板34的内侧的传送带35；横架在上述两张纵向板34、34的上部之间的前侧受压板36及后侧受压板37；设置在上述纵向板34的Y方向的途中部位的一对侧部导向部件38、38；以及设置在装置后侧的端部的托盘用挡块39等(参照图7(a))。

上述托盘升降用气缸33，固定在板状支撑台32的上，使得活塞杆33a向上下方向移动，通过活塞杆33a使后述托盘升降用平板40进行升降。而且，在图7中，省略了支撑气缸33的部件。

上述托盘升降用平板40，用来支撑托盘T的下表面，从俯视看，形成在Y方向上较长的长方形，并通过升降导轨41升降自如地支撑在上述板状支撑台32上。并且该托盘升降用平板40插入到上述一对传送带35、35之间，而不会与这些传送带35接触。

如此形成的托盘升降用平板40，通过上述气缸33的驱动，在低于传送带35的传送面的待机位置(参照图2)与高于上述传送面且托盘T受到后述的前侧受压板36和后侧受压板37挤压的上升位置之间进行升降。在本实施方式中，由上述托盘升降用气缸33和上述托盘升降用平板40构成使托盘升降的升降装置。

上述纵向板34，形成从侧方将传送带35从前端部到后端部包围的长度。

上述传送带35，一边支撑着托盘T的两侧部一边向Y方向传送托盘T，并将托盘T搬入到托盘支撑装置12内和从托盘支撑装置12搬出托盘T。该传送带35的驱动轴42，在X方向上贯穿3台托盘支撑装置12，并同时驱动这些托盘支撑装置12的所有传送带35。

上述前侧受压板36和后侧受压板37，用来确定托盘T的上下方向的位置并矫正托盘T的偏斜。这些前侧受压板36和后侧受压板37的下表面形成平面，以使通过上述气缸33和托盘升降用平板40升高的托盘T地上表面从下方与其抵接。如图7(a)所示，上述前侧受压板36上设置用于检测由传送带35搬入的托盘T的端部的光学式传感器43。

上述侧部导向部件38，用来确定托盘T的X方向的位置，如图1所示，从俯视看，形成从纵向板34的上端部向传送带35的上方延伸的形状。虽然图中未示，但该侧部导向部件38的延伸部分的下表面，随着向上方延伸而逐渐向侧部导向部件38的前端倾斜。也就是说，由传送带35搬入到托盘支撑装置12内的托盘T，通过上述气缸33和托盘升降用平板40升高，从而使该托盘T的两侧部从下方与侧部导向部件38的上述下表面抵接，并通过一对侧部导向部件38定位在X方向上。在本实施方式中，本发明中所说的上下方向定位部件是由该侧部导向部件38和上述前侧受压板36及后侧受压板37构成的。该上下方向定位部件，都安装在纵向板34的上端部上，通过后述元件区域移动装置31的驱动而与托盘支撑装置12一起在X方向上移动。

上述托盘用挡块39，用来确定由传送带35搬入到托盘支撑装置12内的托盘T的传送方向的位置，如图7(a)所示，形成与托盘T的后端面(搬入到托盘支撑装置12内的托盘T的前进方向前侧的端面)抵接的纵向面。该托盘用挡块39，通过托架支撑在上述板状支撑台32或者纵向板34(图中未示)上。

如图1、图2及图7(b)所示，上述元件区域移动装置31由以下部分构成：在基座2上沿X方向延伸的一对固定导轨44；可在X方向上移动自如地支撑在上述固定导轨44上的滑块45；支撑在该滑块45上的上述板状支撑台32；使该板状支撑台32以及上述滑块45在X方向上移动的滚珠丝杠式驱动装置46(参照图8)。如图1及图2所示，该滚珠丝杠式驱动装置46，在上述两个固定导轨44和44之间，转动沿X方向延伸的滚珠丝杠轴47，并与该滚珠丝杠轴47螺合的同时，使一体设置在板状支撑台32上的螺母部件48移动。

如图1、图2及图8至图12所示，上述托盘移载装置13由以下部分构成：在基座2上沿X方向延伸的固定导轨51；可在X方向上移动自如地支撑在上述固定导轨51上的滑块52；使上述滑块52在X方向上仅移动规定量的滚珠丝杠式驱动装置53；固定在上述滑块52上的支撑板54；设置在上述支撑板54上的2组移载装置主体55、55；以及位于上述固定导轨51和上述托盘支撑装置12之间的转接用传送带56等。该托盘移载装置13的动作，由图14所示的控制装置200的基本动作控制装置201进行控制。

上述2组移载装置主体55，用来进行从下方将托盘T搬入到上述储料器11上或者从储料器11的下端部将托盘T搬出的动作，在X方向上排列的间距与并排设置多个储料器11的间距相同。

这些移载装置主体55由以下部分构成：在Y方向上并排固定到上述支撑板54上的第一气缸61和第二气缸62；在上述气缸61、62的X方向的两侧立设在上述支撑板54上的一对纵向板63、63；以及分别设置在上述纵向板63的内侧的一对传送带64、64。

上述第一气缸61和第二气缸62，固定在上述支撑板54上，使得活塞杆61a和62a向上下方向移动，通过活塞杆61a、62a使后述的托盘支撑部件65进行升降。在这些第一气缸61和第二气缸62中位于装置后侧(图2中是右侧)的第一气缸61的活塞杆61a的移动冲程，比第二气缸62的活塞杆62a的移动冲程长。如上所述，配备移动冲程不同的两种气缸61、62，是为了如下文所述地在相对较高的位置和相对较低的位置这两个阶段对托盘支撑部件65的上升位置进行切换。

上述托盘支撑部件65，用来支撑托盘T的下表面，从俯视看形成在X方向上较长的长方形，并由设置在上述支撑板54或者纵向板63上的升降导轨(未图示)升降自如地进行支撑。而且，如图9至图12所示，该托盘支撑部件65插入于后述一对传送带64和64之间，而不与这些传送带64接触。另外，在图9至图12中，为了便于理解托盘移载装置13的动作，示意性地描述了托盘支撑部件65。

而且，从俯视看，如图9所示，从俯视看，该托盘支撑部件65的大小为：在移载装置55定位在上述储料器11的正下方的状态下，通过托盘支撑部件65的上升，可以使该托盘支撑部件65进入到储料器用框架25的托盘出入口26内。

这样形成的托盘支撑部件65，通过第一气缸61和第二气缸62的驱动，在低于传送带64的传送面的待机位置(参照图2)和高于上述传送面的、储料器11的下端部附近的后述上升位置之间进行升降。

如图12(a)所示，通过第一气缸61使托盘支撑部件65上升时，将托盘支撑部件65的上升位置设定为位于储料器11内的最下方的托盘T可以被托盘支撑部件65顶到上述钩部钩部24上方的位置。另一方面，如图10(a)所示，通过第二气缸62使托盘支撑部件65上升时，将托盘支撑部件65的上升位置设定在放置在托盘支撑部件65上的托盘T从下方与位于支撑在钩部钩部24上的储料器11内的最下方的托盘T重叠的位置。

上述托盘移载装置13的传送带64，用来一边支撑托盘T的两侧部一边向Y方向传送托盘T，如图2所示，使传送面呈水平地安装纵向板63。上述传送面的高度设置成与上述托盘支撑装置12的传送带35的传送面的高度大致相同。

如图1及图2所示，上述转接传送带56由以下部分构成：具有支撑在基座2上的一对纵向板68、68的框架69；和设置在上述纵向板68的内侧的一对传送带66、66。该传送带66，一边支撑托盘T的两侧部一边向Y方向传送托盘T。该转接传送带56，用于在上述的托盘支撑装置12的传送带35和托盘移载装置13的传送带64之间进行托盘T的取放。而且，该转接传送带56的传送带66工作时，托盘支撑装置12的传送带35及托盘移载装置13的传送带64与托盘T的传送方向一致。

上述第一电子元件移动装置3和第二电子元件移动装置4相对于基座2的沿Y方向延伸的中心线呈线对称。因此，在图1中，对位于左侧的第一电子元件移动装置3进行说明，对第二电子元件移动装置4标注与第一电子元件移动装置3相同的附图标记、省略详细说明。

如图1至图6所示，第一电子元件移动装置3由以下部分构成：在基座2的X方向的端部上向Y方向延伸的一对固定导轨14、14；向Y方向移动自如地支撑在上述固定导轨14上的Y方向移动部件71；使该Y方向移动部件71向Y方向移动的滚珠丝杠式第一Y方向驱动装置72；在X方向上移动自如地支撑在上述Y方向移动部件71上的支撑部件73(参照图3)；使上述支撑部件73相对于上述Y方向移动部件71在X方向上移动的滚珠丝杠式第一X方向驱动装置74(参照图3)；以及设置在上述支撑部件73上的头部单元75等。该第一电子元件移动装置3和第二电子元件移动装置4的上述驱动装置72、74及后述头部单元75内的各装置的动作由后述的控制装置200进行控制。

如图1所示，上述固定导轨14，与设置在基座2上的多个储料器11中处于最外侧的储料器11处于X方向的相同位置上，而且设置在从上述位于最外侧的储料器11向装置后方分离的位置上。

如图3所示，上述Y方向移动部件71具备通过滑动部件(未图示)连接在上述固定导轨14、14上的基部71a和从上述基部71a的上端部向侧方(在图3中是右方)突出的一对腕部。这些腕部71b，设置成在Y方向上相隔间隔排列，并且通过导向部件71c在X方向上移动自如地支撑上述支撑部件73。上述导向部件71c采用从上方支撑设置在支撑部件73上的导轨73a的结构。

如图1所示，在Y方向上驱动上述Y方向移动部件71的第一Y方向驱动装置72由以下部分构成：在沿Y方向延伸的状态下，转动自如地支撑在上述固定导轨14上的滚珠丝杠轴76；与上述滚珠丝杠轴76的途中螺合并且固定在Y方向移动部件71上的螺母部件(未图示)；以及连接在上述滚珠丝杠轴76的装置后侧的端部的电动机79等。

如图3所示，从俯视看，上述支撑部件73形成具有开口73b的长方形的板状，并且Y方向上的两端部通过上述导轨73a支撑在上述Y方向移动部件71上。

如图3所示，在X方向上驱动该支撑部件73的第一X方向驱动装置74由以下部分构成：设置在Y方向移动部件71的上部的电动滑车81；转动自如地支撑在上述电动滑车81上的滚珠丝杠轴82；与上述滚珠丝杠轴82螺合并且固定在支撑部件73上的螺母部件82a；连接在上述滚珠丝杠轴82的一端部(在第一电子元件移动装置3中是左侧端部)的电动机83等。上述螺母部件82a设置在支撑部件73的具有开口73b的框状部84的相反一侧的端部。

如图1及图4所示，上述头部单元75由安装在上述框状部84的X方向延伸部分84a上的4个单位单元85构成。

如图1所示，这4个单位单元85，从俯视看，与上述4个检查用插座6同样排列在X方向和Y方向上。本实施方式的头部单元75上设置用来从上方拍摄上述检查用插座6的头部侧拍摄装置86、87。头部侧拍摄装置86用来拍摄检查用插座6，头部侧拍摄装置87用来拍摄由托盘支撑装置12传送的托盘T。根据在规定时间拍摄到的托盘T的规定的凹陷部或者基准标志的位置，计算出传送带35的传送误差、滚珠丝杠式驱动装置46的驱动量的补正量。考虑这些补正量，在吸附、载置电子元件5时将元件区域移动装置31上的各托盘T配置在正确的位置上。

这些头部侧拍摄装置86、87设置在上述框状部84的Y方向的两端部。

如图6所示，上述各单位单元85由以下部分构成：安装在上述框状部84的上述X方向延伸部分84a上的X方向支撑部件91；可在X方向上移动自如地安装在上述X方向支撑部件91的下部的X方向滑块92；在X方向上驱动上述X方向滑块92的滚珠丝杠式第二X方向驱动装置93；在上述X方向滑块92的下部一体形成的Y方向支撑部件94；可在Y方向上移动自如地安装在上述Y方向支撑部件94的下部的Y方向滑块95；在Y方向上驱动上述Y方向滑块95的滚珠丝杠式第二Y方向驱动装置96；通过托盘97安装在上述Y方向滑块95的下部的Z方向支撑部件98；可在Z方向上移动地支撑在上述Z方向支撑部件98上的吸附头部99；以及使该吸附头部99升降的Z方向驱动装置100。本发明中所说的吸嘴移动装置由该单位单元85构成。

在上述X方向支撑部件91和X方向滑块92之间及Y方向支撑部件94和Y方向滑块95之间，安装有所谓交叉滚子导轨等直动式导向用部件101。上述第二X方向驱动装置93由以下部分构成：以向X方向延伸的状态转动自如地支撑在X方向支撑部件91的滚珠丝杠轴102；连接在该滚珠丝杠轴102的一端部上的电动机103(参照图4-图6)；以及与滚珠丝杠轴102的途中螺合并固定在X方向滑块92上的螺母部件104。电动机如图4所示，沿着上述框状部84的X方向延伸部分84a配置该第二X方向驱动装置93的电动机103。

如图6所示，上述第二Y方向驱动装置96由以下部分构成：以向Y方向延伸的状态转动自如地支撑在上述Y方向支撑部件73上的滚珠丝杠轴110；连接在上述滚珠丝杠轴110的一端部上的电动机111；以及与滚珠丝杠轴110的途中螺合并且固定在Y方向滑块95上的螺母部件112。电动机如图4所示，从上述框状部84向Y方向的两侧突出地配置该第二Y方向驱动装置96的电动机111。

该第二Y方向驱动装置96和上述第二X方向驱动装置93如下构成：与上述第一Y方向驱动装置72和第一X方向驱动装置74相比，螺母部件104、112的移动量减少，而且决定螺母部件104、112的位置(从动侧的部件的位置)时的分解能力提高。

如图6所示，上述Z方向支撑部件98形成在Z方向上延伸的筒状，在内部收容有后述的Z方向驱动装置100的滚珠丝杠轴113和升降自如地支撑后述吸附头部99的导向部件(图中未示)等。

如图6所示，Z方向驱动装置100由以下部分构成：以向Z方向延伸的状态转动自如地支撑在上述Z方向支撑部件98上的上述滚珠丝杠轴113；支撑在Z方向支撑部件98的上端部并且连接在上述滚珠丝杠轴113的上端部上的电动机114；以及与上述滚珠丝杠轴113的途中螺合并且结合在后述吸附头部99上的螺母部件115。

如图6所示，上述吸附头部99具备：嵌入上述Z方向支撑部件98的导向部件的同时，结合在Z方向驱动装置100的螺母部件115上的外壳121；以沿Z方向延伸的状态转动自如地支撑在上述外壳121的内部的轴122；以及可装卸地安装在上述轴122的下端部上的吸嘴125。上述轴122，呈中空状，并连接在空气吸引装置(未图示)上。

上述吸嘴125，下端形成有吸附面，并且可相对于上述轴122和上述外壳121绕着Z方向的轴线转动。

即，如图5所示，该单位单元85，使吸嘴125相对于支撑部件73在X方向、Y方向、Z方向上移动的同时，使吸嘴125绕Z方向的轴线转动。

如图14所示，上述控制装置200具备：上述基本动作控制装置201；部件间隔检测装置202；插座间隔检测装置203；吸嘴移动装置204；转动方向定位装置205；以及补正装置206。

上述基本动作控制装置201控制以下各装置等的动作：上述托盘支撑装置12；托盘移载装置13；电子元件用拍摄装置15；元件区域移动装置31；钩部钩部用致动器27；第一Y方向驱动装置72；第一X方向驱动装置74；头部侧拍摄装置86；头部侧拍摄装置87；以及Z方向驱动装置100等。

上述部件间隔检测装置202，是利用由上述电子元件拍摄装置15拍摄到的吸附后的电子元件5的图像数据，并通过图像处理在所有单位单元85上检测电子元件5的位置的结构。进行该检测时，检测出吸附在4个单位单元85上的4个电子元件5中排列在X方向上的2个电子元件5、5之间的间隔、排列在Y方向上的2个电子元件5、5之间的间隔、各电子元件5围绕在Z方向上延伸的轴线的角度(转动位置)。

电子元件5的上述X方向的间隔，检测4个电子元件5中在装置前侧沿X方向排列的2个电子元件5、5之间的间隔和在装置后侧沿X方向排列的2个电子元件5、5之间的间隔。另外，上述Y方向的间隔，检测4个电子元件5中在装置右侧沿Y方向排列的2个电子元件5、5之间的间隔和在装置左侧沿Y方向排列的2个电子元件5、5之间的间隔。而且，电子元件拍摄装置15所拍摄的电子元件5的图像数据和显示电子元件5的位置的数据储存在连接在控制装置200上的内存207中。

上述载置部间隔检测装置203，利用通过设置在上述头部单元75上的头部侧拍摄装置86和头部侧拍摄装置87拍摄到的检查用插座6和托盘支撑装置12上的托盘T1～T3的图像数据，通过图像处理检测出多个检查用插座6之间及托盘T1～T3的多个部件收容用凹陷部之间在X方向和Y方向上的间隔。另外，此处所说的多个检查用插座6之间的在X方向上的间隔是指，4个查用插座6中在装置前侧沿X方向排列的2个电子元件检查用插座6、6之间的间隔和在装置后侧沿X方向排列的2个检查用插座6、6之间的间隔。

另外，所谓多个检查用插座6、6的在Y方向上的间隔是指，4个检查用插座6中在装置右侧沿Y方向排列的2个电子元件检查用插座6、6之间的间隔和在装置左侧沿Y方向排列的2个检查用插座6、6之间的间隔。此时，检测间隔的上述电子元件收容用凹陷部是指，设在托盘上的多个电子元件收容用凹陷部中、在X方向上相邻的两处凹陷部和相对于这些凹陷部在Y方向上相邻的两处凹陷部。以下，将这4处电子元件收容用凹陷部的在X方向和Y方向上的间隔简称为“多个电子元件收容用凹陷部之间的间隔”。

而且，进行该检测时，载置部间隔检测装置203，检测出各检查用插座6围绕在Z方向上延伸的轴线的角度和合格品用托盘T1及不合格品用托盘T2围绕在Z方向上延伸的轴线的角度等。而且，头部侧拍摄装置86和头部侧拍摄装置87拍摄的检查用插座6及托盘T1～T3的图像数据和显示检查用插座6及托盘T1～T3的位置的数据储存在连接于控制装置200上的内存207中。

上述吸嘴移动装置204，用来控制分别设置在4个单位单元85上的第二X方向驱动装置93和第二Y方向驱动装置96的动作。

本实施方式的吸嘴移动装置204，在吸嘴125将电子元件5吸附到未检查电子元件用托盘T1上时、将电子元件5装填到检查用插座6上时、将检查完的电子元件5移载到合格品用托盘T2或者不合格品用托盘T3上时、从这些已检查电子元件用托盘T2、T3上返回到上述未检查电子元件用托盘T1上时，根据需要使各单位单元85的第二X方向驱动装置93和第二Y方向驱动装置96工作。

即，该吸嘴移动装置204，在吸嘴125将电子元件5吸附到未检查电子元件用托盘T1上时，控制第二X方向驱动装置93和第二Y方向驱动装置96的动作，使4个吸嘴125在X方向和Y方向上的间隔与未检查电子元件用托盘T1的多个电子元件收容用凹陷部之间的在X方向和Y方向上的间隔相一致，并移动吸嘴125。而且，吸嘴125在X方向和Y方向上的间隔，既可以在电子元件自动移载装置1开始动作时预先设定，也可以根据由电子元件拍摄装置15拍摄处于未吸附电子元件的初期状态的吸嘴125的图像进行图像处理的方法进行检测。

吸嘴移动装置204，将电子元件5装填到检查用插座6上时，控制第二X方向驱动装置93和第二Y方向驱动装置96的动作，使多个电子元件5在X方向和Y方向上的间隔与多个检查用插座6在X方向和Y方向上的间隔一致，并移动吸嘴125。多个电子元件5在X方向和Y方向上的间隔，使用通过上述电子元件间隔检测装置202检测出的数据。多个检查用插座6在X方向和Y方向上的间隔，使用插座间隔检测装置203检测出的数据。

电子元件自动移载装置1的控制装置200，是由检查装置主体7内的控制装置与连接用电缆(图中未示)连接，并由吸嘴125将各电子元件5安装到多个检查用插座6上的信息传递到检查装置主体7的控制装置上，且检查装置主体7内的控制装置将已检查完的信息与检查结果的信息传递给控制装置200。

电子元件自动移载装置1的控制装置200，接到已检查完的信息和检查结果的信息之后，控制吸嘴移动装置204，将检查完毕的电子元件5，如果是合格品则移载到合格品用托盘T2上，如果是不合格品则移载到不合格品用托盘T3上。

吸嘴移动装置204，将检查完的电子元件5移载到合格品用托盘T2或者不合格品用托盘T3上时，控制第二X方向驱动装置93和第二Y方向驱动装置96的动作，使电子元件5在X方向和Y方向上的间隔与上述合格品用托盘T2或者不合格品用托盘T3的多个电子元件收容用凹陷部之间的在X方向和Y方向上的间隔一致，并移动吸嘴125。合格品用托盘T2或者不合格品用托盘T3的多个电子元件收容用凹陷部之间的在X方向和Y方向上的间隔，使用上述插座间隔检测装置203检测出的值。

吸嘴移动装置204，在吸嘴125从这些已检查电子元件用托盘T2、T3上返回到上述未检查电子元件用托盘T1上时，控制第二X方向驱动装置93和第二Y方向驱动装置96的动作，使托盘T2或者托盘T3的多个电子元件收容用凹陷部之间的在X方向和Y方向上的间隔与托盘T1的多个电子元件收容用凹陷部之间的在X方向和Y方向上的间隔一致，并移动吸嘴125。托盘T1在X方向和Y方向上的间隔，使用上述插座间隔检测装置203检测出的值。

上述转动方向定位装置205，用来控制分别设置在4个单位单元85上的转动驱动装置124的动作。该转动方向定位装置205，控制转动驱动装置124的动作，使上述电子元件间隔检测装置202检测的电子元件5围绕Z方向轴线的角度与上述插座间隔检测装置203检测的检查用插座6围绕Z方向轴线的角度一致。

本实施方式的转动方向定位装置205，在将电子元件5装填到检查用插座6上时、将检查完的电子元件5移载到合格品用托盘T2或者不合格品用托盘T3时，根据需要使各单位单元85的转动驱动装置124工作。即，该转动方向定位装置205，使4个电子元件5的上述转动方向角度与上述托盘T2和托盘T3各自的多个电子元件收容凹陷部的上述转动方向的角度一致，使各单位单元85的转动驱动装置124动作，并转动吸嘴125(电子元件5)。

上述补正装置206采用下述结构：对应于在第二X方向驱动装置93和第二Y方向驱动装置96的驱动下进行移动的吸嘴125的移动量来补正，头部单元75在检查用插座6的上方为了将电子元件5移动到可装填位置所移动的方向和距离数据。

下面，对上述结构的电子元件自动移载装置1的动作进行说明。为了通过该电子元件自动移载装置1将电子元件5装填到检查用插座6上，首先要通过托盘移载装置13将未检查电子元件用托盘T1从储料器11传送到托盘支撑装置12上，然后通过第一或者第二电子元件移动装置3、4使上述托盘T1上的电子元件5移动到检查用插座6上。

为了通过托盘移载装置13将未检查电子元件用托盘T1从储料器11传送到托盘支撑装置12上，首先，如图9(a)所示，使移载装置主体55移动到所希望的储料器11的下方，通过第一气缸61使托盘支撑部件65上升至上升位置，同时使第二气缸62处于伸长状态。这时，上述托盘支撑部件65与位于储料器11内的最下方的托盘T1接触。然后，如图9(b)所示，使储料器11的钩部钩部24后退，如图9(c)所示，使第一气缸61的活塞杆6a下降。

由于该活塞杆6a的下降，托盘支撑部件65和储料器11内的多个托盘T也随着下降，并由第二气缸62的活塞杆62a支撑。然后，如图10(a)所示，使上述钩部钩部24前进，如同图(b)所示，使第二气缸62的活塞杆62a下降。这样，由于活塞杆62a的下降，托盘支撑部件65和托盘T1也随着下降，托盘T1支撑在传送带64上。

然后，使该传送带64、转接传送带56的传送带66、托盘支撑装置12的传送带35向同一方向动作。通过这些传送带的动作，使上述托盘T1通过转接传送带56从储料器11的下方被传送到托盘支撑装置12内。而且，这时，将托盘支撑装置12的托盘升降用平板40定位在待机位置上。

通过与上述动作相同的动作，将合格品用托盘T2和不合格品用托盘T3传送到3台托盘支撑装置12中的另外2台托盘支撑装置12上。这时，通过元件区域移动装置31，使支撑装置12在X方向上移动，将传送合格品用托盘T2或者不合格品用托盘T3的支撑装置12定位在转接传送带56的传送方向的下游侧。

将托盘T1搬入到托盘支撑装置12内，并由传感器43检测出托盘T1的传送方向后侧的端部，由此使上述传送带停止。而且，此时，通过使托盘T1的传送方向后侧的端部抵接在挡块39上，将托盘T1定位在传送方向(Y方向)上。这样，传送带35停止之后，通过托盘支撑装置12的气缸33使托盘T1与托盘升降用平板40一起上升。

当托盘T1上升时，通过一对侧部导向部件38、38使该托盘T1在X方向上定位，并通过前侧受压板36及后侧受压板37和托盘升降用平板40的夹压来矫正偏斜。因此，托盘T1，以在X方向和Y方向上定位的状态保持在托盘支撑装置12上。此时，与未检查品用托盘T1同样地，也使合格品用托盘T2和不合格品用托盘T3分别在托盘支撑装置12内上升，并通过前侧受压板36及后侧受压板37和托盘升降用平板40预先在上下方向上定位。

托盘T1保持在托盘支撑装置12上之后，通过第一电子元件移动装置3或者第二电子元件移动装置4的第一X方向驱动装置74和第一Y方向驱动装置72的驱动，使头部单元75向托盘T1的上方移动。其后，通过Z方向驱动装置100的驱动使各吸附头部99下降，并由四个吸嘴125来吸附托盘T1上的四个电子元件5。此时，头部单元75使第二X方向驱动装置93和第二Y方向驱动装置96动作，使吸嘴125的位置(X方向和Y方向的间距)与托盘T1的电子元件收容用凹陷部的位置(X方向和Y方向的间距)一致。然后，使为了使作为任一基准的吸嘴125移动到与该吸嘴125对应的作为基准的电子元件收容用凹陷部的正上方，使第一Y轴方向驱动装置72以及第一X轴方向驱动装置74动作，控制头部单元75的移动。

在吸嘴125吸附电子元件5之后，通过第一X方向驱动装置74和第一Y方向驱动装置72的驱动，使头部单元75经过电子元件拍摄装置15的上方之后向检查用插座6的上方移动。

使头部单元75经过电子元件拍摄装置15的上方，从而利用该电子元件拍摄装置15从下方拍摄电子元件5，并通过上述电子元件间隙检测装置202检测出多个电子元件5在X方向和Y方向上的间隔。

这样检测出电子元件5的位置之后，吸嘴移动装置204对上述电子元件5的X方向及Y方向的间距和检查用插座6的X方向及Y方向的间距进行比较，判断出这两者的间隔是否一致。此判断是通过图像处理来进行的。如果两者的间距不一致，则吸嘴移动装置204通过使第二X方向驱动装置93和Y方向驱动装置在X方向和Y方向移动吸嘴125来使上述两者的间距一致。

并且，此时转动方向定位装置205判断出上述电子元件围绕Z轴方向轴线的角度和检查用插座6围绕Z轴方向轴线的角度是否一致。此判断也是通过图像处理来进行的。如果上述两者的角度不一致，则转动方向定位装置205通过使转动驱动装置124转动吸嘴125而使上述两者的角度一致。

这样，通过吸嘴125的位置补正来补正吸附后的电子元件5的位置(补正相对的位置偏移)之后，利用补正装置206来补正作为头部单元75的任一基准的部件5，移动至作为此部件的安装对象的检查用插座6的上方为止的、头部单元75的移动方向和移动间距的数据，并根据此数据使头部单元75向检查用插座6的上方移动。

上述吸嘴125的位置补正，在头部单元75移动至检查用插座6的上方的期间内实施。

在头部单元75移动到检查用插座6的上方之后，头部单元75使吸附头部99下降，并在检查用插座6上同时装填四个电子元件5。这样，通过在检查用插座6上装填电子元件5，由电子元件检查装置7对电子元件进行规定检查。在检查过程中待机，直至另一方的电子元件移动装置4与上述相同地吸附上述吸附托盘T1上的电子元件5，并移动到检查用插座6的附近检查完毕。

检查结束之后，头部单元75使电子元件5从检查用插座6上升，移动到三个托盘支撑装置12中合格品用托盘T2或者不合格品用托盘T3所处的托盘支撑装置12的上方，并将电子元件5移载到这些托盘T2、T3上。在上述移动过程中，头部单元75，如果上述托盘T2或者托盘T3的电子元件收容用凹陷部之间的X方向以及Y方向的间距、围绕Z方向轴线地角度和电子元件5的X方向以及Y方向的间距、围绕Z方向轴线的角度不一致，则使第二X方向驱动装置93、第二Y方向驱动装置96以及转动驱动装置124动作，使其一致，并修正电子元件5的位置。然后，为了使作为任一基准的吸嘴125移动到与该吸嘴125对应的作为基准的电子元件收容用凹陷部的正上方，使第一Y轴方向驱动装置72以及第一X轴方向驱动装置74动作，并控制头部单元75的移动。

将电子元件5载置到合格品用托盘T2或者不合格品用托盘T3上之后，头部单元75为了吸附下一个的检查电子元件5，向未检查电子元件用托盘T1的上方移动。在此移动过程中，头部单元75使第二X方向驱动装置93和第二Y方向驱动装置96动作，使得多个吸嘴125的X方向以及Y方向的间距与未检查电子元件用托盘T1的多个电子元件收容用凹陷部之间的X方向以及Y方向的间距一致，并移动吸嘴125。

当将保持在托盘支撑装置12上的未检查电子元件用托盘T1上的电子元件5全部取出，而使该托盘T1变空时，或者合格品用托盘T2或不合格品用托盘T3被检查后的电子元件5填满时，通过元件区域移动装置31向X方向移动三组托盘支撑装置12，并使这些部件的返回用托盘T4与转接用传送带56在Y方向上排列地对托盘支撑装置12进行定位。此时，装填在另一托盘支撑装置12上的托盘T，保持从下方挤压在前侧受压板36、后侧受压板37以及侧部导向部件38上的状态。即，此时这些托盘T，在相对于托盘支撑装置12进行定位的状态下向X方向移动。

具有返回用托盘T4的托盘支撑装置12相对于转接用传送带32进行定位之后，如图8(a)所示，通过转接用传送带56将返回用托盘T4从托盘支撑装置逐个移动到二组移载装置主体55中的一方。另外，即使在这样为了搬出返回用托盘T4而向X方向移动三组托盘支撑装置12的状态下，也可以通过第一电子元件移动装置3以及第二电子元件移动装置4继续取放对其他托盘T的电子元件5。

其次，如同图(b)所示，使托盘移载装置13动作，并向X方向移动二组移载装置主体55，使另一移载装置主体55与转接传送带56相对。然后，如同图(c)所示，将预先放在上述另一移载装置主体55上的新托盘T5经过上述转送传送带56传送到上述托盘支撑装置12上。这样从上述另一移载装置主体55上搬出上述新托盘T5之后，向规定的储料器11的下方移动上述另一移载装置主体55，并将返回用托盘T4收容到储料器11内。

如图11及图12所示，将返回用托盘T4收容到储料器11中。首先，如图11(a)、(b)所示，通过托盘移载装置13的第二气缸62使返回用托盘T4从下方与位于储料器11最下端的其他托盘T接触，并使储料器11的钩部钩部24后退。之后，如同图(c)所示，通过第一气缸61，将包括返回用托盘T4和上述其他托盘T的储料器11内的所有托盘T上推一个托盘的程度，如图12(a)所示，使钩部钩部24前进。这样一来，在钩部钩部24前进之后，使第一以及第二气缸61、62的活塞杆61a、62a下降。

如上述构成的电子元件自动移载装置1，以沿X方向排列的状态设置有作为元件区域B的多个托盘支撑装置12，并在与这些托盘支撑装置12Y方向上分离的位置上设有检查用插座6。因此，该实施方式的电子元件自动移载装置1，可以在元件区域排列在与检查用插座分离的方向上的现有电子元件自动移载装置中、与位置最接近检查用插座的托盘间距相等的位置上配置所有托盘T。

所以，该实施方式的电子元件自动移载装置1，在托盘支撑装置12和检查用插座6之间移动电子元件5时，第一电子元件或者第二电子元件移动装置3、4不需越过托盘支撑装置12即可向与检查用插座6相反的方向移动，因此与以往的电子元件自动移载装置相比，可缩短进行电子元件5的吸附→移动→检查→载置等一连串检查动作的生产节拍时间。

该实施方式的电子元件自动移载装置1，相对于托盘支撑装置12在与检查用插座6相反的一侧设有与托盘支撑装置12的排列方向平行地排列的多个储料器11，并且具有在这些储料器11与上述托盘支撑装置12之间移动托盘T的托盘移动装置13。因此，对于这种电子元件自动移载装置1，在托盘支撑装置12上将电子元件5吸附或者载置到托盘T上时，可以相对于储料器11取放并非操作对象的托盘T。因此，无需为了更换托盘T而停止进行电子元件5的吸附、载置的动作。

该实施方式的电子元件自动移载装置1，具备第一电子元件移动装置3和第二电子元件移动装置4，并且这些第一电子元件移动装置3、第二电子元件移动装置4对称设置，以便将电子元件5交替装填到检查用插座6上。因此，根据该实施方式的电子元件自动移载装置1，可以在由一个电子元件移动装置将电子元件5装填并保持在检查用插座6上的期间(检查期间)，由另一个电子元件移动装置预先准备下一个电子元件5。

该实施方式的电子元件自动移载装置1，第一电子元件移动装置3以及第二电子元件移动装置4，具备：使吸嘴125升降的同时进行转动的吸附头部99、支撑多个该吸附头部99的头部单元75、以及使该头部单元75在水平方向上移动的头部单元75用移动装置(第一X方向驱动装置74和第一Y方向驱动装置72等)。因此，该实施方式的电子元件自动移载装置1，可以将多个电子元件5一次装填到多个检查用插座6上，因此与逐个将电子元件5装填到检查用插座上的电子元件自动移载装置，提高了检查效率。

同时，该实施方式的电子元件自动移载装置1，由于可以通过由第二X方向驱动装置93和第二Y方向驱动装置94构成的吸嘴移动装置，使吸嘴125相对于其他吸嘴125在水平方向上移动，因此不必更换头部单元75，即可简单且准确地使吸嘴间的间隔与插座间的间隔一致。

根据该实施方式的电子元件自动移载装置1，由吸嘴125吸附电子元件5时，即使电子元件5的位置偏离目标位置，也可以通过吸嘴移动装置(第二X方向驱动装置93和第二Y方向驱动装置94)补正该位置偏差。因此，该实施方式的电子元件自动移载装置1，即使吸附电子元件5时，电子元件5相对于吸嘴125发生位置偏差，也可以将电子元件5准确地装填到检查用插座上。

其结果是，采用该电子元件自动移载装置1，能够随时补正无法利用改变吸嘴之间的间隔的手动式联杆机构进行补正的上述吸附位置偏差。

该实施方式的电子元件自动移载装置1，由吸嘴移动装置修正吸附时的电子元件5的位置偏差之后，利用补正装置补正头部单元75移动至检查用插座6上方的移动方向和距离数据。因此，根据该实施方式的电子元件自动移载装置1使头部单元75动作，使其反映吸嘴125的位置变化，因此可以更准确地将电子元件5装填到检查用插座6上。

该实施方式的电子元件自动移载装置1，吸嘴125从吸附电子元件5的吸附位置移动到检查用插座6的途中，可利用电子元件用拍摄装置15从下方拍摄电子元件5。因此，为了拍摄电子元件5，不需要向不同于检查用插座6所处的方向移动头部单元75，即可大致呈直线状地移动头部单元75。因此，根据该电子元件自动移载装置1，可缩短头部单元75的移动时间，并可缩短生产节拍时间。

该实施方式的电子元件自动移载装置1，因改变需检查的电子元件5的种类等而更换检查用插座6时，则使头部单元75移动并利用头部侧拍摄装置86从上方拍摄检查用插座6，从而检测出新检查用插座6的插座间的间隔，可容易地进行设定。

该实施方式的电子元件自动移载装置1，通过转动驱动装置124使吸嘴125转动，使得利用由电子元件用拍摄装置15所拍摄的电子元件5的图像检测出的各电子元件5的围绕Z方向的角度与利用由头部侧拍摄装置86所拍摄的检查用插座6的图像检测出的Z方向的轴线角度一致。因此，根据该电子元件自动移载装置1，可准确地将电子元件5定位在检查用插座6上，并且更可准确地将多个电子元件5装填到检查用插座6上。

该实施方式的电子元件自动移载装置1，通过吸嘴移动装置使吸嘴125向X方向和Y方向移动，因此如该实施方式所示，即使多个检查用插座排列成两列，也可使检查用插座6、6之间的间隔与电子元件5、5之间的间隔一致。

在该实施方式中虽然表示了根据头部侧拍摄装置86所拍摄的图像数据检测多个检查用插座6之间的间隔的示例，但是如果已知多个检查用插座6、6之间的间隔，则可替代通过图像处理检测间隔，而由操作员输入间隔数据。此时，吸嘴移动装置，调整多个吸嘴125的间隔，使其与已输入的上述数据一致。

该实施方式的电子元件自动移载装置1，测试头部8可拆卸地固定在基座2上。因此，根据该电子元件自动移载装置1，通过将检测头部8安装到基座2上来检查电子元件，较之在载置有基座的地板上与基座脱离地载置测试头部的电子元件自动移载装置，即使外部环境的振动传递到地板上，也可准确地实施吸嘴125对检查用插座6的对位。

该实施方式的电子元件自动移载装置1，具备：可拆卸地安装在基座2上的测试头部8；和在将电子元件5安装到检查用插座6上的过程中，通过测试头部8在多个电子元件5之间输入输出检查用电流来检查电子元件5的检查装置主体7，因此可简单地联系利用检查装置主体7的电子元件检查和电子元件5向检查用插座的移载。

根据该实施方式，检查装置主体7支撑在基座2上，并在检查用插座6与检查装置主体7之间的、用于流通检测电流的路径途中配置有可拆卸的连接器，检查装置主体7可与检查用插座6进行电分离及机械分离，因此不改变检查装置主体7即可更换检测头部8，并可检查多种电子元件。同时，作为电子元件自动移载装置1的一部分构件的检查装置主体7的传送变得容易。

而且，该实施方式的电子元件自动移载装置1，在托盘支撑装置12(第二托盘保持部)上设置有由前侧受压板36和后侧受压板37以及侧部导向部件38等构成的上下方向定位部件，并与托盘一起向X方向移动。因此，在该电子元件自动移载装置1上，尽管支撑上述上下方向定位部件的部件(竖向板35)形成得能够获得充分刚性的结构，但是托盘T向X方向的移动不会因该部件而受到限制。

因此，根据该电子元件自动移载装置1，通过纵向板35牢固地支撑上述上下方向定位部件的同时，可容易地在支撑位置上向X方向传送托盘T。

同时，在该实施方式的电子元件自动移载装置1中，托盘T，在元件区域移动装置31的驱动和传送带35的驱动下，在托盘支撑装置12上向X方向和Y方向移动。因此，对于该电子元件自动移载装置1，在多个托盘支撑装置12与储料器11之间移动托盘T时，可以用一台转接用传送带56来进行。该转接用传送带56在X方向上的位置，可以在三组托盘支撑装置12的移动范围内适当变更。因此，设计托盘T的支撑装置(元件区域B)与储料器11之间的托盘T的传送路径时的自由度提高。

在该实施方式的电子元件自动移载装置1中，可以同时进行托盘移动装置13的托盘T向储料器11的取放动作和在托盘支撑装置12的托盘T上由第一电子元件移动装置3以及第二电子元件移动装置4吸附、载置电子元件5的动作。

所以，在托盘支撑装置12上，对托盘T进行电子元件的吸附或者装载时，可以相对于托盘T取放并非操作对象的储料器11。因此，根据该电子元件自动移载装置1，不必为了更换托盘T而停止进行吸附、移载电子元件5的动作，因此通过第一电子元件移动装置3以及第二电子元件移动装置4能够高效地进行部件的取放动作。

在该实施方式的电子元件自动移载装置1中，将托盘T挤压在由前侧受压板36、后侧受压板37以及侧部导向部件38等构成的上下方向定位部件上，并以在上下方向定位的状态通过元件区域移动装置31的驱动使托盘T向X方向移动。因此，随着上述移动可以改变第一电子元件移动装置3以及第二电子元件移动装置4相对于托盘T取放电子元件5的位置。

因此，在三组托盘支撑装置12中的一个托盘支撑装置12上搬出、搬入托盘T时，可以在其他托盘支撑装置12上通过第一电子元件移动装置3以及第二电子元件移动装置4进行电子元件5的取放，并且可高效地进行该取放动作。同时，这样一来，由于可以使托盘T在定位于托盘支撑装置12上的状态下沿X方向移动，因此可以在吸嘴125的移动间距最短的最佳位置上，利用第一电子元件移动装置3以及第二电子元件移动装置4相对于该托盘T进行电子元件5的取放动作。

并且，在该实施方式的电子元件自动移载装置1中，当使托盘T与托盘支撑装置12一起向X方向移动时，由于可以在托盘升降用气缸33的驱动下挤压在上述上下方向定位部件上，因此向X方向移动时，托盘T不会从传送带上脱落，因而能够快速移动托盘T。

本发明的电子元件自动移载装置，可以形成如图15至图26所示的结构。图15是表示电子元件自动移载装置的其他实施方式的平面图，图16是图15的XV-XV线剖面图，图17至图23是表示电子元件自动移载装置的其他实施方式的平面图，图26以及图27是表示电子元件自动移载装置的其他实施方式的平面图。在这些图中，对与上述图1至图13说明的部件相同或者等同的部件标注相同的附图标记，并适当地省略详细说明。

图15和图16所示的电子元件自动移载装置，只有基座侧拍摄装置15的结构不同，而其他部件采用与图1至图13所示的电子元件自动移载装置等同的结构。图15和图16表示的电子元件自动移载装置，仅设有一台基座侧拍摄装置15。该基座侧拍摄装置15，通过滚珠丝杠驱动装置201向X方向移动。

通过采用该结构，可以使基座侧拍摄装置15向接近头部单元75的方向移动，因此可以使头部单元75在吸附电子元件之后向检查用插座6以一直线状移动。因此，根据该电子元件自动移载装置1，可进一步缩短生产节拍时间。

图17至图20所示的电子元件自动移载装置1，只设有一台电子元件移动装置。图17表示的电子元件移动装置202，与图1至图13表示的电子元件自动移载装置1所采用的第一电子元件移动装置3结构相同。

图18所示的电子元件移动装置203，在基座2的X方向上的两端设置有固定导轨204，并横架在这些固定导轨204上而设置支撑部件205。该支撑部件205，在Y方向上移动自如地支撑在固定导轨204上的同时，通过滚珠丝杠式的第一Y方向驱动装置206的驱动在Y方向上移动。该支撑部件205，具有向X方向延伸的导轨207，并由该导轨207在X方向上移动自如地支撑头部单元75。

该头部单元75，通过设置在支撑部件205上的滚珠丝杠式的第一X方向驱动装置在X方向上移动。该实施方式的头部单元75，在X方向上移动自如地支撑在导轨207上且支撑在从支撑部件205向装置前方伸出的移动部件209上，并通过使支撑部件205在Y方向上移动而向Y方向移动，通过使移动部件209在X方向上移动而向X方向移动。因此，在该实施方式中，并未使用采用图1至图17表示的实施方式时所使用的支撑部件73，并且单位单元85直接安装到移动部件209上。

图19和图20所示的电子元件自动移载装置1，使托盘T在托盘移动装置13和托盘支撑装置12之间直接移动。图19所示的电子元件自动移载装置1的电子元件移动装置210，在储料器11与托盘支撑装置12之间和基座2的后端设置有固定导轨211，支撑部件212在X方向上移动自如地支撑在该固定导轨211上。该支撑部件212，通过滚珠丝杠式的第一X方向驱动装置213向X方向移动。

并且，该支撑部件212具有向Y方向延伸的导轨214，由该导轨214在Y方向上移动自如地支撑头部单元75。头部单元75，通过设置在上述支撑部件212上的第一Y方向驱动装置215向Y方向移动。该实施方式的头部单元75，在Y方向上移动自如地支撑在导轨214上且支撑在从支撑部件212向装置左侧伸出的移动部件216上，并通过使支撑部件212向X方向移动而向X方向移动，通过使移动部件216向Y方向移动而在支撑部件212的上方朝Y方向移动。因此，在该实施方式中，并未使用采用图1至图18所示的实施方式时使用的支撑部件73，并且将单位单元85直接安装到移动部件216上。

图20所示的电子元件自动移载装置1的电子元件移动装置220，除了头部单元75的延伸方向的不同，其余采用与图18所示的电子元件移动装置203同等的结构。因此，在这里标注相同的附图标记且省略详细的说明。图20所示的头部单元75，形成从支撑部件205向装置前方伸出的结构。

图21所示的电子元件自动移载装置1，表示技术方案6所述的自动传送装置的实施方式，由多个储料器11构成元件区域B。即，该电子元件自动移载装置1上未设置图1至图20所示的电子元件自动移载装置1中所说的托盘支撑装置12。

该实施方式的储料器11，与本申请的申请人已申请的特2002-303649号中所记载的储料器具有同等结构。即，该实施方式的储料器11，是将多个托盘以上下重叠的状态进行收容的结构，并具有使托盘升降的升降装置230。

该升降装置230是滚珠丝杠式，由以下部分构成：位于储料器11的最下部的电动机231；电动机231的转动驱动轴，即嵌合贯通上下方向被限制的滚珠螺母(未图示)，并且被限制转动的滚珠丝杠轴(未图示)；以及固定该滚珠丝杠轴的上端部，并支撑托盘T的工作台232等。

在该储料器11的最上部设有开口，其开口作为从上方取出或者放回电子元件5或托盘T的移载部233。

同样地，在该实施方式中，在与远离检查用插座6的方向(Y方向)正交的方向(X方向)上排列设置多个储料器11。

该实施方式的电子元件自动移载装置1，配备有与上述图20所示的电子元件移动装置220同等结构的电子元件移动装置240，并采用下述结构：通过该移动装置240，在储料器11上的托盘T与检查用插座6之间，一次也不必放开电子元件地使其移动。该电子元件移动装置240的各部件，标注图20所示的附图标记，并省略说明。

同时，图21所示的电子元件自动移载装置1，为了搬出取出全部被检查用电子元件5而变空的托盘，或者被检查完的电子元件5装满的托盘，具有吸附式的托盘移载装置241。该托盘移载装置241，具有从上方吸附托盘的吸附部件242和使该吸附部件242升降的同时向X方向移动的X方向移动装置243。

图21所示的电子元件自动移载装置1，也具有与图1至图20所示的电子元件自动移载装置1同等的效果。尤其，在图21所示的电子元件自动移载装置1中，未设置图1至图20所示的电子元件自动移载装置1中所说的托盘支撑装置12，因此与这些电子元件自动移载装置相比，可以小型化。

并且，本发明也可适用于配备有如图22所示的加热板的电子元件自动移载装置。

图22是具有加热板的电子元件自动移载装置的平面图，在该图中，对于与上述图1至图1说明的部件相同或者同等的部件标注相同附图标记，并适当省略详细说明。

图22所示的电子元件自动移载装置1的托盘支撑装置12配备有加热板131。该加热板131设置在三台托盘支撑装置12中的两侧托盘支撑装置12的外侧，并通过元件区域移动装置31的驱动与托盘支撑装置12一起向X方向移动。

这些加热板131内置有加热器(未图示)，并在上端部上在X方向和Y方向上排列设置有多个电子元件收容用凹陷部132。

该实施方式的电子元件自动移载装置1中，电子元件5从托盘支撑装置12上的未检查电子元件用托盘T1被移载到加热板131上，在此处加热到规定温度之后从加热板131中取出，并装填到检查用插座6上。该实施方式的电子元件自动移载装置1，当将电子元件5从未检查电子元件用托盘T1移载到加热板131上时，对多个电子元件收容用凹陷部之间的在X方向以及Y方向上的间隔和围绕Z方向轴线的角度进行比较，并通过第二X方向驱动装置93和第二Y方向驱动装置96以及转动驱动装置124使吸嘴125移动，使其一致。

同时，该电子元件自动移载装置1，当使电子元件5从加热板131移动到检查用插座6上时，对加热板131的多个电子元件收容用凹陷部132的在X方向和Y方向上的间距以及围绕Z方向轴线的角度和检查用插座6的在X方向和Y方向上的间距以及围绕Z方向轴线的角度进行比较，通过第二X方向驱动装置93、第二Y方向驱动装置96以及转动驱动装置124使吸嘴125移动，以使其一致。

在该电子元件自动移载装置1的各单元单元85上设置有用于将吸嘴125加热至规定温度的加热器133，支撑检查用插座6的测试头部8设置有用于将检查用插座6加热至规定温度的加热器134。

这样一来，由于在配备加热板131的情况下，也可以一次吸附多个电子元件5并装填到检查用插座6上，因此具有与图1至图14所示实施方式的电子元件自动移载装置1同等的效果。

图23和图24所示的电子元件自动移载装置400采用下述结构：通过电子元件移载装置403使电子元件5(未检查的电子元件5和已检查的电子元件5)在设置于基座2的后端部(图23中为上侧的端部)的电子元件检查装置401和与该电子元件检查装置401相邻设置的电子元件收容用托盘402之间移动。

上述电子元件检查装置401，具有从上方装填电子元件的电子元件插座(未图示)。

上述托盘402，在其上表面形成有多个收容电子元件的凹部402a，并且在远离上述电子元件检查装置401的方向上排列有多个。这些托盘402，是通过托盘移动装置405从设置在装置右侧的多个储料器404中被向左抽出，并且根据需求通过该托盘移动装置405返回到储料器404中。

上述电子元件移载装置403，由以下部分构成：在基座2上向Y方向延伸的一对固定导轨406、在Y方向移动自如地支撑在这些固定导轨406上并在固定导轨之间延伸的主体407、以及设置在该主体407的前端并向X方向移动的多个单位单元85等。这些单位单元85，在Y方向上排列设置。

采用此结构时，检查用插座6，除了如图23所示在X方向上排设两个的同时在Y方向排列设置两个之外，如图24(a)所示，可在Y方向排列设置两个，或如24图(b)所示在X方向上排列设置两个。

图25所示的电子元件自动移载装置500，除了传送用头部的结构不同之外，其他采用与本申请人已申请的特开2002-303649号中所记载的电子元件自动移载装置同等的结构。该实施方式的电子元件自动移载装置500，在基座2的后端部上沿X方向排列设置有两个检查用插座6，同时在基座2的前端部上设置有多个储料器11，并为了使电子元件5在这些部件之间移动，设置有第一至第三电子元件移动装置501至503。

第一电子元件移动装置501，具备：在储料器11的两侧向Y方向延伸的一对固定导轨504、在这些固定导轨504上向X方向延伸并沿着固定导轨504向Y方向移动的支撑部件505以及沿着该支撑部件505向X方向移动的吸附头部506。该第一电子元件移动装置501，在使电子元件5在储料器11的托盘T和下述第二电子元件移动装置502之间移动的同时，在储料器11之间移载托盘T。

第二电子元件移动装置502设置在X方向的一侧与另一侧。这些第二电子元件移动装置502，具备向Y方向延伸的固定导轨507和沿着该固定导轨507向Y方向移动的托盘508。在该托盘508中，载置有未检查的电子元件5和已检查的电子元件5。

第三电子元件移动装置503，具备向X方向延伸的两条固定导轨511和沿着固定导轨511向X方向移动的两组传送用头部512。传送用头部512具备从上述固定导轨511向装置后侧延伸的头部主体513。该头部主体513，通过传送用头部512向X方向的移动，使前端部定位在检查用插座6的上方，并且在该前端部上沿X方向排列设置有图1至图14所示的电子元件自动移载装置1的多个单位单元85。

图23至图25所示的电子元件自动移载装置1、300、400、500，也具有与图1至图14所示的电子元件自动移载装置1同等的效果。

图26所示的电子元件自动移载装置600，具备使托盘T在基座2的元件区域B和储料器11之间移动的托盘支撑装置601。

该实施方式的托盘支撑装置601，相对于上述第一实施方式所示的三组托盘支撑装置602，做了以下改变：替代传送带35而将托盘载置台700固定配置在纵向板上；未采用气缸33以及托盘升降用平板40；前侧受压板36以及后侧受压板37可在X方向上移动；中央的托盘保持部602的一对侧部导向部件38相对于其他侧部导向部件38在X方向上偏离；为了调整三组托盘支撑装置602的各对侧部导向部件38之间的间隔大小，可在Y方向移动等。

托盘移载支撑装置601由以下部分构成：使这些托盘支撑装置602一体地向Y方向移动的支撑部件603；和沿着在基座2上向X方向延伸的一对固定导轨604，使上述支撑部件603向X方向移动的X方向驱动装置605。

上述托盘移载装置601，使托盘支撑装置602在图26所示储料器11的下方位置与双点划线Y所示的位置之间向X方向和Y方向移动。

该实施方式的多个储料器11，在基座2的X方向的一侧部上，沿Y方向排列设置。在这些储料器11的各下方部上，相当于上述第一实施方式所示的第一气缸61的气缸载置并固定在基座2上，相当于该第一气缸61的活塞杆前端连接有相当于托盘支撑部件65的部件。

该实施方式的电子元件移动装置，分别由两组第一及第二移载装置3A、3B、4A、4B构成。各第一移载装置3A、3B由以下部分构成：独立地向Y方向移动自如地支撑在固定导轨210上，并向基座2中央方向延伸的主体611，该固定导轨210在基座2上向Y方向延伸；和分别设置在该主体611的前端部上，并可向X方向移动的单位单元85等。第二移载装置4A、4B，在第一移载装置3A、3B的与X方向相反的一侧，形成与第一移载装置3A、3B相同的结构。这些第一及第二移载装置3A、3B、4A、4B在双点划线Y所示的支撑位置上，根据与分别载置在基座2上的相当于气缸33的气缸的活塞杆前端相连的相当于托盘升降用平板40的托盘升降用平板，以上下方向定位的状态保持在托盘支撑装置602上。

即使如该实施方式所示地构成了托盘支撑装置，也可以与采用第一实施方式时发挥同等的效果。

第二实施方式的托盘支撑装置602，从俯视看，以位于储料器下方的状态对储料器11进行取放。此时，前侧受压板36以及后侧受压板37向X方向移动，上述侧部导向部件38向Y方向移动，载置托盘T的托盘载置台700的上方敞开。通过配置在基座2上的相当于第一气缸61的气缸的工作，相当于托盘支撑部件65的托盘支撑部件升降，并对储料器11进行托盘的取放。而且，该取放之后的托盘支撑装置605，在向双点划线Y所示的支撑位置移动过程中，前侧受压板36以及后侧受压板37移动到X方向上的原来位置，上述侧部导向部件38移动到Y方向上的原来位置，载置托盘T的托盘载置台700的上方托盘的四周关闭。在托盘支撑装置602移动到双点划线Y所示的支撑位置并停止的状态下，通过基座2上的升降装置(由相当于第一气缸61的气缸以及相当于托盘支撑部件65的托盘支撑部件组成)的工作，将托盘T在上下方向上定位。即，可移动的托盘支撑装置602的前侧受压板36以及后侧受压板37成为上下方向定位部件。

在第一实施方式中，托盘支撑装置602向水平方向移动时，由上下方向定位部件夹紧托盘T，并在传送过程中可靠地保持托盘T，但在第二实施方式中，在载置台上形成用于防止在传送过程中托盘T向Y方向移动的凹部。从储料器11接收托盘T时，托盘T被收容到凹部内。并且，在第二实施方式中，虽然在与托盘支撑装置602之间直接从储料器11取放托盘T，但也可在储料器11的下方配置相当于第一实施方式所示的托盘移载装置13的托盘移载装置。此时，托盘支撑装置602，例如在双点划线X所示的位置上，从相当于托盘移载装置13的托盘移载装置取放托盘T，相当于托盘移载装置13的托盘移载装置与第一实施方式相同地从储料器11上取放托盘T。

在上述各实施方式中，虽然表示了在储料器11的下方进行托盘取放的实例，但是作为储料器11也可以使用将托盘从上方取出并进行收容的储料器。此时，配备使托盘在具有上下方向定位部件的托盘保持部与托盘之间移动的托盘移载装置。该托盘移载装置，可考虑使用在X方向、Y方向以及Z方向上可移动托盘吸附用吸嘴的装置。

上述各实施方式所示的托盘支撑装置12、602，当托盘压在上下方向定位部件上时，采用了托盘向上方与传送带35或托盘载置台700分离的结构，但通过托盘升降平板40，可使托盘与传送带35的传送带或托盘载置台700一起升降。采用此结构时，在三组托盘支撑装置12、602中，为了可以使传送带35单独停止，在带式传送带35的驱动系统上对每个托盘支撑装置12、602设置离合器。

对于上述各个实施方式，电子元件自动移载装置的测试头部8可拆卸地固定在基座2上。因此，如果将测试头部8安装到基座2上进行电子元件检查，则与在载置有基座的地板上脱离基座地载置测试头部8的电子元件自动移载装置相比，即使外部环境的振动传递到地板上，也可以准确地实施吸嘴125对检查用插座6的对位。

电子元件自动移载装置1内的控制装置和检查装置主体7，通过未图示的信号线连接，电子元件自动移载装置1在检查电子元件5时，与检查装置主体7联动，因此检查装置主体7可以作为电子元件自动移载装置1的一部分。此时，对于构成一个动作程序或统一控制装置很有效。同时，也可以不在地板上载置检查装置主体7，而在基座2的未图示的下部结构部件上载置检查装置主体7。由此，也可以通过改进电子元件自动移载装置1的生产来实施电子元件检查装置的动作检查。同时，也可以一体进行传送。

测试头部8可拆卸地固定在基座2上，并且连接检查用插座6和检查装置主体7的未图示的检查用电缆的任意一端或者中部配置有未图示的连接器，因此对应被检查对象的电子元件5的改变，除了检查用程序的改变，不会影响到检查装置主体7的更换而简单地更换测试头部8，即可实施电子元件检查。电子元件自动移载装置1内的控制装置和检查装置主体7的控制装置，可以通过未图示的信号线进行信息收发，各电子元件移载程序和电子元件检查程序相互关联且并列实施，但也可由电子元件自动移载装置1内的控制装置同时实施电子元件移载控制和电子元件检查控制。

Claims (26)

1.一种电子元件自动移载装置，其特征在于：

包括，基座、设置于上述基座并对收容多个电子元件的托盘进行定位的元件区域和检查区域、以及使电子元件在该检查区域和该元件区域之间移动的电子元件移动装置，其中上述元件区域设置有收容未检查电子元件的未检查电子元件用托盘和收容已检查电子元件的已检查电子元件用托盘，

上述检查区域可设置装填上述电子元件的检查用插座，

上述未检查电子元件用托盘和上述已检查电子元件用托盘，从俯视方向看沿着与离开上述检查区域而指向上述元件区域的方向正交的方向并列设置，

上述电子元件移动装置，具有吸附电子元件同时使该电子元件在上述未检查电子元件用托盘和上述已检查电子元件用托盘与上述检查用插座之间移动的吸嘴。

2.根据权利要求1所述的电子元件自动移载装置，其特征在于：

上述元件区域，设置有保持上述未检查电子元件用托盘和上述已检查电子元件用托盘并限制上述未检查电子元件用托盘和上述已检查电子元件用托盘移动的多个托盘支撑装置，

该电子元件自动移载装置，还包括，

相对于上述多个托盘支撑装置，在与检查区域相反的一侧，沿着与上述多个托盘支撑装置排列方向平行的方向予以设置的多个储料器，该些储料器可收容在上下方向上予以重叠的多个托盘；

使托盘在上述储料器和上述托盘支撑装置之间移动的托盘移载装置。

3.根据权利要求2所述的电子元件自动移载装置，其特征在于：

上述储料器，包括位于最下部的托盘进出口；在位于托盘进出口附近的保持托盘的保持位置，和使托盘向下方移动的出入位置之间移动可能的托盘保持装置，

上述托盘移载装置，包括升降储料器中的托盘的升降装置；在储料器的下方支撑托盘的传送带。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的电子元件自动移载装置，其特征在于：

上述电子元件移动装置为多个，在上述基座的两侧成对设置，并将电子元件交替装填至上述检查用插座。

5.根据权利要求1至3中的任一项所述的电子元件自动移载装置，其特征在于：

上述电子元件移动装置，包括，升降上述吸嘴的同时使其转动的吸附头部、支撑上述多个吸嘴的头部单元、使该头部单元沿水平方向移动的头部单元用移动装置。

6.根据权利要求1所述的电子元件自动移载装置，其特征在于：

上述元件区域，还设置有多个可收容在上下方向上予以重叠的多个托盘的储料器，

上述储料器，其最上部设置有开口，并且具有使上述托盘升降的升降装置，以及可从上述开口取出上述托盘并移载到其他储料器的托盘移载装置。

7.根据权利要求1所述的电子元件自动移载装置，其特征在于：

上述检查区域，可设置多个上述检查用插座，

上述电子元件移动装置，包括吸附多个电子元件的多个吸嘴、使上述吸嘴所吸附的多个电子元件在吸附状态下沿水平方向移动并装填至多个检查用插座的头部单元、为了使上述多个吸嘴的间隔与上述多个检查用插座的间隔相一致而使上述吸嘴予以移动的吸嘴移动装置，

上述多个吸嘴中的至少一个，沿水平方向移动自如地支撑在上述头部单元上。

8.根据权利要求7所述的电子元件自动移载装置，其特征在于：

上述头部单元，包括从上方拍摄上述多个检查用插座的插座用拍摄装置，以及根据该插座用拍摄装置所拍摄的图像检测出上述检查用插座的间隔的插座间隔检查装置。

9.根据权利要求8所述的电子元件自动移载装置，其特征在于：

上述各吸嘴，分别围绕上下方向的轴线转动自如地支撑在上述头部单元上，

上述头部单元，具有变更上述多个吸嘴的转动方向的角度的转动驱动装置，

该电子元件自动移载装置，还包括根据上述插座用拍摄装置所拍摄的图像，检测出上述检查用插座围绕上下方向的轴线的角度，并控制上述转动驱动装置的动作量使上述吸嘴围绕上述轴线的角度与上述检查用插座的角度相一致的转动方向定位装置。

10.根据权利要求7所述的电子元件自动移载装置，其特征在于：

还包括，从下方拍摄上述吸嘴所吸附的电子元件的电子元件拍摄装置；

根据上述电子元件拍摄装置所拍摄的图像，检测出上述电子元件的间隔的电子元件间隔检查装置；

为了使上述电子元件间隔检查装置所检测的吸附后的电子元件的间隔与上述检查用插座的间隔相一致而使上述吸嘴移动装置动作的吸嘴移动装置。

11.根据权利要求10所述的电子元件自动移载装置，其特征在于：

还包括，对上述头部单元移动至位于上述检查用插座上方的可装填电子元件的部位的移动方向和移动距离所涉及的数据进行补正，使头部单元的上述移动方向和移动距离对应于通过上述吸嘴移动装置的驱动而予以移动的上述吸嘴的移动量的补正装置。

12.根据权利要求10至11中任一项所述的电子元件自动移载装置，其特征在于：

上述各吸嘴，分别围绕上下方向的轴线转动自如地支撑在上述头部单元上，

上述头部单元，具有变更上述多个吸嘴的转动方向的角度的转动驱动装置，

该电子元件自动移载装置，还包括根据上述电子元件拍摄装置所拍摄的图像，检测出上述电子元件围绕上下方向的轴线的角度，并控制上述转动驱动装置的动作量使上述吸嘴围绕上述轴线的角度与上述电子元件的角度相一致的转动方向定位装置。

13.根据权利要求7所述的电子元件自动移载装置，其特征在于：

上述头部单元，在上述基座的上方沿着水平的且相互正交的2个方向进行移动，

上述吸嘴移动装置，通过两个电动机使上述吸嘴沿着平行于上述头部单元的移动方向的2个方向独立地进行移动。

14.根据权利要求7所述的电子元件自动移载装置，其特征在于：

还包括，搭载有上述多个检查用插座，且装卸可能地安装在上述基座上的测试头部。

15.根据权利要求14所述的电子元件自动移载装置，其特征在于：

还包括，对装填于上述检查用插座的多个电子元件，经测试头部输入检测电流，以此检查上述电子元件的检查装置主体。

16.根据权利要求15所述的电子元件自动移载装置，其特征在于：

上述检查装置主体，支撑在上述基座上，

上述检查用插座与上述检查装置主体之间的可流过检测电流的路径的途中，设置有拆装可能的连接器，

上述检查装置主体，相对于上述检查用插座可进行电分离或者机械分离。

17.根据权利要求7所述的电子元件自动移载装置，其特征在于：

上述头部单元，使上述多个吸嘴吸附位于上述未检查电子元件用托盘中的电子元件，并装填至上述多个检查用插座，在检查之后将上述电子元件移动至上述已检查电子元件用托盘，

上述吸嘴移动装置，在上述头部单元从上述未检查电子元件用托盘移动至上述多个检查用插座的途中，使上述能够移动的吸嘴进行移动，以此将所吸附的电子元件的间隔，从由上述未检查电子元件用托盘的多个电子元件收容用凹陷部的间隔所决定的间隔，变更为上述多个检查用插座的间隔。

18.根据权利要求17所述的电子元件自动移载装置，其特征在于：

上述吸嘴移动装置，在上述头部单元从上述检查用插座移动至上述已检查电子元件用托盘的途中，使上述能够移动的吸嘴进行移动，以此将所吸附的电子元件的间隔，从由上述多个检查用插座的间隔所决定的间隔，变更为上述已检查电子元件用托盘的多个电子元件收容用凹陷部的间隔。

19.根据权利要求17所述的电子元件自动移载装置，其特征在于：

上述吸嘴移动装置，在上述头部单元从上述已检查电子元件用托盘移动至未上述检查电子元件用托盘的途中，使上述能够移动的吸嘴进行移动，以此将吸附电子元件时的电子元件的间隔，从由上述已检查电子元件用托盘的多个电子元件收容用凹陷部的间隔所决定的间隔，变更为由上述未检查电子元件用托盘的多个电子元件收容用凹陷部的间隔所决定的间隔。

20.根据权利要求17至19中任一项所述的电子元件自动移载装置，其特征在于：

上述头部单元，包括

从上方拍摄由上述多个检查用插座、上述未检查电子元件用托盘的多个电子元件收容用凹陷部、上述已检查电子元件用托盘的多个电子元件收容用凹陷部所构成的载置部中的至少一部分的载置部用拍摄装置；

根据上述载置部用拍摄装置所拍摄的图像来检测上述载置部的间隔的载置部间隔检查装置。

21.根据权利要求20所述的电子元件自动移载装置，其特征在于：

上述各吸嘴，分别围绕上下方向的轴线转动自如地支撑在上述头部单元上，

上述头部单元，具有变更上述多个吸嘴的转动方向的角度的转动驱动装置，

该电子元件自动移载装置，还包括根据上述载置部用拍摄装置所拍摄的图像，检测出上述载置部在上下方向轴线周围的角度，并控制上述转动驱动装置的动作量使上述吸嘴在上述轴线周围的角度与上述载置部的角度相一致的转动方向定位装置。

22.根据权利要求10所述的电子元件自动移载装置，其特征在于：

上述电子元件拍摄装置，设置在搭载有上述检查用插座的上述基座上。

23.根据权利要求1所述的电子元件自动移载装置，其特征在于：

还包括，

多个收容上述未检查电子元件用托盘和上述已检查电子元件用托盘的托盘收容用储料器；

与上述储料器之间进行各托盘的取放，同时使托盘在这些储料器和在水平方向上与这些储料器相距一定距离的支撑位置之间进行移动的托盘移载支撑装置；

位于上述托盘的下方并使托盘升降的升降装置；

通过上述升降装置的驱动从下方按压上述托盘的上下方向定位部件，其中，

上述电子元件移动装置，还相对于位于上述支撑位置的托盘进行电子元件取放，

上述上下方向定位部件，设置在上述托盘移载支撑装置中的与托盘一起沿水平方向移动的部位。

24.根据权利要求23所述的电子元件自动移载装置，其特征在于：

上述升降装置，通过上述上下方向定位部件所设置的部件而予以支撑。

25.根据权利要求23所述的电子元件自动移载装置，其特征在于：

上述升降装置，设置在上述基座位于上述支撑位置的部位。

26.根据权利要求1所述的电子元件自动移载装置，其特征在于：

还包括，

沿着与离开上述检查用插座的方向正交的水平方向并列设置在上述基座上的多个托盘用储料器；

与上述储料器之间进行托盘的取放，同时使托盘在与储料器并列的方向和与此方向正交的水平方向上进行移动，且平行于储料器而并列支撑多个托盘的托盘移载支撑装置，其中，

多个上述检查用插座支撑于上述基座的一侧端部，

上述电子元件移动装置，从上述托盘移载支撑装置所支撑的未检查电子元件用托盘中吸附未检查的电子元件并装填至上述检查用插座，并将经过检查的电子元件移载至上述托盘移载支撑装置所支撑的已检查电子元件用托盘，

上述托盘移载支撑装置，设置在上述检查用插座与上述储料器之间，即上述电子元件移动装置的动作可能范围内。

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