JP2002311087A

JP2002311087A - 部品試験装置

Info

Publication number: JP2002311087A
Application number: JP2001116761A
Authority: JP
Inventors: Yoshiaki Fukukawa; 義章福川
Original assignee: Yamaha Motor Co Ltd
Current assignee: Yamaha Motor Co Ltd
Priority date: 2001-04-16
Filing date: 2001-04-16
Publication date: 2002-10-23

Abstract

(57)【要約】【課題】試験の進行に伴う新たなトレイ（部品供給側
では試験前の部品を収納したトレイ、部品収納側では空
トレイ）の準備を迅速に行えるようにする。【解決手段】トレイ搬送手段を兼ねるＰ＆Ｐロボット
２０のヘッド２３により第２トレイ収納部１２（第１ト
レイ載置部）のトレイＴｒから部品（試験前の部品）を
取出して供給するようにした。第２トレイ収納部１２に
は、昇降駆動式のテーブル１６が設けられこのテーブル
上に複数のトレイＴｒが積層されている。そして、最上
位のトレイＴｒから部品を取出しつつ、これに伴い該ト
レイＴｒが空になると、ヘッド２３により該空トレイを
搬出するとともに、テーブル１６を上昇させて次ぎに最
上位となるトレイＴｒを所定の部品取出し高さ位置に位
置決めするようにした。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ＩＣチップ等の電
子部品を試験する部品試験装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】半導体装置などの製造過程においては、
最終的に製造されたＩＣチップ等の電子部品に対して各
種試験を施す必要があるが、そのような試験を自動的に
行う装置として、従来特開平１１−３３３７７５号公報
に開示されるような装置がある。

【０００３】この装置は、トレイに収納された試験前の
ＩＣチップを部品吸着用のノズル部材を有する第１搬送
装置により吸着して第１バッファ装置に載せ、第１バッ
ファ装置によりテストヘッド近傍まで搬送した後、部品
吸着用のノズル部材を有する第２搬送装置により第１バ
ッファ装置上のＩＣチップを吸着してテストヘッドに移
載して試験を行う。そして試験後は、第２搬送装置によ
りテストヘッドから第２バッファ装置にＩＣチップを移
載してトレイ載置部まで搬送した後、第１搬送装置によ
って試験結果に応じた所定のトレイ上にＩＣチップを移
し替えるように構成されている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】この種の装置では、試
験前の部品をトレイから取出しながら供給するが、この
部品の取出しに伴いトレイが空になると、該トレイを次
ぎのトレイと交換する必要がある。この場合、例えば、
空になったトレイを搬送装置によってトレイ載置部から
別の場所に搬出した後、部品を満載した次のトレイを搬
送装置により前記トレイ載置部に搬入することが行われ
るが、この交換作業に時間がかかると、その間一時的に
次の部品の取出し動作を中断する必要が生じる等、一連
の試験動作を効率良く行う上で望ましくない事態が生じ
ることが考えられる。

【０００５】同様に、部品（試験後の部品）の収納側に
ついても、部品の収納に伴いトレイが満載状態となる
と、該トレイを次の空トレイと交換する必要があが、こ
の場合もトレイの交換作業に時間がかかると、その間、
一時的に次の部品の収納動作を中断する必要が生じるこ
ととなる。

【０００６】そのため、部品の供給側では部品を収納し
た新たなトレイを出来るだけ速やかに準備する一方、部
品の収納側では部品を収納するための新たな空トレイを
出来るだけ速やかに準備することが必要となる。

【０００７】なお、この種の装置では省スペース化を図
ることも重要な課題であるため、新たなトレイの準備を
速やかに行い得るようにする一方で、装置構成を合理的
にコンパクト化できればより望ましい。

【０００８】本発明は、上記課題に鑑みてなされたもの
であって、第１の目的は、試験の進行に伴う新たなトレ
イ（部品供給側では試験前の部品を収納したトレイ、部
品収納側では空トレイ）の準備を迅速に行えるようにす
ることにあり、第２の目的は、併せて装置構成を合理的
にコンパクト化することにある。

【０００９】

【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
に、本発明は、試験前の部品を収納したトレイを載置す
る第１トレイ載置部と、試験後の部品を収納するトレイ
を載置する第２トレイ載置部とを有し、第１トレイ載置
部のトレイから部品を取出して試験装置本体に供給する
一方、試験後の部品を第２トレイ載置部のトレイに収納
する部品試験装置において、第１トレイ載置部又は第２
トレイ載置部の少なくとも一方に、昇降駆動式のテーブ
ルが設けられ、複数のトレイをこのテーブル上に積層し
た状態で載置するように構成されるとともに、第１トレ
イ載置部又は第２トレイ載置部と所定の空トレイ載置部
との間を移動して空トレイを搬送するトレイ搬送手段が
が設けられているものである。

【００１０】特に、第１トレイ載置部に前記テーブルを
備え、この第１トレイ載置部と空トレイ載置部との間を
移動可能な前記搬送手段を備えるものでは、部品を収納
した複数のトレイが前記テーブル上に積層した状態で載
置され、かつ最上位のトレイが所定の部品取出し高さ位
置に位置決めされた状態で該最上位のトレイから順に部
品が取出されるとともに、この部品の取出しに伴い空に
なった最上位のトレイが前記搬送手段により第１トレイ
載置部から搬出され、このトレイの搬出に伴い、前記テ
ーブルが上昇して次のトレイを所定の部品取出し高さ位
置に位置決めするように前記テーブルおよび搬送手段が
構成される。

【００１１】この装置によると、部品の供給に伴い最上
位のトレイが空になると、トレイ搬送手段により該空ト
レイが搬出され、テーブルが僅かに上昇することにより
次のトレイが準備される。このように部品を収納した複
数のトレイを予めテーブル上に積み重ねた状態で待機さ
せておくこにより、トレイの搬入に要する時間が短縮さ
れ、その結果、新たなトレイを準備するのに要する時間
が削減される。

【００１２】一方、第２トレイ載置部に前記テーブルを
備え、この第２トレイ載置部と空トレイ載置部との間を
移動可能な前記搬送手段を備えるものでは、テーブル上
に載置されたトレイのうち最上位のトレイ（テーブル上
にトレイが一つだけの場合は当該トレイ）が所定の部品
収納高さ位置に位置決めされた状態で該トレイに部品が
収納され、この部品の収納に伴いトレイが満載状態とな
ると、搬送手段により空トレイが第２トレイ載置部に搬
入されて満載状態のトレイ上に積み重ねられるととも
に、テーブルが下降して空トレイを前記部品収納高さ位
置に位置決めするようにテーブルおよび搬送手段が構成
されているものである。

【００１３】この装置によると、部品の収納に伴いトレ
イが満載状態となると、トレイ搬送手段により空トレイ
が搬入されてこの満載状態のトレイ上に重ねられ、テー
ブルが僅かに下降することにより次の部品の収納が可能
となる。このように満載状態となったトレイの上に順次
空トレイを積み重ねて部品を収納していくことにより、
満載状態のトレイを搬出するのに要する時間が短縮さ
れ、その結果、新たな空トレイを準備するのに要する時
間が削減される。

【００１４】上記のような部品試験装置においては、第
２トレイ載置部として試験結果に対応する複数のトレイ
載置部が設けられ、これらトレイ載置部のうち合格部品
に対応するトレイ載置部がその他の結果に対応するトレ
イ載置部に比べて多くのトレイを載置できるように構成
されているのが好ましい。

【００１５】つまり、試験に供される部品のうち大部分
は試験に合格するため、上記のように合格部品に対応す
るトレイ載置部の載置容量を大きく設定しておくこと
で、該合格部品に対応するトレイ載置部のトレイ（部品
収納後のトレイ）の取出し頻度を他のトレイ載置部と同
等にすることが可能となる。

【００１６】また、上記の部品試験装置においては、試
験装置本体および部品搬送用の各種機器を配置するため
の基台が設けられ、この基台上にトレイ搬送手段が設け
られるとともに、この基台の下側に筐体が一体に設けら
れ、前記テーブルがこの筐体内に配設されて該テーブル
上に載置したトレイのうち少なくとも最上位のトレイを
基台に形成された開口部を介して基台上に配置するよう
に構成される。

【００１７】この装置によれば、トレイが積み重ねられ
た状態で収納されるので装置全体を平面的にコンパクト
な構成とすることが可能となる。また、トレイを基台下
の筐体内に収納するので、その分、基台上のスペースを
有効活用することができる。

【００１８】なお、この場合、第１および第２トレイ載
置部を夫々一乃至複数有するとともに、各トレイ載置部
に前記テーブルを備えるものでは、各トレイ載置部を直
線状に一列に配列されるとともに、第２トレイ載置部の
うち合格部品に対応する第２トレイ載置部をこの配列の
うち最端に配列し、前記筐体内におけるこの最端のトレ
イ載置部の側方であって、かつその他のトレイ載置部の
下方に各種駆動制御用の機器を収納するように構成する
のがより好ましい。

【００１９】この構成によれば、前記筐体内にトレイと
駆動制御用の機器とを合理的に収納することが可能とな
り省スペース化の上で有利となる。

【００２０】

【発明の実施の形態】本発明の実施の形態について図面
を用いて説明する。なお、図中には方向性を明確にする
ためにＸ軸、Ｙ軸を示している。

【００２１】図１及び図２は、本発明に係る部品試験装
置を概略的に示している。これらの図に示すように、部
品試験装置１（以下、試験装置１と略す）は、部品の搬
送及び試験中の部品保持（固定）という機械的な役割を
担うハンドラ２と、このハンドラ２に組込まれる試験装
置本体３とから構成されている。

【００２２】試験装置本体３は、上面にテストヘッド４
を備えた箱型の装置で、テストヘッド４に設けられたソ
ケット（図示省略）に部品をセットして該部品の入力端
子にテスト電流を供給しつつ部品の出力端子からの出力
電流を受けることにより部品の品質を判断するように構
成されている。

【００２３】試験装置本体３は、前記ハンドラ２に対し
て脱着可能に構成されており、図示を省略するが、例え
ば試験装置本体３を専用の台車に載せた状態でハンドラ
２の下側から所定の挿着位置に挿入し、テストヘッド４
をハンドラ２の基台２ａに形成された開口部から後記テ
スト領域Ｔａに臨ませた状態で固定することによりハン
ドラ２に対して組付けられている。なお、テストヘッド
４と試験装置本体３とは必ずしも一体である必要はな
く、テストヘッド４のみをハンドラ２に組付け、その他
の部分をハンドラ２から離間した位置に配置してテスト
ヘッド４に対して電気ケーブル等で電気的に接続するよ
うにしてもよい。この場合には、試験装置本体３を除く
ハンドラ２そのものを本発明の部品試験装置とみなすこ
とができる。

【００２４】ハンドラ２は、同図に示すように、上部が
側方に迫出した略箱型の装置で、トレイに収納された部
品を取出して前記テストヘッド４に搬送し、さらに試験
後の部品をその試験結果に応じて仕分けするように構成
されている。以下、その構成について具体的に説明す
る。

【００２５】ハンドラ２の基台２ａ上は、大きく分け
て、トレイＴｒが収納されるトレイ収納領域Ｓａと、テ
ストヘッド４等が配置されるテスト領域Ｔａの二つの領
域に分けられている。

【００２６】トレイ収納領域Ｓａには、Ｘ軸方向に複数
のトレイ収納部が並設されており、当実施形態では、図
２の左側から順に第１〜第５の５つのトレイ収納部１１
〜１５が一列に設けられている。そして、第２トレイ収
納部１２及び第４トレイ収納部１４に試験前（未検査）
の部品を載せたトレイＴｒが、第１トレイ収納部１１に
空のトレイＴｒが、第３トレイ収納部１３に試験後の部
品のうち合格品（Pass）を載せたトレイＴｒが、第５ト
レイ収納部１５に試験後の部品のうち不合格品（Fail）
を載せたトレイＴｒが夫々収納されている。すなわち、
第２トレイ収納部１２及び第４トレイ収納部１４により
本発明の第１トレイ載置部が、第３トレイ収納部１３及
び第５トレイ収納部１５により本発明の第２トレイ載置
部が、第１トレイ収納部１１により本発明の空トレイ載
置部が夫々構成されている。

【００２７】なお、各トレイＴｒは何れも共通の構造を
有しており、図示を省略するが、例えばその表面には複
数の部品収納凹部（収納スペース）が区画形成され、Ｉ
Ｃチップ等の部品が各部品収納凹部内に収納されるよう
に構成されている。

【００２８】各トレイ収納部１１〜１５は、夫々昇降可
能なテーブル上に複数のトレイＴｒを積み重ねた状態で
収納するように構成されており、最上位のトレイＴｒの
みを基台２ａ上に配置し、それ以外のトレイＴｒを基台
下の筐体２ｄ内に収納するように構成されている。

【００２９】具体的には、図３及び図４に示すように、
各トレイ収納部１１〜１５には、上下方向（Ｚ軸方向）
に延びるレール１７が設けられ、このレール１７にテー
ブル１６が移動可能に装着されている。また、サーボモ
ータ１８により回転駆動されて前記レール１７と平行に
延びるボールねじ軸１９が設けられ、このボールねじ軸
１９がテーブル１６のナット部分１６ａに螺合装着され
ている。そして、テーブル１６上に複数のトレイＴｒが
積み重ねられた状態で載置され、サーボモータ１８によ
るボールねじ軸１９の回転駆動に伴いテーブル１６が昇
降することにより、テーブル１６上に積み重ねられてい
るトレイＴｒの数に応じてその最上位のものを各開口部
１１ａ〜１５ａを介して基台上に配置するように構成さ
れている。この際、トレイ収納部１１〜１５の各最上位
のトレイＴｒは後述するＰ＆Ｐロボット２０による所定
の部品受渡し高さ位置（部品の取出し高さ位置、部品の
収納高さ位置）に位置決めされる。

【００３０】また、ハンドラ２の側壁には、図１に示す
ように各トレイ収納部１１〜１５に対応して扉１１ｂ〜
１５ｂが設けられており、これらの扉１１ｂ〜１５ｂを
開くことにより各トレイ収納部１１〜１５に対してトレ
イＴｒを出し入れできるように構成されている。

【００３１】なお、試験に供される部品のうち大部分は
合格品であることを考慮して、上記トレイ収納部１１〜
１５のうち合格部品を収納する第３トレイ収納部１３は
他のトレイ収納部１１，１２，１４，１５に比べてトレ
イＴｒの収納容量が大きく設定されている。これにより
第３トレイ収納部１３に対するトレイＴｒの出し入れ頻
度が他のトレイ収納部に比べてあまりに多くなることが
ないように構成されている。

【００３２】トレイ収納領域Ｓａには、さらに図１及び
図２に示すようにＰ＆Ｐロボット（Pick & Place Robo
t）２０が設けられている。

【００３３】Ｐ＆Ｐロボット２０は、移動可能なヘッド
２３（搬送用ヘッド）を有しており、このヘッド２３に
よって第２又は第４トレイ収納部１２，１４のトレイＴ
ｒから部品を取出して後述するシャトルロボット３０
Ａ，３０Ｂに受け渡すとともに、試験後の部品をシャト
ルロボット３０Ａ，３０Ｂから受け取って第３トレイ収
納部１３又は第５トレイ収納部１５のトレイＴｒに移載
するもので、さらに第１トレイ収納部１１とその他のト
レイ収納部１２〜１５との間でトレイＴｒを搬送するト
レイ搬送機能も有している。

【００３４】詳しく説明すると、上記基台２ａ上にはＹ
軸方向に延びる一対の固定レール２１が設けられ、これ
ら固定レール２１にヘッド支持部材２２が移動可能に装
着されている。また、図示を省略するが、サーボモータ
により回転駆動されて前記固定レール２１と平行に延び
るボールねじ軸が基台２ａ上に設けられ、このボールね
じ軸が前記支持部材２２に設けられたナット部材（図示
省略）に螺合装着されている。さらに、詳しく図示して
いないが、前記支持部材２２にＸ軸方向に延びる固定レ
ールが設けられてこの固定レールにヘッド２３が移動可
能に装着されるとともに、サーボモータにより回転駆動
されて前記固定レールと平行に延びるボールねじ軸が設
けられ、このボールねじ軸がヘッド２３に設けられたナ
ット部分に螺合装着されている。そして、上記各サーボ
モータによるボールねじ軸の回転駆動に応じて支持部材
２２がＹ軸方向に、ヘッド２３がＸ軸方向に夫々移動す
ることにより、ヘッド２３が前記トレイ収納部１１〜１
５及びシャトルロボット３０Ａ，３０Ｂの後記部品受渡
し位置Ｐ１を含む範囲で平面的に移動（Ｘ−Ｙ平面上を
移動）し得るように構成されている。

【００３５】ヘッド２３には、複数のノズル部材が搭載
されており、当実施形態では部品用の一対のノズル部材
２４ａ，２４ｂ（第１ノズル２４ａ，第２ノズル２４
Ｂ）とトレイ用のノズル部材２５（トレイ用ノズル部材
２５という）との合計３つのノズル部材が搭載されてい
る。各ノズル部材２４ａ，２４ｂ及び２５は、図外の電
磁バルブ等を介して負圧発生源に接続されており、後述
する部品搬送時にはノズル部材２４ａ，２４ｂの先端に
部品吸着用の負圧が供給され、該負圧の作用により部品
を吸着するように構成されている。同様に、空トレイＴ
ｒの搬送時はノズル部材２５の先端にトレ吸着用の負圧
が供給され、該負圧の作用によりトレイＴｒを吸着する
ように構成されている。

【００３６】部品吸着用の各ノズル部材２４ａ，２４ｂ
は、ヘッド２３に対して昇降及び回転（ノズル軸回りの
回転）が可能となっており、図示を省略するがサーボモ
ータを駆動源とする駆動機構により夫々作動するように
構成されている。そして、第２トレイ収納部１２等のト
レイＴｒ上、あるいはシャトルロボット３０Ａ，３０Ｂ
の後記テーブル３２の上方にヘッド２３が配置された状
態で、各ノズル部材２４ａ，２４ｂの昇降動作に伴いト
レイＴｒに対する部品の出し入れ等を行うように構成さ
れている。なお、トレイＴｒへの部品の収納に際して
は、このようなノズル昇降動作に加えて各ノズル部材２
４ａ，２４ｂが回転することによりトレイＴｒに対して
予め定められた方向で部品を収納し得るように構成され
ている。

【００３７】トレイ用ノズル部材２５は、ヘッド２３に
対して昇降動作のみが可能となっており、サーボモータ
を駆動源とする駆動機構により作動するように構成され
ている。そして、部品の取出しに伴い空になったトレイ
Ｔｒを吸着した状態で、ヘッド２３の移動に伴い第２及
び第４トレイ収納部１２，１４から第１トレイ収納部１
１にトレイＴｒを移送するとともに、必要に応じて第１
トレイ収納部１１に収納されている空のトレイＴｒを吸
着して第３又は第５のトレイ収納部１３，１５に移送す
るように構成されている。すなわち、当実施形態では、
Ｐ＆Ｐロボット２０が部品搬送装置としてのみではなく
本発明のトレイ搬送手段としても機能するように構成さ
れている。これによりノズル部材２４ａ，２４ｂを移動
させるための機構とトレイ用ノズル部材２５を移動させ
るための機構とが共通化された合理的な構成が達成され
ている。

【００３８】なお、トレイ用ノズル部材２５について
は、トレイＴｒを良好に吸着すべくその先端部（下端
部）に例えば矩形板型の吸着パッドが組付けられること
により広い吸着面積が確保されている。

【００３９】トレイ収納領域Ｓａには、さらに各シャト
ルロボット３０Ａ，３０Ｂの部品受渡し位置Ｐ１の間に
ＣＣＤエリアセンサからなる部品認識カメラ３４が配設
されている。このカメラ３４は、部品の吸着状態（吸着
誤差（ずれ））を画像の認識に基づいて調べるべくＰ＆
Ｐロボット２０の前記ヘッド２３に吸着されている部品
を下側から撮像するもので、試験終了後の部品をトレイ
Ｔｒへの収納に先立って撮像するように構成されてい
る。なお、該部品認識カメラ３４は、ヘッド２３の各ノ
ズル部材２４ａ，２４ｂに吸着されている２つの部品を
同時に撮像し得るように構成されている。

【００４０】一方、テスト領域Ｔａには、前記テストヘ
ッド４、一対のシャトルロボット３０Ａ，３０Ｂ（第１
シャトルロボット３０Ａ，第２シャトルロボット３０
Ｂ）及びテストロボット４０が配設されている。

【００４１】テストヘッド４は、上述の通り基台２ａに
形成された開口部からテスト領域Ｔａの略中央部分に露
出した状態で配設されている。テストヘッド４の表面に
は、部品をセットするための複数のソケット（図示省
略）が配設されており、当試験装置１においては２つの
ソケットがＸ軸方向に並んだ状態で設けられている。

【００４２】各ソケットには、それぞれ部品（ＩＣチッ
プ等）の各リードに対応する接触部（図示せず）が設け
られており、各ソケットに部品を夫々位置決めすると、
部品の各リードとこれに対応する接触部とが接触して該
部品に対して導通試験や、入力電流に対する出力特性試
験等の電気的試験が施されるように構成されている。

【００４３】シャトルロボット３０Ａ，３０Ｂは、トレ
イ収納領域Ｓａとテスト領域Ｔａとの間で部品を搬送し
つつ前記Ｐ＆Ｐロボット２０およびテストロボット４０
に対して部品の受渡しを行う装置で、図２に示すように
夫々Ｙ軸方向に延びる固定レール３１と、サーボモータ
を駆動源とする駆動機構により駆動されて前記固定レー
ル３１に沿って移動するテーブル３２とを有している。
そして、第１トレイ収納部１１及び第５トレイ収納部１
５の近傍に設定されたＰ＆Ｐロボット２０に対する部品
受渡し位置Ｐ１と、テストヘッド４側方に設定されたテ
ストロボット４０に対する部品受渡し位置Ｐ２との間で
前記テーブル３２を固定レール３１に沿って往復移動さ
せながら該テーブル３２により部品を搬送するように構
成されている。

【００４４】テーブル３２には、試験前の部品を載置す
るためのエリアと、試験後の部品を載置するエリアとが
予め定められており、当実施形態では、図５に示すよう
にテーブル３２のうちトレイ収納領域Ｓａ側（同図では
下側）が試験後の部品を載置する第１エリアａ１とさ
れ、その反対側が試験前の部品を載置する第２エリアａ
２と定められている。各エリアａ１，ａ２には、夫々一
対の吸着パッド３３ａ，３３ｂがＸ軸方向に所定間隔
で、具体的にはテストロボット４０の各搬送用ヘッド４
２Ａ，４２Ｂにも浮けられる一対のヘッド本体４３ａ，
４３ｂの最小ピッチ、あるいはそれ以上のピッチであっ
て、かつＰ＆Ｐロボット２０の前記ヘッド２３のノズル
部材２４ａ，２４ｂに対応する間隔で設けられおり、部
品搬送時には、これらパッド３３ａ，３３ｂ上に部品が
置かれて吸着された状態で搬送されるように構成されて
いる。

【００４５】なお、各シャトルロボット３０Ａ，３０Ｂ
とＰ＆Ｐロボット２０及びテストロボット４０との部品
の受渡しは、例えば、以下のようにして行われる。

【００４６】まず、Ｐ＆Ｐロボット２０から各シャトル
ロボット３０Ａ，３０Ｂに試験前の部品を移載する際に
は、図６（ａ）に示すように部品受渡し位置Ｐ１の所定
の位置にＰ＆Ｐロボット２０のノズル部材２４ａ，２４
ｂ（ヘッド２３）が位置決めされ、ノズル部材２４ａ，
２４ｂに第２エリアａ２が対応するようにテーブル３２
が位置決めされ（この位置を第２ポジションという）、
この状態でノズル部材２４ａ，２４ｂの昇降に伴いテー
ブル３２上に部品が移載される。一方、シャトルロボッ
ト３０Ａ（３０Ｂ）からＰ＆Ｐロボット２０に試験後の
部品を移載する際には、図６（Ｂ）に示すようにノズル
部材２４ａ，２４ｂに第１エリアａ１が対応するように
テーブル３２が位置決めされ（この位置を第１ポジショ
ンという）、この状態でテーブル３２上の部品がノズル
部材２４ａ，２４ｂの昇降に伴い吸着される。

【００４７】また、テストロボット４０からシャトルロ
ボット３０Ａ（３０Ｂ）に試験後の部品を移載する際に
は、図６（ｃ）に示すように部品受渡し位置Ｐ２の所定
の位置にテストロボット４０の後記ノズル部材６０ａ，
６０ｂ（ヘッド本体４３ａ，４３ｂ）がＸ軸方向に夫々
位置決めされるとともに、各ノズル部材６０ａ，６０ｂ
に第１エリアａ１が対応するようにテーブル３２が位置
決めされ（第１ポジション）、この状態（すなわち、前
記両固定レール３１の内側（図５では右側）に位置する
吸着パッド３３ｂとノズル部材６０ｂ、固定レール３１
の外側（図５では左側）に位置する吸着パッド３３ａと
ノズル部材６０ａとが夫々一致する状態）でノズル部材
６０ａ，６０ｂの昇降に伴ってテーブル３２上に部品が
載置される。一方、シャトルロボット３０Ａ（３０Ｂ）
からテストロボット４０に試験前の部品を移載する際に
は、図６（ｄ）に示すようにノズル部材６０ａ，６０ｂ
に第２エリアａ２が対応するようにテーブル３２が位置
決めされ（第２ポジション）、この状態でノズル部材６
０ａ，６０ｂの昇降に伴いテーブル３２上から部品が吸
着されるようになっている。

【００４８】テストロボット４０は、上述のように各シ
ャトルロボット３０Ａ，３０Ｂによりトレイ収納領域Ｓ
ａからテスト領域Ｔａに供給される部品をテストヘッド
４に搬送（供給）して該試験の間テストヘッド４に対し
て部品を押圧した状態で保持（固定）し、試験後は、部
品をそのままシャトルロボット３０Ａ，３０Ｂに受け渡
す（排出する）装置である。

【００４９】このテストロボット４０は、シャトルロボ
ット３０Ａ，３０Ｂを跨ぐように基台２ａ上に設けられ
た高架２Ｂに沿って移動する一対の搬送用ヘッド４２
Ａ，４２Ｂ（第１搬送用ヘッド４２Ａ，第２搬送用ヘッ
ド４２Ａ）を有しており、これら搬送用ヘッド４２Ａ，
４２Ｂに夫々搭載された一対のヘッド本体４３ａ，４３
ｂ（第１ヘッド本体４３ａ，第２ヘッド本体４３ｂ）に
よりテストヘッド４に対して部品の供給及び排出を行う
ように構成されている。以下、図１，図２及び図７〜図
９を参照しつつ搬送用ヘッド４２Ａ，４２Ｂの構成につ
いて具体的に説明する。

【００５０】各搬送用ヘッド４２Ａ，４２Ｂは、夫々、
前記高架２Ｂ上に配設されたＸ軸方向の固定レール４５
に沿って移動可能な一対の可動フレーム４６ａ，４６ｂ
（第１可動フレーム４６ａ，第２可動フレーム４６ｂ）
を有している。これらの可動フレーム４６ａ，４６ｂの
うち第１可動フレーム４６ａにはサーボモータ４７が固
定されており、このサーボモータ４７の出力軸にＸ軸方
向に延びるボールねじ軸４８が一体的に連結されるとと
もに、このボールねじ軸４８が第２可動フレーム４６ｂ
に設けられたナット部分４９に螺合装着されている。ま
た、サーボモータ５０により夫々回転駆動される前記固
定レール４５と平行な一対のボールねじ軸５１が基台２
ａに設けられ、これらボールねじ軸５１が搬送用ヘッド
４２Ａ，４２Ｂの各第１可動フレーム４６ａに設けられ
たナット部分５２に螺合装着されている。すなわち、サ
ーボモータ５０によるボールねじ軸５１の回転駆動に伴
い各搬送用ヘッド４２Ａ，４２Ｂが固定レール４５に沿
って夫々Ｘ軸方向に移動するとともに、前記サーボモー
タ４７によるボールねじ軸４８の回転駆動に伴い、各搬
送用ヘッド４２Ａ，４２Ｂにおいて、図９の二点鎖線に
示すように第２可動フレーム４６ｂが第１可動フレーム
４６ａに対して相対的にＸ軸方向に移動し得るように構
成されている。

【００５１】各可動フレーム４６ａ，４６ｂ上には、図
８及び図９に示すようにＹ軸方向に延びる固定レール５
４が夫々配設されている。各レール５４には、ヘッド支
持部材５５が夫々移動可能に支持されており、これらヘ
ッド支持部材５５の先端部（図８では左側端部）に前記
ヘッド本体４３ａ，４３ｂが夫々組付けられている。そ
して、各可動フレーム４６ａ，４６ｂに、サーボモータ
５７により駆動される前記固定レール５４と平行なボー
ルねじ軸５８が夫々固定台５６を介して支持され、これ
らボールねじ軸５８がヘッド支持部材５５に設けられた
ナット部分５９に夫々螺合装着されている。これにより
各サーボモータ５７によるボールねじ軸５８の回転駆動
に伴い各ヘッド本体４３ａ，４３ｂが可動フレーム４６
ａ，４６ｂに対して夫々Ｙ軸方向に移動するように構成
されている。

【００５２】各ヘッド本体４３ａ，４３ｂには、図８に
示すようにノズル部材６０ａ，６０ｂ（第１ノズル部材
６０ａ，第２ノズル部材６０ｂ）が夫々設けられてい
る。各各ノズル部材６０ａ，６０ｂは、図外の電磁バル
ブ等を介して負圧発生源に接続されており、テストヘッ
ド４への部品搬送時等にはノズル部材６０ａ，６０ｂの
先端に部品吸着用の負圧が供給され、該負圧の作用によ
り部品を吸着するように構成されている。

【００５３】各ノズル部材６０ａ，６０ｂは、ヘッド本
体４３ａ，４３ｂのフレームに対して昇降及び回転（ノ
ズル軸回りの回転）が可能となっており、サーボモータ
を駆動源とする図外の駆動機構により駆動するように構
成されている。

【００５４】また、各ヘッド本体４３ａ，４３ｂには、
テストヘッド４への部品供給の際にソケットに付された
基準マークを撮像するためのＣＣＤエリアセンサからな
るソケット認識カメラ６２が夫々搭載されている。

【００５５】テスト領域Ｔａには、さらに前記シャトル
ロボット３０Ａ，３０Ｂの部品受渡し位置Ｐ２とテスト
ヘッド４との間に、夫々ＣＣＤエリアセンサからなる部
品認識カメラ６４Ａ，６４Ｂが配設されている。これら
のカメラ６４Ａ，６４Ｂは、部品の吸着状態（吸着誤差
（ずれ））を画像の認識に基づいて調べるべく各搬送用
ヘッド４２Ａ，４２Ｂにより吸着されている２つの部品
をその下側から同時に撮像し得るように構成されてお
り、図１０に示すように、ヘッド本体４３ａ，４３ｂに
より各シャトルロボット３０Ａ（又は３０Ｂ）から部品
が取り上げられた後、該ヘッド本体４３ａ，４３ｂの移
動に伴い部品認識カメラ６４Ａ（又は６４Ｂ）上方に部
品が配置されることにより部品を撮像するように構成さ
れている。なお、部品受渡し位置Ｐ２、部品認識カメラ
６４Ａ，６４Ｂ及びテストヘッド４は、Ｘ軸と平行な同
一軸線上に配置されており、これにより搬送用ヘッド４
２Ａ，４２Ｂを夫々部品受渡し位置Ｐ２からテストヘッ
ド４に亘って最短距離で移動させながその途中で試験前
の部品を撮像し得るように構成されている。

【００５６】なお、ハンドラ２の上部には、図１に示す
ように防塵用のカバー２ｃが装着されており、テスト領
域Ｔａ及びトレイ収納領域Ｓａを含む基台２ａ上の空間
がこのカバー２ｃによって覆われている。

【００５７】図１１は、試験装置１の制御系をブロック
図で示している。この図に示すように、試験装置１は、
論理演算を実行する周知のＣＰＵ７０ａと、そのＣＰＵ
７０ａを制御する種々のプログラムなどを予め記憶する
ＲＯＭ７０ｂと、装置動作中に種々のデータを一時的に
記憶するＲＡＭ７０ｃとを備えた制御部７０（制御手
段）を備えている。

【００５８】この制御部７０には、Ｉ／Ｏ部（図示せ
ず）を介して試験装置本体３、部品認識カメラ３４，６
４Ａ，６４Ｂ及びソケット認識カメラ６２が電気的に接
続されるとともに、前記Ｐ＆Ｐロボット２０、テストロ
ボット４０、シャトルロボット３０Ａ，３０Ｂの各コン
トローラ７１，７２，７３Ａ，７３Ｂが電気的に接続さ
れている。また、各種情報を制御部７０に入出力するた
めの操作部７５及び試験状況等の各種情報を報知するた
めのＣＲＴ７６等がこの制御部７０に電気的に接続され
ている。

【００５９】そして、前記ＲＯＭ７０ｂに記憶されたプ
ログラムに従ってハンドラ２の各ロボット等の動作が制
御部７０により以下のように制御されるようになってい
る。

【００６０】次に、上記制御部７０の制御に基づく試験
装置１の動作について図１２のタイミングチャートに基
づいて説明することにする。

【００６１】なお、このタイミングチャートは試験動作
中の特定の時点（ｔ０時点）からの動作を示しており、
該ｔ０時点における各ロボット２０，３０Ａ，３０Ｂ，
４０（搬送用ヘッド４２Ａ，４２Ｂ）の状態は以下の通
りである。

【００６２】・Ｐ＆Ｐロボット２０；試験後の部品を
トレイＴｒに収納すべくヘッド２３が移動中の状態にあ
る。つまり、ヘッド２３が第１シャトルロボット３０Ａ
の部品受渡し位置Ｐ１から、部品認識カメラ３４の上方
を通過して第３トレイ収納部１３上又は第５トレイ収納
部１５上に向って移動中の状態になる。なお、認識カメ
ラ３４による部品の撮像は終了しており、既に部品の吸
着誤差（ずれ）等が求められている。

【００６３】・第１シャトルロボット３０Ａ；次回第
１搬送用ヘッド４２Ａに供給する部品をテーブル３２上
に保持した状態で部品受渡し位置Ｐ１に待機した状態に
ある。

【００６４】・第１搬送用ヘッド４２Ａ；次に試験を
行う部品を各ヘッド本体４３ａ，４３ｂにより吸着し、
かつ各部品を部品認識カメラ６４Ａ上方に配置（待機）
した状態、すなわち部品認識カメラ６４Ａによる部品の
撮像に基づき前記吸着誤差演算手段７６により各ノズル
部材６０ａ，６０ｂに吸着されている部品の吸着誤差
（ずれ）が求められた状態になる。

【００６５】・第２シャトルロボット３０Ｂ；次に第
２搬送用ヘッド４２Ｂに供給する部品をテーブル３２上
に保持した状態で部品受渡し位置Ｐ１に待機した状態に
ある。

【００６６】・第２搬送用ヘッド４２Ｂ；テストヘッ
ド４において試験終了直後の状態にある。

【００６７】以上のような状態下において、まず、第２
シャトルロボット３０Ｂのテーブル３２が部品受渡し位
置Ｐ２に移動するとともに（ｔ１時点）、第２搬送用ヘ
ッド４２Ｂの各ノズル部材６０ａ，６０ｂが部品をソケ
ットに押圧する状態から該部品を吸着する状態に切換
し、該試験後の部品を吸着したまま上昇し、上昇が完了
すると、試験後の部品を受け渡すべく第２搬送用ヘッド
４２Ｂが第２シャトルロボット３０Ｂの部品受渡し位置
Ｐ２に移動する（ｔ３時点）。この際、第２搬送用ヘッ
ド４２Ｂの各ヘッド本体４３ａ，４３ｂに吸着されてい
る部品同士のピッチがテーブル３２における吸着パッド
３３ａ，３３ｂのピッチ（Ｘ軸方向の間隔）と一致しな
い場合は、第２搬送用ヘッド４２Ｂの移動中にヘッド本
体４３ａ，４３ｂの間隔が両ソケットの間のピッチに一
致するように第２搬送用ヘッド４２Ｂが駆動制御され
る。

【００６８】部品受渡し位置Ｐ２に第２搬送用ヘッド４
２Ｂが到達すると（ｔ７時点）、まず第２搬送用ヘッド
４２Ｂから第２シャトルロボット３０Ｂのテーブル３２
上に試験後の部品が移載され、次いで、該テーブル３２
に予め載置されている次の部品（試験前の部品）が第２
ロボット本体４２Ｂに受け渡される。詳しくは、第２シ
ャトルロボット３０Ｂのテーブル３２がまず部品受渡し
位置Ｐ２において第１ポジション（図６（ｃ）参照）に
位置決めされ、各ノズル部材６０ａ，６０ｂの昇降に伴
いテーブル３２上の第１エリアａ１に部品が移載される
（ｔ９時点）。その後、テーブル３２が第２ポジション
（図６（ｄ）参照）に位置決めされ、テーブル上の第２
エリアａ２に保持されている部品が各ノズル部材６０
ａ，６０ｂの昇降に伴い吸着される（ｔ１２時点）。

【００６９】第２搬送用ヘッド４２Ｂと第２シャトルロ
ボット３０Ｂとの間での部品の受渡しが完了すると、第
２搬送用ヘッド４２Ｂの移動に伴い各部品が部品認識カ
メラ６４Ｂ上に配置されて（ｔ１８時点）、該部品の撮
像に基づき吸着状態を調べるための処理が行われ、この
処理が完了するとテストヘッド４への搬送待機状態とな
る。

【００７０】一方、上記のように第２搬送用ヘッド４２
Ｂが部品受渡し位置Ｐ２に移動すると、これと同じタイ
ミングで第１搬送用ヘッド４２Ａが次の部品の試験を行
うべくテストヘッド４に移動する（ｔ３時点）。そし
て、第１搬送用ヘッド４２Ａがテストヘッド４に到達す
ると（ｔ５時点）、各ノズル部材６０ａ，６０ｂが下降
し、この下降に伴い各ノズル部材６０ａ，６０ｂに吸着
されている部品がテストヘッド４の各ソケットに夫々同
時に押し付けられた状態で位置決めされ、これにより該
部品の試験が開始される（ｔ８時点）。

【００７１】同タイミングチャートでは詳細に示してい
ないが、ソケットへの部品の位置決めは、まず、第１搬
送用ヘッド４２Ａがテストヘッド４上の目標位置に配置
され、ソケット認識カメラ６２によるマークの撮像に基
づいてソケットに対する第１搬送用ヘッド４２Ａの位置
誤差（ずれ）が求められる。そして、上述したように、
主制御手段７４においてこの誤差と先に求められている
部品の吸着誤差（ずれ）とに基づいてソケットに対する
各部品の補正量が求められ、この補正量に基づいて第１
搬送用ヘッド４２Ａが駆動制御されることにより各ヘッ
ド本体４３ａ，４３ｂの吸着部品の位置が補正された
後、各ノズル部材６０ａ，６０ｂの下降に伴い各部品が
ソケット内に位置決めされる。

【００７２】各部品位置の補正は、まずサーボモータ５
０の作動により第１搬送用ヘッド４２Ａ全体がＸ軸方向
に移動した後、サーボモータ４７の作動により第２可動
フレーム４６ｂのみがＸ軸方向に移動する。これにより
各ヘッド本体４３ａ，４３ｂに吸着されている部品が夫
々Ｘ軸方向に位置補正される。そして、サーボモータ５
７の作動により各ヘッド本体４３ａ，４３ｂが夫々Ｙ軸
方向に移動することにより各部品がＹ軸方向に夫々位置
補正され、さらに不図示の各サーボモータによりヘッド
本体４３ａ，４３ｂの各ノズル部材６０ａ，６０ｂがノ
ズル軸回り回転することにより各部品が夫々回転方向に
位置補正される。これにより各ヘッド本体４３ａ，４３
ｂに吸着されている部品が夫々Ｘ軸方向、Ｙ軸方向及び
回転方向に位置補正されることとなる。なお、ここでは
説明の便宜上、各部品の位置補正をＸ軸方向、Ｙ軸方向
及び回転方向に分けて時系列的に説明したが、実際には
これら各方向の補正が並行して行われることにより各部
品の位置補正が速やかに行われる。

【００７３】テストヘッド４に位置決めされている部品
の試験が終了すると（ｔ２０時点）、各ノズル部材６０
ａ，６０ｂの上昇に伴い部品がソケットから取り外され
（ｔ２３時点）、さらに第１搬送用ヘッド４２Ａの移動
に伴い該試験後の部品が第１シャトルロボット３０Ａと
の部品受渡し位置Ｐ２に搬送される（ｔ２５時点）。そ
して、上述した第２搬送用ヘッド４２Ｂと第２シャトル
ロボット３０Ｂとの部品受け渡し動作と同様にして、第
１搬送用ヘッド４２Ａと第１シャトルロボット３０Ａと
の間で部品の受け渡しが行われる。

【００７４】また、部品受渡し位置Ｐ２への第１搬送用
ヘッド４２Ａの移動開始と同じタイミングで第２搬送用
ヘッド４２Ｂがテストヘッド４に移動し（ｔ２３時
点）、第２搬送用ヘッド４２Ｂの各ヘッド本体４３ａ，
４３ｂに吸着されている次の部品がテストヘッド４に押
し付けられた状態で位置決めされることとなる（ｔ２６
時点）。この際、第２搬送用ヘッド４２Ｂの各ヘッド本
体４３ａ，４３ｂに吸着されている部品同士のピッチが
テストヘッド４上のソケットのピッチと異なる場合に
は、この移動中にヘッド本体４３ａ，４３ｂの間隔が両
ソケットの間のピッチに一致するように第２搬送用ヘッ
ド４２Ｂが駆動制御される。

【００７５】一方、Ｐ＆Ｐロボット２０及び各シャトル
ロボット３０Ａ，３０Ｂについては、テストロボット４
０の各搬送用ヘッド４２Ａ，４２Ｂに対する部品の受け
渡しが連続的に行われ得るように以下のようにそれらの
動作が制御される。

【００７６】まず、第２シャトルロボット３０Ｂについ
ては、第２搬送用ヘッド４２Ｂが部品受渡し位置Ｐ２に
到達すると同時（ｔ７時点）に試験後の部品を受け取る
べく、テーブル３２が部品受渡し位置Ｐ２に移動する。
そして、上記の通りまずテーブル３２が第１ポジション
（図６（ｃ）参照）に配置された状態で第２搬送用ヘッ
ド４２Ｂからテーブル３２へ試験後の部品が受け渡され
（ｔ９時点）、さらにテーブル３２が第２ポジション
（図６（ｄ）参照）に配置されて（ｔ１０時点）試験前
の部品がテーブル３２から第２搬送用ヘッド４２Ｂに受
け渡される（ｔ１２時点）。

【００７７】その後、テーブル３２が部品受渡し位置Ｐ
１に移動を開始し（ｔ１２時点）、まず第２ポジション
（図６（ｂ）参照）にテーブル３２が配置された状態で
（ｔ１４時点）、Ｐ＆Ｐロボット２０からテーブル３２
に次ぎの部品（試験前の部品）が受け渡される（ｔ１６
時点）。次いで、テーブル３２が第１ポジション（図６
（ａ）参照）に配置され（ｔ１７時点）、この状態でテ
ーブル３２からＰ＆Ｐロボット２０に試験後の部品が受
け渡され（ｔ１９時点）、その後、次回の部品受渡しま
で部品受渡し位置Ｐ１において待機状態におかれる。な
お、これは第２シャトルロボット３０Ｂの動作制御であ
るが、第１シャトルロボット３０Ａについても第１搬送
用ヘッド４２Ａとの関係で同様にその動作が制御され
る。

【００７８】一方、Ｐ＆Ｐロボット２０は、先に試験が
終了した部品をその試験結果に応じたトレイＴｒに収納
すべくその動作が制御される。

【００７９】具体的には、各ノズル部材２４ａ，２４ｂ
に吸着された２つの部品（試験後の部品）のうち少なく
とも一つが合格品の場合には、まずヘッド２３が第３ト
レイ収納部１３上に配置され（ｔ２時点）、例えば第１
ノズル部材２４ａの昇降に伴い該合格品がトレイＴｒに
収納される（ｔ４時点）。次いで、第２ノズル部材２４
ｂの吸着部品が合格品である場合にはヘッド２３が同ト
レイＴｒ上の次の部品収納部に僅かに移動した後、一
方、不合格品である場合にはヘッド２３が第５トレイ収
納部１５上に移動した後、第２ノズル部材２４ｂの昇降
に伴い残りの部品がトレイＴｒに収納れる（ｔ６時
点）。こうして第２ノズル部材２４ｂの昇降に伴い部品
がその試験結果に応じて第３トレイ収納部１３、あるい
は第５トレイ収納部１５のトレイＴｒ内に収納される
（ｔ８時点）。なお、両方の部品が不合格品の場合に
は、ヘッド２３が第５トレイ収納部１５上に配置され
（ｔ２時点）、例えば第１ノズル部材２４ａの昇降に伴
い最初の部品がトレイＴｒに収納され（ｔ４時点）、そ
の後、ヘッド２３が同トレイＴｒ上の次の部品収納部上
に配置されて（ｔ６時点）、第２ノズル部材２４ｂの昇
降に伴い残りの部品がトレイＴｒ内に収納される（ｔ８
時点）。

【００８０】なお、各トレイＴｒへの部品の収納時に
は、部品認識カメラ３４の撮像に基づく各部品の吸着誤
差に基づいてヘッド２３の移動及び各ノズル部材２４
ａ，２４ｂの回転が制御されることによりトレイＴｒ内
に部品が正確に収納されることとなる。

【００８１】試験後の部品のトレイＴｒへの収納が完了
すると、ヘッド２３が第２トレイ収納部１２又は第４ト
レイ収納部１４の上方に配置され（ｔ１１時点）、新た
な部品がトレイＴｒから取出される（ｔ１３時点）。そ
して、ヘッド２３が第２シャトルロボット３０Ｂの部品
受渡し位置Ｐ１に移動配置され、上述したように当該新
たな部品が第２シャトルロボット３０Ｂに受け渡される
とともに（ｔ１６時点）、試験後の部品が第２シャトル
ロボット３０ＢからＰ＆Ｐロボット２０に受け渡される
（ｔ１９時点）。

【００８２】このような第２シャトルロボット３０Ｂに
対する部品の受渡しが完了すると、ヘッド２３が部品認
識カメラ３４上に配置され、試験後の部品の撮像に基づ
き該部品の吸着状態を調べるための処理が行われ、この
処理が完了すると、該部品をトレイＴｒに収納すべくヘ
ッド２３等の動作が制御されることとなる（ｔ２２時
点）。なお、ｔ２２時点からｔ２７時点（試験後の次ぎ
の部品を収納すべく第３トレイ収納部１３等の上方にヘ
ッド２３が位置決めされた時点）の間においては、試験
結果に応じて部品が所定のトレイＴｒへ収納された後、
第２トレイ収納部１２等から新たな部品が取出されて第
１シャトルロボット３０Ａのテーブル３２に受け渡され
るとともに、試験終了後の部品を受け取るための一連の
動作が第１第１シャトルロボット３０Ａ及びＰ＆Ｐロボ
ット２０により行われる。この一連の動作は、ｔ２時点
からｔ１９時点の間の動作と同様なものである。また、
ｔ２６時点からｔ２８時点（次の部品の試験が終了した
時点）の間における第２搬送用ヘッド４２Ｂによる試験
動作も、ｔ８時点からｔ２０時点の間における第１搬送
用ヘッド４２Ａによる動作と同様にその動作が制御され
る。

【００８３】このようにして以後、図１０に示すよう
に、部品受渡し位置Ｐ２とテストヘッド４との間で１搬
送用ヘッド４２Ａ（第２搬送用ヘッド４２Ｂ）を移動さ
せつつテストヘッド４に２ずつ部品を搬送、位置決めし
て試験を行う一方で、これと並行して第２搬送用ヘッド
４２Ｂ（又は第１搬送用ヘッド４２Ａ）と第２シャトル
ロボット３０Ｂ（又は第２シャトルロボット３０Ｂ）と
の間で部品の受け渡し（つまり試験後の部品と次回の部
品との受け渡し）を行いながら、さらにこのような第１
搬送用ヘッド４２Ａ及び第２搬送用ヘッド４２Ｂに対す
る部品の受け渡し等が連続的に行われるように各シャト
ルロボット３０Ａ，３０Ｂ及びＰ＆Ｐロボット２０の動
作が制御される。

【００８４】なお、図１３のタイミングチャート中には
示していないが、試験の進行に伴う部品の取出しにより
第２トレイ収納部１２又は第４トレイ収納部１４のトレ
イＴｒ（最上位のトレイ）が空になると、ヘッド２３
（トレイ用ノズル部材２５）により該空トレイＴｒを吸
着して第２トレイ収納部１２等から第１トレイ収納部１
１に搬出するようにＰ＆Ｐロボット２０の動作が制御さ
れた後、第２トレイ収納部１２等においてサーボモータ
１８の作動により前記テーブル１６が上昇し、次のトレ
イＴｒがＰ＆Ｐロボット２０に対する部品受渡し高さ位
置（部品取出し高さ位置）に位置決めされる。これによ
って第２トレイ収納部１２等において次ぎのトレイＴｒ
からの部品の取出しが可能となる。

【００８５】一方、第３トレイ収納部１３又は第５トレ
イ収納部１５において、トレイＴｒ（最上位のトレイ）
に部品が満載状態となると、第１トレイ収納部１１に収
納されている空トレイＴｒをヘッド２３により吸着して
第３トレイ収納部１３等に搬入するようにＰ＆Ｐロボッ
ト２０が動作制御される。この場合、例えば各第３トレ
イ収納部１３等においてまずサーボモータ１８の作動に
より前記テーブル１６が下降し、この状態で空トレイＴ
ｒが満載状態のトレイ上に重ねられることにより、空ト
レイＴｒがＰ＆Ｐロボット２０に対する部品受渡し高さ
位置（部品収納高さ位置）に位置決めされる。これによ
り第３トレイ収納部１３等において試験終了後の次の部
品の収納が可能となる。

【００８６】以上説明したように、この試験装置１で
は、第２，第４トレイ収納部１２，１４のテーブル１６
上に部品（試験前の部品）を収納したトレイＴｒを積層
した状態で載置しておき、その最上位のトレイＴｒから
部品を取出しつつ、該トレイＴｒが空になると、最上位
の該空トレイを搬出し、テーブル１６を上昇させて次の
トレイＴｒを所定の部品取出し高さ位置に位置決めする
ことにより新たなトレイＴｒを準備するように構成して
いるので、次のトレイＴｒを搬入するための動作として
は、テーブル１６をトレイＴｒの厚み分だけ移動（上
昇）させるという僅かな動作で済む。そのため、空トレ
イを搬出した後、全く別の場所から次ぎのトレイを搬入
して位置決めする従来のこの種の装置と比べると、次の
トレイＴｒ（部品）の搬入および位置決めに要する時間
を大幅に短縮することができる。

【００８７】また、第３，第５トレイ収納部１３，１５
についても、テーブル１６上に置かれた空トレイＴｒに
部品を収納しながら、そのトレイＴｒが満載状態になる
と、次のトレイＴｒを所定の部品収納高さ位置に位置決
めし得るようにテーブル１６を下降させて該満載状態の
トレイの上に空トレイＴｒを載置するように構成してい
るので、部品が満載状態となったトレイＴｒを搬出する
ための動作としては、テーブル１６をトレイＴｒの厚み
分だけ移動（下降）させるという僅かな動作で済む。そ
のため、満載状態のトレイを全く異なる場所に搬出して
から、次の空トレイを搬入する従来のこの種の装置と比
べると、満載状態のトレイの搬出に要する時間を大幅に
短縮することができる。

【００８８】つまり、この試験装置１によれば、試験前
の部品を収納した次のトレイＴｒの準備や、試験後の部
品を収納する空トレイＴｒの準備を従来に比べて迅速に
行うことが可能であり、新たなトレイの準備が間に合わ
ずに作業が中断されるといった事態の発生をより有効に
防止することができる。従って、試験装置１における一
連の試験動作をより効率良く行うことが可能になるとい
う効果がある。

【００８９】また、上記のように各トレイ収納部１１〜
１５においては、トレイＴｒを積み重ねた状態で収納す
るように構成されているので、多くのトレイＴｒをハン
ドラ２に収納しながらも平面的な占有スペースを抑える
ことができ、試験装置１のコンパクト化の要請にも良好
に応えることができという効果もある。しかも、基台２
ａの下側に設けた筐体２ｄ内にトレイＴｒを収納し、基
台２ａに形成された開口部を介してトレイＴｒをトレイ
収納領域Ｓａに配置するように構成されているので、基
台上の作業スペースを有効に活用することができるとい
う効果もある。

【００９０】また、第３トレイ収納部１３におけるトレ
イＴｒの収納容量を上述したように他の第２トレイ収納
部１２等に比して大きく設定していることにより、図３
の破線に示すように、筐体２ｄ内には第３トレイ収納部
１３の機構部分の両側（Ｘ軸方向両側）にスペースが形
成されることとなる。従って、このスペースに上記制御
部７０等を含むか種駆動制御用の機器を格納することに
より、トレイＴｒや前記機器を一つの筐体２ｄ内に合理
的に収納することができ、これにより装置構成のコンパ
クト化に寄与し得るとう効果もある。

【００９１】ところで、以上説明した試験装置１は、本
発明に係る部品試験装置の一の実施形態であって、その
具体的な構成は、本発明の要旨を逸脱しない範囲で適宜
変更可能である。例えば、以下のような構成を採用する
こともできる。

【００９２】上記実施形態では、部品の取出しに伴
い第２トレイ収納部１２等においてトレイＴｒが空にな
ると、まずＰ＆Ｐロボット２０により該空トレイを搬出
した後、テーブル１６を上昇させて次のトレイＴｒを部
品受渡し高さ位置に位置決めするようにしているが、例
えば、テーブル１６を上昇させて次のトレイＴｒ（上か
ら２段目のトレイＴｒ）を前記高さ位置に位置決めした
後、最上位の空トレイを搬出するようにしてもよいし、
また、可能な場合にはこのような空トレイの搬出動作と
テーブル１６の上昇動作とを並行して行うようにしても
よい。

【００９３】上記実施形態では、部品の収納に伴い
３トレイ収納部１３等においてトレイＴｒが満載状態と
ると、まずテーブル１６を下降させてから、次の空トレ
イＴｒを満載状態のトレイ上に載置するようにしている
が、例えば、満載状態のトレイ上に空トレイを重ねて載
置した後、テーブル１６を下降させて最上位のトレイＴ
ｒを部品収納高さ位置に位置決めするようにしてもよい
し、また、可能な場合にはこのような空トレイの搬入動
作とテーブル１６の下降動作とを並行して行うようにし
てもよい。

【００９４】上記実施形態では、トレイ収納部１１
〜１５をＸ軸方向に一列に配列しその中央に合格部品を
収納するための第３トレイ収納部１３を配置している
が、例えば、第３トレイ収納部１３を最端に配置するよ
うにしてもよい。このようにすれば、第３トレイ収納部
１３の側部であってその他の第１トレイ収納部１１等の
テーブル１６等の機構部分の下側に連続した広いスペー
スを確保することができ、制御部７０等を含む各種駆動
制御用の機器を収納し易くなるという利点がある。

【００９５】

【発明の効果】以上説明したように、本発明は、試験前
の部品を収納したトレイを載置する第１トレイ載置部又
は試験後の部品を収納するトレイを載置する第２トレイ
載置部に昇降駆動式のテーブルを設けて複数のトレイを
このテーブル上に積層した状態で載置し得るように構成
するとともに、第１トレイ載置部又は第２トレイ載置部
と所定の空トレイ載置部との間を移動して空トレイを搬
送するトレイ搬送手段を設けるようにしたので、例え
ば、第１載置部においては、前記テーブル上に複数のト
レイ（試験前の部品を収納したトレイ）を積層載置し、
最上位のトレイから部品を取出しつつ、該トレイが空に
なった場合には該空トレイをトレイ搬送手段により搬出
してテーブルを上昇させるようにすることにより、部品
の取出しに伴う次のトレイ（部品）の準備を迅速に行う
ことができる。また、第２載置部では、前記テーブル上
に空トレイを載置し、該トレイに部品を収納しつつ、該
トレイが満載状態となると、テーブルを下降させて次ぎ
の空トレイをトレイ搬送手段により搬入して該満載状態
のトレイ上に積み重ねるようにすることにより、部品の
収納に伴う次ぎの空トレイの準備を迅速に行うことがで
きる。従って、新たなトレイの準備が間に合わずに作業
が中断されるといった事態の発生をより有効に防止する
ことができ、その結果、一連の試験動作をより効率良く
行うことが可能になるという効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る部品試験装置を示す斜視概略図で
ある。

【図２】部品試験装置を示す平面図である。

【図３】トレイ収納領域のトレイ収納部の構成を示す断
面図である。

【図４】トレイ収納部の構成を示す図３のＡ−Ａ断面図
である。

【図５】シャトルロボットのテーブルの構成を示す平面
略図である。

【図６】シャトルロボットの部品受渡し位置におけるテ
ーブルの位置を示す図２のＢ矢指図である（（ａ），
（ｃ）はテーブルが第１ポジションに配置された状態、
（ｂ），（ｄ）はテーブルが第２ポジションに配置され
た状態を示す）。

【図７】テストロボットの具体的な構成を示す平面図で
ある。

【図８】テストロボットの具体的な構成を示す図７のＣ
−Ｃ断面図である。

【図９】テストロボットの具体的な構成を示す図８のＤ
−Ｄ断面図である。

【図１０】テスト領域の構成を示す模式図である。

【図１１】部品試験装置の制御系を示すブロック図であ
る。

【図１２】図１１に示す制御系の制御に基づく部品試験
装置の動作を示すタイミングチャートである。

【符号の説明】

１部品試験装置２ハンドラ３試験装置本体４テストヘッド１１第１トレイ収納部１２第２トレイ収納部（第１トレイ載置部）１３第３トレイ収納部（第２トレイ載置部）１４第４トレイ収納部（第１トレイ載置部）１５第５トレイ収納部（第２トレイ載置部）２０Ｐ＆Ｐロボット２３ヘッド（トレイ搬送手段）２４ａ第１ノズル部材２４ｂ第２ノズル部材２５トレイ用ノズル部材３０Ａ第１シャトルロボット３０Ｂ第２シャトルロボット４０テストロボット４２Ａ第１搬送用ヘッド４２Ｂ第２搬送用ヘッド４３ａ，４３ｂヘッド本体７０制御部Ｓａトレイ収納領域Ｔａテスト領域Ｐ１，Ｐ２部品受渡し位置Ｔｒトレイ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続きＦターム(参考） 2G003 AA07 AF05 AF06 AG01 AG11 AG12 AG14 AG16 AH01 AH04 3F030 AA04 AA08 BA02 BB01 BC04 4M106 AA02 BA14 CA15 DG02 DG03 DG07 DG08 DG16 DG20 DG25 DJ05 DJ38

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】試験前の部品を収納したトレイを載置す
る第１トレイ載置部と、試験後の部品を収納するトレイ
を載置する第２トレイ載置部とを有し、第１トレイ載置
部のトレイから部品を取出して試験装置本体に供給する
一方、試験後の部品を第２トレイ載置部のトレイに収納
する部品試験装置において、第１トレイ載置部又は第２トレイ載置部の少なくとも一
方に、昇降駆動式のテーブルが設けられ、複数のトレイ
をこのテーブル上に積層した状態で載置するように構成
されるとともに、前記第１トレイ載置部又は第２トレイ
載置部と所定の空トレイ載置部との間を移動して空トレ
イを搬送するトレイ搬送手段が設けられていることを特
徴とする部品試験装置。
【請求項２】請求項１記載の部品試験装置において、第１トレイ載置部に前記テーブルを備えるとともに、こ
の第１トレイ載置部と空トレイ載置部との間を移動可能
な前記トレイ搬送手段を備えるものであって、部品を収
納した複数のトレイが前記テーブル上に積層した状態で
載置され、かつ最上位のトレイが所定の部品取出し高さ
位置に位置決めされた状態で該最上位のトレイから順に
部品が取出されるとともに、この部品の取出しに伴い空
になった最上位のトレイが前記トレイ搬送手段により第
１トレイ載置部から搬出され、このトレイの搬出に伴
い、前記テーブルが上昇して次のトレイを前記部品取出
し高さ位置に位置決めするように前記テーブルおよびト
レイ搬送手段が構成されていることを特徴とする部品試
験装置。
【請求項３】請求項１又は２記載の部品試験装置にお
いて、第２トレイ載置部に前記テーブルを備えるとともに、こ
の第２トレイ載置部と空トレイ載置部との間を移動可能
な前記搬送手段を備えるものであって、前記テーブル上
に載置されたトレイのうち最上位のトレイが所定の部品
収納高さ位置に位置決めされた状態で該トレイに部品が
収納され、この部品の収納に伴いトレイが満載状態とな
ると、前記トレイ搬送手段により空トレイが第２トレイ
載置部に搬入されて前記満載状態のトレイ上に積み重ね
られるとともに、前記テーブルが下降して空トレイを前
記部品収納高さ位置に位置決めするように前記テーブル
およびトレイ搬送手段が構成されていることを特徴とす
る部品試験装置。
【請求項４】請求項３記載の部品試験装置において、前記第２トレイ載置部として試験結果に対応する複数の
トレイ載置部が設けられ、これらトレイ載置部のうち合
格部品に対応するトレイ載置部がその他の結果に対応す
るトレイ載置部に比べて多くのトレイを載置できるよう
に構成されていることを特徴とする部品試験装置。
【請求項５】請求項１乃至４の何れかに記載の部品試
験装置において、前記試験装置本体および部品搬送用の各種機器を配置す
るための基台が設けられ、この基台上に前記トレイ搬送
手段が設けられるとともに、この基台の下側に筐体が一
体に設けられ、前記テーブルがこの筐体内に配設されて
該テーブル上に載置したトレイのうち少なくとも最上位
のトレイを前記基台に形成された開口部を介して基台上
に配置するように構成されていることを特徴とする部品
試験装置。
【請求項６】請求項５記載の部品試験装置において、第１および第２トレイ載置部を少なくとも含む複数のト
レイ載置部を有するとともに、各トレイ載置部に前記テ
ーブルを備えるものであって、各トレイ載置部が直線状に一列に配列されるとともに、
第２トレイ載置部のうち合格部品に対応する第２トレイ
載置部がこの配列のうち最端に配列され、前記筐体内に
おけるこの最端のトレイ載置部の側方であって、かつそ
の他のトレイ載置部の下方に各種駆動制御用の機器が収
納されていることを特徴とする部品試験装置。