JP2006337046A - Ｉｃハンドラー - Google Patents

Abstract

【課題】複数の電子部品を複数の吸着ノズルによって吸着し、トレイと検査用ソケットとの間で一度に移動させることができるＩＣハンドラーを提供する。
【解決手段】被検査用電子部品５が装填される複数の検査用ソケット６を支持する基台２を備える。複数の電子部品を吸着する複数の吸着ノズルを備える。これらの吸着ノズルによって未検査部品用トレイ上の電子部品を吸着し、前記複数の検査用ソケット６に装填した後に検査済み部品用トレイに移載させるヘッドユニット７５とを備える。複数の吸着ノズルのうち少なくとも一つはヘッドユニット７５に対して水平方向に移動自在に支持される。前記未検査部品用トレイ上から前記複数の検査用ソケット６上にヘッドユニット７５が移動する途中において、前記移動可能な吸着ノズルを移動させることによって、未検査部品用トレイの複数の部品収納用凹陥部の間隔により決定される電子部品５の間隔を前記複数の検査用ソケット６の間隔へ変換する吸着ノズル移動装置を備えた。
【選択図】 図１

Description

本発明は、複数の吸着ノズルによって複数の被検査用電子部品を部品収納用トレイと検査用ソケットとの間で移動させるＩＣハンドラーに関するものである。

従来、被検査用の電子部品を部品収納トレイと検査用ソケットとの間で移動させるＩＣハンドラーとしては、例えば特許文献１に開示されたものがある。この特許文献１に示されているＩＣハンドラーは、未検査部品用トレイ上で吸着した電子部品を放すことなく検査用ソケットに装填し、検査後の電子部品を良品トレイまたは不良品トレイに移載する構成の複数の部品移動装置を装備している。これらの部品移動装置は、１本の吸着ノズルを昇降させるヘッドユニットを備え、このヘッドユニットが水平方向に移動するように構成されている。このＩＣハンドラーにおいては、部品移動装置毎に電子部品の検査を行うことができるように、複数の検査用ソケットが設けられている。

また、従来のＩＣハンドラーとしては、例えば特許文献２に開示されているように、一つのヘッドユニットに複数の吸着ヘッドを装備したものもある。この特許文献２に示されているＩＣハンドラーでは、通常の試験を行う電子部品を一方の吸着ヘッドの吸着ノズルによって吸着し、加熱試験を行う電子部品を他方の吸着ヘッドの吸着ノズルによって吸着する。
検査の効率を向上させるためには、特許文献２に記載されているような複数の吸着ノズルを有するヘッドユニットによって複数の電子部品を一度に複数の検査用ソケットに装填することが考えられる。
特開２００３−２６２６５８号公報（第１図） 特開平１１−３３３７７５号公報（第３図）

しかしながら、複数の電子部品を複数の吸着ノズルによって一度に吸着し、部品収納用トレイと検査用ソケットとの間で移動させるに当たって、前記トレイに設けられた複数の部品収納用凹陥部の間隔と、複数の検査用ソケットの間隔とが異なる場合は前記従来の装置では実現することができない。これらの間隔が異なると、トレイ上で複数の電子部品を同時に吸着することができなくなるか、または、複数の電子部品を複数の検査用ソケットに同時に装填することができなくなる。

前記トレイの複数の部品収納用凹陥部間の間隔は、収納する電子部品の大きさに対応して変わることが多い。また、従来のＩＣハンドラーにおいては、検査用ソケットが配設されたテストヘッドは、ソケット間の隙間が規格化されてはいないから、さらには検査対象の電子部品は大きさが一種類のみではないから、種類が異なる電子部品の検査を行うためにテストヘッドが交換されることによりソケット間の間隔が変わってしまうことが多く、このような場合は複数の電子部品を同時に検査用ソケットに装填することはできなかった。

このため、トレイの複数の部品収納用凹陥部の間隔と、複数の検査ソケットの間隔とがどのような間隔であったとしても、複数の吸着ノズルによって電子部品をトレイと検査用ソケットとの間で一度に移動させることができるＩＣハンドラーの提供が要請されている。

一方、ＩＣハンドラーとしては、検査用電子部品を所定の温度に加熱した状態で移動させるものもある。この種のＩＣハンドラーは、電子部品を検査用ソケットに装填する以前に所定の温度に加熱するためのホットプレートを装備しており、未検査部品用トレイから取出した電子部品を前記ホットプレートに載置し、昇温後の電子部品をホットプレートから取出して検査用ソケットに装填するものである。このようなＩＣハンドラーにおいても、ホットプレートの複数の部品収納用凹陥部間の間隔と、検査用ソケットの間隔とが異なる場合は、複数の電子部品を一度に吸着し、かつ検査用ソケットに一度に装填することはできなくなる。

本発明はこのような要請に応えるためになされたもので、複数の電子部品を複数の吸着ノズルによって吸着し、トレイと検査用ソケットとの間で一度に移動させることができるＩＣハンドラーを提供することを目的とする。

この要請に応えるため、本発明に係るＩＣハンドラーは、被検査用電子部品が装填される複数の検査用ソケットを支持する基台と、複数の被検査用電子部品を吸着する複数の吸着ノズルと、これらの吸着ノズルによって未検査部品用トレイ上の電子部品を吸着し、前記複数の検査用ソケットに装填した後に検査済み部品用トレイに移載させるヘッドユニットとを備えたＩＣハンドラーにおいて、複数の吸着ノズルのうち少なくとも一つはヘッドユニットに対して水平方向に移動自在に支持され、前記未検査部品用トレイ上から前記複数の検査用ソケット上へヘッドユニットが移動する途中において、前記移動可能な吸着ノズルを移動させることによって、未検査部品用トレイの複数の部品収納用凹陥部の間隔により決定される電子部品の間隔を前記複数の検査用ソケットの間隔へ変換する吸着ノズル移動装置を備えているものである。
ここでいうトレイとは、専ら電子部品を搬送するものの他に、電子部品を加熱するために収容するホットプレートを含む。

請求項２に記載したＩＣハンドラーは、請求項１に記載したＩＣハンドラーにおいて、吸着ノズル移動装置は、検査用ソケット上から検査済み部品用トレイ上へヘッドユニットが移動する途中において、移動可能な吸着ノズルを移動させることによって、前記複数の検査用ソケットの間隔から決定される電子部品の間隔を、前記検査済み部品用トレイの複数の部品収納用凹陥部の間隔へ変換するものである。

請求項３に記載したＩＣハンドラーは、請求項１または請求項２に記載したＩＣハンドラーにおいて、吸着ノズル移動装置は、検査済み部品用トレイ上から未検査部品用トレイ上へヘッドユニットが移動する途中において、移動可能な吸着ノズルを移動させることによって、前記検査済み部品用トレイの複数の部品収納用凹陥部により決定される吸着ノズルの間隔を、前記未検査部品用トレイの複数の部品収納用凹陥部の間隔により決定される吸着ノズルの間隔に変換するものである。

請求項４に記載したＩＣハンドラーは、請求項１ないし請求項３のうちいずれか一つに記載したＩＣハンドラーにおいて、ヘッドユニットは、複数の検査用ソケットと、未検査部品用トレイの複数の部品収納用凹陥部と、検査済み部品用トレイの複数の部品収納用凹陥部とからなる載置部のうち少なくともいずれか一つの載置部を上方から撮像する載置部用撮像装置と、この載置部用撮像装置が撮像した画像によって前記被撮像物の間隔を検出する間隔検出手段を備えているものである。

請求項５に記載したＩＣハンドラーは、請求項４記載のＩＣハンドラーにおいて、各吸着ノズルは、ヘッドユニットにそれぞれ上下方向の軸線回りに回動自在に支持され、ヘッドユニットは、これら複数の吸着ノズルの回転方向の角度を変化させる回転駆動装置を備え、載置部用撮像装置が撮像した画像によって載置部の上下方向の軸線回りの角度を検出し、この載置部の角度と、吸着ノズルの前記軸線回りの角度とが一致するように前記回転駆動装置の動作量を制御する回転方向位置決め手段を備えているものである。

請求項６に記載したＩＣハンドラーは、請求項１ないし請求項３のうちいずれか一つに記載したＩＣハンドラーにおいて、吸着ノズルに吸着された電子部品を下方から撮像する部品用撮像装置と、この部品用撮像装置が撮像した画像によって前記電子部品の間隔を検出する部品間隔検出手段とを備え、吸着ノズル移動装置は、前記部品間隔検出手段が検出した吸着後の電子部品の間隔と、検査用ソケットの間隔とが一致するように移動可能な吸着ノズルを移動させるものである。

請求項７に記載したＩＣハンドラーは、請求項６に記載したＩＣハンドラーにおいて、ヘッドユニットが検査用ソケットの上方であって電子部品を装填可能な位置に移動するための移動方向と距離のデータを、吸着ノズル移動装置の駆動により移動した吸着ノズルの移動量に対応させて補正する補正手段を備えているものである。

請求項８に記載したＩＣハンドラーは、請求項６または請求項７に記載したＩＣハンドラーにおいて、部品用撮像装置を、検査用ソケットが搭載された基台に設けたものである。

請求項９に記載したＩＣハンドラーは、請求項６ないし請求項８のうちいずれか一つに記載したＩＣハンドラーにおいて、各吸着ノズルは、ヘッドユニットにそれぞれ上下方向の軸線回りに回動自在に支持され、ヘッドユニットは、これら複数の吸着ノズルの回転方向の角度を変化させる回転駆動装置を備え、部品用撮像装置が撮像した画像に基づいて電子部品の上下方向の軸線回りの角度を検出し、この電子部品の角度と、検査用ソケットの回転方向の角度とが一致するように前記回転駆動装置の動作量を制御する回転方向位置決め手段を備えているものである。

請求項１０に記載したＩＣハンドラーは、請求項１ないし請求項９のうちいずれか一つに記載したＩＣハンドラーにおいて、ヘッドユニットは、検査用ソケットが搭載された基台の上方で互いに直交する水平な２方向に移動し、吸着ノズル移動装置は、前記ヘッドユニットの移動する方向と平行な２方向に吸着ノズルを２個のモータによって独立して移動させるものである。

本発明によれば、未検査部品用トレイの複数の部品収納用凹陥部間の間隔と、複数の検査用ソケットの間隔とが異なる場合、移動可能な吸着ノズルが移動することにより前記両者の間隔の相違が解消される。このため、本発明に係るＩＣハンドラーにおいては、未検査部品用トレイまたはホットプレート上の複数の電子部品を複数の吸着ノズルによって一度に吸着し、途中で放すことなく検査用ソケットに装填することができるから、検査の効率を向上させることができる。

請求項２記載の発明によれば、複数の検査用ソケットの間隔と、検査済み部品用トレイの複数の部品収納用凹陥部の間隔とが異なる場合、移動可能な吸着ノズルが移動することにより前記両者の間隔の相違が解消される。このため、この発明に係るＩＣハンドラーにおいては、検査後の複数の電子部品を複数の吸着ノズルによって一度に検査済み部品用トレイに移載することができるから、より一層検査の効率が高くなる。

請求項３記載の発明によれば、検査済み部品用トレイの複数の部品収納用凹陥部間の間隔と、未検査部品用トレイの複数の部品収納用凹陥部間の間隔とが異なる場合、移動可能な吸着ノズルが移動することにより前記両者の間隔の相違が解消される。このため、この発明に係るＩＣハンドラーにおいては、検査後の電子部品を検査済み部品用トレイに戻した後、未検査部品用トレイにおいて新たに複数の吸着ノズルで電子部品を一度に吸着することができるから、より一層検査の効率が高くなる。

請求項４記載の発明によれば、電子部品の種類の変更とともにトレイの種類が変わり、トレイの部品収納用凹陥部間の間隔が変わった場合や、検査する電子部品の種類を変えるときなどで検査用ソケットを交換した場合、ヘッドユニットを移動させ載置部用撮像装置によってトレイや検査用ソケットを上方から撮像することによって、新たなトレイの部品収納用凹陥部間の間隔や、検査用ソケットの間隔を検出し容易に設定することができる。

請求項５記載の発明によれば、トレイの複数の部品収納用凹陥部の上下方向の軸線回り角度、検査用ソケットの上下方向の軸線回りの角度と、吸着ノズルの上下方向の軸線回りの角度とを一致させることができるから、複数の電子部品をより一層正確に検査用ソケットに装填することができるとともに検査済み部品用トレイに移載することができる。

請求項６記載の発明によれば、吸着ノズルによって電子部品を吸着したときに電子部品の位置が目標とする位置からずれたとしても、この位置ずれは吸着ノズル移動手段によって修正される。このため、この発明によるＩＣハンドラーにおいては、電子部品の吸着時に吸着ノズルに対して電子部品が位置ずれを起こしたとしても、この電子部品を正しく検査用ソケットに装填することができる。

請求項７記載の発明によれば、吸着時の電子部品の吸着ノズルに対する位置ずれを修正するために吸着ノズルの位置が初期の位置から変わったとしても、補正手段によりヘッドユニットの移動方向と距離のデータが修正されるから、前記吸着ノズルの位置の変化を反映するようにヘッドユニットが動作する。このため、この発明によれば、電子部品をより一層正確に検査用ソケットに装填することができる。

請求項８記載の発明によれば、吸着ノズルが電子部品を吸着した吸着位置から検査用ソケットに移動する途中で電子部品を下方から撮像することができる。
このため、電子部品を撮像するために検査用ソケットが位置する方向とは異なる方向にヘッドユニットを移動させる必要がなく、ヘッドユニットを略一直線状に移動させることができるから、ヘッドユニットの移動時間を短縮することができ、タクトタイムの短縮を図ることができる。

請求項９記載の発明によれば、複数の電子部品の上下方向の軸線回り角度と、検査用ソケットの上下方向の軸線回り角度とを一致させることができ、複数の電子部品をより一層正確に検査用ソケットに装填することができる。

請求項１０記載の発明によれば、複数の検査用ソケットが例えば２列に並ぶような場合において、検査用ソケットの間隔と電子部品の間隔とを一致させることができる。また、升目状に形成されているトレイの部品収納用凹陥部の前後方向の間隔および左右方向の間隔と、複数の吸着ノズルまたは電子部品の間隔とを一致させることができる。
したがって、この発明に係るＩＣハンドラーによれば、トレイの部品収納用凹陥部と検査用ソケットとがそれぞれ前後方向と左右方向とに並ぶ場合であっても、電子部品の吸着、装填、移載をそれぞれ確実に行うことができる。

以下、本発明に係るＩＣハンドラーの一実施の形態を図１ないし図１４によって詳細に説明する。
図１は本発明に係るＩＣハンドラーの平面図である。同図においては、トレイ支持装置やストッカーをこれらの上にトレイが載置されていない状態で描いてある。図２は図１におけるII−II線断面図、図３は部品移動装置の構成を説明するための斜視図、図４はヘッドユニットの斜視図、図５は単位ユニットの動作方向を説明するための斜視図で、同図は二つの単位ユニットのみが描いてある。図６は単位ユニットの側面図で、同図においては構成部材の連結部分を破断して示す。この破断位置を図１中にVI−VI線によって示す。

図７はトレイ支持装置の構成を示す図で、同図（ａ）は側面図、同図（ｂ）は正面図である。図８はトレイ移載装置とトレイ支持装置の動作を説明するための平面図、図９ないし図１２はトレイ移載装置とストッカーの動作を説明するための正面図、図１３はＩＣハンドラーの概略構成を示す斜視図、図１４は本発明に係るＩＣハンドラーの制御系の構成を示すブロック図である。

これらの図において、符号１で示すものは、この実施の形態によるＩＣハンドラーを示す。
このＩＣハンドラー１は、図１および図２に示すように、基台２の後端部（図１においては上端部であって、図２においては右側の端部）に位置する検査領域Ａと、前記基台２の前後方向の略中央部に位置する部品領域Ｂとの間において後述する部品移動装置３，４によって電子部品５（図２および図６参照）を移動させるものである。なお、本明細書中においては、図１において上下方向を装置の前後方向としてＹ方向といい、図１において左右方向を装置の左右方向としてＸ方向といい、紙面に直交する方向を単にＺ方向という。

前記基台２の検査領域Ａには開口２ａが設けられ、被検査用の電子部品５が載置される検査用ソケット６が複数配設されたテストヘッド８が、この開口２ａの下方において基台２に着脱可能に固着されている。前記検査用ソケット６は、基台２内においてＩＣハンドラー１とは独立に床に載置される検査装置本体７（図２参照）に、テストヘッド８を介してあるいは直接に、不図示の検査用電流ケーブルを介して連結されている。また、この検査用ソケット６は、上方から電子部品５（図２および図６参照）が装填される構成が採られ、基台２のＸ方向の略中央部に配設されている。この実施の形態においては、４個の検査用ソケット６が設けられている。これらの検査用ソケット６は、Ｘ方向に並ぶ２個の検査用ソケット６，６がＹ方向に２組並ぶように設けられている。電子部品５の検査は、検査用ソケット６に電子部品５が載置された状態で、電子部品５と検査装置本体７との間で検査用電流を入出力することにより実施される。前記検査用電流ケーブルのいずれか一方の端部あるいは中間部には、脱着可能なコネクタが配置されている。

前記基台２の上には、この基台２の前端部に位置する複数のストッカー１１，１１‥‥と、これらのストッカー１１と前記検査用ソケット６との間に位置するトレイ支持装置１２と、前記ストッカー１１とトレイ支持装置１２との間で後述するトレイＴ（図２参照）を移動させるトレイ移載装置１３と、基台２のＸ方向の両端部に位置する固定レール１４によって支持された第１の部品移動装置３および第２の部品移動装置４と、これらの部品移動装置３，４によって吸着されて移動する電子部品５を下方から撮像するための複数の部品用撮像装置１５とが設けられている。これらの部品用撮像装置１５は、検査用ソケット６とトレイ支持装置１２との間において基台２のＸ方向の中央に対して左側と右側とに振り分けられるような位置にそれぞれＸ方向に並ぶ状態で２個ずつ設けられている。また、上述した各装置は、図１４に示す制御手段２００に接続され、この制御手段２００によって動作が制御される。
以下、上述した基台２上の各装置について詳細に説明する。

前記ストッカー１１は、図２に示すように、複数のトレイＴを上下方向に重ねた状態で収容する構造のもので、図１に示すように、Ｘ方向に並ぶ状態で複数設けられている。前記トレイＴは、図８に示すように、プラスチックによって平面視においてＹ方向に長い長方形の皿状に形成されている。このトレイＴには、図示してはいないが、電子部品５を収納するための凹陥部が上方に向けて開口する状態で多数形成されている。

前記ストッカー１１は、図１、図２および図１３に示すように、最下部に位置する平面視四角形状の枠体２１と、この枠体２１の後端部に立設された断面Ｌ字状の後側支柱２２と、前記枠体２１の前端部に立設された断面Ｌ字状の前側支柱２３と、前記枠体２１に設けられたトレイ支持用のフック２４（図９〜図１２参照）などを備えている。図１３においては、複数のストッカーのうちＸ方向の両端部に位置するストッカーのみが描いてある。

このストッカー１１は、図２に示すように、前記基台２の前端部上に設けられたストッカー用フレーム２５の上に搭載されている。このストッカー用フレーム２５は、図１には図示していない。このストッカー用フレーム２５における前記ストッカー１１の枠体２１の下方となる部位には、トレイ出し入れ口２６（図２参照）が形成されている。

ストッカー１１の前記枠体２１は、内部の開口部分に水平状態のトレイＴを上下方向に装填することができるように形成されている。
前記後側支柱２２と前側支柱２３は、長方形状のトレイＴの四隅を嵌合状態で保持するように位置付けられている。前側支柱２３は、図２に示すように、後側支柱２２より低くなるように形成されている。

前記フック２４は、ストッカー１１内のトレイＴを支えるためのもので、平面視において前記枠体２１の開口部分内に先端部が臨む前進位置と、この先端部が開口部分の外に出る後退位置との間で往復可能に枠体２１に支持されている。また、各フック２４には、前進位置と後退位置とのいずれか一方にフック２４を移動させるアクチュエータ２７（図１４参照）が接続されている。このアクチュエータ２７の動作は、制御手段２００に設けられた基本動作制御手段２０１によって制御される。

このフック２４の前記先端部は、図示してはいないが、トレイＴの側部に側方へ向けて開口するように形成された凹陥部内に係入するように形成されている。なお、図９〜図１２に図示したフック２４は、トレイＴを支持している状態と放した状態とを容易に判別することができるように、前記先端部によってトレイＴの下端を支承する構造として描いてある。また、このフック２４は、上述したように平行移動する構造の他に、平面視において先端部が前記開口部分内に臨む横状態と、先端部が下方を指向するようにフック全体が約９０°回り、先端部が前記開口部分の外に出る縦状態との間で回動する構造を採ることもできる。

前記トレイ支持装置１２は、図１に示すように、Ｘ方向に一列に並ぶように３台設けられている。すなわち、部品領域Ｂは、平面視において、検査領域Ａから離間する方向（Ｙ方向）とは直交する方向（Ｘ方向）に複数並べて設けられている。これらのトレイ支持装置１２には、図８に示すように、未検査の電子部品５が収納された未検査部品用トレイＴ１と、検査後に良品であると判定された電子部品５を収納する良品用トレイＴ２と、検査後に不良品であると判定された電子部品５を収納する不良品用トレイＴ３とが支持されている。

これらのトレイ支持装置１２は、後述する部品領域移動装置３１によって支持された状態でＸ方向に移動する。なお、このトレイ支持装置１２の台数は３台に限定されることはなく、必要に応じて増加したり減少させたりすることができる。これらのトレイ支持装置１２と部品領域移動装置３１の動作は、図１４に示す制御手段２００の基本動作制御手段２０１によって制御される。
各トレイ支持装置１２は、図１、図２、図７および図８に示すように、後述する部品領域移動装置３１の板状支持台３２の上に設けられたトレイ昇降用シリンダ３３と、Ｘ方向に間隔をおいて互いに対向するように前記板状支持台３２の上に立設された一対の縦板３４と、これらの縦板３４の内側にそれぞれ設けられたベルトコンベア３５と、前記２枚の縦板３４，３４の上端部どうしの間に横架された前側受圧板３６および後側受圧板３７と、前記縦板３４のＹ方向の途中の部位に設けられた一対の側部ガイド部材３８，３８と、装置後側の端部に設けられたトレイ用ストッパー３９｛図７（ａ）参照｝などによって構成されている。

前記トレイ昇降用シリンダ３３は、ピストンロッド３３ａが上下方向に移動するように板状支持台３２の上に固定され、ピストンロッド３３ａによって後述するトレイ昇降用プレート４０を昇降させる。なお、図７はシリンダ３３を支持する部材を省略して描いてある。
前記トレイ昇降用プレート４０は、トレイＴの下面を支承するためのもので、平面視においてＹ方向に長くなる長方形状に形成されており、前記板状支持台３２に昇降ガイド４１によって昇降自在に支持されている。このトレイ昇降用プレート４０は、前記一対のベルトコンベア３５，３５の間にこれらのベルトコンベア３５に対して接触することがないように挿入されている。

このように形成されたトレイ昇降用プレート４０は、前記シリンダ３３の駆動により、ベルトコンベア３５の搬送面より低くなるような待機位置（図２参照）と、前記搬送面より高い位置であってトレイＴが後述する前側受圧板３６と後側受圧板３７とに押付けられるような上昇位置との間で昇降する。
前記縦板３４は、ベルトコンベア３５を前端部から後端部にわたって側方から囲むような長さに形成されている。
前記ベルトコンベア３５は、トレイＴの両側部を支承しながらトレイＴをＹ方向に搬送し、トレイ支持装置１２内へのトレイＴの搬入とトレイ支持装置１２からのトレイＴの搬出とを行うためのものである。このベルトコンベア３５の駆動軸４２は、３台のトレイ支持装置１２をＸ方向に貫通するように形成され、これらのトレイ支持装置１２の全てのベルトコンベア３５を同時に駆動する。

前記前側受圧板３６と後側受圧板３７は、トレイＴの上下方向の位置を決めるともにトレイＴの歪みを矯正するためのものである。これらの前側受圧板３６と後側受圧板３７の下面は、前記シリンダ３３とトレイ昇降用プレート４０とによって上昇させられたトレイＴの上面が下方から当接するように平坦に形成されている。前記前側受圧板３６には、図７（ａ）に示すように、ベルトコンベア３５によって搬入されたトレイＴの端部を検出するための光学式センサ４３が設けられている。

前記側部ガイド部材３８は、トレイＴのＸ方向の位置を決めるためのもので、図１に示すように、平面視において縦板３４の上端部からベルトコンベア３５の上方へ延びるように形成されている。この側部ガイド部材３８の延在部分の下面は、図示してはいないが、上方に向かうにしたがって次第に側部ガイド部材３８の先端に向かうように傾斜している。すなわち、ベルトコンベア３５によってトレイ支持装置１２内に搬入されたトレイＴが前記シリンダ３３とトレイ昇降用プレート４０とによって上昇させられることにより、このトレイＴは、側部ガイド部材３８の前記下面に両側部が下方から接触し、一対の側部ガイド部材３８によってＸ方向に位置決めされる。

前記トレイ用ストッパー３９は、ベルトコンベア３５によってトレイ支持装置１２内に搬送されたトレイＴの搬送方向の位置を決めるためのもので、図７（ａ）に示すように、トレイＴの後端面（トレイ支持装置１２内に搬入されるトレイＴの進行方向前側の端面）が当接する縦面が形成されている。このトレイ用ストッパー３９は、前記板状支持台３２または縦板３４にブラケット（図示せず）を介して支持されている。

前記部品領域移動装置３１は、図１、図２および図７（ｂ）に示すように、基台２上でＸ方向に延びる一対の固定レール４４と、これらの固定レール４４にＸ方向に移動自在に支持されたスライダ４５と、このスライダ４５に支持された前記板状支持台３２と、この板状支持台３２と前記スライダ４５とをＸ方向に移動させるボールねじ式の駆動装置４６（図８参照）とから構成されている。このボールねじ式の駆動装置４６は、図１および図２に示すように、前記両固定レール４４，４４どうしの間でＸ方向に延びるボールねじ軸４７を回転させ、このボールねじ軸４７に螺合するとともに板状支持台３２に一体的に設けられたナット部材４８を移動させる。

前記トレイ移載装置１３は、図１、図２、図８〜図１２に示すように、基台２上でＸ方向に延びる固定レール５１と、この固定レール５１にＸ方向に移動自在に支持されたスライダ５２と、このスライダ５２をＸ方向に所定量だけ移動させるボールねじ式の駆動装置５３と、前記スライダ５２の上に固定された支持板５４と、この支持板５４の上に設けられた２組の移載装置本体５５，５５と、前記固定レール５１と上述したトレイ支持装置１２との間に位置する中継用コンベア５６などによって構成されている。このトレイ移載装置１３の動作は、図１４に示す制御手段２００の基本動作制御手段２０１によって制御される。

前記２組の移載装置本体５５は、上述したストッカー１１に下方からトレイＴを搬入したりストッカー１１の下端部からトレイＴを搬出するためのもので、複数のストッカー１１の並設間隔と同一の間隔となるようにＸ方向に並べられている。
これらの移載装置本体５５は、前記支持板５４の上にＹ方向に並ぶ状態で固定された第１のシリンダ６１および第２のシリンダ６２と、これらのシリンダ６１，６２のＸ方向の両側において前記支持板５４に立設された一対の縦板６３，６３と、これらの縦板６３の内側にそれぞれ設けられた一対のベルトコンベア６４，６４などによってそれぞれ構成されている。

前記第１および第２のシリンダ６１，６２は、ピストンロッド６１ａ，６２ａが上下方向に移動するように前記支持板５４に固定され、ピストンロッド６１ａ，６２ａによって後述するトレイ支承部材６５を昇降させる。これらの第１および第２のシリンダ６１，６２のうち装置後側（図２においては右側）に位置する第１のシリンダ６１のピストンロッド６１ａの移動ストロークは、第２のシリンダ６２のピストンロッド６２ａの移動ストロークより長くなるように形成されている。このように移動ストロークが異なる２種類のシリンダ６１，６２を装備しているのは、後述するようにトレイ支承部材６５の上昇位置を相対的に高い位置と相対的に低い位置との２段階に切換えるためである。

前記トレイ支承部材６５は、トレイＴの下面を支承するためのもので、平面視においてＹ方向に長くなる長方形状に形成されており、前記支持板５４または縦板６３に設けられた昇降ガイド（図示せず）によって昇降自在に支持されている。また、このトレイ支承部材６５は、図９〜図１２に示すように、後述する一対のベルトコンベア６４，６４の間にこれらのベルトコンベア６４に対して接触することがないように挿入されている。なお、図９〜図１２においては、トレイ移載装置１３の動作を理解し易いように、トレイ支承部材６５は模式的に描いてある。

さらに、このトレイ支承部材６５の平面視における大きさは、例えば図９（ｂ）に示すように、移載装置本体５５が前記ストッカー１１の直下に位置決めされている状態でトレイ支承部材６５が上昇することによって、このトレイ支承部材６５がストッカー用フレーム２５のトレイ出し入れ口２６内に入ることができるような大きさに形成されている。
このように形成されたトレイ支承部材６５は、第１のシリンダ６１と第２のシリンダ６２の駆動により、ベルトコンベア６４の搬送面より低くなるような待機位置（図２参照）と、前記搬送面より高い位置であってストッカー１１の下端部近傍の後述する上昇位置との間で昇降する。

第１のシリンダ６１によってトレイ支承部材６５を上昇させた場合のトレイ支承部材６５の上昇位置は、例えば図１２（ａ）に示すように、ストッカー１１内の最も下に位置するトレイＴがトレイ支承部材６５によって前記フック２４より上に押し上げられるような位置に設定されている。一方、第２のシリンダ６２によってトレイ支承部材６５を上昇させた場合のトレイ支承部材６５の上昇位置は、図１０（ａ）に示すように、フック２４に支持されたストッカー１１内の最も下に位置するトレイＴに、トレイ支承部材６５に載せられたトレイＴが下から重ねられるような位置に設定されている。

前記トレイ移載装置１３のベルトコンベア６４は、トレイＴの両側部を支承しながらトレイＴをＹ方向に搬送するためのもので、図２に示すように、搬送面が水平になるように縦板６３に装着されている。前記搬送面の高さは、上述したトレイ支持装置１２のベルトコンベア３５の搬送面と略同じ高さに位置付けられている。

前記中継コンベア５６は、図１および図２に示すように、トレイＴの両側部を支承しながらトレイＴをＹ方向に搬送するベルトコンベア６６を備え、上述したトレイ支持装置１２のベルトコンベア３５と、トレイ移載装置１３のベルトコンベア６４との間でトレイＴの受け渡しを行うように構成されている。また、この中継コンベア５６のベルトコンベア６６は、トレイ支持装置１２のベルトコンベア３５およびトレイ移載装置１３のベルトコンベア６４とともに、トレイＴの搬送方向に動作する。

前記第１の部品移動装置３と第２の部品移動装置４は、基台２のＹ方向に延びる中心線に対して線対称となるように形成されている。このため、ここにおいては、図１において左側に位置する第１の部品移動装置３について説明し、第２の部品移動装置４については、第１の部品移動装置３と同一符号を付して詳細な説明は省略する。

第１の部品移動装置３は、図１〜図６に示すように、基台２のＸ方向の端部上でＹ方向に延びる一対の固定レール１４，１４と、これらの固定レール１４にＹ方向に移動自在に支持されたＹ方向移動部材７１と、このＹ方向移動部材７１をＹ方向に移動させるボールねじ式の第１のＹ方向駆動装置７２と、前記Ｙ方向移動部材７１にＸ方向に移動自在に支持された支持部材７３（図３参照）と、この支持部材７３を前記Ｙ方向移動部材７１に対してＸ方向に移動させるボールねじ式の第１のＸ方向駆動装置７４（図３参照）と、前記支持部材７３に設けられたヘッドユニット７５などによって構成されている。この第１の部品移動装置３と第２の部品移動装置４の前記駆動装置７２，７４と、後述するヘッドユニット７５内の各装置の動作は、後述する制御手段２００によって制御される。

前記固定レール１４は、図１に示すように、基台２上に複数設けられたストッカー１１のうち最も外側に位置するストッカー１１とＸ方向の同一位置であって、かつ前記最も外側に位置するストッカー１１から装置の後方に離間するような位置に配設されている。
前記Ｙ方向移動部材７１は、図３に示すように、前記固定レール１４，１４にスライド部材（図示せず）を介して接続された基部７１ａと、この基部７１ｂの上端部から側方（図３においては右方）に突出する一対の腕部７１ｂとを備えている。これらの腕部７１ｂは、Ｙ方向に間隔をおいて並ぶように設けられており、ガイド部材７１ｃを介して前記支持部材７３をＸ方向に移動自在に支持している。前記ガイド部材７１ｃは、支持部材７３に設けられたレール７３ａを上方から支える構造が採られている。

前記Ｙ方向移動部材７１をＹ方向に駆動する第１のＹ方向駆動装置７２は、図１に示すように、Ｙ方向に延びる状態で前記固定レール１４に対して回転自在に支持されたボールねじ軸７６と、このボールねじ軸７６の途中に螺合しかつＹ方向移動部材７１に固着したナット部材（図示せず）と、前記ボールねじ軸７６における装置後側の端部に接続されたモータ７９などによって構成されている。

前記支持部材７３は、図３に示すように、開口７３ｂを有する平面視長方形の板状に形成されており、Ｙ方向の両端部が前記レール７３ａを介して前記Ｙ方向移動部材７１に支持されている。
この支持部材７３をＸ方向に駆動する第１のＸ方向駆動装置７４は、図３に示すように、Ｙ方向移動部材７１の上部に設けられたモータブロック８１と、このモータブロック８１に回転自在に支持されたボールねじ軸８２と、このボールねじ軸８２に螺合しかつ支持部材７３に固着したナット部材８２ａと、前記ボールねじ軸８２の一端部（第１の部品移動装置３においては左側の端部）に接続されたモータ８３などによって構成されている。前記ナット部材８２ａは、支持部材７３における開口７３ｂを有する枠状部８４とは反対側の端部に取付けられている。

前記ヘッドユニット７５は、図１および図４に示すように、前記枠状部８４のＸ方向延在部分８４ａに取付けられた４個の単位ユニット８５によって構成されている。
これらの４個の単位ユニット８５は、図１に示すように、平面視において前記４個の検査用ソケット６と同様にＸ方向とＹ方向とに並べられている。この実施の形態によるヘッドユニット７５には、前記検査用ソケット６を上方から撮像するためのヘッド側撮像装置８６，８７が設けられている。ヘッド側撮像装置８６は検査ソケット６の撮像に用いられ、ヘッド側撮像装置８７はトレイ支持装置１２に搬送されるトレイＴの撮像に用いられる。所定のタイミングで撮像されるトレイＴの所定の凹陥部あるいはフィデューシャルマークの位置から、ベルトコンベア３５の搬送誤差、ボールねじ式駆動装置４６の駆動量の補正量が算出される。これら補正量が加味されて、部品領域移動装置３１上の各トレイＴは、電子部品５の吸着、載置に際して正しい位置に配置される。これらの撮像装置８６，８７は、前記枠状部８４のＹ方向の両端部に設けられている。この実施の形態においては、前記ヘッド側撮像装置８６とヘッド側撮像装置８７とによって本発明でいう載置部用撮像装置が構成されている。

前記各単位ユニット８５は、図６に示すように、前記枠状部８４の前記Ｘ方向延在部分８４ａに取付けられたＸ方向支持部材９１と、このＸ方向支持部材９１の下部にＸ方向に移動自在に装着されたＸ方向スライダ９２と、このＸ方向スライダ９２をＸ方向に駆動するボールねじ式の第２のＸ方向駆動装置９３と、前記Ｘ方向スライダ９２の下部に一体に形成されたＹ方向支持部材９４と、このＹ方向支持部材９４の下部にＹ方向に移動自在に装着されたＹ方向スライダ９５と、このＹ方向スライダ９５をＹ方向に駆動するボールねじ式の第２のＹ方向駆動装置９６と、前記Ｙ方向スライダ９５の下部にブラケット９７を介して取付けられたＺ方向支持部材９８と、このＺ方向支持部材９８にＺ方向に移動可能に支持された吸着ヘッド９９と、この吸着ヘッド９９を昇降させるＺ方向駆動装置１００などによって構成されている。この単位ユニット８５によって、本発明でいう吸着ノズル移動装置が構成されている。

前記Ｘ方向支持部材９１とＸ方向スライダ９２との間と、Ｙ方向支持部材９４とＹ方向スライダ９５との間には、いわゆるクロスローラガイドなどの直動案内用の部材１０１が介装されている。前記第２のＸ方向駆動装置９３は、Ｘ方向支持部材９１にＸ方向に延びる状態で回転自在に支持されたボールねじ軸１０２と、このボールねじ軸１０２の一端部に接続されたモータ１０３（図４〜図６参照）と、ボールねじ軸１０２の途中に螺合しかつＸ方向スライダ９２に固着したナット部材１０４とから構成されている。この第２のＸ方向駆動装置９３のモータ１０３は、図４に示すように、前記枠状部８４のＸ方向延在部分８４ａに沿うように装備されている。

前記第２のＹ方向駆動装置９６は、図６に示すように、Ｙ方向に延びる状態で前記Ｙ方向支持部材７３に回転自在に支持されたボールねじ軸１１０と、このボールねじ軸１１０の一端部に接続されたモータ１１１と、前記ボールねじ軸１１０の途中に螺合しかつＹ方向スライダ９５に固着したナット部材１１２とから構成されている。この第２のＹ方向駆動装置９６のモータ１１１は、図４に示すように、前記枠状部８４からＹ方向の両側に突出するように装備されている。

この第２のＹ方向駆動装置９６と前記第２のＸ方向駆動装置９３は、上述した第１のＹ方向駆動装置７２と第１のＸ方向駆動装置７４に較べてナット部材１０４，１１２の移動量が少なくなり、またナット部材１０４，１１２の位置（従動側の部材の位置）を決める際の分解能が高くなるように構成されている。

前記Ｚ方向支持部材９８は、図６に示すように、Ｚ方向に延びる筒状に形成されており、内部に後述するＺ方向駆動装置１００のボールねじ軸１１３と、後述する吸着ヘッド９９を昇降自在に支持するガイド部材（図示せず）などを収容している。
Ｚ方向駆動装置１００は、図６に示すように、Ｚ方向に延びる状態で前記Ｚ方向支持部材９８に回転自在に支持された前記ボールねじ軸１１３と、Ｚ方向支持部材９８の上端部に支持されかつ前記ボールねじ軸１１３の上端部に接続されたモータ１１４と、前記ボールねじ軸１１３の途中に螺合しかつ後述する吸着ヘッド９９に結合されたナット部材１１５とから構成されている。

前記吸着ヘッド９９は、図６に示すように、前記Ｚ方向支持部材９８のガイド部材に嵌合するとともにＺ方向駆動装置１００のナット部材１１５に結合されたハウジング１２１と、Ｚ方向に延びる状態で前記ハウジング１２１の内部に回転自在に支持されたシャフト１２２と、このシャフト１２２を回転させるモータ１２３を有する回転駆動装置１２４と、前記シャフト１２２の下端部に着脱可能に取付けられた吸着ノズル１２５とを備えている。前記シャフト１２２は、中空状に形成されており、空気吸引装置（図示せず）に接続されている。

前記吸着ノズル１２５は、下端に吸着面が形成され、前記シャフト１２２ともに前記ハウジング１２１に対してＺ方向の軸線回りに回動できるように構成されている。
すなわち、この単位ユニット８５は、図５に示すように、支持部材７３に対してＸ方向と、Ｙ方向と、Ｚ方向とに吸着ノズル１２５を移動させるとともに、Ｚ方向の軸線回りに吸着ノズル１２５を回動させる。

前記制御手段２００は、図１４に示すように、前記基本動作制御手段２０１と、部品間隔検出手段２０２と、載置部間隔検出手段２０３と、吸着ノズル移動手段２０４と、回転方向位置決め手段２０５と、補正手段２０６とを備えている。
この実施のの形態によるＩＣハンドラー１の制御手段２００は、検査装置本体７内の制御装置と不図示の連係用ケーブルで結ばれ、複数の検査用ソケット６への各電子部品５の各吸着ノズル１２５による装着が終了した情報を検査装置本体７内の制御装置に伝達し、検査装置本体７内の制御装置は検査が終わったことと検査結果の情報を、制御手段２００へ伝達する。また、制御手段２００は、検査が終わったことと検査結果の情報を受けて、検査済みの電子部品５が良品である場合には良品用トレイＴ２へ、不良品である場合には不良品用トレイＴ３にそれぞれ電子部品５を移載するように、吸着ノズル移動手段２０４を制御する。

前記基本動作制御手段２０１は、前記トレイ支持装置１２と、トレイ移載装置１３、部品用撮像装置１５、部品領域移動装置３１、フック用アクチュエータ２７、第１のＹ方向駆動装置７２、第１のＸ方向駆動装置７４、ヘッド側撮像装置８６、ヘッド側撮像装置８７およびＺ方向駆動装置１００などの各装置の動作を制御する。

前記部品間隔検出手段２０２は、前記部品用撮像装置１５によって撮像された吸着後の電子部品５の画像データを使用して、画像処理により全ての単位ユニット８５において電子部品５の位置を検出するように構成されている。この検出時には、４個の単位ユニット８５に吸着された４個の電子部品５のうちＸ方向に並ぶ２個の電子部品５，５間の間隔と、Ｙ方向に並ぶ２個の電子部品５，５間の間隔と、各電子部品５についてＺ方向に延びる軸線回りの角度（回転位置）とを検出する。

電子部品５の前記Ｘ方向の間隔は、４個の電子部品５のうち装置前側でＸ方向に並ぶ２個の電子部品５，５間の間隔と、装置後側でＸ方向に並ぶ２個の電子部品５，５間の間隔とを検出する。また、前記Ｙ方向の間隔は、４個の電子部品５のうち装置右側でＹ方向に並ぶ２個の電子部品５，５間の間隔と、装置左側でＹ方向に並ぶ２個の電子部品５，５間の間隔を検出する。なお、部品用撮像装置１５が撮像した電子部品５の画像データと、電子部品５の位置を示すデータは、制御手段２００に接続されたメモリ２０７に記憶させておく。

前記載置部間隔検出手段２０３は、前記ヘッドユニット７５に設けられたヘッド側撮像装置８６とヘッド側撮像装置８７によって撮像された検査用ソケット６と、トレイ支持装置１２上のトレイＴ１〜Ｔ３の画像データを使用して、画像処理によって複数の検査用ソケット６間および各トレイＴ１〜Ｔ３の複数の部品収納用凹陥部間についてそれぞれＸ方向とＹ方向の間隔を検出する。なお、ここでいう複数の検査用ソケット６間のＸ方向の間隔とは、４個の検査用ソケット６のうち装置前側でＸ方向に並ぶ２個の検査用ソケット６，６間の間隔と、装置後側でＸ方向に並ぶ２個の検査用ソケット６，６間の間隔をいう。

また、複数の検査用ソケット６，６のＹ方向の間隔とは、４個の検査用ソケット６のうち装置右側でＹ方向に並ぶ２個の検査用ソケット６，６間の間隔と、装置左側でＹ方向に並ぶ２個の検査用ソケット６，６間の間隔をいう。このときに間隔が検出される前記部品収納用凹陥部とは、トレイに設けられている多数の部品収納用凹陥部のうち、Ｘ方向に隣接する二箇所の凹陥部と、これらの凹陥部に対しＹ方向に隣接する二箇所の凹陥部のことをいう。以下においては、これらの四箇所の部品収納用凹陥部のＸ方向とＹ方向の間隔を単に「複数の部品収納用凹陥部間の間隔」という。

また、この検出時には、載置部間隔検出手段２０３は、各検査用ソケット６についてＺ方向に延びる軸線回りの角度と、良品用トレイＴ１および不良品用トレイＴ２についてＺ方向に延びる軸線回りの角度などを検出する。なお、ヘッド側用撮像装置８６とヘッド側撮像装置８７とが撮像した検査用ソケット６および各トレイＴ１〜Ｔ３の画像データと、検査用ソケット６およびトレイＴ１〜Ｔ３の位置を示すデータは、制御手段２００に接続されたメモリ２０７に記憶させておく。

前記吸着ノズル移動手段２０４は、４個の単位ユニット６にそれぞれ設けられた第２のＸ方向駆動装置９３と第２のＹ方向駆動装置９６との動作を制御するためのものである。
この実施の形態による吸着ノズル移動手段２０４は、吸着ノズル１２５が電子部品５を未検査部品用トレイＴ１上で吸着するときと、電子部品５を検査用ソケット６に装填するときと、検査が終了した電子部品５を良品用トレイＴ２または不良品用トレイＴ３に移載するときと、これらの検査済み部品用のトレイＴ２，Ｔ３上から前記未検査部品用トレイＴ１上に戻るときに、必要に応じて各単位ユニット８５の第２のＸ方向駆動装置９３と第２のＹ方向駆動装置９６とを動作させる。

すなわち、この吸着ノズル移動手段２０４は、吸着ノズル１２５が電子部品５を未検査部品用トレイＴ１上で吸着するときは、吸着ノズル１２５の間隔が未検査部品用トレイＴ１の複数の部品収納用凹陥部の間隔と一致するように、Ｘ方向駆動装置９３と第２のＹ方向駆動装置９６との動作を制御し吸着ノズル１２５を移動させる。なお、各吸着ノズル１２５のＸ方向およびＹ方向の間隔は、ＩＣハンドラー１の動作開始時に予め設定しておいたり、部品を吸着していない初期状態にある吸着ノズル１２５を部品用撮像装置１５により撮像した画像データに基づいて画像処理によって検出する。

吸着ノズル移動手段２０４は、電子部品５を検査用ソケット６に装填するときは、未検査部品用トレイＴ１の複数の部品収納用凹陥部の間隔により決定される電子部品５の間隔が前記複数の検査用ソケット６の間隔と一致するように、Ｘ方向駆動装置９３と第２のＹ方向駆動装置９６との動作を制御し、吸着ノズル１２５を移動させる。複数の電子部品５のＸ方向およびＹ方向の間隔は、前記部品間隔検出手段２０２によって検出した値を使用する。複数の検査用ソケット６のＸ方向およびＹ方向の間隔は、載置部間隔検出手段２０３が検出した値を使用する。

吸着ノズル移動手段２０４は、検査が終了した電子部品５を良品用トレイＴ２または不良品用トレイＴ３に移載するときは、複数の検査用ソケット６の間隔から決定される電子部品５の間隔が、良品用トレイＴ２または不良品用トレイＴ３の複数の部品収納用凹陥部の間隔と一致するように、Ｘ方向駆動装置９３と第２のＹ方向駆動装置９６との動作を制御し、吸着ノズル１２５を移動させる。良品用トレイＴ２または不良品用トレイＴ３における複数の部品収納用凹陥部間のＸ方向およびＹ方向の間隔は、前記載置部間隔検出手段２０３が検出した値を使用する。

吸着ノズル移動手段２０４は、吸着ノズル１２５が検査済み部品用のトレイＴ２，Ｔ３上から前記未検査部品用トレイＴ１上に戻るときには、トレイＴ２またはトレイＴ３の複数の部品収納用凹陥部の間隔から決定される電子部品５の間隔が、トレイＴ１の複数の部品収納用凹陥部の間隔と一致するようにＸ方向駆動装置９３と第２のＹ方向駆動装置９６との動作を制御し、吸着ノズル１２５を移動させる。トレイＴ１の複数の部品収納用凹陥部の間隔は、前記載置部間隔検出手段２０３が検出した値を使用する。

前記回転方向位置決め手段２０５は、４個の単位ユニット６にそれぞれ設けられた回転駆動装置１２４の動作を制御するためのものである。この回転方向位置決め手段２０５は、前記部品間隔検出手段２０２によって検出された電子部品５におけるＺ方向の軸線回りの角度と、前記載置部間隔検出手段２０３によって検出された検査用ソケット６のＺ方向の軸線回りの角度とが一致するように回転駆動装置１２４の動作を制御する。

この実施の形態による回転方向位置決め手段２０５は、電子部品５を検査用ソケット６に装填するときと、検査が終了した電子部品５を良品用トレイＴ２または不良品用トレイＴ３に移載するときに、必要に応じて各単位ユニット８５の回転駆動装置１２４を動作させる。すなわち、この回転方向位置決め手段２０５は、４個の電子部品５の前記回転方向の角度と、前記トレイＴ２，Ｔ３のそれぞれの複数の部品収納凹陥部の前記回転方向の角度とが一致するように、各単位ユニット８５の回転駆動装置１２４を動作させ、吸着ノズル１２５（電子部品５）を回転させる。

前記補正手段２０６は、ヘッドユニット７５が検査用ソケット６の上方であって電子部品５を装填可能な位置に移動するための移動方向と距離のデータを、第２のＸ方向駆動装置９３と第２のＹ方向駆動装置９６の駆動により移動した吸着ノズル１２５の移動量に対応させて補正する構成が採られている。

次に、上述したように構成されたＩＣハンドラー１の動作について説明する。このＩＣハンドラー１によって、電子部品５を検査用ソケット６に装填するためには、先ず、ストッカー１１からトレイ移載装置１３によって未検査部品用トレイＴ１をトレイ支持装置１２に搬送し、第１または第２の部品移動装置３，４によって前記トレイＴ１の上の電子部品５を検査用ソケット６に移動させる。

ストッカー１１から未検査部品用トレイＴ１をトレイ移載装置１３によってトレイ支持装置１２に搬送するためには、先ず、図９（ａ）に示すように、所望のストッカー１１の下方に移載装置本体５５を移動させ、第１のシリンダ６１によってトレイ支承部材６５を上昇位置に上昇させるとともに、第２のシリンダ６２を伸長状態とする。このとき、前記トレイ支承部材６５はストッカー１１内の最も下に位置するトレイＴ１に接触する。次に、同図（ｂ）に示すように、ストッカー１１のフック２４を後退させ、同図（ｃ）に示すように、第１のシリンダ６１のピストンロッド６１ａを下降させる。

このピストンロッド６１ａの下降により、トレイ支承部材６５とストッカー１１内の多数のトレイＴが下降し、第２のシリンダ６２のピストンロッド６２ａによって支承されるようになる。その後、図１０（ａ）に示すように、前記フック２４を前進させ、同図（ｂ）に示すように、第２のシリンダ６２のピストンロッド６２ａを下降させる。このようにピストンロッド６２ａが下降することにより、トレイ支承部材６５とトレイＴ１とが下がり、トレイＴ１がベルトコンベア６４上に支承される。

次に、このベルトコンベア６５と、中継コンベア５６のベルトコンベア６６と、トレイ支持装置１２のベルトコンベア３５とを同一方向に動作させる。これらのベルトコンベアが動作することにより、前記トレイＴ１は、ストッカー１１の下方から中継コンベア５６を通ってトレイ支持装置１２内に搬送される。なお、このときには、トレイ支持装置１２のトレイ昇降用プレート４０を待機位置に位置付けておく。

３台のトレイ支持装置１２のうち他の２台のトレイ支持装置１２には、良品用トレイＴ２と不良品用トレイＴ３とを上述した動作と同様の動作により搬送する。このときには、部品領域移動装置３１によってトレイ支持装置１２をＸ方向に移動させ、良品用トレイＴ２または不良品用トレイＴ３を搬入するトレイ支持装置１２を中継コンベア５６の搬送方向の下流側に位置付ける。

トレイＴ１がトレイ支持装置１２内に搬入され、センサ４３によってトレイＴ１の搬送方向後側の端部が検出されることにより、前記ベルトコンベアが停止する。また、このときには、トレイＴ１の搬送方向前側の端部がストッパー３９に当接することによって、トレイＴ１が搬送方向（Ｙ方向）に位置決めされる。このようにベルトコンベア３５が停止した後、トレイ支持装置１２のシリンダ３３によってトレイ昇降用プレート４０とともにトレイＴ１を上昇させる。

このようにトレイＴ１が上昇すると、このトレイＴ１は、一対の側部ガイド部材３８，３８によってＸ方向に位置決めされ、前側受圧板３６および後側受圧板３７とトレイ昇降用プレート４０とによって挟圧されることにより歪みが矯正される。このため、トレイＴ１は、トレイ支持装置１２にＸ方向とＹ方向とに位置決めされた状態で保持される。

トレイＴ１がトレイ支持装置１２に保持された後、第１の部品移動装置３または第２の部品移動装置４の第１のＸ方向駆動装置７４と第１のＹ方向駆動装置７２との駆動によりヘッドユニット７５がトレイＴ１の上方に移動する。その後、Ｚ方向駆動装置１００の駆動により各吸着ヘッド９９が下降して４個の吸着ノズル１２５によってトレイＴ１上の４個の電子部品５を吸着する。このとき、ヘッドユニット７５は、吸着ノズル１２５の位置（Ｘ方向とＹ方向の間隔）がトレイＴ１の部品収納用凹陥部の位置（Ｘ方向とＹ方向の間隔）と一致するように第２のＸ方向駆動装置９３と第２のＹ方向移動装置９６とを動作させる。そして、いずれかの基準とする吸着ノズル１２５が、この吸着ノズル１２５に対応することになる基準となる部品収納用凹陥部の真上に来るように、第１のＹ軸方向駆動装置７２および第１のＸ軸方向駆動装置７４を動作させて、ヘッドユニット７５を移動制御する。

吸着ノズル１２５が電子部品５を吸着した後、第１のＸ方向駆動装置７４と第１のＹ方向駆動装置７２の駆動により、ヘッドユニット７５は部品用撮像装置１５の上方を通過してから検査用ソケット６の上方に移動する。
部品用撮像装置１５の上方をヘッドユニット７５が通過することにより、この部品用撮像装置１５によって電子部品５が下方から撮像され、前記部品間隔検出手段２０２によって複数の電子部品５のＸ方向とＹ方向の間隔が検出される。

このように電子部品５の位置が検出された後、吸着ノズル移動手段２０４が前記電子部品５のＸ方向およびＹ方向の間隔と、検査用ソケット６のＸ方向およびＹ方向の間隔とを比較し、これらの両者の間隔が一致するか否かを判別する。この判別は画像処理によって行う。そして、前記両者の間隔が一致していない場合、吸着ノズル移動手段２０４は、前記両者の間隔が一致するように、第２のＸ方向駆動装置９３と第２のＹ方向駆動装置９６とによって吸着ノズル１２５をＸ方向とＹ方向とに移動させる。

また、このときには、回転方向位置決め手段２０５が前記電子部品のＺ方向の軸線回りの角度と、検査用ソケット６のＺ方向の軸線回りの角度とが一致しているか否かを判別する。この判別も画像処理によって行う。そして、前記両者の角度が一致していない場合、回転方向位置決め手段２０５は、前記両者の角度が一致するように、回転駆動装置１２４によって吸着ノズル１２５を回転させる。

このように吸着ノズル１２５の位置補正により吸着後の電子部品５の位置を修正（相対的な位置ずれを修正）した後、ヘッドユニット７５のいずれかの基準とする電子部品５が、この部品の装着対象となる検査用ソケット６の上方に移動するまでの、ヘッドユニット５の移動方向と移動距離のデータが補正手段２０６によって補正され、このデータに基づいてヘッドユニット７５が検査用ソケット６の上方に移動する。

上述した吸着ノズル１２５の位置の修正は、ヘッドユニット７５が検査用ソケット６の上方に移動するまでの間に実施される。
ヘッドユニット７５が検査用ソケット６の上方に移動した後、ヘッドユニット７５は、吸着ヘッド９９を下降させて４個の電子部品５を同時に検査用ソケット６に装填する。このように検査用ソケット６に電子部品５が装填されることにより、部品検査装置７によって電子部品５に対して所定の検査が行われる。検査中には、他方の部品移動装置４が前記同様にトレイＴ１上の電子部品５を吸着し、検査用ソケット６の近傍に移動して前記検査が終了するまで待機する。

検査終了後、ヘッドユニット７５は、検査用ソケット６から電子部品５を上昇させ、３個あるトレイ支持装置１２のうち良品用トレイＴ２または不良品用トレイＴ３が位置するトレイ支持装置１２の上方に移動し、これらのトレイＴ２，Ｔ３に電子部品５を移載する。上記移動中に、ヘッドユニット７５は、前記トレイＴ２またはトレイＴ３における部品収納用凹陥部間のＸ方向およびＹ方向の間隔、Ｚ方向の軸線回りの角度と、電子部品５のＸ方向およびＹ方向の間隔、Ｚ方向の軸線回りの角度とが一致していない場合は、これらが一致するように第２のＸ方向駆動装置９３、第２のＹ方向駆動装置９６および回転駆動装置１２４を動作させ、電子部品５の位置を修正する。そして、いずれかの基準とする吸着ノズル１２５が、この吸着ノズル１２５に対応することになる基準となる部品収納用凹陥部の真上に来るように、第１のＹ軸方向駆動装置７２および第１のＸ軸方向駆動装置７４を動作させて、ヘッドユニット７５を移動制御する。

電子部品５を良品用トレイＴ２または不良品用トレイＴ３に載置した後、ヘッドユニット７５は、次の検査用電子部品５を吸着するために未検査部品用トレイＴ１の上方に移動する。この移動の途中において、ヘッドユニット７５は、複数の吸着ノズル１２５のＸ方向およびＹ方向の間隔と、未検査部品用トレイＴ１の複数の部品収納用凹陥部間のＸ方向およびＹ方向の間隔とが一致するように、第２のＸ方向駆動装置９３、第２のＹ方向駆動装置９６を動作させ、吸着ノズル１２５を移動させる。

トレイ支持装置１２に保持されている未検査部品用トレイＴ１上の電子部品５が全て取出されこのトレイＴ１が空になったり、良品用トレイＴ２または不良品用トレイＴ３が検査後の電子部品５で満たされたときは、図８（ａ）に示すように、これらの返却用のトレイＴ４を一つずつトレイ支持装置１２から中継コンベア５６を介して２組の移載装置本体５５のうち一方に移動させる。

次に、同図（ｂ）に示すように、トレイ移載装置１３を動作させて２組の移載装置本体５５をＸ方向に移動させ、他方の移載装置本体５５を中継コンベア５６と対向させる。そして、同図（ｃ）に示すように、前記他方の移載装置本体５５に予め載せておいた新たなトレイＴ５を中継コンベア５６経由で前記トレイ支持装置１２に搬送する。このように前記他方の移載装置本体５５上から前記新たなトレイＴ５が搬出された後、前記一方の移載装置本体５５を所定のストッカー１１の下方に移動させ、返却用のトレイＴ４をストッカー１１内に収納する。

返却用のトレイＴ４のストッカー１１への収納は、図１１および図１２に示すように行う。すなわち、先ず、図１１（ａ），（ｂ）に示すように、トレイ移載装置１３の第２のシリンダ６２によって返却用のトレイＴ４をストッカー１１の最下端に位置する他のトレイＴに下方から接触させ、ストッカー１１のフック２４を後退させる。この後、同図（ｃ）に示すように、第１のシリンダ６１によって、返却用のトレイＴ４とともに前記他のトレイＴを含むストッカー１１内の全てのトレイＴをトレイ１枚分押上げ、図１２（ａ）に示すように、フック２４を前進させる。このようにフック２４が前進した後に第１および第２のシリンダ６１，６２のピストンロッド６１ａ，６２ａを下降させる。

上述したように構成されたＩＣハンドラー１は、電子部品５をトレイ支持装置１２上の未検査部品用トレイＴ１から取出して検査用ソケット６に装填する行程において、未検査部品用トレイＴ１の複数の部品収納用凹陥部間の間隔と、複数の検査用ソケット６間の間隔とが異なる場合、吸着ノズル１２５が移動することにより前記両者の間隔の相違が解消される。したがって、この実施の形態によるＩＣハンドラー１においては、未検査部品用トレイＴ１上の複数の電子部品５を複数の吸着ノズル１２５によって一度に吸着し、途中で放すことなく検査用ソケット６に装填することができ、検査の効率を向上させることができる。

この実施の形態によるＩＣハンドラー１においては、複数の検査用ソケット６間の間隔と、検査済み部品用トレイ（良品用トレイＴ２または不良品用トレイＴ３）の複数の部品収納用凹陥部間の間隔とが異なる場合、吸着ノズル１２５が移動することにより前記両者の間隔の相違が解消される。このため、この実施の形態によるＩＣハンドラーにおいては、検査後の複数の電子部品５を複数の吸着ノズル１２５によって一度に検査済み部品用トレイに移載することができるから、より一層検査の効率が高くなる。

この実施の形態によるＩＣハンドラー１においては、検査済み部品用トレイ（良品用トレイＴ２または不良品用トレイＴ３）の複数の部品収納用凹陥部間の間隔と、未検査部品用トレイＴ１の複数の部品収納用凹陥部間の間隔とが異なる場合、吸着ノズル１２５が移動することにより前記両者の間隔の相違が解消される。このため、この実施の形態によるＩＣハンドラー１においては、検査後の電子部品５を検査済み部品用トレイＴ２，Ｔ３に戻した後、未検査部品用トレイＴ１において新たに複数の吸着ノズル１２５で電子部品５を一度に吸着することができるから、より一層検査の効率が高くなる。

この実施の形態によるＩＣハンドラー１においては、電子部品５の種類の変更とともにトレイＴ１〜Ｔ４の種類が変わり、これらのトレイの部品収納用凹陥部間の間隔が変わった場合や、検査する電子部品５の種類を変えるときなどで検査用ソケット６を交換した場合、ヘッドユニット７５を移動させヘッド側撮像装置８６やヘッド側撮像装置８７によってトレイＴ１〜Ｔ３や検査用ソケット６を上方から撮像することによって、新たなトレイＴ１〜Ｔ３の部品収納用凹陥部間の間隔や、検査用ソケット６，６間の間隔を検出し容易に設定することができる。

この実施の形態によるＩＣハンドラー１においては、トレイＴ２，Ｔ３の複数の部品収納用凹陥部の上下方向の軸線回り角度、検査用ソケット６の上下方向の軸線回りの角度と、吸着ノズル１２５の上下方向の軸線回りの角度とを一致させることができる。このため、このＩＣハンドラー１によれば、複数の電子部品５をより一層正確に検査用ソケット６に装填することができるとともに、良品用トレイＴ２または不良品用トレイＴ３に移載することができる。

この実施の形態によるＩＣハンドラー１においては、吸着ノズル１２５によって電子部品５を吸着したときに電子部品５の位置が目標とする位置からずれていたとしても、この位置ずれは吸着ノズル移動手段２０４によって修正される。このため、この実施の形態によるＩＣハンドラーにおいては、電子部品５の吸着時に吸着ノズル１２５に対して電子部品５が位置ずれを起こしたとしても、この電子部品５を正しく検査用ソケット６に装填することができる。

この実施の形態によるＩＣハンドラー１においては、吸着ノズル移動装置によって吸着時の電子部品５の位置ずれを修正した後に、ヘッドユニット７５が検査用ソケット６の上方に移動するまでの方向と距離のデータが補正手段２０６によって補正される。このため、この実施の形態によるＩＣハンドラー１によれば、吸着ノズル１２５の位置の変化を反映するようにヘッドユニット７５が動作するから、電子部品５をより一層正確に検査用ソケット６に装填することができる。

この実施の形態によるＩＣハンドラー１においては、吸着ノズル１２５が電子部品５を吸着した吸着位置から検査用ソケット６に移動する途中で部品用撮像装置１５によって電子部品５を下方から撮像することができる。
このため、電子部品５を撮像するために検査用ソケット６が位置する方向とは異なる方向にヘッドユニット７５を移動させる必要がなく、ヘッドユニット７５を略一直線状に移動させることができるから、ヘッドユニット７５の移動時間を短縮することができ、タクトタイムの短縮を図ることができる。

この実施の形態によるＩＣハンドラー１においては、複数の電子部品５のＺ方向の軸線回り角度と、検査用ソケット６のＺ方向の軸線回り角度とを一致させることができ、複数の電子部品５をより一層正確に検査用ソケット６に装填することができる。

この実施の形態によるＩＣハンドラー１においては、複数の検査用ソケット６が２列に並んでいるにもかかわらず、これらの検査用ソケット６，６間の間隔と電子部品５，５間の間隔とを一致させることができる。また、升目状に形成されているトレイＴ１〜Ｔ３の部品収納用凹陥部の前後方向の間隔および左右方向の間隔と、複数の吸着ノズル１２５または電子部品５の間隔とを一致させることができる。

この実施の形態においては、ヘッド側撮像装置８６が撮像した画像データによって複数の検査用ソケット６間の間隔を検出する例を示したが、複数の検査用ソケット６，６間の間隔が既に分かっている場合は、画像処理により間隔を検出する代わりに操作者が間隔のデータを入力してもよい。この場合、吸着ノズル移動装置は、入力された前記データと一致するように複数の吸着ノズル１２５の間隔を調整する。

本発明は、図１５に示すようなホットプレートを装備したＩＣハンドラーにも適用することができる。
図１５はホットプレートを有するＩＣハンドラーの平面図で、同図において、前記図１〜図１４によって説明したものと同一もしくは同等の部材については、同一符号を付し詳細な説明を適宜省略する。

図１５に示すＩＣハンドラー１のトレイ支持装置１２はホットプレート１３１を装備している。このホットプレート１３１は、３台あるトレイ支持装置１２のうち両側のトレイ支持装置１２の外側部に設けられ、部品領域移動装置３１の駆動によりトレイ支持装置１２とともにＸ方向に移動する。
これらのホットプレート１３１は、ヒーター（図示せず）を内蔵し、上端部に複数の部品収納用凹陥部１３２がＸ方向とＹ方向とに並ぶように設けられている。

この実施の形態によるＩＣハンドラー１においては、電子部品５は、トレイ支持装置１２上の未検査部品用トレイＴ１からホットプレート１３１に移載され、ここで所定の温度に加熱された後にホットプレート１３１から取出され、検査用ソケット６に装填される。この実施の形態によるＩＣハンドラー１は、電子部品５を未検査部品用トレイＴ１からホットプレート１３１に移載するときに、複数の部品収納用凹陥部間のＸ方向およびＹ方向の間隔とＺ方向の軸線回りの角度とについて比較し、これらが一致するように第２のＸ方向駆動装置９３と、第２のＹ方向駆動装置９６および回転駆動装置１２４とによって吸着ノズル１２５を移動させる。

また、このＩＣハンドラー１は、電子部品５をホットプレート１３１から検査用ソケット６に移動させるときに、ホットプレート１３１の複数の部品収納用凹陥部１３２のＸ方向、Ｙ方向の間隔およびＺ方向の軸線回りの角度と、複数の検査ソケット６のＸ方向、Ｙ方向の間隔およびＺ方向の軸線回りの角度とを比較し、これらが一致するように第２のＸ方向駆動装置９３と、第２のＹ方向駆動装置９６および回転駆動装置１２４によって吸着ノズル１２５を移動させる。

このＩＣハンドラー１の各単位ユニット８５には、吸着ノズル１２５を所定の温度に加熱するためのヒーター１３３が設けられ、検査用ソケット６を支持するテストヘッド８は、この検査用ソケット６を所定の温度に加熱するためのヒーター１３４が設けられている。
このようにホットプレート１３１を装備する場合であっても、複数の電子部品５を一度に吸着し、検査用ソケット６に装填することができるから、図１〜図１４で示した実施の形態によるＩＣハンドラーと同等の効果を奏する。

本発明に係るＩＣハンドラーは図１６〜図１９に示すように構成することができる。
図１５および図１７はＩＣハンドラーの他の実施の形態を示す平面図、図１８は検査用ソケットを並べる例を示す平面図、図１９はＩＣハンドラーの他の実施の形態を示す平面図である。これらの図において、前記図１〜図１４によって説明したものと同一もしくは同等の部材については、同一符号を付し詳細な説明を適宜省略する。

図１６に示すＩＣハンドラー３００は、複数のストッカー１１によって部品領域Ｂが構成されている。すなわち、このＩＣハンドラー１は、図１〜図１４に示したＩＣハンドラー１でいうトレイ支持装置１２は設けられていない。
この実施の形態によるストッカー１１は、本願の出願人が既に出願した特開２００２−３０３６４９号に記載されているストッカーと同等の構造のものである。すなわち、この実施の形態によるストッカー１１は、複数のトレイＴを上下方向に重ねた状態で収容する構造であり、トレイＴを昇降させる昇降装置３０１を備えている。

この昇降装置３０１は、ボールねじ式のもので、ストッカー１１の最下部に位置するモータ３０２と、モータ３０２の回転駆動軸であって上下方向に規制されたボールナット（図示せず）に嵌合しつつ貫通し、回転が規制されたボールねじ軸（図示せず）と、このボールねじ軸の上端部が固着され、トレイＴを支承するテーブル３０３などによって構成されている。
このストッカー１１の最上部には、上方から電子部品５やトレイＴが取出しされ、あるいは戻される移載部３０４となる開口が設けられている。

この実施の形態によるＩＣハンドラー１は、部品移動装置３１０によって、ストッカー１１上のトレイＴと検査用ソケット６との間で電子部品５を一度も放すことなく移動させる構成が採られている。この部品移動装置３１０は、基台２のＸ方向の両端部に固定レール３１１が設けられ、これらの固定レール３１１上に横架されるように支持部材３１２が設けられている。この支持部材３１２は、固定レール３１１にＹ方向に移動自在に支持されるとともに、ボールねじ式の第１のＹ方向駆動装置３１３によってＹ方向に移動する。この支持部材３１２は、Ｘ方向に延びるレール３１４を備え、このレール３１４によってヘッドユニット７５をＸ方向に移動自在に支持している。

ヘッドユニット７５は、支持部材３１２に設けられたボールねじ式の第１のＸ方向駆動装置３１５によってＸ方向に移動する。この実施の形態によるヘッドユニット７５は、レール３１４にＸ方向に移動自在に支持されかつ支持部材３１２から装置前方に延出するように形成された移動部材３１６に支持されており、支持部材３１２のＹ方向への移動によりＹ方向に移動し、移動部材３１６のＸ方向への移動により支持部材３１２の上でＸ方向に移動する。このため、この実施の形態においては、図１〜図１４で示した形態を採るときに使用した支持部材７３は使用されておらず、単位ユニット８５は移動部材３１６に直接取付けられている。

また、図１６に示すＩＣハンドラー１は、被検査用の電子部品５が全て取出されて空になったトレイや、検査後の電子部品５で満たされたトレイを搬出するために吸着式のトレイ移載装置３２０を備えている。このトレイ移載装置３２０は、トレイを上方から吸着する吸着部材３２１と、この吸着部材３２１を昇降させるとともにＸ方向に移動させるＸ方向移動装置３２２とを備えている。
図１６に示すＩＣハンドラー１においても図１〜図１４に示すＩＣハンドラー１と同等の効果を奏する。特に、図１６に示すＩＣハンドラー１においては、図１〜図１４に示したＩＣハンドラー１でいうトレイ支持装置１２は設けられていないから、これらのＩＣハンドラに較べてコンパクトに形成することができる。

図１７と図１８に示すＩＣハンドラー４００は、基台２の後端部（図１７においては上側の端部）に設けられた部品検査装置４０１と、この部品検査装置４０１に隣接するように設けられた電子部品収納用トレイ４０２との間で電子部品５（未検査の電子部品５と検査済みの電子部品５）を部品移載装置４０３によって移動させる構成のものである。

前記部品検査装置４０１は、電子部品を上方から装填する構造の部品ソケット（図示せず）を備えている。
前記トレイ４０２は、電子部品を収容する凹部４０２ａが上面に多数形成されており、前記部品検査装置４０１から離間する方向に複数並べられている。これらのトレイ４０２は、装置右側に複数設けられたストッカー４０４からトレイ移動装置４０５によって左方に引き出され、このトレイ移動装置４０５によって必要に応じてストッカー４０４に戻される。

前記部品移載装置４０３は、基台２の上でＹ方向に延びる一対の固定レール４０６と、これらの固定レール４０６にＹ方向に移動自在に支持されて固定レール間に延びる本体４０７と、この本体４０７の先端部に設けられてＸ方向に移動する複数の単位ユニット８５などによって構成されている。これらの単位ユニット８５は、Ｙ方向に並ぶように設けられている。

この構成を採るに当たって、検査用ソケット６は、図１７に示すようにＸ方向に２個並べるとともにＹ方向に２個並べるように設ける他に、図１８（ａ）に示すように、Ｙ方向に２個並べて設けたり、同図（ｂ）に示すように、Ｘ方向に２個並べて設けることができる。

図１９に示すＩＣハンドラー５００は、本願の出願人が既に出願した特開２００２−３０３６４９号に記載されているＩＣハンドラーと搬送用ヘッドの構成が異なる他は同等の構成が採られている。この実施の形態によるＩＣハンドラー５００は、基台２の後端部に２個の検査用ソケット６がＸ方向に並ぶように設けられるとともに、基台２の前端部に複数のストッカー１１が設けられ、これらの間で電子部品５を移動させるために第１〜第３の部品移動装置５０１〜５０３が設けられている。

第１の部品移動装置５０１は、ストッカー１１の両側方でＹ方向に延びる一対の固定レール５０４と、これらの固定レール５０４上でＸ方向に延び、固定レール５０４に沿ってＹ方向に移動する支持部材５０５と、この支持部材５０５に沿ってＸ方向に移動する吸着ヘッド５０６とを備えている。この第１の部品移動装置５０１は、ストッカー１１のトレイＴと後述する第２の部品移動装置５０２との間で電子部品５を移動させるとともに、ストッカー１１間でトレイＴを移載する。

第２の部品移動装置５０２は、Ｘ方向の一方と他方とに設けられている。これらの第２の部品移動装置５０２は、Ｙ方向に延びる固定レール５０７と、この固定レール５０７に沿ってＹ方向に移動するトレイ５０８とを備えている。このトレイ５０８には、未検査の電子部品５と検査済みの電子部品５とが載置される。

第３の部品移動装置５０３は、Ｘ方向に延びる２本の固定レール５１１と、この固定レール５１１に沿ってＸ方向に移動する２組の搬送用ヘッド５１２とを備えている。搬送用ヘッド５１２は、前記固定レール５１１から装置後側に延びるヘッド本体５１３を備えている。このヘッド本体５１３は、搬送用ヘッド５１２のＸ方向への移動により、先端部が検査用ソケット６の上方に位置付けられるように構成されており、この先端部に、図１〜図１４で示したＩＣハンドラー１の複数の単位ユニット８５がＸ方向に並ぶように設けられている。
図１７〜図１９に示すＩＣハンドラー１，３００，４００，５００においても、図１〜図１４に示すＩＣハンドラー１と同等の効果を奏する。

上記各実施の形態においては、ＩＣハンドラー１，３００，４００，５００は、テストヘッド８が基台２に脱可能に固着されている。このため、テストヘッド８を基台２に装着して部品検査をすれば、基台が載置される床に基台から遊離してテストヘッドを載置するＩＣハンドラーに較べ、外部環境の振動が床に伝達される場合であっても検査用ソケット６への吸着ノズル１２５の位置合わせを正確に実施できる。

ＩＣハンドラー１，３００，４００，５００内の制御装置と検査装置本体７や部品検査装置４０１とは、不図示の信号線で連結され、ＩＣハンドラー１，３００，４００，５００は、電子部品５の検査時、検査装置本体７や部品検査装置４０１と連係して動作するので、検査装置本体７や部品検査装置４０１をＩＣハンドラー１，３００，４００，５００の一部としても良い。この場合、動作プログラムを一つで構成したり、制御装置を一つにまとめることが有効である。また、検査装置本体７や部品検査装置４０１を床に載置するのではなく、基台２の不図示の下部構造部材に載置させるようにしても良い。これにより、部品検査装置としての動作検査を、ＩＣハンドラー１，３００，４００，５００の生産向上で実施することもできる。また、一体としての運搬もできる。

テストヘッド８は、基台２に脱可能に固着され、検査用ソケット６と検査装置本体７や部品検査装置４０１とを結ぶ不図示の検査用ケーブルはいずれか一端あるいは中間部に不図示のコネクタが配置されるので、検査対象の電子部品５が変更されるに対応して、検査用プログラムの変更を除けば、交換検査装置本体７や部品検査装置４０１に影響を与えることなく簡単にテストヘッド８の交換により、部品検査を実施することができる。ＩＣハンドラー１，３００，４００，５００内の制御装置と検査装置本体７や部品検査装置４０１の制御装置とは、不図示の信号線で情報の受け渡しを行い、それぞれの部品移載プログラムと部品検査プログラムを連係は取りながら並列実施しても良いが、ＩＣハンドラー１，３００，４００，５００内の制御装置で、部品移載制御と、部品検査制御の両方を実施させるようにしても良い。

本発明に係るＩＣハンドラーの平面図である。 図１におけるII−II線断面図である。 部品移動装置の構成を説明するための斜視図である。 ヘッドユニットの斜視図である。 単位ユニットの動作方向を説明するための斜視図である。 単位ユニットの側面図である。 トレイ支持装置の構成を示す図である。 トレイ移載装置とトレイ支持装置の動作を説明するための平面図である。 トレイ移載装置とストッカーの動作を説明するための正面図である。 トレイ移載装置とストッカーの動作を説明するための正面図である。 トレイ移載装置とストッカーの動作を説明するための正面図である。 トレイ移載装置とストッカーの動作を説明するための正面図である。 ＩＣハンドラーの概略構成を示す斜視図である。 本発明に係るＩＣハンドラーの制御系の構成を示すブロック図である。 ホットプレートを有するＩＣハンドラーの平面図で ＩＣハンドラーの他の実施の形態を示す平面図である。 ＩＣハンドラーの他の実施の形態を示す平面図である。 検査用ソケットを並べる例を示す平面図である。 ＩＣハンドラーの他の実施の形態を示す平面図である。

符号の説明

１，３００，４００，５００…ＩＣハンドラー、５…電子部品、６…検査用ソケット、１５…部品用撮像装置、７５…ヘッドユニット、８５…単位ユニット、８６，８７…ヘッド側撮像装置、９３…第２のＸ方向駆動装置、９６…第２のＹ方向駆動装置、１２４…回転駆動装置、１２５…吸着ノズル、２００…制御手段、２０２…部品間隔検出手段、２０３…載置部間隔検出手段、２０４…吸着ノズル移動手段、２０５…回転方向位置決め手段、２０６…補正手段、Ｔ…トレイ。

Claims (10)

1. 被検査用電子部品が装填される複数の検査用ソケットを支持する基台と、
   複数の被検査用電子部品を吸着する複数の吸着ノズルと、
   これらの吸着ノズルによって未検査部品用トレイ上の電子部品を吸着し、前記複数の検査用ソケットに装填した後に検査済み部品用トレイに移載させるヘッドユニットとを備えたＩＣハンドラーにおいて、
   複数の吸着ノズルのうち少なくとも一つはヘッドユニットに対して水平方向に移動自在に支持され、
   前記未検査部品用トレイ上から前記複数の検査用ソケット上へヘッドユニットが移動する途中において、前記移動可能な吸着ノズルを移動させることによって、未検査部品用トレイの複数の部品収納用凹陥部の間隔により決定される電子部品の間隔を前記複数の検査用ソケットの間隔へ変換する吸着ノズル移動装置を備えていることを特徴とするＩＣハンドラー。
2. 請求項１記載のＩＣハンドラーにおいて、
   吸着ノズル移動装置は、検査用ソケット上から検査済み部品用トレイ上へヘッドユニットが移動する途中において、移動可能な吸着ノズルを移動させることによって、前記複数の検査用ソケットの間隔から決定される電子部品の間隔を、前記検査済み部品用トレイの複数の部品収納用凹陥部の間隔へ変換することを特徴とするＩＣハンドラー。
3. 請求項１または請求項２記載のＩＣハンドラーにおいて、
   吸着ノズル移動装置は、検査済み部品用トレイ上から未検査部品用トレイ上へヘッドユニットが移動する途中において、移動可能な吸着ノズルを移動させることによって、前記検査済み部品用トレイの複数の部品収納用凹陥部により決定される吸着ノズルの間隔を、前記未検査部品用トレイの複数の部品収納用凹陥部の間隔により決定される吸着ノズルの間隔に変換することを特徴とするＩＣハンドラー。
4. 請求項１ないし請求項３のうちいずれか一つに記載のＩＣハンドラーにおいて、
   ヘッドユニットは、複数の検査用ソケットと、未検査部品用トレイの複数の部品収納用凹陥部と、検査済み部品用トレイの複数の部品収納用凹陥部とからなる載置部のうち少なくともいずれか一つの載置部を上方から撮像する載置部用撮像装置と、
   この載置部用撮像装置が撮像した画像によって前記載置部の間隔を検出する載置部間隔検出手段を備えていることを特徴とするＩＣハンドラー。
5. 請求項４記載のＩＣハンドラーにおいて、
   各吸着ノズルは、ヘッドユニットにそれぞれ上下方向の軸線回りに回動自在に支持され、
   ヘッドユニットは、これら複数の吸着ノズルの回転方向の角度を変化させる回転駆動装置を備え、
   載置部用撮像装置が撮像した画像によって載置部の上下方向の軸線回りの角度を検出し、この載置部の角度と、吸着ノズルの前記軸線回りの角度とが一致するように前記回転駆動装置の動作量を制御する回転方向位置決め手段を備えていることを特徴とするＩＣハンドラー。
6. 請求項１ないし請求項３のうちいずれか一つに記載のＩＣハンドラーにおいて、
   吸着ノズルに吸着された電子部品を下方から撮像する部品用撮像装置と、
   この部品用撮像装置が撮像した画像によって前記電子部品の間隔を検出する部品間隔検出手段とを備え、
   吸着ノズル移動装置は、前記部品間隔検出手段が検出した吸着後の電子部品の間隔と、検査用ソケットの間隔とが一致するように移動可能な吸着ノズルを移動させることを特徴とするＩＣハンドラー。
7. 請求項６記載のＩＣハンドラーにおいて、
   ヘッドユニットが検査用ソケットの上方であって電子部品を装填可能な位置に移動するための移動方向と距離のデータを、吸着ノズル移動装置の駆動により移動した吸着ノズルの移動量に対応させて補正する補正手段を備えていることを特徴とするＩＣハンドラー。
8. 請求項６または請求項７記載のＩＣハンドラーにおいて、
   部品用撮像装置は、検査用ソケットが搭載された基台に設けられていることを特徴とするＩＣハンドラー。
9. 請求項６ないし請求項８のうちいずれか一つに記載のＩＣハンドラーにおいて、
   各吸着ノズルは、ヘッドユニットにそれぞれ上下方向の軸線回りに回動自在に支持され、
   ヘッドユニットは、これら複数の吸着ノズルの回転方向の角度を変化させる回転駆動装置を備え、
   部品用撮像装置が撮像した画像に基づいて電子部品の上下方向の軸線回りの角度を検出し、この電子部品の角度と、検査用ソケットの回転方向の角度とが一致するように前記回転駆動装置の動作量を制御する回転方向位置決め手段を備えていることを特徴とするＩＣハンドラー。
10. 請求項１ないし請求項９のうちいずれか一つに記載のＩＣハンドラーにおいて、
    ヘッドユニットは、検査用ソケットが搭載された基台の上方で互いに直交する水平な２方向に移動し、
    吸着ノズル移動装置は、前記ヘッドユニットの移動する方向と平行な２方向に吸着ノズルを２個のモータによって独立して移動させることを特徴とするＩＣハンドラー。
    

Images