KR100440780B1 - 트레이 반도체 부품배치장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 반도체 부품의 다이싱 및 분류장비(dicing sorting system)에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 반도체 부품을 제덱트레이(Jedec tray)에 고속으로 내려놓기 위한 기구적 장치가 마련된 트레이 반도체 부품배치장치에 관한 것이다.
본 발명에 따른 트레이 반도체 부품배치장치는, 갠트리 타입의 일방향 이송장치와; 승강 운동이 가능한 다수의 흡착노즐이 구비되는 것으로, 상기 일방향 이송장치에 일방향 운동이 가능하게 설치된 제1,2픽업헤드; 상기 제1,2픽업헤드가 흡착한 반도체 부품이 수용되는 제덱트레이를 고정하여 상기 제1,2픽업헤드의 운동방향에 대하여 직각인 방향으로 운동하도록 설치된 이송장치;를 구비하고, 제덱트레이의 공급, 반도체 부품의 배치, 및 제덱트레이의 배출작업을 동시에 진행시켜, 작업효율을 극대화시키는 트레이 반도체 부품배치장치를 제공한다.

Description

트레이 반도체 부품배치장치{Apparatus placing electronic part on tray}
본 발명은 반도체 부품의 다이싱 및 분류장비(dicing sorting system)에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 반도체 부품을 제덱트레이(Jedec tray)에 고속으로 배치하기 위한 기구적 장치가 마련된 트레이 반도체 부품배치장치에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 부품의 다이싱 및 분류장비는 다수의 반도체 패키지가 일체로 제조된 반도체 패키지 집합체를 각각의 반도체 패키지로 자르고, 이들을 불량 유무에 따라 분류하여 트레이에 올려놓은 후에 부품실장 등의 다음 공정으로 보내거나 출하시키는 반도체 제조장비의 일종이다.
상기 다이싱 및 분류장비에서는 다음과 같은 공정을 거치게 된다. 먼저, 일체로 제조된 상기 반도체 패키지 집합체가 공급되면(substrate loading), 상기 반도체 패키지를 검사하고(substrate inspection), 각각의 반도체 패키지로 자르고(dicing), 세정 및 건조한다(washing drying). 또한, 상기 반도체 패키지를 뒤집어(flip unit process), 마킹 검사를 하고(marking inspection), 유닛 볼 검사를 한다(unit ball inspection). 또한, 상기 검사에 의해 분류된 불량품을 불량품 트레이에 올려놓고, 양품을 양품 트레이에 배치하여 다음 공정으로 내보낸다.
이때, 상기 공정 중에서 상기 검사에 의해 분류된 양품을 제덱트레이에 배치하는 공정에서는, 제덱트레이에 부품을 고속으로 올려놓기 위한 장치가 필요하다.
종래에는 공급되는 제덱트레이의 이송을, 로봇(robot)의 핸들러(handler) 방식을 이용하여 제덱트레이를 집어 부품을 올려놓는 작업 위치로 옮겨 놓으면, 픽업헤드부가 고정되어 있는 제덱트레이부의 정해진 부품 놓는 위치에 부품을 가져다 놓는 방식이 주로 이용되어 왔다. 하지만, 실제 다중 노즐 헤드의 구조로 되어 있는 장치에서는 노즐 헤드가 각 노즐마다 제덱트레이의 부품 놓는 위치로 이동하여 정확한 위치제어를 통해 부품을 올려놓는 형태를 가지고 있다.
또한, 다중 노즐 헤드에 설치되어 있는 각 노즐은 다수의 부품을 함께 흡착하여 작업을 진행한다. 따라서, 검사공정 후에 다수의 부품을 각각의 제덱트레이의 위치에 노즐 헤드가 이동하여 정해진 위치에 내려놓아야 하므로 많은 시간이 소요되며 정확한 위치 잡기가 곤란한 문제점이 있다.
또한, 정확한 노즐 헤드의 위치정도가 필요하며, 노즐 헤드를 정해진 위치로 반복 이동하는 형태이므로, 고속의 작업이 필요한 설비에 있어서 고속 작업에 대응하는 데 한계가 있다.
본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 반도체 부품의 다이싱 및 분류장비(dicing sorting system)에 있어서, 반도체 부품을 제덱트레이(Jedec tray)에 고속으로 내려놓기 위한 기구적 장치가 마련된 트레이 반도체 부품배치장치를 제공하는 데 그 목적이 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 트레이 반도체 부품배치장치를 개략적으로 도시한 사시도,
도 2는 도 1의 제덱트레이 이송장치를 개략적으로 도시한 도면,
도 3은 도 2의 제덱트레이 이송장치의 이송프레임을 개략적으로 도시한 사시도,
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 제덱트레이 이송장치를 개략적으로 도시한 도면,
도 5는 도 4의 제덱트레이에 반도체 부품을 배치하기 위한 배치수단을 개략적으로 도시한 도면.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
1...트레이 반도체 부품배치장치 2...일방향 이송장치
3...제1픽업헤드 4...제2픽업헤드
5...이송장치 6...제덱트레이
51...이송수단 52...이송프레임
53...고정수단 54...공급프레임
55...배치수단 56...배출프레임
상기한 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 일 측면에 따른 트레이 반도체부품배치장치는,
갠트리 타입의 일방향 이송장치와;
승강 운동이 가능한 다수의 흡착노즐이 구비되는 것으로, 상기 일방향 이송장치에 일방향 운동이 가능하게 설치된 제1,2픽업헤드;
상기 제1,2픽업헤드가 흡착한 반도체 부품이 수용되는 제덱트레이를 고정하여 상기 제1,2픽업헤드의 운동방향에 대하여 직각인 방향으로 운동하도록 설치된 이송장치;를 구비하는 것을 특징으로 한다.
이때, 상기 이송장치는 이송수단과; 상기 이송수단에 의하여 이송되는 것으로, 상기 제1픽업헤드 및 상기 제2픽업헤드 각각에 대하여 상기 제덱트레이를 이송시켜 상기 제1픽업헤드 및 상기 제2픽업헤드가 흡착하고 있는 상기 반도체 부품이 상기 제덱트레이에 수용되도록 하는 이송프레임; 및 상기 이송프레임에 설치되는 것으로, 부품이 수용되는 상기 제덱트레이를 고정하는 고정수단;을 구비하는 것이 바람직하다.
또는, 상기 이송장치는 상기 제1픽업헤드 및 상기 제2픽업헤드 각각에 대하여 상기 제덱트레이를 이송시켜 상기 제1픽업헤드 및 상기 제2픽업헤드가 흡착하고 있는 상기 반도체 부품이 상기 제덱트레이에 수용되도록 하는 배치수단과; 이송수단과; 상기 이송수단에 의해 이송되는 것으로, 공급되는 상기 제덱트레이를 상기 배치수단에 인계해주는 공급프레임; 및 상기 이송수단에 의해 이송되는 것으로, 상기 반도체 부품이 배치된 상기 제덱트레이를 상기 배치수단으로부터 인계 받아 배출시키는 배출프레임;을 구비하는 것이 바람직하다.
이하, 첨부된 도면을 참조하면서 본 발명의 바람직한 실시예들을 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 트레이 반도체 부품배치장치를 개략적으로 도시한 사시도이다.
도면을 참조하면, 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 트레이 반도체 부품배치장치(1)는 일방향 이송장치(2)와, 제1,2픽업헤드(3,4), 및 제덱트레이 이송장치(5)를 구비하여 이루어진다.
상기 일방향 이송장치(2)는 프레임 위에 지지되는 두 기둥과, 상기 기둥들의 상부를 상호 연결하여 지지하는 지지프레임을 구비하여 이루어지는 갠트리 형태 크레인(gantry type crane)이 사용되는 것이 바람직하다. 또한, 본 실시예의 경우에는 상기 두 기둥들이 상기 프레임에 고정되어 움직이지 않는 것이 바람직하다. 하지만, 본 발명의 목적이 달성되는 한, 상기 갠트리 크레인 이외에도 다양한 형태의 일방향 이송장치가 사용될 수 있다. 또한, 더욱 효율적으로 제덱트레이에 반도체 부품을 배치하기 위하여 상기 일방향 이송장치 자체도 소정 방향으로 움직일 수 있을 것이다.
상기 제1,2픽업헤드(3,4)는 승강 운동이 가능한 다수의 흡착노즐이 구비되는 것으로, 상기 일방향 이송장치(2)에 일방향 운동이 가능하게 설치되는 장치이다. 상기 제1,2픽업헤드(3,4)는 상기 다이싱 및 분류장비에서 다이싱(dicing) 및 검사(inspection) 공정을 거쳐 양품으로 판정된 다수개의 반도체 부품들을 상기 헤드부에 장착된 다중 노즐에 의하여 동시에 흡착하여 상기 제덱트레이(6)에 배치하는 장치이다.
상기 제1,2픽업헤드(3,4)는 종래의 경우 한 개의 6개 노즐을 갖는 1열 헤드가 사용되는 경우도 있으나, 본 실시예의 경우에는 작업을 더욱 효율적으로 진행하기 위하여 두 개의 8개 노즐을 갖는 1열 헤드를 사용하여, 두 개의 상기 픽업헤드(3,4)가 하나의 상기 제덱트레이(6)에 반도체 부품들을 번갈아 가며 교대로 배치시킬 수 있다.
상기 이송장치(5)는 상기 일방향 이송장치(2)에 설치된 상기 제1,2픽업헤드(3,4)의 아래의 상기 일방향 이송장치가 고정되는 프레임 위에 설치되는 것으로, 상기 제1,2픽업헤드(3,4)의 다중 노즐에 흡착된 반도체 부품이 수용되는 상기 제덱트레이(6)를 고정 및 이송하는 장치이다.
상기 이송장치(6)는 공급되는 상기 반도체 부품이 배치될 상기 제덱트레이(6)를 고정하고, 상기 반도체 부품이 상기 제덱트레이(6)에 배치될 때, 효율적으로 작업이 진행될 수 있도록 상기 제1,2픽업헤드(3,4) 각각의 일방향 운동에 대하여 상기 제덱트레이(6)를 그에 대하여 직각인 다른 일방향으로 이송시켜주고, 상기 반도체 부품의 배치작업이 완료된 상기 제덱트레이(6)가 배출될 수 있도록 상기 제덱트레이를 그로부터 해제시켜 주는 장치이다.
도 2는 도 1의 제덱트레이 이송장치를 개략적으로 도시한 도면이고, 도 3은 도 2의 제덱트레이 이송장치의 제덱트레이 이송프레임을 개략적으로 도시한 사시도이다.
도면을 참조하면, 상기 이송장치(5)는 이송수단(51)과, 이송프레임(52), 및고정수단(53)을 구비하여 이루어진다. 또한, 상기 이송장치(5)는 (A)위치로부터 상기 제덱트레이(6)를 공급받고, (B)위치에서 상기 제덱트레이(6)에 상기 반도체 부품을 배치하고, (C)위치에서 상기 반도체 부품이 배치된 상기 제덱트레이(6)를 배출시키도록 구성된다.
상기 이송수단(51)은 상기 제1,2픽업헤드(3,4)의 이송방향과 소정의 각도를 가지는 방향으로 설치되는데, 상기 반도체 부품을 상기 제덱트레이에 효율적으로 배치시키기 위하여 90도의 각도를 가지도록 배치되는 것이 바람직하다. 상기 이송수단(51)은 상기 (A)위치에서 제덱트레이 공급장치(미도시)로부터 상기 제덱트레이(6)를 공급받고, 상기 반도체 부품들을 상기 제1,2픽업헤드(3,4)에 의하여 상기 제덱트레이(6)에 배치시키기 위하여 상기 제덱트레이(6)를 배치위치(B)로 이송시키고, 상기 반도체 부품들이 배치된 상기 제덱트레이(6)를 상기 (C)위치에서 제덱트레이 하적장치(미도시)로 이송시키는 장치이다.
이때, 상기 이송수단(51)은 상기 제1,2픽업헤드(3,4) 각각이 교대로 상기 (B)위치에서 상기 반도체 부품들을 상기 제덱트레이(6)에 배치시킬 때, 상기 제1,2픽업헤드(3,4) 각각의 상기 반도체 부품의 배치위치로 상기 제덱트레이(6)를 이송시킬 수 있는 구조를 갖는다. 즉, 제1,2픽업헤드(3,4)의 일방향 운동에 대하여 직각인 방향으로 제덱트레이(6)가 이동함으로써, 반도체 부품들은 상기 제덱트레이(6)의 평면상에 설정되는 소정의 위치에 배치될 수 있다.
상기 이송수단(51)은 구동부(511)와, 볼스크루(512), 및 가이드수단(513)을 구비하여 이루어진다. 상기 구동부(511)는 상기 볼스크루(512)를 구동하는 요소이다. 상기 볼스크루(512)는 나사부와 너트부를 구비하는 것으로, 상기 나사부는 소정의 커플링에 의하여 상기 구동부의 구동축과 연결되고, 상기 너트부는 상기 이송프레임(52)의 일단에 고정된다. 상기 가이드수단(513)은 상기 이송프레임(52)의 양 끝단에서 상기 이송프레임(52)을 가이드 하는 것으로, 상기 이송프레임(52) 양 끝단의 하면에 설치된 가이드 블록과 이와 결합되도록 상기 이송수단(51)에 상기 이송프레임(52)이 이송되는 방향으로 연장되어 설치되는 가이드 레일을 구비하여 이루어진다.
상기 이송프레임(52)은 상기 이송수단(51)에 의하여 이송되는 것으로, 상기 제1픽업헤드(3) 및 상기 제2픽업헤드(4) 각각에 대하여 상기 제덱트레이(6)를 이송시켜 상기 제1픽업헤드(3) 및 상기 제2픽업헤드(4)가 흡착하고 있는 상기 반도체 부품이 상기 제덱트레이(6)에 수용되도록 하는 것이다.
상기 고정수단(53)은 상기 이송프레임(52)의 양 측면에 설치되는 것으로, 부품이 수용되는 상기 제덱트레이를 고정하는 수단이다. 상기 고정수단(53)은 고정바(531)와, 고정바 가이드(532)와, 고정블록(533), 및 고정실린더(534)를 구비하여 이루어진다.
두 개의 상기 고정바(531)가 상기 이송프레임(52)의 양측에 각각 설치되고, 상기 고정바 가이드(532)는 상기 이송프레임(52)의 양 측면에 고정되는 2이상의 가이드핀과, 상기 고정바(531)에 상기 고정바(531)를 관통하여 형성되어 상기 가이드핀이 가이드 되도록 하는 가이드홀을 구비하여 이루어진다. 상기 고정블록(533)은 상기 고정바(531)의 상면에 설치되는 것으로, 양 측면에서 상기 제덱트레이(6)를고정하는 요소이다. 상기 고정바(531)를 상기 이송프레임(52)의 측면으로 밀착시키는 것으로, 상기 고정블록(533)이 상기 제덱트레이(6)를 양 측면에서 고정하도록 하는 적어도 하나의 상기 고정실린더(534)가 상기 고정바(531)의 양 측면에 설치된다.
이하, 상기한 바와 같이 구성된 본 발명의 일 실시예의 작용을 설명한다.
상기 이송장치(5)의 상기 (A)위치에서 아래에 위치하는 상기 제덱트레이 공급장치로부터 다단으로 적재된 상기 제덱트레이(6)들이 상승 적재되면, 최상층의 상기 제덱트레이(6)가 고정되어 상기 (B)위치로 이동된다. 이때, 다단으로 적재된 상기 제덱트레이(6)들이 상승되어 최상층의 상기 제덱트레이(6)가 소정의 위치에 오면, 상기 고정수단(53)의 고정실린더(534)가 작동되어 상기 고정바(531)가 상기 고정바 가이드(532)들의 가이드를 받으며 안쪽으로 밀리고, 상기 고정바(531)의 위에 고정된 상기 고정블록(533)들이 상기 제덱트레이(6)의 양 측면에서 상기 제덱트레이(6)에 압력을 가하여 고정한다. 그리고, 상기 제덱트레이 적재장치가 다시 아래로 하강하면, 최상층의 상기 제덱트레이와 나머지 제덱트레이들이 분리된다.
상기 이송프레임(52)에 고정된 상기 제덱트레이(6)가 제덱트레이의 배치위치인 (B)위치로 이송되면, 상기 제1,2픽업헤드(3,4)가 번갈아 가며 교대로 상기 반도체 부품들을 상기 제덱트레이(6)에 배치시킨다. 이때, 먼저 상기 제1픽업헤드(3)가 상기 반도체 부품들이 적재되어 있는 버퍼영역(미도시)에서 다수의 반도체부품을 동시에 집어 상기 이송장치(5) 내의 상기 제덱트레이(6) 위로 이송되어 오면, 이와 동시에 상기 이송프레임(52)에 고정된 상기 제덱트레이(6)가 상기 제1픽업헤드(3)에 흡착 지지되는 상기 반도체 부품들이 배치될 수 있는 위치로 이송되고, 상기 제1픽업헤드(3)가 하강하여 상기 반도체 부품들을 상기 제덱트레이(6)에 배치한다.
그리고, 상기 제1픽업헤드(3)가 상승되고, 다시 상기 반도체 부품이 공급되는 버퍼영역으로 이송되면, 그와 동시에 상기 제1픽업헤드(3)와 같은 방법과 순서로 상기 반도체 부품들을 흡착하고있는 상기 제2픽업헤드(4)가 상기 (B)위치로 이송되어 온다. 그와 동시에 상기 제덱트레이(6)를 고정하고 있는 상기 이송프레임(52)을 상기 제2픽업헤드(4)에 흡착 지지되는 상기 반도체 부품들이 배치될 수 있는 위치로 이송되고, 상기 제2픽업헤드(4)가 하강하여 상기 반도체 부품들을 상기 제덱트레이(6)에 배치한다.
상기 반도체 부품의 배치가 완료된 상기 제덱트레이(6)는, 다시 상기 이송프레임(52)을 상기 (C)위치로 이송시키고, 상기 제덱트레이 하적장치를 소정의 위치까지 상승시킨 후에 상기 고정수단(53)을 상기 제덱트레이(6)의 고정시의 역순으로 조작하여 상기 제덱트레이(6)의 고정을 해제하여 상기 제덱트레이 하적장치 위에 상기 반도체 부품들이 배치된 상기 제덱트레이(6)를 외부로 배출시킨다.
상기한 바와 같이, 상기 제1픽업헤드(3) 및 상기 제2픽업헤드(4) 각각이, 상기 이송프레임(52)에 의하여 상기 제1픽업헤드(3) 및 상기 제2픽업헤드(4) 각각의 상기 반도체 부품 배치위치로 이송된 상기 제덱트레이(6) 상에 상기 반도체 부품들을 교대로 배치하여, 배치효율을 극대화시킬 수 있다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 제덱트레이 이송장치를 개략적으로 도시한 도면이다.
도면을 참조하면, 도면을 참조하면, 도시한 제덱트레이 이송장치는 다음 특징들을 제외하고는 전술한 예와 동일한 구성을 가지고 있다. 따라서 동일한 구성요소에 대해서는 도 2에서 사용한 도면부호와 동일한 도면부호를 사용하고, 이들에 대한 자세한 설명은 생략한다.
상기 이송장치(5)는 상기 이송수단(51)과, 공급프레임(54)과, 배치수단(55)과 및 배출프레임(56)을 구비하여 이루어진다. 상기 배치수단(55)은 상기 제1픽업헤드(3) 및 상기 제2픽업헤드(4) 각각에 대하여 상기 제덱트레이(6)를 이송시켜 상기 제1픽업헤드(3) 및 상기 제2픽업헤드(4)가 흡착하고 있는 상기 반도체 부품이 상기 제덱트레이(6)에 수용되도록 하는 수단이다.
상기 배치수단(55)은 상기 공급프레임(54)으로부터 상기 제덱트레이(6)를 인계 받아 상기 제덱트레이(6)에 상기 제1,2픽업헤드에 의하여 상기 반도체 부품을 배치하고, 배치가 완료된 상기 제덱트레이(6)를 상기 배출프레임(56)에 인계해주는 수단이다.
이때, 상기 배치수단(55)이 상기 공급프레임(54)이나 상기 배출프레임(56)보다 낮게 설치되어 있어, 상기 제덱트레이(6)를 상기 공급프레임(54)으로부터 인계 받거나, 상기 배출프레임으로 인계시킬 때, 상기 공급프레임(54) 또는 상기 배출프레임(56)이 상기 배치수단(55)의 위에서 작업을 진행할 수 있도록 하는 것이 바람직하다.
상기 공급프레임(54)은 상기 이송수단(51)에 의해 이송되는 것으로, 공급되는 상기 제덱트레이(6)를 상기 배치수단(55)에 인계해주는 것이다. 상기 배출프레임(56)은 상기 이송수단에 의해 이송되는 것으로, 상기 반도체 부품이 배치된 상기 제덱트레이를 상기 배치수단으로부터 인계 받아 배출시키는 것이다.
도 5는 도 4의 제덱트레이에 반도체 부품을 배치하기 위한 배치수단을 개략적으로 도시한 도면이다.
도면을 참조하면, 상기 배치수단(55)은 배치이송수단(551)과, 고정수단(552), 승강수단(553), 배치프레임(554)을 구비하여 이루어진다. 상기 배치이송수단(551)은 상기 제1,2픽업헤드에 의하여 상기 반도체 부품을 상기 제덱트레이(6)에 배치할 때, 상기 제1,2픽업헤드 각각의 배치위치에 따라 상기 제덱트레이(6)를 움직여 주는 수단이다. 상기 배치이송수단(551)은 구동력을 제공하는 구동부(5511)와 상기 구동부에 의해 구동되는 볼스크루(5512)와, 상기 배치프레임(554)의 이송 시 이를 가이드 하는 가이드수단(5513)을 구비하여 이루어진다.
상기 고정수단(552)은 상기 공급프레임(54)에 의하여 이송되는 상기 제덱트레이(6)를 상기 배치프레임(554)에 고정시키는 수단이다. 상기 고정수단(552)은 상기 배치프레임(554)의 일 측에 설치되어 상기 제덱트레이(6)를 일 측에서 지지하는 고정부(5522)와, 상기 제덱트레이(6)를 사이에 두고 그 반대편 측면에 회동 가능하도록 설치되어 상기 제덱트레이(6)를 상기 고정부와 양 측면에서 고정하는 가동부(5523), 및 몸체가 상기 배치프레임(554)에 고정되고, 일단이 상기 가동부(5523)의 일단과 결합되어 상기 가동부(5523)를 회동시켜 상기 제덱트레이(6)를 고정하도록 하는 고정실린더(5521)를 구비하여 이루어진다.
상기 승강수단(553)은 상기 공급프레임(54)으로부터 상기 배치수단(55)으로상기 제덱트레이(6)를 인계 받을 때, 혹은 상기 배치수단(55)으로부터 상기 배출프레임(56)으로 상기 제덱트레이(6)를 인계시킬 때, 그 위에 상기 제덱트레이(6)를 놓아 상기 고정수단(552)으로 상기 제덱트레이(6)를 고정하거나, 상기 배출프레임(56)의 고정수단으로 상기 제덱트레이(6)를 고정할 수 있도록 하는 수단이다.
상기 배치프레임(554)은 그 위에 상기 고정수단(552)과 상기 승강수단(553)이 설치되고, 상기 배치이송수단(551)의 상기 볼스크루(5512)와 상기 가이드수단(5513)에 연결되어 상기 구동부(5511)에 의하여 이송될 수 있도록 하는 것이다.
이하, 상기한 바와 같이 구성된 본 발명의 다른 실시예에 의한 작용을 설명한다. 다만, 이전의 실시예와 동일한 본 실시의 작용에 대해서는 생략하고, 본 실시예에서 특이한 부분의 작용에 대해서만 설명하기로 한다.
상기 공급프레임(54)이 제덱트레이 공급부 (A)위치로부터 상기 적재부 (B)위치로 이송되어 공급된 상기 제덱트레이(6)를 상기 적재부로 인계하고, 상기 적재부의 상기 배치수단(55)에 의하여 상기 반도체 부품을 적재시키고, 그 사이에 상기 (A)위치로 되돌아간 상기 공급프레임(54)에서 새로운 상기 제덱트레이(6)를 받아들인다. 이때, 상기 배출프레임(56)이 배출부 (C)위치로부터 상기 적재부 (B)위치로 이송되어, 상기 적재부에서 작업이 완료된 상기 제덱트레이(6)를 인계 받아 다시 상기 (C)위치로 되돌아가고, 그 사이에 상기 공급부에 준비된 상기 제덱트레이(6)를 다시 상기 적재부로 인계한다.
이때, 상기 공급프레임(54)이 상기 배치수단으로 이송되면, 상기 승강수단(553)으로 상기 제덱트레이(6)를 지지하고, 상기 공급프레임이 (A)위치로 되돌아 가면, 상기 승강수단(553)을 작동시켜 상기 제덱트레이(6)를 상기 배치수단(55)의 고정수단(552)의 높이에 맞추고 상기 제덱트레이(6)를 고정한다. 또한, 상기 제덱트레이(6)를 상기 배치수단(55)으로부터 상기 배출프레임(56)으로 인계할 때는 이와 역순으로 진행한다.
상기한 바와 같이 이루어진 본 발명의 갖는 효과는 다음과 같다.
본 발명에 따른 트레이 반도체 부품배치장치에서는, 반도체 부품을 제덱트레이에 고속 순차적으로 배치하기 위한 기구적 장치가 마련된 트레이 반도체 부품배치장치를 제공하였다.
또한, 제덱트레이의 공급, 반도체 부품의 배치, 및 제덱트레이의 배출작업을 동시에 진행시켜, 작업효율을 극대화시켰다.
또한, 두 개의 픽업헤드가 교대로 작업하고, 제덱트레이에 반도체 부품을 배치할 때 해당 픽업헤드에 맞추어 이송장치에 고정된 제덱트레이가 움직이므로 고속의 효율적인 반도체 부품 배치를 할 수 있다.
양품과 불량품 각각에 대하여 구분하여 별개의 장치에서 배치작업을 수행하므로, 작업을 더욱 효율적으로 진행할 수 있다.
본 발명은 첨부된 도면에 도시된 실시예들을 참고로 설명되었으나, 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다.

Claims (5)

  1. 삭제
  2. 갠트리 타입의 일방향 이송장치와; 승강 운동이 가능한 다수의 흡착노즐이 구비되는 것으로, 상기 일방향 이송장치에 일방향 운동이 가능하게 설치된 제1,2픽업헤드; 및 상기 제1,2픽업헤드가 흡착한 반도체 부품이 수용되는 제덱트레이를 고정하여 상기 제1,2픽업헤드의 운동방향에 대하여 직각인 방향으로 운동하도록 설치된 이송장치;를 구비하는 것으로,
    상기 이송 장치가,
    상기 제덱트레이를 상기 제1,2픽업헤드의 운동방향에 대하여 직각인 방향으로 이송시켜 상기 반도체 부품이 수용되도록 하는 이송 프레임,
    상기 이송 프레임을 이송하는 이송수단, 및
    상기 이송 프레임에 설치되어 상기 제덱트레이를 고정하는 고정수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 트레이 반도체 부품배치장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 고정수단이,
    상기 이송프레임의 양측에 설치되는 두 개의 고정바와,
    상기 이송프레임의 양 측면에 고정되는 2이상의 가이드핀과, 상기 고정바에 상기 고정바를 관통하여 형성되어 상기 가이드핀이 가이드 되는 가이드홀을 구비하는 고정바 가이드와,
    상기 고정바의 상면에 설치되는 것으로, 양측에서 상기 제덱트레이를 고정하는 2이상의 고정블록, 및
    상기 고정바를 상기 이송프레임의 측면으로 밀착시키는 것으로, 상기 고정블록이 상기 제덱트레이를 양 측면에서 고정하도록 하는 적어도 하나의 고정실린더를 구비하여 된 것을 특징으로 하는 트레이 반도체 부품배치장치.
  4. 제2항에 있어서,
    상기 이송장치가,
    상기 제덱트레이를 상기 제1픽업헤드 및 상기 제2픽업헤드 각각에 대하여 이송시켜 상기 제1픽업헤드 및 상기 제2픽업헤드가 흡착하고 있는 상기 반도체 부품이 상기 제덱트레이에 수용되도록 하는 배치수단과,
    공급되는 상기 제덱트레이를 상기 배치수단에 인계해주는 공급프레임과,
    상기 반도체 부품이 배치된 상기 제덱트레이를 상기 배치수단으로부터 인계 받아 배출시키는 배출프레임, 및
    상기 공급프레임 및 상기 배출프레임을 이송하는 이송수단을 구비하여 된 것을 특징으로 하는 트레이 반도체 부품배치장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 이송수단이,
    구동부와,
    상기 구동부에 의해 구동되는 것으로, 나사부와 너트부를 구비하고 상기 너트부에 상기 이송프레임의 일단이 고정되는 볼스크루, 및
    상기 이송프레임의 양 끝단에서 상기 이송프레임을 가이드 하는 가이드수단을 구비하여 된 것을 특징으로 하는 트레이 반도체 부품배치장치.
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