KR101032083B1 - 기판정렬장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 기판정렬장치에 관한 것으로, 기판이 안착되는 스테이지; 상기 스테이지의 상기 기판이 안착되는 위치 주변에 설치되어 상기 기판의 위치를 이동시키는 다수개의 구동바(bar); 상기 다수개의 구동바를 연결시키는 동력전달기; 및 상기 동력전달기 중 어느 하나에 동력을 전달하여 상기 다수개의 구동바를 동시에 동작하게 하는 동력부를 포함한다.

본 실시예에 따르면, 단순한 구조를 갖는 링크 장치를 이용하여 기판정렬장치의 제조비용을 낮출 수 있을 뿐 아니라, 상대적으로 고장으로 인해 드는 유지비용을 감소시킬 수 있는 효과가 있다.

Description

기판정렬장치{Apparatus for aligning substrates}

본 발명은 기판정렬장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 하나의 동력부에 의해 구동되는 다수개의 구동바를 이용하여 기판을 정렬(align)하는 기판정렬장치에 관한 것이다.

정보화 사회가 발전함에 따라 표시장치에 대한 요구도 다양한 형태로 증가되어 왔다. 이에 근래에는 LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel), ELD(Electro Luminescent Display), VFD(Vacuum Fluorescent Display)등 여러 가지 평판 디스플레이 장치가 연구되어 왔고 그 일부는 이미 실생활에 널리 사용되고 있다.

이러한 평판 디스플레이 장치의 제조 공정은 예를 들어, 기판 표면에 소정 물질의 박막을 형성하는 박막증착공정, 상기 박막의 선택된 일부를 노출시키는 포토 리소그래피 공정, 상기 박막의 노출된 부분을 제거하여 패터닝하는 식각공정 등 다양한 공정이 있다.

이러한 공정들은 각 공정별 고유의 제조 장비에서 수행되며, 처리대상물인 기판은 이들 각 장비에 이송ㅇ전달되어 공정이 진행되게 된다. 그런데, 이 과정에서 공정의 정확성을 위해서는 기판이 정해진 위치에 안착되는 것이 중요한데, 그러한 기판의 위치 정렬을 담당하는 것이 기판정렬장치이다.

이러한 기판 정렬은 각 공정에 따라 다양한 정밀도를 요구하며, 각 공정을 진행하는 챔버 내에서 별도로 기판 정렬이 이루어지기는 하지만, 기판의 반입ㅇ안착 단계에서 기판의 위치가 어긋나게 되면 그 정렬에 많은 시간이 소요되고, 결과 적으로 공정 비용을 증가시키는 요인이 된다.

따라서, 로드락 챔버와 같이 외부에서 기판을 반입하여 트랜스퍼 챔버로 전달하기 위해 대기하는 챔버에서도 기판의 정렬이 이루어지는데, 종래의 기판정렬장치를 살펴보면, 다수개의 개별적인 구동장치를 구비하여 각 구동장치가 각각 구동을 하여 기판을 정렬하는 방식이다. 이러한 종래의 기판정렬장치는 구동방식이 복잡할 뿐 아니라, 가공비 및 고가의 부품(예를 들면, Bellow 제작 및 복잡한 정렬 시스템 가공 형상)이 사용되어 기판 가공 공정에 드는 비용을 증가시키는 요인이 된다.

본 발명의 목적은, 제조 비용이 낮으면서도 효율적인 기판정렬장치를 제공함에 있다.

상기 과제를 해결하기 위한 본 실시예에 따른 기판정렬장치는 기판이 안착되는 스테이지; 상기 스테이지의 상기 기판이 안착되는 위치 주변에 설치되어 상기 기판 방향으로 이동 가능한 다수개의 구동바(bar); 상기 다수개의 구동바를 연결시키는 동력전달기; 및 상기 동력전달기 중 어느 하나에 동력을 전달하여 상기 다수개의 구동바를 동시에 동작하게 하는 동력부를 포함한다.

상기 구동바는 상기 기판과 접촉하여 상기 기판의 위치를 이동시키는 돌출된 접촉핀을 더 구비하고, 상기 접촉핀은 상기 구동바의 소정 위치에 고정된다.

상기 접촉핀은 상기 구동바의 양 끝단에서 동일한 거리 만큼 이격된 위치에 구비되고, 구동바 각각에 2개씩 구비될 수 있다.

다른 실시예에 따른 기판정렬장치는 상기 접촉핀과 스테이지를 연결하여, 상기 접촉핀이 소정 각도 범위 내의 제한적인 회전운동을 하게 하는 가이드부를 더 포함할 수 있다.

상기 가이드부는 일단(one end)은 상기 접촉핀에 회전 가능하게 고정되고, 타 일단은 상기 구동바에서 소정 거리 이격된 스테이지 상의 위치에 회전 가능하게 고정될 수 있다.

상기 접촉핀은 상기 기판과의 접촉면에 충격을 완화할 수 있는 탄성을 가진 완충부재를 포함할 수 있다.

상기 동력전달기는 소정 각도의 회전 운동을 통해, 상기 동력전달기에 연결된 구동바를 상기 기판 방향 또는 상기 기판의 반대 방향으로 병진 운동을 하게 하며, 다수개의 구동바 중에서 서로 인접하는 2 개의 구동바를 연결한다.

상기 동력전달기는 회전 운동을 할 수 있는 원형 판(circular disc)형상 일 수 있으며, 상기 원형 판의 지름은 60 mm 내지 70 mm일 수 있다.

상기 동력부는 상기 동력전달기를 직접 회전시키는 회전 모터 또는 직선 운동에 의해 상기 동력전달기를 회전시키는 리니어 모터일 수 있다.

상기 기판정렬장치는 기체를 분사하여 상기 기판을 상기 스테이지에서 소정 거리 상승시키는 기체분사기를 더 포함할 수 있다.

본 실시예에 따른 기판정렬장치는 단순한 구조를 갖는 링크 구조를 이용함으로써 그 제조비용을 낮추고, 상대적으로 고장으로 인해 드는 유지비가 감소되는 효과를 얻을 수 있다.

이하, 본 실시예에 따른 기판정렬장치에 대해, 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하도록 한다. 본 실시예에 따른 기판정렬장치는 기판의 정렬이 필요한 공정에 널리 사용될 수 있는데, 예를 들면 평면 디스플레이 장치를 제조하는 장비의 로드락(Load Lock, LL) 챔버에서 기판을 정렬하는 과정에 사용될 수 있다.

도 1은 평면 디스플레이 장치를 제조하는 장비의 구성을 보여주는 개략적인 도면이다. 도 1을 참조하면, 상기 장비는 외부에서 기판을 반입하거나 외부로 기판을 반출하는 공간이 되는 로드락 챔버(100), 상기 로드락 챔버(100)와 공정 챔버( 120) 간에 기판을 이동하기 위해 이송 로봇이 설치된 트랜스퍼챔버(Transfer chamber, 110), 기판의 처리가 수행되는 공정 챔버(Process chamber, 120)로 구성된다.

상기 장비의 외부에서 로봇과 같은 기판 반송 수단에 의해 로드락 챔버(100) 내로 기판이 반입되었을 때, 기판의 정렬이 이루어지지 않고 트랜스퍼 챔버(110), 공정 챔버(120)로 이동시키면, 공정 챔버(120) 내에서 기판의 정렬에 많은 시간이 소요되는 문제가 발생한다. 따라서, 로드락 챔버(100) 내의 정렬 과정이 요구되며, 본 실시예에 따른 기판정렬장치가 로드락 챔버(100) 내에 배치되어 사용될 수 있다.

도 2는 본 실시예에 따른 기판정렬장치를 설치한 로드락 챔버의 단면도이다. 도 2를 참조하면, 로드락 챔버(100)는 기판이 안착되는 스테이지(250)와 스테이지(250)에 배치되는 기판정렬장치(220)를 포함한다.

스테이지(250)에는 리프트핀(210)이 구비되는데, 리프트 핀(lift pin, 210)은 기판(S)이 게이트(gate, 240)를 통해 로드락 챔버(100) 내로 반입되면 상승하여 기판(S)을 수취한 후, 하강하여 기판(S)을 스테이지(250)에 안착시킨다. 또한, 리프트 핀(210)은 기판(S)을 로드락 챔버(100) 외부로 이송하여야 할 경우, 상승하여 로봇 팔과 같은 반송수단에 기판(S)을 전달하게 한다. 리프트 핀(210)은 다수개가 존재할 수 있으며, 스테이지(250)를 관통하여 승강할 수 있다.

또한, 스테이지(250)에는 기체를 분사할 수 있는 기체 분사기(230)를 더 포함할 수 있다. 기체 분사기(230)는 스테이지(250)에 안착된 기판(S)에 기체를 분사하여, 상기 기판(S)을 스테이지(250)에서 소정 간격 상승ㅇ이격시키는 역할을 한다. 이처럼 기판(S)을 스테이지(250)에서 상승ㅇ이격시키는 이유는, 기판정렬장치(220)가 기판(S)을 정렬하기 위해 상기 기판(S)을 이동시킬 때, 기판(S)과 스테이지(250) 간의 기계적 마찰에 의해 기판(S)에 흠이 발생하는 것을 방지하기 위함 이다. 이때, 사용되는 기체는 N₂ 기체를 사용할 수 있으며, 기체 분사기(230)는 기판(S)이 수평을 이룰 수 있게 소정 간격을 두고 다수개가 배치될 수 있다.

또한, 도시되지는 않았으나 로드락 챔버(100)에는 챔버 내부의 공간을 진공상태로 형성하기 위한 고진공분자펌프(Turbo Molecular Pump, TMP) 및 드라이 펌프(Dry pump)와 같은 진공펌프가 연결될 수 있다.

도 3은 본 실시예에 따른 기판정렬장치의 전체적인 구성을 나타내는 평면도이고, 도 4는 본 실시예에 따른 기판정렬장치의 접촉핀이 구비된 구동바를 나타낸 부분도이다. 도 5는 본 실시예에 따른 기판정렬장치의 동력전달기와 구동바의 연결부분을 나타낸 부분도이다.

도 3 내지 도 5를 참조하면, 본 실시예에 따른 기판정렬장치(220)는 구동바(310), 동력전달기(320), 동력부(330)를 포함한다. 이러한 기판정렬장치(220)는 상술한 바와 같이 로드락 챔버(100) 내의 스테이지(250) 상에 설치될 수 있다.

구동바(310)는 기판(S)을 정렬하기 위해 기판(S)을 이동시키는 부분으로, 다수개가 구비될 수 있다. 기판(S)이 사각형 모양일 경우 구동바(310)는 4개가 구비될 수 있다. 각 구동바(310)는 기판정렬장치(220)가 구동되면, 기판(S)을 미리 정해진 소정의 위치로 이동시킬 수 있게 배치되며, 동력부(330)의 동력 제공에 따라 4개의 구동바(310)는 동시에 움직이게 된다. 따라서, 하나의 동력부(330)만으로 기판의 정렬이 가능하다. 이 과정은 후술한다.

구동바(310)의 길이는 기판(S)의 모양에 따라 달라질 수 있다. 예를 들어 정 사각형의 기판이라면 4개의 구동바(310)의 길이가 모두 같을 수 있다. 반면, 기판의 모양이 직사각형 모양이라면, 2개씩 구동바(310)의 길이가 같을 수 있다.

구동바(310)의 소재는 강체에 가까운 소재로 구성되는 것이 바람직하다. 여기서 강체는 외력이 가해져도 모양의 변화가 없는 물체를 의미한다. 구동바(310)는 기판(S)을 밀어서 정렬시키는 힘을 전달해야 하기 때문에 외력이 가해졌을 때 탄성으로 휘어지는 것은 바람직하지 않다. 구동바(310)는 예를 들어, 스테인레스 스틸(stainless steel)을 이용하여 만들 수 있다.

도 4를 참조하면, 구동바(310)에는 접촉핀(410)이 고정된 상태로 구비되며, 상기 접촉핀(410)은 기판(S)과 직접 접촉하여 기판(S)을 미는 부분이다. 접촉핀(410)은 상기 구동바(310)의 양 끝단에서 동일한 거리만큼 이격된 위치에 구비될 수 있는데, 기판의 가장자리에 접촉할 수 있는 위치가 바람직하다.

접촉핀(410)은 구동바 각각에 다수개 구비될 수 있는데, 예를 들어 2개씩 구비될 수 있다. 또한, 기판(S)이 접촉핀(410)과의 접촉에 의해 훼손되는 것을 막기 위해 탄성 소재를 이용한 완충부재를 기판(S)과의 접촉면에 구비하는 것이 바람직하다. 상기 완충부재는 고무가 사용될 수 있다.

상기 구동바(310)는 하나의 동력전달기(320)에 2개씩 연결이 될 수 있으며, 연결된 2개의 구동바(310)는 동력전달기(320)의 중심을 기준으로 소정의 각도를 두고 연결될 수 있다. 예컨대, 구동바(310)는 동력전달기(320)의 중심을 기준으로 90ㅀ 내지 100ㅀ의 각도를 가지고 연결될 수 있다.

동력전달기(320)는 소정 각도의 회전 운동을 통해, 상기 동력전달기(320)에 연결된 구동바(310)를 상기 기판 방향 또는 상기 기판의 반대 방향으로 병진 운동을 하게 하는 것이다. 동력전달기(320)의 움직임에 따른 구동바(310)의 움직임을 설명하기 위해 도 8을 참조한다. 도 8은 동력전달기가 소정 각도로 회전을 하는 경우, 상기 동력전달기에 연결된 2개의 구동바가 움직이는 형태를 나타낸 도면이다. 도 8에 도시된 바와 같이 동력전달기(320)가 동력부(330)에 의해 회전하면, 동력전달기(320)에 연결된 2개의 구동바(310)가 기판(S)방향으로 이동하여 기판을 미리 정해진 위치로 정렬하게 된다.

상기 동력전달기(320)는 다수개가 구비될 수 있으며, 예를 들어 4개가 구비되어 각 동력전달기(320)에 인접한 2개의 구동바(310)를 상호 연결할 수 있다.

다시 도 8을 참조하면, 동력전달기(320)와 동력부(330)는 링크 기구(510, 조인트 및 소정 길이의 바로 구성될 수 있다)를 통해 연결될 수 있다.

이하에서는 동력전달기, 동력부 및 구동바의 동작과정을 설명하는데, 설명을 명확히 하기 위해 동력부(330)에 직접 연결된 동력전달기를 주 동력전달기라 하고, 동력부에 직접 연결되지 않은 종속 동력전달기라 한다.

먼저, 동력부(330)에 의해 주 동력전달기가 회전을 하게 된다. 그러면, 주 동력전달기에 연결된 2개의 구동바에 의해 다른 종속 동력전달기에 동력이 전달되어 회전을 하게 되고, 상기 다른 종속 동력전달기에 연결된 각 구동바는 기판 방향으로 병진운동을 하게 된다. 즉, 하나의 동력부(330)가 주 동력전달기를 회전시킴으로써, 다수개의 구동바(310)를 병진 운동 시키게 되는 것이다. 이러한 과정을 통해 각 구동바(310)에 구비된 접촉핀(410)은 기판(S)과 접촉하여 기판(S)을 이동시 킨다.

상기 동력전달기(320)의 형상은 예컨대, 회전할 수 있는 원판 모양으로 구성될 수 있다. 상기 동력전달기(320) 즉, 회전 원판의 회전 각도는 예를 들어, 0ㅀ≤θ≤ 90ㅀ사이의 값일 수 있다. 이러한 회전 원판은 60mm 내지 70 mm정도의 지름을 가질 수 있는데, 예컨대, 66mm 지름을 갖는 원형판이 사용될 수 있다. 그런데, 본 실시예에서는 상기 동력전달기(320)의 모양을 회전 가능한 원형판의 형상으로 하였지만, 이는 제한이 아니며 링크를 이용하여 동일한 효과를 낼 수 있다면 링크를 적절히 조합하여 사용하여도 무방하다.

동력부(330)는 각 구동바(310)에 동력을 제공하는 부분으로 다양한 모터가 사용될 수 있다. 동력부(330)에 사용되는 모터는 예를 들어, 회전 모터 또는 리니어 모터가 사용될 수 있다. 회전 모터가 사용되는 경우에는 동력전달기(320)를 직접 회전 운동시킬 수 있다. 반면, 리니어 모터가 사용되는 경우에는 리니어 모터에 연결된 피스톤을 직선운동 시키고, 상기 피스톤과 연결된 링크기구(510)에 의해 동력전달기(320)를 소정 각도로 회전시키게 된다. 도 5 및 도 8에, 동력부(330)가 리니어 모터인 경우, 피스톤 및 링크 기구(510)를 사용한 예를 도시하고 있다.

본 실시예에 따른 기판정렬장치는 하나의 모터만을 사용하여 기판 정렬을 할 수 있으므로, 종래의 기술에 비해 구동 모터의 수를 줄일 수 있다.

도 6은 다른 실시예에 따른 기판정렬장치의 구성을 나타낸 평면도이다. 도 7은 다른 실시예에 따른 기판정렬장치의 가이드부를 확대한 부분도이다. 도 6 및 도 7을 참조하면, 다른 실시예에 따른 기판정렬장치는 상술한 본 실시예에 따른 기판 정렬장치에 가이드부(610)를 더 포함한다.

상기 가이드부(610)는 구동바(310)의 움직임을 보조하는 역할을 하는데, 좌우로 소정 각도 범위 내에서 제한적인 회전운동을 한다. 이러한 가이드부(610)는 다수개가 배치될 수 있으며, 예컨대 각 구동바(310)에 2개씩 연결ㅇ배치될 수 있다. 상기 가이드부(610)는 일단(one end)은 상기 접촉핀(410)에 회전 가능하게 고정되고, 타 일단은 상기 구동바에서 소정 거리 이격된 스테이지(250) 상의 위치에 회전 가능하게 고정될 수 있다. 즉, 다른 실시예에 따른 기판정렬장치에서는 구동바(310)에 고정된 접촉핀(410)이 소정 각도의 회전운동을 하면서 기판(S)을 이동시키는 과정을 가이드부(610)가 보조하게 된다.

다른 실시예에 따른 기판정렬장치에서 구동바(310)에 구비되는 접촉핀(410)의 위치는 상기 구동바(310)의 길이를 n(n은 2 이상의 자연수)등분한 곳일 수 있다. 예를 들어, 상기 n이 3인 경우 도 6에 도시된 바와 같이 구동바(310)에 2개의 접촉핀이 구비될 수 있다.

상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 기판정렬장치는 종래 각 구동바(310)가 서로 다른 다수개의 구동 모터에 의해 움직이는 것에 비해 구조가 단순하고, 제어도 그만큼 쉽다. 이러한 단순한 구조는 고장으로 인한 유지 비용을 줄이는 데 도움을 주며, 기판의 정렬에 드는 시간도 줄일 수 있어 공정 시간을 줄이는 데도 도움이 된다.

이하에서는 본 실시예에 따른 기판정렬장치(220)를 구비한 로드락 챔버(100)의 동작과정을 설명한다.

기판(S)이 로봇 팔과 같은 이송수단에 의해 로드락 챔버(100) 내로 반입되면, 리프트 핀(210)이 상승하여 기판(S)을 인수한다. 기판(S)을 인수한 리프트 핀(210)은 하강하여, 스테이지(250)에 기판(S)을 안착시킨다.

그러면, 기체 분사기(230)에서 상기 기판(S)을 향해 질소 기체를 분사하여, 상기 기판(S)을 스테이지(250)에서 소정 간격 상승ㅇ이격시킨다. 그러면, 기판(S)은 상기 질소 기체의 분사로 인해 스테이지(250)로부터 소정 간격 상승ㅇ이격되어 있으므로, 접촉핀(410)이 상기 기판(S)을 이동시킬 때 상기 기판(S)에 기계적 마찰에 의한 흠이 발생하는 것을 방지할 수 있고, 동력부(330)의 파워가 크지 않아도 대면적의 기판(S)을 이동시킬 수 있는 장점이 있다.

그 후, 동력부(330)에서 연결된 주 동력전달기를 회전시키면, 각 동력전달기(320)에 연결된 구동바(310)가 동시에 이동하게 되고, 기판(S)은 접촉핀(410)과 접촉하여 이동하게 된다. 이러한 정렬 과정은 앞서 상술하였으므로 여기서는 생략하기로 한다.

로드락 챔버(100)에서 기판정렬장치(220)에 의해 정렬이 완료되면, 진공펌프에 의해 로드락 챔버(100) 내의 기체를 배기하여 공정에 적절한 상태의 진공 상태로 만든다. 그러면, 리프트 핀(210)이 상승하여 트랜스퍼 챔버(110)로 기판(S)을 이송할 수 있게 한다.

이상에서 본 발명의 바람직한 실시예에 대해 상세히 기술하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에 있어서 통상의 지식을 가진 사람이라면, 첨부된 특허청구범위에 정의된 본 발명의 범위를 벗어나지 않으면서 본 발명을 여러 가지로 변형하여 실시할 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

도 1은 평면 디스플레이 장치를 제조하는 장비의 구성을 보여주는 개략적인 도면이다.

도 2는 본 실시예에 따른 기판정렬장치를 설치한 로드락 챔버의 단면도이다.

도 3은 본 실시예에 따른 기판정렬장치의 전체적인 구성을 나타내는 평면도이다.

도 4는 본 실시예에 따른 기판정렬장치의 접촉핀이 구비된 구동바를 나타낸 부분도이다.

도 5는 본 실시예에 따른 기판정렬장치의 동력전달기와 구동바의 연결부분을 나타낸 부분도이다.

도 6은 다른 실시예에 따른 기판정렬장치의 구성을 나타낸 평면도이다.

도 7은 다른 실시예에 따른 기판정렬장치의 가이드부를 확대한 부분도이다.

도 8은 본 발명에 따른 실시예들에서 동력전달기가 소정 각도로 회전을 하는 경우, 상기 동력전달기에 연결된 2개의 구동바가 움직이는 형태를 나타낸 도면이다.

<도면의 주요부분에 대한 부호 설명>

100 : 로드락 챔버 310 : 구동바(bar)

320 : 동력전달기 330 : 동력부

430 : 가이드부 410 : 접촉핀

Claims (13)

1. 기판이 안착되는 스테이지;

   상기 스테이지의 상기 기판이 안착되는 위치 주변에 설치되어 상기 기판 방향으로 이동 가능한 다수개의 구동바(bar);

   상기 다수개의 구동바를 연결시키는 동력전달기;

   상기 동력전달기 중 어느 하나에 동력을 전달하여 상기 다수개의 구동바를 동시에 동작하게 하는 동력부;및

   상기 구동바로부터 돌출되어 상기 구동바의 구동에 따라 상기 기판에 접촉되어 상기 기판의 위치를 이동시키는 접촉핀;을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판정렬장치.
2. 삭제
3. 제 1 항에 있어서,

   상기 접촉핀은 상기 구동바의 소정 위치에 고정되는 것을 특징으로 하는 기판정렬장치.
4. 제 3 항에 있어서,

   상기 접촉핀은 상기 구동바의 양 끝단에서 동일한 거리 만큼 이격된 위치에 구비되고, 구동바 각각에 2개씩 구비되는 것을 특징으로 하는 기판정렬장치.
5. 제 1 항에 있어서,

   상기 접촉핀과 스테이지를 연결하여, 상기 접촉핀이 소정 각도 범위 내의 제한적인 회전운동을 하게 하는 가이드부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 것을 특징으로 하는 기판정렬장치.
6. 제 5 항에 있어서,

   상기 가이드부는 일단(one end)은 상기 접촉핀에 회전 가능하게 고정되고, 타 일단은 상기 구동바에서 소정 거리 이격된 스테이지 상의 위치에 회전 가능하게 고정되는 것을 특징으로 하는 기판정렬장치.
7. 제 1 항에 있어서,

   상기 접촉핀은 상기 기판과의 접촉면에 충격을 완화할 수 있는 탄성을 가진 완충부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판정렬장치.
8. 제 1 항에 있어서,

   상기 동력전달기는 소정 각도의 회전 운동을 통해, 상기 동력전달기에 연결된 구동바를 상기 기판 방향 또는 상기 기판의 반대 방향으로 병진 운동을 하게 하는 것을 특징으로 하는 기판정렬장치.
9. 제 8 항에 있어서,

   상기 동력전달기는 다수개의 구동바 중에서 서로 인접하는 2 개의 구동 바를 연결하는 것을 특징으로 하는 기판정렬장치.
10. 제 9 항에 있어서,

    상기 동력전달기는 회전 운동을 할 수 있는 원형 판(circular disc)인 것을 특징으로 하는 기판정렬장치.
11. 제 10 항에 있어서,

    상기 원형 판의 지름은 60 mm 내지 70 mm인 것을 특징으로 하는 기판정렬장치.
12. 제 1 항에 있어서,

    상기 동력부는 상기 동력전달기를 직접 회전시키는 회전 모터 또는 직선 운동에 의해 상기 동력전달기를 회전시키는 리니어 모터인 것을 특징으로 하는 기판정렬장치.
13. 제 1 항에 있어서,

    기체를 분사하여 상기 기판을 상기 스테이지에서 소정 거리 상승시키는 기체분사기를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판정렬장치.

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