JP4537262B2 - Ｉｃハンドラー - Google Patents

Description

本発明は、被検査用電子部品を収納したトレイを上下方向位置決め部材に下方から押付けることにより、このトレイの上下方向の位置決めを行うＩＣハンドラーに関するものである。

従来のこの種のＩＣハンドラーとしては、例えば特許文献１に開示されたものがある。この特許文献１に示されたＩＣハンドラでは、トレイ上の被検査用電子部品を吸着ノズルによって上方から吸着し、この電子部品を検査用ソケットに装填する部品移動装置と、この部品移動装置によってトレイ上で電子部品の受け渡しを行うときに電子部品の高さを所定の高さに保つために上下方向位置決め装置を装備している。

前記上下方向位置決め装置は、前記トレイの下面を支承するプレートと、このプレートを昇降させる昇降手段と、この昇降手段の駆動によりトレイが下方から押付けられる上下方向位置決め部材とから構成されている。この上下方向位置決め部材は、長方形状に形成されたトレイの四辺となる部分を押さえることができるように、平面視においてロ字状に形成され、ＩＣハンドラーの例えば基台などの構造物に支持されている。

この従来のＩＣハンドラーにおいては、前記トレイは、搬送装置によって前記プレートの上に搬送される。そして、このトレイは、昇降手段の駆動によりプレートとともに上昇し、このプレートと前記上下方向位置決め部材とにより挟圧されることによって、傾斜、歪みなどが矯正される。この結果、トレイ上の複数の電子部品の高さが所定の高さに揃うようになる。
特許第３４７６９１１号公報

上述した上下方向位置決め部材は、トレイの傾斜、歪みを矯正するために大きな力を受けるものであるから、基台などに強固に取付けられていなければならない。このため、この上下方向位置決め部材を支持するための支持部材は、大型で強固なものとする必要がある。しかしながら、このような大型の支持部材が基台に立設されていると、前記上下方向位置決め部材の下方にトレイを搬送するに当たって問題が生じる。これは、前記支持部材によって搬送経路が狭められてしまうからである。

本発明はこのような問題を解消するためになされたもので、上下方向位置決め部材を強固に支持できる構成を採りながら、トレイを容易に搬送できるようにしたＩＣハンドラーを提供することを目的とする。

この目的を達成するために、本発明に係るＩＣハンドラーは、電子部品用トレイを収納した複数のトレイ収納用ストッカーと、これらのストッカーから水平方向に離間した支持位置と前記ストッカーとの間で前記トレイを移動させるトレイ支持装置と、前記トレイに収納された電子部品を吸着する吸着ノズルを有し前記支持位置にあるトレイに対して電子部品の受け渡しを行う部品移動装置と、前記支持位置の下方に位置しトレイを昇降させる昇降装置と、この昇降装置の駆動により前記トレイが下方から押付けられる上下方向位置決め部材とを備え、前記トレイ支持装置は、前記ストッカーの下方に位置する第１のトレイ保持部を有し、この第１のトレイ保持部と前記ストッカーとの間で前記トレイの受け渡しが行われ、かつこの第１のトレイ保持部を前記ストッカーの並ぶ方向に移動させる第１の支持装置と、前記支持位置において前記ストッカーと平行に並ぶ複数の第２のトレイ保持部を有し、これらの第２のトレイ保持部を前記ストッカーの並ぶ方向に移動させる第２の支持装置と、前記第１のトレイ保持部と前記第２のトレイ保持部とにそれぞれ設けられ、前記第１のトレイ保持部と、前記第２のトレイ保持部とが前記ストッカーの並ぶ方向とは直交する水平方向に並ぶ状態で両トレイ保持部間において前記トレイを搬送する移送手段とを備え、前記上下方向位置決め部材は前記第２のトレイ保持部に設けられているものである。

請求項２に記載したＩＣハンドラーは、請求項１に記載したＩＣハンドラーにおいて、昇降装置は、上下方向位置決め部材が設けられた部材に支持されているものである。

請求項３に記載したＩＣハンドラーは、請求項１に記載したＩＣハンドラーにおいて、昇降装置は、支持位置における基台上に設けられているものである。

本発明によれば、上下方向位置決め部材がトレイとともに移動するから、この上下方向位置決め部材を支持する部材によってトレイの移動が規制されることがない。したがって、本発明によれば、上下方向位置決め部材を強固に支持できる構成を採りながら、トレイの搬送が容易なＩＣハンドラーを提供することができる。

また、本発明によれば、トレイは第２の支持装置上でストッカーの並ぶ方向とこの方向とは直交する水平方向とに移動するから、トレイの搬送経路を設計する上で自由度がより一層高くなる。また、この発明によれば、第１の支持装置のストッカーへのトレイの出入れ動作と、第２の支持装置のトレイ上での部品移動装置による電子部品の吸着、載置動作とを同時に行うことができる。

したがって、第２の支持装置上でトレイに対して電子部品の吸着または載置が行われているときに動作の対象ではないトレイをストッカーに対して出し入れすることができる。このため、この発明によれば、トレイを交換するために電子部品の吸着、載置を行う動作を停止させる必要がないから、部品移動装置による電子部品の受け渡し動作を効率よく行うことができる。

請求項２記載の発明によれば、トレイを上下方向位置決め部材に押付けて上下方向に位置決めした状態で水平方向に移動させることができ、部品移動装置がトレイに対して電子部品の受け渡しを行う位置を前記移動に伴って変えることができる。このため、例えば、部品移動装置による電子部品の受け渡し動作を吸着ノズルの移動距離が最短となるような最適位置で行うことができ、前記電子部品の受け渡し動作をより一層効率よく行うことができる。また、この発明に係るＩＣハンドラーでは、トレイを移動させるときに昇降装置の駆動により上下方向位置決め部材に押付けておくことができるから、トレイがトレイ支持装置から脱落することがなく、トレイを高速で移動させることができる。

請求項３記載の発明によれば、昇降装置を基台によって強固に支持することができるから、トレイを相対的に大きい力で上下方向位置決め部材に押付けることができ、トレイの支持をより一層安定させることができるとともに、歪み、傾斜をより一層確実に修正することができるようになる。

以下、本発明に係るＩＣハンドラーの一実施の形態を図１ないし図１３によって詳細に説明する。
図１は本発明に係るＩＣハンドラーの平面図である。同図においては、トレイ支持装置やストッカーをこれらの上にトレイが載置されていない状態で描いてある。図２は図１におけるII−II線断面図、図３は部品移動装置の構成を説明するための斜視図、図４はヘッドユニットの斜視図、図５は単位ユニットの動作方向を説明するための斜視図で、同図は二つの単位ユニットのみが描いてある。図６は単位ユニットの側面図で、同図においては構成部材の連結部分を破断して示す。この破断位置を図１中にVI−VI線によって示す。

図７は第２の支持装置の構成を示す図で、同図（ａ）は側面図、同図（ｂ）は正面図である。図８はトレイ移載装置とトレイ支持装置の動作を説明するための平面図、図９ないし図１２はトレイ移載装置とストッカーの動作を説明するための正面図、図１３はＩＣハンドラーの概略構成を示す斜視図である。

これらの図において、符号１で示すものは、この実施の形態によるＩＣハンドラーを示す。
このＩＣハンドラー１は、図１および図２に示すように、基台２の後端部（図１においては上端部であって、図２においては右側の端部）に位置する検査領域Ａと、前記基台２の前後方向の略中央部に位置する支持位置としての部品領域Ｂとの間において後述する部品移動装置３，４によって電子部品５（図２および図６参照）を移動させるものである。なお、本明細書中においては、図１において上下方向を装置の前後方向としてＹ方向といい、図１において左右方向を装置の左右方向としてＸ方向といい、紙面に直交する方向を単にＺ方向という。

前記基台２の検査領域Ａには開口２ａが設けられ、被検査用の電子部品５が載置される検査用ソケット６が複数配設されたテストヘッド８が、この開口２ａの下方において基台２に着脱可能に固着されている。前記検査用ソケット６は、基台２内においてＩＣハンドラー１とは独立に床に載置される検査装置本体７（図２参照）に、テストヘッド８を介してあるいは直接に、不図示の検査用電流ケーブルを介して連結されている。また、この検査用ソケット６は、上方から電子部品５（図２および図６参照）が装填される構成が採られ、基台２のＸ方向の略中央部に配設されている。この実施の形態においては、４個の検査用ソケット６が設けられている。これらの検査用ソケット６は、Ｘ方向に並ぶ２個の検査用ソケット６，６がＹ方向に２組並ぶように設けられている。電子部品５の検査は、検査用ソケット６に電子部品５が載置された状態で、電子部品５と検査装置本体７との間で検査用電流を入出力することにより実施される。前記検査用電流ケーブルのいずれか一方の端部あるいは中間部には、脱着可能なコネクタが配置されている。

前記部品領域Ｂを含む基台２上には、この基台２の前端部に位置する複数のストッカー１１，１１‥‥と、これらのストッカー１１と前記部品領域Ｂとの間でトレイＴ（図２参照）を移動させるとともに部品領域ＢにおいてＸ方向に並ぶように複数のトレイＴを支持するトレイ支持装置１２と、基台２のＸ方向の両端部に位置する固定レール１３によって支持された第１の部品移動装置３および第２の部品移動装置４と、これらの部品移動装置３，４によって吸着されて移動する電子部品５を下方から撮像するための複数の基台側撮像装置１４とが設けられている。これらの基台側撮像装置１４は、検査用ソケット６とトレイ支持装置１２との間において基台２のＸ方向の中央に対して左側と右側とに振り分けられるような位置にそれぞれＸ方向に並ぶ状態で２個ずつ設けられている。

前記ストッカー１１は、図２に示すように、複数のトレイＴを上下方向に重ねた状態で収容する構造のもので、図１に示すように、Ｘ方向に並ぶ状態で複数設けられている。前記トレイＴは、図８に示すように、プラスチックによって平面視においてＹ方向に長い長方形の皿状に形成されている。このトレイＴには、図示してはいないが、電子部品５を収納するための凹陥部が上方に向けて開口する状態で多数形成されている。

前記ストッカー１１は、図１、図２および図１３に示すように、最下部に位置する平面視四角形状の枠体２１と、この枠体２１の後端部に立設された断面Ｌ字状の後側支柱２２と、前記枠体２１の前端部に立設された断面Ｌ字状の前側支柱２３と、前記枠体２１に設けられたトレイ支持用のフック２４（図９〜図１２参照）などを備えている。図１３においては、複数のストッカーのうちＸ方向の両端部に位置するストッカーのみが描いてある。

このストッカー１１は、図２に示すように、前記基台２の前端部上に設けられたストッカー用フレーム２５の上に搭載されている。このストッカー用フレーム２５は、図１には図示していない。このストッカー用フレーム２５における前記ストッカー１１の枠体２１の下方となる部位には、トレイ出し入れ口２６（図２参照）が形成されている。

ストッカー１１の前記枠体２１は、内部の開口部分に水平状態のトレイＴを上下方向に装填することができるように形成されている。
前記後側支柱２２と前側支柱２３は、長方形状のトレイＴの四隅を嵌合状態で保持するように位置付けられている。前側支柱２３は、図２に示すように、後側支柱２２より低くなるように形成されている。

前記フック２４は、ストッカー１１内のトレイＴを支えるためのもので、平面視において前記枠体２１の開口部分内に先端部が臨む前進位置と、この先端部が開口部分の外に出る後退位置との間で往復可能に枠体２１に支持されている。また、各フック２４には、前進位置と後退位置とのいずれか一方にフック２４を移動させるアクチュエータ（図示せず）が接続されている。

このフック２４の前記先端部は、図示してはいないが、トレイＴの側部に側方へ向けて開口するように形成された凹陥部内に係入するように形成されている。なお、図９〜図１２に図示したフック２４は、トレイＴを支持している状態と放した状態とを容易に判別することができるように、前記先端部によってトレイＴの下端を支承する構造として描いてある。また、このフック２４は、上述したように平行移動する構造の他に、平面視において先端部が前記開口部分内に臨む横状態と、先端部が下方を指向するようにフック全体が約９０°回り、先端部が前記開口部分の外に出る縦状態との間で回動する構造を採ることもできる。

前記トレイ支持装置１２は、図１、図２および図８に示すように、前記ストッカー１１の下方に位置する第１の支持装置３０と、前記部品領域Ｂに位置する第２の支持装置３１と、これらの支持装置３０，３１との間に位置する中継用コンベア３２を有し両装置３０，３１間でトレイを搬送する移送手段３３とから構成されている。

前記第１の支持装置３０は、図１、図２、図８〜図１２に示すように、基台２上でＸ方向に延びる固定レール３４と、この固定レール３４にＸ方向に移動自在に支持されたスライダ３５と、このスライダ３５をＸ方向に所定量だけ移動させるボールねじ式の駆動装置３６と、前記スライダ３５の上に固定された支持板３７と、この支持板３７の上に設けられた２組の第１のトレイ保持部３８，３８とによって構成されている。

前記２組の第１のトレイ保持部３８は、上述したストッカー１１に下方からトレイＴを搬入したりストッカー１１の下端部からトレイＴを搬出するためのもので、複数のストッカー１１の並設ピッチと同一のピッチとなるようにＸ方向に並べられている。
これらの第１のトレイ保持部３８は、前記支持板３７の上にＹ方向に並ぶ状態で固定された第１のシリンダ４１および第２のシリンダ４２と、これらのシリンダ４１，４２のＸ方向の両側において前記支持板３７に立設された一対の縦板４３，４３とによって構成されている。これらの縦板４３の内側には、前記移送手段３３の一部を構成する一対のベルトコンベア４４，４４が設けられている。

前記第１および第２のシリンダ４１，４２は、ピストンロッド４１ａ，４２ａが上下方向に移動するように前記支持板３７に固定され、ピストンロッド４１ａ，４２ａによって後述するトレイ支承部材４５を昇降させる。

これらの第１および第２のシリンダ４１，４２のうち装置後側（図２においては右側）に位置する第１のシリンダ４１のピストンロッド４１ａの移動ストロークは、第２のシリンダ４２のピストンロッド４２ａの移動ストロークより長くなるように形成されている。このように移動ストロークが異なる２種類のシリンダ４１，４２を装備しているのは、後述するようにトレイ支承部材４５の上昇位置を相対的に高い位置と相対的に低い位置との２段階に切換えるためである。

前記トレイ支承部材４５は、トレイＴの下面を支承するためのもので、平面視においてＹ方向に長くなる長方形状に形成されており、前記支持板３７または縦板４３に設けられた昇降ガイド（図示せず）によって昇降自在に支持されている。また、このトレイ支承部材４５は、図９〜図１２に示すように、後述する一対のベルトコンベア４４，４４の間にこれらのベルトコンベア４４に対して接触することがないように挿入されている。なお、図９〜図１２においては、第１の支持装置３０の動作を理解し易いように、トレイ支承部材４５は模式的に描いてある。

さらに、このトレイ支承部材４５の平面視における大きさは、例えば図９（ｂ）に示すように、第１のトレイ保持部３８が前記ストッカー１１の直下に位置決めされている状態でトレイ支承部材４５が上昇することによって、このトレイ支承部材４５がストッカー用フレーム２５のトレイ出し入れ口２６内に入ることができるような大きさに形成されている。
このように形成されたトレイ支承部材４５は、第１のシリンダ４１と第２のシリンダ４２の駆動により、ベルトコンベア４４の搬送面より低くなるような待機位置（図２参照）と、前記搬送面より高い位置であってストッカー１１の下端部近傍の後述する上昇位置との間で昇降する。

第１のシリンダ４１によってトレイ支承部材４５を上昇させた場合のトレイ支承部材４５の上昇位置は、例えば図１２（ａ）に示すように、ストッカー１１内の最も下に位置するトレイＴがトレイ支承部材４５によって前記フック２４より上に押し上げられるような位置に設定されている。一方、第２のシリンダ４２によってトレイ支承部材４５を上昇させた場合のトレイ支承部材４５の上昇位置は、図１０（ａ）に示すように、フック２４に支持されたストッカー１１内の最も下に位置するトレイＴに、トレイ支承部材４５に載せられたトレイＴが下から重ねられるような位置に設定されている。

前記第１の支持装置３０側のベルトコンベア４４は、トレイＴの両側部を支承しながらトレイＴをＹ方向に搬送する構造が採られており、図２に示すように、搬送面が水平になるように前記縦板４３に装着されている。

前記第２の支持装置３１は、図１および図８に示すように、Ｘ方向に並ぶ３組の第２のトレイ保持部５１と、これらの第２のトレイ保持部５１をＸ方向に移動させる部品領域移動装置５２とから構成されている。前記第２の支持装置３１の基台２上の位置は、前記複数のストッカー１１，１１‥‥のうち両端のストッカー１１，１１が最も外側となるＸ方向（ストッカー並設方向）の領域内であって、かつストッカー１１より検査用ソケット６側となる領域内に位置付けられている。

前記３組の第２の支持装置３１には、未検査の電子部品５が収納された未検査品用トレイＴ１と、検査後に良品であると判定された電子部品５を収納する良品用トレイＴ２と、検査後に不良品であると判定された電子部品５を収納する不良品用トレイＴ３とが支持されている。なお、この第２のトレイ保持部５１の台数は３台に限定されることはなく、必要に応じて増加したり減少させたりすることができる。

各第２のトレイ保持部５１は、図１、図２、図７および図８に示すように、後述する部品領域移動装置５２の板状支持台５３の上に設けられたトレイ昇降用シリンダ５４と、Ｘ方向に間隔をおいて互いに対向するように前記板状支持台５３の上に立設された一対の縦板５５と、前記２枚の縦板５５，５５の上端部どうしの間に横架された前側受圧板５６および後側受圧板５７と、前記縦板５５のＹ方向の途中の部位に設けられた一対の側部ガイド部材５８，５８と、装置後側の端部に設けられたトレイ用ストッパー５９｛図７（ａ）参照｝などによって構成されている。前記縦板５５の内側には、前記移送手段３３の一部を構成するベルトコンベア６０が設けられている。

前記トレイ昇降用シリンダ５４は、ピストンロッド５４ａが上下方向に移動するように板状支持台５３の上に固定され、ピストンロッド５４ａによって後述するトレイ昇降用プレート６１を昇降させる。なお、図７はシリンダ５４を支持する部材を省略して描いてある。
前記トレイ昇降用プレート６１は、トレイＴの下面を支承するためのもので、平面視においてＹ方向に長くなる長方形状に形成されており、前記板状支持台５３に昇降ガイド６２によって昇降自在に支持されている。このトレイ昇降用プレート６１は、前記一対のベルトコンベア６０，６０の間にこれらのベルトコンベア６０に対して接触することがないように挿入されている。

このように形成されたトレイ昇降用プレート６１は、前記シリンダ５４の駆動により、ベルトコンベア６０の搬送面より低くなるような待機位置（図２参照）と、前記搬送面より高い位置であってトレイＴが後述する前側受圧板５６と後側受圧板５７とに押付けられるような上昇位置との間で昇降する。この実施の形態においては、前記トレイ昇降用シリンダ５４と前記トレイ昇降用プレート６１とによって本発明でいう昇降装置が構成されている。

前記縦板５５は、ベルトコンベア６０を前端部から後端部にわたって側方から囲むような長さに形成されている。
前記ベルトコンベア６０は、トレイＴの両側部を支承しながらトレイＴをＹ方向に搬送し、第２のトレイ保持部５１内へのトレイＴの搬入と第２のトレイ保持部５１からのトレイＴの搬出とを行うためのものである。このベルトコンベア６０の駆動軸６３は、３組の第２のトレイ保持部５１をＸ方向に貫通するように形成され、これらの第２のトレイ保持部５１の全てのベルトコンベア６０を同時に駆動する。なお、ベルトコンベア６０の搬送面の高さは、第１の支持装置３０側に位置するベルトコンベア４４の搬送面の高さと等しくなるように形成されている。

前記前側受圧板５６と後側受圧板５７は、トレイＴの上下方向の位置を決めるともにトレイＴの傾斜や歪みなどを矯正するためのものである。これらの前側受圧板５６と後側受圧板５７の下面は、図７（ａ）に示すように、前記シリンダ５４とトレイ昇降用プレート６１とによって上昇させられたトレイＴの上面が下方から当接するように平坦に形成されている。前記前側受圧板５６には、図７（ａ）に示すように、ベルトコンベア６０によって搬入されたトレイＴの端部を検出するための光学式センサ６４が設けられている。

前記側部ガイド部材５８は、トレイＴのＸ方向の位置を決めるためのもので、図１に示すように、平面視において縦板５５の上端部からベルトコンベア６０の上方へ延びるように形成されている。この側部ガイド部材５８の延在部分の下面は、図示してはいないが、上方に向かうにしたがって次第に側部ガイド部材５８の先端に向かうように傾斜している。すなわち、ベルトコンベア６０によって第２のトレイ保持部５１内に搬入されたトレイＴが前記シリンダ５４とトレイ昇降用プレート６１とによって上昇させられることにより、このトレイＴは、側部ガイド部材５８の前記下面に両側部が下方から接触し、一対の側部ガイド部材５８によってＸ方向に位置決めされる。この実施の形態においては、この側部ガイド部材５８と、前記前側受圧板５６および後側受圧板５７とによって、本発明でいう上下方向位置決め部材が構成されている。この上下方向位置決め部材は、いずれも縦板５５の上端部に取付けられており、後述する部品領域移動装置５２の駆動によりトレイ保持部５１とともにＸ方向に移動する。

前記トレイ用ストッパー５９は、ベルトコンベア６０によって第２のトレイ保持部５１内に搬送されたトレイＴの搬送方向の位置を決めるためのもので、図７（ａ）に示すように、トレイＴの後端面（第２のトレイ保持部５１内に搬入されるトレイＴの進行方向前側の端面）が当接する縦面が形成されている。このトレイ用ストッパー５９は、前記板状支持台５３または縦板５５にブラケット（図示せず）を介して支持されている。

前記部品領域移動装置５２は、図１、図２、図７（ｂ）および図８に示すように、基台２上でＸ方向に延びる一対の固定レール６５と、これらの固定レール６５にＸ方向に移動自在に支持されたスライダ６６と、このスライダ６６に支持された前記板状支持台５３と、この板状支持台５３と前記スライダ６６とをＸ方向に移動させるボールねじ式の駆動装置６７（図８参照）とから構成されている。このボールねじ式の駆動装置６７は、図１および図２に示すように、前記両固定レール６５，６５どうしの間でＸ方向に延びるボールねじ軸６７ａを回転させ、このボールねじ軸６７ａに螺合するとともに板状支持台５３に一体的に設けられたナット部材６７ｂを移動させる。

前記移送手段３３は、図１および図２に示すように、前記第１の支持装置３０に装備された前記ベルトコンベア４４，４４と、前記第２の支持装置３１に装備された前記ベルトコンベア６０，６０と、前記両装置３０，３１の間に位置する中継用コンベア３２とから構成されている。

この中継用コンベア３２は、基台２に支持された一対の縦板６８，６８を有するフレーム６９と、前記縦板６８の内側に設けられた一対のベルトコンベア７０，７０とから構成されている。このベルトコンベア７０は、トレイＴの両側部を支承しながらトレイＴをＹ方向に搬送するように構成されている。この中継用コンベア３２は、上述した第１のトレイ保持部３８のベルトコンベア４４と、第２のトレイ保持部５１のベルトコンベア６０との間でトレイＴの受け渡しを行うように構成されている。また、この中継用コンベア３２のベルトコンベア７０は、前記両ベルトコンベア４４，６０とトレイＴの搬送方向が一致するように動作する。

前記第１の部品移動装置３と第２の部品移動装置４は、基台２のＹ方向に延びる中心線に対して線対称となるように形成されている。このため、ここにおいては、図１において左側に位置する第１の部品移動装置３について説明し、第２の部品移動装置４については、第１の部品移動装置３と同一符号を付して詳細な説明は省略する。

第１の部品移動装置３は、図１〜図６に示すように、基台２のＸ方向の端部上でＹ方向に延びる一対の固定レール１３，１３と、これらの固定レール１３にＹ方向に移動自在に支持されたＹ方向移動部材７１と、このＹ方向移動部材７１をＹ方向に移動させるボールねじ式の第１のＹ方向駆動装置７２と、前記Ｙ方向移動部材７１にＸ方向に移動自在に支持された支持部材７３（図３参照）と、この支持部材７３を前記Ｙ方向移動部材７１に対してＸ方向に移動させるボールねじ式の第１のＸ方向駆動装置７４（図３参照）と、前記支持部材７３に設けられたヘッドユニット７５などによって構成されている。この第１の部品移動装置３と第２の部品移動装置４の前記駆動装置７２，７４と、後述するヘッドユニット７５内の各装置の動作は、後述する制御手段（図示せず）によって制御される。

前記固定レール１３は、図１に示すように、基台２上に複数設けられたストッカー１１のうち最も外側に位置するストッカー１１とＸ方向の同一位置であって、かつ前記最も外側に位置するストッカー１１から装置の後方に離間するような位置に配設されている。
前記Ｙ方向移動部材７１は、図３に示すように、前記固定レール１３，１３にスライド部材（図示せず）を介して接続された基部７１ａと、この基部７１ｂの上端部から側方（図３においては右方）に突出する一対の腕部７１ｂとを備えている。これらの腕部７１ｂは、Ｙ方向に間隔をおいて並ぶように設けられており、ガイド部材７１ｃを介して前記支持部材７３をＸ方向に移動自在に支持している。前記ガイド部材７１ｃは、支持部材７３に設けられたレール７３ａを上方から支える構造が採られている。

前記Ｙ方向移動部材７１をＹ方向に駆動する第１のＹ方向駆動装置７２は、図１に示すように、Ｙ方向に延びる状態で前記固定レール１３に対して回転自在に支持されたボールねじ軸７６と、このボールねじ軸７６の途中に螺合しかつＹ方向移動部材７１に固着したナット部材（図示せず）と、前記ボールねじ軸７６における装置後側の端部に接続されたモータ７９などによって構成されている。

前記支持部材７３は、図３に示すように、開口７３ｂを有する平面視長方形の板状に形成されており、Ｙ方向の両端部が前記レール７３ａを介して前記Ｙ方向移動部材７１に支持されている。
この支持部材７３をＸ方向に駆動する第１のＸ方向駆動装置７４は、図３に示すように、Ｙ方向移動部材７１の上部に設けられたモータブロック８１と、このモータブロック８１に回転自在に支持されたボールねじ軸８２と、このボールねじ軸８２に螺合しかつ支持部材７３に固着したナット部材８２ａと、前記ボールねじ軸８２の一端部（第１の部品移動装置３においては左側の端部）に接続されたモータ８３などによって構成されている。前記ナット部材８２ａは、支持部材７３における開口７３ｂを有する枠状部８４とは反対側の端部に取付けられている。

前記ヘッドユニット７５は、図１および図４に示すように、前記枠状部８４のＸ方向延在部分８４ａに取付けられた４個の単位ユニット８５によって構成されている。
これらの４個の単位ユニット８５は、図１に示すように、平面視において前記４個の検査用ソケット６と同様にＸ方向とＹ方向とに並べられている。この実施の形態によるヘッドユニット７５には、前記検査用ソケット６を上方から撮像するためのヘッド側撮像装置８６，８７が設けられている。ヘッド側撮像装置８６は検査ソケット６の撮像に用いられ、ヘッド側撮像装置８７はトレイ支持装置１２に搬送されるトレイＴの撮像に用いられる。所定のタイミングで撮像されるトレイＴの所定の凹陥部あるいはフィデューシャルマークの位置から、ベルトコンベア６０の搬送誤差、ボールねじ式駆動装置６７の駆動量の補正量が算出される。これら補正量が加味されて、部品領域移動装置５２上の各トレイＴは、電子部品５の吸着、載置に際して正しい位置に配置される。
これらの撮像装置８６，８７は、前記枠状部８４のＹ方向の両端部に設けられている。

前記各単位ユニット８５は、図６に示すように、前記枠状部８４の前記Ｘ方向延在部分８４ａに取付けられたＸ方向支持部材９１と、このＸ方向支持部材９１の下部にＸ方向に移動自在に装着されたＸ方向スライダ９２と、このＸ方向スライダ９２をＸ方向に駆動するボールねじ式の第２のＸ方向駆動装置９３と、前記Ｘ方向スライダ９２の下部に一体に形成されたＹ方向支持部材９４と、このＹ方向支持部材９４の下部にＹ方向に移動自在に装着されたＹ方向スライダ９５と、このＹ方向スライダ９５をＹ方向に駆動するボールねじ式の第２のＹ方向駆動装置９６と、前記Ｙ方向スライダ９５の下部にブラケット９７を介して取付けられたＺ方向支持部材９８と、このＺ方向支持部材９８にＺ方向に移動可能に支持された吸着ヘッド９９と、この吸着ヘッド９９を昇降させるＺ方向駆動装置１００などによって構成されている。この単位ユニット８５によって、本発明でいう吸着ノズル移動装置が構成されている。

前記Ｘ方向支持部材９１とＸ方向スライダ９２との間と、Ｙ方向支持部材９４とＹ方向スライダ９５との間には、いわゆるクロスローラガイドなどの直動案内用の部材１０１が介装されている。前記第２のＸ方向駆動装置９３は、Ｘ方向支持部材９１にＸ方向に延びる状態で回転自在に支持されたボールねじ軸１０２と、このボールねじ軸１０２の一端部に接続されたモータ１０３（図４〜図６参照）と、ボールねじ軸１０２の途中に螺合しかつＸ方向スライダ９２に固着したナット部材１０４とから構成されている。この第２のＸ方向駆動装置９３のモータ１０３は、図４に示すように、前記枠状部８４のＸ方向延在部分８４ａに沿うように装備されている。

前記第２のＹ方向駆動装置９６は、図６に示すように、Ｙ方向に延びる状態で前記Ｙ方向支持部材７３に回転自在に支持されたボールねじ軸１１０と、このボールねじ軸１１０の一端部に接続されたモータ１１１と、前記ボールねじ軸１１０の途中に螺合しかつＹ方向スライダ９５に固着したナット部材１１２とから構成されている。この第２のＹ方向駆動装置９６のモータ１１１は、図４に示すように、前記枠状部８４からＹ方向の両側に突出するように装備されている。

この第２のＹ方向駆動装置９６と前記第２のＸ方向駆動装置９３は、上述した第１のＹ方向駆動装置７２と第１のＸ方向駆動装置７４に較べてナット部材１０４，１１２の移動量が少なくなり、またナット部材１０４，１１２の位置（従動側の部材の位置）を決める際の分解能が高くなるように構成されている。

前記Ｚ方向支持部材９８は、図６に示すように、Ｚ方向に延びる筒状に形成されており、内部に後述するＺ方向駆動装置１００のボールねじ軸１１３と、後述する吸着ヘッド９９を昇降自在に支持するガイド部材（図示せず）などを収容している。
Ｚ方向駆動装置１００は、図６に示すように、Ｚ方向に延びる状態で前記Ｚ方向支持部材９８に回転自在に支持された前記ボールねじ軸１１３と、Ｚ方向支持部材９８の上端部に支持されかつ前記ボールねじ軸１１３の上端部に接続されたモータ１１４と、前記ボールねじ軸１１３の途中に螺合しかつ後述する吸着ヘッド９９に結合されたナット部材１１５とから構成されている。

前記吸着ヘッド９９は、図６に示すように、前記Ｚ方向支持部材９８のガイド部材に嵌合するとともにＺ方向駆動装置１００のナット部材１１５に結合されたハウジング１２１と、Ｚ方向に延びる状態で前記ハウジング１２１の内部に回転自在に支持されたシャフト１２２と、このシャフト１２２を回転させるモータ１２３を有する回転駆動装置１２４と、前記シャフト１２２の下端部に着脱可能に取付けられた吸着ノズル１２５とを備えている。前記シャフト１２２は、中空状に形成されており、空気吸引装置（図示せず）に接続されている。

前記吸着ノズル１２５は、下端に吸着面が形成され、前記シャフト１２２ともに前記ハウジング１２１に対してＺ方向の軸線回りに回動できるように構成されている。
すなわち、この単位ユニット８５は、図５に示すように、支持部材７３に対してＸ方向と、Ｙ方向と、Ｚ方向とに吸着ノズル１２５を移動させるとともに、Ｚ方向の軸線回りに吸着ノズル１２５を回動させる。

この吸着ノズル１２５を含めこのＩＣハンドラー１の動作を制御する制御手段（図示せず）は、検査装置本体７内の制御装置と不図示の連係用ケーブルで結ばれ、複数の検査用ソケット６への各電子部品５の各吸着ノズル１２５による装着が終了した情報を検査装置本体７内の制御装置に伝達し、検査装置本体７内の制御装置は検査が終わったことと検査結果の情報を、前記制御手段へ伝達する。

また、ＩＣハンドラー１の制御手段は、検査が終わったことと検査結果の情報を受けて、検査済みの電子部品５が良品である場合には良品用トレイＴ２へ、不良品である場合には不良品用トレイＴ３にそれぞれ電子部品５を移載するように、ヘッドユニット７５を制御する。

次に、上述したように構成されたＩＣハンドラー１の動作について説明する。このＩＣハンドラー１によって、電子部品５を検査用ソケット６に装填するためには、先ず、ストッカー１１から第１の支持装置３０と第２の支持装置３１とによって未検査品用トレイＴ１を部品領域Ｂに搬送し、第１または第２の部品移動装置３，４によって前記トレイＴ１の上の電子部品５を検査用ソケット６に移動させる。

ストッカー１１から未検査品用トレイＴ１を第１の支持装置３０に移載するためには、先ず、図９（ａ）に示すように、所望のストッカー１１の下方に第１のトレイ保持部３８を移動させ、第１のシリンダ４１によってトレイ支承部材４５を上昇位置に上昇させるとともに、第２のシリンダ４２を伸長状態とする。このとき、前記トレイ支承部材４５はストッカー１１内の最も下に位置するトレイＴ１に接触する。次に、同図（ｂ）に示すように、ストッカー１１のフック２４を後退させ、同図（ｃ）に示すように、第１のシリンダ４１のピストンロッド４１ａを下降させる。

このピストンロッド４１ａの下降により、トレイ支承部材４５とストッカー１１内の多数のトレイＴが下降し、第２のシリンダ４２のピストンロッド４２ａによって支承されるようになる。その後、図１０（ａ）に示すように、前記フック２４を前進させ、同図（ｂ）に示すように、第２のシリンダ４２のピストンロッド４２ａを下降させる。このようにピストンロッド４２ａが下降することにより、トレイ支承部材４５とトレイＴ１とが下がり、トレイＴ１がベルトコンベア４４上に支承される。

次に、このベルトコンベア４４と、中継用コンベア３２のベルトコンベア７０と、第２のトレイ保持部５１のベルトコンベア６０とを同一方向に動作させる。これらのベルトコンベア４５，６０，７０が動作することにより、前記トレイＴ１は、ストッカー１１の下方から中継用コンベア３２を通って第２の支持装置３１内に搬送される。なお、このとき、第２の支持装置３１においては、第２のトレイ保持部５１のトレイ昇降用プレート６１を待機位置に位置付けておく。

３組の第２のトレイ保持部５１のうち他の２組の第２のトレイ保持部５１には、良品用トレイＴ２と不良品用トレイＴ３とを上述した動作と同様の動作により搬送する。このときには、部品領域移動装置５２によって第２のトレイ保持部５１をＸ方向に移動させ、良品用トレイＴ２または不良品用トレイＴ３を搬入する第２のトレイ保持部５１を中継用コンベア３２の搬送方向の下流側に位置付ける。

トレイＴ１が第２のトレイ保持部５１内に搬入され、センサ６４によってトレイＴ１の搬送方向後側の端部が検出されることにより、前記ベルトコンベアが停止する。また、このときには、トレイＴ１の搬送方向前側の端部がストッパー５９に当接することによって、トレイＴ１が搬送方向（Ｙ方向）に位置決めされる。このようにベルトコンベア６０が停止した後、第２のトレイ保持部５１のシリンダ５４によってトレイ昇降用プレート６１とともにトレイＴ１を上昇させる。

このようにトレイＴ１が上昇すると、このトレイＴ１は、一対の側部ガイド部材５８，３８によってＸ方向に位置決めされ、前側受圧板５６および後側受圧板５７とトレイ昇降用プレート６１とにより挟圧されることによって、上下方向に位置決めされるとともに傾斜や歪みが矯正される。このため、トレイＴ１は、第２のトレイ保持部５１にＸ方向とＹ方向とに位置決めされた状態で保持される。このときには、良品用トレイＴ２と不良品用トレイＴ３も未検査品用トレイＴ１と同様に第２のトレイ保持部５１内でそれぞれ上昇させ、前側受圧板５６および後側受圧板５７とトレイ昇降用プレート６１とによって上下方向に位置決めしておく。

トレイＴ１が第２のトレイ保持部５１に保持された後、第１の部品移動装置３または第２の部品移動装置４の第１のＸ方向駆動装置７４と第１のＹ方向駆動装置７２との駆動によりヘッドユニット７５がトレイＴ１の上方に移動する。その後、Ｚ方向駆動装置１００の駆動により各吸着ヘッド９９が下降して４個の吸着ノズル１２５によってトレイＴ１上の４個の電子部品５を吸着する。このとき、ヘッドユニット７５は、吸着ノズル１２５の位置（Ｘ方向とＹ方向のピッチ）がトレイＴ１の部品収納用凹陥部の位置（Ｘ方向とＹ方向のピッチ）と一致するように第２のＸ方向駆動装置９３と第２のＹ方向移動装置９６とを動作させる。そして、いずれかの基準とする吸着ノズル１２５が、この吸着ノズル１２５に対応することになる基準となる部品収納用凹陥部の真上に来るように、第１のＹ軸方向駆動装置７２および第１のＸ軸方向駆動装置７４を動作させて、ヘッドユニット７５を移動制御する。

吸着ノズル１２５が電子部品５を吸着した後、第１のＸ方向駆動装置７４と第１のＹ方向駆動装置７２の駆動により、ヘッドユニット７５は基台側撮像装置１４の上方を通過してから検査用ソケット６の上方に移動する。
基台側撮像装置１４の上方をヘッドユニット７５が通過することにより、この基台側撮像装置１４によって電子部品５が下方から撮像され、このＩＣハンドラー１の図示していない制御装置によって、吸着ノズル１２５に対する電子部品５の位置が検出される。

ヘッドユニット７５は、前記検出結果に基づいて電子部品５の位置を検査用ソケット６の位置と一致するように第２のＸ方向駆動装置９３と第２のＹ方向駆動装置９６とによって吸着ノズル１２５をＸ方向とＹ方向とに移動させる。また、このとき、ヘッドユニット７５は、回転駆動装置１２４によって、Ｚ方向の軸線回りの電子部品５の角度を検査用ソケット６の角度と一致するように調整する。

この吸着ノズル１２５の位置の修正は、ヘッドユニット７５が検査用ソケット６の上方に移動するまでの間に実施される。なお、検査用ソケット６の位置は、ヘッドユニット７５に設けられたヘッド側撮像装置８６により検査用ソケット６を撮像することによって検出する。この撮像と検査用ソケット６の位置検出は、例えば検査用ソケット６の交換時に行う。

しかる後、ヘッドユニット７５は、吸着ヘッド９９を下降させて４個の電子部品５を同時に検査用ソケット６に装填する。このように検査用ソケット６に電子部品５が装填されることにより、部品検査装置７によって電子部品５に対して所定の検査が行われる。検査中には、他方の部品移動装置４が前記同様にトレイＴ１上の電子部品５を吸着し、検査用ソケット６の近傍に移動して前記検査が終了するまで待機する。

検査終了後、ヘッドユニット７５は、検査用ソケット６から電子部品５を上昇させ、３個ある第２のトレイ保持部５１のうち良品用トレイＴ２または不良品用トレイＴ３が位置する第２のトレイ保持部５１の上方に移動し、これらのトレイＴ２，Ｔ３に電子部品５を移載する。この移載時にヘッドユニット７５は、前記トレイＴ２またはトレイＴ３の部品収納用凹陥部の位置と現在の電子部品５の位置とが一致していない場合は、これが一致するように第２のＸ方向駆動装置９３、第２のＹ方向駆動装置９６および回転駆動装置１２４を動作させ、電子部品５の位置を修正する。そして、いずれかの基準とする吸着ノズル１２５が、この吸着ノズル１２５に対応することになる基準となる部品収納用凹陥部の真上に来るように、第１のＹ軸方向駆動装置７２および第１のＸ軸方向駆動装置７４を動作させて、ヘッドユニット７５を移動制御する。

第２のトレイ保持部５１に保持されている未検査品用トレイＴ１上の電子部品５が全て取出されこのトレイＴ１が空になったり、良品用トレイＴ２または不良品用トレイＴ３が検査後の電子部品５で満たされたときは、部品領域移動装置５２によって３組の第２のトレイ保持部５１をＸ方向に移動させ、これらの返却用のトレイＴ４が中継用コンベア３２とＹ方向に並ぶように第２のトレイ保持部５１を位置決めする。このとき、他の第２のトレイ保持部５１に装填されているトレイＴは、前側受圧板５６、後側受圧板５７および側部ガイド部材５８に下方から押付けられた状態に保たれる。すなわち、このときにこれらのトレイＴは、第２のトレイ保持部５１に対して位置決めされた状態でＸ方向に移動することになる。

返却用のトレイＴ４を有する第２のトレイ保持部５１が中継用コンベア３２に対して位置決めされた後、図８（ａ）に示すように、返却用のトレイＴ４を一つずつ第２のトレイ保持部５１から中継用コンベア３２を介して２組の第１のトレイ保持部３８のうち一方に移動させる。なお、このように返却用トレイＴ４を搬出するために３組の第２のトレイ保持装置５１をＸ方向に移動させた状態であっても、他のトレイＴに対する第１および第２の部品移動装置３，４による電子部品５の受け渡しは継続して行うことができる。

次に、同図（ｂ）に示すように、第１の支持装置３０を動作させて２組の第１のトレイ保持部３８をＸ方向に移動させ、他方の第１のトレイ保持部３８を中継用コンベア３２と対向させる。そして、同図（ｃ）に示すように、前記他方の第１のトレイ保持部３８に予め載せておいた新たなトレイＴ５を中継用コンベア３２経由で前記第２のトレイ保持部５１に搬送する。このように前記他方の第１のトレイ保持部３８上から前記新たなトレイＴ５が搬出された後、前記一方の第１のトレイ保持部３８を所定のストッカー１１の下方に移動させ、返却用のトレイＴ４をストッカー１１内に収納する。

返却用のトレイＴ４のストッカー１１への収納は、図１１および図１２に示すように行う。すなわち、先ず、図１１（ａ），（ｂ）に示すように、第１の支持装置３０の第２のシリンダ４２によって返却用のトレイＴ４をストッカー１１の最下端に位置する他のトレイＴに下方から接触させ、ストッカー１１のフック２４を後退させる。この後、同図（ｃ）に示すように、第１のシリンダ４１によって、返却用のトレイＴ４とともに前記他のトレイＴを含むストッカー１１内の全てのトレイＴをトレイ１枚分押上げ、図１２（ａ）に示すように、フック２４を前進させる。このようにフック２４が前進した後に第１および第２のシリンダ４１，４２のピストンロッド４１ａ，４２ａを下降させる。

上述したように構成されたＩＣハンドラー１では、前側受圧板５６と後側受圧板５７および側部ガイド部材５８などからなる上下方向位置決め部材が第２のトレイ保持部５１に設けられており、これがトレイＴとともにＸ方向に移動する。このため、このＩＣハンドラー１においては、前記上下方向位置決め部材を支持する部材（縦板５５）を必要充分な剛性が得られるように形成しているにもかかわらず、この部材によってトレイＴのＸ方向への移動が規制されることがない。
したがって、このＩＣハンドラー１によれば、前記上下方向位置決め部材を縦板５５によって強固に支持しながら、トレイＴを支持位置においてＸ方向へ容易に搬送することができる。

また、この実施の形態によるＩＣハンドラー１では、トレイＴは、部品領域移動装置５２による駆動とベルトコンベア６０の駆動とにより第２の支持装置３１上においてＸ方向とＹ方向とに移動する。このため、このＩＣハンドラー１においては、複数の第２のトレイ保持部５１とストッカー１１との間でトレイＴを移動させるに当たって、１台の中継用コンベア３２によって行うことができる。この中継用コンベア３２のＸ方向の位置は、３組の第２のトレイ保持部５１の移動する範囲内で適宜変更することができる。したがって、トレイＴの支持位置（部品領域Ｂ）とストッカー１１との間のトレイＴの搬送経路を設計する上で自由度が高くなる。

この実施の形態によるＩＣハンドラー１においては、第１の支持装置３０のストッカー１１へのトレイＴの出入れ動作と、第２の支持装置３１のトレイＴ上での第１および第２の部品移動装置３，４による電子部品５の吸着、載置動作とを同時に行うことができる。
したがって、第２の支持装置３１上でトレイＴに対して電子部品の吸着または載置が行われているときに動作の対象ではないトレイＴをストッカー１１に対して出し入れすることができる。このため、このＩＣハンドラー１によれば、トレイＴを交換するために電子部品５の吸着、載置を行う動作を停止させる必要がないから、第１および第２の部品移動装置３，４による電子部品５の受け渡し動作を効率よく行うことができる。

この実施の形態によるＩＣハンドラー１においては、前側受圧板５６と後側受圧板５７および側部ガイド部材５８などからなる上下方向位置決め部材にトレイＴを押付けて上下方向に位置決めした状態で部品領域移動装置５２の駆動によりＸ方向に移動させることができる。このため、第１および第２の部品移動装置３，４がトレイＴに対して電子部品５の受け渡しを行う位置を前記移動に伴って変えることができる。

したがって、３組の第２のトレイ保持部５１のうち一つの第２のトレイ保持部５１においてトレイＴの搬出・搬入が行われているときに他の第２のトレイ保持部５１で第１および第２の部品移動装置３，４による電子部品５の受け渡しを行うことができ、この受け渡し動作を効率よく行うことができる。また、このようにトレイＴが第２のトレイ保持部５１に位置決めされている状態でＸ方向に移動できることにより、このトレイＴに対する第１および第２の部品移動装置３，４による電子部品５の受け渡し動作を吸着ノズル１２５の移動距離が最短となる最適な位置で行うこともできる。

さらに、この実施の形態によるＩＣハンドラー１においては、トレイＴを第２のトレイ保持部５１とともにＸ方向に移動させるときにトレイ昇降用シリンダ５４の駆動により前記上下方向位置決め部材に押付けておくことができるから、Ｘ方向への移動時にトレイＴがベルトコンベア６０から脱落することがなく、トレイＴを高速で移動させることができる。

（参考例）
本発明に係るＩＣハンドラーの参考となる技術を図１４によって説明する。図１４はＩＣハンドラーの参考例を示す平面図である。同図において、前記図１〜図１３によって説明したものと同一もしくは同等の部材については、同一符号を付し詳細な説明を適宜省略する。

図１４に示すＩＣハンドラー２００は、基台２の部品領域Ｂとストッカー１１との間でトレイＴを移動させるトレイ支持装置２０１を備えている。
この参考例によるトレイ支持装置２０１は、上述した実施の形態で示した３組の第２のトレイ保持部５１に対して、ベルトコンベア６０の替わりにトレイ載置台３００が縦板５５に固定配置されること、シリンダ５４及びトレイ昇降用プレート６１が無いこと、前側受圧板５６及び後部受圧板５７がＸ方向に移動可能なこと、中央のトレイ保持部２０２の１対の側部ガイド部材５８が他の側部ガイド部材５８に対してＸ方向にずれていること、３組のトレイ保持部２０２のそれぞれ１対の側部ガイド部材５８の間のスペースを大きくしたり小さくすべく、Ｙ方向に移動可能なこと等が変更されている。

トレイ支持装置２０１は、これらのトレイ保持部２０２を一体的にＹ方向に移動させる支持部材２０３と、基台２上でＸ方向に延びる一対の固定レール２０４に沿って前記支持部材２０３をＸ方向に移動させるＸ方向駆動装置２０５で構成される。
前記トレイ支持装置２０１は、図１４中に示すストッカー１１の下方位置と、二点鎖線Ｙで示す位置との間でトレイ保持部２０２をＸ方向とＹ方向とに移動させる。

この参考例による複数のストッカー１１は、基台２におけるＸ方向の一側部においてＹ方向に並ぶように設けられている。これらのストッカー１１の各下方部には、上述した実施の形態で示した第１のシリンダ４２相当が基台２に載置固定され、この第１のシリンダ４２相当のピストンロッド先端にトレイ支承部材４５相当が接続されている。

この参考例における部品移動装置はそれぞれ２組の第１および第２の移載装置３Ａ，３Ｂ，４Ａ，４Ｂで構成される。それぞれの第１の移載装置３Ａ，３Ｂは、基台２上でＹ方向に延びる固定レール２１０に独立にＹ方向に移動自在に支持されて基台２中央方向に延びる各本体２１１と、この各本体２１１の先端部にそれぞれ設けられＸ方向に移動可能な単位ユニット８５などで構成される。第２の移載装置４Ａ，４Ｂは、第１の移載装置３Ａ，３ＢとはＸ方向反対側において、第１の移載装置３Ａ,３Ｂと同様に構成される。これらの第１および第２の移載装置３Ａ，３Ｂ，４Ａ，４Ｂは、二点鎖線Ｙで示す支持位置において、基台２上にそれぞれ載置されるシリンダ５４相当のピストンロッド先端に接続されたトレイ支承部材６１相当によって、トレイ保持部２０２上で上下方向に位置決めされた状態に保持される。
この参考例で示したようにトレイ支持装置を構成しても上述した実施の形態を採る場合と同等の効果を奏する。

上述した参考例では基台２上に昇降装置（トレイ昇降用シリンダ５４相当とトレイ昇降用プレート６１相当）を設ける例を示したが、この昇降装置は上述した実施の形態のように、トレイ保持部２０２に設けるようにしても良い。

この参考例によるトレイ保持部２０２は、平面視においてストッカーの下方に位置する状態でストッカー１１に対して受け渡しを行う。この時前側受圧板５６および後部受圧板５７はＸ方向に移動され、前記側部ガイド部材５８はＹ方向に移動され、トレイＴが載置されるトレイ載置台３００の上方は開放される。基台２上に配置される第１のシリンダ４２相当の作動により、トレイ支承部材４５相当が昇降し、ストッカー１１に対してトレイの受け渡しを行う。なお、この受け渡し後トレイ保持部２０２は、二点鎖線Ｙで示す支持位置への移動中前側受圧板５６および後部受圧板５７がＸ方向元の位置に移動され、前記側部ガイド部材５８はＹ方向元の位置に移動され、トレイＴが載置されるトレイ載置台３００の上方トレイの四辺が閉じられる。トレイ保持部２０２が二点鎖線Ｙで示す支持位置に移動し停止した状態で、基台２上の昇降装置（第１のシリンダ４２相当およびトレイ支承部材４５相当からなる）の作動により、トレイＴが上下方向に位置決めされる。すなわち、移動可能なトレイ保持部２０２の前側受圧板５６および後部受圧板５７が上下方向位置決め部材となる。

上述した実施の形態ではトレイ保持部２０２が水平方向に移動するときに上下方向位置決め部材によってトレイＴをクランプし、運搬中トレイＴを確実に保持することがなされるが、この参考例では、運搬中トレイＴがＹ方向に移動するのを防止するための凹部が載置台に形成されている。ストッカー１１からトレイＴを受け取るとき、トレイＴは凹部に収納される。なお、この参考例では、トレイＴのストッカー１１との受け渡しをトレイ保持部２０２との間で直接実施するようにしたが、ストッカー１１の下方に上述した実施の形態で示す第１の支持装置３０相当を配置するようにしても良い。この場合、トレイ保持部２０２は例えば二点鎖線Ｘで示す位置で、トレイＴを第１の支持装置３０相当と受け渡し、第１の支持装置３０相当は上述した実施の形態と同様にストッカー１１とトレイＴの受け渡しを行う。

上述した実施の形態および参考例ではストッカー１１の下方でトレイの受け渡しを行う例を示したが、ストッカー１１としてトレイを上方から取出し、また収納する構成のものを使用することもできる。この場合、上下方向位置決め部材を有するトレイ保持部とストッカーとの間でトレイを移動させるトレイ移載装置を装備する。このトレイ移載装置は、トレイ吸着用吸着ノズルをＸ方向、Ｙ方向およびＺ方向に移動可能なものを使用することが考えられる。

上述した実施の形態および参考例に示したトレイ保持部５１，２０２は、トレイが上下方向位置決め部材に押付けられるときにはトレイがベルトコンベア６０やトレイ載置台３００から上方に離れる構成が採られているが、トレイ昇降用プレート６１によってベルトコンベア６０の搬送用ベルトやトレイ載置台３００とともにトレイを昇降させることができる。この構成を採る場合、３組のトレイ保持部５１，２０２においてベルトコンベア６０を単独で停止させることができるように、ベルトコンベア６０の駆動系にトレイ保持部５１，２０２毎にクラッチを設ける。

上述した実施の形態および参考例においては、ＩＣハンドラー１，２００は、テストヘッド８が基台２に脱可能に固着されている。このため、テストヘッド８を基台２に装着して部品検査をすれば、基台が載置される床に基台から遊離してテストヘッドを載置するＩＣハンドラーに較べ、外部環境の振動が床に伝達される場合であっても検査用ソケット６への吸着ノズル１２５の位置合わせを正確に実施できる。

ＩＣハンドラー１，２００内の制御装置と検査装置本体７は、不図示の信号線で連結され、ＩＣハンドラー１，２００は、電子部品５の検査時、検査装置本体７と連係して動作するので、検査装置本体７をＩＣハンドラー１，２００の一部としても良い。この場合、動作プログラムを一つで構成したり、制御装置を一つにまとめることが有効である。また、検査装置本体７を床に載置するのではなく、基台２の不図示の下部構造部材に載置させるようにしても良い。これにより、部品検査装置としての動作検査を、ＩＣハンドラー１，２００の生産向上で実施することもできる。また、一体としての運搬もできる。

テストヘッド８は、基台２に脱可能に固着され、検査用ソケット６と検査装置本体７とを結ぶ不図示の検査用ケーブルはいずれか一端あるいは中間部に不図示のコネクタが配置されるので、検査対象の電子部品５が変更されるに対応して、検査用プログラムの変更を除けば、交換検査装置本体７に影響を与えることなく簡単にテストヘッド８の交換により、部品検査を実施することができる。ＩＣハンドラー１，２００内の制御装置と検査装置本体７の制御装置とは、不図示の信号線で情報の受け渡しを行い、それぞれの部品移載プログラムと部品検査プログラムを連係は取りながら並列実施しても良いが、ＩＣハンドラー１，２００内の制御装置で、部品移載制御と、部品検査制御の両方を実施させるようにしても良い。

本発明に係るＩＣハンドラーの平面図である。 図１におけるII−II線断面図である。 部品移動装置の構成を説明するための斜視図である。 ヘッドユニットの斜視図である。 単位ユニットの動作方向を説明するための斜視図である。 単位ユニットの側面図である。 第２の支持装置の構成を示す図である。 トレイ移載装置とトレイ支持装置の動作を説明するための平面図である。 トレイ移載装置とストッカーの動作を説明するための正面図である。 トレイ移載装置とストッカーの動作を説明するための正面図である。 トレイ移載装置とストッカーの動作を説明するための正面図である。 トレイ移載装置とストッカーの動作を説明するための正面図である。 ＩＣハンドラーの概略構成を示す斜視図である。 ＩＣハンドラーの参考例を示す平面図である。

符号の説明

１…ＩＣハンドラー、３…第１の部品移動装置、４…第２の部品移動装置、５…電子部品、６…検査用ソケット、１１…ストッカー、１２，２０１…トレイ支持装置、３０…第１の支持装置、３１…第２の支持装置、３２…中継用コンベア、３３…移送手段、５１…第２のトレイ保持部、５２…部品領域移動装置、５６…前側受圧板、５７…後側受圧板、５８…側部ガイド部材、７５…ヘッドユニット、９９…吸着ヘッド、１２５…吸着ノズル、２０２…トレイ保持部、Ｂ…部品領域、Ｔ，Ｔ１〜Ｔ５…トレイ。

Claims (3)

1. 電子部品用トレイを収納した複数のトレイ収納用ストッカーと、
   これらのストッカーから水平方向に離間した支持位置と前記ストッカーとの間で前記トレイを移動させるトレイ支持装置と、
   前記トレイに収納された電子部品を吸着する吸着ノズルを有し前記支持位置にあるトレイに対して電子部品の受け渡しを行う部品移動装置と、
   前記支持位置の下方に位置しトレイを昇降させる昇降装置と、
   この昇降装置の駆動により前記トレイが下方から押付けられる上下方向位置決め部材とを備え、
   前記トレイ支持装置は、
   前記ストッカーの下方に位置する第１のトレイ保持部を有し、この第１のトレイ保持部と前記ストッカーとの間で前記トレイの受け渡しが行われ、かつこの第１のトレイ保持部を前記ストッカーの並ぶ方向に移動させる第１の支持装置と、
   前記支持位置において前記ストッカーと平行に並ぶ複数の第２のトレイ保持部を有し、これらの第２のトレイ保持部を前記ストッカーの並ぶ方向に移動させる第２の支持装置と、
   前記第１のトレイ保持部と前記第２のトレイ保持部とにそれぞれ設けられ、前記第１のトレイ保持部と、前記第２のトレイ保持部とが前記ストッカーの並ぶ方向とは直交する水平方向に並ぶ状態で両トレイ保持部間において前記トレイを搬送する移送手段とを備え、
   前記上下方向位置決め部材は前記第２のトレイ保持部に設けられていることを特徴とするＩＣハンドラー。
2. 請求項１記載のＩＣハンドラーにおいて、昇降装置は、上下方向位置決め部材が設けられた部材に支持されていることを特徴とするＩＣハンドラー。
3. 請求項１記載のＩＣハンドラーにおいて、昇降装置は、支持位置における基台上に設けられていることを特徴とするＩＣハンドラー。

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