KR20110138027A - 기판 정렬 장치 및 이를 구비한 로드락 챔버 - Google Patents

Abstract

본 발명에 따른 기판 정렬 장치 및 이를 구비한 로드락 챔버는, 기판에서 상호 마주하는 제1양쪽변 및 제2양쪽변에 각각 밀착 또는 이격되면서 기판을 정렬하는 제1접촉부재 및 제2접촉부재와, 기판 지지대에서 기판의 제1양쪽변 옆에 각각 위치되어 기판 방향 또는 기판 반대 방향으로 이동하면서 상기 제1접촉부재를 제1양쪽변에 밀착 또는 이격시키는 양쪽 이동체와, 양쪽 이동체 중 적어도 어느 하나의 이동체에 연결 또는 접촉되어 이동체가 이동할 때 함께 움직이면서 상기 제2접촉부재를 제2양쪽변에 밀착 또는 이격시키는 복수의 연동 기구로 구성됨으로써, 전체적인 구동 구조를 간단히 하면서도 보다 정밀한 기판 정렬이 가능해지도록 하는 효과를 제공한다.

Description

기판 정렬 장치 및 이를 구비한 로드락 챔버{Substrate align device and Load lock chamber having the same}

본 발명은 LCD 등의 평판표시소자 제조장치의 로드락 챔버에서 기판 지지대에 올려진 기판을 정렬하는 기판 정렬 장치에 관한 것이다.

평판표시소자에는 액정표시소자(Liquid Crystal Display), 플라즈마디스플레이 소자(Plasma Display Panel), 유기발광소자(Organic Light Emitting Diodes) 등이 있다.

이러한 평판표시소자를 제조하기 위한 평판표시소자 제조장치로는 주로 진공처리 방식의 것이 사용되는데, 평판표시소자 제조장치 중 클러스터 타입(Cluster type)은 하나의 로드 락 챔버(Load Lock Chamber)에 두 개 이상의 공정챔버가 연결되어 LCD 글래스 등 기판을 처리할 수 있도록 구성된다.

여기로 로드 락 챔버는 미처리된 기판을 보관하거나 공정챔버에서 처리된 기판을 외부로 내보내는 기능을 하는 챔버로서, 챔버의 바닥면에는 기판을 지지하는 기판 지지대가 구비되고, 기판 지지대의 측방향에는 기판을 기판 지지대 위에 정렬(align)하기 위한 기판 정렬기구가 구성되어 있다.

이러한 기판 정렬기구는 사각 구조를 갖는 기판의 4면을 고정 푸셔를 이용하여 밀어줌으로써 기판을 정렬하도록 구성되어 있다.

그러나, 상기한 바와 같은 종래 기판 정렬기구는, 기판의 4면을 각각의 고정 푸셔를 작동시키면서 정렬하기 때문에 각 푸셔의 힘 조절이 쉽지 않아 보다 정밀하게 기판을 정렬하는 작동이 쉽지 않고, 또한 각 푸셔 중 어느 하나에 필요 이상의 힘이 가해질 경우에 기판이 손상 또는 파손될 수 있는 문제점도 있다.

또한, 종래 기판 정렬기구는, 각각의 푸셔를 작동하기 위한 실린더, 벨로우즈, LM 가이드 등 구성 부품들이 많이 필요하고, 또한 각각의 푸셔들을 설치하기 위해 챔버의 가공 공수도 많아지기 때문에 조립 작업성이 떨어짐은 물론 부품수 증가 및 작업 공수 증가로 정렬기구를 구성하는데 많은 비용이 소요되는 문제점이 발생하고 있다.

이상 설명한 배경기술의 내용은 이 건 출원의 발명자가 본 발명의 도출을 위해 보유하고 있었거나, 본 발명의 도출 과정에서 습득한 기술 정보로서, 반드시 본 발명의 출원 전에 일반 공중에게 공개된 공지기술이라 할 수는 없다.

본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 링크 및 캠을 이용한 연동 구조를 통해 하나의 구동 기구에서 발생된 구동력으로 기판에 밀착되는 모든 접촉부재를 함께 구동할 수 있도록 구성함으로써, 전체적인 구동 구조를 간단히 하면서도 보다 정밀한 기판 정렬이 가능해지도록 하는 기판 정렬 장치 및 이를 구비한 로드락 챔버를 제공하는 데 목적이 있다.

상기한 과제를 실현하기 위한 본 발명에 따른 기판 정렬 장치는, 기판이 놓이는 기판 지지대와; 상기 기판에서 상호 마주하는 제1양쪽변 및 제2양쪽변에 각각 밀착 또는 이격되면서 기판을 정렬하는 제1접촉부재 및 제2접촉부재와; 상기 기판 지지대에서 상기 기판의 제1양쪽변 옆에 각각 위치되어, 기판 방향 또는 기판 반대 방향으로 이동하면서 상기 제1접촉부재를 제1양쪽변에 밀착 또는 이격시키는 양쪽 이동체와; 상기 양쪽 이동체 중 적어도 어느 하나의 이동체에 연결 또는 접촉되어 이동체가 이동할 때 함께 움직이면서 상기 제2접촉부재를 제2양쪽변에 밀착 또는 이격시키는 복수의 연동 기구를 포함한 것을 특징으로 한다.

상기 기판 지지대에는 상기 양쪽 이동체가 이동할 때 직선 이동하도록 안내하는 가이드 기구가 구비되는 것이 바람직하다.

상기 이동체는, 제1양쪽변의 각 변과 나란히 위치되고 상기 제1접촉부재가 설치되어 있는 이동 바와, 상기 이동 바의 양단부에 구비되어 상기 연동 기구에 작동력을 전달하는 이동 블록을 포함하여 구성되는 것이 바람직하다.

이때, 상기 기판 지지대에는 상기 이동 블록을 제2양쪽변과 나란한 방향으로 직선 이동하도록 안내하는 가이드 기구가 구비될 수 있다.

상기 양쪽 이동체는, 하나의 구동 기구에 의해 함께 움직이도록 이루어지도록 구성되는 것이 바람직하다.

상기 구동 기구는, 양쪽으로 돌출된 회전바를 회전시키는 회전 구동체와, 상기 회전바의 양단부와 양쪽 이동체 사이에 각각 연결되어 상기 회전 구동체에 의해회전바가 회전할 때 양쪽 이동체를 당기거나 밀어서 이동시키는 연결 링크를 포함하여 구성되는 것이 바람직하다.

이때 상기 회전 구동체는, 공압 또는 유압에 의해 상기 회전바를 일정 각도만큼 회전 작동시키는 회전 실린더일 수 있다.

상기 연동 기구는, 상기 이동체 쪽에 구비된 캠과, 상기 기판 지지대에 회전 가능하도록 설치되어 상기 캠에 의해 상기 제2접촉부재를 기판에 밀착 또는 이격시키는 연동 암을 포함하여 구성될 수 있다.

이때, 상기 연동 기구는, 제2접촉부재가 상기 이동체에서 제공되는 힘에 의해 기판에 밀착되고, 상기 기판 지지대에 구비된 복원 스프링에 의해 기판에서 이격되도록 구성되는 것이 바람직하다.

상기 제1접촉부재 또는 제2접촉부재에는 상기 기판에 접촉될 때 일정 이상의 힘이 가해지지 않도록 댐핑력을 제공하는 댐퍼 부재가 구비되는 것이 바람직하다.

상기한 바와 같은 본 발명의 주요한 과제 해결 수단들은, 아래에서 설명될 '발명의 실시를 위한 구체적인 내용', 또는 첨부된 '도면' 등의 예시를 통해 보다 구체적이고 명확하게 설명될 것이며, 이때 상기한 바와 같은 주요한 과제 해결 수단 외에도, 본 발명에 따른 다양한 과제 해결 수단들이 추가로 제시되어 설명될 것이다.

본 발명에 따른 기판 정렬 장치 및 이를 구비한 로드락 챔버는, 하나의 구동 기구를 이용하여 기판에 밀착되는 모든 접촉부재를 동시에 구동할 수 있도록 구성되기 때문에 구성 부품수 및 조립 공수의 감소로 경제성 향상을 기대할 수 있고, 특히 전체적인 구동 구조를 간단히 하면서도 보다 정밀한 기판 정렬이 가능해지는 효과가 있다.

또한, 본 발명은, 기판에 밀착되는 접촉부재에 댐퍼 부재를 설치할 경우에, 과도한 밀착 상태를 해소하여, 기판 정렬시에 발생할 수 있는 기판이 손상 및 파손 등을 방지할 수 있게 되어 기판 정렬 장치의 신뢰성을 높일 수 있는 효과가 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 정렬 장치를 구비한 로드락 챔버가 도시된 평면도로서, 기판 정렬 전의 작동 상태를 보여주는 도면이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 정렬 장치를 구비한 로드락 챔버가 도시된 평면도로서, 기판 정렬시의 작동 상태를 보여주는 도면이다.
도 3은 도 1의 A-A 선 방향에서 본 구동 기구의 작동 상태를 보여주는 도면이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 정렬 장치에서 연동 기구의 작동 상태를 보여주는 도면이다.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 정렬 장치를 구비한 로드락 챔버가 도시된 평면도이다.

첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 설명하면 다음과 같다.

본 발명에 따른 기판 정렬 장치는 기판 지지대 상에 기판의 위치를 정렬하는 모든 장비 또는 챔버에 적용될 수 있다. 다만 이하 설명하는 본 발명의 실시예에서는 로드락 챔버에 구비되는 기판 정렬 장치를 중심으로 설명한다.

도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 정렬 장치는 기판 지지대(10) 상에 구비된다.

도 1 및 도 2는 기판 지지대(10)를 중심으로 한 로드락 챔버의 평면 구성을 보여주는 도면으로서, 기판 지지대(10)의 가운데 부분에 사각 구조의 기판(S)이 위치되고, 이 기판(S)의 주위에 기판의 위치를 정렬할 수 있도록 기판 정렬 장치가 구비된다.

도 1 및 도 2에서 도면 부호 15는 로드락 챔버의 벽면일 수 있다.

로드락 챔버의 구성은 널리 공지되어 있으므로, 본 발명의 주요 특징부인 기판 정렬 장치를 중심으로 설명한다.

기판 정렬 장치는, 기판(S)의 네 변에 각각 밀착 또는 이격되면서 기판 지지대(10) 상에 위치된 기판(S)을 정렬하는 접촉부재(20)들이 구비된다.

본 실시예의 도면에서는 기판(S)의 각 변에 2개씩의 접촉부재(20)들이 접촉되면서 기판을 정렬할 수 있도록 구성된 실시예의 도면을 예시하고 있다. 이는 하나의 예시이며 실시 조건에 따라서는 접촉부재(20)들의 개수를 달리하여 구성할 수 있음은 물론이다.

기판(S)의 상호 마주하는 변을 각각 제1양쪽변(S1) 및 제2양쪽변(S2)이라 할 때, 제1양쪽변(S1)에는 제1접촉부재(21)들이 접촉되고, 제2양쪽변(S2)에는 제2접촉부재(22)들이 접촉될 수 있도록 구성된다.

여기서 제1접촉부재(21) 및 제2접촉부재(22)들은, 롤러형 구조로 형성되는 것이 바람직하며, 기판(S)에 접촉되는 면은 어느 정도 탄성을 가진 연성의 재질로 이루어질 수 있다.

상기 기판(S)의 제1양쪽변(S1)의 양쪽에는 제1접촉부재(21)를 밀착 이격시키도록 이동체(30)가 각각 위치된다.

각 이동체(30)는 기판(S)의 양쪽변과 나란히 위치되어 아래에서 설명할 구동 기구(50)에 의해 기판 방향 또는 기판 반대 방향으로 이동(병진 운동)하면서 상기 제1접촉부재(21)들을 제1양쪽변(S1)에 밀착 또는 이격시킬 수 있도록 구성된다.

이러한 이동체(30)는, 제1양쪽변(S1)의 각 변과 평행하게 나란히 위치되어 기판 방향으로 제1접촉부재(21)들이 설치되어 있는 이동 바(31)와, 이 이동 바(31)의 양단부에 구비되어 아래에서 설명할 연동 기구(60)에 작동력을 전달하는 이동 블록(33)으로 구성된다.

이때, 이동 바(31)는 제1양쪽변(S1)과 나란한 방향으로 위치되고, 이동 블록은 이동 바(31)의 양단부에서 제2양쪽변(S2)과 나란한 방향으로 위치된다. 즉, 이동 블록(33)은 이동 바(31)의 양단부에서 이동 바(31)에 직교되는 방향으로 위치되는 것이다.

그리고 상기 기판 지지대(10)에는 상기 양쪽 이동체(30)가 이동할 때 직선 이동하도록 안내하는 가이드 기구(40)가 구비되는바, 이 가이드 기구(40)는 상기 이동 블록(33)을 제2양쪽변(S2)과 나란한 방향으로 직선 이동하도록 안내하도록 구성함으로써 전체 이동체(30)가 기판(S)의 양쪽에서 안정되게 기판 방향 또는 그 반대 방향으로 정확하게 직선 이동할 수 있도록 구성되는 것이다.

가이드 기구(40)는 기판 지지대(10)와 이동 블록(33) 사이에 널리 공지된 LM 가이드를 이용하여 구성할 수 있으므로, 이에 대한 구체적인 설명은 생략한다.

상기와 같은 양쪽 이동체(30)는, 하나의 구동 기구(50)에 의해 함께 움직일 수 있도록 구성될 수 있도록 구성하는 것이 바람직한바, 이에 대하여 주로 도 3을 참조하여 설명한다.

구동 기구(50)는, 양쪽으로 돌출된 회전바(57)를 회전시키는 회전 구동체(51)와, 상기 회전바(57)의 양단부와 양쪽 이동체(30)의 이동 블록(33) 사이에 각각 연결되어 상기 회전 구동체(51)에 의해 회전바(57)가 회전할 때 양쪽 이동체(30)를 당기거나 밀어서 이동시키는 연결 링크(58)로 구성된다.

회전 구동체(51)는, 공압 또는 유압에 의해 상기 회전바(57)를 일정 각도만큼 회전 작동시키는 회전 실린더일 수 있으나, 반드시 이에 한정되는 것은 아니고, 양쪽 회전바(57)를 회전 작동시킬 수 있는 구동원이면 공지의 다양한 구동원 중 하나를 채택하여 구성하는 것이 가능하다. 예를 들면 전동 모터를 이용하여 구성하는 것도 가능하다.

연결 링크(58)의 양단부는 상기 회전바(57)와 이동 블록(33)에 각각 상대 회전 가능하게 연결되는 것이 바람직하고, 도면에 예시된 바와 같이 이동 블록(33)에는 회전바(57)와 연결되게 연결부재(59)를 설치하여 구성하는 것도 가능하다.

도 3의 (A)는 도 1에서와 같이 제1접촉부재(21)가 기판에서 이격되어 있을 때의 상태이고, 도 3의 (B)는 도 2에서와 같이 회전 구동체(51)가 회전하여 양쪽 이동체(30)의 이동 블록(33)을 당겨서 제1접촉부재(21)를 기판(S)에 밀착시켰을 때의 상태도이다. 도 3에서는 회전바(57)가 일정 각도(θ) 만큼 회전함에 따라 이동 블록(33)이 거리 'D'만큼 이동한 상태를 보여준다.

한편, 상기한 회전 구동체(51)가 챔버의 바깥쪽에 설치되어 구성될 수 있는바, 도 1 및 도 2를 참고하면, 회전 구동체(51)가 챔버의 외측 벽면(15)에 브래킷(52)으로 고정되어 설치되고, 챔버의 벽면(15)에는 회전 구동체(51)에서 돌출된 회전축(54)이 통과하는 홀(17)이 형성된다.

챔버의 안쪽에서 상기 회전축(54)의 끝단에는 상기한 회전바(57)가 연결되고, 회전바(57)의 양단부에는 위에서 설명한 바와 같이 양쪽 연결 링크(58)가 각각 연결된다.

챔버의 홀(17)에는 회전축(54)이 통과하면서 챔버 내부를 밀봉할 수 있도록 구성되는데, 이를 위해 홀(17)에는 회전축(54)을 지지하는 베어링(55)이 구비될 수 있고, 또한 홀(17)을 밀봉하는 립씰(56)이 구비된다. 도 1 및 도 2에서 도면 부호 53은 회전 구동체(51)에 회전축(54)을 연결하는 커플링을 나타낸다.

상기한 본 발명의 실시예에서는, 하나의 구동 기구(50)에 의해 양쪽 이동체(30)가 함께 작동될 수 있도록 구성된 구조에 대하여 설명하였으나, 실시 조건에 따라서는 양쪽 이동체(30)를 각각 구동하도록 구성하는 것도 가능하다. 양쪽 이동체(30)를 각각 구동하는 구조는 공지의 직선 이동 기구를 이용하여 이 발명이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자라면 어려움 없이 실시 가능할 것이므로, 이에 대한 구체적인 설명은 생략한다.

본 발명의 기판 정렬 장치는, 제2접촉부재(22)도 상기한 하나의 구동 기구(50)의 작동으로 양쪽 이동체(30)와 함께 움직이면서 기판(S)의 제2양쪽변(S2)에 밀착 또는 이격되도록 구성된다.

이를 위해 상기 양쪽 이동체(30)에 각각 연결되는 연동 기구(60)가 구성된다.

연동 기구(60)는, 기본적으로 이동체(30) 즉, 이동 블록(33)의 직선 운동을 회전 운동으로 전환하여 제2접촉부재(22)를 기판(S)의 제2양쪽변(S2)에 밀착 또는 이격시킬 수 있도록 구성된다.

이러한 연동 기구(60)는 상기 이동체(30)의 이동 블록(33)의 끝단부에 구비된 캠(61)과, 기판 지지대(10)에 회전 가능하도록 설치되어 상기 캠(61)에 의해 상기 제2접촉부재(22)를 기판(S)에 밀착 또는 이격시키는 연동 암(63)을 포함하여 구성된다.

캠(61)은 도면에 예시된 바와 같이 평면에서 보았을 때 경사면 구조로 형성될 수 있다.

연동 암(63)은 도면에 예시된 바와 같이 힌지축(64)을 중심으로 절곡된 구조로 형성될 수 있다. 연동 암(63)은 절곡된 부분을 중심으로 한 쪽 암은 상기 캠(61)과 접촉되고, 다른 쪽 암은 제2접촉부재(22)가 설치된 구조로 이루어진다.

연동 암(63)에서 상기 캠(61)과 접촉되는 부분에는 캠면에 구름 접촉되도록 롤러가 구비되는 것이 바람직하다.

도면에서 도면 부호 65는 상기 힌지축(64)을 포함한 연동 기구(60)를 기판 지지대(10)에 지지시키는 지지 브래킷을 나타낸다.

또한 연동 기구(60)는, 제2접촉부재(22)가 상기 이동체(30)의 이동 블록(33)을 통해서 제공되는 힘에 의해 기판(S)에 밀착되도록 구성할 경우에, 복원 스프링(67)에 의해 제2접촉부재(22)가 이격되도록 구성되는 것이 바람직하다.

복원 스프링(67)은 한 쪽 끝부분이 기판 지지대(10) 또는 지지 브래킷(65) 등 고정 구조물 쪽에 지지되어 있는 상태에서 상기 제2접촉부재(22) 쪽의 연동 암(63)에 연결됨으로써, 상기 캠(61)에 의해 연동 암(63)을 회전시키는 힘이 제거될 경우에 제2접촉부재(22)가 기판(S)에서 이격되는 방향으로 연동 암(63)을 회전시키는 힘을 제공하게 된다.

한편, 제1접촉부재(21) 및 제2접촉부재(22)에는 기판(S)에 밀착될 때 필요 이상의 과도한 힘이 가해지지 않도록 댐퍼 부재(25)가 구비될 수 있다.

댐퍼 부재(25)는 제1접촉부재(21)와 이동 바(31), 제2접촉부재(22)와 연동 암(63) 사이에 구비된다. 즉, 제1접촉부재(21)가 이동 바(31)에 일정 정도 이동이 가능하도록 연결되게 설치된 상태에서 스프링 구조물이 제1접촉부재(21)에 댐핑 탄성력을 제공하도록 구성할 수 있다. 또한 제2접촉부재(22)도 연동 암(63)에 일정 정도 이동이 가능하도록 연결되게 설치된 상태에서 스프링 구조물이 제2접촉부재(22)에 댐핑 탄성력을 제공할 수 있도록 구성할 수 있다.

따라서, 제1접촉부재(21) 또는 제2접촉부재(22)가 기판(S)의 밀착될 때 필요 이상의 힘이 가해지면, 댐퍼 부재(25)에 의해 제1접촉부재(21) 또는 제2접촉부재(22)가 뒤로 밀리면서 기판(S)에 과도하게 제공되는 힘을 완충시켜 기판(S)이 손상되거나 파손되는 문제를 방지할 수 있게 된다.

도 1 및 도 2에 예시된 본 발명의 실시예에서는, 모든 접촉부재(20)에 댐퍼 부재(25)가 구비된 구성을 예시하고 있으나, 실시 조건에 따라서는 양쪽의 제1접촉부재(21) 및 제2접촉부재(22) 중 각각 한 쪽의 접촉부재 쪽에 댐퍼 부재(25)가 구비되게 구성할 수 있다.

상기한 바와 같은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 정렬 장치의 작동을 설명하면 다음과 같다.

도 1에 도시된 바와 같이, 기판(S)이 기판 지지대(10)로 로딩 되면, 도 2에 도시된 바와 같이 기판 정렬 장치가 기판(S)을 정렬하게 된다.

기판 정렬 장치의 작동은 하나의 구동 기구(50)에 의해 접촉부재(20)들이 기판(S)의 네 변에 동시에 밀착되면서 기판(S)을 정렬하게 된다.

즉, 회전 구동체(51)의 작동에 의해 회전바(57)가 회전하면, 도 3의 (B)에서와 같이 양쪽 연결 링크(58)가 당겨지게 되고, 이때 이동 바(31)가 기판 방향으로 이동하면서 양쪽의 제1접촉부재(21)들이 기판(S)의 양쪽 측면에 각각 밀착된다.

이와 동시에 이동 바(31)의 이동에 의해 이동 블록(33)도 도 4에서와 같이 함께 이동하게 되고, 캠(61)의 작용력에 의해 연동 암(63)이 회전하면서 제2접촉부재(22)가 기판(S)의 다른 양쪽 측면에 밀착되어, 도 2에서와 같이 기판(S)의 네 변에 모든 접촉부재(20)들이 밀착됨으로써 기판(S)의 위치가 정렬된다.

이와 반대로, 기판 정렬 상태를 해제하기 위해서는, 도 3의 (A)와 같이 회전바(57)를 다시 반대로 회전시킨다. 이때 이동 바(31)가 기판에서 멀어지면서 제1접촉부재(21)가 기판(S)에서 이격되고, 동시에 연동 암(63)은 캠(61)의 작용력에 제거되므로, 복원 스프링(67)에 의해 반대로 회전하게 되고, 이에 따라 제2접촉부재(22)가 기판(S)에서 이격됨으로써 도 1에서와 같이 모든 접촉부재(20)들이 기판(S)으로부터 이격 상태에 있게 된다.

상기한 본 발명의 실시예에서는, 양쪽 이동체(30)에 의해 양쪽의 연동 기구(60) 및 양쪽 제2접촉부재(22)가 동시에 작동되는 구조를 예시하였으나, 실시 조건에 따라서는 양쪽 중 어느 한쪽만 연동되게 구성하고 다른 쪽은 생략하거나 비연동 구조로 구성하는 것도 가능하다.

또한, 연동 기구(60)에 대하여 캠(61)에 의해 회전하는 연동 암(63)을 중심으로 설명하였으나, 이에 한정되는 것은 아니고, 캠(61)을 이용하여 직선 운동을 회전 운동으로 전환하는 여러 구조 중 하나를 채택하여 구성하는 것도 가능하다.

또한, 캠(61)을 이용한 직선 운동을 방향만 바꾼 직선 운동으로 전환하여 구성하는 것도 가능하다. 이러한 구조에 대하여 도 5를 참조하여 설명한다(참고로 도 5에서 상기의 실시예의 구성과 동일 유사한 구성 부분에 대해서는 동일한 참조 번호를 부여하고 반복 설명은 생략한다).

이동 블록(33')이 직선 이동하면 캠(61)면에 밀착된 연동 캠(63')이 이동 블록(33') 이동 방향과 직교하는 방향으로 이동하면서 제2접촉부재(22)를 기판(S)에 밀착시키도록 구성되는 것이다. 물론, 기판 지지대(10)에는 연동 캠(63')의 직선 이동을 안내하는 가이드가 설치되는 것이 바람직하고, 마찬가지로 제2접촉부재(22)가 기판(S)으로부터 이격되도록 복원 탄성력을 제공하는 복원 스프링(67)이 구비되는 것이 바람직하다.

한편, 상기한 본 발명의 실시예는 위에서도 설명한 바와 같이 평판표시조제조장치의 로드락 챔버를 중심으로 설명하였으나, 평판표시제조장치는 물론 기판을 정렬하는 장치가 사용되는 반도체 장비 등 다른 여러 장비에도 동일하게 적용될 수 있다.

상기한 바와 같은, 본 발명의 실시예들에서 설명한 기술적 사상들은 각각 독립적으로 실시될 수 있으며, 서로 조합되어 실시될 수 있다. 또한, 본 발명은 도면 및 발명의 상세한 설명에 기재된 실시예를 통하여 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다. 따라서, 본 발명의 기술적 보호범위는 첨부된 특허청구범위에 의해 정해져야 할 것이다.

Claims (10)

1. 기판이 놓이는 기판 지지대와;
   상기 기판에서 상호 마주하는 제1양쪽변 및 제2양쪽변에 각각 밀착 또는 이격되면서 기판을 정렬하는 제1접촉부재 및 제2접촉부재와;
   상기 기판 지지대에서 상기 기판의 제1양쪽변 옆에 각각 위치되어, 기판 방향 또는 기판 반대 방향으로 이동하면서 상기 제1접촉부재를 제1양쪽변에 밀착 또는 이격시키는 양쪽 이동체와;
   상기 양쪽 이동체 중 적어도 어느 하나의 이동체에 연결 또는 접촉되어 이동체가 이동할 때 함께 움직이면서 상기 제2접촉부재를 제2양쪽변에 밀착 또는 이격시키는 복수의 연동 기구를 포함한 것을 특징으로 하는 기판 정렬 장치.
   
2. 청구항1에 있어서,
   상기 기판 지지대에는 상기 양쪽 이동체가 이동할 때 직선 이동하도록 안내하는 가이드 기구가 구비된 것을 특징으로 하는 기판 정렬 장치.
   
3. 청구항1에 있어서,
   상기 이동체는, 제1양쪽변의 각 변과 나란히 위치되고 상기 제1접촉부재가 설치되어 있는 이동 바와, 상기 이동 바의 양단부에 구비되어 상기 연동 기구에 작동력을 전달하는 이동 블록을 포함한 것을 특징으로 하는 기판 정렬 장치.
   
4. 청구항3에 있어서,
   상기 기판 지지대에는 상기 이동 블록을 제2양쪽변과 나란한 방향으로 직선 이동하도록 안내하는 가이드 기구가 구비된 것을 특징으로 하는 기판 정렬 장치.
   
5. 청구항1에 있어서,
   상기 양쪽 이동체는, 하나의 구동 기구에 의해 함께 움직이도록 이루어진 것을 특징으로 하는 기판 정렬 장치.
   
6. 청구항5에 있어서,
   상기 구동 기구는, 양쪽으로 돌출된 회전바를 회전시키는 회전 구동체와, 상기 회전바의 양단부와 양쪽 이동체 사이에 각각 연결되어 상기 회전 구동체에 의해회전바가 회전할 때 양쪽 이동체를 당기거나 밀어서 이동시키는 연결 링크를 포함한 것을 특징으로 하는 기판 정렬 장치.
   
7. 청구항6에 있어서,
   상기 회전 구동체는, 공압 또는 유압에 의해 상기 회전바를 일정 각도만큼 회전 작동시키는 회전 실린더인 것을 특징으로 하는 기판 정렬 장치.
   
8. 청구항1 내지 청구항7 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 연동 기구는, 상기 이동체 쪽에 구비된 캠과, 상기 기판 지지대에 회전 가능하도록 설치되어 상기 캠에 의해 상기 제2접촉부재를 기판에 밀착 또는 이격시키는 연동 암을 포함한 것을 특징으로 하는 기판 정렬 장치.
   
9. 청구항1 또는 청구항8에 있어서,
   상기 연동 기구는, 제2접촉부재가 상기 이동체에서 제공되는 힘에 의해 기판에 밀착되고, 상기 기판 지지대에 구비된 복원 스프링에 의해 기판에서 이격되도록 구성된 것을 특징으로 하는 기판 정렬 장치.
   
10. 청구항1에 있어서,
    상기 제1접촉부재 또는 제2접촉부재에는 상기 기판에 접촉될 때 일정 이상의 힘이 가해지지 않도록 댐핑력을 제공하는 댐퍼 부재가 구비된 것을 특징으로 하는 기판 정렬 장치.

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