KR101595920B1 - 반송 시스템 - Google Patents

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켄지 반도
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Abstract

반송 시스템(1)은, 수납 케이스(12), 승강 장치(13), 전송 장치(14), 반송 장치(15)를 구비하고 있다. 승강 장치(13)는, 수납 케이스(12)를 승강시켜 그 안의 각 기판(11)을 차례로 수취 위치에 위치시킨다. 전송 장치(14)는, 수취 위치의 기판(11)을 받아서 전송 위치에서 반송 장치(15)에 건네준다. 반송 장치(15)는 한 쌍의 벨트(51,51)를 갖고 있다. 한 쌍의 벨트(51,51)는, 좌우 방향으로 간격을 두고 설치되고, 거기에는 복수의 프로파일(54)이 서로 대응되어 각각 설치되어 있다. 대응된 프로파일(54)은, 반송 방향으로 함께 이동하고, 또 전송 위치에서 건네받은 기판(11)의 외연부를 지지하고 또한 그 기판(11)을 규정 위치로 위치 결정하도록 구성되어 있다.

Description

반송 시스템{TRANSPORT SYSTEM}
본 발명은, 기판을 반송하는 반송 시스템에 관한 것이다.
기판을 반송하는 장치로서, 예를 들면 컨베이어가 알려져 있다. 컨베이어로서는, 예를 들면 특허문헌1과 같은 것이 있다. 특허문헌1에 기재된 컨베이어는, 복수의 레일을 소정의 간격으로 배치하여 구성되어 있는 반송로를 갖고 있다. 반송로의 양 사이드에는, 모터에 의해 주행하는 체인이 설치되어 있다. 또, 한 쌍의 체인을 건너지르도록 이동체가 설치되어 있다. 이 이동체에는, 복수의 스크레이퍼가 설치되어 있으며, 각 스크레이퍼는, 레일의 간극에서 위쪽으로 돌출하도록 배치되어 있다.
이와 같이 구성되어 있는 컨베이어에서는, 모터에 의해 체인을 주행시키면, 체인과 함께 이동체가 이동한다. 이로써 이동체에 설치된 스크레이퍼가 이동하고, 스크레이퍼에 의해 반송로 위의 반송 대상이 밀려 반송된다.
일본 특개평 10-265022호 공보
그런데, 기판은 수납 케이스에 수납되어 있으며, 기판을 반송하는 경우, 이 수납 케이스에서 기판을 꺼내어 받고 나서 반송한다. 그러나 특허문헌1에 기재된 컨베이어는, 수납 케이스에서 기판을 받는 구성을 갖고 있지 않다. 또, 반송로 상에 반송 대상물을 떨어뜨려 싣도록 되어 있기 때문에 기판이 손상되는 경우가 있다. 게다가, 기판을 수납 케이스에 수납할 수도 없다. 그러므로 특허문헌1에 기재된 컨베이어를 기판의 반송 시스템으로서 채용할 수 없다.
또, 기판은, 반송 후 다양한 처리가 이루어지도록 되어 있으며, 그 처리에서는, 기판의 위치 정밀도가 요구된다. 특허문헌1에 기재된 컨베이어는, 반송로 상의 기판을 스크레이퍼에 의해 밀어 반송하는 구조이기 때문에, 기판의 위치 결정을 할 수 없다. 그 때문에 위치 결정 장치를 별도로 설치하지 않으며 안 되어 시스템이 대형화해버린다.
따라서 본 발명은, 수납 케이스에서 기판을 받아서 반송하고, 또한 위치 결정할 수 있는 반송 시스템을 제공하는 것을 목적으로 하고 있다.
본 발명의 반송 시스템은, 복수의 기판을 상하 방향으로 간격을 두고 수납하기 위한 수납 케이스와, 상기 수납 케이스를 승강시켜 상기 수납 케이스 내의 상기 기판을 차례로 수취 위치에 위치시키는 승강 장치와, 상기 수취 위치의 상기 기판을 받아서 전송 위치에서 상기 기판을 건네주는 전송 장치와, 상기 전송 위치에서 상기 기판을 받아서 반송하는 반송 장치를 구비하며, 상기 반송 장치는, 반송 방향으로 각각 연장되고 또한 소정 방향으로 서로 간격을 가지며 나란하게 설치되어 있는 복수의 반송 벨트와, 서로 대응되어 상기 복수의 반송 벨트에 각각 설치되어 있는 복수의 지지 부재와, 상기 대응되어 있는 복수의 지지 부재가 상기 반송 방향으로 함께 이동하도록 상기 복수의 반송 벨트를 구동하는 반송 유닛을 갖고, 상기 복수의 반송 벨트에 대응되어 설치되어 있는 상기 지지 부재는, 상기 전송 위치에서 건네받은 상기 기판의 외연부를 지지하고 또한 해당 지지된 기판을 규정 위치로 위치 결정하도록 구성되어 있는 것이다.
본 발명에 따르면, 승강 장치에 의해 수납 케이스를 상승 또는 하강시켜 전송 장치를 움직임으로써 기판을 차례로 수납 케이스에서 반송 장치로 건네줄 수 있다. 또, 전송 장치에서 반송 장치의 지지 부재로 기판을 건네주는 것만으로 기판을 지지 부재 위의 규정 위치로 위치 결정할 수 있어 반송 유닛에 의해 반송 벨트를 움직임으로써 기판을 위치 결정할 수 있다. 따라서 수납 케이스에서 기판을 받아서 반송하고, 또 반송하면서 위치 결정할 수 있다.
상기 발명에 있어서, 상기 복수의 반송 벨트 중 한 쌍의 반송 벨트의 상기 소정 방향의 간격을 규제하는 간격 규제 기구를 구비하며, 상기 한 쌍의 반송 벨트에 서로 대응되어 각각 설치되어 있는 상기 지지 부재는, 상기 기판의 상기 소정 방향 양측의 외연부를 각각 지지하는 지지부와, 상기 기판의 소정 방향의 측면을 위치 결정하기 위한 상기 소정 방향으로 대향하는 위치 결정부를 각각 갖고, 상기 간격 규제 기구에 의해 상기 한 쌍의 반송 벨트의 상기 소정 방향의 간격이 좁혀져 있지 않은 상태에서, 상기 한 쌍의 반송 부재의 서로에 대응된 상기 지지 부재가 상기 전송 위치에서 건네받은 상기 기판의 외연부를 지지하고, 상기 간격 규제 기구에 의해 상기 한 쌍의 반송 벨트의 상기 소정 방향의 간격을 좁힘으로써 해당 지지된 기판을 상기 규정 위치로 위치 결정하도록 구성되어 있는 것이 바람직하다.
상기 구성에 따르면, 전송 위치에 있어서, 한 쌍의 반송 벨트의 상기 소정 방향의 간격이 넓혀진 상태에 있고, 한 쌍의 지지 부재가 소정 방향으로 떨어져 있다. 이로써 위치 결정부의 사이가 넓어져 전송 위치에서 기판을 건네줄 때 위치 어긋남의 허용 범위를 크게 할 수 있다. 그러므로 기판을 지지 부재 위에 놓기 쉽게 할 수 있다.
한편, 전송 위치 이외에서는, 간격 규제 기구에 의해 한 쌍의 반송 벨트의 상기 소정 방향의 간격이 좁혀져 한 쌍의 지지 부재가 소정 방향으로 접근한다. 이로써 위치 결정부의 사이가 좁아져 반송하면서 기판의 위치 결정을 더 정밀하게 할 수 있다. 그러므로 위치 결정 정밀도를 향상시키기 위해 별도의 장치에 의해 위치 결정 동작을 하지 않아도 좋아져서 반송 중지 시간을 없앨 수 있다.
상기 발명에 있어서, 상기 지지 부재는, 상기 기판을 재치하면 상기 규정 위치로 안내하도록 상기 기판을 지지하는 부분이 테이퍼 모양으로 형성되어 있는 것이 바람직하다.
상기 구성에 따르면, 기판을 지지 부재에 재치하는 것만으로 기판을 위치 결정할 수 있다.
상기 발명에 있어서, 상기 전송 장치는, 상기 기판을 싣는 재치대와, 상기 재치대를 수취 위치와 전송 위치 사이에서 이동시키는 이동 유닛과, 상기 재치대의 이동에 연동하여 상기 재치대를 승강시키는 승강용 캠 기구를 가지며, 상기 승강용 캠 기구는, 상기 재치대를 상기 수취 위치로 이동시키면 상기 재치대를 들어 올려 상기 재치대 위에 상기 기판을 받고, 상기 재치대를 상기 전송 위치로 이동시키면 상기 재치대를 하강시켜 상기 기판을 상기 복수의 지지 부재에 건네주도록 구성되어 있는 것이 바람직하다.
상기 구성에 따르면, 이동 유닛에 의해 재치대를 반송 방향으로 이동시킴으로써 승강용 캠 기구에 의해 재치대를 승강시킬 수 있어 수취 위치에서 재치대에 기판을 얹고, 또 전송 위치에서 재치대의 기판을 반송 장치에 건네줄 수 있다. 이로써 이동용 및 승강용 구동 장치를 겸용할 수 있어 부품수를 줄일 수 있다.
상기 발명에 있어서, 상기 수취 위치와 상기 전송 위치 사이의 중간 위치에 설치되어 상기 중간 위치에 있는 상기 기판을 그 상태에 따라 반송 방향과 다른 방향으로 이송하는 이송 장치와, 상기 반송 유닛 및 상기 이송 장치의 움직임을 제어하는 제어 장치를 구비하며, 상기 재치대는, 상기 기판을 재치하기 위한 제1 및 제2 영역을 갖고, 상기 제1 영역은, 상기 재치대를 상기 수취 위치로 이동시키면 상기 수취 위치에서 건네받는 상기 기판을 받고, 상기 재치대를 상기 전송 위치로 이동시키면 상기 재치되어 있는 상기 기판을 상기 중간 위치에 놓아두도록 구성되고, 상기 제2 영역은, 상기 재치대를 상기 수취 위치로 이동시키면 상기 중간 위치에 있는 상기 기판을 받고, 상기 재치대를 상기 전송 위치로 이동시키면 상기 재치되어 있는 상기 기판을 상기 대응되어 있는 복수의 지지 부재에 건네주도록 구성되고, 상기 대응되어 있는 복수의 지지 부재는, 상기 반송 벨트에 상기 반송 방향으로 나란히 복수 쌍으로 설치되어 있고, 상기 제어 장치는, 상기 전송 장치가 상기 전송 위치에 위치한 후에 상기 기판의 상기 반송 방향의 길이만큼 상기 반송 유닛에 의해 상기 반송 벨트를 보내고, 상기 이송 장치에 의해 상기 기판이 이송되면 상기 전송 장치가 상기 전송 위치에 위치한 후에도 상기 반송 유닛에 의해 상기 반송 벨트를 보내지 않도록 되어 있는 것이 바람직하다.
상기 구성에 따르면, 반송 장치에서는, 복수 장의 기판을 동시에 반송할 수 있다. 또, 이송 장치에 의해 기판이 이송되었을 경우에 반송 벨트를 보내지 않도록 되어 있으므로 반송 장치에 있어서 복수의 기판이 채워진 상태로 반송 방향으로 늘어놓을 수 있다. 요컨대, 중간의 기판이 빠져 이빨 빠진 상태가 되는 것을 방지할 수 있다.
본 발명의 반송 시스템은, 받은 기판을 수취 위치로 반송하는 반송 장치와, 상기 수취 위치에서 상기 반송 장치로부터 상기 기판을 받아서 전송 위치에서 상기 기판을 건네주는 전송 장치와, 상기 전송 장치에 의해 건네받는 상기 기판을 수납하기 위한 수납 스페이스가 상하 방향으로 간격을 두고 위치하고 있는 수납 케이스와, 상기 수납 케이스를 승강시켜 상기 수납 케이스의 상기 수납 스페이스를 차례로 수취 위치로 위치시키는 승강 장치를 구비하며, 상기 반송 장치는, 반송 방향으로 각각 연장되고 또한 소정 방향으로 서로 간격을 가지며 나란하게 설치되어 있는 복수의 반송 벨트와, 서로 대응되어 상기 복수의 반송 벨트에 각각 설치되어 있는 복수의 지지 부재와, 상기 대응되어 있는 복수의 지지 부재가 상기 반송 방향으로 함께 이동하도록 상기 복수의 반송 벨트를 구동하는 반송 유닛을 갖고, 상기 복수의 반송 벨트에 대응되어 설치되어 있는 상기 지지 부재는, 받은 상기 기판의 외연부를 지지하고 또한 해당 지지된 상기 기판을 규정 위치로 위치 결정하도록 구성되어 있는 것이다.
상기 구성에 따르면, 반송 장치의 지지 부재에 기판을 건네주는 것만으로 기판을 지지 부재 위의 규정 위치로 위치 결정되고, 반송 유닛에 의해 반송 벨트를 움직이므로써 기판을 위치 결정된 상태로 반송할 수 있다. 그리고 전송 장치를 움직여 수납 케이스를 상승 또는 하강시키므로써 기판을 차례로 수납 케이스 내에 수납할 수 있다. 이로써 수납 케이스에 정확하고도 쉽게 기판을 수납할 수 있다.
본 발명에 따르면, 수납 케이스에서 기판을 받아서 반송하고 또한 위치 결정할 수 있다.
본 발명의 상기 목적, 다른 목적, 및 이점은, 첨부 도면 참조 하에, 이하의 바람직한 실시예의 상세한 설명으로부터 명백하게 된다.
도 1은 반출용 반송 시스템의 구성을 나타내는 평면도이다.
도 2는 도 1의 반송 시스템을 도 1의 화살표 (A) 방향에서 본 측면도이다.
도 3은 도 1의 반송 시스템에 구비된 승강 장치를 화살표 (B) 방향에서 본 정면도이다.
도 4는 도 1의 반송 시스템에 구비된 전송 장치의 구성을 확대하여 나타내는 확대 측면도이다.
도 5는 도 1의 반송 시스템에 있어서 전송 장치의 주변을 확대하여 나타내는 확대 평면도이다.
도 6은 도 1의 반송 시스템에 구비된 반송 장치를 도 1의 절단선 (C-C)로 절단하여 본 확대 단면도이다.
도 7은 도 6의 프로파일을 도 6의 화살표 (D) 방향에서 본 측면도이다.
도 8은 도 6의 프로파일을 위쪽에서 본 확대 평면도이다.
도 9는 도 1의 반송 시스템에 구비된 간격 규제 기구를 확대하여 나타내는 확대 평면도이다.
도 10은 수납용 반송 시스템의 구성을 나타내는 평면도이다.
도 11은 도 10의 반송 시스템에 구비된 전송 장치의 구성을 나타내는 측면도이다.
이하에서는, 전술하는 도면을 참조하면서 본건 발명의 실시예의 반송 시스템(1)에 대하여 설명한다. 또한, 모든 도면에 걸쳐 동일하거나 상응하는 요소에는 동일한 부호를 부여하고 그 중복하는 설명을 생략한다. 또한, 이하의 설명에 있어서 사용하는 방향의 개념은, 설명의 편의상 사용하는 것이며, 반드시 그 방향에 한정되는 것이 아니다. 한편, 이하에 설명하는 반송 시스템(1,1A)은, 본 발명의 일 실시예에 지나지 않는다. 따라서 본 발명은, 실시예에 한정되지 아니 하고 발명의 취지를 벗어나지 않는 범위에서 추가, 삭제, 또는 변경이 가능하다.
[반출용 반송 시스템]
반송 시스템(1)은, 복수의 기판(11)을 수납 케이스(12)에서 한 장 한 장 꺼내어서 소정 위치까지 반송하기 위한 반출용 반송 시스템이다. 반송 시스템(1)은, 도 1 및 도 2에 나타내는 바와 같이 수납 케이스(12), 승강 장치(13), 전송 장치(14), 반송 장치(15), 이송 장치(16), 간격 규제 기구(17)를 구비하고 있다.
<수납 케이스>
수납 케이스(12)는, 도 3에 나타내는 바와 같이, 한 쌍의 측벽(22,22)을 가지고 있다. 한 쌍의 측벽(22,22)은, 그 내면이 대향하도록 좌우 양측에 위치하고 있다. 각 측벽(22)의 내면에는, 복수의 지지판(23)이 각각 대응하여 설치되어 있다. 지지판(23)은, 상하 방향으로 등간격을 두고 배치되어 있으며, 측벽(22)의 내면에서 다른 쪽 측벽(22)을 향하여 돌출하도록 연장되어 있다. 각 지지판(23)의 상면은, 다른 쪽 측벽(22)의 대응하고 있는 지지판(23)의 상면과 대략 수평이 되어 있으며, 대응되어 있는 2개의 지지판(23), 요컨대 한 쌍의 지지판(23,23)에 의해 기판(11)의 양측 가장자리부를 지지하도록 되어 있다. 이 한 쌍의 측벽(22,22) 사이에 기판(11)을 삽입하여 기판(11)을 한 쌍의 지지판(23,23)에 지지시킴으로써 기판(11)이 수납 케이스(12)에 수납된다. 이와 같이 기판(11)이 수납되어 있는 수납 케이스 (12)는, 승강 장치(13)에 재치되어 있다.
<승강 장치>
승강 장치(13)는, 기대(31), 볼나사 기구(32), 구동 모터(33), 승강대(34)를 가지고 있다. 기대(31)는, 대략 상자 모양으로 형성되어 있으며, 거기에는, 상하 방향으로 연장되는 볼나사 기구(32)가 설치되어 있다. 또한 기대(31) 내에는, 구동 모터(33)가 설치되어 있다. 구동 모터(33)는, 서보 모터이며, 볼나사 기구(32)의 볼나사(미도시)를 회전 구동하여 볼나사에 설치된 슬라이더(미도시)를 승강하도록 되어 있다. 이 슬라이더에는, 승강대(34)가 설치되어 있다. 승강대(34)는, 수평 방향으로 연장되어 있으며, 그 위에 수납 케이스(12)가 재치되어 있다. 이와 같이 구성되어 있는 승강 장치(13)는, 구동 모터(33)에 의해 볼나사 기구(32)를 구동하여 승강대(34)에 재치되어 있는 수납 케이스(12)를 승강하도록 되어 있으며, 하강시킴으로써 각 기판(11)을 소정의 높이에 있는 수취 위치까지 내리도록 구성되어 있다. 이와 같이 구성되어 있는 승강 장치(13)의 앞쪽에는, 전송 장치(14)가 배치되어 있다.
<전송 장치>
전송 장치(14)는, 승강 장치(13)에 의해 수취 위치까지 내려진 기판(11)을 받아서 후술하는 전송 위치까지 이송하도록 구성되어 있다(도 2의 실선 및 2점쇄선 참조). 전송 장치(14)는, 도 4에 나타내는 바와 같이, 슬라이더 기구(41), 구동 기구(42), 캠 기구(43), 재치대(44)를 갖고 있다. 슬라이더 기구(41)는, 가이드 부재(41a)와 슬라이드 부재(41b)를 갖고 있다. 가이드 부재(41a)는, 전후 방향으로 연장되는 부재이며, 이 가이드 부재(41a)에는, 슬라이드 부재(41b)가 전후 방향으로 슬라이딩 가능하게 설치되어 있다. 이와 같이 구성되는 슬라이더 기구(41)에는, 구동 기구(42)가 설치되어 있다.
이동 유닛인 구동 기구(42)는, 예를 들면 전동 모터와 벨트를 가지고 있으며, 전동 모터에 의해 벨트를 움직이게 함으로써 슬라이드 부재(41b)를 전후 방향으로 이동 가능하게 구성되어 있다. 또한, 구동 기구(42)는, 에어의 급배기에 따라 실린더를 신축시켜 슬라이드 부재(41b)를 이동시키는 구성이어도 좋다. 슬라이드 부재(41b)의 상면은, 평탄하게 되어 있으며, 그 상면에는, 캠 기구(43)가 설치되어 있다.
캠 기구(43)는, 캠(43a), 한 쌍의 스토퍼 부재(43b,43c), 캠 팔로워(43d)를 갖고 있다. 캠(43a)은, 슬라이드 부재(41b)의 상면에 설치되어 있다. 슬라이드 부재(41b)의 상면에는, 가이드(미도시)가 설치되어 있으며, 캠(43a)은, 이 가이드에 의해 전후 방향으로 슬라이딩 이동 가능하게 구성되어 있다. 이와 같이 구성되어 있는 캠(43a)은, 기본적으로 슬라이드 부재(41b)에 대하여 전후 방향으로 상대 이동하지 않도록 되어 있다. 또, 캠(43a)의 전방 및 후방에는, 스토퍼 부재(43b,43c)가 설치되어 있다.
스토퍼 부재(43b,43c)는, 캠(43a)에 부딪쳐서 캠(43a)의 움직임을 중지하여 미리 정해진 위치보다 전방 또는 후방으로 캠(43a)이 진행하지 못하도록 배치되어 있다. 따라서 슬라이드 부재(41b)가 전방 또는 후방으로 이동하고 있을 때에 캠(43a)이 스토퍼 부재(43b,43c)에 부딪치면, 캠(43a)만 그 자리에 남고, 캠(43a)이 슬라이드 부재(41b)에 대하여 그 이동 방향과 반대 방향으로 상대 이동하도록 되어 있다. 이와 같이 움직이는 캠(43a)은, 그 상면에 캠 면(43e)을 가지고 있으며, 그 캠 면(43e)에는, 캠 팔로워(43d)가 얹어져 실려 있다.
캠 팔로워(43d)는, 회전하면서 상기 캠 면(43e) 위를 전후 방향으로 이동하도록 되어 있다. 또, 캠 기구(43)는, 상하 방향으로 연장되는 암(45)을 갖고 있으며, 캠 팔로워(43d)는, 이 암(45)의 하단부에 회전 가능하게 설치되어 있다. 암(45)은, 슬라이드 부재(41b)에 고정되어 있는 지지부(46)에 대하여 상하 방향으로 이동 가능하게 지지되어 있다. 이로써 암(45)은, 슬라이드 부재(41b)에 대하여 전후 방향으로 상대 이동 불가능하며, 상하 방향으로 상대 이동 가능하게 구성되어 있다. 요컨대, 캠 팔로워(43d)는, 슬라이드 부재(41b)에 대하여 전후 방향으로 상대 이동 불가능하게 되어 있다. 캠 팔로워(43d)는, 캠(43a)에 대하여 전후 방향으로 상대 이동 가능하게 되어 있으며, 상대 이동함으로써 캠 면(43e) 위를 이동하여 캠 면(43e)의 형상에 맞추어 상하 이동하도록 되어 있다.
여기서 캠 면(43e)의 형상에 대하여 설명하면, 캠 면(43e)은, 평탄부(43f,43g)와, 그보다 낮은 오목부(43h)를 갖고 있다. 오목부(43h)는, 캠 면(43e)의 전후 방향 중간 부분에 위치하고 있으며, 캠(43a)이 앞쪽의 스토퍼 부재(43b)에 부딪치고 슬라이드 부재(41b)가 가장 앞쪽의 위치까지 이동하였을 때에 캠 팔로워(43d)가 오목부(43h)에 들어가도록 되어 있다. 또, 평탄부(43f,43g)는, 캠 면(43e)의 오목부(43h)보다 전후 양측에 위치하고 있으며, 캠(43a)이 후측의 스토퍼 부재(43c)에 부딪치고 슬라이드 부재(43b)가 가장 후측의 위치까지 이동하였을 때에 캠 팔로워(43d)가 후측의 평탄부(43f)에 올라앉도록 되어 있다. 그러므로 슬라이드 부재(41b)가 전후 방향으로 이동하고 캠 팔로워(43d)가 캠 면(43e) 위를 이동함에 따라 암(45)이 상하 이동한다. 암(45)의 상단부에는, 재치대(44)가 설치되어 있다.
재치대(44)는, 기부(44a)와 한 쌍의 판형 부재(44b,44c)를 갖고 있다(도 5도 참조). 기부(44a)는, 대략 직육면체 모양으로 형성되어 있으며, 암(45)의 상단부에 설치되어 있다. 이 기부(44a)의 상면에는, 한 쌍의 판형 부재(44b,44c)가 설치되어 있다. 한 쌍의 판형 부재(44b,44c)는, 전후 방향으로 연장되는 직사각형 모양의 판 부재이다. 한 쌍의 판형 부재(44b,44c)는, 좌우로 간격을 두고 평행하게 늘어놓여져 있으며, 그 위에 기판(11)을 실을 수 있도록 구성되어 있다.
또, 각 판형 부재(44b,44c)의 전후 양단부 및 중앙 부분에는, 돌기 부재(44d,44e,44f)가 형성되어 있다. 돌기 부재(44d,44e,44f)는, 판형 부재(44b,44c)의 상면에서 위쪽으로 돌기되어 있다. 인접한 돌기 부재(44d,44e,44f)의 간격이 기판(11)의 전후 방향의 길이보다 약간 길게 되어 있으며, 판형 부재(44b,44c)의 상면에 있어서, 후측과 중앙의 돌기 부재(44d,44f) 사이에 후측 재치 영역(47a)이 형성되고, 전측과 중앙의 돌기 부재(44e,44f) 사이에 전측 재치 영역(47b)이 형성되어 있다. 그리고 돌기 부재(44d,44e,44f)는, 후측 재치 영역(47a) 및 전측 재치 영역(47b)에 각각 실린 기판(11)의 전후 방향의 움직임을 규제하도록 되어 있다. 또, 후측 재치 영역(47a) 및 전측 재치 영역(47b)에는, 흡착 기구(미도시)가 설치되어 있으며, 흡착 기구는, 이동 중에 후측 재치 영역(47a) 및 전측 재치 영역(47b)에서 기판(11)이 떨어지지 않도록 기판(11)을 흡착하도록 되어 있다.
제1 영역인 후측 재치 영역(47a)은, 전술하는 수취 위치에서 기판(11)을 받을 수 있도록 되어 있다 이 수취 위치의 전방에는, 검사 위치 및 전송 위치가 늘어서 있으며, 중간 위치인 검사 위치에는, 한 쌍의 지지대(48,48)가 설치되어 있다. 한 쌍의 지지대(48,48)는, 한 쌍의 판형 부재(44b,44c)보다 좌우 방향의 외측에 위치하고 있으며, 그 상면에서 기판(11)을 지지하도록 되어 있다. 후측 재치 영역(47a)은, 슬라이드 부재(41b)가 전후 방향으로 이동함으로써 수취 위치와 검사 위치의 사이를 이동하도록 되어 있다. 또, 제2 영역인 전측 재치 영역(47b)은, 후측 재치 영역(47a)이 수취 위치에 위치할 때에 검사 위치에 위치하고, 후측 재치 영역(47a)이 검사 위치에 위치할 때에 수취 위치에 위치하도록 되어 있다. 요컨대, 전측 재치 영역(47b)은, 슬라이드 부재(41b)가 전후 방향으로 이동함으로써 검사 위치와 전송 위치의 사이를 이동하도록 되어 있다.
이와 같이 구성되어 있는 전송 장치(14)에서는, 슬라이드 부재(41b)가 후방으로 이동하면 재치대(44)가 수취 위치를 향하여 후방으로 이동한다. 후측 재치 영역(47a)이 수취 위치에 접근하면, 캠(43a)이 후측의 스토퍼 부재(43c)에 부딪쳐 캠(43a)의 움직임이 멈춘다. 이 상태에서 슬라이드 부재(41b)가 더욱 후방으로 이동하면, 캠 팔로워(43d)가 캠 면(43e) 위를 후방으로 이동하여 오목부(43h)에서 평탄부(43f)로 올라가고 재치대(44)가 상승한다. 후측 재치 영역(47a) 및 전측 재치 영역(47b)은, 캠 팔로워(43d)가 오목부에 위치할 때에 수취 위치 및 검사 위치보다 낮은 위치에 있다. 그 때문에, 재치대(44)가 상승함으로써 후측 재치 영역(47a)은, 그 낮은 위치에서 수취 위치를 향하여 상승하고, 전측 재치 영역(47b)은 그 낮은 위치에서 검사 위치를 향하여 상승한다(도 4의 화살표(E) 참조). 그리고 후측 재치 영역(47a)이 수취 위치에 도달하고, 거의 동시에 전측 재치 영역(47b)이 검사 위치에 도달한다(도 4 및 도 5의 2점쇄선 참조).
수취 위치에 도달한 후측 재치 영역(47a)은, 그 위에 수취 위치에 위치하고 있는 기판(11)을 싣는다. 또, 검사 위치에 도달한 전측 재치 영역(47b)은, 그 위에 한 쌍의 지지대(48,48)에서 대기하는 기판(11)을 싣는다. 기판(11)을 실은 상태에서, 슬라이드 부재(41b)를 더 후방으로 이동시키면, 후측 재치 영역(47a) 및 전측 재치 영역(47b)이 더 상승하여 각각의 위에 실은 기판(11)을 한 쌍의 지지판(23,23) 및 한 쌍의 지지대(48,48)에서 들어 올린다. 이와 같이 하여 전송 장치(14)는, 수취 위치 및 검사 위치에 위치하는 기판(11)을 받는다.
기판(11)을 받은 후, 슬라이드 부재(41b)를 전방으로 이동시키면 재치대(44)가 전방으로 이동한다. 이때, 캠 팔로워(43d)가 평탄부(43f) 위에 위치한 채 재치대(44)가 이동하고, 재치대(44)는, 수취 위치 및 검사 위치보다 높은 위치에서 수평 이동하도록 되어 있다. 그리고 후측 재치 영역(47a)이 검사 위치에 접근하면, 캠(43a)이 전측의 스토퍼 부재(43b)에 부딪쳐 캠(43a)의 움직임이 멈춘다. 이 상태 그대로 슬라이드 부재(41b)가 더 전방으로 이동하면, 캠 팔로워(43d)가 평탄부(43f)에서 오목부(43h)로 내려가고 재치대(44)가 하강한다. 이로써 후측 재치 영역(47a)이 검사 위치를 향하여 하강하고, 전측 재치 영역(47b)이 전송 위치를 향하여 하강한다(도 4의 화살표(F) 참조). 그리고 후측 재치 영역(47a)이 검사 위치에 도달하고, 거의 동시에 전측 재치 영역(47b)이 전송 위치에 도달한다(도 4 및 도 5의 실선 참조).
후측 재치 영역(47a)이 검사 위치에 도달하면, 후측 재치 영역(47a) 위에 싣고 있는 기판(11)은, 한 쌍의 지지대(48,48)에 실린다. 또, 전송 위치에 도달하면, 전측 재치 영역(47b) 위에 싣고 있는 기판(11)은, 후술하는 반송 장치(15)에 실린다. 그대로 슬라이드 부재(41b)를 더 전방으로 이동시키면, 후측 재치 영역(47a) 및 전측 재치 영역(47b)이 더 하강하여 기판(11)에서 각각 떨어진다. 이로써 기판(11)이 한 쌍의 지지대(48,48) 및 반송 장치(15)로 전송된다.
이와 같이 구동 기구(42)에 의해 재치대(44)를 전후 방향으로 이동시킴으로써 캠 기구(43)에 의해 재치대(44)를 승강시킬 수 있어 수취 위치에서 재치대(44)에 기판(11)을 싣고 또 전송 위치에서 재치대(44)의 기판(11)을 반송 장치(15)에 건네줄 수 있다. 이로써 이동용 및 승강용 구동 기구를 겸용할 수 있어 부품수를 줄일 수 있다.
<반송 장치>
반송 장치(15)는, 재치 영역(47b) 위에 실린 기판(11)을 전송 위치에서 받고, 그 후, 기판(11)을 소정 위치까지 반송하도록 구성되어 있다. 반송 장치(15)는, 도 1 및 도 2에 나타내는 바와 같이, 기본적으로 한 쌍의 벨트(51,51), 복수의 풀리(52), 구동 모터(53), 복수의 프로파일(54)을 갖고 있다. 반송 벨트인 한 쌍의 벨트(51,51)는, 무단 고리 모양의 톱니 장착형 벨트이며, 서로 좌우 방향으로 간격을 두고 전후 방향으로 연장되어 있다. 각 벨트(51)의 전후 부분에는, 풀리(52)가 각각 배치되어 있으며, 벨트(51)는, 이러한 전후 2개의 풀리(52)에 길게 걸쳐 놓여 있다. 또, 후측에 배치되어 있는 2개의 풀리(52)는, 반송 유닛인 구동 모터(53)의 출력축에 각각 연결되어 있다. 이 구동 모터(53)를 구동함에 따라 풀리(52)가 회전하고, 한 쌍의 벨트(51,51)가 동기화하여 움직이도록 되어 있다. 이와 같이 동기화하여 움직이는 한 쌍의 벨트(51,51) 각각에는 복수의 프로파일(54)이 설치되어 있다.
지지 부재인 프로파일(54)은, 기판(11)의 모서리 부분을 지지 가능하게 구성되어 있으며, 도 1에 나타내는 바와 같이 그 중심간 거리가 소정 피치(L)가 되도록 전후 방향으로 등간격으로 배치되어 있다. 여기서, 소정 피치(L)는, 기판(11)의 전후 방향의 길이와 대략 일치하고 있으며, 더욱 상세하게는 기판(11)의 전후 방향의 길이보다 약간 길게 설정되어 있다. 또, 각 프로파일(54)은, 다른 쪽의 벨트(51)에 배치된 어느 하나의 프로파일(54)에 대응하여 배치되어 있으며, 이러한 한 쌍의 프로파일(54,54)끼리가 서로 대향하도록 위치하고 있다. 또, 한 쌍의 프로파일(54,54)은, 그것들에 인접한 전측 및 후측에 한 쌍의 프로파일(54,54)과 각각 대응하고 있다. 대응된 4개의 프로파일(이하, 간단히 "4개의 프로파일"이라고도 함)(54)은, 그 내측에 기판(11)과 거의 같은 형상의 재치 영역을 형성하고, 이 재치 영역에 배치된 기판(11)의 네 모서리를 각각 올려놓고 지지하도록 되어 있다. 한 쌍의 벨트(51,51)에는, 이와 같은 4개의 프로파일(54)이 전후 방향으로 등간격으로 복수 쌍 설치되어 늘어서 있다. 그러므로 이 재치 영역이 한 쌍의 벨트(51,51) 사이에 등간격으로 형성되고, 상측에 위치하는 모든 재치 영역에 기판(11)을 올려놓으면, 도 1에 나타내는 바와 같이 기판(11)이 전후 방향으로 등간격으로 늘어서도록 되어 있다.
이와 같은 기능을 가진 프로파일(54)은, 평면에서 보아 대략 T자 모양으로 형성되어 있으며, 도 6 내지 도 8에 나타내는 바와 같이 기부(54a), 한 쌍의 걸림부(54b,54c), 지지부(54d)를 갖고 있다. 기부(54a)는, 전후 방향으로 연장되는 대략 직사각형 모양으로 형성되어 있으며, 벨트(51)를 따라 그 위에 배치되어 있다. 이 기부(54a)의 하단면에는, 한 쌍의 걸림부(54b,54c)가 설치되어 있다. 한 쌍의 걸림부(54b, 54c)는, 벨트(51)의 좌우 방향 양측에 각각 위치하고 있으며, 벨트(51)의 좌우 양 측면부에 맞닿아 있다. 또, 한 쌍의 걸림부(54b,54c)는 다른 쪽의 걸림부(54b,54c)를 향하여 돌출하는 돌기편(54e)을 갖고 있으며, 각 돌기편(54e)이 벨트(51)의 하면에 맞닿아 있다. 이로써 벨트(51)가 기부(54a) 및 한 쌍의 걸림부(54b,54c)에 의해 둘러싸여 프로파일(54)이 벨트(51)에서 빠지지 않도록 되어 있다. 또한 돌기편(54e)은, 벨트(51)의 하면에 형성되어 있는 톱니부(미도시)에 맞물려 있으며, 한 쌍의 걸림부(54b,54c)가 벨트(51)에 대하여 전후 방향으로 고정 되어 있다. 또한, 이 돌기편(54e)은, 그 선단부가 서로 좌우로 떨어져 있으며, 그 사이에 풀리(52)가 들어가도록 되어 있다. 이와 같이 벨트(51)에 고정되어 있는 기부(54a)에는, 지지부(54d)가 일체적으로 형성되어 있다.
지지부(54d)는, 기부(54a)의 한 측부에 일체적으로 설치된 판 모양의 부재이다. 지지부(54d)의 전후 방향의 중간 부분은, 대응되어 있는 프로파일(54)의 기부(54a)를 향하여 돌출되어 있다. 요컨대, 지지부(54d)는, 평면에서 보아 대략 T자 모양으로 형성되어 있다. 지지부(54d)는, 전후 방향 중앙 부분에 융기 부분(54f)을 갖고 있다. 이 융기 부분(54f)은, 나머지 부분보다 높게 융기하여 있으며, 그 상면이 기부(54a)의 상면과 수평 모양으로 되어 있다. 그리고 융기 부분(54f)의 전후 양측에는, 평면시에서 대략 L자 모양의 지지 영역(55,56)이 각각 형성되어 있다. 지지 영역(55,56)은, 그 상면에서 각각의 기판(11)의 모서리 부분을 각각 지지할 수 있고, 대응되어 있는 그 밖의 3개의 프로파일(54)의 지지 영역(55,56)과 함께 재치 영역을 형성하여 기판(11)의 네 모서리를 각각 지지하도록 되어 있다.
또, 융기 부분(54f)의 전후 양 측면은, 아래로 감에 따라 지지 영역(55,56)의 쪽으로 넓어지도록 테이퍼 모양으로 형성되고, 기부(54a)의 한 측면도 또한 아래로 감에 따라 지지 영역(55,56)으로 넓어지도록 테이퍼 모양으로 형성되어 있다. 이로써 융기 부분(54f)의 전후 양 측면 및 기부(54a)의 한 측면에 닿은 기판(11)의 모서리 부분은, 그 테이퍼 면에 의해 지지 영역(55,56)의 규정 위치로 안내된다. 따라서 대응되어 있는 프로파일(54)에 싣는 것만으로, 기판(11)의 네 모서리가 위치 결정되고, 4개의 프로파일(54)의 내측 규정 위치에 기판(11)이 위치 결정되도록 되어 있다.
이와 같이 구성되는 반송 장치(15)는, 구동 모터(53)에 의해 한 쌍의 벨트(51,51)를 동기화 구동하여 4개의 프로파일(54)을 전송 위치에 위치시킬 수 있도록 되어 있다. 전송 위치에 있는 4개의 프로파일(54)은, 전송 장치(14)에 의해 전송 위치로 반송된 기판(11)의 네 모서리와 평면시에서 각각 겹치도록 위치하고 있으며, 그 네 모서리를 각각 지지하도록 되어 있다. 요컨대, 반송 장치(15)는, 전송 장치(14)에 의해 전송 위치까지 반송된 기판(11)을 4개의 프로파일(54)에 의해 받을 수 있도록 되어 있다. 또, 반송 장치(15)는, 수취된 기판(11)을 4개의 프로파일(54)에 의해 규정 위치로 안내하여 위치 결정하고, 받은 기판(11)을 반송 방향인 전방으로 이송하도록 되어 있다.
<이송 장치>
또, 검사 위치의 위쪽에는, 도시하지 않은 검사 장치가 설치되어 있다. 검사 장치는, 기판(11)의 상태, 구체적으로는 손상이나 결손 등이 생긴 불량품을 검출하도록 되어 있다. 그리고 검사 장치의 검출 결과에 따라 불량품을 수취 위치에서 검사 위치 및 전송 위치를 통하여 반송 장치(15) 앞에 있는 반송처까지 이어지는 반송로에서 제거하기 위해 이송 장치(16)가 설치되어 있다.
이송 장치(16)는, 도 1에 나타내는 바와 같이 흡착 핸드(61)(도 1의 2점쇄선 참조), 실린더 기구(62)(도 1의 2점쇄선 참조), 컨베이어(63)를 가지고 있다. 흡착 핸드(61)는, 검사 위치에 있는 기판(11) 위의 흡착 위치에 위치하고, 그 기판(11)의 상면을 흡착 가능하게 구성되어 있다. 흡착 핸드(61)에는, 실린더 기구(62)가 설치되어 있다. 실린더 기구(62)는, 좌우 방향으로 신축 가능하며, 신축함에 따라 흡착 핸드(61)를 흡착 위치와 해제 위치의 사이에서 이동시키도록 구성되어 있다. 흡착 핸드(61)는, 해제 위치에서 기판(11)의 흡착을 해제하여 기판(11)을 그 아래로 떨어뜨리도록 되어 있다. 해제 위치의 아래에는, 컨베이어(63)가 설치되어 있으며, 떨어진 기판(11)은, 컨베이어(63)에 의해 도시하지 않은 슈트(chute)로 이송된다.
이와 같이 구성되는 이송 장치(16)는, 먼저 검사 위치에 있는 기판(11)을 흡착 핸드(61)에 의해 흡착하여 들어 올린다. 그리고 실린더 기구(62)를 움직여 흡착 핸드를 흡착 위치에서 해제 위치로 이동시킨다. 그리고 흡착 핸드(61)의 흡착을 해제하고 기판(11)을 분리하여 해서 컨베이어(63) 위에 떨어뜨린다. 그 후에, 컨베이어(63)에 의해 기판(11)을 슈트로 이송한다. 이로써 이송 장치(16)는, 검사 위치에 있는 불량품의 기판(11)을 반송 방향과 다른 방향으로 이송할 수 있어 불량품의 기판(11)을 반송로에서 제거할 수 있다.
<간격 규제 기구>
또, 반송 장치(15)의 전방 좌우 양측에는, 전송 위치보다 전방으로 간격 규제 기구(17)가 각각 설치되어 있다. 간격 규제 기구(17)는, 한 쌍의 벨트(51,51)의 좌우 방향의 간격을 규제하여 좁히는 기구이며, 도 1에 나타내는 바와 같이 한 쌍의 벨트(51,51) 외측에 각각 1개씩 설치되어 있다. 간격 규제 기구(17)는, 도 9에 나타내는 바와 같이, 기체(71)와 규제부(72)를 가지고 있다. 기체(71)는, 전후 방향으로 연장되는 부재이며, 벨트(51)의 좌우 방향 외측에 위치하고 있다. 기체(71)의 벨트(51) 측의 측면은, 프로파일(54) 외측의 걸림부(54b)와 대향하고 있으며, 거기에는 규제부(72)가 설치되어 있다.
규제부(72)는, 평면에서 보아 대략 사다리꼴 형상으로 형성되어 있으며, 수취 위치 측의 선단 부분이 전방으로 나아감에 따라 벨트(51) 측에 접근하도록 경사져 있다. 그리고 규제부(72)의 중간 부분은, 벨트(51)와 평행하게 연장되어 있다. 이와 같이 형성되어 있는 규제부(72)는, 그 앞을 통과하는 프로파일(54) 외측의 걸림부(54b)에 맞닿도록 배치되어 있으며, 맞닿음으로써 프로파일(54)을 다른 쪽의 벨트(51) 측으로 밀도록 되어 있다(도 6 참조). 이로써 한 쌍의 벨트(51,51)의 간격이 좁아지고, 또 한 쌍의 프로파일(54,54)의 간격이 좁아진다.
이와 같이 한 쌍의 프로파일(54,54)의 간격을 좁힐 수 있음으로써 기부(54a)의 일 측면끼리의 간격이 기판(11)의 폭과 대략 동일해지도록 구성되어 있다. 이로써 기판(11)의 측면이 위치 결정부인 좌우 양측에 있는 기부(54a)에 의해 협지되어 좌우 방향에 있어서 기판(11)이 위치 결정된다. 이와 같이 규제부(72)를 설치함으로써 프로파일(54)을 움직여 기판(11)을 반송하면서 기판(11)의 좌우 방향의 위치 결정을 정밀하게 할 수 있다. 그러므로 기판(11)의 위치 결정을 하기 위한 중지 시간을 없앨 수 있어 반송 및 위치 결정에 필요한 시간을 단축할 수 있다. 한편, 규제부(72)는, 전송 위치까지 연장되어 있지 않다. 그러므로 전송 위치에서는, 한 쌍의 프로파일(54,54)의 간격은 넓은 상태 그대로이고, 기부(54a)의 일 측면끼리의 간격이 기판(11)의 폭보다 약간 크게 되어 있다. 이로써 전송 위치에서 전송 장치(14)에서부터 반송 장치(15)로 기판(11)을 전송할 때 위치 어긋남의 허용 범위를 크게 하여 기판(11)을 4개의 프로파일(54) 위에 놓기 쉽게 되어 있다.
<제어 장치>
이와 같은 구성을 가진 반송 시스템(1)은, 도 1에 나타내는 바와 같이 제어 장치(18)를 더 가지고 있으며, 이 제어 장치(18)에 의해 승강 장치(13), 전송 장치(14), 및 반송 장치(15)의 동작이 제어되고 있다. 이하에서는, 이 제어 장치(18)에 의해 실행되는 반송 작업에 대하여 자세히 설명한다.
<반송 시스템의 동작>
제어 장치(18)는, 승강 장치(13)의 구동 모터(33)를 구동하여 승강대(34)를 내려 수납 케이스(12)에 있어서 가장 아래에 위치하는 기판(11)을 수취 위치까지 내린다. 수취 위치에 도달하였을 때, 제어 장치(18)는, 구동 모터(33)의 구동을 중지한다. 제어 장치(18)는, 그 다음에 구동 기구(42)에 의해 슬라이드 부재(41b)를 후방으로 이동시킨다. 후방으로 이동시킴으로써 재치대(44)의 후측 재치 영역(47a)이 수취 위치로 이동하여 수취 위치에 있는 기판(11)을 후측 재치 영역(47a) 위에 싣는다. 그와 동시에, 전측 재치 영역(47b)도 또한 검사 위치로 이동하여 한 쌍의 지지대(48,48)에 지지되어 있는 기판(11)을 전측 재치 영역(47b) 위에 싣는다. 실은 후에도, 제어 장치(18)는, 슬라이드 부재(41b)를 더 후방으로 이동시킨다. 이로써 후측 재치 영역(47a) 및 전측 재치 영역(47b)은, 2장의 기판(11)을 지지판(23) 및 지지대(47)에서 각각 들어 올려 받는다.
들어 올린 후, 제어 장치(18)는, 구동 기구(42)에 의해 슬라이드 부재(41b)를 전방으로 이동시킨다. 이로써 2장의 기판(11)을 실은 재치대(44)가 수취 위치 및 검사 위치보다 높은 곳을 지나서 전방으로 이동한다. 이윽고, 후측 재치 영역(47a)이 검사 위치에 접근하고, 또 전측 재치 영역(47b)이 전송 위치에 접근하면 재치대(44)가 하강하기 시작한다. 그 상태 그대로 전방으로 계속 이동시키면, 후측 재치 영역(47a)이 검사 위치에 도달하여 그 위에 실려 있던 기판(11)을 한 쌍의 지지대(48,48) 위에 놓는다. 그와 동시에 전측 재치 영역(47b)이 전송 위치에 도달한다.
반송 장치(15)에서는, 4개의 프로파일(54)이 전송 위치의 네 모서리에 각각 배치되어 있으며, 전측 재치 영역(47b)이 전송 위치에 도달하면 전측 재치 영역(47b) 위의 기판(11)의 네 모서리가 4개의 프로파일(54) 상에 각각 놓인다. 실은 후에도 슬라이드 부재(41b)를 앞으로 더 이동시킴으로써 전측 재치 영역(47b)이 기판(11)에서 떨어져 4개의 프로파일(54)에 기판(11)이 전송된다. 마찬가지로, 후측 재치 영역(47a)의 기판(11)은, 한 쌍의 지지대(48,48)에 전송되어 검사 위치에 놓인다.
이와 같이 하여 검사 위치에 놓인 기판(11)은, 도시하지 않은 검사 장치에 의해 그 상태가 검사되고, 그 검사 결과가 제어 장치(18)에 보내진다. 제어 장치(18)는, 기판(11)이 불량품이라고 판정하면, 불량품인 기판(11)을 흡착 핸드(61)에 의해 흡착시켜 컨베이어(63) 위로 옮기고, 컨베이어(63)에 의해 그 기판(11)을 슈트로 이동시킨다. 불량이 아니라고 판정하였을 경우, 제어 장치(18)는, 이송 기구(16)를 구동시키지 않고 검사 위치에서 기판(11)을 대기시킨다.
또, 전송 위치에서 반송 장치(15)에 기판(11)을 전송한 후, 제어 장치(18)는, 구동 모터(53)에 의해 한 쌍의 벨트(51,51)를 동기화하여 회전시킨다. 이로써 4개의 프로파일(54)이 전방으로 이동하여 기판(11)이 전방으로 보내진다. 전방으로 보내진 프로파일(54)은 이윽고 프로파일(54)이 규제부(72)에 부딪쳐 대향하는 한 쌍의 프로파일(54,54)의 간격이 좁혀진다. 이로써 4개의 프로파일(54) 위에 놓인 기판(11)의 좌우 방향의 위치 결정이 이루어진다. 요컨대, 반송 시스템(1)은, 기판(11)을 위치 결정하면서 전방에 있는 소정 위치로 반송할 수 있다.
이와 같이 각 장치(13,14,15,16)의 움직임을 제어하는 제어 장치(18)는, 승강 장치(13) 및 전송 장치(14)의 동작을 전술한 바와 같이 제어하여, 수납 케이스(12)에 수납되어 있는 기판(11)을 한 장씩 수취 위치 및 검사 위치를 통과시켜 전송 위치로 이송하도록 되어 있다. 한편, 반송 장치(15)에서는, 제어 장치(18)가 구동 모터(53)의 움직임을 제어하여 이송되어 오는 기판(11)을 한 장씩 4개의 프로파일(54)에 재치시키도록 되어 있다.
즉, 제어 장치(18)는, 4개의 프로파일(54)에 기판(11)이 재치되면, 구동 모터(53)에 의해 한 쌍의 벨트(51,51)를 전방으로 소정 피치(L)만큼 이동시킨다. 그러면 4개의 프로파일(54)이 소정 피치(L)만큼 전방으로 나아가고 기판(11)이 전방으로 이송되어 다음의 4개의 프로파일(54)이 전송 위치의 네 모서리에 각각 배치된다. 그 다음의 4개의 프로파일(54)에는, 전송 장치(14)에 의해 이송되어 오는 다음의 기판(11)을 전송받아 그 재치 영역에 재치된다. 그리고 제어 장치(18)가, 다시 구동 모터(53)에 의해 한 쌍의 벨트(51,51)를 전방으로 소정 피치(L)만큼 이동시킨다. 이를 반복함으로써 인접한 재치 영역에 기판(11)을 연속적으로 전송할 수 있어 도 1에 나타내는 바와 같이 상측에 위치하는 모든 재치 영역에 대하여 빠짐없이 기판(11)을 배치할 수 있다.
한편, 상술하는 바와 같이 검사 위치에서 기판(11)이 불량품이라고 판정되었을 경우, 검사 위치에서 불량품의 기판(11)이 슈트로 이송되므로 전술한 바와 같이 기판(11)을 반송 장치(15)에 연속적으로 전송할 수 없다. 이 경우, 제어 장치(18)는, 그 다음에 검사 위치에서 불량품이 아니라고 판정되어 기판(11)이 전송 위치로 이송되어 올 때까지 한 쌍의 벨트(51,51)를 돌리지 않고 4개의 프로파일(54)을 전송 위치에 멈춰 두도록 되어 있다. 이로써 불량품의 기판(11)이 이송 장치(16)에 의해 제거되어도 전후 방향으로 늘어서 있는 모든 재치 영역에 한 장씩 기판(11)을 배치할 수 있어 어느 하나의 재치 영역에 기판(11)이 재치되지 않고 한 쌍의 벨트(51,51) 사이에 이빨 빠진 상태로 복수의 기판(11)이 늘어서는 것을 방지할 수 있다.
[수납용 반송 시스템]
이와 같이 구성되는 반송 시스템(1)은, 반도체 처리가 완료된 기판(11A)을 수납 케이스(12)에 수납하는 경우에도 사용할 수 있다. 이하에서는, 수납용 반송 시스템(1A)에 대하여 설명한다. 반송 시스템(1A)은, 상술하는 반송 시스템(1)과 구성이 기본적으로 유사하지만, 도 10에 나타내는 바와 같이 특히 반송 방향, 간격 규제 기구(17A)의 배치 위치, 전송 장치(14A)의 구조가 다르다. 또한, 도 10에서는, 제어 장치(18)의 도시를 생략하고 있다. 반송 시스템(1A)에서는, 전측에 위치하는 4개의 프로파일(54) 위에 기판(11A)이 놓이고, 반송 장치(15)에 의해 기판(11A)이 후방(즉, 전송 장치(14)의 쪽)으로 반송되도록 되어 있다. 이로써 기판(11A)이 한 장씩 전송 위치까지 반송된다.
또, 반송 시스템(1A)에서는, 간격 규제 기구(17A)가 전송 장치(14A) 측에 위치하고 있으며, 전송 장치(14A) 측에 있어서 한 쌍의 벨트(51,51)의 간격을 좁혀 한 쌍의 프로파일(54,54)의 간격을 좁히도록 되어 있다. 이로써 전송 위치로 반송하면서 좌우 방향의 위치 결정을 할 수 있다.
또, 전송 장치(14A)는, 전송 위치에서 기판(11A)을 받아서 수취 위치에서 기판(11A)을 수납 케이스(12)에 수납할 수 있도록 되어 있다. 구체적으로 설명하면, 전송 장치(14A)는, 도 11에 나타내는 바와 같이 캠(43a)이 전측의 스토퍼 부재에 부딪친 후에도 슬라이드 부재(41b)가 앞으로 이동하면, 캠 팔로워(43d)가 캠(43a)의 오목부(43h)에서 전측의 평탄부(43g)에 올라앉도록 되어 있다. 이로써 슬라이드 부재(41b)가 전방으로 이동하면, 전송 위치 근처에서 전측 재치 영역(47b)이 상승하여 수취 위치에 위치하도록 되어 있다(도 11의 화살표(G) 참조). 또, 이 상태에서 슬라이드 부재(41b)를 후방으로 이동시키면, 재치대(44)가 전송 위치, 검사 위치 및 수취 위치보다 높은 곳에서 수평 이동하고 이윽고 캠(43a)이 후측 스토퍼 부재에 부딪친다. 캠(43a)이 후측 스토퍼 부재에 부딪친 후에도 슬라이드 부재(41b)가 후방으로 이동시키면, 전측의 평탄부(43g)에서 오목부(43h)로 내려가도록 되어 있다. 이로써 슬라이드 부재(41b)가 후방으로 이동하면, 검사 위치 근처에서 전측 재치 영역(47b)이 하강하여 검사 위치에 위치하도록 되어 있다(도 11의 화살표(H) 참조).
<수납 동작>
다음으로, 반송 시스템(1A)에 있어서, 기판(11A)을 수납 케이스(12)에 수납하는 동작에 대하여 설명한다. 도시하지 않은 로봇 등에 의해 기판(11A)이 전측에 위치하는 4개의 프로파일(54) 위에 놓이면, 제어 장치(18)는, 구동 모터(53)에 의해 한 쌍의 벨트(51,51)를 회전 시킨다. 이로써 한 쌍의 프로파일(54,54)의 간격이 좁혀지면서 전송 위치 쪽으로 이동하여 기판(11A)이 전송 위치 쪽으로 반송되면서 좌우 방향의 위치가 결정된다. 제어 장치(18)는, 반출 때와 마찬가지로, 프로파일(54)을 소정 피치(L) 이동할 때마다 일단 중지하도록 되어 있다. 즉, 제어 장치(18)는, 각 기판(11A)이 전송 위치에 위치할 때마다 구동 모터(53)의 구동을 중지 한다. 중지한 후, 제어 장치(18)는, 전송 장치(14A)의 슬라이드 부재(41b)를 전방으로 이동시켜 재치대(44)의 전측 재치 영역(47b)을 전송 위치로 이동시킨다. 이로써 전송 위치에 있는 기판(11A)이 전측 재치 영역(47b) 위에 놓이고, 전송 장치(14)가 반송 장치(15)에서 기판(11A)을 받는다. 이때, 검사 위치에 기판(11A)이 있는 경우, 그 기판(11A)은 후측 재치 영역(47a) 위에 재치된다.
전송 위치의 기판(11A)을 재치하면, 제어 장치(18)는, 슬라이드 부재(41b)를 후방으로 움직여 전측 재치 영역(47b)을 검사 위치까지 이동시킨다. 검사 위치 근처에서는, 전측 재치 영역(47b)이 하강하면서 검사 위치를 향하여 이동하기 때문에, 전측 재치 영역(47b)이 검사 위치에 위치함으로써 한 쌍의 지지대(48,48) 위에 전측 재치 영역(47b)의 기판(11A)이 놓여 전송된다.
또, 전측 재치 영역(47b)이 검사 위치까지 이동할 때, 후측 재치 영역(47a)은, 수취 위치로 이동하고 있다. 수취 위치 주변에서는, 전측 재치 영역(47b)과 마찬가지로, 후측 재치 영역(47a)이 하강하면서 수취 위치를 향하여 이동하기 때문에, 수취 위치에 도달하면 그 좌우 양측에 배치된 한 쌍의 지지판(23,23) 위에 기판(11A)의 좌우 양 단부가 놓인다. 놓은 후에도 후측 재치 영역(47a)은 더 하강하여 한 쌍의 지지판(23,23)이 기판(11A)을 받는다. 받은 후, 제어 장치(18)는, 승강 장치(13)에 의해 수납 케이스(12)를 상승시켜 기판(11A)을 받은 한 쌍의 지지판(23,23) 아래에 위치하는 다음의 한 쌍의 지지판(23,23)을 수취 위치로 이동시킨다. 이러한 동작을 반복함으로써 반송 장치(15)에 실린 기판(11A)을 잇달아 정확하고도 쉽게 수납 케이스에 수납할 수 있다.
한편, 검사 위치에서는, 도시하지 않은 검사 장치에 의해 기판(11A) 위의 처리에 결함이 없는지 여부가 검사되고 있으며, 결함이 있을 경우, 제어 장치(18)가 이송 장치(16)를 구동하여 결함이 있는 기판(11A)을 반송로에서 제거하도록 되어 있다. 그리고 기판(11A)이 제거되었을 경우, 검사 위치에서 수취 위치로 이동시키는 기판(11A)이 없기 때문에, 제어 장치(18)는, 검사 후에 후측 재치 영역(47a)이 수취 위치에 도달하여도 승강 장치(13)를 구동시키지 않고 수납 케이스(12)를 대기시키도록 되어 있다. 이로써 상하 방향으로 늘어서는 모든 한 쌍의 지지판(23,23)에 대하여 기판(11)을 지지시켜 수납할 수 있다.
<그 밖의 실시예>
본 실시예의 반송 시스템(1)에서는, 캠 기구(43)에 의해 재치대(44)의 상하 방향의 움직임을 실현하고 있지만, 구동 기구(42)와는 다른 별도의 구동 기구를 설치하여 상하 방향의 움직임을 실현하여도 좋다. 또, 간격 규제 기구(17)는, 한 쌍의 벨트(51,51) 양측에 배치되어 있지만, 어느 한쪽의 벨트(51) 외측에만 설치되어 있어도 좋다. 또한 간격 규제 기구(17)는, 프로파일(54)을 통해 간접적으로 한 쌍의 벨트(51,51)의 간격을 규제하도록 되어 있지만, 벨트(51)를 직접 밀어서 한 쌍의 벨트(51,51)의 간격을 규제하는 구성이어도 좋다. 또, 간격 규제 기구(17)는, 한 쌍의 벨트(51,51)의 간격을 좁혀 규제하는 구성이지만, 전송 위치에서 한 쌍의 벨트(51,51)의 간격을 넓히는 구성이어도 좋다 .
상기 설명으로부터, 당업자에게는, 본 발명의 다양한 개선이나 다른 실시예가 명백하다. 따라서 상기 설명은, 예시로서만 해석되어야 하며, 발명을 실행하는 가장 좋은 측면을 당업자에게 교시할 목적으로 제공된 것이다. 본 발명의 정신을 벗어나지 않고 그 구조 및/또는 기능에 대해 실질적으로 변경할 수 있다.
1,1A: 반송 시스템
11,11A: 기판
12: 수납 케이스
13: 승강 장치
14,14A: 전송 장치
15: 반송 장치
16: 이송 장치
17,17A: 간격 규제 기구
18: 제어 장치
42: 구동 기구
43: 캠 기구
44: 재치대
47a: 후측 재치 영역
47b: 전측 재치 영역
51: 벨트
53: 구동 모터
54: 프로파일
54a: 기부

Claims (6)

  1. 복수의 기판을 상하 방향으로 간격을 두고 수납하기 위한 수납 케이스와,
    상기 수납 케이스를 승강시켜 상기 수납 케이스 내의 상기 기판을 차례로 수취 위치에 위치시키는 승강 장치와,
    상기 수취 위치의 상기 기판을 받아서 전송 위치에서 상기 기판을 건네주는 전송 장치와,
    반송 방향으로 각각 연장되고 또한 소정 방향으로 서로 간격을 가지며 나란하게 설치되어 있는 한 쌍의 반송 벨트와, 서로 대응되어 상기 한 쌍의 반송 벨트에 각각 설치되어 있는 복수의 지지 부재와, 상기 대응되어 있는 복수의 지지 부재가 상기 반송 방향으로 함께 이동하도록 상기 한 쌍의 반송 벨트를 구동하는 반송 유닛을 갖고, 상기 전송 위치에서 상기 기판을 받아서 반송하는 반송 장치와,
    상기 한 쌍의 반송 벨트의 상기 소정 방향의 간격을 규제하는 간격 규제 기구를 구비하며,
    상기 한 쌍의 반송 벨트에 서로 대응되어 설치되어 있는 상기 지지 부재는, 상기 간격 규제 기구에 의해 상기 한 쌍의 반송 벨트의 상기 소정 방향의 간격이 좁혀져 있지 않은 상태에서 상기 전송 위치에서 건네받은 상기 기판의 외연부를 지지하고, 상기 간격 규제 기구에 의해 상기 한 쌍의 반송 벨트의 상기 소정 방향의 간격을 좁힘으로써 해당 지지된 기판을 규정 위치로 위치 결정하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 반송 시스템.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 한 쌍의 반송 벨트에 서로 대응되어 각각 설치되어 있는 상기 지지 부재는, 상기 기판의 상기 소정 방향 양측의 외연부를 각각 지지하는 지지부와, 상기 기판의 소정 방향의 측면을 위치 결정하기 위한 상기 소정 방향으로 대향하는 위치 결정부를 각각 갖는 것을 특징으로 하는 반송 시스템.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 지지 부재는, 상기 기판을 재치하면 상기 규정 위치로 안내하도록 상기 기판을 지지하는 부분이 테이퍼 모양으로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 반송 시스템.
  4. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 전송 장치는, 상기 기판을 싣는 재치대와, 상기 재치대를 수취 위치와 전송 위치 사이에서 이동시키는 이동 유닛과, 상기 재치대의 이동에 연동하여 상기 재치대를 승강시키는 승강용 캠 기구를 가지며,
    상기 승강용 캠 기구는, 상기 재치대를 상기 수취 위치로 이동시키면 상기 재치대를 들어 올려 상기 재치대 위에 상기 기판을 받고, 상기 재치대를 상기 전송 위치로 이동시키면 상기 재치대를 하강시켜 상기 기판을 상기 복수의 지지 부재에 건네주도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 반송 시스템.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 수취 위치와 상기 전송 위치 사이의 중간 위치에 설치되어 상기 중간 위치에 있는 상기 기판을 그 상태에 따라 반송 방향과 다른 방향으로 이송하는 이송 장치와,
    상기 반송 유닛 및 상기 이송 장치의 움직임을 제어하는 제어 장치를 구비하며,
    상기 재치대는, 상기 기판을 재치하기 위한 제1 영역 및 제2 영역을 갖고,
    상기 제1 영역은, 상기 재치대를 상기 수취 위치로 이동시키면 상기 수취 위치에서 건네받는 상기 기판을 받고, 상기 재치대를 상기 전송 위치로 이동시키면 상기 재치되어 있는 상기 기판을 상기 중간 위치에 놓아두도록 구성되고,
    상기 제2 영역은, 상기 재치대를 상기 수취 위치로 이동시키면 상기 중간 위치에 있는 상기 기판을 받고, 상기 재치대를 상기 전송 위치로 이동시키면 재치되어 있는 상기 기판을 상기 대응되어 있는 복수의 지지 부재에 건네주도록 구성되며,
    상기 대응되어 있는 복수의 지지 부재는, 상기 반송 벨트에 상기 반송 방향으로 나란히 복수 쌍으로 설치되어 있고,
    상기 제어 장치는, 상기 전송 장치가 상기 전송 위치에 위치한 후에 상기 기판의 상기 반송 방향의 길이만큼 상기 반송 유닛에 의해 상기 반송 벨트를 보내고, 상기 이송 장치에 의해 상기 기판이 이송되면 상기 전송 장치가 상기 전송 위치에 위치한 후에도 상기 반송 유닛에 의해 상기 반송 벨트를 보내지 않도록 되어 있는 것을 특징으로 하는 반송 시스템.
  6. 반송 방향으로 각각 연장되고 또한 소정 방향으로 서로 간격을 가지며 나란하게 설치되어 있는 한 쌍의 반송 벨트와, 서로 대응되어 상기 한 쌍의 반송 벨트에 각각 설치되어 있는 복수의 지지 부재와, 상기 대응되어 있는 복수의 지지 부재가 상기 반송 방향으로 함께 이동하도록 상기 한 쌍의 반송 벨트를 구동하는 반송 유닛을 가지며, 받은 기판을 수취 위치로 반송하는 반송 장치와,
    상기 한 쌍의 반송 벨트의 상기 소정 방향의 간격을 규제하는 간격 규제 기구와,
    상기 수취 위치에서 상기 반송 장치로부터 상기 기판을 받아서 전송 위치에서 상기 기판을 건네주는 전송 장치와,
    상기 전송 장치에 의해 건네받는 상기 기판을 수납하기 위한 수납 스페이스가 상하 방향으로 간격을 두고 위치하고 있는 수납 케이스와,
    상기 수납 케이스를 승강시켜 상기 수납 케이스의 상기 수납 스페이스를 차례로 수취 위치에 위치시키는 승강 장치를 구비하며,
    상기 한 쌍의 반송 벨트에 서로 대응되어 설치되어 있는 상기 지지 부재는, 상기 간격 규제 기구에 의해 상기 한 쌍의 반송 벨트의 상기 소정 방향의 간격이 좁혀져 있지 않은 상태에서 상기 전송 위치에서 건네받은 상기 기판의 외연부를 지지하고, 상기 간격 규제 기구에 의해 상기 한 쌍의 반송 벨트의 상기 소정 방향의 간격을 좁힘으로써 해당 지지된 기판을 규정 위치로 위치 결정하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 반송 시스템.
KR1020147002197A 2011-09-29 2012-09-06 반송 시스템 KR101595920B1 (ko)

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