CN112133654A - 对齐模块 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及一种基板处理系统，尤其涉及一种结合运送模块、工序模块等进行基板的对齐之后，用于供给基板至运送模块、工序模块等的对齐模块。本发明提供一种从外部导入两张直四角形基板(1)后，在向水平方向平行配置的状态下，排列所述两张直四角形基板(1)的水平位置的对齐模块。
Description
技术领域
本发明涉及一种基板处理系统，尤其涉及一种结合送还模块、工序模块等，基板对齐后，用于供给基板至送还模块、工序模块等的对齐模块。
背景技术
基板处理系统根据装载锁定模块和工序模块的结合及配置，分为集群类型和直线类型。
集群类型指的是，其中设置有装载锁定模块和工序模块，所述真空模块是以一个送还模块为中心从外部导入基板，所述工序模块是结合于送还模块，接收从送还模块供给的基板从而进行处理。
直线类型指的是，依次配置有装载锁定模块、工序模块和卸载模块。
此处，装载锁定模块作为基板处理之前执行所需功能的模块，根据需要可具有多种结构，具体地说，可在从外部向送还模块或工序模块导入基板之前执行排列、预热等，并且执行压力变换功能，以从外部的大气压中向真空的送还模块或工序模块传递基板。
另外，包括装载锁定模块的基板处理系统以6代、7代、8代等基板处理为标准，根据基板的大小其大小增加，一般根据增加的基板规格，大小、排列功能、方式等为最佳。
但是，如上所述，各大小最佳的基板处理系统不能用于不同规格，即，不同大小的基板处理中，为了大小不同的基板处理，需要重新设置其大小最佳的基板处理系统，但存在产生额外投资费用的问题。
发明内容
(要解决的问题)
为了解决如上所述的问题，本发明的目的在于，提供一种对齐模块从外部导入两张基板后，同时对两张基板执行排列。
本发明的另一目的在于，提供一种对齐模块，从一个支点的中央部和两个支点的侧面部执行两张基板的排列，由此，通过对齐模块使所需空间最小化。
(解决问题的手段)
本发明是为了达成所述目的而创出，本发明公开一种从外部导入两张直四角形基板1后，在沿水平方向平行配置的状态下，排列所述两张直四角形基板1的水平位置的对齐模块，其特征在于，包括：对齐腔室100，形成密闭的内部空间；及基板支承部件130，设置在所述对齐腔室100上，支承所述两张基板1；及对齐部200，设置在所述对齐腔室100上，排列通过所述基板支承部件130支承的两张直四角形基板1的水平位置。
所述对齐部200包括：中央排列部210，从所述两张直四角形基板1 构成的第一直四角形的一侧向所述两张直四角形基板1相对的一对内侧边之间进行线形移动，从而支承一对内侧边；及一对侧面排列部220，在所述两张直四角形基板1的顶点中，将所述中央排列部件212的位置安置在对向对角线方向的所述两张直四角形基板1的顶点上，从而通过旋转和线形移动中至少任意一种方式沿水平方向分别加压所述两张直四角形基板1。
所述中央排列部210包括：一对中央排列部件212，分别支承所述一对内侧边，及排列部件移动部214，从所述第一直四角形的一侧向所述一对内侧边之间线形移动所述一对中央排列部件212。
所述中央排列部210还包括：主体部215，设置有所述一对中央排列部件212，并通过所述排列部件移动部214进行线形移动。
所述中央排列部210还包括：旋转部件213，沿水平方向以一定间隔设置有所述一对中央排列部件212，并以所述第一直四角形构成垂直的旋转轴为中心，设置在所述主体部215上，并且可旋转，及旋转工具，当所述一对中央排列部件212位于所述一对内侧边之间时，旋转所述旋转部件 213，以使所述一对中央排列部件212构成的所述基板1配置方向的相对距离增加。
所述旋转工具包括：第一制动器216c，设置在通过排列部件移动部 214而移动的所述旋转部件213的线形移动通路的上前方，及反射器216a，从与旋转部件213的旋转中心偏离的位置向旋转部件213的旋转轴方向凸出而设置，并当旋转部件213线形移动时，卡在第一制动器216c上，从而旋转旋转部件213。
所述旋转工具还包括：弹性部件216b，其在与旋转部件213的旋转中心偏离的位置上，所述弹性部件216b结合在旋转部件213上，向由一对中央排列部件212构成的基板1配置方向的相对距离减少的方向，通过弹力复原旋转所述旋转部件213。
所述旋转工具还包括：第二制动器216d，当所述旋转部件213从所述一对内侧边之间向所述第一直四角形外侧后退而进行线形移动时，反射器 216a被卡住，所述第二制动器216d朝向所述一对中央排列部件212构成的所述基板1配置方向的相对距离减小的方向旋转所述旋转部件213。
所述中央排列部210包括：多个中央排列部件212，支承所述一对内侧边，以与基板1配置方向构成垂直的水平假想中心线L为标准，从所述水平假想中心线L的最外侧部分S向基板1方向移动的同时，靠近所述水平假想中心线L配置。
所述中央排列部210包括：排列部件移动部214，从所述第一直四角形的一侧向所述一对内侧边之间线形移动所述多个中央排列部件212。
所述中央排列部210包括：主体部215，设置有所述多个中央排列部件212，并通过所述排列部件移动部214进行线形移动。
此时，第一假想配置线A1和第二假想配置线A2以所述水平假想中心线L为中心构成线对称，
此处，所述多个中央排列部件212构成圆柱状，其中心沿着所述第一假想配置线A1和第二假想配置线A2而配置。
所述多个中央排列部件212的外径相同。
所述多个中央排列部件212远离基板1的同时，其外径增加。
所述多个中央排列部件212沿着所述水平假想中心线L以一列配置，并在远离基板1的同时，其外径增加。
所述中央排列部210还包括间隔扩张部件218，所述间隔扩张部件218 以朝向所述一对内侧边的方向为标准，从所述中央排列部件212的前方进入至所述内侧边之间，当由于线形移动导致所述内侧边之间的间隔比预先设定的最小间隔小时，加压所述内侧边从而使所述一对内侧边之间的间隔扩张。
所述间隔扩张部件218向所述一对内侧边的方向移动的同时，其水平宽度呈现逐渐减小的锥形形状。
所述中央排列部210包括：一对外廓支承部件219，朝向所述两张基板1的配置方向设置在所述主体部215上，分别支承与所述内侧边邻接的所述两张直四角形基板1的外侧边。
所述一对外廓支承部件219可调整朝向所述内侧边方向的设置位置。
所述中央排列部件212是以偏离水平截面中心的旋转轴为中心设置。
从水平方向看时，所述中央排列部件212与所述基板1接触的位置位于中央部的上侧或下侧。
所述外廓支承部件219以偏离水平截面中心的旋转轴为中心可进行旋转。
从水平方向看时，所述外廓支承部件219与所述基板1接触的位置位于中央部的上侧或下侧。
(发明的效果)
根据本发明的对齐模块，具有从外部导入两张基板后，同时对两张基板执行排列的优点。
并且，根据本发明的对齐模块，从一个支点的中央部和两个支点的侧面部执行两张基板的排列，由此，具有通过对齐模块最小化所需空间的优点。
附图说明
图1是示出根据本发明基板处理系统一例的概念图。
图2是示出根据本发明对齐模块结构的平面图。
图3是沿图2对齐模块Ⅲ-Ⅲ方向的垂直截面图。
图4a和图4b是示出图2对齐模块第一实施例的一部分平面图。
图5是沿图4b中Ⅰ-Ⅰ方向截面图。
图6是示出图4a和图4b的中央排列部件运转的平面图。
图7a和图7b是示出图2对齐模块第二实施例的一部分平面图。
图8是沿图7bⅡ-Ⅱ方向的截面图。
图9是示出图2对齐模块第三实施例的一部分平面图。
图10是示出图2对齐模块第四实施例的一部分平面图。
图11a和图11b是作为图2对齐模块的侧面排列部的一实施例，示出结构和运转的一部分平面图。
附图标记说明
1：基板 100：对齐腔室
200：对齐部 210：中央排列部
220：侧面排列部
具体实施方式
以下，参照附图对本发明对齐模块进行详细说明。
尤其，根据本发明的对齐模块若是从外部导入基板1后，进行排列之后运出的结构，则不仅仅可以是装载锁定模块，可以是任何模块。
并且，根据本发明的对齐模块可用于集群类型和直线类型等蚀刻、沉积等基板处理的基板处理系统中。
例如，根据本发明的对齐模块作为设置有装载锁定模块的基板处理系统的一例，如图1所示，其中包括：对齐模块，通过传送机器人11从外部导入两张基板1，及送还模块20，结合对齐模块，通过送还机器人22 从对齐模块10引出基板1，及多个工序模块50，结合在送还模块20上，通过送还机器人22接收传递的基板1，从而执行基板处理。
此处，在所述各模块上，设置有闸门阀31、32、41，以相互隔离。
所述送还模块20作为结合对齐模块10，并通过送还机器人22从对齐模块10引出基板1的结构，也可以是包括送还腔室21和安装在送还腔室 21的送还机器人22的多种结构。
所述工序模块50作为对通过送还机器人22导入的基板1执行蚀刻、沉积等基板处理工序的结构，也可以是根据包括工序腔室51等的多种基板处理种类的多种结构。
如图1至图11b所示，根据本发明的对齐模块作为从外部导入两张直四角形基板1后，在向水平方向平行配置的状态下，排列所述两张直四角形基板1的水平位置的结构，其中包括：对齐腔室100，形成密闭的内部空间；及基板支承部件130，设置在所述对齐腔室100上，从而支承所述两张基板1；及对齐部200，设置在所述对齐腔室100上，排列通过所述基板支承部件130支承的两张直四角形基板1的水平位置。
所述对齐腔室100作为形成密闭的内部空间的结构，其中包括：腔室主体110，上侧开口并呈直六面体状，及上部盖部120，可拆卸结合在腔室主体110上。
所述腔室主体110的结构为，如图2所示，形成有至少一个闸111、 112，相互相对，用于导入和排出基板1。
另外，所述对齐腔室100为了压力转换，设有类似于真空泵的压力转换装置，以根据安装环境，实现从大气压下的外部完成真空压下的送还模块20的传递。
并且，所述对齐腔室100根据基板处理的种类，为了预热等可以安装加热器等。
所述基板支承部件130作为设置在对齐腔室100，支承通过传送机器人11等导入的两张基板1的结构，也可以是多种结构。
作为一例，所述基板支承部件130可以由从对齐腔室100的底部向上侧突出形成的提升杆构成。
并且，所述基板支承部件130可以由韩国公开专利公报第 10-2014-0119283号中，图3c等所公开的基板支承单元3构成。
另外，所述基板支承部件130可上下移动设置。
并且，所述基板支承部件130以支承两张基板1为基础，以两张基板 1相互向上下方向具有高度差。
所述对齐部200作为设置在对齐腔室100上，排列通过基板支承部件 130支承的两张直四角形基板1的水平位置的结构，也可以是多种结构。
尤其，如图2至图11b所示，所述对齐部200包括：中央排列部210，从由所述两张直四角形基板1构成的第一直四角形的一侧向所述两张直四角形基板1相对的一对内侧边之间线形移动，从而支承所述一对内侧边；及一对侧面排列部220，在所述两张直四角形基板1的顶点中，将所述中央排列部件212位置在朝对角线方向相对的所述两张直四角形基板1的顶点上，通过旋转和线形移动中至少任意一种方式分别向水平方向加压所述两张直四角形基板1。
所述中央排列部210作为支承朝向所述两张直四角形基板1的水平方向相对的一对内侧边的结构，也可以是多种结构。
所述中央排列部210从由所述两张直四角形基板1构成的第一直四角形的一侧向所述两张直四角形基板1相对的一对内侧边之间线形移动，从而支承所述一对内侧边。
作为一例，如4a至图10所示，所述中央排列部210包括：中央排列部件212，以水平截面为圆形或椭圆形的圆柱或椭圆柱状形成，支撑所述一对内侧边。
以下，如图4a至图10所示，对根据本发明第一至第四实施例的中央排列部210进行详细说明。
首先，在第一实施例中，如图4a至图6所示，所述中央排列部210 包括：一对中央排列部件212，分别支承一对内侧边，及排列部件移动部 214，从第一直四角形的一侧向一对内侧边之间线形移动所述一对中央排列部件212。所述中央排列部件212以偏离水平截面中心的旋转轴为中心，并可进行旋转。
此时，所述中央排列部件212若是贴紧基板1从而可旋转的材质，则可以是多种材质，为了将和基板1的摩擦最小化而产生粒子问题，优选为，以合成树脂材质形成。
作为一例，所述中央排列部件212包括：保护部件212a，结合在与基板1接触的外周面上，并且是合成树脂材质。此时，为了加工性和耐热性等，优选为，所述保护部件212a由PEEK(Polyether ether ketone)材质构成。
并且，为了较容易地维护，所述保护部件212a可拆卸地结合在中央排列部210上，由于同基板1的摩擦导致损伤时，保护部件212a的外周面以上下相反的状态再次结合在中央排列部210上从而使用。
此时，优选为，从水平方向看时(以旋转轴方向为标准)，所述中央排列部件212的保护部件212a与基板1接触的位置位于中央部的上侧或下侧。
并且，如图5所示，所述保护部件212a的结合位置可上下移动。由此，本发明的结构为，当基板1贴紧所述保护部件212a的支点由于使用而导致磨损时，使基板1贴紧在无磨损的部分上，并且上下调整保护部件 212a的结合位置，由此，可以延长维护保护部件212a的时间至最久。
另外，优选为，所述中央排列部件212在排列基板之后，通过送还机器人22运出前从一对内侧边之间后退。
即，所述对齐部200包括：排列部件移动部214，从所述第一直四角形的一侧向所述一对内侧边之间线形移动所述一对中央排列部件212。
所述排列部件移动部214设置在对齐腔室100的一侧，向与一对内侧边平行的方向线形移动中央排列部件212，可以使中央排列部件212位于内侧边之间或后退。
所述排列部件移动部214作为结合所述中央排列部件212，从而在排列基板时，将所述一对中央排列部件212位于所述两张基板1的一对内侧边之间，并在基板排列后，将所述中央排列部件212从所述两张基板1的一对内侧边之间后退的结构，也可以是多种结构。
此时，所述排列部件移动部214包括：波纹管，结合中央排列部件212，向与内侧边平行的水平方向线形移动。
此时，如图4a和图4b所示，所述中央排列部210包括：一对中央排列部件212，分别支承一对内侧边；及排列部件移动部214，从第一直四角形的一侧向一对内侧边之间线形移动一对中央排列部件212,；及主体部 215，设有一对中央排列部件212，并通过排列部件移动部214进行线形移动。
所述主体部215设有一对中央排列部件212，并在一端结合排列部件移动部214，以一对中央排列部件212向两张基板1的内侧边之间前后进。
即，如图4a所示，所述主体部215的一端结合有排列部件移动部214，另一端设置有一对中央排列部件212。
并且，所述主体部215的一面上形成有刻度215c，用于通过视口113 确认通过中央排列部210的基板1排列状态，其中，所述视口113设在对齐腔室100上。
另外，设置在所述主体部215上的一对中央排列部件212向水平方向有间隔地设置。
此时，优选为，所述一对中央排列部件212在位于一对内侧边之间之前，对于基板1配置方向的相对距离为最小状态后，又在位于一对内侧边之间时，对于基板1配置方向的相对距离为最大。
由此，所述中央排列部210的一对中央排列部件212沿水平方向以一定间隔的方式设置，其中还包括：旋转部件213，以与第一直四角形构成垂直的旋转轴为中心，可旋转地设置在主体部215上，及旋转工具，当一对中央排列部件212位于一对内侧边之间时，旋转旋转部件213，以使一对中央排列部件212构成的基板1配置方向的相对距离增加。
在所述旋转部件213的一面上，沿水平方向以留有一定间隔的方式设置有一对中央排列部件212。
所述旋转部件213以与第一直四角形构成垂直的旋转轴为中心，可旋转地设置在主体部215上。
此时，优选为，所述旋转轴作为贯通旋转部件213水平截面中心的轴，与一对中央排列部件212的中心一致。
所述旋转工具的结构为，当一对中央排列部件212位于一对内侧边之间时，旋转旋转部件213，以使一对中央排列部件212构成的基板1配置方向的相对距离增加，所述旋转工具也可以是多种结构。
在一实施例中，所述旋转工具包括：第一制动器216c，设置在通过排列部件移动部214而移动的旋转部件213的线形移动通路的前面，及反射器216a，从与旋转部件213的旋转中心偏离的位置向旋转部件213的旋转轴方向凸出而设置，并当旋转部件213线形移动时，卡在第一制动器216c 上，从而旋转旋转部件213。
所述制动器216c作为在对齐腔室100的下部面或侧面，设置在通过排列部件移动部214的旋转部件213的线形移动通路前面的结构，也可以是多种结构。
所述反射器216a从与旋转部件213的旋转中心偏离的位置向旋转部件213的旋转轴方向凸出而设置。
所述反射器216a设置在与旋转部件213的旋转中心偏离的位置上，以旋转部件213的旋转中心为中心向圆周方向移动，从而旋转旋转部件 213。
所述反射器216a向旋转部件213的旋转轴方向凸出形成，当通过排列部件移动部214而移动的旋转部件213进行线形移动时，由于卡在制动器216c上，由此旋转旋转部件213。
另外，所述旋转工具还包括：弹性部件216b,在与旋转部件213的旋转中心偏离的位置上，所述弹性部件216b结合在旋转部件213上，向由一对中央排列部件212构成的基板1配置方向的相对距离减少的方向，通过弹力复原旋转所述旋转部件213。
所述弹性部件216b作为提供弹力的结构，随着旋转部件213的旋转其长度伸缩从而使反射器216a恢复旋转，可以是多种结构。
作为一例，所述弹性部件216b属于设置在旋转部件213底面和所述主体部215底面之间的弹簧。
此时，优选为，为了根据旋转部件213的旋转而伸缩长度，所述弹性部件216b设置在从旋转部件213的旋转中心偏离的支点上。
又如，所述旋转工具还包括：第二制动器216d，当旋转部件213从一对内侧边之间向第一直四角形外侧后退而进行线形移动时，反射器216a 被卡住，所述第二制动器216d朝由一对中央排列部件212构成的基板1 配置方向的相对距离减少的方向旋转旋转部件213。
所述第二制动器216d在对齐腔室100的下部面或侧面，作为设置在通过排列部件移动部214的旋转部件213的线形移动通路前面的结构，也可以是多种结构。
根据具有如上结构的旋转工具，如图6所示，旋转部件213的结构为，当主体部215进入到内侧边之间时，向箭头方向(时针方向)旋转，沿进入方向配置的一对中央排列部件212进入至内侧边之间之后，使其朝向垂直于进入方向的方向配置。
由此，即使两张基板1的内侧边之间的宽度较窄，没有中央排列部件 212和基板1之间的摩擦的状态下，仍然可以将所述中央排列部件212置于内侧边之间。
另外，所述中央排列部210还包括：间隔扩张部件218，即使内侧边之间的宽度比中央排列部件212的直径小，为了轻松地将中央排列部件 212安置在内侧边之间，比一对中央排列部件212提前进入到内侧边之间，从而形成内侧边之间的间隔。
所述间隔扩张部件218可以是多种结构，并包括如下效果的结构：所述间隔扩张部件218以向一对内侧边的方向为标准，使其从中央排列部件 212的前方侧向内侧边之间进入，当由于线形移动而引起内侧边之间的间隔比预先设定的最小间隔小时，加压内侧边从而使一对内侧边之间的间隔扩张。
如图4a至图6所示，为了使所述间隔扩张部件218比一对中央排列部件212提前安置在一对内侧边之间，优选为，设置在主体部215的一端。
所述间隔扩张部件218的结构为，能够将与基板1之间的摩擦最小化，并且为了进入到内侧边之间，向朝向所述内侧边的方向移动的同时，其水平宽度呈现逐渐减少的锥形形状。
另外，所述中央排列部210还包括：一对外廓支承部件219，在主体部215上朝向两张基板1配置方向而设置，分别支承与内侧边邻接的两张直四角形基板1的外侧边。
所述一对外廓支承部件219可以结合在一对翼部分215a、215b上，所述一对翼部分215a、215b从一对中央排列部件212所结合的排列主体部215的一端和排列部件移动部214所结合的主体部215的另一端之间向两张基板1的配置方向延长。
所述一对外廓支承部件219中的一个与一对中央排列部件212中的一个构成一对，从而支承顶点区域，所述顶点区域位于左侧基板1的内侧边一端。
同时，所述一对外廓支承部件219中的另一个与一对中央排列部件 212中另一个构成一对，从而支承顶点区域，所述顶点区域位于右侧基板 1的内侧边一端。
所述一对外廓支承部件219可调整向内侧边方向的设置位置。
此时，在所述主体部215的一对翼部分215a、215b上，分别形成有位置调节用长孔215d，可用于调节螺栓结合的位置。
并且，所述一对外廓支承部件219可拆卸地结合在位置调节用长孔 215d上。
作为一例，所述一对外廓支承部件219通过螺栓结合在位置调节用长孔215d上。
并且，所述一对外廓支承部件219以水平截面为圆形或椭圆形的圆柱或椭圆柱状形成，分别支承两张直四角形基板1的外侧边。
所述一对外廓支承部件219以偏离水平截面中心的旋转轴为中心可进行旋转。
此时，所述一对外廓支承部件219若是贴紧基板1从而可旋转的材质，则可以是多种材质，为了将与基板1的摩擦最小化而产生粒子问题，优选为，由合成树脂材质形成。
作为一例，所述一对外廓支承部件219包括：保护部件219a，结合在基板1所接触的外周面上，并且为合成树脂。此时，为了加工型和耐热性等，优选为，所述保护部件219a由PEEK(Polyether ether ketone)材质形成。
并且，为了较容易地维护，所述保护部件219a可拆卸地结合在外廓支承部件219上，保护部件219a的外周面由于与基板1的摩擦而引起损伤时，外翻再次结合在中央排列部210上从而使用。
此时，优选为，从水平方向看时，所述中央排列部件219的保护部件 219a与基板1接触的位置位于中央部的上侧或下侧。
并且，如图5所示，所述保护部件219a的结合位置可上下移动。由此，本发明的结构为，当基板1贴紧所述保护部件219a的支点由于使用而导致磨损时，使基板1贴紧在无磨损的部分上，由于上下调整保护部件 219a的结合位置，由此，可以延长维护保护部件219a的时间至最久。
下一步，参照图7a至图8，将根据第二实施例的中央排列部210以与第一实施例的不同点为中心进行详细说明。
在第二实施例中，所述中央排列部210包括：多个中央排列部件212，支承一对内侧边，以与基板1配置方向构成垂直的水平假想中心线L为标准，水平假想中心线L至最外侧部分S的距离向基板1方向移动的同时，靠近水平假想中心线L配置。
此时，所述中央排列部210包括：排列部件移动部214，从第一直四角形的一侧向内侧边之间线形移动多个中央排列部件212。
并且，所述中央排列部210包括：主体部215，设置有多个中央排列部件212，并根据所述排列部件移动部214进行线形移动。
在第二实施例中，所述多个中央排列部件212为了向内侧边之间进入的同时支承内侧边，如图7a至图7b所示，优选为，从水平假想中心线L 至中央排列部件212水平截面中心的距离D朝向基板1延长的同时，靠近水平假想中心线L配置。
由此，本发明的结构为，在没有根据第一实施例的中央排列部210的旋转部件，只配置多个中央排列部件212的状态下，中央排列部件212进入至内侧边之间时，逐渐增加一对内侧边之间的间隔，并支承一对内侧边。
具体地说，在所述主体部215上，第一假想配置线A1和第二假想配置线A2以水平假想中心线L为中心构成线对称而设定，构成圆柱或椭圆柱状的多个中央排列部件212的中心根据第一假想配置线A1和第二假想配置线A2而配置。
此时，从所述水平假想中心线至中央排列部件212水平截面中心的距离D朝向基板1延长的同时，靠近水平假想中心线L形成，圆柱状的多个中央排列部件212的外径均相同构成也无妨。
所述第一假想配置线A1和第二假想配置线A2可以设定为直线或曲线。
下一步，参照图9，将根据第三实施例的中央排列部210以与第二实施例的不同点为中心进行详细说明。
在第三实施例中，所述第一假想配置线A1和第二假想配置线A2与水平假想中心线平行。
此时，优选为，从所述水平假想中心线至中央排列部件212水平截面中心的距离稳定形成，圆柱状的多个中央排列部件212离基板1渐远的同时(向从基板1渐远的方向延长的同时)，使外径增加。
下一步，参照图10，将根据第四实施例的中央排列部210以与第二实施例的不同点为中心进行详细说明。
在第四实施例中，所述多个中央排列部件212根据水平假想中心线L 一列配置。
此时，优选为，稳定维持从所述水平假想中心线至中央排列部件212 的水平截面中心的距离为0，圆柱状的多个中央排列部件212离基板1渐远的同时(向离基板1渐远的方向延长)，使外径增加。
除第二实施例至第四实施例以外，也可以组合如图7a至图10所示的中央排列部件212的配置进行配置。
即，所述多个中央排列部件212朝离基板1渐远的方向，根据水平假想中心线L一列配置后，在预先设定的特定支点中，根据以水平假想中心线L为中心构成线对称而设定的第一假想配置线A1和第二假想配置线A2 而设置。
也就是说，所述多个中央排列部件212的结构为，支撑一对内侧边，以与基板1的配置方向构成垂直的水平假想中心线L为标准，从水平假想中心线L的最外侧部分S向朝向基板1的方向移动的同时，若靠近水平假想中心线L配置，则可以是多种形态的配置。
第二实施例、第三实施例和第四实施例中，省略对与第一实施例相同可应用的结构的说明。所述一对侧面排列部220的结构为，在所述两张直四角形基板1的顶点中，将所述中央排列部件212安置在朝向对角线方向的所述两张直四角形基板1的顶点上，根据旋转和线形移动中至少任意一种方式，分别向水平方向加压所述两张直四角形基板1，可以是多种结构。
作为一例，如图7a和图7b所示，所述一对侧面排列部220包括：支承部件222，支承一对密封部件221，及铰链轴225，可旋转地支承支承部件222，及固定部件226，固定在腔室20，从而固定铰链轴225，及连接轴223，在一对密封部件221和铰链轴225之间，设在支承部件222上，及连接杆224，与连接轴223连接，及驱动部(未图示)，与连接杆224 连接，线形移动连接杆224。
具有如上结构的所述一对侧面排列部220在根据支承部件130而支承的由两张直四角形基板1构成的直四角形的四个顶点(角)中，在“将所述中央排列部件212的位置安置于朝向对角线方向的多数两张直四角形基板1的顶点上”中，通过一对密封部件221的旋转，从而贴紧基板1。
此时，所述对齐模块的结构为，在所述两张直四角形基板1构成的第一直四角形的一侧，通过所述中央排列部220支承两张基板1之间的一对内侧边，从而同时对两张直四角形基板1执行排列。
即，本发明的结构为，在两张基板1的内侧边之间，通过加压基板1 的中央排列部220，在两张基板1构成的第一直四角形的四个角中，即使只在两个角中设置侧面排列部220，具有也可以同时排列两张基板1的优点。
本发明为了容易地设置同时排列两张基板1的对齐模块，具有最小化设置对齐模块所需的设置空间的优点。
以上，不过是对根据本发明的优选实施例的一部分进行了说明，如主旨所示，本发明的范围不能受上述实施例所限定，上述本发明的技术思想与其根本需要全部包括在本发明的范围之内。
Claims (15)
1.一种对齐模块,用于从外部导入两张直四角形基板(1)后，在向水平方向平行配置的状态下，排列所述两张直四角形基板(1)的水平位置，其特征在于，包括：
对齐腔室(100)，形成密闭的内部空间；及
基板支承部件(130)，设置在所述对齐腔室(100)上，支承两张基板(1)；及
对齐部(200)，设置在所述对齐腔室(100)上，排列通过所述基板支承部件(130)支承的两张直四角形基板(1)的水平位置，且
所述对齐部(200)包括：
中央排列部(210)，安置在从所述两张直四角形基板(1)构成的第一直四角形的一侧中两张直四角形基板(1)相对的位置，向所述两张直四角形基板(1)相对的一对内侧边之间进行线形移动，从而支承一对内侧边；及
一对侧面排列部(220)，在所述两张直四角形基板(1)的顶点中，将中央排列部(210)的位置安置在对向对角线方向的所述两张直四角形基板(1)的顶点上，从而通过旋转和线形移动中至少任意一种方式向水平方向分别加压所述两张直四角形基板(1)，并且
所述两张的直四角形基板(1)由所述一对侧面排列部(220)排列水平位置，所述一对侧面排列部(220)安置在所述中央排列部(210)及所述两张直四角形基板(1)的顶点中，在所述中央排列部(210)的位置对向对角线方向。
2.根据权利要求1所述的对齐模块，其特征在于，
所述中央排列部(210)包括：
一对中央排列部件(212)，分别支承所述一对内侧边，及
排列部件移动部(214)，从所述第一直四角形的一侧向所述一对内侧边之间线形移动所述一对中央排列部件(212)。
3.根据权利要求2所述的对齐模块，其特征在于，
所述中央排列部(210)还包括：
主体部(215)，设置有所述一对中央排列部件(212)，并依靠所述排列部件移动部(214)进行线形移动。
4.根据权利要求3所述的对齐模块，其特征在于，
所述中央排列部(210)还包括：
旋转部件(213)，沿水平方向以留有一定间隔的方式设置有所述一对中央排列部件(212)，并以所述第一直四角形构成垂直的旋转轴为中心，可旋转地设置在所述主体部(215)上，及
旋转工具，当所述一对中央排列部件(212)位于所述一对内侧边之间时，旋转所述旋转部件(213)，以使所述一对中央排列部件(212)构成的所述基板(1)的配置方向的相对距离增加。
5.根据权利要求4所述的对齐模块，其特征在于，
所述旋转工具包括：
第一制动器(216c)，设置在通过排列部件移动部(214)而移动的所述旋转部件(213)的线形移动通路的上前方，及
反射器(216a)，从与旋转部件(213)的旋转中心偏离的位置向旋转部件(213)的旋转轴方向凸出而设置，并当旋转部件(213)线形移动时，卡在第一制动器(216c)上，从而旋转所述旋转部件(213)。
6.根据权利要求5所述的对齐模块，其特征在于，
所述旋转工具还包括弹性部件(216b)，
所述弹性部件(216b)在与旋转部件(213)的旋转中心偏离的位置上，结合于旋转部件(213)，向由一对中央排列部件(212)构成的基板(1)的配置方向的相对距离减少的方向，通过弹力复原旋转所述旋转部件(213)。
7.根据权利要求5所述的对齐模块，其特征在于，
所述旋转工具还包括第二制动器(216d)，
当所述旋转部件(213)从所述一对内侧边之间向所述第一直四角形外侧后退而进行线形移动时，反射器(216a)被卡住，所述第二制动器(216d)朝向所述一对中央排列部件(212)构成的所述基板(1)的配置方向的相对距离减小的方向旋转所述旋转部件(213)。
8.根据权利要求2至7中任意一项所述的对齐模块，其特征在于，
所述中央排列部(210)还包括间隔扩张部件(218)，
所述间隔扩张部件(218)以朝向所述一对内侧边的方向为标准，从所述中央排列部(212)的前方进入至所述内侧边之间，当由于线形移动导致所述内侧边之间的间隔比预先设定的最小间隔小时，加压所述内侧边从而使所述一对内侧边之间的间隔扩张。
9.根据权利要求8所述的对齐模块，其特征在于，
所述间隔扩张部件(218)向所述一对内侧边的方向移动的同时，其水平宽度呈现逐渐减小的锥状。
10.根据权利要求1至7中任意一项所述的对齐模块，其特征在于，
所述中央排列部(210)包括外廓支承部件(219)，
所述外廓支承部件(219)支承与所述内侧边邻接的所述两张直四角形基板(1)的外侧边。
11.根据权利要求10所述的对齐模块，其特征在于，
所述外廓支承部件(219)能够调整朝向所述内侧边方向的设置位置。
12.根据权利要求2至7中任意一项所述的对齐模块，其特征在于，
所述中央排列部件(212)以偏离水平截面中心的旋转轴为中心旋转地设置。
13.根据权利要求12所述的对齐模块，其特征在于，
以上下方向为标准，所述中央排列部件(212)与所述基板(1)接触的位置位于中央部的上侧或下侧。
14.根据权利要求10所述的对齐模块，其特征在于，
所述外廓支承部件(219)以偏离水平截面中心的旋转轴为中心旋转地设置。
15.根据权利要求14所述的对齐模块，其特征在于，
以上下方向为标准，所述外廓支承部件(219)与所述基板(1)接触的位置位于中央部的上侧或下侧。
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
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| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
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