JP2003262658A - 電子部品検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 塵埃等による検査効率の低下防止とトレイの
交換等のメンテナンス容易性とを両立させ、しかも装置
の高コスト化を招きにくい電子部品検査装置を提供す
る。 【解決手段】 電子部品検査装置が、その基台の上方を
覆うカバーを有することから塵埃の侵入が起こり難くな
り、塵埃による検査効率の低下が回避される。また、こ
のカバーが電子部品を収納する容器を配置する容器配置
領域に対応する開閉部を有することから、容器配置領域
における容器の交換等のメンテナンスが容易になってい
る。さらに、基台の一端と対応する他端付近に開閉部を
有せず、開閉部が限定されることから、電子部品検査装
置の高コスト化を招き難い。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、電子部品を検査す
る電子部品検査装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体デバイス等の電子部品を検査する
電子部品検査装置が用いられている。例えば、特開平１
０−１４８５０７には、アンローダ部、ローダ部、空ト
レイ部、加熱部、２つのソート部、ＩＣソケット、デバ
イス搬送機構等から構成されるテストハンドラが開示さ
れている。アンローダ部、ローダ部、空トレイ部、ソー
ト部にはトレイが載置されとのトレイ内にデバイスが収
納されている。第１のソート部、アンローダ部、ローダ
部、空トレイ部はＸ方向に並び、これらからＹ方向に離
間してＩＣソケットが配置される。また、第２のソート
部、および加熱部が第１のソート部等からＹ方向に離間
して並んで配置される。このテストハンドラでは、ロー
ダ部上のデバイスをデバイス搬送機構により加熱部に搬
送し、さらに加熱されたデバイスをＩＣソケットに搬送
して検査を行う。検査が終了したデバイスのうち合格品
はアンローダ部に、不合格品は第１または第２のソート
部にそれぞれデバイス搬送機構により搬送される。

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、ローダ
部等からＹ方向に変位した位置にソート部やＩＣソケッ
トを配置しているため、デバイス搬送機構はデバイスを
ローダ部からＩＣソケットへ、ＩＣソケットからアンロ
ーダ部あるいはソート部それぞれに搬送する際にＸ方向
に加えてＹ方向にも大きく移動する必要がある。このた
め、装置がＹ方向に大きくなり易くなり、装置の小型化
を図りにくくなる。また、Ｘ、Ｙの２軸双方にデバイス
を搬送することから、デバイス搬送機構の大型化、さら
には搬送速度の低下による検査速度の低下を招く畏れが
ある。

【０００３】さらに、塵埃等がデバイスに付着すると、
デバイス搬送機構による吸着不良の原因となり、そのデ
バイスの検査ができなくなる可能性がある。上記の従来
例にはデバイスへの塵埃の付着を防止する手段が開示さ
れていない。加えて、従来例には、ローダ部のトレイが
空になったり、アンローダ部やソート部のトレイが検査
済みのデバイスで一杯になった場合の対応が示されてい
ない。検査済みのデバイスで一杯になったトレイはいず
れ空のトレイと交換せねばならないが、このトレイの交
換の際にもデバイスへの塵埃の付着の防止を図る必要が
ある。さらにこの両者を両立させつつ、装置の高コスト
化を招かないことが好ましい。本発明はこのような課題
を解決するためになされたもので、塵埃等による検査効
率の低下防止とトレイの交換等のメンテナンス容易性と
を両立させ、しかも装置の高コスト化を招きにくい電子
部品検査装置を提供することを目的としている。

【０００４】

【課題を解決するための手段】（１）上記目的を達成す
るために本発明に係る電子部品検査装置は、基台と前記
基台上に所定の方向に沿って配置された軌道と、前記基
台上に設定され、電子部品を収納する複数の容器を前記
所定の方向に沿って配置する容器配置領域と、前記基台
上に前記軌道の一端付近の該基台中央寄りに配置され、
電子部品を検査する検査部を配置する検査領域と、前記
軌道上に設置され、かつ電子部品を吸着する吸着ノズル
を装着する吸着ヘッドと、該吸着ノズルを上下に昇降す
るノズル昇降部と、該吸着ノズルを前記軌道に沿って移
動するノズル移動部とを有し、前記複数の容器と前記検
査部との間で電子部品の搬送を行う部品搬送部と、前記
容器配置領域に対応する開閉部を有し、前記基台の一端
と対応する他端付近に開閉部を有せず、かつ前記基台の
上方を覆うカバーと、を具備することを特徴とする。電
子部品検査装置が、その基台の上方を覆うカバーを有す
ることから塵埃の侵入が起こり難くなり、塵埃による検
査効率の低下が回避される。また、このカバーが容器配
置領域に対応する開閉部を有することから、容器配置領
域における容器の交換等のメンテナンスが容易になって
いる。さらに、基台の一端と対応する他端付近に開閉部
を有せず、開閉部が限定されることから、電子部品検査
装置の高コスト化を招き難い。以上のように、装置の高
コスト化を回避しつつ、電子部品への塵埃の付着防止と
容器配置領域に対するメンテナンス性の両立が図られ
る。

【０００５】（２）本発明に係る電子部品検査装置は、
基台と前記基台上に所定の方向に沿って配置された軌道
と、前記基台上に設定され電子部品を収納する容器を前
記所定の方向に沿って配置する容器配置領域と、前記基
台上に前記軌道の一端付近の該基台中央寄りに配置さ
れ、電子部品を検査する検査部を配置する検査領域と、
前記軌道上に設置され、かつ電子部品を吸着する吸着ノ
ズルを装着する吸着ヘッドと、該吸着ノズルを上下に昇
降するノズル昇降部と、該吸着ノズルを前記軌道に沿っ
て移動するノズル移動部とを有し、前記複数の容器と前
記検査部との間で電子部品の搬送を行う部品搬送部と、
前記基台上に設定され、前記容器を上下方向に収納可能
とする複数の容器収納部を配置する容器収納部配置領域
と、前記容器配置領域と前記容器収納部配置領域との間
で前記容器を移動可能とする搬送手段と、前記基台の上
方を覆い、前記容器収納部配置領域に対応する開閉部を
有し、前記基台の一端と対応する他端付近に開閉部を有
しないカバーと、を具備することを特徴とする。電子部
品検査装置が、その基台の上方を覆い、容器収納部配置
領域に対応する開閉部を有し、基台の一端と対応する他
端付近に開閉部を有しないカバーを備えることから、装
置の高コスト化を回避しつつ、電子部品への塵埃の付着
防止と容器収納部配置領域に対するメンテナンス性との
両立が図られる。

【０００６】

【発明の実施の形態】（第１実施形態）以下、本発明の
第１の実施の形態を図面を参照して詳細に説明する。図
１は本発明の第１の実施形態に係る電子部品検査装置１
０を表す斜視図である。また、図２〜４それぞれは電子
部品検査装置１０を図１のＺ、Ｘ、Ｙ軸方向それぞれか
ら見た状態を表す上面図、側面図、および正面図であ
る。

【０００７】電子部品検査装置１０は、電子部品Ｄの搬
送および検査を行う装置であり、図１〜４に示されるよ
うに、電子部品Ｄを搬送する電子部品搬送ユニット１０
０と電子部品Ｄを検査する電子部品検査ユニット２００
とを組み合わせて構成されている。ここで、電子部品検
査装置１０とは、後述する検査用ソケット１５２a、１
５３ｂが設置された検査板１５３が取り付けられる前の
状態の、あるいは検査板１５３が取り付けられた状態の
主に検査対象部品を搬送する電子部品搬送ユニット１０
０を言う。あるいはさらに、電子部品搬送ユニット１０
０に加え、検査用ソケット１５２a、１５３ｂ及び電子
部品搬送ユニット１００の制御部１９０とそれぞれ信号
線で連結され、電子部品の検査を実行し、検査結果デー
タを制御部１９０やその他に出力し、あるいは記憶し、
あるいはさらに表示する電子部品の検査制御に関わる装
置である電子部品検査ユニット２００を含む装置を言
う。電子部品Ｄは、ＩＣ等半導体デバイスを含む電子部
品一般である。また、後述するトレイとはそれぞれ本願
で言う容器のことを言う。

【０００８】（電子部品搬送ユニット１００の構成）電
子部品搬送ユニット１００は、主に基台１１０、２本の
Ｘ軸ロボット１２０ａ、１２０ｂ、トレイ配置領域１３
０、ストッカー配置領域１４０、検査領域１５０、部品
搬送機構１６０ａ〜１６０ｄ，Ｘ方向トレイ搬送機構１
７０ａ，１７０ｂ、Ｙ方向トレイ搬送機構１８０ａ〜１
８０ｄ、制御部１９０、カバー３００から構成される。

【０００９】基台１１０は、上面が略矩形状、底面が略
Ｌ字型状をなし、検査領域１５０の下方に略直方体状の
空間１１１を有する。この空間１１１には、電子部品搬
送ユニット１００との接続のため電子部品検査ユニット
２００が挿入される。空間１１１がＸ，Ｙ方向双方の側
面で開口していることから、電子部品検査ユニット２０
０の挿入はＸ、Ｙ方向のいずれからでも行える。

【００１０】Ｘ軸ロボット１２０ａ、１２０ｂは、部品
搬送機構１６０ａ〜１６０ｄをＸ軸方向に移動させるた
めの軌道として機能するものであり、基台１１０の上面
上にＸ方向に沿って互いに略平行に設置されている。こ
のＸ軸ロボット１２０ａ、１２０ｂそれぞれ上を部品搬
送機構１６０ａ、１６０ｂおよび部品搬送機構１６０
ｃ、１６０ｄが移動し、電子部品Ｄの搬送を行う。後述
するように２つのＸ軸ロボット１２０ａ、１２０ｂを用
いることにより、検査効率の向上が図られる。Ｘ軸ロボ
ット１２０ａ，１２０ｂは、移動可能に取り付けられる
部品搬送機構１６０ａ〜１６０ｄから見れば、軌道と見
なすことができ、一方部品搬送機構１６０ａ〜１６０ｄ
を軌道上に配置される部品搬送部と見なすことができ
る。Ｘ軸ロボット１２０ａ，１２０ｂは、固定磁石で形
成されるＸ軸レールと、このＸ軸レールに沿って移動可
能とされる移動磁石からなるリニアモータや、サーボモ
ータに連結されるネジ軸と、ネジ軸とＸ軸レールに嵌合
し、回り止めされつつＸ軸レールに沿って移動可能とさ
れる移動ナットからなる単軸ロボット等からなる。な
お、Ｘ軸レールを本願で言う軌道と見なすこともでき
る。

【００１１】（トレイ配置領域１３０の詳細）トレイ配
置領域１３０は、基台１１０上のＸ軸ロボット１２０
ａ、１２０ｂ間に設定され、トレイＴ１〜Ｔ４が配置さ
れる略矩形状の領域である。トレイ配置領域１３０のＹ
方向長さは、トレイＴ１〜Ｔ４のＹ方向の１辺の長さよ
り大きくその２倍より小さい範囲で適宜に設定すること
ができる。トレイＴ１〜Ｔ４は、電子部品Ｄを収納する
ための容器であり、その上面に電子部品Ｄそれぞれを区
分して載置するための構造（例えば、窪み、突起）が形
成されている。ここでは、一例として縦に１０個、横に
５個の電子部品Ｄを収納可能なものを示している。

【００１２】トレイＴ１、Ｔ２は、検査済みの電子部品
Ｄを収納する検査済品用トレイ（例えば、トレイＴ１は
合格品用、トレイＴ２は不合格品用）、トレイＴ３は電
子部品Ｄを収納しない空トレイ、トレイＴ４は検査前の
電子部品Ｄを収納する未検査品用トレイである。即ち、
ここではトレイ配置領域１３０は、検査済品用トレイ配
置領域、検査済品用トレイ配置領域，空トレイ配置領
域、未検査品用トレイ配置領域に区分され、トレイＴ１
〜Ｔ４はそれぞれこの区分された領域に配置されてい
る。図５にトレイ配置領域１３０とストッカー配置領域
１４０の対応関係を示す。トレイ配置領域１３０を区分
したトレイ配置領域１３０ａ〜１３０ｄが後述する検査
用ソケット１５２ａ，１５２ｂも含めて一列に配置され
ている。また、ストッカー配置領域１４０がトレイ配置
領域１３０ａ〜１３０ｄに対応してストッカー配置領域
１４０ａ〜１４０ｄに区分されている。トレイＴ１〜Ｔ
４はＸ軸ロボット１２０ａ、１２０ｂに沿って一列に配
置される。後述する空トレイ用トレイＴ３も含め、トレ
イＴを一列に並べていることから、Ｙ方向に関するスペ
ースを節約すること（電子部品検査装置１０の小型化）
が可能となる。

【００１３】後述するように、部品搬送機構１６０ａ〜
１６０ｄによってトレイＴ３から電子部品Ｄが検査領域
１５０に搬送され検査が行われる。検査された電子部品
Ｄは、部品搬送機構１６０ａ〜１６０ｄによってトレイ
Ｔ１，Ｔ２に検査の合格、不合格に応じて区分して収納
される。なお、トレイＴ４はその上の全ての電子部品Ｄ
が検査されると空トレイＴとなる。この空トレイＴはＸ
方向トレイ搬送機構１７０ａ，１７０ｂのいずれか一方
あるいは両方によって、トレイ配置領域１３０ｄからト
レイ配置領域１３０ｃに搬送されトレイＴ３となる。

【００１４】なお、後述するように、Ｘ方向にのみ移動
可能な部品搬送機構１６０ａ〜１６０ｄにより電子部品
ＤをトレイＴ４から吸着、あるいはトレイＴ１、Ｔ２へ
装着する場合には、トレイＴ中のＹ方向所望の位置で吸
着、あるいは装着できるよう、Ｙ方向トレイ搬送機構１
８０で各トレイＴ１〜Ｔ２、Ｔ４がＹ方向に移動するよ
うにする。このため、トレイ配置領域１３０は、トレイ
Ｔ自体の大きさに限定することなく、例えば、トレイＴ
のＹ方向の長さの２倍未満とされる。ここで、トレイ配
置領域１３０上において部品搬送機構１６０ａ〜１６０
ｄが電子部品Ｄを吸着、離着（＝トレイＴへの装着）す
る領域を部品吸着離着領域と言うことにすると、Ｘ方向
にのみ移動可能な部品搬送機構１６０ａ〜１６０ｄで
は、Ｘ方向には全トレイＴに渡るがＹ方向に極めて狭い
領域が部品吸着離着領域となる。一方、同様後述するよ
うに、Ｘ方向Ｙ方向の両方向に移動可能な部品搬送機構
１６０ａ〜１６０ｄにより電子部品Ｄを吸着、離着する
場合において、トレイＴをＹ方向に移動しないものにお
いては、部品吸着離着領域は、トレイＴのＹ方向の長さ
となる。さらに、電子部品Ｄの吸着あるいは離着の際
に、トレイＴがＹ方向に移動可能、且つ部品搬送機構１
６０ａ〜１６０ｄもＸ方向Ｙ方向の両方向に移動可能と
される場合では、部品吸着離着領域は、Ｙ方向にはトレ
イＴのＹ方向の長さの２倍未満、最小では極めて幅の狭
いものまで可能であり、トレイ配置領域１３０は、トレ
イＴのＹ方向の長さ以上、２倍未満が可能とされる。

【００１５】（トレイＴの配置）以下、トレイＴの配置
につき、さらに詳しく述べる。本実施形態では、検査済
み用トレイＴ１，Ｔ２、空トレイＴ３，未検査品用トレ
イＴ４の順で、トレイ配置領域１３０ａ〜１３０ｄにト
レイＴを並べているが、この順序は適宜に変更すること
ができる。トレイＴの配置の例として、図６の配置１〜
３が考えられる。このうち配置１は本実施形態で既に示
した配置である。

【００１６】図６の配置１〜３では未検査品用トレイＴ
を２つの検査済品用トレイＴよりも検査領域１５０側に
配置している。このように配置することで、未検査の電
子部品Ｄの検査済品用トレイＴへの混入防止の確実性が
向上する。未検査の電子部品Ｄを検査領域１５０に搬送
する際に検査済品用トレイＴ上を通過することがないた
め、仮に部品搬送機構１６０から未検査の電子部品Ｄが
落下しても検査済品用トレイＴに混入することがない。
また、図６の配置１のように空トレイＴを検査済品用ト
レイＴと未検査品用トレイＴの間に配置することで、空
トレイ配置領域から未検査品用トレイ配置領域および検
査済品用トレイ配置領域間双方との距離の低減が図ら
れ、空トレイの移動が速やかに行われるようになる。な
お、この移動はＸ方向トレイ搬送機構１７０によって行
われる。もし部品搬送機構１６０からの電子部品Ｄの脱
落の問題がなければ、図６に示した配置で未検査品用ト
レイＴと検査済品用トレイＴの配置を逆にしても差し支
えない。そして、このどちらでも電子部品Ｄの搬送距離
に変わりはないので、検査速度に相違が出るわけではな
い。

【００１７】２つの検査済品用トレイＴの内、合格品用
トレイＴ、不合格品用トレイＴをそれぞれどちらにする
かは、電子部品Ｄの検査の歩留まりに応じて定めると良
い。通例は歩留まりが５０％以上なので、合格品用トレ
イＴを不合格品用トレイＴより検査領域１５０に近づけ
た方が検査速度が向上する。これに対して、歩留まりが
５０％より小さければ、不合格品用トレイＴを合格品用
トレイＴより検査領域１５０に近づけた方が検査速度が
向上する。このような歩留まりに応じて、合格品用トレ
イＴと不合格品用トレイＴの必要量が異なる。通例は、
歩留まりが５０％以上なので合格品用トレイＴの個数の
方が結果的に多くなる。

【００１８】トレイＴ１〜Ｔ４は、Ｙ方向トレイ搬送機
構１８０によって、互いに独立してＹ方向に移動するこ
とができる。このようにトレイＴ１〜Ｔ４をＹ方向に移
動することで、部品搬送機構１６０をＹ方向に（ほとん
どあるいは全く）動かすことなく、トレイＴ１〜Ｔ４内
の所望の場所で電子部品Ｄを着脱することが可能とな
る。即ち、トレイＴに収納された電子部品Ｄの全ての検
査が可能であり、検査済みの電子部品ＤをトレイＴの全
ての収納場所に収納できる。トレイＴ上全体を効率よく
利用することで、電子部品Ｄの個数に対して用意するト
レイＴの個数を少なくすることができる。また、部品搬
送機構１６０による電子部品Ｄの移動とＹ方向トレイ搬
送機構１８０によるトレイＴの移動を同時に行うことが
できる。この結果、検査速度の向上がもたらされる。

【００１９】トレイＴの移動は、未検査品用トレイ上か
ら電子部品Ｄの全てが搬送されたとき、および検査済品
用トレイが検査済みの電子部品Ｄで一杯になったときに
も行われる。すなわち、空となった未検査用トレイＴ４
がトレイ配置領域１３０上の空トレイＴ３位置へ移動さ
れ、電子部品Ｄで一杯とされた検査済品用トレイがＹ方
向トレイ搬送機構１８０で後述するストッカー配置領域
１４０へ搬出された後、トレイ配置領域１３０上の空ト
レイＴ３が同領域１３０上の検査済品トレイＴ４位置へ
移動される。この移動はＸ方向トレイ搬送機構１７０に
よって行われるが、後述する吸着ヘッド１６５を用いて
行っても差し支えない。このようにすると、吸着ヘッド
１６５が電子部品Ｄの搬送とトレイＴの搬送の双方を行
うこととなり、装置の製作コストを低減できる（Ｘ方向
トレイ搬送機構１７０を省略が可能）。

【００２０】（ストッカー配置領域１４０の詳細）スト
ッカー配置領域１４０は、基台１１０の上面上において
Ｘ軸ロボット１２０ｂに沿って設定され、トレイＴを重
ねた状態で収納するストッカー１４１ａ〜１４１ｄを配
置する略矩形の領域である。具体的には、基台１１０の
ストッカー配置領域１４０上に形成された開口部それぞ
れにストッカー１４１ａ〜１４１ｄが着脱自在に設置さ
れる。ここで、図７，８は、ストッカー１４１を拡大し
て表す側面図および正面図である。ストッカー１４１の
うち、ストッカー１４１ａ、１４１ｂはそれぞれトレイ
Ｔ１、Ｔ２を収納する検査済品用ストッカー（例えば、
それぞれ合格品用、不合格品用）、ストッカー１４１ｃ
はトレイＴ３を収納する空トレイ収納用ストッカー、ス
トッカー１４１ｄはストッカーＴ４を収納する未検査品
用ストッカーである。

【００２１】既述のように、ストッカー配置領域１４０
は、検査済品用トレイ用ストッカー配置領域１４０ａ、
１４０ｂ、空トレイ用ストッカー配置領域１４０ｃ、未
検査品用トレイ用ストッカー配置領域１４０ｄに区分さ
れ、ストッカー１４１ａ〜１４１ｄはそれぞれこの区分
された領域に配置されている。そして、この区分された
領域は、トレイ配置領域１３０ａ〜１３０ｄと対応して
いる。このようにストッカー１４１それぞれがトレイ配
置領域１３０の区分された領域と対応するように所定の
トレイＴを収納することで、トレイ配置領域１３０間と
のトレイＴの搬送を効率よく行うことができる。

【００２２】ストッカー１４１ａ〜１４１ｄ（ストッカ
ー１４１）は収納するトレイＴの役割が異なるが、構成
は同一である。即ち、ストッカー１４１はいずれも、４
つの支柱１４３，底部１４４，４つのトレイ分離フック
１４５，トレイ昇降機構１４６から構成され、その内部
にＹ方向トレイ搬送機構１８０が進入するトレイ搬送機
構進入領域１４７が形成されている。このうち、支柱１
４３、トレイ分離フック１４５、トレイ搬送機構進入領
域１４７は基台１１０の上面より上方に、底部１４４，
およびトレイ昇降機構１４６は基台１１０の上面より下
方に設置される。

【００２３】支柱１４３は、基台１１０に接続された部
材に接続され、断面が略Ｌ字状の柱であり、トレイＴの
４隅に対応してＸ−Ｙの２軸方向においてトレイＴの移
動を防止する。底部１４４は、支柱１４３に接続され、
略矩形の底板および４つの側板より構成される。なお、
この側板を除外し、底部１４４たる底板に支柱１４３が
直接接続されても差し支えない。なお、ストッカー１４
１は、前方（図３の右手）壁が開閉可能な扉とされ、ス
トッカー１４１へのトレイＴの挿入、搬出の作業性の向
上が図られている。天井部１４２は、ストッカー１４１
の天井として脱着不能とされるが、ストッカー１４１へ
のトレイＴの挿入、搬出の作業をストッカー１４１の上
方から実施する場合には脱着可能とされる。

【００２４】トレイ分離フック１４５は４つの支柱１４
３が接続されている部材に設置され、ストッカー１４１
内の最下段のトレイＴの互いに対向する側面に対応して
配置される。具体的には、トレイＴの対向する側面に凹
部が形成されており、トレイ分離フック１４５がトレイ
Ｔの凹部内に挿入されることで、最下段のトレイＴが下
方に（Ｚ負方向に）落下することを防止する。トレイ分
離フック１４５には図示しない駆動機構が接続され、ト
レイＴの側面凹部へのトレイ分離フック１４５の挿入、
取り出しを行う。この挿入、取り出しによってトレイＴ
のＺ方向の固定およびその解除が行われる。

【００２５】トレイ昇降機構１４６は、トレイＴを載置
する平板（トレイ載置板）を上下に昇降することで、ト
レイＴをストッカー１４１内上下に昇降する機構であ
る。トレイ昇降機構１４６は、トレイＴが載置されてい
ないＹ方向トレイ搬送機構１８０がトレイ搬送機構進入
領域１４７内に位置する状態で、トレイ載置板の上昇及
び下降が可能である。さらに、Ｙ方向トレイ搬送機構１
８０のトレイ側を切欠き、コの字状の形状にすること
で、トレイ昇降機構１４６がトレイ載置板を上昇させて
いる状態で、トレイＴが載置されていないＹ方向トレイ
搬送機構１８０をトレイ搬送機構進入領域１４７内に移
動可能とすることができ、トレイ昇降機構１４６のトレ
イ載置板を先行して上昇させることで、ストッカー１４
１内からのトレイＴの搬出時間を短くできる。トレイ搬
送機構進入領域１４７は、基台１１０の上面の上、かつ
トレイ分離フック１４５より下方に設定された略直方体
状の空間であり、Ｙ方向トレイ搬送機構１８０がＹ正方
向から出入りする。

【００２６】ストッカー１４１内からトレイ配置領域１
３０へのトレイＴの移動は、以下の手順によって行われ
る。ここで、図９はストッカー１４１内におけるトレイ
Ｔの移動状態を表す模式図である。 （１）トレイ昇降機構１４６がトレイ載置板を上昇さ
せ、これをストッカー１４１内の最下段のトレイＴ底面
に押しつけた状態でトレイ分離フック１４５を解除する
（トレイ分離フック１４５をトレイＴ側面の凹部内から
取り出す）（図９（Ａ）参照）。 （２）トレイ昇降機構１４６を動作させトレイＴをトレ
イＴ一枚分下降し（トレイ載置板を降下する）、トレイ
分離フック１４５に対応するトレイを最下段から２つ目
のトレイにする。 （３）トレイ分離フック１４５を動作し、最下段から２
つ目のトレイＴを固定する（トレイ分離フック１４５を
最下段から２つ目のトレイＴの側面の凹部に挿入する）
（図９（Ｂ）参照）。

【００２７】（４）トレイ昇降機構１４６を動作させ、
最下段のトレイＴを降下する。このとき、最下段から２
番目のトレイＴはトレイ分離フック１４５によって固定
されている。 （５）トレイ昇降機構１４６の動作を継続させ、最下段
のトレイＴをトレイ搬入機構進入領域１４７まで降下す
る。このときまでに、トレイ搬入機構進入領域１４７内
にＹ方向トレイ搬送機構１８０を進入しているようにす
る。この結果、トレイ昇降機構１４６上のトレイＴはト
レイ搬入機構進入領域１４７内のＹ方向トレイ搬送機構
１８０上に降下、載置される（図９（Ｃ）参照）。Ｙ方
向トレイ搬送機構１８０上に載置されたトレイＴは、ト
レイ昇降機構１４６をさらに降下してもそのまま載置し
た状態を保持する。このようにして、トレイ昇降機構１
４６上に載置されたトレイＴはＹ方向トレイ搬送機構１
８０に引き渡される。 （６）Ｙ方向トレイ搬送機構１８０上に載置されたトレ
イＴは、Ｙ方向トレイ搬送機構１８０がトレイ搬送機構
進入領域１４７から退出することで、ストッカー１４１
内から搬出され、トレイ配置領域１３０に配置される。

【００２８】トレイ配置領域１３０からストッカー１４
１へのトレイＴの移動、載置は、以下の手順によって行
われる。 （１）トレイＴはＹ方向トレイ搬送機構１８０上に載置
されている。Ｙ方向トレイ搬送機構１８０がトレイ配置
領域１３０からトレイ搬送機構進入領域１４７内に進入
することで、ストッカー１４１内にトレイＴが搬入され
る（図９（Ｃ）参照）。 （２）トレイ昇降機構１４６がトレイ載置板を上昇す
る。この結果、Ｙ方向トレイ搬送機構１８０上に載置さ
れたトレイＴがトレイ昇降機構１４６に引き渡される。
トレイ昇降機構１４６のトレイ載置板をさらに上昇さ
せ、これに載置されたストッカーＴをストッカー１４１
内の最下段のトレイＴ底面に接触させる（図９（Ｂ）参
照）。

【００２９】（３）トレイ昇降機構１４６によってトレ
イＴを接触させた状態でトレイ分離フック１４５を解除
する（トレイ分離フック１４５をトレイＴ側面の凹部内
から取り出す）。 （４）トレイ昇降機構１４６を動作させトレイＴをトレ
イＴ一枚分上昇し、トレイ昇降機構１４６上に載置され
たトレイＴをトレイ分離フック１４５に対応させる（図
９（Ａ）参照）。 （５）トレイ分離フック１４５を動作し、トレイ昇降機
構１４６上に載置されたトレイＴを固定する。かくし
て、トレイ配置領域１３０上のトレイＴがストッカー１
４１内の最下段に収納、固定される。

【００３０】（６）トレイ昇降機構１４６のトレイ載置
板を降下する。ストッカー１４１の最下段のトレイＴ
は、トレイ分離フック１４５によって固定されているの
で、トレイ載置板が降下してもそのまま保持される。ト
レイ昇降機構１４６のトレイ載置板はトレイ搬入機構進
入領域１４７より下方まで降下する。以上のようにし
て、トレイ配置領域１３０上のトレイＴがストッカー１
４１内の最下段に収納、固定される。

【００３１】ストッカー１４１ａ〜１４１ｄは、Ｘ方向
に一列に配置され、かつその内部のトレイ搬入機構進入
領域１４７の上方にトレイＴを多段に積み重ねて収納し
ている。この結果、トレイＴの交換作業性が良好となっ
ている。即ち、トレイ搬入機構進入領域１４７の上方に
トレイＴを多段に積み重ねていることから、ストッカー
１４１の最下段のトレイＴをトレイ搬入機構進入領域１
４７へ搬入搬出することが容易に行える。また、トレイ
搬入機構進入領域１４７とトレイ配置領域１３０間の距
離がいずれのストッカーＴでも同一なので、その間での
トレイＴの搬送時間が揃っており、検査速度の向上に寄
与する。

【００３２】（検査領域１５０の詳細）検査領域１５０
は、基台１１０の上面上Ｘ軸ロボット１２０ａ、１２０
ｂ間かつトレイ配置領域１３０のＸ方向延長上に設定さ
れた略矩形状の領域であり、その下方に電子部品検査ユ
ニット２００が配置される。ここで、図１０、１１はそ
れぞれ検査領域１５０を拡大して表す上面図、および断
面図である。検査領域１５０には、２つの部品位置確認
カメラ１５１ａ，１５１ｂおよび検査部となる２つの検
査用ソケット１５２ａ，１５２ｂが配置される。部品位
置確認カメラ１５１ａ、１５１ｂは基台１１０上に設置
され、検査用ソケット１５２ａ，１５２ｂは検査板１５
３上に設置され、検査板１５３を介して基台１１０に着
脱される。

【００３３】部品位置確認カメラ１５１ａ，１５１ｂ
は、部品搬送機構１６０で搬送される電子部品Ｄの位置
を確認するための撮像カメラであり、ラインセンサ、Ｃ
ＣＤカメラ、ビジュンカメラ等から構成される。電子部
品Ｄの平面的（場合により一軸方向上の）の画像情報を
入手可能であれば特に構成は限定されない。部品位置確
認カメラ１５１ａ，１５１ｂは検査領域１５０上にＹ方
向に沿って、かつＹ方向中心に対称に並んで配置され、
それぞれその上方を通過する電子部品Ｄの画像を撮影す
る。撮影された画像を画像処理することで、部品搬送機
構１６０に対する電子部品Ｄの位置が検出される。この
結果、部品搬送機構１６０で電子部品Ｄを吸着したとき
の電子部品Ｄの位置ズレ（Ｘ，Ｙ，Ｒ方向）を検知し、
検査用ソケット１５２への電子部品Ｄの接続の際に電子
部品Ｄの位置を補正して接続の確実性を向上できる。即
ち、電子部品Ｄの電極と検査用ソケット１５２の電極と
をより確実に接触、連結することが可能となる。

【００３４】部品位置確認カメラ１５１ａ，１５１ｂ
は、電子部品Ｄの外観の検査に用いることも可能であ
る。この検査は、電子部品Ｄの位置の確認と同様、部品
位置確認カメラ１５１ａ，１５１ｂ上を電子部品Ｄを吸
着した部品搬送機構１６０が通過する際に行える。この
ようにして、電子部品検査装置１０は電子部品Ｄの電気
的検査に加えて、容易に外観検査を行える。さらには、
電子部品Ｄが表面にコードを表示するものにおいては、
コードを部品位置確認カメラ１５１ａ、１５１ｂで読み
取ることで電子部品Ｄそのものから種別を判断すること
もできる（多機能検査）。

【００３５】検査用ソケット１５２ａ，１５２ｂは電子
部品Ｄおよび電子部品検査ユニット２００双方との電気
的な接続により、電子部品検査ユニット２００による電
子部品Ｄの電気的な検査を可能とする電気的な接続部材
である。検査用ソケット１５２ａ，１５２ｂは、検査領
域１５０上のＹ方向中心にＸ方向に並んで設置されてい
る。検査板１５３は検査用ソケット１５２ａ，１５２ｂ
が接続された略平板であり、基台１１０に対して脱着可
能とされる。

【００３６】ここで、検査領域１５０における部品位置
確認カメラ１５１と検査用ソケット１５２との配置の詳
細について説明する。本実施形態では部品位置確認カメ
ラ１５１および検査用ソケット１５２はいずれも２つで
あり、検査用ソケット１５２がＸ方向に並んでいるが、
これらの個数、配置を変えることも可能である。図１
２，１３は部品位置確認カメラ１５１と検査用ソケット
１５２の配置例を模式的に表す上面図である。図１２は
部品位置確認カメラ１５１が２つ、図１３は部品位置確
認カメラ１５１が１つの場合を表す。図１２，１３の
（Ａ）〜（Ｃ）に表すように部品位置確認カメラ１５１
が１つまたは２つ、検査用ソケット１５２が２つまたは
４つの組み合わせがあり得る。この内、図１２（Ａ）が
図１０で示した本実施形態における配置に対応する。検
査用ソケット１５２の個数が多いと多くの電子部品Ｄの
同時並行的な検査が行いやすくなる。また、部品位置確
認カメラ１５１を複数備えると、複数の電子部品Ｄの位
置を同時に確認することが可能となる。これらの個数お
よび配置は部品搬送機構１６０の個数や配置等に応じて
適宜に選択することが好ましい。本実施形態では、検査
用ソケット１５２をトレイＴの略中央をＸ方向に延長し
た方向に配置することで、部品搬送機構１６０のＹ方向
の移動量の低減を可能としている。

【００３７】基台１１０に対する検査板１５３の取り付
け方向は一定としたまま、図１２、１３の（Ａ）、
（Ｂ）の２種の検査板１５３の取り付け種別を、後述す
る検査位置確認カメラ１５４で認識するか、不図示の入
力装置で制御装置１９０に入力するようにする。なお、
図１２、１３の（Ａ）、（Ｂ）に示すように、検査板１
５３の取り付ける方向を変えることで、検査用ソケット
１５２の列の並ぶ方向がＸ方向からＹ方向へと変化する
ようにしても良い。検査用ソケット１５２ａ，１５２ｂ
の取付方向は、取付方向検知手段となる検査位置確認カ
メラ１５４によって検知するか、データ入力する。図１
０，１１に示すように、検査板１５３に開口部１５５が
形成され、基台１１０にこの開口部１５５と対応する開
口検知部１５６が設けられている。この開口検知部１５
６は例えば光センサ、リミットスイッチから構成され、
開口部１５５が対応する位置に配置されているか否かを
検知する。

【００３８】既に述べたように、検査板１５３は、その
開口部１５５が開口検知部１５６上に配置される方向
と、その開口部１５５が開口検知部１５６上に配置され
ない方向の２方向に接続できる。開口検知部１５６を光
センサで構成し開口検知部１５６に対応した発光部１５
８を用いることで検査板１５３と基台１１０の対応関係
を検知できる。即ち、発光部１５８から開口検知部１５
６に向かう光が検査板１５３によって遮られるか否か
で、開口部１５５と開口検知部１５６との対応関係を検
知できる。なお、この光源１５８は開口検知部１５６の
上方に適宜設置することができる。また、検査板１５３
の上面の開口部１５５に設置することも可能である。

【００３９】また、開口検知部１５６をリミットスイッ
チで構成し、このリミットスイッチのオン、オフにより
開口部１５５を検知することもできる。リミットスイッ
チ上に開口部１５５が位置すればリミットスイッチがオ
フ状態となり、リミットスイッチ上に開口部１５５がな
けば検査板１５３によってリミットスイッチが押されて
オン状態となる。なお、このときには開口部１５５は検
査板１５３を貫通した孔で構成する必要はなく、リミッ
トスイッチの先端が挿入できる凹部とすれば足りる。

【００４０】（部品搬送機構１６０の詳細）部品搬送機
構（搬送アーム）１６０ａ〜１６０ｄは、電子部品Ｄを
吸着、搬送する。ここで、部品搬送機構１６０ａ、１６
０ｂはＸ軸ロボット１２０ａに、部品搬送機構１６０
ｃ、１６０ｄはＸ軸ロボット１２０ｂ上に設置されてい
る。部品搬送機構１６０ａ、１６０ｂと部品搬送機構１
６０ｃ、１６０ｄとが、異なるＸ軸ロボット１２０ａ，
１２０ｂ上に設置されていることから、Ｘ方向に互いに
独立して電子部品Ｄを搬送することができる。この結
果、電子部品Ｄの検査効率が向上する。

【００４１】図１４，１５はそれぞれ部品搬送機構１６
０を拡大して表した上面図および側面図である。図１
４，１５に示すように部品搬送機構１６０ａ〜１６０ｄ
はそれぞれ、Ｘ方向駆動部１６１、Ｙ方向駆動部１６
２、Ｚ方向駆動部１６３、Ｒ方向駆動部１６４、吸着ヘ
ッド１６５、吸着ノズル１６６から構成される。部品搬
送機構１６０ａ、１６０ｃには、Ｘ方向トレイ搬送機構
１７０が、部品搬送機構１６０ｂの吸着ヘッド１６５ｂ
には検査位置確認カメラ１５４が接続されている。

【００４２】Ｘ方向駆動部１６１は、Ｘ軸ロボット１２
０上をＸ方向に移動することで、吸着ヘッド１６５のＸ
方向の移動を可能とする。Ｙ方向駆動部１６２は、Ｘ方
向駆動部１６１に接続され、Ｙ方向駆動基体１６２１、
Ｙ方向駆動体１６２２から構成される。Ｙ方向駆動基体
１６２１に対してＹ方向駆動体１６２２をＹ方向に伸縮
することで、吸着ヘッド１６５のＹ方向の移動を可能と
する。また、部品搬送機構１６０ａ、１６０ｂと部品搬
送機構１６０ｃ、１６０ｄがＸ方向において近接する場
合に、Ｙ方向駆動部１６２により吸着ヘッド１６５をＹ
方向に移動し、互いの干渉（接触）を防止できる。Ｚ方
向駆動部１６３は、Ｙ方向駆動体１６２２の端部に接続
され、Ｚ方向駆動基体１６３１、Ｚ方向駆動体１６３２
から構成される。Ｚ方向駆動基体１６３１に対してＺ方
向駆動体１６３２をＺ方向に上下動することで、吸着ヘ
ッド１６５のＺ方向の移動を可能とする。なお、Ｚ方向
への上下動はＹ方向駆動部１６２のようにボールネジ、
ボールナット機構、あるいは油圧シリンダ機構、リニア
モータ機構等の駆動体によっても行える。この逆にＹ方
向駆動部１６２において、Ｚ方向駆動部１６３のよう
に、部材同士のズレ運動に基づいて吸着ヘッド１６５を
Ｙ方向に移動させることも可能である。

【００４３】Ｒ方向駆動部１６４は、Ｚ方向駆動体１６
３２の上端に接続され、Ｚ軸を回転軸とする吸着ヘッド
１６５の回転（Ｒ方向回転：Ｘ−Ｙ平面内での左右回
転）を行う。吸着ヘッド１６５は、ヘッド本体１６５
１、吸着ノズル支持部材１６５２から構成される。ヘッ
ド本体１６５１は、Ｚ方向駆動体１６３２の下端に接続
され、Ｘ方向駆動部１６１、Ｙ方向駆動部１６２、Ｚ方
向駆動部１６３によって、Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ方向への移動
のそれぞれを独立に行うことができる。吸着ノズル支持
部材１６５２は、ヘッド本体１６５１の下端に接続さ
れ、吸着ノズル１６６を支持する。吸着ノズル支持部材
１６５２は、Ｒ方向駆動部１６４によってヘッド本体１
６５１に対して回転する。なお、これらの移動に際して
はＸ方向駆動部１６１、Ｙ方向駆動部１６２、Ｚ方向駆
動部１６３、Ｒ方向駆動部１６４の移動量をエンコーダ
等で検知し、制御部１９０にフィードバックすること
で、より適切な制御が可能になる。

【００４４】吸着ノズル１６６は、吸着ヘッド１６５に
着脱自在に接続され、図示しない吸引機構により先端に
負圧あるいは正圧の空気圧を作用させ、電子部品Ｄの吸
着、離着（装着）、あるいは装着保持を行う。吸着ヘッ
ド１６５は電子部品Ｄの形状に応じて、交換して使用す
ることもできる。吸着ノズル１６６は、Ｒ方向駆動部１
６４によりＲ方向に回転される。また吸着ノズル１６６
は、吸着ヘッド１６５に接続されていることから、Ｘ方
向駆動部１６１、Ｙ方向駆動部１６２、Ｚ方向駆動部１
６３によりＸ，Ｙ，Ｚ方向に移動される。なお、以下に
おいて、表現の都合上、これらの移動、回転を吸着ヘッ
ド１６５の移動と称する場合がある（ヘッド本体１６５
１はＲ方向駆動部１６４による回転運動を行うわけでは
ないが）。Ｚ方向駆動部１６３が吸着ノズル１６６を上
下に昇降させるノズル昇降部となり、Ｘ方向駆動部１６
１が吸着ノズル１６６をＸ軸ロボット１２０の不図示の
Ｘ軸レール即ち軌道に沿って移動させるノズル移動部と
なり、部品搬送機構１６０ａ〜１６０ｄが部品搬送部と
なる。

【００４５】検査位置確認カメラ１５４は、吸着ヘッド
１６５ｂの側面に設置され、検査用ソケット１５２、ト
レイＴ、および検査板１５３上に識別用コードがある場
合にはこの識別用コードの画像を上方から撮影できる。
検査位置確認カメラ１５４は、ラインセンサ、ＣＣＤカ
メラ、ビジュンカメラ等から構成され、電子部品Ｄの平
面的（場合により一軸方向）の画像情報を入手可能であ
れば特に構成は限定されない。撮影された画像を画像処
理することで、検査用ソケット１５２やトレイＴの位
置、および識別用コードが検出される。なお、検査位置
確認カメラ１５４を部品搬送機構１６０ａ〜１６０ｄの
それぞれに配置する場合には、検査位置確認カメラ１５
４でトレイＴ上の未検査の電子部品Ｄの位置を確認し、
確認された位置に対応して吸着ノズル１６６の位置を補
正できる。即ち、電子部品Ｄを吸着したときの吸着ノズ
ル１６６に対する電子部品Ｄの位置ズレ（Ｘ，Ｙ，Ｒ方
向）を低減できる。この結果、吸着ノズル１６６への電
子部品Ｄの吸着不良を防止し、検査効率の向上を図れ
る。また、検査用ソケット１５２の位置を確認し、電子
部品Ｄを検査用ソケット１５２に接続（装着）する際に
電子部品Ｄの位置を補正できる。この結果、検査用ソケ
ット１５２への電子部品Ｄの装着不良を防止して、検査
の確実性を向上することができる。

【００４６】（Ｘ方向トレイ搬送機構１７０の詳細）図
１４、１５に示されるように、Ｘ方向トレイ搬送機構１
７０（１７０ａ，１７０ｂ）は、Ｚ方向トレイ駆動部１
７１、トレイ吸着部１７２から構成される。Ｚ方向トレ
イ駆動部１７１は、Ｙ方向駆動基体１６２１に接続され
Ｘ方向駆動部１６１によりＸ方向に移動可能であると共
に、トレイ吸着部１７２を上下に昇降する。トレイ吸着
部１７２は、Ｘ方向駆動部１６１およびＺ方向トレイ駆
動部１７１により、ＸおよびＺ方向に移動可能な平板形
状であり、その下面に図示しない吸着孔が１個あるいは
複数形成されている。トレイ吸着部１７２には図示しな
い吸着機構に接続され、吸着孔からのエアの吸引およぶ
吸引の停止を行うことで、トレイＴの吸着、離着を行う
ことができる。なお、トレイ吸着部１７２によるトレイ
Ｔの吸着、離着は吸着ノズル１６６による電子部品Ｄの
吸着、離着と互いに独立して行うことができる。

【００４７】Ｘ方向トレイ搬送機構１７０により、トレ
イ配置領域１３０上のトレイＴを搬送することができ
る。この搬送は以下のように行われる。 （１）Ｘ方向駆動部１６１によって、トレイ吸着部１７
２をＸ方向に移動し、搬送したいトレイＴの上方に搬送
する。 （２）Ｚ方向トレイ駆動部１７１により、トレイ吸着部
１７２を降下させ、その下面を搬送したいトレイＴの上
面に接触または近接させる。 （３）トレイ吸着部１７２を動作させ、トレイ吸着部１
７２にトレイＴを吸着する。 （４）Ｚ方向トレイ駆動部１７１により、トレイ吸着部
１７２を上昇する。トレイ吸着部１７２に吸着したトレ
イＴは、トレイ吸着部１７２と共に上昇する。

【００４８】（５）Ｘ方向駆動部１６１によって、トレ
イＴを吸着したトレイ吸着部１７２をＸ方向の搬送目標
位置上に移動する。 （６）Ｚ方向トレイ駆動部１７１によって、トレイＴを
吸着したトレイ吸着部１７２を降下し、トレイＴの下面
をトレイ配置領域１３０に接触または近接させる。 （７）トレイ吸着部１７２によるトレイＴの吸着を解除
（離着）し、Ｚ方向トレイ駆動部１７１によってトレイ
吸着部１７２を上昇する。この結果、トレイ吸着部１７
２から離着したトレイＴは搬送された場所にそのまま配
置された状態となる。

【００４９】以上のトレイＴのＸ方向搬送は、例えば未
検査品用トレイＴ４から電子部品Ｄが搬出され空トレイ
Ｔとなったときにこの空トレイＴをトレイＴ３の位置
（トレイ配置領域１３０ｃ）に搬送する場合に用いられ
る。また検査済品用トレイＴ１，Ｔ２上が検査済みの電
子部品Ｄで一杯になったときに、このトレイＴ１，Ｔ２
に代えて、空トレイを新たな検査済品用トレイとしてト
レイＴ１，Ｔ２の位置（トレイ配置領域１３０ａ，１３
０ｂ）に搬送するために用いられる。なお、検査済みの
電子部品Ｄで一杯になった検査済品用トレイＴはＹ方向
トレイ搬送機構１８０によってストッカー１４１内に搬
送される。

【００５０】（Ｙ方向トレイ搬送機構１８０の詳細）Ｙ
方向トレイ搬送機構１８０ａ〜１８０ｄはそれぞれ、ト
レイＴ１〜Ｔ４とストッカー１４１ａ〜１４１ｄ間でト
レイＴをＹ方向に搬送するための機構であり、図７，８
に示すようにシャフト１８１，移動部１８２，トレイ載
置部１８３，一対のトレイ固定部１８４から構成され
る。

【００５１】シャフト１８１は、略円柱状の棒にネジ溝
が形成されたボールネジであり、トレイ配置領域１３０
からストッカー配置領域１４０（具体的には、ストッカ
ー１４１内のトレイ搬送機構進入領域１４７）を結ぶ方
向に沿って配置されている。シャフト１８１は図示しな
いサーボモータからなる回転機構に接続され、この回転
機構を作動することでシャフト１８１がその軸を中心と
して回転する。なお、この回転に際しては回転機構の動
作量をエンコーダ等で検知し、制御部１９０にフィード
バックすることで、的確な制御が容易に行える。移動部
１８２は略平板状であり、ボールナット部を有する。こ
のボールナット部はシャフト１８１によって貫通されて
いる。シャフト１８１が回転することで、シャフト１８
１と移動部１８２とのボールネジとボールナットの噛み
合わせにより、シャフト１８１の軸に沿って移動部１８
２が前後に移動する。

【００５２】トレイ載置部１８３は、略矩形状の平板か
らなりトレイＴを載置する。トレイ載置部１８３は、そ
の一端近傍の下面において移動部１８２の一辺と接続さ
れ、移動部１８２と共にシャフト１８１の軸に沿って移
動する。トレイ載置部１８３の上面側の４辺にそれぞれ
配置される、略矩形断面形状の棒状部材からなる。４辺
のトレイ固定部１８４の内、Ｘ方向の２辺の内少なくと
も一方が図示しない移動装置によりＸ方向に移動可能と
される。その結果、トレイ固定部１８４のＸ方向の間隔
を適宜に制御することができ、トレイ載置部１８３上の
トレイＴをその両側面で押圧、固定することができる。
なおさらに、４辺のトレイ固定部１８４の内、Ｙ方向の
２辺の内少なくとも一方が図示しない移動装置によりＹ
方向に移動可能とし、Ｙ方向の大きさの異なるトレイＴ
を搬送可能としても良い。

【００５３】Ｙ方向トレイ搬送機構１８０は、トレイＴ
をストッカー１４１からトレイ配置領域１３０あるいは
その逆に移動する場合に用いることができる。これに加
えて、Ｙ方向トレイ搬送機構１８０は、トレイ配置領域
１３０内でトレイＴを移動することで、吸着ヘッド１６
５のＹ方向の移動量を低減することができる。このとき
の移動は、それぞれのトレイＴを独立に、あるいは一体
として行うことができる。

【００５４】（制御部の詳細）制御部１９０は、基台１
１０内に設けられ、ＣＰＵ１８１，ＲＯＭ１８２，ＲＡ
Ｍ１８３，通信コントローラ１９４，Ｉ／Ｏコントロー
ラ１９５，モーションコントローラ１９６，画像コント
ローラ１９７から構成され、電子部品搬送ユニット１０
０の駆動を制御すると共に、電子部品検査ユニット２０
０の不図示の制御部との通信を行う。

【００５５】ＣＰＵ１９１は、ＲＯＭ１９２，ＲＡＭ１
９３に記憶されたソフトウェアに基づき、通信コントロ
ーラ１９４，Ｉ／Ｏコントローラ１９５，モーションコ
ントローラ１９６，画像コントローラ１９７を通じて電
子部品搬送ユニット１００の駆動制御、電子部品検査ユ
ニット２００との通信を行う。このソフトウェアは、検
査の対象となる電子部品Ｄと検査用ソケット１５２の組
み合わせおよび電子部品検査ユニット２００からの信号
に応じて、電子部品ＤおよびトレイＴの搬送を実施し、
電子部品検査ユニット２００は、電子部品Ｄに対応する
検査内容のソフトウェアに基づき検査を実施する。

【００５６】ＲＯＭ１９２、ＲＡＭ１９３はそれぞれ、
固定的、一時的な情報の記憶を行う記憶手段であり、例
えば電子部品搬送ユニット１００の動作手順、内容を表
すソフトウェア、電子部品搬送ユニット１００の状況を
表す情報等が記憶される。この情報には、吸着ヘッド１
６５がトレイＴ上の電子部品Ｄを吸着した際の部品吸着
情報、検査用ソケット１５２に電子部品Ｄを装着した際
の部品装着情報等が含められる。吸着ヘッド１６５によ
る電子部品Ｄの吸着、離着に際してこれらの情報を参照
することで、より確実な誤動作の排除が可能となる。

【００５７】記憶手段（ＲＯＭ１９２、ＲＡＭ１９３）
は、Ｉ／Ｏコントローラ１９５が開口検知部１５６から
受け取った検査用ソケット１５２の取付方向の情報、お
よびこの取付方向に対応して吸着ヘッド１６５を回転ま
たは移動するためのソフトウェアを記憶する。即ち、検
査用ソケット１５２に対応するように吸着ヘッド１６５
を回転または移動し、検査用ソケット１５２に対する電
子部品Ｄの装着を確実に行う。なお、吸着ヘッド１６５
の回転は吸着ヘッド１６５の移動中に行うのが検査の効
率上好ましい（検査速度の低下防止）。

【００５８】通信コントローラ１９４は、電子部品検査
ユニット２００との間で、例えば検査用ソケット１５２
に電子部品Ｄが正しく載置されているか否かの情報、あ
るいはさらに電子部品Ｄの種別情報を電子部品検査ユニ
ット２００へ出力し、電子部品検査ユニット２００によ
る電子部品Ｄの検査結果を表す検査結果情報を電子部品
検査ユニット２００から入力し、また電子部品搬送ユニ
ット１００の状態を表す装置状態情報等の入出力を行
う。このようにして、電子部品Ｄの搬送、検査に際して
電子部品搬送ユニット１００と電子部品検査ユニット２
００間での情報のやり取りが行われる。通信コントロー
ラ１９４（電子部品搬送ユニット１００）と電子部品検
査ユニット２００間での通信は有線、無線等種々の方法
で行うことができる。例えば作業者が信号カプラーを接
続することで、電子部品搬送ユニット１００と電子部品
検査ユニット２００との通信が可能となる。また、電子
部品検査ユニット２００を電子部品搬送ユニット１００
下部の空間１１１に挿入するときに、電子部品検査ユニ
ット２００と電子部品搬送ユニット１００双方の信号カ
プラーが自動的に接続されるようにしても差し支えな
い。

【００５９】Ｉ／Ｏコントローラ１９５とモーションコ
ントローラ１９６はそれぞれ、部品搬送機構１６０、Ｘ
方向トレイ搬送機構１７０、Ｙ方向トレイ搬送機構１８
０、ストッカー１４１の駆動を行う図示しない駆動ユニ
ットに接続される。なお、この駆動ユニットはＸ方向駆
動部１６１、Ｙ方向駆動部１６２、Ｚ方向駆動部１６
３、Ｒ方向駆動部１６４等に接続される。

【００６０】Ｉ／Ｏコントローラ１９５は、部品搬送機
構１６０等からその状態を表す状態情報を入力し、モー
ションコントローラ１９６は部品搬送機構１６０等に動
作内容を指示する動作指令を出力する。この結果、部品
搬送機構１６０による電子部品Ｄの吸着、離着、搬送、
Ｘ方向トレイ搬送機構１７０によるトレイＴの吸着、離
着、搬送、Ｙ方向トレイ搬送機構１８０によるトレイＴ
の固定、固定解除、搬送、ストッカー１４１からのトレ
イＴの搬入、搬出の制御等が行われる。また、Ｉ／Ｏコ
ントローラ１９５は、検査用ソケット１５２の取付方向
の情報を開口検知部１５６から受け取る。この情報は吸
着ヘッド１６５を検査用ソケット１５２に対応するよう
に回転または移動し、検査用ソケット１５２に対する電
子部品Ｄの装着を確実に行うために用いられる。

【００６１】画像コントローラ１９７は、部品位置確認
カメラ１５１ａ，１５１ｂ、検査位置確認カメラ１５４
に接続され、これらへの撮像を指示する撮像指令の出
力、これらからの撮像結果（画像情報）の入力等を行
う。撮像された画像情報は、ＣＰＵ１９１によって画像
処理が行われ、吸着ヘッド１６５の位置、吸着ヘッド１
６５に対する電子部品Ｄの位置、検査用ソケット１５２
やトレイＴの位置、および検査用ソケット１５２やトレ
イＴに対する電子部品Ｄの位置等が検出される。なお、
電子回路検査用の信号の入出力を制御する電子部品検査
ユニット２００側の不図示の制御部と、主に電子部品搬
送ユニット１００側を制御する制御部１９０を一体化
し、電子部品検査ユニット２００側に配置しても良い。
あるいは電子部品搬送ユニット１００側に配置しても良
い。

【００６２】（電子部品検査ユニット２００の詳細）電
子部品検査ユニット２００は検査用ソケット１５２に電
気的に接続され、電子部品Ｄの電気的な検査を行う。電
子部品検査ユニット２００内には、電子部品Ｄを検査す
るための測定器等が設置され、これらの測定器は検査用
ソケット１５２に電気的に接続されている。この結果、
電子部品検査ユニット２００は、検査用ソケット１５２
を介して電子部品Ｄの検査を行うことができる。電子部
品検査ユニット２００は、基台１１０の空間１１１に
Ｘ，Ｙの２方向いずれからでも挿入できる。空間１１１
が電子部品搬送ユニット１００の側面の２方向で開口し
ているためである。この結果、電子部品搬送ユニット１
００と電子部品検査ユニット２００の接続が容易になっ
ている。

【００６３】（カバー３００の詳細）図１６、１７はそ
れぞれ、カバー３００の詳細を表す斜視図および側面図
である。図１６、１７に示すように、カバー３００は、
外形が下方が開放された略直方体状であり、基台１１０
の上方を覆い、上板３１１、側板３２１〜３２４、およ
び開閉部３３０〜３５０から構成される。開閉部３３０
〜３５０はそれぞれ側板３２１〜３２３に対応し、上板
部材３３１〜３５１、側板部材３３２〜３５２から構成
され、接続部（ヒンジ）で上板３１１に回動可能に接続
している。

【００６４】カバー３００はその外部からの異物の侵入
を防御する。電子デバイスＤへの塵埃の付着等を防止す
ることで、吸着ヘッド１６５による電子デバイスＤの吸
着不良等の塵埃に起因する検査効率の低下を回避するこ
とができる。開閉部３３０は、トレイ配置領域１３０の
上方および側方においてカバー３００を開閉し、部品搬
送機構１６０ａ〜１６０ｄ、特にＸ軸レール１２０ａ側
の部品搬送機構１６０ａ、１６０ｂの点検が容易に行え
る。開閉部３４０は、ストッカー配置領域１４０の上方
および側方を開閉し、ストッカー１４１ａ〜１４１ｄの
着脱を可能とする。開閉部３５０は検査領域１５０の上
方および側方を開閉し、検査板１５３の着脱等を可能と
する。一方、側板３１５に対応する開閉部は設けられて
いない。開閉部を設ける箇所を限定して、電子部品検査
装置１０の製造コストの上昇を防止するためである。

【００６５】（電子部品検査装置１０の動作）次に電子
部品検査装置１０の全体的な動作につき説明する。図１
８は電子部品検査装置１０の動作手順を表すタイミング
チャートであり、図１９〜２６は図１８に示された動作
手順に従って動作したときの電子部品検査装置１０の状
態を表す上面図であり、図１０が検査領域１５０を示
す。ここで、図１８の横軸は時間であり、縦軸はＸ、
Ｙ、Ｚ、Ｒ方向それぞれについての駆動命令の出力状態
を表す。ここに示されたＸ，Ｙ，Ｚ，Ｒの添え字ａ，
ｂ，ｃ，ｄはそれぞれ、部品搬送機構１６０ａ〜１６０
ｄに対応する。なお、図１８に示された時間範囲内では
吸着ヘッド１６５ｃ、１６５ｄがＸ、Ｒ方向への移動を
行わないことから、図１８ではＸｃ、Ｘｄ、Ｒｃ、Ｒｄ
についての記載を省略している。

【００６６】（１）時刻ｔ０（図１９参照） 時刻ｔ０においては電子部品Ｄ１，Ｄ２が検査用ソケッ
ト１５２ａ，１５２ｂに接続され、検査が行われてい
る。ここで、吸着ヘッド１６５ａ、１６５ｂはそれぞ
れ、検査用ソケット１５２ａ，１５２ｂに接続された電
子部品Ｄ１，Ｄ２を検査用ソケット１５２ａ，１５２ｂ
へそれぞれ押圧した状態となっている。一方、吸着ヘッ
ド１６５ｃ、１６５ｄはそれぞれ、未検査品である電子
部品Ｄ３，Ｄ４を吸着した状態でそれぞれ、吸着ヘッド
１６５ａ、１６５ｂのＹ負方向に位置する。 （２）時刻ｔ１〜ｔ２ 時刻ｔ１において、電子部品Ｄ１，Ｄ２の検査が終了す
る。吸着ノズル１６６ａ，１６６ｂの吸着孔のエア圧が
正圧から負圧に変化されるとともに、吸着ヘッド１６５
ａ、１６５ｂそれぞれがＺ正方向に上昇する。この結
果、吸着ヘッド１６５ａ、１６５ｂに吸着された電子部
品Ｄ１，Ｄ２それぞれが検査用ソケット１５２ａ，１５
２ｂから離間する。

【００６７】（３）時刻ｔ２〜ｔ３（図２０参照） 吸着ヘッド１６５ａ〜１６５ｄが揃ってＹ軸正方向に移
動する。この結果、吸着ヘッド１６５ａ、１６５ｂに代
わって吸着ヘッド１６５ｃ、１６５ｄが検査用ソケット
１５２ａ，１５２ｂの上方に位置することになる。 （４）時刻ｔ３〜ｔ４ 時刻ｔ３において吸着ヘッド１６５ａ，１６５ｂがＸ軸
負方向に移動を開始する。また、吸着ヘッド１６５ｃ、
１６５ｄが揃って降下する。吸着ヘッド１６５ｃ、１６
５ｄが降下し、吸着ノズル１６６ｃ、１６６ｄの先端へ
不図示の吸着孔のエア圧が負圧から正圧に変化されるこ
とで、吸着ヘッド１６５ｃ、１６５ｄに吸着された電子
部品Ｄ３，Ｄ４は、検査用ソケット１５２ａ，１５２ｂ
に接続保持され、時刻ｔ４において電子部品Ｄ３，Ｄ４
の検査が開始される。

【００６８】（５）時刻ｔ５〜ｔ６（図２１参照） 吸着ヘッド１６５ａ，１６５ｂは、Ｘ方向に移動した結
果、吸着ヘッド１６５ｃ、１６５ｄとＸ方向にずれた状
態になる。このとき吸着ヘッド１６５ｂが吸着ヘッド１
６５ｃのＸ方向位置を通過した後、吸着ヘッド１６５
ａ，１６５ｂをＹ軸負方向に戻すよう移動する。ここ
で、吸着ヘッド１６５ａ、１６５ｂをＹ軸負方向に最大
限位置させ、吸着ヘッド１６５ｃ、１６５ｄをＹ軸正方
向に最大限位置させた状態で、吸着ヘッド１６５ａ、１
６５ｂと、吸着ヘッド１６５ｃ、１６５ｄとを相対的に
Ｘ軸方向反対方向に移動させる時、ヘッドの干渉が生じ
る。吸着ヘッド１６５ａ，１６５ｂの組または吸着ヘッ
ド１６５ｃ、１６５ｄの組の一方がＹ方向で検査用ソケ
ット１５２ａ，１５２ｂの位置上にあるときに、他方の
吸着ヘッド１６５（１６５ｃ，１６５ｄまたは１６５
ａ，１６５ｂ）をＸ方向に移動すると干渉（接触）が生
じる領域をヘッド干渉エリアといい、図１９〜２６にお
いてＡｉとして図示している。即ち、時刻ｔ５〜ｔ６に
おける吸着ヘッド１６５ａ，１６５ｂのＹ軸負方向への
移動はヘッド干渉エリアＡｉ外において行われる。この
ようにして吸着ヘッド１６５ａ，１６５ｂと吸着ヘッド
１６５ｃ、１６５ｄの干渉（接触）が回避される。

【００６９】（６）時刻ｔ７〜ｔ８（図２２参照） 時刻ｔ７において、検査済品用トレイＴの内、Ｔ１を合
格品用トレイ、Ｔ２を合格品用トレイとする場合で、吸
着ヘッド１６５ａの電子部品Ｄが合格品で、吸着ヘッド
１６５bの電子部品Ｄが不合格品となるとき、吸着ヘッ
ド１６５ａ，１６５ｂがそれぞれ検査済みトレイＴ１，
Ｔ２上への移動を完了しＸ方向への移動を停止する。さ
らに、吸着ヘッド１６５ａ，１６５ｂが降下する。その
後、吸着ヘッド１６５ａ，１６５ｂは上昇する。なお、
この上昇に先立って、電子部品Ｄ１、Ｄ２を離着するこ
とでこれらを検査済品用トレイＴ１，Ｔ２内に収納す
る。なお、吸着ヘッド１６５ａ、１６５ｂの電子部品Ｄ
が両方とも合格品の時は、一方のヘッドをＸ方向に移動
しトレイＴ１上に位置させ、Ｚ軸方向に下降、電子部品
Ｄ離着、その後上昇を行い、その後他方のヘッドをＸ方
向に移動しトレイＴ１上に位置させ、Ｚ軸方向に下降、
電子部品Ｄ離着、その後上昇を行う。この他方のヘッド
のＸ方向移動と同時に、一方のヘッドをトレイＴ１上か
ら退避させて、他方のヘッドとの干渉を避けるようにす
る。また、吸着ヘッド１６５ａの電子部品Ｄが不合格品
で、吸着ヘッド１６５bの電子部品Ｄが合格品となる
時、トレイＴ２上への移動、装着を吸着ヘッド１６５ａ
について実施した後、トレイＴ１上への移動、装着を吸
着ヘッド１６５ｂについて実施する。吸着ヘッド１６５
ｂのトレイＴ１上へのＸ方向移動に際し、吸着ヘッド１
６５ａも干渉回避のためＸ軸負方向に移動する。

【００７０】（７）時刻ｔ８〜ｔ１０ 時刻ｔ８において吸着ヘッド１６５ａ，１６５ｂが未検
査品用トレイＴ４に向かってＸ軸正方向への移動を開始
する。Ｘ軸正方向への移動中の時刻ｔ９〜ｔ１０におい
て、吸着ヘッド１６５ａ，１６５ｂは、Ｙ方向、および
Ｒ方向の基準位置に移動する。同時にＹ方向トレイ搬送
機構１８０が作動しトレイＴ４をＹ方向に移動する。な
おＹ方向の基準位置Ｙ０は部品位置確認カメラ１５１
ａ，１５１ｂの中間点で、図１９〜２６においてＹ０と
して表されている。 （８）時刻ｔ１０〜ｔ１２（図２３参照） 時刻ｔ１０において、吸着ヘッド１６５ａ，１６５ｂ
が、それぞれトレイＴ３の上方に到達する。その後、吸
着ヘッド１６５ａ，１６５ｂが、トレイＴ４に向かって
降下する。この結果、吸着ノズル１６６ａ，１６６ｂが
トレイＴ４に収納された電子部品Ｄ５，Ｄ６の上面に接
触または近接する。さらに、吸着ヘッド１６５ａ，１６
５ｂが上昇する。この上昇に先立ち、吸着ヘッド１６５
ａ，１６５ｂは吸着ノズル１６６ａ，１６６ｂによって
電子部品Ｄ５，Ｄ６を吸着しておく。この結果、吸着ヘ
ッド１６５ａ，１６５ｂは電子部品Ｄ５，Ｄ６を保持し
たまま上昇する。以上は、未検査品用トレイＴ４上にお
いて、電子部品Ｄ５，Ｄ６がそれぞれ吸着ヘッド１６５
ａ，１６５ｂが互いに干渉を起こすことなく、同じタイ
ミングで吸着できる位置にある場合である。吸着対象と
なる電子部品Ｄ５，Ｄ６が隣接し、それぞれを吸着ヘッ
ド１６５ａ，１６５ｂで同じタイミングで吸着できない
場合には、吸着ヘッド１６５ｂで電子部品Ｄ６を吸着
後、吸着ヘッド１６５ｂをＸ軸正方向に退避させてから
吸着ヘッド１６５ａで電子部品Ｄ５を吸着させる。時刻
ｔ１２において、吸着ヘッド１６５ａが、検査用ソケッ
ト１５２ａに向かってＸ軸正方向への移動を開始する。

【００７１】（９）時刻ｔ１３〜ｔ１５（図２４参照） Ｘ方向への移動中の時刻ｔ１３〜ｔ１４において、吸着
ヘッド１６５ａ，１６５ｂは、Ｙ軸正方向に移動する。
このＹ方向移動は、ヘッド干渉エリアＡｉ内での吸着ヘ
ッド１６５間の干渉を防止するためのものであり、ヘッ
ド干渉エリアＡｉに入る前に行われる。その後、吸着ヘ
ッド１６５ａ，１６５ｂが、Ｘ方向への移動中に、部品
位置確認カメラ１５１ａの上方を通過する。具体的には
吸着ヘッド１６５ｂ，１６５ａの順で部品位置確認カメ
ラ１５１ａ上を通過し、この通過の際に部品位置確認カ
メラ１５１ａによる撮像が行われ、撮像された画像情報
に基づき電子部品Ｄ５，Ｄ６の位置（吸着ヘッド１６５
ａ，１６５ｂに対する）が確認される。 （１０）時刻ｔ１５〜ｔ１６ 確認された電子部品Ｄ５，Ｄ６の位置に基づき、Ｘ方向
への移動中の時刻ｔ１５〜ｔ１６において、吸着ヘッド
１６５ａ，１６５ｂのＹ方向、Ｒ方向の位置を修正す
る。これは電子部品Ｄ５，Ｄ６の検査用ソケット１５２
ａ，１５２ｂへの接続を確実に行うためである。電子部
品Ｄ５，Ｄ６がトレイＴ３に収納されていたときの載置
位置のズレにより、吸着ヘッド１６５ａ，１６５ｂが電
子部品Ｄ５，Ｄ６を吸着したときに吸着位置に誤差が生
じることがあり、この誤差を解消する。

【００７２】（１１）時刻ｔ１７〜ｔ１８（図２５参
照） 時刻ｔ１７において、吸着ヘッド１６５ａ，１６５ｂの
Ｘ方向の移動が完了する。また、電子部品Ｄ３，Ｄ４の
検査が終了する。時刻ｔ１７〜ｔ１８において、吸着ヘ
ッド１６５ｃ，１６５ｄが電子部品Ｄ３，Ｄ４を吸着し
て上昇する。 （１２）時刻ｔ１８〜ｔ１９（図２６参照） 吸着ヘッド１６５ａ，１６５ｂ、吸着ヘッド１６５ｃ，
１６５ｄが一斉にＹ軸負方向に移動する。この結果、吸
着ヘッド１６５ａ，１６５ｂが検査用ソケット１５２
ａ，１５２ｂの上方に位置するようになる。時刻ｔ１５
〜ｔ１６において吸着ヘッド１６５ａ，１６５ｂ位置が
補正されているので、電子部品Ｄ５，Ｄ６が検査用ソケ
ット１５２ａ，１５２ｂとの接続に対応した位置（上
方）になる。

【００７３】（１３）時刻ｔ１９〜ｔ２０ 吸着ヘッド１６５ａ，１６５ｂが降下して電子部品Ｄ
５，Ｄ６が検査用ソケット１５２ａ，１５２ｂに接続さ
れる。その後、時刻ｔ２０において電子部品Ｄ５，Ｄ６
の検査が開始される。ここでの動作は、吸着ヘッド１６
５ａ，１６５ｂと吸着ヘッド１６５ｃ，１６５ｄの役割
が交換したことを除き、基本的に時刻ｔ３〜ｔ４のとき
と同様である。 （１４）時刻ｔ２０以降 その後は、電子部品Ｄ５，Ｄ６の検査が継続する。そし
て、吸着ヘッド１６５ａ，１６５ｂと吸着ヘッド１６５
ｃ，１６５ｄの役割が交換したことを除き、時刻ｔ４以
降と対応する動作が繰り返し継続される。

【００７４】以上の電子部品検査装置１０の動作におい
ては、検査用ソケット１５２がＸ方向に並んだ場合につ
いて説明し、検査用板５１３の取付方向の検知および検
知された取付方向に基づく吸着ヘッド１６５の位置の制
御については記載を省略している。実際には、検査位置
確認カメラ１５４，開口検知部１５６等による検査用ソ
ケット１５２の種類、および取付方向の検知が行われ
る。そして、検知された検査用ソケット１５２の種類、
および取付方向に対応して吸着ヘッド１６５が移動され
る。この結果、時刻ｔ３，ｔ１９において吸着ヘッド１
６５が検査用ソケット１５２ａ，１５２ｂの上方に位置
するようになる。なお、検査用ソケット１５２の種類、
および取付方向の検知は、電子部品検査装置１０の動作
開始時に１回のみ行えば足りる。

【００７５】以上の電子部品検査装置１０では、２本の
Ｘ軸ロボット１２０ａ，１２０ｂそれぞれに部品搬送機
構１６０が設置されている。このため、検査用ソケット
１５２による電子部品Ｄの検査をほぼ連続して行える。
具体的には、時刻ｔ１〜ｔ４および時刻ｔ１７〜ｔ２０
における電子部品Ｄの入れ替え時間を除き、電子部品Ｄ
が検査用ソケット１５２に接続され、検査が行われてい
る。

【００７６】（第２実施形態）図２７は本発明の第２の
実施形態に係る電子部品検査装置２０００を表す上面図
である。電子部品検査装置２０は、図２７に示されるよ
うに、電子部品Ｄを搬送する電子部品搬送ユニット２１
００で、あるいはさらに電子部品Ｄを検査する電子部品
検査ユニット２２００とを組み合わせて構成される。電
子部品搬送ユニット２１００は、基台２１１０、部品搬
送装置１６０ａ及び１６０ｂ、部品搬送装置１６０ｃ及
び１６０ｄが、それぞれ沿って移動可能とされる軌道を
それぞれ内蔵する２本のＸ軸ロボット１２０ａ、１２０
ｂ、トレイ配置領域２１３０ａ、２１３０ｂ、ストッカ
ー配置領域２１４０ａ、２１４０ｂ、検査領域１５０、
部品搬送機構１６０ａ〜１６０ｄ，Ｘ方向トレイ搬送機
構１７０ａ，１７０ｂ、Ｙ方向トレイ搬送機構１８０ａ
〜１８０ｄ、制御部から構成され、カバーで覆われてい
る。

【００７７】本実施形態では、基台２１１０の底部は略
コの字型の形状をしており、電子部品検査ユニット２２
００は、通常Ｙ方向から基台２１１０の空間２１１１内
に挿入されることになる。基台２１１０の底部が略コの
字型の形状をしており、基台２１１０の４隅で重量を支
えることが可能となっているため、機械的な力（例えば
地震）が加えられた場合でも転倒しにくく安定性が向上
する。

【００７８】また、本実施形態では、基台２１１０の中
央近傍に検査領域１５０が配置され、トレイ配置領域２
１３０，ストッカー配置領域２１４０は検査領域１５０
を挟んでトレイ配置領域２１３０ａ、２１３０ｂ、およ
びストッカー配置領域２１４０ａ、２１４０ｂと区分し
て配置されている。この結果、Ｘ軸ロボット１２０ａの
部品搬送機構１６０ａ，１６０ｂ，Ｘ軸ロボット１２０
ｂの部品搬送機構１６０ｃ，１６０ｄをそれぞれ効率よ
く動作することが可能となり、検査効率が向上する。

【００７９】本実施形態では、トレイＴ１〜Ｔ４をトレ
イ配置領域２１３０ａ、２１３０ｂに区分して配置して
いる。ここで、未検査品用トレイＴ１，Ｔ２と検査済品
用トレイＴ４を異なる領域に配置することで、未検査の
電子部品Ｄと検査済みの電子部品Ｄとの混入の防止を確
実に行うことができる。一方、仮想線で示したように、
トレイＴ１〜Ｔ４をそれぞれトレイ配置領域２１３０
ａ、２１３０ｂの双方に配置することも可能である。４
つの吸着ヘッド１６５を有効に活用して、検査速度の向
上を図ることができる。このとき、トレイ配置領域２１
３０から検査領域１５０への電子部品Ｄの搬送および検
査をトレイ配置領域２１３０ａ、２１３０ｂで交互に行
うことで、トレイ配置領域２１３０ａ、２１３０ｂによ
る検査領域１５０の共用化を図りつつ、かつ効率の良い
検査を行うことができる。この共用化は装置の製造コス
ト、設置面積の低減に寄与する。この場合、部品位置確
認カメラ１５１は、トレイ配置領域２１３０ａとトレイ
配置領域２１３０ｂにそれぞれ２つづつ配置する。

【００８０】ストッカー１４１はストッカー配置領域２
１４０ａ，２１４０ｂの双方で同一の構成としなくても
良い。例えば、ストッカー１４１の平面的な配置、スト
ッカー１４１を基台１１０の上下どちらに配置するか
（トレイＴの積層方向）をストッカー配置領域２１４０
ａ，２１４０ｂで異ならせてもよい。なお、ストッカー
１４１を基台１１０の下方に配置する構成の詳細は後の
実施形態で述べる。

【００８１】第１の実施形態と同様に、本実施形態にお
いてもカバー３００による電子デバイスＤへの塵埃の付
着等の防止、および図示しない開閉部によるメンテナン
ス性の両立が図られ、さらに開閉部を限定することで電
子部品検査装置２０００の製造コストの上昇を回避して
いる。なお、本実施形態では、Ｘ軸ロボット１２０を２
本用いているが、Ｘ軸ロボット１２０を１本のみ用いて
も差し支えない。Ｘ軸ロボット１２０上の２つの部品搬
送機構１６０を効率よく用いることで、効率よい検査が
行える。例えば、Ｘ軸ロボット１２０ａに２つの部品搬
送装置１６０ａ及び１６０ｂを移動可能に搭載するか、
４つの部品搬送装置１６０ａ〜１６０ｄを移動可能に搭
載し、部品搬送装置１６０ａ、１６０ｂにトレイ配置領
域２１３０ａと検査領域１５０の間の移動をさせ、部品
搬送装置１６０ｃ、１６０ｄにトレイ配置領域２１３０
ｂと検査領域１５０の間の移動をさせる。この場合、部
品位置確認カメラ１５１は、トレイ配置領域２１３０ａ
とトレイ配置領域２１３０ｂにそれぞれ１つづつ配置す
る。

【００８２】（第３実施形態）図２８は本発明の第３の
実施形態に係る電子部品検査装置３０００を上面から見
た状態を表す上面図である。電子部品検査装置３０００
は、図２８に示されるように、電子部品Ｄを搬送する電
子部品搬送ユニット３１００で、あるいはさらに電子部
品Ｄを検査する電子部品検査ユニット２００とを組み合
わせて構成され、図示しないカバーで覆われている。電
子部品搬送ユニット３１００は、基台１１０、２本のＸ
軸ロボット１２０ａ、１２０ｂ、トレイ配置領域１３
０、ストッカー配置領域１４０、検査領域１５０、部品
搬送機構３１６０ａ、３１６０ｂ，Ｘ方向トレイ搬送機
構３１７０、Ｙ方向トレイ搬送機構１８０ａ〜１８０
ｄ、制御部から構成されている。

【００８３】図２９，３０は、部品搬送機構３１６０を
拡大して表した上面部および側面図である。図２９，３
０に示すように、本実施形態では、部品搬送機構３１６
０ａ、３１６０ｂが２本のＸ軸ロボット１２０ａ、Ｘ軸
ロボット１２０ｂの間それぞれ上に対応して設置される
一対のＸ方向駆動部３１６１を結ぶＹ軸ロボット３１６
２を基礎として構成される。即ち、部品搬送機構３１６
０は、一対のＸ方向駆動部３１６１、不図示の軌道とＹ
方向駆動装置を有し、アーム部材に一体化されたＹ軸ロ
ボット３１６２、Ｚ方向駆動部３１６３、Ｒ方向駆動部
３１６５、吸着ヘッド本体３１６６、吸着ノズル支持部
材３１６７，吸着ノズル３１６８から構成される。

【００８４】部品搬送機構３１６０ａには、Ｘ方向トレ
イ搬送機構３１７０が、部品搬送機構３１６０ｂの吸着
ヘッド本体３１６６には、検査位置確認カメラ１５４が
接続されている。Ｚ方向駆動部３１６３、吸着ヘッド本
体３１６６等からなる吸着ヘッドはＹ軸ロボット３１６
２上を不図示の軌道に沿って移動する。この結果、吸着
ノズル３１６８（吸着ヘッド）は、Ｘ方向駆動部３１６
１、Ｙ方向駆動部、Ｚ方向駆動部３１６３、Ｒ方向駆動
部３１６５によりＸ，Ｙ，Ｚ、Ｒ方向の移動（回転）を
行うことができる。以上のようにＸ軸ロボット３１２
０，Ｙ軸ロボット３１６２の組み合わせを用いて部品搬
送機構３１６０を構成することも可能である。なお、第
１の実施形態と同様に、本実施形態においてもカバー３
００による電子デバイスＤへの塵埃の付着等の防止、お
よび図示しない開閉部によるメンテナンス性の両立が図
られ、さらに開閉部を限定することで電子部品検査装置
３０００の製造コストの上昇を回避している。

【００８５】（第４実施形態）図３１は本発明の第４の
実施形態に係る電子部品検査装置４０００を表す斜視図
である。また、図３２，３３それぞれは電子部品検査装
置４０００を図３１のＸ、Ｙ方向から見た状態を表す側
面図、および正面図である。電子部品検査装置４０００
は、図３１〜３３に示されるように、電子部品Ｄを搬送
する電子部品搬送ユニット４１００で、あるいはさらに
電子部品Ｄを検査する電子部品検査ユニット２００とを
組み合わせて構成される。本実施形態ではストッカー５
１４１が基台１１０の下方に設置されている。電子部品
検査装置４０００の高さを低くすることが可能となる。

【００８６】図３４、３５はそれぞれ、ストッカー４１
４１を拡大した状態を表す側面図および正面図である。
ストッカー４１４１は、蓋部４１４２，４つの支柱４１
４３，底部４１４４，４つのトレイ分離フック４１４
５，トレイ昇降機構４１４６から構成され、その内部に
Ｙ方向トレイ搬送機構１８０が進入するトレイ搬送機構
進入領域４１４７が形成されている。このうち、蓋部４
１４２と，支柱４１４３の上部、トレイ分離フック４１
４５、およびトレイ搬送機構進入領域４１４７は基台１
１０上面より上方に，支柱４１４３の下部、底部４１４
４，およびトレイ昇降機構４１４６は基台１１０上面よ
り下方に設置される。

【００８７】蓋部４１４２は、外形が略直方体状であ
り、その下方が開口している。また、内部にトレイ搬送
機構進入領域４１４７を有し、トレイ配置領域１３０側
の側面にトレイ搬送機構進入領域４１４７に通じる開口
を有する。さらに、２対のトレイ分離フック４１４５が
接続されている。支柱４１４３は、蓋部４１４２の４隅
に接続され、断面が略Ｌ字状の柱であり、トレイＴの４
隅に対応してＸ軸−Ｙ軸の２方向においてトレイＴを保
持する。底部４１４４は、支柱４１４３に接続され、略
矩形の底板および４つの側板より構成される。なお、こ
の側板を除外し、底部４１４４たる底板に支柱４１４３
が直接接続されても差し支えない。

【００８８】トレイ分離フック４１４５は蓋部４１４２
に設置され、トレイ搬送機構進入領域４１４７内にトレ
イＴを支持するように、トレイＴの互いに対向する側面
に対応して配置される。トレイ分離フック４１４５がト
レイＴの凹部内に挿入されることで、トレイＴが固定さ
れる。トレイ分離フック４１４５には図示しない駆動機
構が接続され、トレイＴの側面凹部へのトレイ分離フッ
ク４１４５の挿入、取り出しを行う。この挿入、取り出
しによってトレイＴの固定およびその解除が行われる。

【００８９】トレイ昇降機構４１４６は、積層したトレ
イＴを載置する平板（トレイ載置板）を有し、これを上
下に昇降することで、積層したトレイＴをストッカー４
１４１内上下に昇降する機構である。トレイ搬送機構進
入領域４１４７は、蓋部４１４２内に設定された略直方
体状の空間であり、Ｙ方向トレイ搬送機構１８０が蓋部
４１４２側面の開口部を通じてＹ正方向から出入りす
る。なお、第１の実施形態と同様に、本実施形態におい
てもカバー３００による電子デバイスＤへの塵埃の付着
等の防止、および開閉部３３０〜３５０によるメンテナ
ンス性の両立が図られ、さらに開閉部を限定することで
電子部品検査装置４０００の製造コストの上昇を回避し
ている。

【００９０】ストッカー４１４１内からトレイ配置領域
１３０へのトレイＴの移動は、以下の手順によって行わ
れる。ここで、図３６はストッカー４１４１内における
トレイＴの移動状態を表す模式図である。 （１）トレイ昇降機構４１４６がトレイ載置板を上昇さ
せ、トレイ搬送機構進入領域４１４７内で最上層のトレ
イＴの側面がトレイ分離フック４１４５に対向した状態
にする（図３６（Ａ）参照）。なお、トレイ搬入機構進
入領域４１４７内にはＹ方向トレイ搬送機構１８０が進
入していないものとする。 （２）トレイ分離フック４１４５を動作させ、最上層の
トレイＴをトレイ搬送機構進入領域４１４７内で固定す
る。

【００９１】（３）トレイ昇降機構４１４６がそのトレ
イ載置板を降下させる。この結果、積層されたトレイが
降下し、トレイ分離フック４１４５に固定されたトレイ
Ｔはトレイ搬送機構進入領域４１４７内に保持される。
（図３６（Ｂ）参照）。 （４）トレイ搬入機構進入領域４１４７内にＹ方向トレ
イ搬送機構１８０を進入させ、トレイ分離フック４１４
５を解除して、Ｙ方向トレイ搬送機構１８０上にトレイ
Ｔを載置する（図３６（Ｃ）参照）。Ｙ方向トレイ搬送
機構１８０上に載置されたトレイＴはトレイ載置部１８
３に固定され、Ｙ方向トレイ搬送機構１８０がトレイ搬
送機構進入領域４１４７から退出することで、ストッカ
ー４１４１内から搬出され、トレイ配置領域１３０に配
置される。

【００９２】トレイ配置領域１３０からストッカー４１
４１内へのトレイＴの移動、載置は、以下の手順によっ
て行われる。 （１）トレイＴはＹ方向トレイ搬送機構１８０上に載置
されている。Ｙ方向トレイ搬送機構１８０がトレイ配置
領域１３０からトレイ搬送機構進入領域４１４７内に進
入することで、ストッカー４１４１内にトレイＴが搬入
される（図３６（Ｃ）参照）。 （２）Ｙ方向トレイ搬送機構１８０のトレイ固定部１８
４によるトレイＴの固定を解除すると共に、トレイ分離
フック４１４５を動作させてトレイＴを固定する。その
後、Ｙ方向トレイ搬送機構１８０がトレイ搬送機構進入
領域４１４７内から退出する（図３６（Ｂ）参照）。 （３）トレイ昇降機構４１４６がトレイ載置板を上昇
し、これに載置された積層されたトレイＴをトレイ分離
フック４１４５で固定されたトレイＴ底面に接触させ
る。さらに、トレイ分離フック４１４５を解除し、スト
ッカー４１４１内のトレイの全てがトレイ昇降機構４１
４６のトレイ載置板上に載置された状態にする。（図３
６（Ａ）参照）。

【００９３】（４）トレイ昇降機構４１４６がそのトレ
イ載置板を降下して、積層されたトレイＴをストッカー
４１４１内下方に移動する。以上のようにして、トレイ
配置領域１３０上のトレイＴがストッカー４１４１内の
最上段に載置される。

【００９４】（第５実施形態）図３７は本発明の第５の
実施形態に係る電子部品検査装置５０００を表す側面図
である。ここで、蓋部５１４２は一部を切り欠いた状態
を表している。電子部品検査装置５０００は、図３７に
示されるように、電子部品Ｄを搬送する電子部品搬送ユ
ニット５１００で、あるいはさらに電子部品Ｄを検査す
る電子部品検査ユニット２００とを組み合わせて構成さ
れる。本実施形態ではストッカー５１４１が基台１１０
のトレイ配置領域１３０に設置されている。即ち、トレ
イ配置領域１３０とストッカー配置領域１４０が共通化
され、装置の小型化が図られている。

【００９５】ストッカー５１４１は、蓋部５１４２，４
つの支柱５１４３，底部５１４４，４つのトレイ分離フ
ック５１４５，トレイ昇降機構５１４６から構成され、
その内部にＹ方向トレイ搬送機構１８０が進入するトレ
イ搬送機構進入領域５１４７が形成されている。このう
ち、蓋部５１４２と，支柱５１４３の上部、トレイ分離
フック５１４５、およびトレイ搬送機構進入領域５１４
７は基台１１０上面より上方に，支柱５１４３の下部、
底部５１４４，およびトレイ昇降機構５１４６は基台１
１０上面より下方に設置される。本実施形態では、蓋部
５１４２は、主として２つの側板から形成され、その上
方、下方の双方およびＹ方向の両側面が開口している。
また、内部にトレイ搬送機構進入領域５１４７を有す
る。さらに、２対のトレイ分離フック５１４５が設置さ
れている。蓋部５１４２の上方が開口しているのは、部
品搬送機構１６０が蓋部５１４１内（トレイ搬送機構進
入領域５１４７内）のトレイＴに対する電子部品Ｄの吸
着、離着を可能とするためである。トレイＴがＹ方向ト
レイ搬送機構１８０またはトレイ分離フック５１４５の
いずれかによって固定された状態で、電子部品Ｄの吸
着、離着が行われる。Ｘ方向トレイ搬送機構１７０によ
りトレイＴのＸ方向の搬送が可能なことは、第１〜４の
実施形態と同様である。

【００９６】本実施形態では、最上段のトレイＴの上方
に吸着ヘッド１６６がアクセス可能な状態なので（蓋部
５１４２の上方が開口している）、ストッカー５１４１
内に収納、積み重ねられた状態のトレイＴをそのまま用
いて電子部品Ｄを検査することも可能である。この場合
には、最上段のトレイＴに対して電子部品を吸着、また
は離着する。

【００９７】本実施形態では、トレイ配置領域１３０と
ストッカー配置領域１４０をを区分することなく、トレ
イ配置領域の下方にストッカー５１４１を配置して、ス
トッカー５４１４内に収納されたトレイＴをトレイ配置
領域１３０に配置している。本実施形態では基台１１０
の下方にストッカー５１４１を配置しているが、基台１
１０の上方にストッカーを配置してその最下段のトレイ
Ｔをトレイ配置領域１３０上に降下させて配置すること
も可能である。カバー５３００は、外形が下方が開放さ
れた略直方体状であり基台１１０の上方を覆い、上板５
３１１、側板５３２１〜５３２４（５３２２のみ図示）
を有する。本実施形態では、第１の実施形態の開閉部３
３０、３５０に対応する開閉部５３３０、５３５０（図
示せず）のみを有し、第１の実施形態の開閉部５４０に
対応する開閉部は有しない。トレイ配置領域１３０とス
トッカー配置領域１４０が共通化されているため、開閉
部５３３０でその両方のメンテナンスが可能だからであ
る。本実施形態においては、カバー５３００による電子
デバイスＤへの塵埃の付着等の防止、および図示しない
開閉部によるメンテナンス性の両立が図られ、さらに第
１の実施形態よりもさらに開閉部を限定することで電子
部品検査装置５０００の製造コストの上昇をより効果的
に回避している。

【００９８】（第６実施形態）図３８は本発明の第６の
実施形態に係る電子部品検査装置６０００を表す側面図
である。電子部品検査装置５０００は、図３８に示され
るように、電子部品Ｄを搬送する電子部品搬送ユニット
６１００で、あるいはさらに電子部品Ｄを検査する電子
部品検査ユニット２００とを組み合わせて構成される。
本実施形態ではストッカー６１４１の上下それぞれにト
レイＴが収納されており、トレイＴの収納効率の向上が
図られている。

【００９９】ストッカー６１４１は、蓋部６１４２，４
つの支柱６１４３，底部６１４４，二組のトレイ分離フ
ック６１４５ａ、６１４５ｂ，トレイ昇降機構６１４６
から構成され、その内部にＹ方向トレイ搬送機構１８０
が進入するトレイ搬送機構進入領域６１４７が形成され
ている。このうち、蓋部６１４２と，支柱６１４３の上
部、トレイ分離フック６１４５ａ，６１４５ｂ、および
トレイ搬送機構進入領域６１４７は基台１１０上面より
上方に，支柱６１４３の下部、底部６１４４，およびト
レイ昇降機構６１４６は基台１１０上面より下方に設置
される。トレイＴはストッカー６１４１の上下に収納さ
れている。上方に収納されたトレイはトレイ分離フック
６１４５ａに固定され、下方に収納されたトレイはトレ
イ昇降機構６１４６のトレイ載置板上に載置されてい
る。

【０１００】蓋部６１４２は、外形が略直方体状であ
り、その下方が開口している。なお、蓋部６１４２は平
板状でも差し支えない。支柱６１４３は、蓋部６１４２
の４隅に接続され、断面が略Ｌ字状の柱であり、トレイ
Ｔの４隅に対応してＸ軸−Ｙ軸の２方向においてトレイ
Ｔを保持する。底部６１４４は、支柱６１４３に接続さ
れ、略矩形の底板および４つの側板より構成される。な
お、この側板を除外し、底部６１４４たる底板に支柱６
１４３が直接接続されても差し支えない。

【０１０１】２組のトレイ分離フック６１４５ａ、６１
４５ｂは支柱６１４３の上下に設置される。４つの支柱
６１４３それぞれにトレイ分離フック６１４５ａ、６１
４５ｂが設置されることから、支柱６１４３には併せて
８つのトレイ分離フック６１４５を備えることになる。
トレイ分離フック６１４５ａは、ストッカー６１４１内
上方の最下段のトレイＴを固定するために設置されてい
る。また、トレイ分離フック６１４５ｂは、トレイ搬送
機構進入領域６１４７内でトレイＴを固定するために設
置されている。トレイ分離フック６１４５ａ、６１４５
ｂはいずれも、トレイＴの互いに対向する側面に対応し
て配置される。トレイ分離フック６１４５ａ、６１４５
ｂがトレイＴの凹部内に挿入されることで、トレイＴが
下方に落下することを防止する。トレイ分離フック６１
４５ａ、６１４５ｂには図示しない駆動機構が接続さ
れ、トレイＴの側面凹部へのトレイ分離フック６１４５
ａ、６１４５ｂの挿入、取り出しを行う。この挿入、取
り出しによってトレイＴのＺ方向の固定およびその解除
が行われる。

【０１０２】トレイ昇降機構６１４６は、積層したトレ
イＴを載置する平板（トレイ載置板）を有し、これを上
下に昇降することで、積層したトレイＴをストッカー６
１４１内上下に昇降する機構である。トレイ搬送機構進
入領域６１４７は、上方、下方のトレイＴの間に設定さ
れた略直方体状の空間であり、Ｙ方向トレイ搬送機構１
８０がＹ正方向から出入りする。

【０１０３】ストッカー６１４１内上方からトレイ配置
領域１３０へのトレイＴの移動は、以下の手順によって
行われる。ここで、図３９はストッカー６１４１内にお
けるトレイＴの移動状態を表す模式図である。 （１）トレイ昇降機構６１４６がトレイ載置板を上昇さ
せ、トレイ載置板上に積載された最上段のトレイＴをト
レイ分離フック６１４５ａに固定されたトレイＴ０（上
方の最下段のトレイＴ：対象のトレイＴ０）の底面に接
触させた状態とする（図３９（Ａ）参照）。 （２）トレイ分離フック６１４５ａを解除して、トレイ
昇降機構６１４６を動作させトレイＴをトレイＴ一枚分
下降し（トレイ載置板を降下する）、トレイ分離フック
６１４５ａに対応するトレイをトレイＴ０の１つ上のト
レイＴとする。 （３）トレイ分離フック６１４５ａを動作し、トレイＴ
０の１つ上のトレイＴを固定する（トレイ分離フック６
１４５ａをトレイＴ０の１つ上のトレイＴの側面の凹部
に挿入する）（図３９（Ｂ）参照）。

【０１０４】（４）トレイ昇降機構６１４６を動作さ
せ、トレイＴ０を降下する。このとき、トレイＴ０の１
つ上のトレイＴはトレイ分離フック６１４５ａによって
固定されている。その後、トレイ昇降機構６１４６によ
りトレイＴ０をトレイ分離フック６１４５ｂに対応する
位置、即ちトレイ搬入機構進入領域６１４７まで降下す
る。 （５）トレイ分離フック６１４５ｂを動作させ、トレイ
Ｔ０を固定する。その後、トレイ昇降機構６１４６のト
レイ載置板が降下する。この結果、トレイＴ０のみがト
レイ分離フック６１４５ｂで固定され、他のトレイＴは
ストッカー６１４１の上下で、それぞれトレイ分離フッ
ク６１４５ａおよびトレイ載置板に対応して積層された
状態になる（図３９（Ｃ）参照）。 （６）トレイ搬入機構進入領域６１４７内にＹ方向トレ
イ搬送機構１８０を進入させ、トレイ分離フック６１４
５ｂを解除して、Ｙ方向トレイ搬送機構１８０上にトレ
イＴ０を載置する（図３９（Ｄ）参照）。Ｙ方向トレイ
搬送機構１８０上に載置固定されたトレイＴは、Ｙ方向
トレイ搬送機構１８０がトレイ搬送機構進入領域６１４
７から退出することで、ストッカー６１４１内から搬出
され、トレイ配置領域１３０に配置される。

【０１０５】トレイ配置領域１３０からストッカー６１
４１の上方へのトレイＴの移動、載置は、以下の手順に
よって行われる。 （１）対象とするトレイＴ０はＹ方向トレイ搬送機構１
８０上に載置されている。Ｙ方向トレイ搬送機構１８０
がトレイ配置領域１３０からトレイ搬送機構進入領域６
１４７内に進入することで、ストッカー６１４１内にト
レイＴ０が搬入される（図３９（Ｄ）参照）。 （２）Ｙ方向トレイ搬送機構１８０によるトレイＴ０の
固定を解除すると共に、トレイ分離フック６１４５ｂを
動作させてトレイＴ０を固定する。その後、Ｙ方向トレ
イ搬送機構１８０がトレイ搬送機構進入領域４１４７内
から退出する（図３９（Ｃ）参照）。

【０１０６】（３）トレイ昇降機構６１４６がトレイ載
置板を上昇し、その最上段のトレイＴをトレイＴ０の底
面に押し当てた状態にする。さらにトレイ昇降機構６１
４６によってトレイＴを支持した状態でトレイ分離フッ
ク６１４５ｂを解除する（図３９（Ｂ）参照）。 （４）トレイ昇降機構６１４６を動作させトレイＴをト
レイＴ一枚分上昇し、トレイＴ０をトレイ分離フック６
１４５ａに対応するようにする。 （５）トレイ分離フック６１４５ａを動作し、トレイ昇
降機構１４６上に載置されたトレイＴを固定する（図３
９（Ａ）参照）。かくして、トレイ配置領域１３０上の
トレイＴ０がストッカー６１４１内の上方最下段に収
納、固定される。

【０１０７】（６）トレイ昇降機構６１４６のトレイ載
置板を降下する。トレイＴ０は、トレイ分離フック６１
４５ａによって固定されているので、トレイ載置板が降
下してもそのまま保持される。 以上のようにして、トレイ配置領域１３０上のトレイＴ
がストッカー６１４１内の上方最下段に収納、固定され
る。なお、ストッカー６１４１内下方へのトレイＴの収
納、取り出しは第４の実施形態と同様に行える。本実施
形態では、ストッカー６１４１内の上方、下方それぞれ
にトレイＴを収納しその双方へのトレイＴの収納、取り
出しが可能であり、装置の空間利用効率が向上してい
る。また、第１の実施形態と同様に、本実施形態におい
てもカバー３００による電子デバイスＤへの塵埃の付着
等の防止、および図示しない開閉部によるメンテナンス
性の両立が図られ、さらに開閉部を限定することで電子
部品検査装置６０００の製造コストの上昇を回避してい
る。なお、第４〜６実施形態のＹ方向トレイ搬送機構１
８０は第１実施形態のものと同様に構成される。その他
の点では、第４の実施形態と大きく異なる訳ではないの
で、記載を省略する。

【０１０８】（その他の実施形態）本発明の実施形態は
上記実施形態には限られず拡張、変更できる。拡張、変
更された実施形態も本発明の技術的範囲に含まれる。 （１）上記実施形態では、部品位置確認カメラ等でトレ
イＴ上の電子部品の位置を確認し、吸着ヘッドで吸着し
たときにおける吸着ヘッドと電子部品Ｄの位置関係の誤
差を補正して、電子部品Ｄの検査用ソケット１５２への
接続の確実性を向上している。これに代えて、自動的に
電子部品Ｄの位置を修正する部品位置調節機構を設けて
も差し支えない。図４０（Ａ）、（Ｂ）は部品位置調節
機構４００の一例を拡大して示す上面図および断面図で
ある。なお、部品位置調節機構４００は、電子部品搬送
ユニットの基台上いずれに設けても差し支えない。部品
位置調節機構４００を用いると電子部品Ｄの位置が調節
されることから、部品位置確認カメラ等の部品位置確認
手段を省略することが可能になる。

【０１０９】図４０に示す部品位置調節機構４００は、
位置基準部４０１およびガイド部４０２から構成され
る。位置基準部４０１は、電子部品検査装置１０の所定
の座標（Ｘ，Ｙ，Ｒ）に対して位置決めされ、かつ電子
部品Ｄの外形に対応して形成された凹部である。この例
での位置基準部４０１は、電子部品Ｄの外形が平板矩形
状であるとして、底面が矩形状の略直方体状の凹部から
構成されている。ガイド部４０２は、位置基準部４０１
に電子部品Ｄを導くガイドの役割を有し、電子部品Ｄの
外形より少し大きく形成された凹部から構成される。こ
の例では、位置基準部４０１の底面の４つの頂点に向か
う辺を有する略４角推台状の凹部から構成される。

【０１１０】図４１に部品位置調節機構４２１０による
位置調節のメカニズムを示す。部品搬送機構１６０の吸
着ノズル１６６により電子部品Ｄを吸着し、部品位置調
節機構４００上に搬送する（図４１（Ａ）参照）。電子
部品ＤがトレイＴ上に配置されていたときの位置の誤差
を反映して、電子部品Ｄは部品搬送機構１６０に対して
位置の誤差が生じている可能性がある。その後、吸着ノ
ズル１６６を降下して電子部品Ｄを離着し、部品位置調
節機構４００のガイド部４０２内に載置（あるいは落
下）する。部品位置調節機構４００上に載置された電子
部品Ｄは重力によりガイド部４０２によって位置基準部
４０１に導かれ、基準の位置に到達し、位置の調節が行
われる（図４１（Ｂ）参照）。その後に、部品搬送機構
１６０が位置の調節が行われた電子部品Ｄを吸着するこ
とで、部品搬送機構１６０に対する電子部品Ｄの位置が
補正される（図４１（Ｃ）参照）。このため、その後の
電子部品Ｄの検査用ソケットへの装着等が確実に行われ
る。

【０１１１】図４２は、他の例に係る部品位置調節機構
４１０を拡大して表す断面図および上面図である。部品
位置調節機構４１０は、２つの位置基準壁４１１、４１
２から構成される。位置基準壁４１１、４１２は、電子
部品検査装置１０の所定の座標（Ｘ，Ｙ，Ｒ）に対して
位置決めされ、かつ電子部品Ｄの外形に対応して形成さ
れた壁（凸部）である。この例での位置基準壁４１１、
４１２は、電子部品Ｄの外形が平板矩形状であるとし
て、その２つの側面の形状に対応した基準面を有する。

【０１１２】図４３に部品位置調節機構４１０による位
置調節のメカニズムを示す。部品搬送機構１６０により
電子部品Ｄを移動しし、部品位置調節機構４１０上に搬
送する。その後、部品位置調節機構４２１０の位置基準
壁４１１、４１２の隅の近傍に電子部品Ｄを載置する
（図４３（Ａ）参照）。部品搬送機構１６０はさらに電
子部品Ｄの一側面が位置基準壁４１１の基準面に押し当
てられるように、電子部品Ｄの位置を調節する（図４３
（Ｂ）参照）。さらに電子部品Ｄの一側面が位置基準壁
４１１の基準面に押し当てられた状態を保持しつつ、電
子部品Ｄの他の側面が位置基準壁４１２の基準面に押し
当てられた状態になるように、電子部品Ｄを移動する。
この結果、電子部品Ｄは位置基準壁４１１、４１２に基
づき位置の調節が行われる。その後に、部品搬送機構１
６０が位置の調節が行われた電子部品Ｄを吸着すること
で、部品搬送機構１６０に対する電子部品Ｄの位置が補
正され、その後の電子部品Ｄの検査用ソケットへの装着
等が確実に行われる。

【０１１３】（２）Ｘ軸ロボット即ち構成要素となる軌
道が一本のみでも差し支えない。複数のトレイＴ（未検
査品用、検査済品用、空トレイ）、さらには検査用ソケ
ットをＸ軸に沿って一列に配置することで、Ｙ方向につ
いての装置の設置面積および電子部品Ｄの移動量の軽減
を図ることができる。

【０１１４】（３）上記の実施形態では基本的に、一本
のＸ軸ロボットの軌道上に部品搬送機構を２つ設置して
いたが、一本のＸ軸ロボットの軌道上に１つあるいは３
つ以上の部品搬送機構を設置しても差し支えない。ま
た、Ｘ軸ロボットの軌道となるＸ軸レール上をどのよう
な手段で構成するかも適宜に設定できる。図４４は、Ｘ
軸レールと部品搬送機構の対応関係の例を表す模式図で
ある。図４４（Ａ）では、Ｘ軸レール５１１上に２つの
部品搬送機構５１２ａ，５１２ｂが設置されてＸ軸ロボ
ットが構成されている。これは、第１の実施形態に対応
する構成であり、例えばリニアモータを用いて実現する
ことができる。図４４（Ｂ）では、Ｘ軸レール５２１
ａ，５２１ｂ上それぞれに部品搬送機構５２２ａ、５２
２ｂが設置されてＸ軸ロボットが構成され、例えばリニ
アモータを用いて実現できる。図４４（Ｃ）では、Ｘ軸
レール５３１ａ，５３１ｂ上それぞれに部品搬送機構５
３２ａ、５３２ｂが設置されている。ここでは、ボール
ネジを用いて、Ｘ軸ロボット５３１ａ，５３１ｂを構成
している。部品搬送機構５３２ａ、５３２ｂはこのボー
ルネジを回転することで、ボールネジたるＸ軸レール５
３１ａ，５３１ｂ上それぞれを移動する。図４４（Ｄ）
では、Ｘ軸レール５４１上に基体５４２が設置され、そ
の基体５４２上に部品搬送機構５４３ａ、５４３ｂが設
置されている。部品搬送機構５４３ａ、５４３ｂは相対
移動手段５４４によって、基体５４２上においてＸ軸方
向での互いの相対的な位置を変化することができる。こ
こで、Ｘ軸レール５４１および相対移動手段５４４は、
例えばボールネジで構成できる。これらのボールネジを
回転することで、Ｘ軸レール５４１上の基体５４２の移
動および部品搬送機構５４３ａ、５４３ｂの相対的な位
置の変化が独立に行える。なお、Ｘ軸レール５４１およ
び相対移動手段５４４をリニアモータにより構成しても
差し支えない。

【０１１５】（４）部品搬送機構をＹ方向に駆動可能な
Ｙ軸ロボットを用いて構成することもできる。Ｙ軸ロボ
ットはそのヘッド部分をＹ方向に駆動することができる
ものである。具体的には、Ｙ軸レールとそのレール上に
Ｙ方向に移動可能なヘッドからＹ軸ロボットを構成でき
る。ヘッドの移動は、サーバモータ、リニアモータ、ボ
ールネジ等適宜の手段を用いることができる。固定部と
可動部、可動部可動手段でＹ軸ロボットを構成すること
も可能である。可動部可動手段により可動部を固定部に
対して移動する。

【０１１６】Ｙ軸ロボットをＸ軸レール上に駆動可能
に設置することで、そのヘッドをＸ，Ｙ軸双方に移動す
ることが可能となる。従って、Ｙ軸ロボットのヘッドに
吸着ノズルを上下動、および回動可能に支持すること
で、吸着ノズルのＸ，Ｙ，Ｚ，Ｒ方向全てへの移動が可
能となる。

【０１１７】この逆にＹ軸ロボットのヘッド上にＸ軸
レールを設置することも可能である。Ｘ軸レール上に吸
着ノズルを上下動、および回動可能に支持する吸着ヘッ
ドを設置することで、吸着ノズルのＸ，Ｙ，Ｚ，Ｒ方向
全てへの移動が可能となる。この場合、Ｘ軸レールに沿
ってトレイ、検査用ソケットを一列に配置することで、
Ｙ軸ロボットをＹ方向に短くすることが可能となり、装
置のＹ方向の占有面積を低減できる。

【０１１８】Ｙ軸ロボットを用いた場合においてもＸ
軸レールは１本、２本のいずれの構成をもとることがで
きる。Ｘ軸レールが１本の場合には、ストッカーとＸ軸
レール間の距離を低減し、トレイの移動量を小さくでき
る。Ｘ軸レールが２本の場合には、そのそれぞれ上に設
置された吸着ヘッド間の干渉の防止のため、Ｙ軸ロボッ
トにより２つのＸ軸レール間の距離が適宜に調節され
る。このとき、Ｘ軸レールの一方のみをＹ軸ロボットで
支持してもよい。Ｘ軸レール上の吸着ヘッドの一方のみ
をＹ軸ロボットでＹ方向に移動しても、吸着ヘッド同士
の干渉防止を行える。

【０１１９】（５）上記実施形態では、トレイ配置領域
上に空トレイも含めたトレイを配置しているが、空トレ
イをこの領域に配置しないことも可能である。この場合
には、空トレイを収納するストッカーとトレイ配置領域
（未検査品用トレイ配置領域、検査済品用トレイ配置領
域）との間で、必要に応じて空トレイの搬送を行う。こ
の搬送には、吸着ノズルを用いることができる。この場
合には、電子部品を吸着、搬送する吸着ノズル以外にト
レイを専用に吸着、搬送する吸着ノズルを付加するのが
好ましい。

【０１２０】（６）上記実施形態では、吸着ヘッドに単
一の吸着ノズルを配置していたが、２以上の吸着ノズル
を配置してもよい。また、検査用ソケットを１つ、また
は３つ以上としても差し支えない。 （７）Ｘ軸レールが２本の場合に、それぞれのレールに
設置された部品搬送機構１６０に対応して、トレイＴ上
の領域をＹ方向に２つに区分してもよい。この区分され
た領域それぞれにそれぞれのＸ軸レールに設置された部
品搬送機構が分担して電子部品の搬送を行う。このよう
にすると、部品搬送機構１６０のＹ方向の移動量を低減
できる。また、電子部品の搬送の際にトレイをＹ方向ト
レイ搬送機構によってトレイ配置領域内で移動すること
には、その移動量を低減できる。いずれにしてもＹ方向
における装置のサイズの低減が可能となる。

【０１２１】（８）上記実施形態では、搬送ユニットと
検査ユニットとの間で通信を行っていたが、この通信を
不要とすることもできる。例えば、検査位置確認カメラ
１５４によって検査用ソケットを監視し、検査用ソケッ
トへの電子部品の装着が確認されたことをトリガーとし
て、電子部品検査装置による電子部品の搬送および検査
を開始することができる。また、検査用ソケット上に検
査ソケットの種別、検査内容を表すマークを形成してお
くと、検査位置確認カメラによりこのマークを読み取
り、適切な検査を選択することができる。この検査内容
は、検査対象の電子部品の種別、検査手順等が挙げられ
る。搬送ユニットにこのマークと検査内容の対応関係を
表すテーブルを備えておけば、このテーブルを参照する
ことで、適切な検査内容を選択できる。

【０１２２】（９）上記実施形態では、２本のＸ軸ロボ
ットそれぞれ上の吸着ヘッド間での干渉（接触）防止の
ための吸着ヘッドのＹ方向への移動は、検査領域で行わ
れているが、この干渉防止のための移動は装置上のどこ
でも行うことができる。２つの吸着ヘッドの干渉は、ト
レイ配置領域で行うこともできる。またこの移動は、２
つの吸着ヘッドがＸ方向に関して交差する際における干
渉防止に用いることもできる。例えば、２つの吸着ヘッ
ドが互いにＸ軸の逆方向に移動するときに、いずれかあ
るいは双方の吸着ヘッドをＹ方向に移動させ（Ｙ方向に
離間させ）、衝突することなくすれ違うことができる。

【０１２３】（１０）上記実施形態で検査用ソケットの
取付方向検知は、検査板に形成された孔を基台側のセン
サ（例えば、光センサ、リミットスイッチ）で検出する
ことによって行っている。これに代えて他の手段で検査
用ソケットの取付方向を検知することもできる。

【０１２４】例えば、検査板にマーク（例えば、点
状、十字状）を形成しておき、検査位置確認カメラによ
って検査板上のマークを確認することで、検査板、ひい
ては検査用ソケットの取付方向、さらには必要に応じて
位置（Ｘ，Ｙ方向座標）を検知できる。この場合には、
検査板の位置を検知することも可能なので、基台に対す
る検査板の取付誤差にも対応可能となり、検査用ソケッ
トへの電子部品Ｄの接続をより確実に行える。

【０１２５】検査用ソケットに（例えば、点状、十字
状）を形成しておき、検査位置確認カメラによって検査
用ソケット上のマークを確認することで検査用ソケット
の取付方向を検知することもできる。この場合には、検
査用ソケット自体の方向および位置（Ｘ，Ｙ方向座標）
を直接的に検知できるので、検査用ソケットへの電子部
品Ｄの接続をより確実に行える。

【０１２６】このような、検査板、検査用ソケットに
形成するマークは、１つでもよいが、２つ以上とするこ
ともできる。例えば、２つのマークを検査板、検査用ソ
ケットのいずれかに形成し、これを検査位置確認カメラ
で撮像し、２つのマークの座標に基づき検査用ソケット
の位置、方向を検知できる。この場合には、異なる位置
に配置されたマークを用いることで、より正確に検査用
ソケットの位置、方向を検知できる。

【０１２７】検査用ソケットの位置、方向は、以上の
ような取付方向検知手段を設けることなく、入力手段
（入力スイッチ、マウス、キーボード等）を用いて作業
者が入力することも可能である。このときの入力手段は
制御部１９０に対して検査用ソケットの取付方向を教示
する取付方向教示手段として機能する。この取付方向教
示手段は何らかの手段で検査用ソケットの取付方向を教
示すれば足りることから、検査用ソケットの取付位置を
検知する取付位置検知手段を包含することになる。

【０１２８】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば塵
埃等による検査効率の低下防止とトレイの交換等のメン
テナンス容易性とを両立させ、しかも装置の高コスト化
を招きにくい電子部品検査装置を提供できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の第１の実施形態に係る電子部品検査
装置を表す斜視図である。

【図２】 第１の実施形態に係る電子部品検査装置を図
１のＺ軸方向から見た状態を表す上面図である。

【図３】 第１の実施形態に係る電子部品検査装置を図
１のＸ軸方向から見た状態を表す側面図である。

【図４】 第１の実施形態に係る電子部品検査装置を図
１のＹ軸方向から見た状態を表す正面図である。

【図５】 トレイ配置領域とストッカー配置領域の対応
関係を表す模式図である。

【図６】 トレイ配置領域におけるトレイＴの配置例を
表す表である。

【図７】 ストッカーを拡大して表す側面図である。

【図８】 ストッカーを拡大して表す正面図である。

【図９】 ストッカー内におけるトレイＴの移動状態を
表す模式図である。

【図１０】 検査領域を拡大した状態を表す上面図断面
図である。

【図１１】 検査領域を拡大した状態を表す断面図であ
る。

【図１２】 部品位置確認カメラと検査用ソケットの配
置例を模式的に表す上面図である。

【図１３】 部品位置確認カメラと検査用ソケットの配
置例を模式的に表す上面図である。

【図１４】 部品搬送機構を拡大して表した状態を表す
上面図である。

【図１５】 部品搬送機構を拡大して表した状態を表す
側面図である。

【図１６】 カバーの詳細を表す斜視図である。

【図１７】 カバーの詳細を表す側面図である。

【図１８】 電子部品検査装置の動作手順を表すタイミ
ングチャートである。

【図１９】 図１８のタイミングチャートに示された動
作手順に従って動作したときの電子部品検査装置の状態
を表す上面図である。

【図２０】 図１８のタイミングチャートに示された動
作手順に従って動作したときの電子部品検査装置の状態
を表す上面図である。

【図２１】 図１８のタイミングチャートに示された動
作手順に従って動作したときの電子部品検査装置の状態
を表す上面図である。

【図２２】 図１８のタイミングチャートに示された動
作手順に従って動作したときの電子部品検査装置の状態
を表す上面図である。

【図２３】 図１８のタイミングチャートに示された動
作手順に従って動作したときの電子部品検査装置の状態
を表す上面図である。

【図２４】 図１８のタイミングチャートに示された動
作手順に従って動作したときの電子部品検査装置の状態
を表す上面図である。

【図２５】 図１８のタイミングチャートに示された動
作手順に従って動作したときの電子部品検査装置の状態
を表す上面図である。

【図２６】 図１８のタイミングチャートに示された動
作手順に従って動作したときの電子部品検査装置の状態
を表す上面図である。

【図２７】 本発明の第２の実施形態に係る電子部品検
査装置を上面から見た状態を表す上面図である。

【図２８】 本発明の第３の実施形態に係る電子部品検
査装置を上面から見た状態を表す上面図である。

【図２９】 第３の実施形態に係る電子部品検査装置の
部品搬送機構を拡大して表した上面部である。

【図３０】 第３の実施形態に係る電子部品検査装置の
部品搬送機構を拡大して表した側面図である。

【図３１】 本発明の第４の実施形態に係る電子部品検
査装置を表す斜視図である。

【図３２】 第４の実施形態に係る電子部品検査装置を
図３１のＸ方向から見た状態を表す側面図である。

【図３３】 第４の実施形態に係る電子部品検査装置を
図３１のＹ方向から見た状態を表す正面図である。

【図３４】 第４の実施形態に係る電子部品検査装置の
ストッカーを拡大して表す側面図である。

【図３５】 第４の実施形態に係る電子部品検査装置の
ストッカーを拡大して表す正面図である。

【図３６】 第４の実施形態に係る電子部品検査装置の
ストッカー内におけるトレイＴの移動状態を表す模式図
である。

【図３７】 本発明の第５の実施形態に係る電子部品検
査装置を表す側面図である。

【図３８】 本発明の第６の実施形態に係る電子部品検
査装置を表す側面図である。

【図３９】 第６の実施形態に係る電子部品検査装置の
ストッカー内におけるトレイＴの移動状態を表す模式図
である。

【図４０】 部品位置調節機構の一例を拡大して表す上
面図および断面図である。

【図４１】 図４０に示した部品位置調節機構による位
置調節のメカニズムを示す模式図である。

【図４２】 部品位置調節機構の他の例を拡大して表す
上面図および断面図である。

【図４３】 図４２に示した部品位置調節機構による位
置調節のメカニズムを示す模式図である。

【図４４】 Ｘ軸レールと部品搬送機構の対応関係の例
を表す模式図である。

【符号の説明】

１０…電子部品検査装置、１００…電子部品搬送ユニッ
ト、１１０…基台、１１１…空間、１５３…検査板、１
２０…Ｘ軸ロボット、１３０…トレイ配置領域、１４０
…ストッカー配置領域、１４１…ストッカー、１４２…
蓋部、１４３…支柱、１４４…底部、１４５…トレイ分
離フック、１４６…トレイ昇降機構、１４７…トレイ搬
送機構進入領域、１５０…検査領域、１５１…部品位置
確認カメラ、１５２…検査用ソケット、１５３…検査
板、１５４…検査位置確認カメラ、１５５…開口部、１
５６…開口検知部、１６０…部品搬送機構、１６１…Ｘ
方向駆動部、１６２…Ｙ方向駆動部、１６２１…Ｙ方向
駆動基体、１６２２…Ｙ方向駆動体、１６３…Ｚ方向駆
動部、１６３１…Ｚ方向駆動基体、１６３２…Ｚ方向駆
動体、１６４…Ｒ方向駆動部、１６５…吸着ヘッド、１
６５１…ヘッド本体、１６５２…吸着ノズル支持部材、
１６６…吸着ノズル、１７０…Ｘ方向トレイ搬送機構、
１７１…Ｚ方向トレイ駆動部、１７２…トレイ吸着部、
１８０…Ｙ方向トレイ搬送機構、１８１…シャフト、１
８２…移動部、１８３…トレイ載置部、１８４…トレイ
固定部、１９０…制御部、１９１…ＣＰＵ、１９２…Ｒ
ＯＭ、１９３…ＲＡＭ、１９４…通信コントローラ、１
９５…Ｉ／Ｏコントローラ、１９６…モーションコント
ローラ、１９７…画像コントローラ、２００…電子部品
検査ユニット、３００…カバー

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 基台と前記基台上に所定の方向に沿って
   配置された軌道と、 前記基台上に設定され、電子部品を収納する複数の容器
   を前記所定の方向に沿って配置する容器配置領域と、 前記基台上に前記軌道の一端付近の該基台中央寄りに配
   置され、電子部品を検査する検査部を配置する検査領域
   と、 前記軌道上に設置され、かつ電子部品を吸着する吸着ノ
   ズルを装着する吸着ヘッドと、該吸着ノズルを上下に昇
   降するノズル昇降部と、該吸着ノズルを前記軌道に沿っ
   て移動するノズル移動部とを有し、前記複数の容器と前
   記検査部との間で電子部品の搬送を行う部品搬送部と、 前記容器配置領域に対応する開閉部を有し、前記基台の
   一端と対応する他端付近に開閉部を有せず、かつ前記基
   台の上方を覆うカバーと、を具備することを特徴とする
   電子部品検査装置。
2. 【請求項２】 基台と前記基台上に所定の方向に沿って
   配置された軌道と、 前記基台上に設定され電子部品を収納する容器を前記所
   定の方向に沿って配置する容器配置領域と、 前記基台上に前記軌道の一端付近の該基台中央寄りに配
   置され、電子部品を検査する検査部を配置する検査領域
   と、 前記軌道上に設置され、かつ電子部品を吸着する吸着ノ
   ズルを装着する吸着ヘッドと、該吸着ノズルを上下に昇
   降するノズル昇降部と、該吸着ノズルを前記軌道に沿っ
   て移動するノズル移動部とを有し、前記複数の容器と前
   記検査部との間で電子部品の搬送を行う部品搬送部と、 前記基台上に設定され、前記容器を上下方向に収納可能
   とする複数の容器収納部を配置する容器収納部配置領域
   と、 前記容器配置領域と前記容器収納部配置領域との間で前
   記容器を移動可能とする搬送手段と、 前記基台の上方を覆い、前記容器収納部配置領域に対応
   する開閉部を有し、前記基台の一端と対応する他端付近
   に開閉部を有しないカバーと、 を具備することを特徴とする電子部品検査装置。
3. 【請求項３】 前記容器が、未検査の電子部品を収納す
   る未検査品用容器と、検査に合格した電子部品を収納す
   る検査合格品用容器と、検査に合格しなかった電子部品
   を収納する検査不合格品用容器と、電子部品を収納して
   いない空容器に区分されて、前記容器配置領域内の異な
   る場所に配置され、 前記容器収納部が、前記未検査品用容器を収納する未検
   査品用容器収納部と、前記検査合格品用容器を収納する
   検査合格品用容器収納部と、前記検査不合格品用容器を
   収納する検査不合格品用容器収納部と、前記空容器を収
   納する空容器収納部とに区分され、前記容器収納部配置
   領域上の異なる場所に配置され、 前記未検査品用容器から全ての電子部品が搬出されて空
   容器となったときに該空容器を前記空容器収納部に運搬
   し、検査合格品用容器が検査済みの電子部品で一杯にな
   ったときに該検査合格品用容器を検査合格品用容器収納
   部に搬送し、検査不合格品用容器が検査済みの電子部品
   で一杯になったときに該検査不合格品用容器を検査不合
   格品用容器収納部に搬送する容器搬送手段をさらに具備
   することを特徴とする請求項１記載の電子部品検査装
   置。