JP3537682B2 - マウンタの部品認識処理装置および部品認識処理方法 - Google Patents
マウンタの部品認識処理装置および部品認識処理方法Info
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Description
の吸着異常を画像認識するマウンタの部品認識処理装置
および部品認識処理方法に関するものである。
は、いわゆる「部品立ち」などの吸着姿勢の異常や、
「異部品吸着」などの他部品あるいは不良部品の吸着の
他、吸着ミスなどによる電子部品を吸着していない「部
品なし」などの異常がある。「部品なし」の状態では、
電子部品を捨てにゆく(廃棄)動作は無駄となり、且つ
部品切れの可能性も含んでいるため、「部品なし」とそ
の他の異常とを識別することが好ましい。一方、従来の
マウンタ(電子部品装着装置)、特に多機能マウンタで
は、吸着した電子部品の吸着異常を画像認識する場合
に、反射光を用いて認識を行っている。反射光を用いた
認識処理では、単純に所定の階調値の画素をカウントし
て、吸着異常の有無を判別し、認識処理を短時間で円滑
に行うようにしている。反射光による部品認識では、
「部品なし」と、「部品立ち」などのその他の要因とを
判別することは可能であるが、実際には、吸着ノズルな
どの電子部品以外の部分をマスクしたり(これとて難し
いが)、電子部品の光る部分と光難い部分とをデータと
して持っている必要があり、処理が複雑で時間がかかる
と共に、判別を精度良く行うことは不可能であり、タク
トタイムに大きな影響を及ぼすことになる。そこで、反
射光を用いて電子部品の配置とサイズを簡単に識別し、
「部品なし」の状態を、真空吸引系に真空センサを設
け、真空度の差圧検出により、別途検出するようにして
いる。
認識処理では、吸着ノズル(ノズル孔)に比して、電子
部品が小さい場合に、「部品立ち」によるエアーのリー
クと「部品なし」によるエアーのリークとの間で、差圧
検出を精度よく行うことが不可能となり、検出ミスが頻
発する問題があった。もっとも、「部品なし」は、ライ
ンセンサなどを用いることで、正確に検出することがで
きるが、電子部品の吸着位置が複数ある多機能マウンタ
などでは、その構造上タクトタイムを犠牲にしないかぎ
り、これを用いることはできない。
の原因が「部品なし」かそれ以外のものかを簡単に識別
することができるマウンタの部品認識処理装置および部
品認識処理方法を提供することをその目的としている。
置は、吸着ノズルに吸着した電子部品を反射光照明およ
び透過光照明のいずれでも照明可能な照明手段と、照明
手段により照明された電子部品を撮像し電子部品を画像
認識する部品認識手段と、照明手段および部品認識手段
を制御する制御手段とを備え、制御手段は、照明手段の
反射光照明により照明された電子部品を部品認識手段に
より画像認識させると共に、部品認識手段が電子部品を
吸着異常と認識した場合に、照明手段の反射光照明を透
過光照明に切り替えて、部品認識手段に電子部品を再
度、画像認識させることを特徴とする。
ノズルに吸着した電子部品を反射光照明により撮像して
電子部品を画像認識すると共に、画像認識において電子
部品が吸着異常と認識された場合に、反射光照明を透過
光照明に切り替えて電子部品を再度、画像認識すること
を特徴とする。
撮像した電子部品が吸着異常と認識され場合に、反射光
照明を透過光照明に切り替えて再度、画像認識するよう
にしているため、吸着異常が発生したときに、電子部品
および吸着ノズルのシルエットを画像認識することにな
る。透過光によるシルエットとしての画像は、反射光に
よる画像(光っている部分とそうでない部分とが混在す
る)に比して、二値化が容易で、吸着ノズルのデータか
ら吸着ノズル以外のものが写っているか否かを容易に識
別することができる。これにより、認識する画像に吸着
ノズルしか写っていない場合には、電子部品が吸着され
ていないものと認識することができる。
段は、部品認識手段による電子部品の再画像認識におい
て、吸着ノズル以外のものが存在するか否かを識別させ
ることが、好ましい。
て、電子部品の再画像認識において、吸着ノズル以外の
ものが存在するか否かを識別することが、好ましい。
のデータを用いた簡単な処理で、電子部品が吸着されて
いるか否かを簡単且つ正確に識別することができる。
明の一実施形態に係るマウンタの部品認識処理装置およ
び部品認識処理方法を、多機能マウンタ(電子部品装着
装置)に適用した場合について説明する。このマウンタ
は、各種の電子部品を各種形態の異なる基板に実装可能
に構成されている。図1はマウンタの平面図であり、同
図に示すように、マウンタ1は、機台2と、機台2の中
央部に左右方向に延在する基板供給部3と、機台2の前
部(図示の下側)に配設した第1部品供給部4aと、機
台2の後部(図示の上側)に配設した第2部品供給部4
bと、機台2の前部に移動自在に配設した第1XYステ
ージ5aと、機台2の後部に移動自在に配設した第2X
Yステージ5bとを備えている。
着および装置するための第1ヘッドユニット6aが、同
様に第2XYステージ5bには、第2ヘッドユニット6
bがそれぞれ搭載されている。各ヘッドユニット6a,
6bには、吸着ノズル7を装着した2台の装着ヘッド
8,8が搭載されている他、2台の装着ヘッド8,8の
間に基板認識ユニット9が搭載されている。また、機台
2上には、基板供給部3を挟んで、各一対2組の部品認
識ユニット10,10,10,10と、2台のノズルス
トッカ11,11とが、それぞれ配設されている。この
場合、前部に位置する両部品認識ユニット10,10お
よびノズルストッカ11は第1ヘッドユニット6aに対
応し、後部に位置する両部品認識ユニット10,10お
よびノズルストッカ11は第2ヘッドユニット6bに対
応している。
小さい電子部品は、主に第1部品供給部4aおよび第2
部品供給部4bから供給され、多リード部品など大きい
電子部品は、主に図示しないトレイ形式の部品供給部か
ら供給される。また、基板は、基板供給部3により左方
から供給されて機台2の中央に不動にセットされ、右方
に排出される。例えば、第1XYステージ5aを用いる
電子部品の実装では、第1XYステージ5aにより、第
1ヘッドユニット6aを第1部品供給部(他の部品供給
部でも可)4aに臨ませ、所望の電子部品を吸着し、次
にこの電子部品を部品認識ユニット10に臨ませて位置
認識し、更に第1ヘッドユニット6aを基板の所定の位
置まで移動させて、基板認識ユニット9で基板位置を認
識した後、電子部品を基板に装着する。なお、通常、第
1XYステージ5aと第2XYステージ5bとは交互運
転となる。
4bは、いずれも多数のテープカセット12を横並びに
配設したものである。各テープカセット12には、キャ
リアテープ(図示では省略)に装填された状態で電子部
品が収容され、電子部品はテープカセット12の先端か
ら1つずつ供給される。通常の運転において、第1ヘッ
ドユニット6aが装着動作している場合には、第2部品
供給部4bでテープカセット12の交換作業が行われ、
第2ヘッドユニット6bが装着動作している場合には、
第1部品供給部4aでテープカセット12の交換作業が
行われる。
ージ5bは、機台2の左右両端部に配設した一対のY軸
ガイドレール14,14に案内されて、前後方向(Y軸
方向)に移動するY動ビーム15,15を、それぞれ有
している。第1XYステージ5aのY動ビーム15は、
左部のボールねじおよびこれを回転させるY軸モータ
(いずれも図示省略)により、Y軸方向(前後方向)に
進退する。同様に、第2XYステージ5bのY動ビーム
15は、右部のボールねじおよびこれを回転させるY軸
モータ(いずれも図示省略)により、Y軸方向に進退す
る。
のものであり、それぞれX軸ガイドレール16を有し、
上記の駆動系と同様に、ボールねじおよびX軸モータ
(いずれも図示省略)の構成で、上記の各ヘッドユニッ
ト6a,6bをX軸方向(左右方向)に進退させる。こ
のように、各ヘッドユニット6a,6bは、X軸方向お
よびY軸方向、すなわち水平面内において移動自在とな
っている。
装置21と、クランプ装置21の図示左側に連なる基板
搬入機構22と、クランプ装置5の図示右側に連なる基
板搬出機構23とを有している。基板は、基板搬入機構
22により、装置外からクランプ装置21に搬入され、
クランプ装置21で電子部品の装着を受けるべく不動に
セットされる。そして、電子部品の装着が完了した基板
は、クランプ装置21から基板搬出機構23を介して装
置外に搬出される。この場合、基板搬入機構22には供
給待機状態の基板が有り、また基板搬出機構23には排
出待機状態の基板が有り(図示では省略)、これら基板
は順送りで搬送される。
に吸着された電子部品の吸着姿勢(吸着位置や吸着角
度)を、部品認識ユニット10により画像認識し、その
認識結果に基づいて、電子部品の吸着姿勢を補正してか
らこれを基板に装着するようにしている。この画像認識
は、電子部品の照射した光の反射光で行われるが、認識
結果がNG(吸着異常)となった場合には、反射光を透
過光に切り替えて再認識を行い、NGの原因が、「部品
なし」(電子部品を吸着していない)か、それ以外のも
のかを判別するようにしている。そこで以下、部品認識
ユニット10廻りの構造を説明すると共に、画像認識処
理を含む制御系について説明する。
廻りの構造を表している。図2は反射光により電子部品
を撮像する場合を表しており、図3は透過光により電子
部品を撮像する場合を表している。これらの図に示すよ
うに、部品認識ユニット10は、装着ヘッド8の吸着ノ
ズル7に吸着された電子部品Aを撮像する部品認識カメ
ラ31と、電子部品Aを照明する照明器具32とを有し
ている。照明器具32は、反射光照明器具32aと透過
光照明器具32bとから成り、反射光照明器具32a
は、部品認識カメラ31の上側に配設され、透過光照明
器具32bは装着ヘッド8に配設されている。
は、下部に部品認識カメラ31が臨む開口34を形成し
た内側が椀状のLEDホルダ35と、LEDホルダ35
の内側に取り付けた多数のLED36とで構成されてい
る。多数のLED36は、水平方向に環状に列設したL
EDアレイを上下方向に複数組(複数段)並べてもので
あり、電子部品Aの種別により、各組のLEDアレイを
適宜点灯することにより、電子部品Aをその種別により
適切な角度で照明できるようになっている。
32bは、装着ヘッド8のノズル装着部に広く設けた拡
散板37と、拡散板37の内側に配設した多数のLED
38とで構成されている。また、拡散板37の開口部分
(図示省略)を補うように、吸着ノズル7自体にも小型
の拡散板39が設けられている。この場合には、電子部
品Aの陰影(シルエット)を撮像することになる。例え
ば、図6(a)の撮像画像は、反射光照明器具32aを
用いた場合であり、また図7(a)の撮像画像は、透過
光照明器具32bを用いた場合であり、これら反射光照
明器具32aと透過光照明器具32bとは、制御系を介
して適宜切り替え得るようになっている。
系を構成する制御ユニットについて説明する。同図に示
すように、制御ユニット25は、制御部本体50と、タ
ッチパネル51と、ハードディスクや光磁気ディスク等
の外部記憶装置(ES)52とを備えている。
を記憶するNCプログラム領域521と、電子部品Aの
部品ライブラリデータを記憶する部品ライブラリデータ
領域522と、吸着ノズル7のノズルデータを記憶する
ノズルデータ領域523と、その他の各種プログラムや
各種データを記憶するその他の領域524を有してい
る。部品ライブラリデータには、対応する吸着ノズル1
3の種別がID番号で指定された状態で含まれている。
る部品ライブラリデータを検索することで、自動的に吸
着ノズル13の種別が確定して吸着ノズル13の交換が
行われ、またこの部品ライブラリデータに基づいて、上
記の反射光照明器具の照明角度などが確定する。さら
に、部品認識においては、部品ライブラリデータに基づ
いて、吸着した電子部品の位置およびサイズの照合がお
こなわれ、且つノズルデータに基づいて、透過光の下で
吸着ノズル7以外のものが画像認識されるか否かの判別
が行われる(詳細は後述する)。
502、RAM503、I/Oコントローラ(IOC)
504、外部記憶コントローラ(ESC)505を備
え、相互に内部バス506により接続されている。RO
M502には、画面表示処理やNGの処理などを含む種
々の制御プログラムの他、システム立上げ用のプログラ
ムなどが内蔵されている。RAM503は、制御部本体
50の内部記憶手段として例えば部品認識ユニット10
で撮像した部品画像を記憶するバッファ等に使用され
る。
部品供給部4、基板供給部3、ヘッドユニット6、部品
認識ユニット10およびモニター53等の周辺装置と接
続されている。そして、IOC504は、CPU501
からの指令に従い、これら周辺装置と制御部本体50と
の間の各種制御信号および各種データの入出力を制御す
る。ESC505は、CPU501からの指令に従い、
ES52を駆動・制御して、ES52と制御部本体50
との間の各種制御信号および各種データの入出力を制御
する。
グラムやES52の制御プログラム等に従い、RAM5
03の作業エリアやES52の退避エリア等を使用し
て、部品認識ユニット10で撮像された電子部品の認識
処理の他、部品装着処理その他の電子部品装着装置1と
して必要なデータ処理の全般を行い、IOC504やE
SC505を介して、電子部品装着装置1全体の制御を
行う。また、タッチパネル51は、電子部品装着装置1
の入力・編集・表示手段であり、オペレータによるタッ
チ入力により、各種指示や各種データを入力して編集等
ができ、また、各種のエラー表示(NG表示)等を行
う。
部品認識ユニット10を用いた電子部品Aの部品認識に
ついて説明する。このマウンタでは、通常運転において
は、上記の反射光照明器具32aを用いて電子部品Aの
画像認識が行われ、認識の結果、NGとなった場合に
は、反射光照明器具32aから透過光照明器具32bに
切り替えて、再度画像認識が行われる。図5は、吸着ノ
ズル7に吸着された電子部品(チップコンデンサ)Aが
正常に認識された場合であり、金属製の端子部分は強く
光り、パッケージ部分は弱く光っている。また、背後に
は吸着ノズル7の先端が写っている。この場合には、電
子部品Aの位置(X・Y)および角度(Z)が認識さ
れ、これに基づいて、電子部品Aの装着のための位置お
よび角度が補正される。
結果、NG(エラー)となった場合である。図6(a)
は、電子部品が立ち姿勢で吸着された場合(いわゆる
「部品立ち(斜めに立っている)」)であり、また図6
(b)は、電子部品が吸着されていない場合(いわゆる
「部品なし」)である。これらの場合には、撮像画像と
部品ライブラリーデータとの照合結果(画素のカウント
値)が異なり、吸着異常(NG)となる。この場合に
は、「部品立ち」も「部品なし」も一括してNGとな
り、その判別はつかない。そこで、この実施形態では、
NGとなった電子部品を廃棄する前に、これを透過光照
明器具を用いて再度認識するようにしている。
(a)および(b)に対応する透過光による撮像画像で
あり、それぞれ電子部品と吸着ノズルとが、シルエット
で写し出されている。そして、この撮像画像に対し、ノ
ズルデータを用いて吸着ノズル以外ものが存在するか否
かを識別する。ノズルデータからノズル先端の画素数は
確定するため、画像の画素数をカウントしてこれらを比
較すれば、吸着ノズル以外ものが存在するか否かを簡単
に判別することができる。
すれば、電子部品の吸着姿勢に異常(「部品立ち」)が
あるか、電子部品自体に欠陥(「欠け」など)があるか
などが想定されるため、装着を断念してこれを廃棄する
(廃棄位置まで移動して廃棄)。また、吸着ノズル以外
のものが存在しなければ、電子部品を吸着していないこ
と(「部品なし」)が想定されるため、再度、電子部品
の吸着動作を行う(リカバリー)ようにする。もちろ
ん、「部品なし」が連続する場合には、部品切れが想定
されるため、装置を停止させる。なお、これら一連の認
識処理は自動で行われるが、これらの撮像画像をマニュ
アル操作でモニターに写し出せるようにすることが、好
ましい。
を用いて画像認識した電子部品に吸着異常が生じたとき
に、この電子部品を再度、透過光を用いて画像認識する
ようにしているため、吸着異常の原因が、「部品なし」
なのか、「部品立ち」などの「部品なし」以外のものな
のかを簡単に認識処理することができる。このため、原
因を絞り込むことができ、その究明を迅速に行うことが
できる。また、「部品無し」の場合には、装置を停止さ
せることなく、部品吸着のリカバリー動作を行わせるこ
とができる。さらに、従来のようにラインセンサなどを
必要とせず、且つ処理速度を低下させることなく、正確
な処理を行うことができる。
(ロータリー式)にも、適用可能である。
認識処理装置および部品認識処理方法によれば、反射光
照明により撮像した電子部品が吸着異常と認識され場合
に、反射光照明を透過光照明に切り替えて再度、画像認
識するようにしているため、吸着異常が発生した場合
に、その原因が「部品なし」かそれ以外のものかを簡単
に識別することができる。すなわち、極めて簡単な制御
処理動作で、吸着異常が「部品なし」かそれ以外の原因
かを認識することができ、装置の無用な停止等を回避す
るなどが可能となり、低コストで装置の信頼性を高める
ことができる。
よび部品認識処理方法を適用したマウンタの平面図であ
る。
ニット廻りの断面図である。
ニット廻りの断面図である。
である。
像した認識画像を示す図である。
像した認識画像を示す図である。
像した認識画像を示す図である。
Claims (4)
- 【請求項1】 吸着ノズルに吸着した電子部品を反射光
照明および透過光照明のいずれでも照明可能な照明手段
と、 前記照明手段により照明された電子部品を撮像し当該電
子部品を画像認識する部品認識手段と、 前記照明手段および前記部品認識手段を制御する制御手
段とを備え、 前記制御手段は、前記照明手段の反射光照明により照明
された電子部品を前記部品認識手段により画像認識させ
ると共に、当該部品認識手段が当該電子部品を吸着異常
と認識した場合に、前記照明手段の反射光照明を透過光
照明に切り替えて、前記部品認識手段に前記電子部品を
再度、画像認識させることを特徴とするマウンタの部品
認識処理装置。 - 【請求項2】 前記制御手段は、前記部品認識手段によ
る前記電子部品の再画像認識において、前記吸着ノズル
以外のものが存在するか否かを識別させることを特徴と
する請求項1に記載のマウンタの部品認識処理装置。 - 【請求項3】 吸着ノズルに吸着した電子部品を反射光
照明により撮像して当該電子部品を画像認識すると共
に、当該画像認識において当該電子部品が吸着異常と認
識された場合に、反射光照明を透過光照明に切り替えて
当該電子部品を再度、画像認識することを特徴とするマ
ウンタの部品認識処理方法。 - 【請求項4】 前記電子部品の再画像認識において、前
記吸着ノズル以外のものが存在するか否かを識別するこ
とを特徴とする請求項3に記載のマウンタの部品認識処
理方法。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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