KR101767663B1 - 기판 제조 설비 및 기판 제조 방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 기판을 제조하는 장치를 제공한다. 기판 제조 설비는 기판에 대해 검사 공정을 수행하는 테스트 핸들러 모듈을 가지는 검사 장치를 포함한다. 상기 테스트 핸들러 모듈은 기판을 반송하는 컨베이어 유닛, 기판에 대해 상기 검사 공정을 수행하는 핸들러 유닛, 상기 컨베이어 유닛과 상기 핸들러 유닛 간에 기판을 반송하는 반송 유닛을 포함할 수 있다. 상기 컨베이어 유닛은 공급 컨베이어와 상기 공급 컨베이어로부터 이격된 배출 컨베이어를 가질 수 있다.

Description

기판 제조 설비 및 기판 제조 방법{Facility and method for manufacturing substrates}

본 발명은 기판을 제조하는 설비 및 방법에 관한 것으로, 더 상세하게는 인쇄 회로 기판에 대해 검사 공정을 수행하는 장치를 포함하는 기판 제조 설비 및 방법에 관한 것이다.

반도체 제조 기술이 발전 됨에 따라 비휘발성 메모리를 이용하는 대용량 저장 장치의 사용이 증가하고 있다. 일 예로, 솔리드 스테이트 드라이브(solid state drive)는 휘발성 메모리와 비휘발성 메모리를 이용하는 대용량 저장 장치이다.

솔리드 스테이트 드라이브는 컨트롤러로 사용되는 집적 회로 소자, 버퍼 메모리로서 사용하는 휘발성 메모리 소자, 그리고 대용량 저장 장치로 사용되는 비휘발성 메모리 소자 등 다양한 종류의 소자들(devices)을 인쇄 회로 기판 상에 탑재함으로써 이루어진다.

본 발명은 기판 검사 공정을 효율적으로 수행할 수 있는 기판 제조 설비 및 방법을 제공하는 것을 일 목적으로 한다.

또한, 본 발명은 기판 검사 공정을 포함한 일련의 공정을 효율적으로 수행할 수 있는 기판 제조 설비 및 방법을 제공하는 것을 일 목적으로 한다.

본 발명이 해결하고자 하는 과제는 여기에 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 통상의 기술자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.

본 발명의 일 실시예는 기판을 제조하는 장치를 제공한다. 기판 제조 설비는 기판에 대해 검사 공정을 수행하는 테스트 핸들러 모듈을 가지는 검사 장치를 포함한다. 상기 테스트 핸들러 모듈은 기판을 반송하는 컨베이어 유닛, 기판에 대해 상기 검사 공정을 수행하는 핸들러 유닛, 상기 컨베이어 유닛과 상기 핸들러 유닛 간에 기판을 반송하는 반송 유닛을 포함할 수 있다. 상기 컨베이어 유닛은 공급 컨베이어와 상기 공급 컨베이어로부터 이격된 배출 컨베이어를 가질 수 있다.

또한, 본 발명의 일 실시예는 기판을 제조하는 방법을 제공한다. 기판 제조 방법은 검사 단자가 형성된 기판을 공급 컨베이어를 따라 이동시키는 단계, 상기 공급 컨베이어에서 기판을 들어올려 상기 검사 단자가 검사 챔버의 소켓에 삽입되도록 상기 기판을 검사 챔버 내에 위치시키는 단계, 상기 검사 챔버에서 상기 기판에 대해 검사 공정을 수행하는 단계, 그리고 상기 검사 챔버에서 검사가 완료된 기판을 배출 컨베이어로 내려놓는 단계를 포함할 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 의하면, 기판 검사 공정을 효율적으로 수행할 수 있다.

또한, 본 발명의 일 실시예에 의하면, 기판 검사 공정을 포함한 일련의 공정을 효율적으로 수행할 수 있다.

본 발명의 효과는 여기에 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 효과는 아래의 기재로부터 통상의 기술자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.

도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판의 일 예를 보여주는 도면이다.
도 2는 도 1의 기판의 다른 예들을 보여주는 도면이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 제조 설비의 개략적인 구성을 보여주는 평면도이다.
도 4는 도 3의 로더 모듈의 일 예를 보여주는 사시도이다.
도 5는 도 4의 전기 검사 유닛의 일 예를 보여주는 사시도이다.
도 6 내지 도 8은 도 4의 전기 검사 유닛 내에서 연배열 인쇄 회로 기판에 대해 전기 검사가 이루어지는 과정을 순차적으로 보여주는 도면들이다.
도 9는 도 4의 보관 매거진 유닛의 일 예를 보여주는 도면이다.
도 10은 도 4의 반입 유닛의 일 예를 보여주는 사시도이다.
도 11은 도 4의 반출 유닛의 일 예를 보여주는 사시도이다.
도 12는 도 3의 로더 모듈의 다른 예를 보여준다.
도 13은 도 3의 로더 모듈의 또 다른 예를 보여준다.
도 14는 도 3의 테스트 핸들러 모듈의 일 예를 보여주는 사시도이다.
도 15는 도 14의 컨베이어 유닛의 일 예를 보여주는 평면도이다.
도 16은 도 14의 핸들러 유닛에서 하우징과 검사 챔버들이 분리된 상태를 보여주는 사시도이다.
도 17은 도 14의 핸들러 유닛의 내부를 보여주는 사시도이다.
도 18은 도 14의 핸들러 유닛의 측면도이다.
도 19는 도 14의 검사 챔버에서 도어가 닫힌 상태의 사시도이다.
도 20은 도 14의 검사 챔버에서 도어가 열린 상태의 사시도이다.
도 21은 도 18의 'A' 영역을 확대한 도면이다.
도 22는 도 14에서 스토퍼 부재, 공급 리프트 부재, 그리고 배출 리프트 부재를 보여주는 도면이다.
도 23은 도 14의 반송 로봇의 사시도이다.
도 24는 도 23의 반송 로봇의 측면도이다.
도 25는 도 23의 반송 로봇의 홀더 부재의 정면도이다.
도 26은 도 23의 반송 로봇의 언로드 암의 저면도이다.
도 27과 도 28은 각각 픽업 헤드에 세로 변의 길이가 서로 상이한 연배열 인쇄 회로 기판이 지지된 상태를 보여주는 도면들이다.
도 29는 도 23의 반송 로봇의 도어 오프너를 보여주는 도면이다.
도 30 내지 도 32는 도 23의 도어 오프너에 의해 도어가 개방되는 과정을 보여주는 도면들이다.
도 33 내지 도 36은 도 14의 테스트 핸들러 모듈에서 공급 컨베이어로부터 반송 로봇으로 연배열 인쇄 회로 기판이 인계되는 과정을 순차적으로 보여주는 도면들이다.
도 37은 도 14의 테스트 핸들러 모듈의 다른 예를 보여주는 도면이다.
도 38은 도 14의 테스트 핸들러 모듈의 또 다른 예를 보여주는 도면이다.
도 39는 도 14의 테스트 핸들러 모듈의 또 다른 예를 보여주는 도면이다.
도 40은 도 14의 테스트 핸들러 모듈의 또 다른 예를 보여주는 도면이다.
도 41은 도 3의 언로더 모듈의 일 예를 보여주는 도면이다.
도 42는 도 3의 언로더 모듈의 다른 예를 보여주는 도면이다.
도 43은 기판 제조 설비의 다른 예를 보여주는 도면이다.
도 44는 도 43의 로더 모듈의 일 예를 보여주는 도면이다.
도 45는 도 43의 언로더 모듈의 일 예를 보여주는 도면이다.
도 46은 기판 제조 설비의 또 다른 예를 보여주는 도면이다.
도 47은 도 46의 로더 모듈의 일 예를 보여주는 도면이다.
도 48은 도 46의 언로더 모듈의 일 예를 보여주는 도면이다.

이하, 본 발명에 의한 실시 예를 첨부된 도면들을 참조하여 더욱 상세히 설명한다. 본 발명의 실시 예는 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래의 실시예들로 한정되는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 실시 예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위해 제공되는 것이다. 따라서 도면에서의 요소의 형상은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해 과장되었다.

도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판의 일 예를 보여준다. 기판(110)은 연배열 인쇄 회로 기판일 수 있다. 연배열 인쇄 회로 기판(110)은 대체로 직사각의 형상을 가질 수 있다. 연배열 인쇄 회로 기판(110)에는 복수의 단위 기판(111)이 제공된다. 각각의 단위 기판(111)은 직사각의 형상으로 제공될 수 있다. 일 예에 의하면, 각각의 단위 기판(111)은 솔리드 스테이트 드라이브(solid state drive) 일 수 있다. 각각의 단위 기판(111)에는 컨트롤러로 사용되는 집적 회로 소자, 버퍼 메모리로 사용되는 휘발성 메모리 소자, 그리고 대용량 저장 장치로 사용되는 비휘발성 메모리 소자 등과 함께 다양한 종류의 소자(115)가 장착될 수 있다. 단위 기판들(111)은 연배열 인쇄 회로 기판(110)의 중앙 영역에 제공된다. 일 예에 의하면, 단위 기판(111)은 네 개가 제공될 수 있다. 일 예에 의하면, 단위 기판(111)은 두 개씩 두 열로 제공될 수 있다.

연배열 인쇄 회로 기판(110)은 가장자리 영역들(112)을 가진다. 가장자리 영역들(112)은 전방 가장자리 영역(112a), 2개의 측방 가장자리 영역(112b), 그리고 후방 가장자리 영역(112c)을 제공될 수 있다. 전방 가장자리 영역(112a)과 후방 가장자리 영역(112c)은 연배열 인쇄 회로 기판(110)의 가로 변이고, 2개의 측방 가장자리 영역(112b)은 연배열 인쇄 회로 기판(110)의 세로 변에 해당된다. 연배열 인쇄 회로 기판(110)의 전방 가장자리 영역(112a)에는 검사 단자들(113)이 제공된다. 검사 단자들(113)의 양측에는 각각 통공(116)이 형성된다. 또한, 연배열 인쇄 회로 기판(110)에는 각각의 단위 기판(111)에 장착된 소자들(115)과 검사 단자(113)를 전기적으로 연결하는 배선들(114)이 형성된다.

연배열 인쇄 회로 기판에 제공되는 단위 기판의 수 및 배치는 다양하게 변경될 수 있다. 도 2는 다양한 종류의 연배열 인쇄 회로 기판들을 보여준다.

연배열 인쇄 회로 기판(120)은 세 개의 단위 기판(121)을 가지고, 단위 기판들(121)은 일렬로 제공될 수 있다. 선택적으로 연배열 인쇄 회로 기판(130)은 여덟 개의 단위 기판(131)을 가지고, 단위 기판들(131)은 네 개씩 이 열로 제공될 수 있다. 선택적으로 연배열 인쇄 회로 기판(140)은 여섯 개의 단위 기판(141)을 가지고, 단위 기판들(141)은 두 개씩 삼 열로 제공될 수 있다.

하나의 연배열 인쇄 회로 기판(110, 120, 130, 140)에 제공된 단위 기판(111, 121, 131, 141)들은 모두 동일한 종류일 수 있다. 선택적으로 하나의 연배열 인쇄 회로 기판(150)에 제공된 단위 기판(151)들 중 일부는 서로 상이한 종류일 수 있다.

일 예에 의하면, 연배열 인쇄 회로 기판들의 일부는 가로 변의 길이 및 세로 변의 길이가 서로 동일하게 제공될 수 있다. 또한, 연배열 인쇄 회로 기판들의 일부는 가로 변의 길이가 서로 동일하고, 세로 변의 길이는 상이하게 제공될 수 있다. 예컨대, 도 1 및 도 2에서 인쇄 회로 기판들(110, 120, 130, 140, 150)은 가로 변의 길이가 서로 모두 동일하게 제공될 수 있다(L1=L2=L3=L4=L5). 또한, 연배열 인쇄 회로 기판들(110, 120, 140)은 세로 변의 길이가 서로 동일하게 제공되고, 연배열 인쇄 회로 기판들(130, 150)은 세로 변의 길이가 서로 동일하게 제공되고, 연배열 인쇄 회로 기판(110)과 연배열 인쇄 회로 기판(130)은 세로 변의 길이가 서로 상이하게 제공될 수 있다(d1=d2=d4<d3=d5)

아래의 실시예들에서는 기판 제조 설비가 연배열 인쇄 회로 기판(110)에 대해 공정을 수행하는 것을 예로 들어 설명한다. 그러나 기판 제조 설비는 다른 종류의 연배열 인쇄 회로 기판(120, 130, 140, 150)들에 대해 공정을 수행할 수 있다. 또한, 기판 제조 설비는 서로 상이한 종류의 연배열 인쇄 회로 기판들(110, 120, 130, 140, 150)에 대해 동시에 공정을 수행할 수 있다.

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 제조 설비의 개략적인 구성을 보여주는 평면도이다.

도 1을 참조하면, 기판 제조 설비(10)는 제 1 장치(first apparatus)(200), 검사 장치(test apparatus)(400), 그리고 제 2 장치(second apparatus)(600)를 가진다. 제 1 장치(200), 검사 장치(400), 그리고 제 2 장치(600)는 순차적으로 일렬로 배치된다. 제 1 장치(200), 검사 장치(400), 그리고 제 2 장치(600)는 인라인(in-line)으로 연결되고, 기판(110)은 제 1 장치(200), 검사 장치(400), 그리고 제 2 장치(600)로 연속적으로 공급된다.

이하, 제 1 장치(200), 검사 장치(400), 그리고 제 2 장치(600)가 배치된 방향을 제 1 방향(12)이라 하고, 상부에서 바라볼 때 제 1 방향(12)에 수직한 방향을 제 2 방향(14)이라 하고, 제 1 방향(12) 및 제 2 방향(14)에 각각 수직한 방향을 제 3 방향(16)이라 한다.

제 1 장치(200)는 연배열 인쇄 회로 기판(110)에 대해 제 1 공정(first process)을 수행한다. 검사 장치(400)는 연배열 인쇄 회로 기판(110)에 대해 검사 공정(test process)을 수행한다. 제 2 장치(600)는 연배열 인쇄 회로 기판(110)에 대해 제 2 공정(second process)을 수행한다. 제 1 공정, 검사 공정, 그리고 제 2 공정은 연배열 인쇄 회로 기판(110)에 대해 순차적으로 수행되는 공정들일 수 있다. 제 1 공정은 연배열 인쇄 회로 기판(110)에서 각각의 단위 기판(111)에 소자들(115)을 조립하는 조립 공정을 포함할 수 있다. 제 2 공정은 연배열 인쇄 회로 기판(110)에서 복수의 단위 기판들(110)을 개별화하는 절단 공정을 포함할 수 있다.

일 예에 의하면, 제 1 장치(200)는 마운트 모듈(220), 리플로우 모듈(240), 그리고 언로더 모듈(260)을 포함할 수 있다. 마운트 모듈(220), 리플로우 모듈(240), 그리고 언로더 모듈(260)은 제 1 방향(12)을 따라 순차적으로 배치될 수 있다. 언로더 모듈(260)은 검사 장치(400)와 인접하게 배치된다. 마운트 모듈(220)은 연배열 인쇄 회로 기판(110)의 각각의 단위 기판(111)에 소자들(115)을 장착한다. 리플로우 모듈(240)은 가열에 의해 각 소자(115)의 솔더 볼들을 인쇄 회로 기판(110)의 패드에 접합시킨다. 언로더 모듈(260)은 조립 공정이 완료된 연배열 인쇄 회로 기판(110)을 검사 장치(400)로 인계한다. 마운트 모듈(220), 리플로우 모듈(240), 그리고 언로더 모듈(260)에는 각각 컨베이어 부재(280)가 제공될 수 있다. 컨베이어 부재(280)는 연배열 인쇄 회로 기판(110)을 마운트 모듈(220), 리플로우 모듈(240), 그리고 언로더 모듈(260)로 순차적으로 반송하고, 리플로우 공정이 완료된 연배열 인쇄 회로 기판(110)을 검사 장치(400)로 인계한다.

제 2 장치(600)는 로더 모듈(610), 절단 모듈(620), 라벨링 모듈(630), 그리고 케이싱 모듈(640)을 포함할 수 있다. 로더 모듈(610), 절단 모듈(620), 라벨링 모듈(630), 그리고 케이싱 모듈(640)은 제 1 방향(12)을 따라 순차적으로 배치된다. 로더 모듈(610)은 검사 장치(400)와 인접하게 배치될 수 있다. 로더 모듈(610)은 검사 장치(400)로부터 연배열 인쇄 회로 기판(110)을 인수받는다. 절단 모듈(620)은 연배열 인쇄 회로 기판(110)에서 각각의 단위 기판(110)을 분리하는 절단 공정을 수행한다. 라벨링 모듈(630)은 각각의 단위 기판(110)에 라벨(label)을 부착하는 라벨링 공정을 수행한다. 케이싱 모듈(640)은 각각의 단위 기판(110)을 케이싱하는 케이싱 공정을 수행한다. 로더 모듈(610), 절단 모듈(620), 라벨링 모듈(630), 그리고 케이싱 모듈(640)에는 각각 컨베이어 부재(650)가 제공된다. 컨베이어 부재(650)는 검사 장치(400)로부터 연배열 인쇄 회로 기판(110)을 인수받고, 연배열 인쇄 회로 기판(100) 또는 단위 기판(110)을 로더 모듈(610), 절단 모듈(620), 라벨링 모듈(630), 그리고 케이싱 모듈(640)로 순차적으로 반송한다.

검사 장치(400)는 로더 모듈(loader module)(1200), 테스트 핸들러 모듈(test handler module)(1300), 그리고 언로더 모듈(unloader module)(1800)을 가진다. 로더 모듈(1200), 테스트 핸들러 모듈(1300), 그리고 언로더 모듈(1800)은 제 1 방향(12)을 따라 순차적으로 일렬로 제공될 수 잇다. 로더 모듈(1200)은 제 1 장치(200)와 인접하게 위치되고, 언로더 모듈(1800)은 제 2 장치(600)와 인접하게 위치된다.

도 4는 로더 모듈의 일 예를 보여주는 사시도이다.

도 4를 참조하면, 로더 모듈(1200)은 입력 컨베이어(input conveyor)(1210), 반입 유닛(input unit)(1220), 전기 검사 유닛(electric test unit)(1230), 반출 유닛(output unit)(1240), 그리고 보관 매거진 유닛(buffer magazine unit)(1250)을 가진다. 입력 컨베이어(1210), 반입 유닛(1220), 전기 검사 유닛(1230), 그리고 반출 유닛(1240)은 제 1 방향(12)을 따라 순차적으로 배치될 수 있다.

입력 컨베이어(1210)는 제 1 장치(200)의 컨베이어 부재(280)와 정렬되게 배치된다. 입력 컨베이어(1210)은 컨베이어 부재(280)로부터 직접 연배열 인쇄 회로 기판(110)을 인수받도록 제공된다. 입력 컨베이어(1210)는 한 쌍의 벨트(1212), 한 쌍의 롤러(1214), 그리고 구동기(1216)를 가질 수 있다. 한 쌍의 벨트(1212)는 제 2 방향(14)을 따라 서로 이격되게 배치된다. 한 쌍의 롤러(1214)는 제 1 방향(12)을 따라 서로 이격되게 배치된다. 각각의 벨트(1212)는 한 쌍의 롤러(1214)를 감싸도록 배치된다. 구동기(1216)는 한 쌍의 롤러(1214) 중 어느 하나의 롤러에 회전력을 제공한다. 구동기(1216)는 모터를 포함할 수 있다.

연배열 인쇄 회로 기판(110)은 그 전방 가장자리 영역(112a)이 후방 가장자리 영역(112c)에 비해 먼저 제 1 장치(200)에서 검사 장치(400)로 반입될 수 있다. 또한, 연배열 인쇄 회로 기판(110)은 그 측방 가장자리 영역(112b)이 벨트(1212)에 접촉될 수 있다.

전기 검사 유닛(1230)은 연배열 인쇄 회로 기판(110)에 대해 조립 공정의 불량 여부를 검사한다. 전기 검사 유닛(1230)은 복수 개가 서로 적층 되도록 제 3 방향(16)을 따라 배치된다. 전기 검사 유닛들(1230)은 서로 동일한 구조로 제공될 수 있다.

도 5는 전기 검사 유닛의 일 예를 보여주는 사시도이다.

도 5를 참조하면, 전기 검사 유닛(1230)은 하우징(1231), 검사 컨베이어(1232), 스토퍼 부재(1234), 그리고 검사기(test instrument)(1237)를 가진다.

하우징(1231)은 대체로 직육면체 형상을 가진다. 하우징(1231)의 전면 및 후면에는 각각 연배열 인쇄 회로 기판(110)이 출입하는 개구(1231a)가 형성된다. 검사 컨베이어(1232), 스토퍼 부재(1234), 그리고 검사기(1237)는 하우징(1231) 내에 배치된다.

검사 컨베이어(1232)는 입력 컨베이어(1210)와 유사한 구조로 제공될 수 있다. 검사 컨베이어(1232)는 연배열 인쇄 회로 기판(110)을 제 1 방향(12)을 따라 반송하도록 제공될 수 있다.

스토퍼 부재(1234)는 검사 컨베이어(1232)에 의해 반송중인 연배열 인쇄 회로 기판(110)을 정지시킨다. 스토퍼 부재(1234)는 차단 판(blocking plate)(1235) 및 구동기(1236)를 가진다. 차단 판(1235)은 대체로 얇은 판 형상을 가진다. 차단 판(1235)에서 검사 컨베이어(1232)를 향하는 면에는 홈(1235a)이 형성된다. 예컨대, 차단 판(1235)은 대체로 알파벳 대문자 'L' 형상을 가질 수 있다. 홈(1235a)은 측면(1235b)과 저면(1235c)에 의해 정의될 수 있다.

연배열 인쇄 회로 기판(110)이 스토퍼 부재(1234)에 의해 정지된 상태에서, 연배열 인쇄 회로 기판(110)의 전방 가장자리 영역(112a)은 홈(1235a)에 위치된다. 홈(1235a)을 정의하는 측면(1235b)은 연배열 인쇄 회로 기판(110)의 전면(front face)과 접촉되고, 홈(1235a)을 정의하는 저면(1235c)은 연배열 인쇄 회로 기판(110)의 저면을 지지한다. 일 예에 의하면, 저면(1235c)은 연배열 인쇄 회로 기판(110)에서 전방 가장자리 영역(112a)을 지지할 수 있다.

구동기(1236)는 실린더를 포함할 수 있다. 구동기(1236)는 차단 판(1235)을 대기 위치와 차단 위치 간에 이동시킨다. 대기 위치는 검사 컨베이어(1232)에 의해 반송 중인 연배열 인쇄 회로 기판(110)과 차단 판(1235)이 간섭되지 않은 위치이고, 차단 위치는 차단 판(1235)이 검사 컨베이어(1232)에 의해 반송 중인 연배열 인쇄 회로 기판(110)과 접촉되는 위치이다. 일 예에 의하면, 차단 위치는 대기 위치보다 상부 위치일 수 있다. 이 경우, 구동기(1236)는 차단 판(1235)을 제 3 방향(16)을 따라 이동시킬 수 있다.

상술한 예에서는 스토퍼 부재(1234)가 검사 컨베이어(1232)의 하류에 위치되는 것으로 설명하였다. 그러나 이와 달리 스토퍼 부재(1234)는 검사 컨베이어(1232)의 벨트들(1232a) 사이에 위치될 수 있다. 또한, 상술한 예에서는 차단 판(1235)에 홈(1235a)이 형성되고, 홈(1235a)을 정의하는 저면(1235c)이 연배열 인쇄 회로 기판(110)의 저면을 지지하는 것으로 설명하였다. 그러나 이와 달리 차단 판(1235)은 평판(flat plate)으로 제공될 수 있다.

검사기(1237)는 컨택터(1238) 및 구동기(1239)를 가진다. 검사기(1237)는 조립 공정의 불량 여부를 검사할 수 있다. 예컨대, 검사기(1237)는 소자들(115)과 연배열 인쇄 회로 기판(110)의 전기적 연결 상태가 양호한지 여부를 검사할 수 있다. 컨택터(1238)는 스토퍼 부재(1234)의 상부에 위치된다. 컨택터(1238)는 연배열 인쇄 회로 기판(110)의 검사 단자들(113)과 접촉되는 검사 핀(도 6의 1238a)을 가진다. 검사 핀(1238a)은 차단 판(1235)의 홈(1235a)과 상하 방향으로 마주보는 위치에 제공될 수 있다.

구동기(1239)는 컨택터(1238)를 검사 위치와 대기 위치 간에 이동시킨다. 구동기(1239)는 실린더로 포함할 수 있다. 검사 위치는 검사 핀(1238a)이 스토퍼 부재(1234)에 의해 정지된 연배열 인쇄 회로 기판(110)의 검사 단자(113)와 접촉되는 위치이고, 대기 위치는 컨택터(1238)가 연배열 인쇄 회로 기판(110)의 이동을 간섭하지 않은 위치이다. 일 예에 의하면, 대기 위치는 접촉 위치보다 상부 위치일 수 있다. 이 경우, 구동기(1239)는 컨택터(1238)를 제 3 방향(16)을 따라 이동시킬 수 있다.

도 6 내지 도 8은 전기 검사 유닛 내에서 연배열 인쇄 회로 기판에 대해 전기 검사가 이루어지는 과정을 순차적으로 보여주는 도면들이다. 처음에, 도 6과 같이 스토퍼 부재(1234)가 대기 위치에서 차단 위치로 이동된다. 다음에, 도 7과 같이 스토퍼 부재(1234)에 의해 검사 컨베이어(1232)를 따라 반송 중인 연배열 인쇄 회로 기판(110)이 정지된다. 연배열 인쇄 회로 기판(110)에서 검사 단자들(113)이 제공된 영역은 스토퍼 부재(1234)에 의해 지지된다. 이후, 도 8과 같이 컨택터(1238)가 검사 위치로 하강하고 검사 핀(1238a)이 연배열 인쇄 회로 기판(110)의 검사 단자(113)에 접촉된다. 검사 핀(1238a)을 통해 전기 신호가 연배열 인쇄 회로 기판(110)으로 인가되고, 검사가 수행된다. 검사가 완료된 후 양품으로 판정된 연배열 인쇄 회로 기판(110)은 반출 유닛(1240)으로 이동되고, 불량품으로 판정된 연배열 인쇄 회로 기판(110)은 반입 유닛(1220)으로 이동될 수 있다.

보관 매거진 유닛(1250)은 전기 검사 유닛(1230)에서 불량으로 판정된 연배열 인쇄 회로 기판(110)을 보관한다. 보관 매거진 유닛(1250)은 입력 컨베이어(1210)의 상부에 위치될 수 있다.

도 9는 보관 매거진 유닛의 일 예를 보여주는 도면이다.

도 9를 참조하면, 보관 매거진 유닛(1250)은 베이스(1251), 지지 블럭(1252), 보관 매거진(1253), 그리고 구동기(1254)를 가진다.

베이스(1251)는 대체로 직사각의 판 형상을 가진다. 베이스(1251)는 그 길이 방향이 제 2 방향(14)에 평행하게 배치된다. 베이스(1251)의 상면에는 가이드 레일(1251a)이 형성된다. 가이드 레일(1251a)은 보관 매거진(1253)의 이동을 안내한다. 가이드 레일(1251a)은 그 길이 방향이 제 2 방향(14)에 평행하게 제공된다. 지지 블럭(1252)은 가이드 레일(1251a)에 장착된다. 지지 블럭(1252)은 구동기(1254)에 의해 가이드 레일(1251a)을 따라 제 2 방향(14)으로 이동된다. 보관 매거진(1253)은 지지 블럭(1252) 상에 놓인다. 보관 매거진(1253)은 작업자 또는 로봇(도시되지 않음)에 의해 지지 블럭(1252)에 놓일 수 있다. 일 예에 의하면, 보관 매거진(1253)은 지지 블럭(1252)에 탈착 가능하게 제공될 수 있다.

보관 매거진(1253)은 대체로 직육면체의 통 형상을 가진다. 보관 매거진(1253)은 내부에 연배열 인쇄 회로 기판(110)이 놓이는 공간(1253a)을 가진다. 보관 매거진(1253)에 제공된 공간(1253a)에서 전기 검사 유닛(1230)을 향하는 면은 개방된다. 보관 매거진(1253)의 양 측면 내측에는 연배열 인쇄 회로 기판(110)의 측방 가장자리 영역(112b)이 삽입되는 슬롯(1253b)이 형성된다. 슬롯(1253b)은 제 3 방향(16)을 따라 복수 개 제공된다. 보관 매거진(1253)은 복수 개가 제공될 수 있다. 내부에 적재가 완료된 보관 매거진(1253)은 작업자 또는 로봇에 의해 베이스(1251)로부터 반출될 수 있다.

상술한 예와 달리 보관 매거진 유닛에는 베이스 및 구동기가 제공되지 않을 수 있다. 이 경우, 보관 매거진 유닛은 지지 블럭과 보관 매거진을 가지고, 보관 매거진은 지지 블럭 상에 놓일 수 있다.

반입 유닛(1220)은 연배열 인쇄 회로 기판(110)을 입력 컨베이어(1210)로부터 적층된 전기 검사 유닛들(1230) 중 선택된 어느 하나의 전기 검사 유닛(1230)의 검사 컨베이어(1232)로 직접 반송한다. 또한, 반입 유닛(1220)은 전기 검사 유닛(1230)에서 불량으로 판정된 연배열 인쇄 회로 기판(110)을 보관 매거진(1253)으로 반송할 수 있다. 반입 유닛(1220)은 입력 컨베이어(1210)와 전기 검사 유닛(1230) 사이에 배치된다.

도 10은 반입 유닛의 일 예를 보여주는 사시도이다.

도 10을 참조하면, 반입 유닛(1220)은 반입 거치대(1221), 반입 승강 부재(1224), 반입 컨베이어(1225), 그리고 그립퍼 부재(1226)를 가진다.

반입 거치대(1221)는 반입 컨베이어(1225)와 그립퍼 부재(1226)를 지지한다. 반입 거치대(1221)는 하부 플레이트(1222) 및 측 플레이트(1223)를 가진다. 측 플레이트(1223)와 하부 플레이트(1222)는 각각 직사각의 판 형상으로 제공될 수 있다. 측 플레이트(1223)는 대체로 제 1 방향(12)과 제 3 방향(16)에 의해 정의되는 평면과 평행하게 배치된다. 하부 플레이트(1222)는 제 1 방향(12)과 제 2 방향(14)에 의해 정의되는 평면과 평행하게 배치된다. 하부 플레이트(1222)는 측 플레이트(1223)의 하단으로부터 제 2 방향(14)을 향하는 방향으로 돌출되게 제공될 수 있다.

하부 플레이트(1222)에는 반입 컨베이어(1225)가 설치된다. 상부에서 바라볼 때 반입 컨베이어(1225)는 입력 컨베이어(1210) 및 검사 컨베이어(1232)와 일렬로 정렬되도록 배치된다. 반입 컨베이어(1225)는 입력 컨베이어(1210)로부터 연배열 인쇄 회로 기판(110)을 직접 인수받고, 이를 전기 검사 유닛들(1230) 중 선택된 전기 검사 유닛(1230)의 검사 컨베이어(1232)로 직접 인계한다. 반입 컨베이어(1225)는 대체로 입력 컨베이어(1210)와 유사한 구조로 제공될 수 있다.

측 플레이트(1223)에는 그립퍼 부재(1226)가 설치된다. 그립퍼 부재(1226)는 전기 검사 유닛(1230)에서 불량으로 판정된 연배열 인쇄 회로 기판(110)을 보관 매거진으로 반송한다. 그립퍼 부재(1226)는 수평 이동 블럭(1227), 수직 이동 블럭(1228), 그립퍼(1229), 수평 구동기(1226a), 그리고 수직 구동기(1226b)를 가진다. 측 플레이트(1223)에는 레일(1223a)이 제공된다. 레일(1223a)은 그 길이 방향이 제 1 방향(12)을 따라 제공되도록 배치된다. 레일(1223a) 상에는 수평 이동 블럭(1227)이 장착되고, 수평 이동 블럭(1227)은 레일(1223a)을 따라 제 1 방향(12)으로 이동된다. 수평 이동 블럭(1227)에는 가이드 레일(1227a)이 제공된다. 가이드 레일(1227a)은 그 길이 방향이 제 3 방향(16)을 따라 제공되도록 배치된다. 가이드 레일(1227a) 상에는 수직 이동 블럭(1228)이 장착된다. 수직 구동기(1226b)는 수직 이동 블럭(1228)을 가이드 레일(1227a)을 따라 제 3 방향(16)으로 이동시킨다. 그립퍼(1229)는 반입 컨베이어(1225)의 상부에 위치된다. 그립퍼(1229)는 반입 컨베이어(1225) 상에 놓인 연배열 인쇄 회로 기판(110)을 집을 수 있도록 제공된다.

반입 승강 부재(1224)는 베이스(1224a)와 구동기(1224b)를 가진다. 베이스(1224a)는 그 길이방향이 제 3 방향(16)을 따라 제공되도록 배치된다. 베이스(1224a)는 전기 검사 유닛(1230)과 대응되는 길이로 제공될 수 있다. 베이스(1224a)의 일 측면에는 가이드 레일(1224c)이 제공된다. 반입 거치대(1221)는 가이드 레일(1224c) 상에 설치된다. 반입 거치대(1221)는 구동기(1224b)에 의해 가이드 레일(1224c)을 따라 제 3 방향(16)으로 이동된다. 구동기(1224c)는 모터를 포함할 수 있다.

반출 유닛(1240)은 연배열 인쇄 회로 기판(110)을 검사 컨베이어(1232)로부터 테스트 핸들러 모듈(1300)로 반송한다. 반출 유닛(1240)은 검사기(1237)와 테스트 핸들러 모듈(1300) 사이에 배치된다.

도 11은 반출 유닛의 일 예를 보여주는 사시도이다.

도 11을 참조하면, 반출 유닛(1240)은 반출 거치대(1242), 반출 컨베이어(1244), 그리고 반출 승강 부재(1246)를 가진다.

반출 컨베이어(1244) 및 반출 승강 부재(1246)는 대체로 반입 컨베이어(1225) 및 반입 승강 부재(1224)와 유사한 구조로 제공될 수 있다. 반출 거치대(1242)는 반출 컨베이어(1244)를 지지한다. 반출 거치대(1242)는 대체로 직사각의 판 형상을 가진다. 반출 거치대(1242)는 제 1 방향(12)과 제 2 방향(14)에 의해 정의되는 평면과 평행하게 배치될 수 있다.

반출 거치대(1242)에는 반출 컨베이어(1244)가 설치된다. 상부에서 바라볼 때 반출 컨베이어(1244)는 검사 컨베이어(1232)와 일렬로 정렬되도록 배치된다. 반출 컨베이어(1244)는 검사 컨베이어(1232)로부터 연배열 인쇄 회로 기판(110)을 직접 인수받고, 이를 테스트 핸들러 모듈(1300)로 직접 인계할 수 있다. 반출 컨베이어(1244)는 대체로 입력 컨베이어(1210)와 유사한 구조로 제공될 수 있다.

로더 모듈(1200)에는 리더기(1260)가 제공될 수 있다. 일 예에 의하면, 리더기(1260)는 반입 유닛(1220)보다 상류에 위치될 수 있다. 리더기(1260)는 제 1 장치(200)에서 로더 모듈(1200)로 반송된 연배열 인쇄 회로 기판(110)에 대한 정보 데이터를 읽고 이를 제어기(800)로 전송할 수 있다.

도 12는 로더 모듈의 다른 예를 보여준다.

도 12를 참조하면, 로더 모듈(2220)은 입력 컨베이어(2210), 반입 유닛(2220), 전기 검사 유닛(2230), 반출 유닛(2240), 그리고 보관 매거진 유닛(2250)을 가진다. 입력 컨베이어(2210), 반입 유닛(2220), 전기 검사 유닛(2230), 그리고 보관 매거진 유닛(2250)은 각각 도 4의 입력 컨베이어(1210), 반입 유닛(1220), 전기 검사 유닛(1230), 그리고 보관 매거진 유닛(1250)과 대체로 유사한 구조를 가질 수 있다. 다만, 로더 모듈(2220)은 하나의 전기 검사 유닛(2230)을 가진다. 반출 유닛(2240)은 반출 컨베이어(2244)를 가지며, 도 4의 반출 거치대(1242)와 반출 승강 부재(1246)는 반출 유닛에 제공되지 않는다.

도 13은 로더 모듈의 또 다른 예를 보여준다.

도 13을 참조하면, 로더 모듈(3220)은 입력 컨베이어(3210), 반입 유닛(3220), 전기 검사 유닛(3230), 반출 유닛(3240), 그리고 보관 매거진 유닛(3250)을 가진다. 입력 컨베이어(3210), 전기 검사 유닛(3230), 그리고 보관 매거진 유닛(3250)는 각각 도 4의 입력 컨베이어(1210), 전기 검사 유닛(1230), 그리고 보관 매거진 유닛(1250)과 대체로 유사한 구조를 가질 수 있다. 보관 매거진 유닛(3250)은 반출 유닛(3240)의 하류에 제공될 수 있다. 이 경우, 반입 유닛(3220)은 도 4의 반출 유닛(1240)과 대체로 유사한 구조를 가지고, 반출 유닛(3240)은 도 4의 반입 유닛(1220)과 대체로 유사한 구조를 가질 수 있다.

도 14는 테스트 핸들러 모듈의 일 예를 보여주는 사시도이고, 도 15는 도 14의 컨베이어 유닛의 일 예를 보여주는 평면도이다.

도 14 및 도 15를 참조하면, 테스트 핸들러 모듈(1300)은 컨베이어 유닛(1400), 반송 유닛(1500), 그리고 핸들러 유닛(1600)을 가진다. 컨베이어 유닛(1400)은 공급 컨베이어(1420)와 배출 컨베이어(1430)를 가진다.

공급 컨베이어(1420)는 반출 컨베이어(1244)로부터 연배열 인쇄 회로 기판(110)을 직접 인수받는다. 공급 컨베이어(1420)는 핸들러 유닛(1600)에서 검사가 이루어지기 전의 연배열 인쇄 회로 기판(110)을 반송한다. 배출 컨베이어(1430)는 핸들러 유닛(1600)에서 검사가 완료된 연배열 인쇄 회로 기판(110)을 반송한다. 배출 컨베이어(1430)는 연배열 인쇄 회로 기판(110)을 언로더 모듈(1800)의 언로드 컨베이어(1822)로 직접 인계한다. 공급 컨베이어(1420)는 그 길이 방향이 제 1 방향(12)을 따라 제공되도록 배치된다. 상부에서 바라볼 때 공급 컨베이어(1420)는 반출 컨베이어(1244)와 정렬되게 위치된다. 공급 컨베이어(1420)는 반출 컨베이어(1244)와 인접한 위치까지 연장되게 제공된다. 배출 컨베이어(1430)는 공급 컨베이어(1420)와 제 2 방향(14)으로 이격되게 배치된다. 배출 컨베이어(1430)는 그 길이 방향이 제 1 방향(12)을 따라 제공되게 배치된다. 배출 컨베이어(1430)는 언로더 모듈(1800)의 출력 컨베이어(1840)와 인접한 위치까지 연장되게 제공된다. 공급 컨베이어(1420)는 배출 컨베이어(1430)보다 로더 모듈(1200)에 더 인접하게 제공되고, 배출 컨베이어(1430)는 공급 컨베이어(1420)보다 언로더 모듈(1800)에 더 인접하게 제공된다.

공급 컨베이어(1420)는 대체로 입력 컨베이어(1210)와 유사한 구조로 제공될 수 있다. 또한, 공급 컨베이어(1420)는 굴곡부(1422)를 가진다. 굴곡부(1422)는 후술하는 공급 리프트 부재(1520)에 의해 공급 컨베이어(1420)로부터 연배열 인쇄 회로 기판(110)이 들어올려 질 수 있도록 있다. 굴곡부(1422)는 공급 리프트 부재(1520)와 마주보는 영역에 제공된다. 굴곡부(1422)는 공급 컨베이어(1420)의 다른 영역에 비해 아래로 오목하게 형성된다. 굴곡부(1422)는 서로 인접하게 위치된 한 쌍의 홈부(1422a)를 가진다. 한 쌍의 홈부(1422a)는 구동 롤러(1424)보다 아래에 아이들 롤러(1426)을 제공함으로써 공급 컨베이어(1420)의 이동 경로를 변경하여 형성할 수 있다. 배출 컨베이어(1430)는 공급 컨베이어(1420)와 동일한 구조로 제공될 수 있다.

핸들러 유닛(1600)은 연배열 인쇄 회로 기판(110)의 작동 상태를 검사한다. 예컨대, 핸들러 유닛(1600)은 신호를 연배열 인쇄 회로 기판(110)에 제공된 각각의 단위 기판들(111)에 인가하고, 이들로부터 출력된 신호로부터 단위 기판들(110)의 작동 상태의 양호 여부를 검사한다.

도 16 내지 도 18은 핸들러 유닛의 일 예를 보여주는 도면들이다. 도 16은 핸들러 유닛에서 하우징과 검사 챔버들이 분리된 상태를 보여주는 사시도이다. 도 17은 핸들러 유닛의 내부를 보여주는 사시도이다. 도 18은 핸들러 유닛의 측면도이다. 도 16 및 도 18에는 하나의 핸들러 유닛이 도시되었고, 도 17에는 제 2 방향을 따라 배열된 두 개의 핸들러 유닛이 도시되었다.

도 16 내지 도 18을 참조하면, 핸들러 유닛(1600)은 하우징(1610), 검사 챔버(1620), 테스트기(1670), 그리고 온도 조절 챔버(1680)를 가진다.

하우징(1610)은 대체로 직육면체의 통 형상을 가진다. 하우징(1610)은 검사 챔버들(1620)이 위치되는 내부 공간(1611)을 가진다. 검사 챔버들(1620)은 내부 공간(1611)의 중앙에 위치될 수 있다. 내부 공간(1611)은 전면(front face)에 개구(1612)를 가진다. 검사 챔버들(1620)은 개구(1612)를 통해 내부 공간(1611)에 삽입된다. 검사 챔버들(1620)이 하우징(1610)에 삽입되면, 개구(1612)는 검사 챔버들(1620)에 의해 차단된다. 또한, 검사 챔버들(1620)이 하우징(1610)과 결합되면, 검사 챔버들(1620)과 하우징(1610)의 측벽 사이에는 검사 챔버들(1620)을 둘러싸는 순환 공간(1613)이 형성된다.

하우징(1610)의 아래에는 온도 조절 챔버(1680)가 배치된다. 온도 조절 챔버(1680)는 하우징(1610)의 내부 공간(1611)으로 공급되는 기체의 온도를 조절한다. 이로 인해 검사 챔버(1620)의 내부는 검사에 적합한 온도를 유지한다. 온도 조절 챔버(1680)는 외부로부터 밀폐된 내부 공간(1681)을 가진다. 온도 조절 챔버(1680)는 대체로 직육면체의 형상을 가진다. 온도 조절 챔버(1680)의 일측 하단에는 공급 컨베이어(1420) 또는 배출 컨베이어(1430)가 지나가는 통로(1682)가 제공될 수 있다. 선택적으로 온도 조절 챔버(1680)는 공급 컨베이어(1420) 및 배출 컨베이어(1430)의 상부에 이들로부터 이격되게 위치될 수 있다.

온도 조절 챔버(1680) 내에는 배관(1683)이 설치된다. 배관(1683)의 일단은 하우징(1610)의 저면에 제공된 배출구(1616)와 결합되고, 배관(1683)의 타단은 하우징(1610)의 저면에 제공된 공급구(1615)와 결합된다. 배출구(1616)와 공급구(1615)는 하우징(1610)의 내부 공간(1611) 중 검사 챔버들(1620)을 기준으로 서로 반대측에 제공된다. 배출구(1616)와 공급구(1615)는 각각 상술한 순환 공간(1613)과 연결되게 제공된다. 배관(1683)에는 송풍기(1684)가 장착된다. 송풍기(1684)는 배출구(1616)를 통해 하우징(1610)의 내부 공간(1611) 내 기체를 배관(1683) 내로 흡입하고, 흡입된 기체를 공급구(1615)를 통해 하우징(1610)의 내부 공간(1611)으로 다시 배출한다. 송풍기(1684)는 모터 등과 같은 구동기(1688)에 의해 동작 될 수 있다. 또한, 배관(1683)에는 온도 조절 부재(1685)가 설치된다. 일 예에 의하면, 온도 조절 부재(1685)는 가열기(1686)를 포함한다. 가열기(1686)는 배관(1683)을 흐르는 기체를 검사 공정에 적합한 온도로 가열한다. 또한 온도 조절 부재(1685)는 냉각기(1687)를 포함하고, 냉각기(1687)는 배관(1683)에 설치될 수 있다.

검사 챔버(1620)는 복수 개가 제공된다. 일 예에 의하면, 검사 챔버(1620)는 제 2 방향(14) 및 제 3 방향(16)에 의해 정의된 평면에 M X N 배열(M, N은 자연수)로 제공될 수 있다. 예컨대, 검사 챔버(1620)는 48개가 제공되고, 검사 챔버(1620)들은 제 2 방향(14) 및 제 3 방향(16)에 의해 정의된 평면에 3 X 16의 배열로 배치될 수 있다. 검사 챔버들(1620)은 모두 동일한 구조로 제공될 수 있다.

도 19과 도 20는 도 16의 검사 챔버의 일 예를 보여주는 도면들이다. 도 19는 검사 챔버에서 도어가 닫힌 상태의 사시도이다. 도 20은 검사 챔버에서 도어가 열린 상태의 사시도이다.

도 19와 도 20을 참조하면, 검사 챔버(1620)는 대체로 직육면체의 통 형상을 가진다. 검사 챔버(1620)는 몸체(1630), 지지대(1640), 도어(1650), 그리고 소켓(1660)을 가진다. 몸체(1630)는 전면(front face)이 개방된 검사 공간(1631)을 가진다. 몸체(1630)에서 검사 공간(1631)을 정의하는 하면(1633)에는 가이드 레일(1634)이 제공된다. 가이드 레일(1634)은 그 길이방향이 제 1 방향(12)과 평행하게 제공된다. 가이드 레일(1634)은 2개가 제공되고, 가이드 레일들(1634)은 제 2 방향(14)으로 서로 이격될 수 있다. 가이드 레일(1634)은 지지대(1640)의 이동을 안내한다.

몸체(1630)의 양 측벽에는 각각 통기구(1636)가 형성된다. 통기구(1636)는 대체로 몸체(1630)의 검사 공간(1631)과 대응되는 크기로 제공될 수 있다. 통기구(1636)는 하우징(1610)의 순환 공간(1613) 내 온도 조절된 기체가 몸체(1630) 내 검사 공간(1631)으로 유입되도록 한다. 통기구(1636)에는 격자 형상으로 배열된 망(mesh)(1637)이 제공될 수 있다.

도어(1650)는 몸체(1630)의 개방된 전면을 개폐한다. 도어(1650)는 슬라이드 방식으로 이동될 수 있다. 도어(1650)의 외면(1652)에는 고리(1654)가 제공된다. 고리(1654)는 도어 오프너(1580)가 도어(1650)를 열거나 닫을 때 사용될 수 있다. 고리(1654)에는 제 2 방향과 평행한 방향으로 관통 홀(1654a)이 형성된다.

지지대(1640)는 검사 공정 진행시 검사 공간(1631) 내에서 기판(110)을 지지한다. 지지대(1640)는 대체로 직사각의 평평한 판 형상을 가진다. 지지대(1640)는 도어(1650)에 고정결합되어 도어(1650)와 함께 이동될 수 있다. 일 예에 의하면, 지지대(1640)는 도어(1650)의 하단에 결합된다. 지지대(1640)는 몸체(1630)의 가이드 레일(1634)과 결합되어 이를 따라 이동되도록 설치될 수 있다.

지지대(1640)의 후면(1644)에는 지지대 정렬 핀(1646)이 제공된다. 지지대 정렬 핀(1646)은 검사 공정 수행시 지지대(1640)가 소켓(1660)과 정렬되도록 안내한다. 지지대 정렬 핀(1646)은 제 1 방향(12)을 향해 돌출되도록 제공될 수 있다. 지지대 정렬 핀(1646)은 소켓(1660)의 정렬 홈(1664)과 대응되는 수로 제공될 수 있다.

지지대(1640)의 상면(1641) 중 전방 영역에는 기판 정렬 핀(1647)이 제공된다. 기판 정렬 핀(1647)은 지지대(1640)로부터 상부를 향해 돌출되도록 제공된다. 기판 정렬 핀(1647)은 연배열 인쇄 회로 기판(110)에 형성된 통공(116)에 삽입 가능하도록 제공된다. 기판 정렬 핀(1647)은 연배열 인쇄 회로 기판(110)에 제공된 통공(116)과 동일한 수로 제공될 수 있다.

지지대(1640)의 상면 중 측방 영역들에는 각각 그루브(1648)가 형성된다. 그루브(1648)는 측방 영역에서 이와 인접한 측면(1645)까지 연장된다. 그루브(1648)는 반송 로봇(1540)이 연배열 인쇄 회로 기판(110)을 지지대(1640)에 로딩 또는 언로딩할 때, 후술하는 반송 로봇(1540)의 클램프(1569)가 이동되는 통로로 기능한다. 그루브(1648)는 클램프(1569)와 동일한 수로 제공되고, 클램프(1569)와 대응되는 위치에 제공된다. 선택적으로 지지대(1640)에는 그루브(1648)가 제공되지 않고, 기판 정렬 핀(1647)이 연배열 인쇄 회로 기판(110)에 삽입된 상태에서 반송 로봇(1540)은 연배열 인쇄 회로 기판(110)을 지지대(1640)에 내려놓을 수 있다.

몸체(1630)의 검사 공간(1631) 내에는 소켓(1660)이 장착된다. 도 21은 도 18의 'A' 영역을 확대한 도면이다.

도 21을 참조하면, 소켓(1660)은 패드(1666)를 가진다. 패드(1666)는 도전성 재질로 제공된다. 검사 공정 수행시 연배열 인쇄 회로 기판(110)의 검사 단자(113)는 패드(1666)에 접촉한다.

일 예에 의하면, 소켓(1660)에는 검사 홈(1662)과 정렬 홈(1664)이 형성된다. 검사 홈(1662)은 그 길이 방향이 제 2 방향(14)을 따라 제공된다. 검사 홈(1662)의 길이는 연배열 인쇄 회로 기판(110)의 가로 변과 대응되는 길이를 가질 수 있다. 패드(1666)는 검사 홈(1662)의 길이 방향을 따라 복수 개가 제공된다. 일 예에 의하면, 패드(1666)는 검사 홈(1662)을 정의하는 면들 중 상면에 제공될 수 있다. 정렬 홈(1664)은 검사 홈(1662)의 아래에 제공된다. 정렬 홈(1664)은 검사 공정 수행시 후술하는 지지대의 정렬 핀이 삽입된다. 일 예에 의하면, 정렬 홈(1664)은 2개가 제공되고, 정렬 홈(1664)들은 제 2 방향(14)을 따라 서로 이격되게 제공될 수 있다.

소켓(1660)에는 테스트기(도 18의 1670)가 접속된다. 테스트기(1670)는 소켓(1660)의 패드(1666)를 통해 연배열 인쇄 회로 기판(110)에 검사를 위한 신호를 인가하고, 패드(1666)를 통해 연배열 인쇄 회로 기판(110)으로부터 출력된 신호를 받는다. 테스트기(1670)는 출력 신호로부터 연배열 인쇄 회로 기판(110)의 불량 여부를 검사한다. 테스트기(1670)는 제어기(800)와 전기적으로 연결되고, 테스트기(1670)의 검사 결과는 제어기(800)로 전송할 수 있다. 또한, 테스트기(1670)는 제어기(800)로부터 검사 대상인 연배열 인쇄 회로 기판(110)에 대응하는 펌웨어 또는 검사 프로그램을 다운받을 수 있다. 또한, 테스트기(1670)는 다운로드 된 펌웨어를 이용하여 단위 기판(110)에 제공된 소자들(115) 중 컨트롤러를 구동시킬 수 있다.

반송 유닛(1500)은 스토퍼 부재(1510), 공급 리프트 부재(1520), 배출 리프트 부재(1530) 그리고 반송 로봇(1540)을 가진다. 도 22는 스토퍼 부재, 공급 리프트 부재, 그리고 배출 리프트 부재를 보여주는 도면이다.

도 22를 참조하면, 스토퍼 부재(1510)는 공급 컨베이어(1420)에 의해 반송중인 연배열 인쇄 회로 기판(110)을 정지시킨다. 스토퍼 부재(1510)는 공급 컨베이어(1420)의 상부에 위치될 수 있다. 스토퍼 부재(1510)는 공급 컨베이어(1420)의 굴곡부(1422)와 핸들러 유닛(1600) 사이에 위치될 수 있다. 스토퍼 부재(1510)에 의해 정지된 상태에서 연배열 인쇄 회로 기판(110)은 굴곡부(1422) 상에 위치된다.

스토퍼 부재(1510)는 차단 판(blocking plate)(1512)과 구동기(1514)를 가진다. 차단 판(1512)은 대체로 로드 형상을 가진다. 차단 판(1512)은 그 길이 방향이 제 2 방향(14)과 평행하도록 배치될 수 있다. 구동기(1514)는 차단 판(1512)을 대기 위치와 차단 위치 간에 이동시킨다. 대기 위치는 차단 판(1512)이 공급 컨베이어(1420)에 의해 반송 중인 연배열 인쇄 회로 기판(110)과 간섭되지 않은 위치이고, 차단 위치는 차단 판(1512)이 공급 컨베이어(1420)에 의해 반송 중인 연배열 인쇄 회로 기판(110)과 접촉되는 위치이다. 일 예에 의하면, 대기 위치는 차단 위치보다 상부이고, 차단 위치는 공급 컨베이어(1420)로부터 상부로 이격된 위치일 수 있다. 구동기(1514)는 실린더를 포함할 수 있다. 구동기(1514)는 차단 판(1512)을 제 3 방향(16)을 따라 이동시킬 수 있다.

공급 리프트 부재(1520)와 배출 리프트 부재(1530)는 제 2 방향(14)으로 서로 이격되게 배치된다. 공급 컨베이어(1420)와 배출 컨베이어(1430)는 공급 리프트 부재(1520)와 배출 리프트 부재(1530) 사이를 지나도록 제공된다. 공급 리프트 부재(1520)는 공급 컨베이어(1420)와 인접하게 위치된다. 공급 리프트 부재(1520)는 연배열 인쇄 회로 기판(110)을 공급 컨베이어(1420)로부터 들어올려 반송 로봇(1540)으로 인계한다. 배출 리프트 부재(1530)는 배출 컨베이어(1430)와 인접하게 배치된다. 배출 리프트 부재(1530)는 반송 로봇(1540)으로부터 연배열 인쇄 회로 기판(110)을 인수받고, 이를 배출 컨베이어(1430)로 내려놓는다.

공급 리프트 부재(1520)와 배출 리프트 부재(1530)는 서로 동일한 구조를 가질 수 있다. 공급 리프트 부재(1520)는 베이스(1521), 지지대(1522), 수평 구동기(1525), 승강축(1526), 그리고 수직 구동기(1527)를 가진다. 베이스(1521)는 대체로 직육면체 형상을 가질 수 있다. 베이스(1521)의 양 측면 각각에는 가이드 홈(1521a)이 형성된다. 가이드 홈(1521a)은 그 길이 방향이 제 2 방향(14)에 평행하게 제공된다. 가이드 홈(1521a)에는 지지대(1522)가 결합 될 수 있다.

지지대(1522)는 가이드 홈(1521a)을 따라 이동 가능하게 제공된다. 지지대(1522)는 핸드(1523)과 결합 로드(1524)를 가진다. 결합 로드(1524)는 핸드(1523)로부터 연장되며 가이드 홈(1521a)에 결합된다. 핸드(1523)는 2개의 지지 로드(1523a)를 가진다. 지지 로드들(1523a)은 서로 평행하게 제공되며, 제 1 방향(12)을 따라 서로 이격되게 배치된다. 핸드(1523)는 대체로 포크 형상으로 제공될 수 있다.

상술한 바와 같이 공급 리프트 부재(1520)는 굴곡부(1422)와 대향되는 위치에 제공되고, 굴곡부(1422)는 두 개의 홈 부(1422a)를 가진다. 핸드(1523)가 제 2 방향(14)으로 이동될 때, 각각의 홈 부(1422a)에는 한 개의 지지 로드(1523a)가 삽입된다. 수평 구동기(1525)는 핸드(1523)를 제 2 방향(14)을 따라 이동시키도록 구동력을 제공한다. 수평 구동기(1525)는 모터를 포함할 수 있다. 승강축(1526)은 베이스(1521)의 저면에 결합된다. 승강축(1526)은 그 길이 방향이 제 3 방향(16)에 평행하게 제공된다. 수직 구동기(1527)는 승강축(1526)을 제 3 방향(16)을 따라 이동시킨다. 수직 구동기(1527)는 실린더를 포함할 수 있다.

반송 로봇(1540)은 공급 리프트 부재(1520)로부터 연배열 인쇄 회로 기판(110)을 인수받고 이를 검사 챔버(1620)들 중 하나로 반송한다. 또한, 반송 로봇(1540)은 검사 챔버(1620)로부터 기판(110)을 꺼내고, 이를 배출 리프트 부재(1530)로 인계한다.

도 23은 반송 로봇의 사시도이고, 도 24는 반송 로봇의 측면도이다. 그리고 도 25는 홀더 부재의 정면도이고, 도 26은 언로드 암의 저면도이다.

도 23 내지 도 26을 참조하면, 반송 로봇(1540)은 수직 베이스(1541), 수직 지지대(1542), 수직 구동기(1543), 수평 베이스(1544), 수평 지지대(1545), 수평 구동기(1546), 홀더 부재(1550), 그리고 도어 오프너(1580)를 가진다.

수직 베이스(1541)는 공급 컨베이어(1420)로부터 제 2 방향(14)으로 이격되게 배치된다. 수직 베이스(1541)는 그 길이 방향이 제 3 방향(16)과 평행하게 제공된다. 수직 베이스(1541)의 일 측면에는 레일(1541a)이 형성된다. 레일(1541a)은 그 길이방향이 제 3 방향(16)에 평행하게 제공된다. 수직 지지대(1542)는 레일(1541a)을 따라 이동 가능하도록 레일(1541a)에 결합된다. 수직 구동기(1543)는 수직 지지대(1542)를 레일(1541a)을 따라 제 3 방향(16)으로 이동시킨다. 수직 구동기(1543)는 모터를 포함할 수 있다.

수평 베이스(1544)는 수직 지지대(1542) 상에 고정 결합된다. 수평 베이스(1544)는 그 길이 방향이 제 2 방향(14)과 평행하게 제공된다. 수평 베이스(1544)의 상면에는 레일(1544a)이 형성된다. 레일(1544a)은 그 길이방향이 제 2 방향(14)에 평행하게 제공된다. 수평 지지대(1545)는 레일(1544a)을 따라 이동 가능하도록 레일(1544a)에 결합된다. 수평 지지대(1545)는 그 길이 방향이 제 1 방향(12)과 평행하게 제공되며, 핸들러 유닛(1600)을 향하는 방향으로 수평 베이스(1544)로부터 돌출되게 제공된다. 수평 구동기(1546)는 수평 지지대(1545)를 레일(1544a)을 따라 제 2 방향(14)으로 이동시킨다.

홀더 부재(1550)는 수평 지지대(1545)에 고정 결합된다. 홀더 부재(1550)는 로드 암(1552), 언로드 암(1554), 그리고 고정 판(1556)을 가진다. 고정 판(1556)은 수평 지지대(1545)에 고정결합된다. 고정 판(1556)은 로드 암(1552)과 언로드 암(1554)을 지지한다. 로드 암(1552)과 언로드 암(1554)은 고정 판(1556)을 기준으로 서로 반대측에 위치된다. 로드 암(1552)과 언로드 암(1554)은 제 2 방향(14)을 따라 서로 이격되게 배치된다. 로드 암(1552)은 공급 리프트 부재(1520)로부터 연배열 인쇄 회로 기판(110)을 인수받고, 이를 검사 챔버(1620)들 중 선택된 검사 챔버(1620)로 공급한다. 언로드 암(1554)은 검사 챔버(1620)로부터 연배열 인쇄 회로 기판(110)을 꺼내 배출 리프트 부재(1530)로 인계한다.

로드 암(1552)과 언로드 암(1554)은 대체로 동일한 구조를 가진다. 언로드 암(1552)은 픽업 헤드(1561), 헤드 지지대(1565), 지지대 구동기(1566), 고정 핀(1567), 탄성 부재(1568), 클램프(1569), 그리고 클램프 구동기(1570)를 가진다. 헤드 지지대(1565)는 대체로 직사각의 판 형상을 가진다. 헤드 지지대(1565)는 고정 판(1556)으로부터 이격되도록 고정 판(1556)의 아래에 배치된다. 지지대 구동기(1566)는 고정 판(1556)에 헤드 지지대(1565)를 결합시키고, 고정 판(1556)에 대해 헤드 지지대(1565)를 제 3 방향(16)으로 상대 이동시킨다. 일 예에 의하면, 지지대 구동기(1566)는 실린더를 포함할 수 있다.

픽업 헤드(1561)는 연배열 인쇄 회로 기판(110)을 지지한다. 픽업 헤드(1561)는 헤드 지지대(1565)의 아래에 헤드 지지대(1565)로부터 이격되게 위치된다. 픽업 헤드(1561)는 대체로 직육면체 형상을 가진다.

픽업 헤드(1561)는 플레이트(1562)와 접촉 부재(1563)를 가진다. 플레이트(1562)는 대체로 직사각의 판 형상을 가진다. 접촉 부재(1563)는 플레이트(1562)의 저면으로부터 아래 방향으로 돌출되게 제공된다. 접촉 부재(1563)는 전면 접촉부(1563a)와 측면 접촉부(1563b)를 가진다. 전면 접촉부(1563a)는 플레이트(1562)의 가장자리 영역들 중 전방 가장자리 영역(112a)에 제공된다. 전면 접촉부(1563a)는 연배열 인쇄 회로 기판(110)의 가로 변과 대응되는 길이를 가질 수 있다. 측면 접촉부(1563b)는 플레이트(1562)의 가장자리 영역들 중 측방 가장자리 영역(112b)에 각각 제공된다. 전면 접촉부(1563a)와 측면 접촉부(1563b)에 의해 플레이트(1562)의 아래에는 하방 및 후방이 개방된 삽입 공간(1561a)이 제공된다.

연배열 인쇄 회로 기판(110)이 반송 로봇(1540)에 의해 반송될 때, 연배열 인쇄 회로 기판(110)의 전방 가장자리 영역(112a)은 전면 접촉부(1563a)의 저면에 접촉되고, 측방 가장자리 영역(112b)은 측면 접촉부(1563b)의 저면에 접촉된다. 연배열 인쇄 회로 기판(110)에 제공된 소자들(115)은 삽입 공간(1561a) 내에 위치된다. 플레이트(1562)의 아래에 형성된 삽입 공간(1561a)은 후방 가장자리 영역(112c)이 개방되기 때문에, 픽업 헤드(1561)는 세로 변의 길이가 상이한 다양한 종류의 연배열 인쇄 회로 기판(110)을 지지할 수 있다. 따라서 연배열 인쇄 회로 기판(110)의 세로 변의 길이에 따라 연배열 인쇄 회로 기판(110)의 측방 가장자리 영역(112b) 전체가 측면 접촉부(1563b)에 접촉되거나, 측방 가장자리 영역(112b)들 중 일부가 측면 접촉부(1563b)에 접촉될 수 있다. 도 27과 도 28은 각각 픽업 헤드(1561)에 세로 변의 길이가 서로 상이한 연배열 인쇄 회로 기판(110, 130)이 지지된 상태를 보여준다.

픽업 헤드(1561)의 끝단에는 가이드 부재(1564)가 제공될 수 있다. 가이드 부재(1564)는 연배열 인쇄 회로 기판(110)이 픽업 헤드(1561)에 접촉될 때 연배열 인쇄 회로 기판(110)의 전방 가장자리 영역(112a)이 픽업 헤드(1561)의 전면 접촉부(1563a)와 정렬되도록 한다. 가이드 부재(1564)는 플레이트(1562)의 전면으로부터 전면 접촉부(1563a)보다 낮은 위치까지 돌출되게 제공된다. 가이드 부재(1564)에서 전면 접촉부(1563a)를 향하는 면은 아래로 갈수록 전면 접촉부(1563a)로부터 멀어지도록 경사지게 제공될 수 있다.

픽업 헤드(1561)는 고정 핀(1567)에 의해 헤드 지지대(1565)에 결합된다. 고정 핀(1567)은 그 길이 방향이 제 3 방향(16)과 평행하게 제공된다. 고정 핀(1567)은 픽업 헤드(1561)에 고정되고, 헤드 지지대(1565)에 형성된 홀을 통해 삽입될 수 있다. 고정 핀(1567)의 상단에는 헤드 지지대(1565)로부터 고정 핀(1567)이 빠지지 않도록 걸림부(1567a)가 제공된다. 또한, 픽업 헤드(1561)와 헤드 지지대(1565)는 탄성 부재(1568)에 의해 연결된다. 탄성 부재(1568)는 스프링을 포함할 수 있다. 탄성 부재(1568)은 고정 핀(1567)을 감싸도록 제공된다. 상술한 고정 핀(1567)은 헤드 지지대(1565)의 네 모서리 각각에 제공될 수 있다.

클램프(1569)는 연배열 인쇄 회로 기판(110)을 헤드 지지대(1565)에 고정시킨다. 클램프(1569)는 헤드 지지대(1565)의 양 측부에 각각 제공된다. 일 예에 의하면, 클램프(1569)는 헤드 지지대(1565)의 측면 접촉부(1563b)의 길이 방향을 따라 복수 개가 서로 이격되게 배치된다. 클램프(1569)는 측판(1569a)과 하판(1569b)을 가진다. 측판(1569a)은 그 길이 방향이 제 3 방향(16)과 평행하게 배치된다. 측판(1569a)은 헤드 지지대(1565) 및 픽업 헤드(1561)로부터 제 2 방향(14)으로 이격되게 배치된다. 하판(1569b)은 측판(1569a)과 수직하게 제공되며, 측판(1569a)의 하단으로부터 헤드 지지대(1565)를 향하는 방향으로 돌출된다. 하판(1569b)은 픽업 헤드(1561)보다 아래에 위치된다.

클램프 구동기(1570)는 클램프(1569)를 제 2 방향(14)을 따라 이동시킨다. 클램프 구동기(1570)는 클램프들(1569)을 고정 위치와 대기 위치 간에 이동시킨다. 대기 위치는 연배열 인쇄 회로 기판(110)이 픽업 헤드(1561)와 접촉하기 전에 연배열 인쇄 회로 기판(110)의 이동을 간섭하지 않은 위치이다. 예컨대, 대기 위치에서 클램프(1569)의 하판은 상부에서 바라볼 때 픽업 헤드(1561)와 중첩되지 않은 위치일 수 있다. 고정 위치는 연배열 인쇄 회로 기판(110)이 픽업 헤드(1561)에 접촉하게 위치한 상태에서 클램프(1569)의 하판이 연배열 인쇄 회로 기판(110)의 가장자리를 눌러주는 위치이다.

클램프 구동기(1570)는 연결판(1571)과 실린더(1572)를 포함할 수 있다. 실린더(1572)는 헤드 지지대(1565)의 상면에 고정 설치될 수 있다. 동일한 열에 제공된 클램프(1569)들은 연결판(1571)에 결합되고, 연결판(1571)은 실린더(1572)에 의해 제 2 방향(14)을 따라 구동될 수 있다. 선택적으로 클램프 각각에 실린더가 각각 연결될 수 있다.

도어 오프너(1580)는 검사 챔버(1620)의 도어(1650)를 개폐한다. 도 29는 도어 오프너를 보여주는 도면이다.

도 29를 참조하면, 도어 오프너(1580)는 이동 블럭(1581), 블럭 구동기(1582), 걸쇠 지지대(1583), 걸쇠(1584), 그리고 걸쇠 구동기(1585)를 가진다. 도어 오프너(1580)는 반송 로봇(1540)에 장착될 수 있다. 일 예에 의하면, 도어 오프너(1580)는 반송 로봇(1540)의 수직 지지대(1542)에 장착된다.

이동 블럭(1581)은 수직 지지대(1542)의 저면에 배치된다. 블럭 구동기(1582)는 이동 블럭(1581)을 제 1 방향(12)으로 이동시킨다. 일 예에 의하면, 블럭 구동기(1582)는 이동 블럭(1581)을 대기 위치와 작동 위치 간에 이동시킨다. 작동 위치는 걸쇠(1584)가 도어(1650)의 고리(1564)와 인접하게 위치되도록 이동 블럭(1581)이 도어(1650)를 향해 전진한 위치이고, 대기 위치는 걸쇠(1584)가 핸들러 유닛(1600)의 하우징으로부터 후퇴한 위치이다.

일 예에 의하면, 블럭 구동기(1582)는 스크류(1582a) 및 이를 회전시키는 모터(1582b)를 가진다. 이동 블럭(1581)에는 스크류(1582a)가 삽입되는 나사 홈(1581a)이 형성되고, 이동 블럭(1581)은 스크류(1582a)의 회전에 의해 직선 이동된다. 수직 지지대(1542)에는 가이드(1586)가 제공된다. 가이드(1586)는 이동 블럭(1581)이 제 1 방향(12)을 따라 안정적으로 이동하도록 안내한다. 가이드(1586)는 그 길이 방향이 스크류(1582a)와 평행하게 배치된다. 가이드(1586)는 스크류(1582a)와 제 2 방향(14)으로 이격되게 배치된다. 이동 블럭(1581)은 가이드(1586)를 따라 제 1 방향(12)으로 이동 가능하도록 가이드(1586) 상에 설치된다.

이동 블럭(1581)에는 걸쇠 지지대(1583)가 고정 설치된다. 걸쇠 지지대(1583)는 로드 형상을 가진다. 걸쇠 지지대(1583)는 그 길이 방향이 제 1 방향(12)에 평행하게 배치된다. 걸쇠 지지대(1583)의 끝단에는 걸쇠 구동기(1585)가 고정 설치된다. 걸쇠 구동기(1585)는 걸쇠(1584)를 제 2 방향(14)을 따라 직선 이동시킨다. 걸쇠 구동기(1585)는 실린더를 포함할 수 있다. 걸쇠(1584)는 상술한 도어(1650)의 고리(1654)에 삽입 가능하게 제공된다.

도 30 내지 도 32는 도어 오프너에 의해 도어가 개방되는 과정을 보여주는 도면들이다.

도 30 내지 도 32를 참조하면, 반송 로봇(1540)이 검사 챔버(1620)로 연배열 인쇄 회로 기판(110)을 반송하거나 또는 검사 챔버(1620)로부터 연배열 인쇄 회로 기판(110)을 꺼낼 때 도어(1650)는 반송 로봇(1540)에 의해 개방된다. 처음에, 도 30과 같이 블럭 구동기(1582)에 의해 이동 블럭(1581)이 대기 위치에서 동작 위치로 제 1 방향(12)을 따라 이동한다. 이후, 도 31과 같이 걸쇠 구동기(1585)에 의해 걸쇠(1584)가 제 2 방향(14)으로 이동되어 걸쇠(1584)가 고리(1564)에 끼워진다. 이후, 도 32와 같이, 블럭 구동기(1582)에 의해 이동 블럭(1581)이 동작 위치에서 대기 위치로 제 1 방향(12)을 따라 이동되고, 검사 챔버(1620)의 도어(1650)가 개방된다. 이후, 픽업 헤드(1561)는 연배열 인쇄 회로 기판(110)을 검사 챔버(1620)에 넣거나 검사 챔버(1620)로부터 꺼낸다.

상술한 예에서는 도어 오프너(1580)가 반송 로봇(1540)에 설치된 것으로 설명하였다. 그러나 이와 달리, 도어 오프너(1580)는 반송 로봇(1540)과는 독립적으로 제공될 수 있다.

또한, 상술한 예에서 도어(1650)는 걸쇠(1584)와 고리(1564)에 의해 개폐되는 것으로 설명하였다. 그러나 이와 달리, 도어(1650)는 이와 상이한 다양한 기구적 메카니즘에 의해 개폐될 수 있다. 선택적으로 도어(1650)는 전기적인 신호에 의해 자동으로 개폐될 수 있다.

도 33 내지 도 36은 공급 컨베이어에서 반송 로봇으로 연배열 인쇄 회로 기판이 인계되는 과정을 순차적으로 보여주는 도면들이다.

도 33과 같이 스토퍼 부재(1510)가 대기 위치에서 차단 위치로 이동된다. 공급 컨베이어(1420)에서 연배열 인쇄 회로 기판(110)가 스토퍼 부재(1510)에 의해 정지된다. 이후, 도 34와 같이 공급 리프트 부재(1520)의 핸드(1523)가 굴곡부(1422)에 삽입된다. 핸드(1523)가 승강함에 따라 연배열 인쇄 회로 기판(110)은 공급 컨베이어(1420)로부터 들어 올려진다. 이후, 도 35와 같이 로드 암(1552)의 클램프(1569)가 대기 위치로 이동된 상태에서 연배열 인쇄 회로 기판(110)은 픽업 헤드(1561)에 접촉된다. 이후, 도 36과 같이 클램프(1569)가 고정 위치로 이동되고, 공급 리프트 부재(1520)는 하강한다.

언로드 암(1554)에서 연배열 인쇄 회로 기판(110)이 배출 컨베이어(1430)로 놓일 때에는 도 36에서 도 34의 순서로 이루어진다. 일 예에 의하면, 공급 컨베이어(1420)에서 로드 암(1552)으로 연배열 인쇄 회로 기판(110)이 인계되는 동안, 언로드 암(1554)으로부터 배출 컨베이어(1430)로 연배열 인쇄 회로 기판(110)이 놓일 수 있다.

도 37은 테스트 핸들러 모듈의 다른 예를 보여주는 도면이다.

도 37을 참조하면, 테스트 핸들러 모듈(2300)은 컨베이어 유닛(2400), 반송 유닛(2500), 그리고 복수의 핸들러 유닛(2600)을 가진다. 컨베이어 유닛(2400) 및 반송 유닛(2500)은 도 14의 컨베이어 유닛(1400) 및 반송 유닛(1500)과 대체로 유사한 구조 및 배치를 가질 수 있다. 또한, 각각의 핸들러 유닛(2600)은 도 14의 핸들러 유닛(1600)과 대체로 유사한 구조를 가질 수 있다. 핸들러 유닛(2600)은 제 1 방향(12) 및 제 2 방향(14) 각각에 대해 복수 개가 제공된다. 예컨대, 도 36과 같이 제 1 방향(12)을 따라 두 세트의 핸들러 유닛(2600)이 배치되고, 각각의 세트에는 2개의 핸들러 유닛(2600)이 제 2 방향(14)을 따라 배치될 수 있다. 이 경우 각각의 세트의 핸들러 유닛(2600)의 전방에는 반송 유닛(2500)이 각각 설치된다.

도 38은 테스트 핸들러 모듈의 또 다른 예를 보여주는 도면이다.

도 38을 참조하면, 테스트 핸들러 모듈(3300)은 컨베이어 유닛(3400), 반송 유닛(3500), 그리고 복수의 핸들러 유닛(3600)을 가질 수 있다. 컨베이어 유닛(3400) 및 반송 유닛(3500)은 도 14의 컨베이어 유닛(1400) 및 반송 유닛(1500)과 대체로 유사한 구조 및 배치를 가질 수 있다. 또한, 각각의 핸들러 유닛(3600)은 도 14의 핸들러 유닛(1600)과 대체로 유사한 구조를 가질 수 있다. 핸들러 유닛(3600)들은 복수 개가 제공된다. 핸들러 유닛들은 모두 제 1 방향(12)을 따라 일렬로 배치된다. 각각의 핸들러 유닛(3600)의 전방에는 반송 유닛(3500)이 각각 설치된다.

도 39는 테스트 핸들러 모듈의 또 다른 예를 보여준다.

도 39를 참조하면, 테스트 핸들러 모듈(4300)은 컨베이어 유닛(4400), 반송 유닛(4500), 그리고 복수의 핸들러 유닛(4600)을 가진다. 반송 유닛(4500) 및 핸들러 유닛(4600)은 도 14의 반송 유닛(1500) 및 핸들러 유닛(1600)과 대체로 유사한 구조 및 배치를 가질 수 있다. 컨베이어 유닛(4400)은 공급 컨베이어(4420)와 배출 컨베이어(4430)를 가진다. 공급 컨베이어(4420)와 배출 컨베이어(4430)는 대체로 유사한 구조를 가진다. 배출 컨베이어(4430)는 전방 컨베이어(4422), 매개 컨베이어(4424), 그리고 후방 컨베이어(4426)를 가진다. 전방 컨베이어(4422), 매개 컨베이어(4424), 그리고 후방 컨베이어(4426)들은 서로 정렬되도록 배치된다. 전방 컨베이어(4422)와 매개 컨베이어(4424) 사이에, 그리고 매개 컨베이어(4424)와 후방 컨베이어(4426) 사이에는 간격(4428)이 형성된다. 간격(4428)은 배출 리프트 부재(4530)가 제 3 방향(16)을 따라 이동되는 이동 통로로 제공될 수 있다.

도 40은 테스트 핸들러 모듈의 또 다른 예를 보여준다.

도 40을 참조하면, 테스트 핸들러 모듈(5300)은 컨베이어 유닛(5400), 반송 유닛(5500), 그리고 복수의 핸들러 유닛(5600)을 가진다. 핸들러 유닛(5600)은 도 14의 핸들러 유닛(1600)과 대체로 유사한 구조를 가질 수 있다. 반송 유닛(5500)은 스토퍼 부재(5510)와 반송 로봇(5540)을 가진다. 스토퍼 부재(5510)는 도 14의 스토퍼 부재(1510)와 유사한 구조를 가질 수 있다.

컨베이어 유닛(5400)은 공급 컨베이어(5420)와 배출 컨베이어(5430)를 가진다. 공급 컨베이어(5420)와 배출 컨베이어(5430)는 도 14의 공급 컨베이어(1420) 및 배출 컨베이어(1430)와 대체로 유사한 구조 및 배치를 가질 수 있다. 다만, 공급 컨베이어(5420) 및 배출 컨베이어(5430)는 도 14의 굴곡부(1422)를 포함하지 않는다.

반송 로봇(5540)은 연배열 인쇄 회로 기판(110)을 진공에 의해 지지한다. 반송 로봇(5540)은 수직 베이스(5541), 수직 지지대(5542), 수직 구동기(5543), 수평 베이스(5544), 수평 지지대(5545), 수평 구동기(5546), 홀더 부재(5550), 그리고 도어 오프너(5580)를 가진다. 수직 베이스(5541), 수직 지지대(5542), 수직 구동기(5543), 수평 베이스(5544), 수평 지지대(5545), 수평 구동기(5545), 그리고 도어 오프너(5580)는 대체로 도 14의 수직 베이스(1541), 수직 지지대(1542), 수직 구동기(1543), 수평 베이스(1544), 수평 지지대(1545), 수평 구동기(1545), 그리고 도어 오프너(1580)과 유사한 구조 및 배치를 가질 수 있다. 홀더 부재(5550)는 로드 암(5552)과 언로드 암(5554)을 가진다. 로드 암(5552)은 언로드 암(5554)과 대체로 유사한 구조로 제공된다. 언로드 암(5554)은 픽업 헤드(5561), 헤드 구동기(5562), 그리고 진공 패드(5563)를 가진다. 픽업 헤드(5561)와 헤드 구동기(5562)는 대체로 도 14의 픽업 헤드(1561) 및 지지대 구동기(1566)와 유사한 구조를 가질 수 있다. 헤드 구동기(5562)는 픽업 헤드(1561)에 결합되어 픽업 헤드(1561)를 제 3 방향(16)으로 이동시킨다.

진공 패드(5565)는 픽업 헤드(5561)의 접촉 부재(5563)에 고정 설치된다. 로드 암(5552)은 진공 패드(5563)에 진공을 인가하여 공급 컨베이어(5420)으로부터 연배열 인쇄 회로 기판(110)을 직접 들어올린다. 언로드 암(5554)은 진공 패드(5563)에 진공을 제거하여 배출 컨베이어(5430) 부재로 연배열 인쇄 회로 기판(110)을 직접 내려놓는다.

도 41은 언로더 모듈의 일 예를 보여주는 도면이다.

도 41을 참조하면, 언로더 모듈(1800)은 마킹 유닛(1820), 출력 컨베이어(1840)를 가진다. 마킹 유닛(1820) 및 출력 컨베이어(1840)는 제 1 방향(12)을 따라 배치된다.

마킹 유닛(1820)은 테스트 핸들러 모듈(1300)과 출력 컨베이어(1840) 사이에 위치된다. 마킹 유닛(1820)은 테스트 핸들러 모듈(1300)에서의 검사 결과에 따라 연배열 인쇄 회로 기판(110)에 양품 또는 불량품에 해당하는 검사 마크를 형성할 수 있다. 마킹 유닛(1820)은 언로드 컨베이어(1822) 및 마킹 부재(1824)를 가진다.

언로드 컨베이어(1822)는 테스트 핸들러 모듈(1300)의 배출 컨베이어(1430)와 정렬되게 배치된다. 언로드 컨베이어(1822)는 배출 컨베이어(1430)로부터 직접 연배열 인쇄 회로 기판(110)을 인수받는다. 마킹 부재(1824)는 언로드 컨베이어(1822)의 상부에 배치되고, 연배열 인쇄 회로 기판(110)에 검사 마크를 형성한다. 마킹 부재(1824)는 마커(1824a)와 구동기(1824b)를 가진다. 마커(1824a)는 연배열 인쇄 회로 기판(110) 상에 마크를 인쇄한다. 구동기(1824b)는 마커(1824a)를 제 3 방향을 따라 이동시킨다. 구동기(1824b)는 실린더를 포함할 수 있다.

마킹 유닛(1820)과 테스트 핸들러 모듈(1300) 사이에는 리더기(1860)가 배치될 수 있다. 리더기(1860)는 언로드 컨베이어(1824)를 통해 배출되는 연배열 인쇄 회로 기판(110)에 대한 정보 데이터를 획득하고, 이를 제어기(800)로 전송한다. 마킹 부재(1824)는 제어기(800)와 전기적으로 연결되고, 제어기(800)로부터 해당 연배열 인쇄 회로 기판(110)에 대한 양품 여부에 대한 정보를 전송받는다.

출력 컨베이어(1840)는 언로드 컨베이어(1822)와 정렬되게 배치된다. 출력 컨베이어(1840)는 언로드 컨베이어(1822)로부터 연배열 인쇄 회로 기판(110)을 전송받고, 이를 제 2 장치(600)로 직접 전달한다.

상술한 예와 달리 언로더 모듈(1800에서 출력 컨베이어(1840)와 언로드 컨베이어는 일체로 된 하나의 컨베이어로 제공될 수 있다.

도 42는 언로더 모듈의 다른 예를 보여주는 도면이다.

도 42를 참조하면, 언로더 모듈(2800)은 마킹 유닛(2820), 출력 유닛(2840), 그리고 보관 매거진 유닛(2850)을 가진다. 마킹 유닛(2820)과 출력 유닛(2840)은 제 1 방향을 따라 순차적으로 제공된다. 마킹 유닛(2820)은 대체로 도 40의 마킹 유닛(1820)과 유사한 구조를 가질 수 있다. 출력 유닛(2840)은 거치대(2841), 승강 부재(2844), 출력 컨베이어(2846), 그리고 그립퍼 부재(2826)를 가진다. 거치대(2841), 승강 부재(2844), 출력 컨베이어(2846), 그리고 그립퍼 부재(2826)는 도 4의 반입 거치대(1221), 반입 승강 부재(1224), 반입 컨베이어(1225), 그리고 그립퍼 부재(1226)와 유사한 구조 및 배치를 가질 수 있다.

상부에서 바라볼 때 출력 컨베이어(2846)는 언로드 컨베이어(2824)와 정렬되게 배치된다. 보관 매거진 유닛(2850)은 도 4의 보관 매거진 유닛(1250)과 유사한 구조를 가질 수 있다. 보관 매거진 유닛(2850)은 출력 유닛(2840)과 인접하게 배치된다. 보관 매거진 유닛(2850)은 언로드 컨베이어(2824)의 상부에 제공될 수 있다. 그립퍼 부재(2826)는 테스트 핸들러 모듈(1300)에서 불량으로 판정된 연배열 인쇄 회로 기판(110)을 보관 매거진(2853)에 적재한다.

상술한 예들에서 언로더 모듈에는 마킹 유닛이 제공된 것으로 설명하였다. 그러나 이와 달리 마킹 유닛은 언로더 모듈에 제공되지 않을 수 있다. 선택적으로 마킹 유닛은 제 2 장치(600)에 제공될 수 있다.

도 43은 기판 제조 설비의 다른 예를 보여주는 도면이고, 도 44는 도 43의 로더 모듈의 일 예를 보여주는 도면이고, 도 45는 도 43의 언로더 모듈의 일 예를 보여주는 도면이다.

도 43을 참조하면, 기판 제조 설비(70)는 검사 장치(7401)를 가진다. 검사 장치(7401)는 로더 모듈(7200), 테스트 핸들러 모듈(7400), 그리고 언로더 모듈(7800)을 가진다. 테스트 핸들러 모듈(7400)은 대체로 도 14의 테스트 핸들러 모듈(1300)과 유사한 구조를 가질 수 있다.

도 44를 참조하면, 로더 모듈(7200)은 입력 매거진 유닛(7210), 반입 유닛(7220), 전기 검사 유닛(7230), 반출 유닛(7240), 그리고 보관 매거진 유닛(7250)을 가진다. 전기 검사 유닛(7230), 반출 유닛(7240), 그리고 보관 매거진 유닛(7250)은 대체로 도 4의 전기 검사 유닛(1230), 반출 유닛(1240), 그리고 보관 매거진 유닛(1250)과 유사한 구조 및 배치를 가질 수 있다.

입력 매거진 유닛(7210)은 검사 장치(7401)에서 검사를 수행하고자 하는 연배열 인쇄 회로 기판(110)을 보관한다. 입력 매거진 유닛(7210)은 베이스(7251), 지지 블럭(7252), 입력 매거진(7253), 그리고 구동기(7254)를 가진다. 베이스(7251), 지지 블럭(7252), 입력 매거진(7253), 그리고 구동기(7254)는 대체로 도 9의 보관 매거진 유닛(1250)의 베이스(1251), 지지 블럭(1252), 보관 매거진(1253), 그리고 구동기(1254)과 유사한 구조를 가진다. 입력 매거진 유닛(7210)은 보관 매거진 유닛(7250)과 상하 방향으로 적층되게 제공될 수 있다.

반입 유닛(7220)은 반입 거치대(7221), 반입 승강 부재(7224), 그리고 그립퍼 부재(7226)를 가진다. 반입 거치대(7221), 반입 승강 부재(7224), 그리고 그립퍼 부재(7226)는 대체로 도 10의 반입 거치대(1221)의 측 플레이트(1223), 반입 승강 부재(1224), 그리고 그립퍼 부재(1226)와 유사한 구조 및 배치를 가질 수 있다. 그립퍼 부재(7226)는 입력 매거진(7253)과 보관 매거진(7253) 각각에 대해 연배열 인쇄 회로 기판(110)을 넣거나 꺼낼 수 있도록 제공된다.

도 45를 참조하면, 언로더 모듈(7800)은 출력 매거진 유닛(7810), 마킹 유닛(7820), 출력 유닛(7840), 그리고 보관 매거진 유닛(7850)을 가진다. 마킹 유닛(7820), 출력 유닛(7840), 그리고 보관 매거진 유닛(7850)은 대체로 도 42의 마킹 유닛(2820), 출력 유닛(2840), 그리고 보관 매거진 유닛(2850)과 유사한 구조 및 배치를 가질 수 있다.

출력 매거진 유닛(7810)은 테스트 핸들러 모듈(7400)에서 양품으로 판정된 연배열 인쇄 회로 기판(110)을 보관한다. 출력 매거진 유닛(7810)은 베이스(7851), 지지 블럭(7852), 출력 매거진(7853), 그리고 구동기(7854)를 가진다. 베이스(7851), 지지 블럭(7852), 출력 매거진(7853), 그리고 구동기(7854)는 대체로 도 43의 입력 매거진 유닛(7210)의 베이스(7251), 지지 블럭(7252), 입력 매거진(7253), 그리고 구동기(7254)와 유사한 구조 및 배치를 가질 수 있다. 출력 매거진 유닛(7810)은 보관 매거진 유닛(7250)과 상하 방향으로 적층되게 제공될 수 있다.

출력 유닛(7840)은 출력 매거진 유닛(7810)의 출력 매거진(7853)과 보관 매거진 유닛(7850)의 보관 매거진 각각에 대해 연배열 인쇄 회로 기판(110)을 넣거나 꺼낼 수 있도록 제공된다.

도 46은 기판 제조 설비의 또 다른 예를 보여주는 도면이고, 도 47은 도 46의 로더 모듈의 일 예를 보여주는 도면이고, 도 48은 도 46의 언로더 모듈의 일 예를 보여주는 도면이다.

도 46을 참조하면, 기판 제조 설비(80)는 제 1 장치(8200), 검사 장치(8400), 그리고 제 2 장치(8600)를 가진다. 제 1 장치(8200)와 제 2 장치(8600)는 대체로 도 3의 제 1 장치(200) 및 제 2 장치(600)와 유사한 구조를 가진다. 검사 장치(8400)는 로더 모듈(9200), 테스트 핸들러 모듈(9300), 그리고 언로더 모듈(9800)을 가진다. 테스트 핸들러 모듈(9300)은 대체로 도 14의 테스트 핸들러 모듈(1300)과 유사한 구조를 가질 수 있다.

도 47을 참조하면, 로더 모듈(9200)은 입력 컨베이어(9210), 반입 유닛(9220), 전기 검사 유닛(9230), 반출 유닛(9240), 보관 매거진 유닛(9250), 그리고 입력 매거진 유닛(9260)을 가진다. 입력 컨베이어(9210), 반입 유닛(9220), 전기 검사 유닛(9230), 반출 유닛(9240), 그리고 보관 매거진 유닛(9250)은 도 4의 입력 컨베이어(1210), 반입 유닛(1220), 전기 검사 유닛(1230), 반출 유닛(1240), 그리고 보관 매거진 유닛(1250)과 대체로 유사한 구조 및 배치를 가질 수 있다.

입력 매거진 유닛(9260)은 검사 공정이 수행되기 전의 연배열 인쇄 회로 기판(110)을 보관한다. 따라서 연배열 인쇄 회로 기판(110)은 제 1 장치(8200)로부터 입력 컨베이어(9210)를 통해 검사 장치(8400) 내로 공급되거나, 또는 입력 매거진 유닛(9260)에 의해 검사 장치(8400) 내로 공급될 수 있다. 입력 매거진 유닛(9260)은 도 43의 입력 매거진 유닛(7210)과 유사한 구조로 제공될 수 있다.

도 48을 참조하면, 언로더 모듈(9800)은 마킹 유닛(9820), 출력 유닛(9840), 보관 매거진 유닛(9850), 그리고 출력 매거진 유닛(9860)을 가진다. 마킹 유닛(9820) 및 보관 매거진 유닛(9850)은 대체로 도 42의 마킹 유닛(2820) 및 보관 매거진 유닛(2850)과 유사한 구조 및 배치로 제공될 수 있다. 출력 유닛(9840)은 도 4의 반입 유닛(1220)과 대체로 유사한 구조로 제공될 수 있다. 출력 매거진 유닛(9860)은 도 45의 출력 매거진 유닛(7810)과 대체로 유사한 구조로 제공될 수 있다. 보관 매거진 유닛(9850)과 출력 매거진 유닛(9860)은 상하 방향으로 적층되게 제공될 수 있다. 테스트 핸들러 유닛(9300)에서 검사 공정이 완료된 양품의 연배열 인쇄 회로 기판(110)은 출력 컨베이어(9846)를 통해 제 2 장치(8600)로 배출되거나, 그립퍼 부재(9842)에 의해 출력 매거진(9853)에 보관될 수 있다.

상술한 예에서 기판 제조 설비(10)는 로더 모듈에 전기 검사 유닛(1230)를 가지는 것으로 설명하였다. 그러나 테스트 핸들러 모듈(1300)과 독립적으로 전기 검사 유닛(1230)가 제공되지 않고, 테스트 핸들러 모듈(1300)에서 접촉 검사를 같이 수행할 수 있다. 또한, 선택적으로 기판 제조 설비(10)에서 접촉 검사는 이루어지지 않을 수 있다. 이 경우, 로더 모듈에는 보관 매거진, 전기 검사 유닛(1230), 반입 유닛(1220), 그리고 반출 유닛(1240)은 제공되지 않고, 입력 컨베이어(1210)에서 기판(110) 검사 유닛으로 직접 연배열 인쇄 회로 기판(110)을 인계할 수 있다.

상술한 예에서는 컨베이어 유닛이 공급 컨베이어와 배출 컨베이어를 가지는 것으로 설명하였다. 그러나 이와 달리 핸들러 컨베이어 부재는 공급 컨베이어를 가지고, 공급 컨베이어는 반출 컨베이어 및 언로드 컨베이어와 정렬되게 제공될 수 있다.

상술한 예에서 기판은 연배열 인쇄 회로 기판으로 설명하였다. 그러나 이에 한정되지 않고, 기판은 단위 기판일 수 있다. 또한, 상술한 예에서 단위 기판은 솔리드 스테이트 드라이브인 것으로 설명하였다. 그러나 이에 한정되지 않고, 단위 기판은 휘발성 메모리 소자들이 탑재된 메모리 모듈, 그래픽 카드, 오디오 카드, 랜 카드, 또는 모바일 기기 등의 메인 보드 등일 수 있다.

110 : 연배열 인쇄 회로 기판 200 : 제 1 장치
400 : 검사 장치 1200 : 로더 모듈
1210 : 입력 컨베이어 1220 : 반입 유닛
1230 : 전기 검사 유닛 1240 : 반출 유닛
1250 : 보관 매거진 유닛 1300 : 테스트 핸들러 모듈
1500 : 반송 유닛 1510 : 스토퍼 부재
1520 : 공급 리프트 부재 1530 : 배출 리프트 부재
1600 : 핸들러 유닛 1610 : 하우징
1620 : 검사 챔버 1540 : 반송 로봇
1800 : 언로더 모듈 1820 : 마킹 유닛
1840 : 출력 컨베이어

Claims (20)

1. 기판을 제조하는 설비에 있어서,
   제 1 장치;
   제 2 장치; 및
   기판에 대해 검사 공정을 수행하는 테스트 핸들러 모듈을 가지는 검사 장치를 포함하되, 상기 제 1 장치, 상기 검사 장치, 그리고 상기 제 2 장치는 순차적으로 인 라인으로 배치되며,
   상기 제 1 장치는,
   상기 기판의 복수의 단위 기판들 상에 각각 소자(device)를 장착하는 마운트 모듈과;
   상기 소자가 장착된 기판에 대해 리플로우 공정을 수행하는 리플로우 모듈을 포함하고,
   상기 테스트 핸들러 모듈은,
   상기 기판을 반송하는 컨베이어 유닛과;
   상기 기판의 복수의 단위 기판들에 대해 상기 검사 공정을 수행하는 핸들러 유닛과;
   상기 컨베이어 유닛과 상기 핸들러 유닛 간에 상기 기판을 반송하는 반송 유닛을 포함하되,
   상기 컨베이어 유닛은,
   공급 컨베이어와;
   상기 공급 컨베이어로부터 이격된 배출 컨베이어를 가지되,
   상기 제 2 장치는 상기 기판에서 상기 복수의 단위 기판들을 각각 분리하는 절단 모듈을 포함하는 기판 제조 설비.
2. 제 1 항에 있어서,
   상기 공급 컨베이어는 그 길이 방향이 제 1 방향과 평행하게 제공되고,
   상기 배출 컨베이어는 상부에서 바라볼 때 상기 제 1 방향에 대해 수직한 제 2 방향을 따라 상기 공급 컨베이어로부터 이격되게 제공되고, 그 길이 방향이 상기 제 1 방향과 평행하게 제공되는 기판 제조 설비.
3. 제 2 항에 있어서,
   상기 검사 장치는,
   반출 컨베이어를 가지는 로더 모듈과;
   언로드 컨베이어를 가지는 언로더 모듈을 더 포함하되,
   상기 로더 모듈, 상기 테스트 핸들러 모듈, 그리고 상기 언로더 모듈은 순차적으로 상기 제 1 방향을 따라 배치되며,
   상기 공급 컨베이어는 상기 반출 컨베이어로부터 직접 기판을 인수받도록 제공되고,
   상기 배출 컨베이어는 상기 언로드 컨베이어로 직접 기판을 인계하도록 제공되는 기판 제조 설비.
4. 제 3 항에 있어서,
   상기 공급 컨베이어는 상기 배출 컨베이어보다 상기 로더 모듈에 더 인접하게 제공되고,
   상기 배출 컨베이어는 상기 공급 컨베이어보다 상기 언로더 모듈에 더 인접하게 제공되는 기판 제조 설비.
5. 제 2 항에 있어서,
   상기 공급 컨베이어는 아래 방향으로 오목하게 제공된 굴곡부를 가지고,
   상기 반송 유닛은 상기 공급 컨베이어의 상기 굴곡부에 마주보게 제공되는 공급 리프트 부재 및 반송 로봇을 가지고,
   상기 반송 로봇은 상기 공급 리프트 부재로부터 기판을 인계받는 로드 암을 가지고,
   상기 공급 리프트 부재는 상기 공급 컨베이어의 굴곡부를 통해 상기 기판을 상기 공급 컨베이어로부터 들어올릴 수 있도록 제공되는 기판 제조 설비.
6. 제 2 항에 있어서,
   상기 반송 유닛은,
   고정 판과;
   상기 고정 판에 지지되는 로드 암과; 그리고
   상기 고정 판에 지지되는 언로드 암을 구비하되,
   상기 로드 암과 상기 언로드 암은 상기 제 2 방향을 따라 서로 이격되게 제공되는 기판 제조 설비.
7. 제 2 항에 있어서,
   상기 반송 유닛은 픽업 헤드를 가진 반송 로봇을 구비하되,
   상기 픽업 헤드는,
   플레이트와;
   상기 플레이트의 저면으로부터 아래로 돌출되고 기판과 접촉되는 접촉 부재를 포함하고,
   상기 접촉 부재는,
   상기 플레이트의 전방 가장자리 영역에 제공되는 전면 접촉부와;
   상기 플레이트의 양 측방 가장자리 영역에 각각 제공되는 측면 접촉부를 포함하고,
   상기 전면 접촉부와 상기 측면 접촉부에 의해 상기 플레이트의 아래에는 후방 및 하방이 개방된 삽입 공간이 형성되는 기판 제조 설비.
8. 제 1 항에 있어서,
   상기 핸들러 유닛은,
   내부 공간을 가지는 하우징과;
   상기 내부 공간에 위치되며 검사 공정이 수행되는 검사 챔버와;
   상기 검사 챔버의 소켓과 결합되는 테스트기를 포함하되,
   상기 하우징의 내부 공간에는 상기 검사 챔버를 둘러싸는 순환 공간이 제공되고,
   상기 검사 챔버의 측면에는 상기 순환 공간과 통하는 개구가 형성되며,
   상기 핸들러 유닛은 상기 순환 공간 내 기체의 온도를 조절하는 온도 조절 챔버를 더 포함하는 기판 제조 설비.
9. 제 1 항에 있어서,
   상기 핸들러 유닛은 검사 공정이 수행되는 검사 챔버를 포함하되,
   상기 검사 챔버는,
   내부 공간을 가지는 몸체와;
   상기 내부 공간을 개폐하는 도어와;
   기판과 전기적으로 접속 가능한 패드를 가지는 소켓과; 그리고
   검사 공정 진행시 상기 몸체 내에서 기판을 지지하는 지지대를 포함하되,
   상기 지지대는 상기 도어에 고정 결합되고,
   상기 도어는 상기 몸체로부터 슬라이드 이동 가능하게 제공되는 기판 제조 설비.
10. 제 9 항에 있어서,
    상기 반송 유닛은,
    기판을 검사 챔버로 반송하는 반송 로봇과;
    상기 내부 공간을 개폐하도록 상기 도어를 이동시키는 도어 오프너를 포함하되,
    상기 도어 오프너는 상기 반송 로봇에 설치되는 기판 제조 설비.
11. 제 10 항에 있어서,
    상기 도어에는 관통 홀이 형성된 고리가 제공되고,
    상기 도어 오프너는,
    상기 고리의 관통 홀에 삽입 가능하게 제공되는 걸쇠와;
    상기 고리에 상기 걸쇠가 끼워지도록 하는 걸림 위치와 상기 고리로부터 상기 걸쇠가 분리되도록 하는 해제 위치 간에 상기 걸쇠를 이동시키는 걸쇠 구동기를 가지는 기판 제조 설비.
12. 제 2 항에 있어서,
    상기 제 1 방향을 따라 복수의 세트의 상기 핸들러 유닛이 제공되고,
    각각의 상기 세트의 핸들러 유닛에는 상기 제 2 방향을 따라 상기 핸들러 유닛이 복수 개 제공되고,
    각각의 상기 세트의 상기 핸들러 유닛의 전방에는 각각 상기 반송 유닛이 배치되는 기판 제조 설비.
13. 제 3 항에 있어서,
    상기 로더 모듈은,
    기판에 대해 조립 공정의 불량 여부를 검사하는 전기 검사 유닛과;
    상기 전기 검사 유닛으로 기판을 반입하는 반입 유닛과;
    상기 전기 검사 유닛으로부터 기판을 반출하는 반출 유닛을 포함하는 기판 제조 설비.
14. 삭제
15. 검사 단자 및 복수의 단위 기판들이 형성된 기판의 상기 복수의 단위 기판들 상에 각각 소자를 장착하는 단계와;
    상기 기판을 공급 컨베이어를 따라 이동시키는 단계와;
    상기 공급 컨베이어에서 기판을 들어올려 상기 검사 단자가 검사 챔버의 소켓에 삽입되도록 상기 기판을 상기 검사 챔버 내에 위치시키는 단계와;
    상기 검사 챔버에서 상기 기판에 대해 검사 공정을 수행하는 단계와;
    상기 검사 챔버에서 검사가 완료된 기판을 배출 컨베이어로 내려놓는 단계와;
    상기 기판을 상기 복수의 단위 기판들로 각각 분리하는 단계를 포함하는 기판 제조 방법.
16. 제 15 항에 있어서,
    상기 공급 컨베이어와 상기 배출 컨베이어는 각각 그 길이 방향이 제 1 방향과 평행하게 제공되고,
    상기 공급 컨베이어와 상기 배출 컨베이어는 상부에서 바라볼 때 상기 제 1방향에 수직한 제 2 방향으로 서로 이격되게 배치되는 기판 제조 방법.
17. 제 16 항에 있어서,
    상기 기판은,
    공급 리프트 부재에 의해 상기 공급 컨베이어로부터 들어 올려져 반송 로봇의 로드 암으로 인계되고, 상기 로드 암에 의해 상기 검사 챔버 내로 반송되며,
    상기 반송 로봇의 언로드 암에 의해 상기 검사 챔버에서 배출 리프트 부재로 인계되고, 상기 배출 리프트 부재에 의해 상기 배출 컨베이어에 놓여지는 기판 제조 방법.
18. 제 15 항에 있어서,
    상기 기판은 반송 로봇의 로드 암에 의해 상기 검사 챔버로 반송되되,
    상기 로드 암은, 하부에 후방 및 하방이 개방된 삽입 공간을 가지는 픽업 헤드를 가지고,
    상기 기판의 가장자리 영역들 중 일부는 상기 삽입 공간을 정의하도록 상기 삽입 공간을 둘러싸는 접촉 부재의 저면에 접촉되고, 상기 기판에 장착된 소자는 상기 삽입 공간 내에 위치된 상태로 상기 로드 암은 상기 기판을 지지하는 기판 제조 방법.
19. 제 18 항에 있어서,
    상기 기판은 복수 개 제공되며,
    상기 기판들은 모두 가로 변의 길이가 동일하고,
    상기 기판들 중 일부는 세로 변의 길이가 서로 상이한 기판 제조 방법.
20. 제 15 항에 있어서,
    상기 기판은 연배열 인쇄 회로 기판이고,
    상기 연배열 인쇄 회로 기판의 전방 가장자리 영역에는 상기 검사 단자가 형성되고,
    상기 각각의 상기 복수의 단위 기판들은 상기 연배열 인쇄 회로 기판에 형성된 배선을 통해 상기 검사 단자와 전기적으로 연결되는 기판 제조 방법.

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