JP2013074241A - 搬送システム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 搬送システム1は、収納ケース12と、昇降装置13と、受渡装置14と、搬送装置15とを備えている。昇降装置13は、収納ケース12を昇降させてその中の各基板11を順に受取位置に位置させる。受渡装置14は、受取位置の基板11を受取って受渡位置にて搬送装置15に渡す。搬送装置15は一対のベルト51,51を有している。一対のベルト51,51は、左右方向に間隔をあけて設けられ、そこには複数のプロファイル54が互いに対応付けて夫々設けられている。対応付けられたプロファイル54は、搬送方向に一緒に移動し、また受渡位置にて渡された基板11の外縁部を支持し且つその基板11を規定位置へと位置決めするよう構成されている。
【選択図】 図1
Description
搬送システム1は、複数の基板11を収納ケース12から一枚一枚取り出して所定位置まで搬送するための搬出用の搬送システムである。搬送システム1は、図1及び2に示すように収納ケース12と、昇降装置13と、受渡装置14と、搬送装置15と、移送装置16と、間隔規制機構17を備えている。
収納ケース12は、図3に示すように、一対の側壁22,22を有している。一対の側壁22,22は、その内面が対向するように左右両側に位置している。各側壁22の内面には、複数の支持板23が各々対応付けて設けられている。支持板23は、上下方向に等間隔をあけて配置されており、側壁22の内面から他方の側壁22に向かって突出するように延在している。各支持板23の上面は、他方の側壁22の対応している支持板23の上面と略面一となっており、対応付けられている2つの支持板23、つまり一対の支持板23,23によって基板11の両側縁部を支持するようになっている。この一対の側壁22,22の間に基板11を挿入して基板11を一対の支持板23,23に支持させることで、基板11が収納ケース12に収納される。このように基板11が収納されている収納ケース12は、昇降装置13に載置されている。
昇降装置13は、基台31と、ボールねじ機構32と、駆動モータ33と、昇降台34とを有している。基台31は、大略箱状に形成されており、そこには、上下方向に延在するボールねじ機構32が設けられている。また、基台31内には、駆動モータ33が設けられている。駆動モータ33は、サーボモータであり、ボールねじ機構32のボールねじ(図示せず)を回転駆動してボールねじに設けられたスライダ(図示せず)を昇降するようになっている。このスライダには、昇降台34が設けられている。昇降台34は、水平方向に延在しており、その上に収納ケース12が載置されている。このように構成されている昇降装置13は、駆動モータ33によってボールねじ機構32を駆動して昇降台34に載置されている収納ケース12を昇降するようになっており、下降させることで各基板11を所定の高さにある受取位置まで降ろすように構成されている。このように構成されている昇降装置13の前側には、受渡装置14が配置されている。
受渡装置14は、昇降装置13によって受取位置まで降ろされた基板11を受取って後述する受渡位置まで移送するように構成されている(図2の実線及び2点鎖線参照)。受渡装置14は、図4に示すように、スライダ機構41と、駆動機構42と、カム機構43と、載置台44とを有している。スライダ機構41は、ガイド部材41aと、スライド部材41bとを有している。ガイド部材41aは、前後方向に延在する部材であり、このガイド部材41aには、スライド部材41bが前後方向に摺動可能に設けられている。このように構成されるスライダ機構41には、駆動機構42が設けられている。
搬送装置15は、載置領域47bの上に載せられた基板11を受渡位置にて受取り、その後、基板11を所定位置まで搬送するように構成されている。搬送装置15は、図1及び図2に示すように、基本的に一対のベルト51,51と、複数のプーリー52と、駆動モータ53と、複数のプロファイル54とを有している。搬送ベルトである一対のベルト51,51は、無端環状の歯付きベルトであり、互いに左右方向に間隔をあけて前後方向に延在している。各ベルト51の前後部分には、プーリー52が夫々配置されており、ベルト51は、これら前後2つのプーリー52に張架されている。また、前側に配置されている2つのプーリー52は、搬送ユニットである駆動モータ53の出力軸に夫々連結されている。この駆動モータ53を駆動することによってプーリー52が回転し、一対のベルト51,51が同期して動くようになっている。このように同期して動く一対のベルト51,51の各々には、複数のプロファイル54が設けられている。
また、検査位置の上方には、図示しない検査装置が設けられている。検査装置は、基板11の状態、具体的には損傷や欠損等した不良品を検出するようになっている。そして、検査装置の検出結果に基づいて不良品を受取位置から検査位置及び受渡位置を介して搬送装置15の前側にある搬送先まで続く搬送路から取り除くべく移送装置16が設けられている。
また、搬送装置15の後方の左右両側には、受渡位置より前方に間隔規制機構17が夫々設けられている。間隔規制機構17は、一対のベルト51,51の左右方向の間隔を規制して狭める機構であり、図1に示すように一対のベルト51,51の外側に夫々1つずつ設けられている。間隔規制機構17は、図9に示すように、基体71と、規制部72とを有している。基体71は、前後方向に延在する部材であり、ベルト51の左右方向の外側に位置している。基体71のベルト51側の側面は、プロファイル54の外側の係止部54bと対向しており、そこには、規制部72が設けられている。
このような構成を有する搬送システム1は、図1に示すように更に制御装置18を有しており、この制御装置18によって昇降装置13、受渡装置14、及び搬送装置15の動作が制御されている。以下では、この制御装置18によって実行される搬送作業について詳述する。
制御装置18は、昇降装置13の駆動モータ33を駆動して昇降台34を下げ、収納ケース12において最も下に位置する基板11を受取位置まで降ろす。受取位置に達したところで、制御装置18は、駆動モータ33の駆動を停止する。制御装置18は、次に駆動機構42によりスライド部材41bを後方に移動させる。後方に移動させることで、載置台44の後側載置領域47aが受取位置に移動し、受取位置にある基板11を後側載置領域47aの上に載せる。それと同時に、前側載置領域47bもまた検査位置に移動し、一対の支持台48,48に支持されている基板11を前側載置領域47bの上に載せる。載せた後も、制御装置18は、スライド部材41bを更に後方に移動させる。これにより、後側載置領域47a及び前側載置領域47bは、2枚の基板11を支持板23及び支持台47から夫々持ち上げて受取る。
このように構成される搬送システム1は、半導体処理済の基板11Aを収納ケース12に収納する場合にも使用することができる。以下では、収納用の搬送システム1Aについて説明する。搬送システム1Aは、上述する搬送システム1と構成が基本的に類似しているが、図10に示すように特に搬送方向と、間隔規制機構17Aの配置位置と、受渡装置14Aの構造が異なる。なお、図10では、制御装置18の図示を省略している。搬送システム1Aでは、前側に位置する4つのプロファイル54上に基板11Aが載せられ、搬送装置15によって基板11Aが後方(即ち、受渡装置14の方)に搬送されるようになっている。これにより、基板11Aが一枚ずつ受渡位置まで搬送される。
次に、搬送システム1Aにおいて、基板11Aを収納ケース12に収納する動作について説明する。図示しないロボット等により基板11Aが前側に位置する4つのプロファイル54上に載せられると、制御装置18は、駆動モータ53によって一対のベルト51,51を回転させる。これにより、一対のプロファイル54,54の間隔が狭められながら受渡位置の方へと移動し、基板11Aが受渡位置の方へと搬送されながら左右方向の位置が決めされる。制御装置18は、搬出時と同様に、プロファイル54を所定ピッチL移動する度に一旦停止するようになっている。即ち、制御装置18は、各基板11Aが受渡位置に位置する度に駆動モータ53の駆動を停止する。停止した後、制御装置18は、受渡装置14Aのスライド部材41bを前方に移動させて載置台44の前側載置領域47bを受渡位置に移動させる。これにより、受渡位置にある基板11Aが前側載置領域47b上に載り、受渡装置14が搬送装置15から基板11Aを受取る。この際、検査位置に基板11Aがある場合、その基板11Aは後側載置領域47a上に載置される。
本実施形態の搬送システム1では、カム機構43により載置台44の上下方向の動きを実現しているが、駆動機構42とは異なる別の駆動機構を設けて上下方向の動きを実現してもよい。また、間隔規制機構17は、一対のベルト51,51の両側に配置されているが、何れか一方のベルト51の外側だけに設けられていてもよい。また、間隔規制機構17は、プロファイル54を介して間接的に一対のベルト51,51の間隔を規制するようになっているが、ベルト51を直接押して一対のベルト51,51の間隔を規制するような構成であってもよい。また、間隔規制機構17は、一対のベルト51,51の間隔を狭めて規制するような構成であるが、受渡位置にて一対のベルト51,51の間隔を広げるような構成であってもよい。
11,11A 基板
12 収納ケース
13 昇降装置
14,14A 受渡装置
15 搬送装置
16 移送装置
17,17A 間隔規制機構
18 制御装置
42 駆動機構
43 カム機構
44 載置台
47a 後側載置領域
47b 前側載置領域
51 ベルト
53 駆動モータ
54 プロファイル
54a 基部
Claims (6)
- 複数の基板を上下方向に間隔をあけて収納するための収納ケースと、
前記収納ケースを昇降させて前記収納ケース内の前記基板を順に受取位置に位置させる昇降装置と、
前記受取位置の前記基板を受取り、受渡位置にて前記基板を渡す受渡装置と、
前記受渡位置にて前記基板を受取って搬送する搬送装置とを備え、
前記搬送装置は、搬送方向に夫々延在し且つ所定方向に互いに間隔を有して並ぶように設けられている複数の搬送ベルトと、互いに対応付けられて前記複数の搬送ベルトに夫々設けられている複数の支持部材と、前記対応付けられている複数の支持部材が前記搬送方向に一緒に移動するように前記複数の搬送ベルトを駆動する搬送ユニットとを有し、
前記複数の搬送ベルトに対応付けられて設けられている前記支持部材は、前記受渡位置にて渡された前記基板の外縁部を支持し且つ当該支持した基板を規定位置へと位置決めするよう構成されている、搬送システム。 - 前記複数の搬送ベルトのうちの一対の搬送ベルトの前記所定方向の間隔を規制する間隔規制機構を備え、
前記一対の搬送ベルトに互いに対応付けられて夫々設けられている前記支持部材は、前記基板の前記所定方向両側の外縁部を夫々支持する支持部と前記基板の所定方向の側面を位置決めするための前記所定方向に対向する位置決め部とを夫々有し、
前記間隔規制機構により前記一対の搬送ベルトの前記所定方向の間隔を狭められていない状態で、前記一対の搬送部材の互いに対応付けられた前記支持部材が前記受渡位置にて渡された前記基板の外縁部を支持し、前記間隔規制機構により前記一対の搬送ベルトの前記所定方向の間隔を狭めることで、当該支持した基板を前記規定位置へと位置決めするよう構成されている、請求項1に記載の搬送システム。 - 前記支持部材は、前記基板を載置すると前記規定位置に案内するよう前記基板を支持する部分がテーパ状に形成されている、請求項1又は2に記載の搬送システム。
- 前記受渡装置は、前記基板を載せる載置台と、前記載置台を受取位置と受渡位置との間で移動させる移動ユニットと、前記載置台の移動に連動して前記載置台を昇降させる昇降用カム機構とを有し、
前記昇降用カム機構は、前記載置台を前記受取位置に移動させると前記載置台を持ち上げて前記載置台上に前記基板を受け取り、前記載置台を前記受渡位置に移動させると前記載置台を下降させて前記基板を前記複数の支持部材に渡すよう構成されている、請求項1乃至3の何れか1つに記載の搬送システム。 - 前記受取位置と前記受渡位置との間の中間位置に設けられ、前記中間位置にある前記基板をその状態に応じて搬送方向と異なる方向に移送する移送装置と、
前記搬送ユニット及び前記移送装置の動きを制御する制御装置とを備え、
前記載置台は、前記基板を載置するための第1及び第2領域を有し、
前記第1領域は、前記載置台を前記受取位置へと移動させると前記受取位置で渡される前記基板を受取り、前記載置台を前記受渡位置へと移動させると前記載置されている前記基板を前記中間位置に置くよう構成され、
前記第2領域は、前記載置台を前記受取位置へと移動させると前記中間位置にある前記基板を受取り、前記載置台を前記受渡位置へと移動させると前記載置されている前記基板を前記対応付けられている複数の支持部材に渡すよう構成され、
前記対応付けられている複数の支持部材は、前記搬送ベルトに前記搬送方向に並べて複数組み設けられており、
前記制御装置は、前記受渡装置が前記受渡位置に位置した後に前記基板の前記搬送方向の長さだけ前記搬送ユニットにより前記搬送ベルトを送り、前記移送装置により前記基板が移送されると前記受渡装置が前記受渡位置に位置した後でも前記搬送ユニットにより前記搬送ベルトを送らないようになっている、請求項4に記載の搬送システム。 - 受取った基板を前記受取位置に搬送する搬送装置と、
前記受取位置にて前記搬送装置から前記基板を受取り、受渡位置にて前記基板を渡す受渡装置と、
前記受渡装置により渡される前記基板を収納するための収納スペースが上下方向に間隔をあけて位置している収納ケースと、
前記収納ケースを昇降させて前記収納ケースの前記収納スペースを順に受取位置に位置させる昇降装置とを備え、
前記搬送装置は、搬送方向に夫々延在し且つ所定方向に互いに間隔を有して並ぶように設けられている複数の搬送ベルトと、互いに対応付けられて前記複数の搬送ベルトに夫々設けられている複数の支持部材と、前記対応付けられている複数の支持部材が前記搬送方向に一緒に移動するように前記複数の搬送ベルトを駆動する搬送ユニットとを有し、
前記複数の搬送ベルトに対応付けて設けられている前記支持部材は、受取った前記基板の外縁部を支持し且つ当該支持した前記基板を規定位置へと位置決めするよう構成されている、搬送システム。
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