JP3080845B2 - 検査装置及びその方法 - Google Patents
検査装置及びその方法Info
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- JP3080845B2 JP3080845B2 JP21531494A JP21531494A JP3080845B2 JP 3080845 B2 JP3080845 B2 JP 3080845B2 JP 21531494 A JP21531494 A JP 21531494A JP 21531494 A JP21531494 A JP 21531494A JP 3080845 B2 JP3080845 B2 JP 3080845B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、例えばパッケージング
されたデバイスを検査する検査装置及びその方法に関す
る。
されたデバイスを検査する検査装置及びその方法に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】パッケージングされたデバイスは、電気
的特性について試験されるが、この種の検査装置として
は、リード端子のピッチが比較的広い場合にはソケット
部を用いて、またリード端子のピッチが比較的狭い場合
にはプローブカードのプローブ針を用いてリード端子と
テストヘッドとの電気的接触を図っている。ここでソケ
ット方式の検査装置の従来例について図１２を参照しな
がら説明する。１Ａ〜１Ｄはトレー載置部であり、各ト
レー載置部１Ａ〜１Ｄには複数のトレーＴ（図では便宜
上１枚のトレーを記載している）が載置されている。ト
レー載置部１Ａ、１Ｂは、検査前のデバイスを載せたト
レーＴを置くためのものであり、トレー載置部１Ｃ、１
Ｄは検査後のデバイスを載せたトレーＴを置くためのも
のである。
的特性について試験されるが、この種の検査装置として
は、リード端子のピッチが比較的広い場合にはソケット
部を用いて、またリード端子のピッチが比較的狭い場合
にはプローブカードのプローブ針を用いてリード端子と
テストヘッドとの電気的接触を図っている。ここでソケ
ット方式の検査装置の従来例について図１２を参照しな
がら説明する。１Ａ〜１Ｄはトレー載置部であり、各ト
レー載置部１Ａ〜１Ｄには複数のトレーＴ（図では便宜
上１枚のトレーを記載している）が載置されている。ト
レー載置部１Ａ、１Ｂは、検査前のデバイスを載せたト
レーＴを置くためのものであり、トレー載置部１Ｃ、１
Ｄは検査後のデバイスを載せたトレーＴを置くためのも
のである。
【０００３】ローダ１１は、トレー載置部１Ａ、１Ｂの
トレーＴ上の４個のデバイス１０を同時に吸着保持して
予備加熱板１２に搬送し、ここでデバイス１０が予備加
熱された後、ローダ１１の搬送領域内に設けられた供給
用整列部１３に搬送する。搬送機構１４はＸ、Ｙ、Ｚ方
向にデバイス１０を搬送できるように構成され、供給整
列部１３上の検査前のデバイス１０を４個同時に吸着保
持してソケット部１５に搬送し、デバイス１０を１個ず
つソケット部１５に装着して、図示しないテストヘッド
により電気的特性の試験が行われる。その後搬送機構１
４は検査後のデバイス１０を、アンローダ１６の搬送領
域内に設けられた収納用整列部１７に搬送し、続いてア
ンローダ１６が収納用整列部１７内のデバイス１０を４
個同時に吸着保持し、トレー載置部１Ｃ、１Ｄのトレー
Ｔ上に検査結果に応じて分類搬送する。なお供給用整列
部１３はソケット部１５に対してデバイスの位置が正確
になるように位置決めするためのものであり、また収納
用整列部１７はトレーＴ内にデバイスが確実に収まるよ
うに位置決めするためのものである。
トレーＴ上の４個のデバイス１０を同時に吸着保持して
予備加熱板１２に搬送し、ここでデバイス１０が予備加
熱された後、ローダ１１の搬送領域内に設けられた供給
用整列部１３に搬送する。搬送機構１４はＸ、Ｙ、Ｚ方
向にデバイス１０を搬送できるように構成され、供給整
列部１３上の検査前のデバイス１０を４個同時に吸着保
持してソケット部１５に搬送し、デバイス１０を１個ず
つソケット部１５に装着して、図示しないテストヘッド
により電気的特性の試験が行われる。その後搬送機構１
４は検査後のデバイス１０を、アンローダ１６の搬送領
域内に設けられた収納用整列部１７に搬送し、続いてア
ンローダ１６が収納用整列部１７内のデバイス１０を４
個同時に吸着保持し、トレー載置部１Ｃ、１Ｄのトレー
Ｔ上に検査結果に応じて分類搬送する。なお供給用整列
部１３はソケット部１５に対してデバイスの位置が正確
になるように位置決めするためのものであり、また収納
用整列部１７はトレーＴ内にデバイスが確実に収まるよ
うに位置決めするためのものである。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところでスループット
を向上させるためにはインデックスタイム、即ち検査前
の被検査体が供給整列部１３に搬入された後ソケット部
１５にて検査が行われ、その後収納用整列部１７に搬送
されるまでの時間を短くすることが必要である。このた
め従来では搬送機構１４に複数例えば４個の吸着保持部
を持たせて複数のデバイス１０を同時に吸着し、これら
デバイス１０を順次に検査するようにしていた。
を向上させるためにはインデックスタイム、即ち検査前
の被検査体が供給整列部１３に搬入された後ソケット部
１５にて検査が行われ、その後収納用整列部１７に搬送
されるまでの時間を短くすることが必要である。このた
め従来では搬送機構１４に複数例えば４個の吸着保持部
を持たせて複数のデバイス１０を同時に吸着し、これら
デバイス１０を順次に検査するようにしていた。
【０００５】しかしながらこのような構造では、吸着保
持部がデバイス１０をソケット部１５に装着して検査が
行われているときには他の吸着保持部に保持されている
デバイス１０を次のデバイス１０と交換することができ
ず、全ての例えば４個のデバイス１０の検査を終了した
後搬送機構１４詳しくは吸着保持部を収納用整列部１７
及び供給用整列部１３に順次に移動させなければならな
いため、インデックスタイムをそれ程短くすることはで
きず、スループット向上の妨げになっていた。
持部がデバイス１０をソケット部１５に装着して検査が
行われているときには他の吸着保持部に保持されている
デバイス１０を次のデバイス１０と交換することができ
ず、全ての例えば４個のデバイス１０の検査を終了した
後搬送機構１４詳しくは吸着保持部を収納用整列部１７
及び供給用整列部１３に順次に移動させなければならな
いため、インデックスタイムをそれ程短くすることはで
きず、スループット向上の妨げになっていた。
【０００６】この場合仮に搬送機構１４として互に独立
に移動する搬送機構を設けようとしても、各搬送機構を
供給整列部１３、ソケット部１５及び収納用整列部１７
間で移動できるように構成しなければならず、一の搬送
機構の搬送領域と他の搬送機構のガイド部などの機構部
分とが位置的に干渉しないようにするためには搬送機構
が非常に大型化してしまう。
に移動する搬送機構を設けようとしても、各搬送機構を
供給整列部１３、ソケット部１５及び収納用整列部１７
間で移動できるように構成しなければならず、一の搬送
機構の搬送領域と他の搬送機構のガイド部などの機構部
分とが位置的に干渉しないようにするためには搬送機構
が非常に大型化してしまう。
【０００７】本発明は、このような事情のもとになされ
たものであり、その目的は、スループットを向上するこ
とのできる検査装置及びその方法を提供することにあ
る。
たものであり、その目的は、スループットを向上するこ
とのできる検査装置及びその方法を提供することにあ
る。
【０００８】
【課題を解決するための手段】請求項１の発明は、Ｘ方
向に移動自在に構成され、被検査体の位置決めを行うた
めの整列部と、前記整列部の移動領域の一端部にて当該
整列部に検査前の被検査体を受け渡すローダと、前記整
列部の移動領域の他端部にて当該整列部から検査後の被
検査体を受け取るアンローダと、前記整列部の移動領域
からＹ方向に離れた検査位置に設けられ、被検査体に電
気的に接触する接触部と、前記整列部内の被検査体を保
持して前記接触部に搬送すると共に検査後に被検査体を
接触部から整列部に搬送し、互いに独立してＸ，Ｙ、Ｚ
方向に搬送自在な第１の搬送機構および第２の搬送機構
と、を備え、前記整列部と第１の搬送機構及び第２の搬
送機構との間の被検査体の受け渡しは、整列部の移動領
域の一端部と他端部との間で行われることを特徴とす
る。
向に移動自在に構成され、被検査体の位置決めを行うた
めの整列部と、前記整列部の移動領域の一端部にて当該
整列部に検査前の被検査体を受け渡すローダと、前記整
列部の移動領域の他端部にて当該整列部から検査後の被
検査体を受け取るアンローダと、前記整列部の移動領域
からＹ方向に離れた検査位置に設けられ、被検査体に電
気的に接触する接触部と、前記整列部内の被検査体を保
持して前記接触部に搬送すると共に検査後に被検査体を
接触部から整列部に搬送し、互いに独立してＸ，Ｙ、Ｚ
方向に搬送自在な第１の搬送機構および第２の搬送機構
と、を備え、前記整列部と第１の搬送機構及び第２の搬
送機構との間の被検査体の受け渡しは、整列部の移動領
域の一端部と他端部との間で行われることを特徴とす
る。
【０００９】請求項２の発明は、請求項１記載の発明に
おいて、前記整列部はＸ方向に伸びる被検査体の列をｎ
（ｎは整数）列配列するように構成され、第１の搬送機
構および第２の搬送機構は整列部の各列間で互いに隣接
する被検査体を同時に保持するように構成されているこ
とを特徴とする。
おいて、前記整列部はＸ方向に伸びる被検査体の列をｎ
（ｎは整数）列配列するように構成され、第１の搬送機
構および第２の搬送機構は整列部の各列間で互いに隣接
する被検査体を同時に保持するように構成されているこ
とを特徴とする。
【００１０】請求項３の発明は、請求項１または請求項
２記載の発明において、第１の搬送機構および第２の搬
送機構は、被検査体を上面から吸着保持して搬送するも
のであることを特徴とする。
２記載の発明において、第１の搬送機構および第２の搬
送機構は、被検査体を上面から吸着保持して搬送するも
のであることを特徴とする。
【００１１】請求項４の発明は、請求項１、２または３
記載の発明において、整列部は検査前の被検査体を位置
決めするための供給用整列部と、検査後の被検査体を位
置決めするための収納用整列部とからなることを特徴と
する。
記載の発明において、整列部は検査前の被検査体を位置
決めするための供給用整列部と、検査後の被検査体を位
置決めするための収納用整列部とからなることを特徴と
する。
【００１２】請求項５の発明は、Ｘ方向に移動自在に構
成され、検査前の被検査体を位置決めするための供給用
整列部と検査後の被検査体を位置決めするための収納用
整列部とからなる整列部と、この整列部の移動領域から
Ｙ方向に離れている検査位置に設けられた接触部と整列
部との間で被検査体を搬送し、互いに独立してＸ，Ｙ，
Ｚ方向に移動自在な第１の搬送機構及び第２の搬送機構
とを具備し、（ａ）供給用整列部にローダから検査前の
被検査体を搬送する工程と、（ｂ）第１の搬送機構また
は第２の搬送機構の一方を、接触部に対する被検査体の
装着位置に位置させておくと共に、他方により検査後の
被検査体を収納用整列部に受け渡し更に検査前の被検査
体を供給用整列部から受け取る工程と、（ｃ）第１の搬
送機構または第２の搬送機構の他方を、接触部に対する
被検査体の装着位置に位置させておくと共に、一方によ
り検査後の被検査体を収納用整列部に受け渡し更に検査
前の被検査体を供給用整列部から受け取る工程と、
（ｄ）収納用整列部の検査後の被検査体をアンローダに
より搬出する工程と、を順次繰り返すことを特徴とする
検査方法。
成され、検査前の被検査体を位置決めするための供給用
整列部と検査後の被検査体を位置決めするための収納用
整列部とからなる整列部と、この整列部の移動領域から
Ｙ方向に離れている検査位置に設けられた接触部と整列
部との間で被検査体を搬送し、互いに独立してＸ，Ｙ，
Ｚ方向に移動自在な第１の搬送機構及び第２の搬送機構
とを具備し、（ａ）供給用整列部にローダから検査前の
被検査体を搬送する工程と、（ｂ）第１の搬送機構また
は第２の搬送機構の一方を、接触部に対する被検査体の
装着位置に位置させておくと共に、他方により検査後の
被検査体を収納用整列部に受け渡し更に検査前の被検査
体を供給用整列部から受け取る工程と、（ｃ）第１の搬
送機構または第２の搬送機構の他方を、接触部に対する
被検査体の装着位置に位置させておくと共に、一方によ
り検査後の被検査体を収納用整列部に受け渡し更に検査
前の被検査体を供給用整列部から受け取る工程と、
（ｄ）収納用整列部の検査後の被検査体をアンローダに
より搬出する工程と、を順次繰り返すことを特徴とする
検査方法。
【００１３】
【作用】整列部をＸ方向に沿った移動領域の一端部に位
置させておき、ローダから整列部に検査前の被検査体を
受け渡す。このとき例えば第１の搬送機構が被検査体を
接触部に装着させると共に第２の搬送機構は例えば検査
前の被検査体を保持して検査位置近傍に位置している。
次いで整列部がＸ方向に移動して移動路の両端部の間に
位置すると共に第１の搬送機構が検査後の被検査体を整
列部に受け渡し、続いて検査前の被検査体を受け取る。
この間第２の搬送機構は被検査体を接触部に装着させて
いる。
置させておき、ローダから整列部に検査前の被検査体を
受け渡す。このとき例えば第１の搬送機構が被検査体を
接触部に装着させると共に第２の搬送機構は例えば検査
前の被検査体を保持して検査位置近傍に位置している。
次いで整列部がＸ方向に移動して移動路の両端部の間に
位置すると共に第１の搬送機構が検査後の被検査体を整
列部に受け渡し、続いて検査前の被検査体を受け取る。
この間第２の搬送機構は被検査体を接触部に装着させて
いる。
【００１４】その後第２の搬送機構が検査後の被検査体
を整列部に受け渡し、続いて検査前の被検査体を受け取
り、更に整列部が他端部側に移動して検査後の被検査体
がアンローダにより搬出される。このように第１、第２
の搬送機構の一方が被検査体を検査位置に装着している
間に他方の被検査体の交換を行うことができるのでイン
デックスタイムを短かくでき、また整列部が移動自在に
構成されているので第１、第２の搬送機構を大型化しな
くて済む。
を整列部に受け渡し、続いて検査前の被検査体を受け取
り、更に整列部が他端部側に移動して検査後の被検査体
がアンローダにより搬出される。このように第１、第２
の搬送機構の一方が被検査体を検査位置に装着している
間に他方の被検査体の交換を行うことができるのでイン
デックスタイムを短かくでき、また整列部が移動自在に
構成されているので第１、第２の搬送機構を大型化しな
くて済む。
【００１５】
【実施例】以下に本発明を、半導体集積回路チップをパ
ッケージングしてあるデバイスの検査装置に適用した一
例について述べる。この実施例の特徴は、整列部の構
成、及び整列部とソケット部との間でデバイスを搬送す
る搬送機構の構成にあるが、先ず、検査装置の全体の概
要について図１及び図２を参照しながら簡単に説明す
る。
ッケージングしてあるデバイスの検査装置に適用した一
例について述べる。この実施例の特徴は、整列部の構
成、及び整列部とソケット部との間でデバイスを搬送す
る搬送機構の構成にあるが、先ず、検査装置の全体の概
要について図１及び図２を参照しながら簡単に説明す
る。
【００１６】装置の正面側（図１では裏側）には４個の
トレー載置部２Ａ〜２ＤがＸ方向に沿って配置されてい
る。ただし実際には各トレー載置部２Ａ〜２Ｄには複数
のトレーが載置されている。
トレー載置部２Ａ〜２ＤがＸ方向に沿って配置されてい
る。ただし実際には各トレー載置部２Ａ〜２Ｄには複数
のトレーが載置されている。
【００１７】前記トレー載置部２Ａ、２Ｂの奥側にはこ
れらに対向して予備加熱板２１が設けられ、予備加熱板
２１の横には、供給用整列部３及び収納用整列部４が一
体的にＸレール５１にガイドされつつ例えばボールネジ
５２及びパルスモータＭなどの駆動機構により移動され
るようになっている。なおトレーＴ及び予備加熱板２１
には夫々デバイス１０を収納する凹部Ｔａ、２１ａが形
成されており、前記整列部３、４は、凹部５３を備えて
いて、この中にデバイス１０が入れられると自動的に水
平姿勢で所定の向きにアライメント（位置合わせ）され
た状態に置かれることになる。
れらに対向して予備加熱板２１が設けられ、予備加熱板
２１の横には、供給用整列部３及び収納用整列部４が一
体的にＸレール５１にガイドされつつ例えばボールネジ
５２及びパルスモータＭなどの駆動機構により移動され
るようになっている。なおトレーＴ及び予備加熱板２１
には夫々デバイス１０を収納する凹部Ｔａ、２１ａが形
成されており、前記整列部３、４は、凹部５３を備えて
いて、この中にデバイス１０が入れられると自動的に水
平姿勢で所定の向きにアライメント（位置合わせ）され
た状態に置かれることになる。
【００１８】トレー載置部２Ａ、２Ｂと予備加熱板２１
とを含む領域の上方には、４個の吸着保持部６０により
各々デバイス１０の上面を同時に吸着保持できるように
構成されたローダ６１が配設されている。このローダ６
１は、ローダ本体がベルト機構あるいはボールネジ機構
などの駆動機構によりＸ、Ｙ方向に移動できるように構
成されると共に、吸着保持部６０がＺ方向に移動してデ
バイス１０をトレー載置部２Ａ、２Ｂ、予備加熱板２
１、及びそのＸ方向の移動領域の一端部に位置する供給
用整列部３の間で搬送するものである。
とを含む領域の上方には、４個の吸着保持部６０により
各々デバイス１０の上面を同時に吸着保持できるように
構成されたローダ６１が配設されている。このローダ６
１は、ローダ本体がベルト機構あるいはボールネジ機構
などの駆動機構によりＸ、Ｙ方向に移動できるように構
成されると共に、吸着保持部６０がＺ方向に移動してデ
バイス１０をトレー載置部２Ａ、２Ｂ、予備加熱板２
１、及びそのＸ方向の移動領域の一端部に位置する供給
用整列部３の間で搬送するものである。
【００１９】前記整列部３、４のＸ方向の移動領域から
トレー載置部２Ａ〜２Ｄとは反対側のＹ方向に離れた検
査位置に接触部例えばソケット部２２がリング状の保持
体２３に保持されて設けられている。このソケット部２
２は図３に示すようにデバイス１０のリード端子Ｒの配
列に対応して配列された電極２４を備えており、この電
極２４を通じてリード端子Ｒをソケット部２２の下方の
図示しないテストヘッドに電気的に接続する役割を持つ
ものである。
トレー載置部２Ａ〜２Ｄとは反対側のＹ方向に離れた検
査位置に接触部例えばソケット部２２がリング状の保持
体２３に保持されて設けられている。このソケット部２
２は図３に示すようにデバイス１０のリード端子Ｒの配
列に対応して配列された電極２４を備えており、この電
極２４を通じてリード端子Ｒをソケット部２２の下方の
図示しないテストヘッドに電気的に接続する役割を持つ
ものである。
【００２０】前記整列部３、４の移動領域とソケット部
２２とを含む領域の上方にはデバイスを搬送するための
第１の搬送機構７及び第２の搬送機構８が設置されてい
る。この搬送機構７、８は、Ｙ軸を介して互いに向き合
って配設され、図２に示すように各々先端部に後述の吸
着保持部９が２個づつ設けられたＸ方向搬送部７１、８
１と、Ｙ方向搬送部７２、８２とを備えている。Ｘ方向
搬送部７１（８１）及びＹ方向搬送部７２（８２）は、
ベルト機構やボールネジなどの駆動系やガイド機構など
を検査装置本体の上部に配置して構成されている。
２２とを含む領域の上方にはデバイスを搬送するための
第１の搬送機構７及び第２の搬送機構８が設置されてい
る。この搬送機構７、８は、Ｙ軸を介して互いに向き合
って配設され、図２に示すように各々先端部に後述の吸
着保持部９が２個づつ設けられたＸ方向搬送部７１、８
１と、Ｙ方向搬送部７２、８２とを備えている。Ｘ方向
搬送部７１（８１）及びＹ方向搬送部７２（８２）は、
ベルト機構やボールネジなどの駆動系やガイド機構など
を検査装置本体の上部に配置して構成されている。
【００２１】前記吸着保持部９及びこれに関連した部分
について図３を参照しながら説明する。吸着保持部９
は、搬送機構７、８において、整列部３、４のＹ方向に
並ぶ２個のデバイス１０を保持するように対応して配列
されており、エアシリンダ９１により昇降するシャフト
９２と、このシャフト９２の下端部に取り付けられ、下
面側に真空吸着用の吸引孔を備えた吸着面が形成される
と共にヒータを内蔵した吸着保持部本体９３とを備えて
いる。エアシリンダ９１を取り付けたシリンダ取り付け
板９４と、Ｘ方向搬送部７１（８１）の一部に固定され
た固定板９５との間には、Ｚ方向に伸びる引張りバネ
（図示せず）が介装されており、図示しない押圧手段に
よりシャフト９２の先端部がエアシリンダ９１と共に押
圧されたときに吸着保持部９が前記引張りバネに抗して
押し下げられて、デバイス１０をソケット部２２に圧接
して確実な電気的接触が図られるようになっている。な
お供給用整列部３及び収納用整列部４に対するデバイス
１０の受け渡しについては、シャフト９２の昇降のみに
よって行われる。
について図３を参照しながら説明する。吸着保持部９
は、搬送機構７、８において、整列部３、４のＹ方向に
並ぶ２個のデバイス１０を保持するように対応して配列
されており、エアシリンダ９１により昇降するシャフト
９２と、このシャフト９２の下端部に取り付けられ、下
面側に真空吸着用の吸引孔を備えた吸着面が形成される
と共にヒータを内蔵した吸着保持部本体９３とを備えて
いる。エアシリンダ９１を取り付けたシリンダ取り付け
板９４と、Ｘ方向搬送部７１（８１）の一部に固定され
た固定板９５との間には、Ｚ方向に伸びる引張りバネ
（図示せず）が介装されており、図示しない押圧手段に
よりシャフト９２の先端部がエアシリンダ９１と共に押
圧されたときに吸着保持部９が前記引張りバネに抗して
押し下げられて、デバイス１０をソケット部２２に圧接
して確実な電気的接触が図られるようになっている。な
お供給用整列部３及び収納用整列部４に対するデバイス
１０の受け渡しについては、シャフト９２の昇降のみに
よって行われる。
【００２２】トレー載置部２Ｃ、２Ｄと整列部３、４の
移動領域の他端部とを含む領域の上方には、前記ローダ
６１と同様にＸ、Ｙ、Ｚ方向に移動自在で、４個の吸着
保持部６２により各々デバイス１０の上面を同時に吸着
保持できるように構成され、収納用整列部４内の検査後
のデバイス１０をトレー載置部２Ｃ、２ＤのトレーＴ上
に分類搬送するためのアンローダ６３が設けられてい
る。
移動領域の他端部とを含む領域の上方には、前記ローダ
６１と同様にＸ、Ｙ、Ｚ方向に移動自在で、４個の吸着
保持部６２により各々デバイス１０の上面を同時に吸着
保持できるように構成され、収納用整列部４内の検査後
のデバイス１０をトレー載置部２Ｃ、２ＤのトレーＴ上
に分類搬送するためのアンローダ６３が設けられてい
る。
【００２３】次に上述の検査装置の作用について説明す
る。先ずトレー載置部２Ａ、２Ｂに、検査前のデバイス
１０が配列されたトレーＴが搬入され、ローダ６１はこ
のトレーＴ上のデバイス１０を４個同時に吸着保持して
予備加熱板２１の凹部２１ａに夫々搬送する。デバイス
１０はここで所定温度まで予備加熱され、その後ローダ
６１により４個同時に供給用整列部３に搬送される。こ
のとき、供給用整列部３及び収納用整列部４よりなる整
列部ユニットは、Ｘレール５１の一端部（図２中左端
部）に位置しており、検査前のデバイス１０が受け渡さ
れた後Ｘレール５１の中間部まで移動する。
る。先ずトレー載置部２Ａ、２Ｂに、検査前のデバイス
１０が配列されたトレーＴが搬入され、ローダ６１はこ
のトレーＴ上のデバイス１０を４個同時に吸着保持して
予備加熱板２１の凹部２１ａに夫々搬送する。デバイス
１０はここで所定温度まで予備加熱され、その後ローダ
６１により４個同時に供給用整列部３に搬送される。こ
のとき、供給用整列部３及び収納用整列部４よりなる整
列部ユニットは、Ｘレール５１の一端部（図２中左端
部）に位置しており、検査前のデバイス１０が受け渡さ
れた後Ｘレール５１の中間部まで移動する。
【００２４】そして供給用整列部３においてＹ方向に並
ぶ２個のデバイス１０を１組として、１組づつ順次に第
１の搬送機構７及び第２の搬送機構８により吸着保持さ
れてソケット部２２まで搬送され、ソケット部２２の下
方側の図示しないテストヘッドにより各デバイス１０の
電気的測定が行われて良否の検査が行われる。次いで検
査後のデバイス１０が１組づつ順次に収納用整列部４に
搬送され、整列部ユニットがＸレール５１の他端部（図
２中右端部）に移動し、アンローダ６３により収納用整
列部４内のデバイス１０が検査結果に応じてトレー載置
部２Ｃ、２Ｄ上のトレーＴに分類搬送される。
ぶ２個のデバイス１０を１組として、１組づつ順次に第
１の搬送機構７及び第２の搬送機構８により吸着保持さ
れてソケット部２２まで搬送され、ソケット部２２の下
方側の図示しないテストヘッドにより各デバイス１０の
電気的測定が行われて良否の検査が行われる。次いで検
査後のデバイス１０が１組づつ順次に収納用整列部４に
搬送され、整列部ユニットがＸレール５１の他端部（図
２中右端部）に移動し、アンローダ６３により収納用整
列部４内のデバイス１０が検査結果に応じてトレー載置
部２Ｃ、２Ｄ上のトレーＴに分類搬送される。
【００２５】ここで供給用整列部３及び収納用整列部４
と第１の搬送機構７及び第２の搬送機構８との動作の一
例について図４〜図１１を参照しながら説明する。図４
は、ローダ（図示せず）から４個のデバイスが供給用整
列部３に受け渡された後整列部ユニットがＸレール５１
の中間領域まで移動された状態を示す。また図４〜図１
１の動作説明図において、整列部３、４内及び搬送機構
７、８（詳しくは吸着保持部に相当する部位）に付した
１〜８の番号は各デバイスを区別するために付した番号
であり、このデバイスの番号に対して、以下の説明では
〜の符号を対応させる。
と第１の搬送機構７及び第２の搬送機構８との動作の一
例について図４〜図１１を参照しながら説明する。図４
は、ローダ（図示せず）から４個のデバイスが供給用整
列部３に受け渡された後整列部ユニットがＸレール５１
の中間領域まで移動された状態を示す。また図４〜図１
１の動作説明図において、整列部３、４内及び搬送機構
７、８（詳しくは吸着保持部に相当する部位）に付した
１〜８の番号は各デバイスを区別するために付した番号
であり、このデバイスの番号に対して、以下の説明では
〜の符号を対応させる。
【００２６】今図４に示すように供給用整列部３内には
４個のデバイス〜が配列されており、第１の搬送機
構７により検査前のデバイスが吸着保持される。次
いで図５に示すように第１の搬送機構７が詳しくは吸着
保持部が検査位置まで移動すると共に、第２の搬送機構
８が供給用整列部３まで移動してデバイスを受け取
り、検査位置付近まで戻ってくる。この間第１の搬送機
構７はデバイスを図示しない押圧手段との協働作用
により順次にソケット部２２に接触させ（装着させ）、
これらデバイスは搬送機構７により装着されたまま
検査が行われる。
４個のデバイス〜が配列されており、第１の搬送機
構７により検査前のデバイスが吸着保持される。次
いで図５に示すように第１の搬送機構７が詳しくは吸着
保持部が検査位置まで移動すると共に、第２の搬送機構
８が供給用整列部３まで移動してデバイスを受け取
り、検査位置付近まで戻ってくる。この間第１の搬送機
構７はデバイスを図示しない押圧手段との協働作用
により順次にソケット部２２に接触させ（装着させ）、
これらデバイスは搬送機構７により装着されたまま
検査が行われる。
【００２７】一方図６に示すように整列部ユニットは一
端部に移動し、ローダから次のデバイス〜を受け取
り、図７に示すようにＸ方向に所定量移動する。続いて
第１の搬送機構７が検査後のデバイス、を収納用整
列部４に受け渡した後、図８に示すように整列部ユニッ
トが更にＸ方向に移動して供給用整列部３内のデバイス
が第１の搬送機構８に受け渡される。この間第２の
搬送機構８はデバイスを順次ソケット部２２に接触
させる。
端部に移動し、ローダから次のデバイス〜を受け取
り、図７に示すようにＸ方向に所定量移動する。続いて
第１の搬送機構７が検査後のデバイス、を収納用整
列部４に受け渡した後、図８に示すように整列部ユニッ
トが更にＸ方向に移動して供給用整列部３内のデバイス
が第１の搬送機構８に受け渡される。この間第２の
搬送機構８はデバイスを順次ソケット部２２に接触
させる。
【００２８】そして図９に示すように整列部ユニットが
一端部側に所定量戻り、第２の搬送機構８は収納用整列
部４に検査後のデバイス、を受け渡し、更に図１０
に示すように整列部ユニットが他端部側に移動した後収
納用整列部４から検査前のデバイス、を受け取っ
て、図１１に示すように検査位置付近まで移動する。こ
の間第１の搬送機構７はデバイス、を順次にソケッ
ト部２２に接触させる。また収納用整列部４は検査後の
４個のデバイス〜を載せて他端部に移動し、これら
デバイス〜はアンローダに受け渡されることとな
る。その後整列部ユニットは図６に示すように一端部ま
で移動し、以下同様の工程が繰り返される。
一端部側に所定量戻り、第２の搬送機構８は収納用整列
部４に検査後のデバイス、を受け渡し、更に図１０
に示すように整列部ユニットが他端部側に移動した後収
納用整列部４から検査前のデバイス、を受け取っ
て、図１１に示すように検査位置付近まで移動する。こ
の間第１の搬送機構７はデバイス、を順次にソケッ
ト部２２に接触させる。また収納用整列部４は検査後の
４個のデバイス〜を載せて他端部に移動し、これら
デバイス〜はアンローダに受け渡されることとな
る。その後整列部ユニットは図６に示すように一端部ま
で移動し、以下同様の工程が繰り返される。
【００２９】このような実施例によれば、第１の搬送機
構７及び第２の搬送機構８の一方によりデバイス１０を
ソケット部２２に装着している間に、他方により次のデ
バイス１０を収納用整列部３から受け取って検査位置の
近傍で待機させ、一方の搬送機構に保持されているデバ
イス１０の検査が終了した後速やかに他方の搬送機構に
保持されているデバイス１０の検査に移れるため、イン
デックスタイムが短かく、スループットが高い。
構７及び第２の搬送機構８の一方によりデバイス１０を
ソケット部２２に装着している間に、他方により次のデ
バイス１０を収納用整列部３から受け取って検査位置の
近傍で待機させ、一方の搬送機構に保持されているデバ
イス１０の検査が終了した後速やかに他方の搬送機構に
保持されているデバイス１０の検査に移れるため、イン
デックスタイムが短かく、スループットが高い。
【００３０】また供給用整列部３及び収納用整列部４が
夫々ローダ、アンローダの受け渡し位置に分かれて固定
されているのではなく、一体的に移動するように構成さ
れ、移動領域の両端部の間で、搬送機構７、８に対して
デバイス１０の受け渡しが行われるため、搬送機構とし
て第１、第２の搬送機構を用いても相互の搬送領域の重
なりを避けることができ、搬送機構の大型化を回避でき
る。
夫々ローダ、アンローダの受け渡し位置に分かれて固定
されているのではなく、一体的に移動するように構成さ
れ、移動領域の両端部の間で、搬送機構７、８に対して
デバイス１０の受け渡しが行われるため、搬送機構とし
て第１、第２の搬送機構を用いても相互の搬送領域の重
なりを避けることができ、搬送機構の大型化を回避でき
る。
【００３１】更に整列部ユニットの移動領域の他端部を
前方側と定義すれば、供給用整列部３及び収納用整列部
４の前方側の２個（この２個はＹ方向に並んでいる）を
第２の搬送用機構８に割り付け、また供給用整列部３及
び収納用整列部４の後方側の２個を第１の搬送機構７に
割り付けているため、各搬送機構７、８のＸ方向の搬送
領域が狭くなるので非常に有利である。
前方側と定義すれば、供給用整列部３及び収納用整列部
４の前方側の２個（この２個はＹ方向に並んでいる）を
第２の搬送用機構８に割り付け、また供給用整列部３及
び収納用整列部４の後方側の２個を第１の搬送機構７に
割り付けているため、各搬送機構７、８のＸ方向の搬送
領域が狭くなるので非常に有利である。
【００３２】以上において本発明は搬送機構として異な
る２種類以上の搬送機構を用いればよく、例えば第１、
第２の搬送機構に加え第３の搬送機構を設けてもよく、
また各搬送機構の搬送領域は、完全に重なりがないとい
うことに限定されず、重なりがあってもよい。なお供給
用整列部及び収納用整列部は一体的に移動しなくとも別
々に移動してもよい。
る２種類以上の搬送機構を用いればよく、例えば第１、
第２の搬送機構に加え第３の搬送機構を設けてもよく、
また各搬送機構の搬送領域は、完全に重なりがないとい
うことに限定されず、重なりがあってもよい。なお供給
用整列部及び収納用整列部は一体的に移動しなくとも別
々に移動してもよい。
【００３３】
【発明の効果】本発明は、ローダから受け渡された整列
部内の被検査体を接触部に搬送して被検査体の電気的測
定を行い、検査後の被検査体を整列部に搬送し、その後
アンローダにより搬出するにあたって、高いスループッ
トが得られ、しかも搬送機構を大型化しなくて済むとい
う効果がある。
部内の被検査体を接触部に搬送して被検査体の電気的測
定を行い、検査後の被検査体を整列部に搬送し、その後
アンローダにより搬出するにあたって、高いスループッ
トが得られ、しかも搬送機構を大型化しなくて済むとい
う効果がある。
【図１】本発明の実施例に係る検査装置の全体構成を示
す概略斜視図である。
す概略斜視図である。
【図２】本発明の実施例に係る検査装置の全体構成を示
す概略平面図である。
す概略平面図である。
【図３】第１（第２）の搬送機構の吸着保持部を示す斜
視図である。
視図である。
【図４】本発明の実施例に係る検査装置において整列部
と第１、第２の搬送機構との動作を説明する説明図であ
る。
と第１、第２の搬送機構との動作を説明する説明図であ
る。
【図５】本発明の実施例に係る検査装置において整列部
と第１、第２の搬送機構との動作を説明する説明図であ
る。
と第１、第２の搬送機構との動作を説明する説明図であ
る。
【図６】本発明の実施例に係る検査装置において整列部
と第１、第２の搬送機構との動作を説明する説明図であ
る。
と第１、第２の搬送機構との動作を説明する説明図であ
る。
【図７】本発明の実施例に係る検査装置において整列部
と第１、第２の搬送機構との動作を説明する説明図であ
る。
と第１、第２の搬送機構との動作を説明する説明図であ
る。
【図８】本発明の実施例に係る検査装置において整列部
と第１、第２の搬送機構との動作を説明する説明図であ
る。
と第１、第２の搬送機構との動作を説明する説明図であ
る。
【図９】本発明の実施例に係る検査装置において整列部
と第１、第２の搬送機構との動作を説明する説明図であ
る。
と第１、第２の搬送機構との動作を説明する説明図であ
る。
【図１０】本発明の実施例に係る検査装置において整列
部と第１、第２の搬送機構との動作を説明する説明図で
ある。
部と第１、第２の搬送機構との動作を説明する説明図で
ある。
【図１１】本発明の実施例に係る検査装置において整列
部と第１、第２の搬送機構との動作を説明する説明図で
ある。
部と第１、第２の搬送機構との動作を説明する説明図で
ある。
【図１２】従来の検査装置を示す概略平面図である。
Ｔ トレー １０ デバイス ２１ 予備加熱板 ２２ ソケット部 ３ 供給用整列部 ４ 収納用整列部 ５１ Ｘレール ６１ ローダ ６３ アンローダ ７ 第１の搬送機構 ８ 第２の搬送機構 ７１、８１ Ｘ方向搬送部 ７２、８２ Ｙ方向搬送部 ９ 吸着保持部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01R 31/26 H01L 21/66
Claims (5)
- 【請求項１】 Ｘ方向に移動自在に構成され、被検査体
の位置決めを行うための整列部と、 前記整列部の移動領域の一端部にて当該整列部に検査前
の被検査体を受け渡すローダと、 前記整列部の移動領域の他端部にて当該整列部から検査
後の被検査体を受け取るアンローダと、 前記整列部の移動領域からＹ方向に離れた検査位置に設
けられ、被検査体に電気的に接触する接触部と、 前記整列部内の被検査体を保持して前記接触部に搬送す
ると共に検査後に被検査体を接触部から整列部に搬送
し、互いに独立してＸ，Ｙ、Ｚ方向に搬送自在な第１の
搬送機構および第２の搬送機構と、を備え、 前記整列部と第１の搬送機構及び第２の搬送機構との間
の被検査体の受け渡しは、整列部の移動領域の一端部と
他端部との間で行われることを特徴とする検査装置。 - 【請求項２】 前記整列部はＸ方向に伸びる被検査体の
列をｎ（ｎは整数）列配列するように構成され、第１の
搬送機構および第２の搬送機構は整列部の各列間で互い
に隣接する被検査体を同時に保持するように構成されて
いることを特徴とする請求項１記載の検査装置。 - 【請求項３】 第１の搬送機構および第２の搬送機構
は、被検査体を上面から吸着保持して搬送するものであ
ることを特徴とする請求項１または２記載の検査装置。 - 【請求項４】 整列部は検査前の被検査体を位置決めす
るための供給用整列部と、検査後の被検査体を位置決め
するための収納用整列部とからなることを特徴とする請
求項１、２または３記載の検査装置。 - 【請求項５】 Ｘ方向に移動自在に構成され、検査前の
被検査体を位置決めするための供給用整列部と検査後の
被検査体を位置決めするための収納用整列部とからなる
整列部と、この整列部の移動領域からＹ方向に離れてい
る検査位置に設けられた接触部と整列部との間で被検査
体を搬送し、互いに独立してＸ，Ｙ，Ｚ方向に移動自在
な第１の搬送機構及び第２の搬送機構とを具備し、
（ａ）供給用整列部にローダから検査前の被検査体を搬
送する工程と、（ｂ）第１の搬送機構または第２の搬送
機構の一方を、接触部に対する被検査体の装着位置に位
置させておくと共に、他方により検査後の被検査体を収
納用整列部に受け渡し更に検査前の被検査体を供給用整
列部から受け取る工程と、（ｃ）第１の搬送機構または
第２の搬送機構の他方を、接触部に対する被検査体の装
着位置に位置させておくと共に、一方により検査後の被
検査体を収納用整列部に受け渡し更に検査前の被検査体
を供給用整列部から受け取る工程と、（ｄ）収納用整列
部の検査後の被検査体をアンローダにより搬出する工程
と、を順次繰り返すことを特徴とする検査方法。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21531494A JP3080845B2 (ja) | 1994-08-16 | 1994-08-16 | 検査装置及びその方法 |
| TW084107691A TW312749B (ja) | 1994-07-26 | 1995-07-25 | |
| US08/506,819 US5801527A (en) | 1994-07-26 | 1995-07-25 | Apparatus and method for testing semiconductor device |
| KR1019950022244A KR100297283B1 (ko) | 1994-07-26 | 1995-07-26 | 반도체디바이스의검사장치및검사방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21531494A JP3080845B2 (ja) | 1994-08-16 | 1994-08-16 | 検査装置及びその方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0854444A JPH0854444A (ja) | 1996-02-27 |
| JP3080845B2 true JP3080845B2 (ja) | 2000-08-28 |
Family
ID=16670268
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21531494A Expired - Fee Related JP3080845B2 (ja) | 1994-07-26 | 1994-08-16 | 検査装置及びその方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3080845B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100546871B1 (ko) * | 1998-09-30 | 2006-05-23 | 삼성전자주식회사 | 테스트 핸들러 |
| JP4588923B2 (ja) * | 2001-06-01 | 2010-12-01 | ヤマハ発動機株式会社 | 部品試験装置 |
| CN101234704B (zh) * | 2007-01-29 | 2011-11-16 | 鸿劲科技股份有限公司 | 电子组件移载装置及方法 |
| JP4951480B2 (ja) * | 2007-12-06 | 2012-06-13 | 株式会社テセック | オートハンドラ |
| WO2024122080A1 (ja) * | 2023-04-12 | 2024-06-13 | 株式会社東光高岳 | ワーク位置決め機構及びワーク検査装置 |
-
1994
- 1994-08-16 JP JP21531494A patent/JP3080845B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0854444A (ja) | 1996-02-27 |
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