KR20210026270A - 얼라인모듈 및 그를 포함하는 기판처리시스템 - Google Patents

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KR20210026270A
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Abstract

본 발명은 기판처리에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 기판처리대상이 되는 기판을 얼라인하기 위한 얼라인모듈 및 그를 포함하는 기판처리시스템에 관한 것이다.
본 발명은, 외부로부터 도입된 직사각형 형상의 원장기판(11) 또는 상기 원장기판(11)이 2분할된 2장의 분할기판(1)이 도입된 후 수평위치를 얼라인하는 얼라인모듈(10)로서, 밀폐된 내부공간을 형성하는 얼라인챔버(100)와; 상기 얼라인챔버(100) 내에 설치되어 원장기판(11) 또는 2장의 분할기판(1)을 지지하는 기판지지부(130)와; 상기 얼라인챔버(100) 내로 원장기판(11)이 도입되었을 때 메인대각선방향(D1)으로 대향된 위치에서 원장기판(11)의 수평위치를 정렬하는 원장기판정렬부와; 상기 얼라인챔버(100) 내로 2장의 분할기판(1)이 도입되었을 때 상기 메인대각선방향(D1)과 교차하는 제1서브대각선방향(D2)으로 대향된 위치에서 2장의 각 분할기판(1)의 수평위치를 정렬하는 분할기판정렬부를 포함하는 것을 특징으로 하는 얼라인모듈(10)을 개시한다.

Description

얼라인모듈 및 그를 포함하는 기판처리시스템 {Aligning module and substrate processing system having the same}
본 발명은 기판처리에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 기판처리대상이 되는 기판을 얼라인하기 위한 얼라인모듈 및 그를 포함하는 기판처리시스템에 관한 것이다.
기판처리시스템은, 로드락모듈 및 공정모듈의 결합 및 배치에 따라서 클러스터타입 및 인라인타입이 있다.
클러스터 타입은, 기판 반송을 위한 하나의 반송모듈을 중심으로 외부에서 기판이 도입되는 로드락모듈과, 반송모듈에 결합되어 반송모듈로부터 기판을 공급받아 기판을 처리하는 복수의 공정모듈들이 배치된 기판처리시스템 구성을 말한다.
인라인타입은, 로드락모듈, 공정모듈 및 언로드락모듈이 순차적으로 배치된 기판처리시스템의 구성을 말한다.
여기서 로드락모듈은, 외부로부터 도입된 기판을 반송모듈 또는 공정모듈로 도입되기 전에 정렬, 예열 등 기판처리 전에 필요한 기능을 수행하는 모듈로서, 대기압 하의 외부에서 진공압 하의 반송모듈 또는 공정모듈로 기판을 전달할 수 있도록 압력변환기능을 수행하는 등 필요에 따라서 다양한 구성이 가능하다.
한편, 로드락모듈은 포함하는 기판처리시스템은, 6세대, 7세대, 8세대 등 기판처리를 기준으로 기판의 크기에 따라서 그 크기가 증가하고 있으며, 증가된 기판규격에 따라서 크기, 정렬기능, 레시피 등이 최적화됨이 일반적이다.
이러한 기판처리시스템은, 각 세대 별 규격을 가지는 원장기판뿐만 아니라, 경우에 따라 원장기판에 대해 분할된 분할기판들을 기판처리대상으로 할 필요성이 있다.
그런데, 종래 기판처리시스템의 경우, 원장기판을 처리할 수 있는 기판처리시스템을 이용해 원장기판이 분할된 분할기판들에 대한 기판처리를 수행하는 것이 불가능하므로, 원장기판이 분할된 분할기판들에 대한 기판처리를 위해서는 해당 분할기판들에 대한 기판처리에 최적화된 기판처리시스템을 새로 구성해야 하고 추가설비를 위한 투자비용이 발생되는 문제점이 있다.
본 발명의 목적은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여, 기판처리대상이 원장기판 및 원장기판이 2분할된 분할기판에 대한 얼라인을 모두 수행할 수 있는 얼라인모듈 및 그를 포함하는 기판처리시스템을 제공하는 데 있다.
본 발명은 상기와 같은 본 발명의 목적을 달성하기 위하여 창출된 것으로서, 외부로부터 도입된 직사각형 형상의 원장기판(11) 또는 상기 원장기판(11)이 2분할된 2장의 분할기판(1)이 도입된 후 수평위치를 얼라인하는 얼라인모듈(10)로서, 밀폐된 내부공간을 형성하는 얼라인챔버(100)와; 상기 얼라인챔버(100) 내에 설치되어 원장기판(11) 또는 2장의 분할기판(1)을 지지하는 기판지지부(130)와; 상기 얼라인챔버(100) 내로 원장기판(11)이 도입되었을 때 메인대각선방향(D1)으로 대향된 위치에서 원장기판(11)의 수평위치를 정렬하는 원장기판정렬부와; 상기 얼라인챔버(100) 내로 2장의 분할기판(1)이 도입되었을 때 각 분할기판(1)의 서브대각선방향(D2, D3)으로 대향된 위치에서 2장의 각 분할기판(1)의 수평위치를 정렬하는 분할기판정렬부를 포함하는 것을 특징으로 하는 얼라인모듈(10)을 개시한다.
상기 분할기판정렬부는, 각 분할기판(1)의 수평위치를 정렬하는 제1분할기판정렬부 및 제2분할기판정렬부를 포함할 수 있다.
상기 제1분할기판정렬부는, 상기 2장의 직사각형 분할기판(1)들이 서로 마주보는 한 쌍의 내측변들 사이로 선형이동되어 상기 2장의 분할기판(1)들 중 어느 하나인 지지기판의 내측변을 지지하는 제1중앙정렬부(210)와, 상기 제1중앙정렬부(210)에 의하여 지지되는 상기 지지기판의 서브대각선방향인 제1서브대각선 방향(D2)으로 상기 제1중앙정렬부(210)에 대향되는 꼭지점 부근에 설치되어 회전 및 선형이동 중 적어도 어느 하나에 의하여 상기 지지기판을 수평방향으로 가압하는 제1측면정렬부(220)를 포함하며, 상기 제2분할기판정렬부는, 상기 2장의 분할기판(1)들 중 나머지 하나인 지지기판의 내측변을 기준으로 상기 제1중앙정렬부(210)와 대향된 위치에 설치되어 상기 2장의 직사각형 분할기판(1)들이 서로 마주보는 한 쌍의 내측변들 사이로 선형이동되어 상기 지지기판의 내측변을 지지하는 제2중앙정렬부(240)와, 상기 제2중앙정렬부(240)에 의하여 지지되는 상기 지지기판의 서브대각선방향인 제2서브대각선 방향(D3)으로 상기 제2중앙정렬부(240)에 대향되는 꼭지점 부근에 설치되어 회전 및 선형이동 중 적어도 어느 하나에 의하여 상기 지지기판을 수평방향으로 가압하는 제2측면정렬부(230)를 포함할 수 있다.
상기 제1중앙정렬부(210) 및 상기 제2중앙정렬부(240) 중 적어도 하나는, 상기 2장의 직사각형 분할기판(1)들이 서로 마주보는 한 쌍의 내측변들 사이로 선형이동되어 상기 2장의 직사각형 분할기판(1)들 중 어느 하나인 지지기판의 내측변을 지지하도록 상기 2장의 분할기판(1)들의 배치방향과 수직을 이루는 수평가상기준선(L)을 기준으로 상기 수평가상기준선(L)으로부터의 최외측부분(S)이 분할기판(1)을 향하는 방향으로 가면서 상기 수평가상기준선(L)과 가깝게 배치되는 복수의 중앙정렬부재(222)들을 포함할 수 있다.
상기 제1중앙정렬부(210) 및 상기 제2중앙정렬부(240) 중 적어도 하나는, 상기 지지기판의 내측변을 지지하는 중앙정렬부재(212)와, 상기 한 쌍의 내측변들 사이로 상기 중앙정렬부재(212)를 선형이동시키는 정렬부재이동부(214)를 포함할 수 있다.
상기 중앙정렬부재(212)는, 상기 2장의 직사각형 기판(1)들과 수직을 이루는 회전축을 중심으로 회전가능하게 상기 본체부(215)에 설치된 회전부재(213)에 상기 회전부재(213)의 회전축과 편심된 상태로 회전가능하게 결합되며, 상기 중앙정렬부재(212)가 상기 한 쌍의 내측변들 사이에 위치되었을 때 상기 중앙정렬부재(212)가 지지기판의 내측변에 대한 상대거리가 감소하도록 상기 회전부재(213)는, 회전수단에 의하여 회전될 수 있다.
본 발명에 따른 얼라인모듈은, 원장기판(11)의 꼭지점에 대응되는 위치를 반시계방향으로 P1, P2, P3, P4, 2장의 분할기판(1)들 중 하나의 꼭지점에 대응되는 위치를 반시계방향으로 P1, P5, P7, P4, 2장의 분할기판(1)들 중 나머지 하나의 꼭지점에 대응되는 위치를 반시계방향으로 P6, P2, P3, P8로 정의할 때, 상기 메인대각선방향(D1)은, P1 및 P3에 대응되어 위치된 원장기판(11)의 꼭지점들을 연결하는 대각선방향으로 정의되며, 상기 서브대각선방향(D2, D3)는, P4 및 P5에 대응되어 위치된 분할기판(1)의 꼭지점들을 연결하는 대각선방향인 제1서브대각선방향(D2)와, P8 및 P2에 대응되어 위치된 분할기판(1)의 꼭지점들을 연결하는 제2서브대각선방향(D3)으로 정의될 수 있다.
상기 제1중앙정렬부(210) 및 상기 제2중앙정렬부(240) 중 적어도 하나는, 꼭지점을 기준으로 지지기판의 내측변과 인접한 외측변을 지지하는 외곽지지부재(219)를 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 얼라인모듈은, 원장기판(11)의 꼭지점에 대응되는 위치를 반시계방향으로 P1, P2, P3, P4, 2장의 분할기판(1)들 중 하나의 꼭지점에 대응되는 위치를 반시계방향으로 P1, P5, P7, P4, 2장의 분할기판(1)들 중 나머지 하나의 꼭지점에 대응되는 위치를 반시계방향으로 P6, P2, P3, P8로 정의할 때, 상기 메인대각선방향(D1)은, P4 및 P2에 대응되어 위치된 원장기판(11)의 꼭지점들을 연결하는 대각선방향으로 정의되며, 상기 서브대각선방향(D2, D3)는, P4 및 P5에 대응되어 위치된 분할기판(1)의 꼭지점들을 연결하는 대각선방향인 제1서브대각선방향(D2)와, P8 및 P2에 대응되어 위치된 분할기판(1)의 꼭지점들을 연결하는 제2서브대각선방향(D3)으로 정의될 수 있다.
상기 제1중앙정렬부(210) 및 상기 제2중앙정렬부(240) 중 적어도 하나는, 꼭지점을 기준으로 지지기판의 내측변과 인접한 외측변을 지지하는 외곽지지부재(219)를 포함할 수 있다.
상기 제1측면정렬부(220) 및 상기 제2측면정렬부(230) 중 적어도 하나는, 상기 원장기판정렬부를 구성할 수 있다.
상기 분할기판(1)을 정렬할 때 상기 P2 및 P4에 대응되어 위치된 각 분할기판(1)의 꼭지점들의 정렬위치를 분할기판정렬위치라 하고, 원장기판(11)을 정렬할 때 상기 P2 및 P4에 대응되어 위치된 원장기판(1)의 꼭지점들의 정렬위치를 원장기판정렬위치라 할 때, 상기 P2 및 상기 P4 중 적어도 하나에 대응되는 상기 분할기판정렬위치 및 상기 원장기판정렬위치가 서로 다른 정렬위치에 위치되며, 상기 제1측면정렬부(220) 및 상기 제2측면정렬부(230) 중 적어도 하나는, 서로 다른 상기 분할기판정렬위치 및 상기 원장기판정렬위치 사이에서 이동가능하게 설치될 수 있다.
본 발명은 또한 외부로부터 이송로봇(11)에 의하여 원장기판(11) 또는 원장기판(11)이 2분할된 2장의 분할기판(1)이 도입되는 얼라인모듈(10)과, 상기 얼라인모듈과 결합되며 반송로봇(22)에 의하여 상기 얼라인모듈(10)로부터 원장기판(11) 또는 분할기판(1)을 인출하는 반송모듈(20)과, 상기 반송모듈(20)에 결합되어 상기 반송로봇(22)에 의하여 원장기판(11) 또는 분할기판(1)을 전달받아 기판처리를 수행하는 하나 이상의 공정모듈(50)을 포함하며, 상기 얼라인모듈(10)은, 상기와 같은 구성을 가지는 얼라인모듈(10)인 것을 특징으로 하는 기판처리시스템을 개시한다.
본 발명에 따른 얼라인모듈 및 그를 포함하는 기판처리시스템은, 원장기판의 얼라인을 위한 원장기판정렬부 및 원장기판이 2분할된 분할기판의 얼라인을 위한 분할기판정렬부를 구비함으로써, 원장기판 및 분할기판들에 대한 얼라인을 모두 수행할 수 있어 기판 크기의 변화에 따른 얼라인모듈의 교체 등이 불필요하여 기판제조비용을 현저히 절감할 수 있는 이점이 있다.
특히 본 발명에 따른 얼라인모듈 및 그를 포함하는 기판처리시스템은, 원장기판의 얼라인을 위한 원장기판정렬부 및 원장기판이 2분할된 분할기판의 얼라인을 위한 분할기판정렬부를 구비함으로써, 공정모듈 등 나머지 기존 모듈의 교체 없이 간단한 변형에 의하여 기판처리가 가능하여 기판제조비용을 현저히 절감할 수 있는 이점이 있다.
도 1a 및 도 1b는, 본 발명에 따른 기판처리시스템의 실시예들을 보여주는 도면으로서, 도 1a는 원장기판의 이송과정을, 도 1b는 분할기판의 이송과정을 보여주는 개념도들이다.
도 2a는, 본 발명에 따른 기판처리시스템의 얼라인모듈에서 원장기판의 얼라인과정을 보여주는 평면도이고, 도 2b는 본 발명에 따른 기판처리시스템의 얼라인모듈에서 2장의 분할기판을 얼라인과정을 보여주는 평면도이다.
도 3은, 도 2a 및 도 2b에 도시된 얼라인모듈의 변형례로서, 각각 원장기판의 얼라인과정을 보여주는 평면도들이다.
도 4는, 도 2a에서 Ⅳ-Ⅳ 방향에서 본 수직단면도이다.
도 5a 및 도 5b는, 도 2a 및 도 2b의 얼라인모듈에 포함되는 제1중앙정렬부 및 제2중앙정렬부 중 적어도 어느 하나의 제1실시예로서, 구성 및 작동을 보여주는 일부 평면도들이다.
도 6은, 도 5b에서 Ｉ-Ｉ 방향 단면도이다.
도 7은, 도 5b에서 본체부의 저면 쪽을 보여주는 저면도이다.
도 8a 및 도 8b는, 도 2a 및 도 2b의 얼라인모듈에 포함되는 제1중앙정렬부 및 제2중앙정렬부 중 적어도 어느 하나의 제2실시예로서, 구성 및 작동을 보여주는 일부 평면도들이다.
도 9는, 도 8b에서 Ｉ-Ｉ 방향 단면도이다.
도 10은, 도 8a 및 도 8b에 도시된 실시예의 변형예를 보여주는 일부 평면도이다.
도 11a 및 도 11b는, 도 2a 및 도 2b의 얼라인모듈에 포함되는 측면정렬부의 실시예로서, 구성 및 작동을 보여주는 일부 평면도들이다.
이하 본 발명에 따른 얼라인모듈 및 그를 포함하는 기판처리시스템에 관하여 첨부된 도면을 참조하여 설명하면 다음과 같다.
특히 본 발명에 따른 얼라인모듈은, 로드락모듈은 등 외부로부터 분할기판(1)이 도입된 후 정렬을 요하는 모듈이면 어떠한 모듈도 모두 가능하다.
그리고 본 발명에 따른 얼라인모듈은, 클러스터타입 및 인라인타입 등 식각, 증착 등 기판처리를 위한 기판처리시스템에 모두 적용될 수 있다.
예로서, 본 발명에 따른 얼라인모듈이, 로드락모듈로서 설치되는 기판처리시스템의 일예로서, 도 1a 내지 도 1b에 도시된 바와 같이, 외부로부터 이송로봇에 의하여 기판(1, 11)이 도입되는 얼라인모듈(10)과, 얼라인모듈(10)과 결합되며 반송로봇(22)에 의하여 얼라인모듈(10)로부터 기판(1, 11)을 인출하는 반송모듈(20)과, 반송모듈(20)에 결합되어 반송로봇(22)에 의하여 기판(1, 11)을 전달받아 기판처리를 수행하는 하나 이상의 공정모듈(50)을 포함하여 구성될 수 있다.
여기서 상기 각 모듈들에는, 상호 격리를 위하여 게이트밸브(31, 32, 41)들이 설치될 수 있다.
상기 반송모듈(20)은, 얼라인모듈(10)과 결합되며 얼라인모듈(10)로부터 처리대상을 인출하는 반송로봇(22)이 설치되는 구성으로서, 반송로봇(22)과 함께 반송로봇(22)이 내부에 설치되는 반송챔버(21)을 포함하여 구성되는 등 다양한 구성이 가능하다.
상기 공정모듈(30)은, 반송모듈(20)에 결합되어 반송로봇(22)으로부터 처리대상을 전달받아 식각, 증착 등의 기판처리를 수행하는 모듈로서, 기판처리의 종류에 따라 다양하게 구성될 수 있다.
상기 공정모듈(30)에서 기판처리 완료된 처리대상은 다시 반송모듈(20)의 반송로봇(22)에 의해 외부로 배출될 수 있음은 물론이다.
한편, 상기 기판처리대상이 되는 기판(예로서, 글라스기판)은, 직사각형 형상의 원장기판(11) 또는 원장기판(11)이 2분할된 2장의 분할기판(1)일 수 있다.
상기 원장기판(11)은, 세대별 규격에 따른 크기를 가지는 직사각형 기판일 수 있다.
예로서, 상기 2장의 분할기판(1)은, 원장기판(11)이 원장기판(11)의 중심선(L)을 따라 2분할된 기판으로 서도 중심선(L)을 기준으로 대칭의 직사각형 형상을 가지는 2장의 기판일 수 있다. 그리고 2분할된 분할기판(1)인 경우 한번에 2장의 기판이 모두 이송될 수 있다.
이때, 본 발명에 따른 기판처리시스템은, 외부로부터 원장기판(11) 도입 시 원장기판(11)에 대한 얼라인 및 기판처리를 수행하고, 외부로부터 2장의 분할기판(1) 도입 시 2장의 분할기판(1)에 대한 얼라인 및 기판처리를 수행할 수 있다.
즉, 본 발명에 따른 기판처리시스템은, 원장기판(11)에 대한 기판처리와 2장의 분할기판(1)에 대한 기판처리를 모두 수행 가능하게 구성될 수 있고, 그에 따라 외부에서 도입된 처리대상이 원장기판(11)인지 2장의 분할기판(1)인지 여부와 관계없이 모두 얼라인하여 기판처리공정을 수행할 수 있다.
예로서, 본 발명에 따른 기판처리시스템은, 도 1a에 도시된 바와 같이, 외부에서 원장기판(11)이 도입되면 얼라인모듈(10)에서 원장기판(11)을 얼라인한 후, 반송모듈(20)을 통해 원장기판(11)을 각 공정모듈(30)로 전달하여 원장기판(11)에 대한 기판처리를 수행할 수 있다.
다른 예로서, 본 발명에 따른 기판처리시스템은, 도 1b에 도시된 바와 같이, 외부에서 2장의 분할기판(1)이 도입되면 얼라인모듈(10)에서 2장의 분할기판(1)을 얼라인 한 후, 반송모듈(20)을 통해 2장의 분할기판(1)을 각 공정모듈(30)로 전달하여 원장기판(12)에 대한 기판처리를 수행할 수 있다.
한편 상기 얼라인모듈(10)의 얼라인챔버(100) 내에서의 분할기판(1)의 안착위치는, 원장기판(11)에 대한 상대위치로서 다양하게 설정될 수 있다.
예로서, 상기 얼라인모듈(10)의 얼라인챔버(100) 내에서의 분할기판(1)의 안착위치는, 2장의 분할기판(1)들에 의하여 형성하는 직사각형에서 원장기판(11)의 이송방향, 즉 X축방향의 중심선이, 원장기판(11)의 X축방향의 중심선에 일치되도록 설정될 수 있다.
다른 예로서, 상기 얼라인모듈(10)의 얼라인챔버(100) 내에서의 분할기판(1)의 안착위치는, 2장의 분할기판(1)들 중 이송방향의 전방측 측변이 원장기판(11)의 X축방향의 전방측 측변과 일치하도록 설정될 수 있다.
또 다른 예로서, 상기 얼라인모듈(10)의 얼라인챔버(100) 내에서의 분할기판(1)의 안착위치는, 2장의 분할기판(1)들 중 이송방향의 후방측 측변이 원장기판(11)의 X축방향의 후방측 측변과 일치하도록 설정될 수 있다.
한편 도 1a 내지 도 1b의 경우, 얼라인모듈(10)은 외부에서 도입되는 처리대상의 종류에 따라 원장기판(11)에 대한 얼라인 및 2장의 분할기판(1)에 대한 얼라인을 선택적으로 모두 수행할 수 있도록 구성되며, 공정모듈(30)은 반송모듈(20)로부터 전달받은 처리대상에 따라 원장기판(11)에 대한 기판처리 및 2장의 분할기판(1)에 대한 기판처리를 선택적으로 모두 수행할 수 있도록 구성될 수 있다.
다른 예로서, 본 발명에 따른 기판처리시스템은, 복수의 공정모듈(30)들 중 적어도 하나는, 원장기판(11)에 대한 기판처리를 위한 원장기판처리모듈이며, 복수의 공정모듈(30) 중 적어도 하나는, 2장의 분할기판(1)에 대한 기판처리를 위한 분할기판처리모듈일 수 있다.
도 1a 내지 도 1b의 경우 역시, 얼라인모듈(10)은 원장기판(11)에 대한 얼라인 및 2장의 분할기판(1)에 대한 얼라인을 선택적으로 모두 수행할 수 있도록 구성될 수 있다.
이를 통해, 본 발명에 따른 기판처리시스템은, 외부에서 도입되는 기판이 원장기판(11)인지 원장기판(11)이 2분할된 2장의 분할기판(1)인지 여부에 관계없이 기판처리를 수행할 수 있는 이점이 있다.
보다 구체적으로, 상기 기판처리시스템이 원장기판(11)에 대한 기판처리와 2장의 분할기판(1)에 대한 기판처리가 모두 가능하기 위해서, 밀폐된 내부공간을 형성하는 얼라인챔버(100)와; 얼라인챔버(100) 내에 설치되어 원장기판(11) 또는 2장의 분할기판(1)을 지지하는 기판지지부(130)와; 얼라인챔버(100) 내로 원장기판(11)이 도입되었을 때 메인대각선방향(D1)으로 대향된 위치에서 원장기판(11)의 수평위치를 정렬하는 원장기판정렬부와; 얼라인챔버(100) 내로 2장의 분할기판(1)이 도입되었을 때 각 분할기판(1)의 서브대각선방향(D2, D3)으로 대향된 위치에서 2장의 각 분할기판(1)의 수평위치를 정렬하는 분할기판정렬부를 포함할 수 있다.
상기 얼라인챔버(100)는, 밀폐된 내부공간을 형성하는 구성으로서, 상측이 개구되며 직육면체 형상의 챔버본체(112)와, 챔버본체(112)와 탈착가능하게 결합되는 상부리드(114)를 포함하여 구성될 수 있다.
상기 챔버본체(112)는, 기판(1, 11)의 도입 및 배출을 위하여 하나 이상의 게이트(102)가 형성되며, 도 2a 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 서로 대향되는 방향에서 한 쌍의 게이트(102)가 형성될 수 있다.
한편 상기 얼라인챔버(100)는, 설치환경에 따라서 대기압 하의 외부에서 진공압 하의 반송모듈(20)로의 처리대상 전달이 가능하도록 압력변환을 위하여 진공펌프와 같은 압력변환장치가 결합될 수 있다.
또한 상기 얼라인챔버(100)는, 기판처리의 종류에 따라서 예열 등을 위하여 히터 등이 설치될 수 있다.
상기 기판지지부(130)는, 얼라인챔버(100) 내에 설치되어 원장기판(11) 또는 2장의 분할기판(1)을 지지하는 구성으로 다양한 구성이 가능하다.
상기 기판지지부(130)는, 얼라인챔버(100) 내로 원장기판(11) 도입 시 원장기판(11)을 지지하며 얼라인챔버(100) 내로 2장의 분할기판(1) 도입 시 2장의 분할기판(1)을 지지하도록 구성된다.
예로서, 상기 기판지지부(130)는, 얼라인챔버(100)의 바닥에서 상측으로 돌출형성된 리프트핀들로 구성될 수 있다
또한 상기 기판지지부(130)는 한국공개특허공보 제10-2014-0119283호 중 도 3c 등에 개시된 기판지지유닛(3)으로 구성될 수 있다.
한편 상기 기판지지부(130)는 상하이동이 가능하도록 설치될 수 있다.
또한 상기 기판지지부(130)는 2장의 분할기판(1)을 지지하는 경우, 2장의 분할기판(1)이 서로 상하방향으로 높이차를 가지도록 지지할 수 있다.
이때, 상기 얼라인챔버(100) 내에서 2장의 분할기판(1)은, 도 2b 또는 도 3에 도시된 바와 같이, 얼라인챔버(100) 내에 배치된 원장기판(11)의 중심선(L)에 수직한 수평방향으로 배치될 수 있다.
또한, 상기 2장의 분할기판(1)은, 얼라인챔버(100) 내에서 원장기판(11)의 중심선(L)을 기준으로 미리 설정된 간격만큼 이격된 상태로 배치될 수 있다.
상기 원장기판(11) 및 2장의 분할기판(1)은, 얼라인챔버(100) 내에서의 안착위치는, 후술하는 원장기판정렬부 및 분할기판정렬부의 구성 등에 따라서 다양한 위치에서 배치될 수 있다.
도시하지는 않았으나, 상기 2장의 분할기판(1)은, 얼라인챔버(100) 내에서 얼라인된 원장기판(11)의 중심선(L)에 대해 대칭을 이루거나, 비대칭으로서 일측으로 치우친 상태로 수평방향으로 배치되는 예도 가능함은 물론이다.
상기 원장기판정렬부는, 얼라인챔버(100) 내로 원장기판(11)이 도입되었을 때 메인대각선방향(D1)으로 대향된 위치에서 원장기판(11)의 수평위치를 정렬하는 구성으로서 원장기판(11)의 정렬방식 및 위치에 따라서 다양한 구성이 가능하다.
이때, 상기 원장기판정렬부는, 도 2a 내지 도 3b에 도시된 바와 같이, 메인대각선방향(D1)으로 대향된 위치, 예를 들면 원장기판(11)의 형상인 직사각형 4 꼭지점에 대응되는 위치 P1, P2, P3, P4 중 P1 및 P3 또는 P2 및 P4에 설치될 수 있다.
여기서 P1, P2, P3, P4는, 직사각형 형상 중 반시계방향으로 원장기판(1)의 각 꼭지점에 대응되는 위치로 정의될 수 있다. 특히 P1은, 도 2a 내지 도 3b 중 좌하측을 P1으로 하고 반시계방향으로 각 꼭지점의 위치로 정의될 수 있으나 이는 상대적 위치를 정의한 것으로 다양하게 위치가 설정될 수 있다.
구체적으로, 상기 원장기판정렬부는, P1에 위치되어 P1에 대응되는 제1꼭지점을 기준으로 원장기판(11)의 세로변 및 가로변을 가압하는 제1원장기판정렬부(250)와, P1에 대하여 제1메인대각선방향(D1)으로 대향되는 P3에 위치되어 P1에 대응되는 제3꼭지점을 기준으로 원장기판(11)의 세로변 및 가로변을 가압하는 제2원장기판정렬부(260)을 포함할 수 있다.
상기 제1원장기판정렬부(250)는, P1에 위치되어 P1에 대응되는 제1꼭지점을 기준으로 원장기판(11)의 세로변 및 가로변을 가압하는 구성으로서, 원장기판(11)의 세로변 및 가로변의 가압방식에 따라서 다양한 구성이 가능하다.
예로서, 상기 제1원장기판정렬부(250)는, 도 11a 및 도 11b에 도시된 바와 같이 구성될 수 있다.
상기 제2원장기판정렬부(260)는, P1에 대하여 제1메인대각선방향(D1)으로 대향되는 P3에 위치되어 P1에 대응되는 제3꼭지점을 기준으로 원장기판(11)의 세로변 및 가로변을 가압하는 구성으로서, 원장기판(11)의 세로변 및 가로변의 가압방식에 따라서 다양한 구성이 가능하다.
예로서, 상기 제2원장기판정렬부(260)는, 도 11a 및 도 11b에 도시된 바와 같이 구성될 수 있다.
상기 분할기판정렬부는, 얼라인챔버(100) 내로 2장의 분할기판(1)이 도입되었을 때 각 분할기판(1)의 서브대각선방향(D2, D3)으로 대향된 위치에서 2장의 각 분할기판(1)의 수평위치를 정렬하는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.
예로서, 상기 분할기판정렬부는, 도 2a 내지 도 3b에 도시된 바와 같이, 각 분할기판(1)의 수평위치를 정렬하는 제1분할기판정렬부 및 제2분할기판정렬부를 포함할 수 있다.
여기서 특히 상기 제2분할기판정렬부는, 제1분할기판정렬부와 함께 각 분할기판(1)을 정렬하는 구성으로서, 2장의 분할기판(1)이 이루는 대향변들에 대한 기판지지구조, 얼라인 방식 및 정렬부의 숫자 및 배치에 따라서 다양한 구성이 가능하다.
구체적으로, 상기 제1분할기판정렬부는, 도 2a 및 도 2b에 도시된 바와 같이, 2장의 직사각형 분할기판(1)들이 서로 마주보는 한 쌍의 내측변들 사이로 선형이동되어 2장의 분할기판(1)들 중 어느 하나인 지지기판의 내측변을 지지하는 제1중앙정렬부(210)와, 지지기판을 지지하는 서브대각선방향인 제1서브대각선 방향(D2)으로 제1중앙정렬부(210)에 대향되는 꼭지점 부근에 설치되어 회전 및 선형이동 중 적어도 어느 하나에 의하여 상기 지지기판을 수평방향으로 가압하는 제1측면정렬부(220)를 포함할 수 있다.
그리고 상기 제2분할기판정렬부는, 2장의 분할기판(1)들 중 나머지 하나인 지지기판의 내측변을 기준으로 제1중앙정렬부(210)와 대향된 위치에 설치되어 2장의 직사각형 분할기판(1)들이 서로 마주보는 한 쌍의 내측변들 사이로 선형이동되어 지지기판의 내측변을 지지하는 제2중앙정렬부(240)와, 지지기판을 지지하는 서브대각선방향인 제2서브대각선 방향(D3)으로 제2중앙정렬부(240)에 대향되는 꼭지점 부근에 설치되어 회전 및 선형이동 중 적어도 어느 하나에 의하여 지지기판을 수평방향으로 가압하는 제2측면정렬부(230)를 포함할 수 있다.
한편 상기 제1측면정렬부(220) 및 제2측면정렬부(230)는, 2장의 분할기판(1)들의 배치방향을 기준으로 최전방 측 및 최후방 측에 설치되어 설치환경이 상대적으로 용이하다.
그러나, 상기 제1중앙정렬부(210) 및 제2중앙정렬부(240)는, 2장의 기판들 사이에서 분할기판(1)을 정렬함에 따라서 설치환경이 매우 제한적인 문제가 있다.
이에 상기 제1중앙정렬부(210) 및 제2중앙정렬부(240)는, 제한된 설치조건에 최적화된 구성이 필요하다.
이하 제1중앙정렬부(210) 및 제2중앙정렬부(240) 중 적어도 하나에 적용될 수 있는 제1실시예에 관하여 설명한다.
제1실시예로서, 도 5a 내지 도 7에 도시된 바와 같이, 상기 제1중앙정렬부(210) 및 제2중앙정렬부(240) 중 적어도 하나는, 지지기판의 내측변을 지지하는 중앙정렬부재(212)와, 한 쌍의 내측변들 사이로 중앙정렬부재(212)를 선형이동시키는 정렬부재이동부(214)를 포함할 수 있다.
상기 중앙정렬부재(212)는, 지지기판의 내측변을 지지하는 구성으로서, 수평단면이 원형 또는 타원형으로 형성될 수 있다.
특히 상기 중앙정렬부재(212)는, 수평단면의 중심을 지나는 회전축을 중심으로 회전가능하게 설치될 수 있다.
이때, 상기 중앙정렬부재(212)는, 분할기판(1), 즉 지지기판의 가장자리 측면과 밀착되어 회전가능한 재질이라면 다양한 재질이 가능하나, 분할기판(1)과의 마찰에 의한 파티클문제를 최소화하기 위해 엔지니어링 플라스틱과 같은 합성수지 재질로 형성됨이 바람직하다.
예로서, 상기 중앙정렬부재(212)는, 금속재질의 허브(212b)와, 허브(212b)의 외주면에서 분할기판(1)과 접촉되도록 결합되는 합성수지 등의 재질의 커버부재(212a)를 포함할 수 있다. 이때, 상기 커버부재(212a)는, 가공성 및 내열성 등을 위하여 PEEK(Polyether ether ketone) 재질로 형성됨이 바람직하다.
또한, 상기 커버부재(212a)는, 유지보수를 용이하게 하기 위하여 허브(212b)에 탈착가능하게 결합될 수 있으며, 커버부재(212a)의 외주면이 분할기판(1)과의 마찰로 손상된 경우 상하 반전되는 상태로 다시 허브(212b)에 결합되어 사용될 수 있다.
이때, 상기 중앙정렬부재(212)의 커버부재(212a)가 분할기판(1)과 접촉되는 위치는, 수평방향으로 보았을 때 중앙부의 상측 또는 하측에 위치됨이 바람직하다.
또한, 상기 커버부재(212a)는, 도 6에 도시된 바와 같이, 결합위치가 상하로 이동가능하게 결합될 수 있다. 이를 통해, 본 발명은, 상기 커버부재(212a)에 분할기판(1)이 밀착되는 지점이 사용에 의해 닳아지는 경우, 닳아지지 않은 부분에 분할기판(1)이 밀착되도록 커버부재(212a)의 결합위치를 상하방향으로 조정함으로써, 커버부재(212a)의 유지보수를 위한 기간을 최대로 연장할 수 있다.
한편, 상기 중앙정렬부재(212)는, 기판정렬 후 반송로봇(22)에 의하여 반출되기 전에 한 쌍의 내측변들 사이에서 후퇴되는 것이 바람직하다.
즉, 상기 중앙정렬부재(212)는, 정렬부재이동부(214)에 의하여 한 쌍의 내측변들의 외측에서 한 쌍의 내측변들 사이로 선형이동될 수 있다.
상기 정렬부재이동부(214)는, 얼라인챔버(100)의 일측에 설치되어 중앙정렬부재(212)를 내측변과 평행한 방향으로 이동시킴으로써 중앙정렬부재(212)를 내측변들 사이에 위치시키거나 외측으로 후퇴시킬 수 있다.
상기 중앙정렬부재(212)의 이동은, 상하방향 또는 수평방향으로 선형이동이 바람직하나, 중앙정렬부재(212)를 내측변들 사이에 위치시키거나 외측으로 후퇴시킬 수 있는 이동은 모두 가능하다.
상기 정렬부재이동부(214)는, 중앙정렬부재(212)와 결합되어 기판정렬시 상기 한 쌍의 중앙정렬부재(212)를 2장의 분할기판(1)들의 한 쌍의 내측변들 사이에 위치시키고 기판정렬 후에 중앙정렬부재(212)를 2장의 분할기판(1)들의 한 쌍의 내측변들 사이로부터 외측으로 후퇴시키는 구성으로 다양한 구성이 가능하다.
그리고, 상기 정렬부재이동부(214)는, 중앙정렬부재(212)와 결합되어 내측변과 평행한 수평방향으로 선형이동됨에 따라서 신축하는 벨로우즈를 포함할 수 있다.
일 실시예에서, 상기 제1중앙정렬부(210) 및 제2중앙정렬부(240) 중 적어도 하나는, 도 5a 및 도 5b에 도시된 바와 같이, 지지기판의 내측변을 지지하는 중앙정렬부재(212)과; 한 쌍의 내측변들 사이로 중앙정렬부재(212)를 선형이동시키는 정렬부재이동부(214)와; 중앙정렬부재(212)가 설치되며 정렬부재이동부(214)에 의하여 선형이동되는 본체부(215)를 포함할 수 있다.
상기 본체부(215)는, 중앙정렬부재(212)가 설치되며, 중앙정렬부재(212)가 2장의 분할기판(1)들의 내측변들 사이로 전후진 되도록 일단에서 정렬부재이동부(214)와 결합될 수 있다.
즉, 상기 본체부(215)는, 도 5a에 도시된 바와 같이, 일단에 정렬부재이동부(214)가 결합되고 타단부근에 중앙정렬부재(212)가 설치될 수 있다.
또한, 상기 본체부(215)는, 얼라인챔버(100)에 설치된 뷰포트(113)를 통해 분할기판(1)의 정렬상태를 체크하기 위하여 하나 이상의 스케일마크(215c)가 일면에 형성될 수 있다.
상기 중앙정렬부재(212)는, 지지기판의 내측변을 지지함과 아울러 가압에 의하여 지지기판을 정렬위치에 수평이동시키는 구성으로서, 다양한 구성이 가능하다.
일 예로서, 상기 중앙정렬부재(212)는, 한 쌍의 내측변들 사이에 위치되기 전에 지지기판의 내측변에 대한 상대거리가 최대인 상태로 있다가 한 쌍의 내측변들 사이에 위치되었을 때 지지기판의 내측변에 대한 상대거리가 최소, 예를 들면 접촉되는 상태가 되도록 구성됨이 바람직하다.
예로서, 상기 중앙정렬부재(212)는, 2장의 직사각형 분할기판(1)들과 수직을 이루는 회전축을 중심으로 회전가능하게 본체부(215)에 설치된 회전부재(213)에 회전부재(213)의 회전축과 편심된 상태로 회전가능하게 결합될 수 있다.
그리고, 상기 중앙정렬부재(212)가 한 쌍의 내측변들 사이에 위치되었을 때 중앙정렬부재(212)가 지지기판의 내측변에 대한 상대거리가 감소하도록 회전부재(213)는, 회전수단에 의하여 회전될 수 있다.
상기 회전부재(213)는, 2장의 직사각형 분할기판(1)들과 수직을 이루는 회전축을 중심으로 회전가능하게 본체부(215)에 설치됨과 아울러 중앙정렬부재(212)가 회전부재(213)의 회전축과 편심된 회전축을 중심으로 회전가능하게 설치될 수 있다.
즉, 상기 회전부재(213)는, 2장의 직사각형 분할기판(1)들과 수직을 이루는 회전축을 중심으로 회전가능하게 본체부(215)에 설치될 수 있다.
이때, 상기 회전부재(213)의 회전축은, 회전부재(213)의 수평단면의 중심을 관통하는 축이며, 중앙정렬부재(212)의 회전축과 편심된다.
상기 회전수단은, 중앙정렬부재(212)가 한 쌍의 내측변들 사이에 위치되었을 때 지지기판의 내측변에 대한 상대거리가 감소되도록 회전부재(213)를 회전시키는 구성으로 다양한 구성이 가능하다.
일 실시예에서, 상기 회전수단은, 정렬부재이동부(214)에 의한 회전부재(213)의 선형이동경로 중 전방측에 설치된 제1스토퍼(216c)와, 회전부재(213)의 회전중심과 편심된 위치에서 회전부재(213)의 회전축방향으로 돌출되어 설치되며 회전부재(213)의 선형이동시 제1스토퍼(216c)에 걸림되어 회전부재(213)를 회전시키는 리플렉터(216a)를 포함할 수 있다.
상기 스토퍼(216c)는, 얼라인챔버(100)의 하부면 또는 측면에서 정렬부재이동부(214)에 의한 회전부재(213)의 선형이동경로 상 전방측에 설치되는 구성으로 다양한 구성이 가능하다.
상기 리플렉터(216a)는, 회전부재(213)의 회전중심과 편심된 위치에서 회전부재(213)의 회전축방향으로 돌출되어 설치될 수 있다.
상기 리플렉터(216a)는, 회전부재(213)의 회전중심과 편심된 위치에 설치되므로 회전부재(213)의 회전중심을 중심으로 원주방향으로 이동되어 회전부재(213)을 회전시킬 수 있다.
상기 리플렉터(216a)는, 회전부재(213)의 회전축방향으로 돌출되게 형성되므로 정렬부재이동부(214)에 의한 회전부재(213)이 선형이동 시 스토퍼(216c)에 걸림됨으로써 회전부재(213)을 회전시킬 수 있다.
한편, 상기 회전수단은, 회전부재(213)의 회전중심과 편심된 위치에서 회전부재(213)에 결합되어 지지기판의 내측변에 대한 상대거리가 증가되는 방향으로 탄성력에 의하여 회전부재(213)를 복원회전시키는 탄성부재(216b)를 추가로 포함할 수 있다.
상기 탄성부재(216b)는, 회전부재(213)의 회전에 따라 길이가 신축되어 리플렉터(216a)를 복원회전시키는 탄성력을 제공하는 구성으로 다양한 구성이 가능하다.
예로서, 상기 탄성부재(216b)는, 회전부재(213)의 저면 및 본체부(215)의 저면 사이에 설치된 스프링에 해당될 수 있다.
이때, 상기 탄성부재(216b)는, 회전부재(213)의 회전에 따라 길이가 신축되기 위하여 회전부재(213)의 회전중심에서 편심된 지점에 설치됨이 바람직하다.
이에 더하여, 상기 회전수단은, 중앙정렬부재(212)가 한 쌍의 내측변들 사이에서 외측으로 후퇴되는 회전부재(213)의 선형이동시 리플렉터(216a)가 걸림되어 중앙정렬부재(212)가 이루는 지지기판의 내측변에 대한 상대거리가 증가되는 방향으로 회전부재(213)를 회전시키는 제2스토퍼(216d)를 추가로 포함할 수 있다.
상기 제2스토퍼(216d)는, 얼라인챔버(100)의 하부면 또는 측면에서 정렬부재이동부(214)에 의한 회전부재(213)의 선형이동경로 상에 설치되는 구성으로 다양한 구성이 가능하다.
상기와 같은 구성을 가지는 회전수단에 의해, 회전부재(213)는, 도 7에 도시된 바와 같이, 본체부(215)가 내측변들 사이로 진입될 때 화살표방향(반시계방향)으로 회전되어 진입방향으로 배치된 한 쌍의 중앙정렬부재(212)가 내측변들 사이로 진입된 후 진입방향에 수직인 방향으로 배치되도록 할 수 있다.
이를 통해, 본 발명은, 2장의 분할기판(1)들의 내측변들 사이의 폭이 좁은 경우에도 중앙정렬부재(212)와 분할기판(1) 사이의 마찰 없이 중앙정렬부재(212)를 내측변들 사이에 위치시킬 수 있다.
한편, 상기 내측변들 사이의 폭이 중앙정렬부재(212)의 직경보다 작은 경우에도 중앙정렬부재(212)를 내측변들 사이에 용이하게 위치시키기 위하여, 중앙정렬부재(212)보다 먼저 내측변들 사이에 진입되어 내측변들 사이의 간격을 형성하는 간격확장부재(218)를 추가로 포함할 수 있다.
상기 간격확장부재(218)는, 도 5a 내지 도 7에 도시된 바와 같이, 한 쌍의 중앙정렬부재(212)보다 앞서 한 쌍의 내측변들 사이에 위치되기 위하여 본체부(215)의 일단에 설치됨이 바람직하다.
상기 간격확장부재(218)는, 분할기판(1)과의 마찰을 최소화 하며 내측변들 사이에 진입하기 위하여 내측변들과 접촉하는 접촉부분으로부터 끝단으로 가면서 수평폭이 감소되는 테이퍼형상으로 형성될 수 있다.
한편, 지지기판의 꼭지점을 기준으로 지지기판의 내측변과 인접한 외측변을 지지하는 외곽지지부재(219)가 본체부(215, 225)에 설치될 수 있다.
상기 외곽지지부재(219)는, 중앙정렬부재(212)가 결합된 본체부(215)의 타단부분과 정렬부재이동부(214)가 결합된 본체부(215)의 일단 사이에서 2장의 분할기판(1)들의 배치방향으로 연장되는 날개부분(215a)에 결합될 수 있다.
상기 외곽지지부재(219)는, 중앙정렬부재(212)에 의하여 지지되는 지지기판의 내측변에 인접한 꼭지점을 기준으로 꼭지점에 인접한 외측변을 지지, 즉 꼭지점 영역을 지지할 수 있다.
한편 상기 외곽지지부재(219)는, 내측변들을 향하는 방향으로의 설치위치의 조정이 가능하도록 설치될 수 있다.
이때, 상기 본체부(215)의 날개부분(215a)에는, 볼트결합의 위치를 조절할 수 있는 위치조절용 장공(215d)이 각각 형성될 수 있다.
상기 위치조절용 장공(215d)은, 내측변들을 향하는 방향으로의 설치위치의 조정이 가능하도록 삽입된 볼트가 지지기판의 외측변에 대하여 선형이동이 가능하도록 형성되며, 볼트에 대한 너트의 결합에 의하여 본체부(215)의 날개부분(215a)은 본체부(215)에 위치가 고정되어 설치될 수 있다.
또한, 상기 외곽지지부재(219)는, 위치조절용 장공(215d)에 탈착가능하게 결합될 수 있다.
예로서, 상기 외곽지지부재(219)는, 볼트결합을 통해 위치조절용 장공(215d)에 결합될 수 있다.
또한, 상기 외곽지지부재(219)는, 수평단면이 원형, 타원형으로 형성되어 2장의 직사각형 분할기판(1)들의 외측변들 각각을 지지할 수 있다.
상기 외곽지지부재(219)는, 수평단면의 중심을 지나는 회전축을 중심으로 회전가능하게 설치될 수 있다.
이때, 상기 상기 외곽지지부재(219)는, 분할기판(1), 즉 지지기판의 가장자리 측면과 밀착되어 회전가능한 재질이라면 다양한 재질이 가능하나, 분할기판(1)과의 마찰에 의한 파티클문제를 최소화하기 위해 엔지니어링 플라스틱과 같은 합성수지 재질로 형성됨이 바람직하다.
예로서, 상기 상기 외곽지지부재(219)는, 금속재질의 허브와, 허브의 외주면에서 분할기판(1)과 접촉되도록 결합되는 합성수지 등의 재질의 커버부재(219a)를 포함할 수 있다. 이때, 상기 커버부재(219a)는, 가공성 및 내열성 등을 위하여 PEEK(Polyether ether ketone) 재질로 형성됨이 바람직하다.
또한, 상기 커버부재(219a)는, 유지보수를 용이하게 하기 위하여 외곽지지부재(219)에 탈착가능하게 결합될 수 있으며, 커버부재(219a)의 외주면이 분할기판(1)과의 마찰로 손상된 경우 뒤집어진 상태로 다시 허브에 결합되어 사용될 수 있다.
이때, 상기 외곽지지부재(219)의 커버부재(219a)가 분할기판(1)과 접촉되는 위치는, 수평방향으로 보았을 때 중앙부의 상측 또는 하측에 위치됨이 바람직하다.
또한, 상기 커버부재(219a)는, 도 6에 도시된 바와 같이, 결합위치가 상하로 이동가능하게 결합될 수 있다. 이를 통해, 본 발명은, 상기 커버부재(219a)에 분할기판(1)이 밀착되는 지점이 사용에 의해 닳아지는 경우, 닳아지지 않은 부분에 분할기판(1)이 밀착되도록 커버부재(219a)의 결합위치를 상하방향으로 조정함으로써, 커버부재(219a)의 유지보수를 위한 기간을 최대로 연장할 수 있다.
한편 제1중앙정렬부(210) 및 제2중앙정렬부(240)는, 도 5a 내지 도 7의 실시예 이외에 다양한 변형이 가능하다.
이하 제1중앙정렬부(210) 및 제2중앙정렬부(240) 중 적어도 하나에 적용될 수 있는 제2실시예에 관하여 설명한다.
제2실시예로서, 도 8a 내지 도8에 도시된 바와 같이, 상기 제1중앙정렬부(210) 및 상기 제2중앙정렬부(240) 중 적어도 하나는, 2장의 직사각형 분할기판(1)들이 서로 마주보는 한 쌍의 내측변들 사이로 선형이동되어 2장의 직사각형 분할기판(1)들 중 어느 하나인 지지기판의 내측변을 지지하도록 2장의 분할기판(1)들의 배치방향과 수직을 이루는 수평가상기준선(L)을 기준으로 수평가상기준선(L)으로부터의 최외측부분(S)이 분할기판(1)을 향하는 방향으로 가면서 수평가상기준선(L)과 가깝게 배치되는 복수의 중앙정렬부재(222)들을 포함할 수 있다.
상기 복수의 중앙정렬부재(222)들은, 2장의 분할기판(1)들의 배치방향과 수직을 이루는 수평가상기준선(L)을 기준으로 수평가상기준선(L)으로부터의 최외측부분(S)이 분할기판(1)을 향하는 방향으로 가면서 수평가상기준선(L)과 가깝게 배치되는 부재로서, 원기둥 또는 타원기둥 형상을 가져 지지기판의 내측변을 지지할 수 있다.
상기 복수의 중앙정렬부재(222)들은, 수평단면의 중심을 지나는 회전축을 중심으로 회전가능하게 설치될 수 있다.
이때, 상기 중앙정렬부재(222)는, 분할기판(1)과 밀착되어 회전가능한 재질이라면 다양한 재질이 가능하나, 분할기판(1)과의 마찰에 의한 파티클문제를 최소화하기 위해 엔지니어링 플라스틱과 같은 합성수지 재질로 형성됨이 바람직하다.
예로서, 상기 중앙정렬부재(222)는, 금속재질의 허브와, 허브의 외주면에서 분할기판(1)과 접촉되도록 결합되는 합성수지 등의 재질의 커버부재를 포함할 수 있다. 이때, 상기 커버부재는, 가공성 및 내열성 등을 위하여 PEEK(Polyether ether ketone) 재질로 형성됨이 바람직하다.
또한, 상기 커버부재는, 유지보수를 용이하게 하기 위하여 허브에 탈착가능하게 결합될 수 있으며, 커버부재의 외주면이 분할기판(1)과의 마찰로 손상된 경우 상하 반전되는 상태로 다시 허브에 결합되어 사용될 수 있다.
이때, 상기 중앙정렬부재(222)의 커버부재가 분할기판(1)과 접촉되는 위치는, 회전축방향을 기준으로 중앙부의 상측 또는 하측에 위치됨이 바람직하다.
또한, 상기 커버부재는, 도 9에 도시된 바와 같이, 결합위치가 상하로 이동가능하게 결합될 수 있다. 이를 통해, 본 발명은, 상기 커버부재에 분할기판(1)이 밀착되는 지점이 사용에 의해 닳아지는 경우, 닳아지지 않은 부분에 분할기판(1)이 밀착되도록 커버부재의 결합위치를 상하방향으로 조정함으로써, 커버부재의 유지보수를 위한 기간을 최대로 연장할 수 있다.
한편, 상기 중앙정렬부재(222)는, 기판정렬 후 반송로봇(22)에 의하여 반출되기 전에 한 쌍의 내측변들 사이에서 외측으로 후퇴되는 것이 바람직하다.
즉, 상기 복수의 중앙정렬부재(222)들은, 정렬부재이동부(224)에 의하여 한 쌍의 내측변들 사이 및 한 쌍의 내측변들의 외측 사이에서 선형이동될 수 있다.
상기 정렬부재이동부(224)는, 얼라인챔버(100)의 일측에 설치되어 중앙정렬부재(222)를 정렬부재이동부(224)에 의하여 한 쌍의 내측변들 사이 및 한 쌍의 내측변들의 외측 사이에서 선형이동시킴으로써 중앙정렬부재(222)를 내측변들 사이에 위치시키거나 후퇴시킬 수 있다.
상기 정렬부재이동부(224)는, 중앙정렬부재(222)와 결합되어 기판정렬시 상기 복수의 중앙정렬부재(222)들을 2장의 분할기판(1)들의 한 쌍의 내측변들 사이에 위치시키고 기판정렬 후에 중앙정렬부재(222)를 2장의 분할기판(1)들의 한 쌍의 내측변들 사이로부터 후퇴시키는 구성으로 다양한 구성이 가능하다.
그리고, 상기 정렬부재이동부(224)는, 중앙정렬부재(222)와 결합되어 내측변과 평행한 수평방향으로 선형이동됨에 따라서 신축하는 벨로우즈를 포함할 수 있다.
이때, 상기 복수의 중앙정렬부재(222)들은, 도 8a 및 도 8b에 도시된 바와 상기 같이, 정렬부재이동부(224)에 의하여 선형이동되는 본체부(225)에 설치될 수 있다.
상기 본체부(225)는, 중앙정렬부재(222)가 설치되며, 중앙정렬부재(222)가 2장의 분할기판(1)들의 내측변들 사이로 전후진 되도록 일단에서 정렬부재이동부(224)와 결합될 수 있다.
즉, 상기 본체부(225)는, 도 8a에 도시된 바와 같이, 일단에 정렬부재이동부(224)가 결합되고 타단부분에 중앙정렬부재(222)들이 설치될 수 있다.
또한, 상기 본체부(225)는, 얼라인챔버(100)에 설치된 뷰포트(113)를 통해 분할기판(1)의 정렬상태를 체크하기 위하여 스케일마크(225c)가 일면에 형성될 수 있다.
상기 복수의 중앙정렬부재(222)들은, 지지기판의 내측변을 지지함과 아울러 가압에 의하여 지지기판을 정렬위치에 수평이동시키는 구성으로서, 다양한 구성이 가능하다.
일 예로서, 상기 중앙정렬부재(222)들은, 한 쌍의 내측변들 사이에 위치되기 전에 지지기판의 내측변에 대한 상대거리가 최대인 상태로 있다가 한 쌍의 내측변들 사이에 위치되었을 때 지지기판의 내측변에 대한 상대거리가 최소, 예를 들면 접촉되는 상태가 되도록 구성됨이 바람직하다.
이에, 상기 복수의 중앙정렬부재(222)들은, 장의 직사각형 분할기판(1)들이 서로 마주보는 한 쌍의 내측변들 사이로 선형이동되어 상기 2장의 직사각형 분할기판(1)들 중 어느 하나인 지지기판의 내측변을 지지하도록 상기 2장의 분할기판(1)들의 배치방향과 수직을 이루는 수평가상기준선(L)을 기준으로 상기 수평가상기준선(L)으로부터의 최외측부분(S)이 분할기판(1)을 향하는 방향으로 가면서 상기 수평가상기준선(L)과 가깝게 배치될 수 있다.
일 실시예에서, 상기 복수의 중앙정렬부재(222)들은, 도 8a 및 도 8b에 도시된 바와 같이, 수평가상기준선(L)으로부터 중앙정렬부재(222)의 수평단면의 중심까지의 거리(D)가 분할기판(1)을 향하는 방향, 즉 한 쌍의 내측변의 외측에서 한 쌍의 내측변들 사이로 가면서 수평가상기준선(L)과 가깝게 배치될 수 있다.
보다 구체적으로, 상기 수평가상기준선(L) 및 지지기판의 내측변 사이에 제1가상배치선(A1)이 설정되며, 이때 복수의 중앙정렬부재(222)들은, 원기둥 형상을 이루며, 그 중심이 제1가상배치선(A1)을 따라서 배치될 수 있다.
상기 제1가상배치선(A1)은, 직선 또는 곡선으로 설정될 수 있다.
이때, 상기 복수의 중앙정렬부재(222)들은, 원기둥 형상을 이루며, 외경이 동일하게 형성되거나 또는 분할기판(1)으로 멀어지면서 외경이 증가되도록 형성될 수 있다.
다른 일 실시예에서, 상기 복수의 중앙정렬부재(222)들은, 도 9에 도시된 바와 같이, 수평가상기준선(L)을 따라 일렬로 배치될 수 있다.
이때, 상기 복수의 중앙정렬부재(222)들은, 수평가상기준선(L)으로부터의 최외측부분(S)이 분할기판(1)을 향하는 방향으로 가면서 수평가상기준선(L)과 가깝게 배치되기 위하여, 분할기판(1)을 향하는 방향으로 가면서 분할기판(1)의 배치방향에 대한 중앙정렬부재(222)의 수평단면의 길이, 즉 직경이 점진적으로 감소되도록 형성됨이 바람직하다.
예로서, 상기 복수의 중앙정렬부재(222)들은, 원기둥 형상을 이루며, 분할기판(1)으로 멀어지면서 외경이 증가되도록 형성될 수 있다.
한편 도 8a 내지 도 9에 도시된 실시예 도 10에 도시된 실시예를 조합하여 구성할 수 있음은 물론이다.
즉, 상기 복수의 중앙정렬부재(222)들은, 분할기판(1)에서 멀어지는 방향으로 수평가상기준선(L)을 따라 일렬로 배치되다가 미리 설정된 지점에서 수평가상기준선(L)에 대하여 경사를 이루는 제1가상배치선(A1)을 따라서 배치될 수 있다.
다시 말해, 상기 복수의 중앙정렬부재(222)들은, 지지기판의 내측변을 지지하도록 분할기판(1)의 배치방향과 수직을 이루는 수평가상기준선(L)을 기준으로 수평가상기준선(L)으로부터의 최외측부분(S)이 분할기판(1)을 향하는 방향으로 가면서 수평가상기준선(L)과 가깝게 배치된다면 다양한 형태의 배치가 가능하다.
이를 통해, 본 발명은, 한 쌍의 내측변들 사이에 중앙정렬부재(222)가 진입되는 경우 2장의 기판 중 어느 하나인 지지기판의 내측변을 가압함으로써 후술하는 측면정렬부(220 또는 230)과 함께 지지기판의 수평위치를 정렬할 수 있다.
한편 상기 제1중앙정렬부(210) 및 제2중앙정렬부(240)의 구성에 있어서, 도 5a 내지 도 7에 도시된 실시예, 도 8a 내지 도 9에 도시된 실시예 및 도 10에 도시된 실시예를 조합하여 구성할 수 있음은 물론이다.
한편, 상기 중앙정렬부(220)는, 내측변들 사이의 폭이 중앙정렬부재(222)의 직경보다 작은 경우에도 중앙정렬부재(222)를 내측변들 사이에 용이하게 위치시키기 위하여, 한 쌍의 중앙정렬부재(222) 보다 먼저 내측변들 사이에 진입되어 내측변들 사이의 간격을 형성하는 간격확장부재(228)를 추가로 포함할 수 있다.
상기 간격확장부재(228)는, 도 8a 내지 도 10에 도시된 바와 같이, 중앙정렬부재(222)보다 앞서 한 쌍의 내측변들 사이에 위치되기 위하여 본체부(225)의 일단에 설치됨이 바람직하다.
상기 간격확장부재(228)는, 분할기판(1)과의 마찰을 최소화 하며 내측변들 사이에 진입하기 위하여 내측변들과 접촉하는 접촉부분으로부터 끝단으로 가면서 수평폭이 감소되는 테이퍼형상으로 형성될 수 있다.
한편, 지지기판의 꼭지점을 기준으로 지지기판의 내측변과 인접한 외측변을 지지하는 외곽지지부재(219)가 본체부(215, 225)에 설치될 수 있다.
상기 외곽지지부재(219)는, 중앙정렬부재(222)가 결합된 본체부(225)의 타단부분과 정렬부재이동부(224)가 결합된 본체부(225)의 일단 사이에서 2장의 분할기판(1)들의 배치방향으로 연장되는 날개부분(225a)에 결합될 수 있다.
상기 외곽지지부재(219)는, 중앙정렬부재(222)에 의하여 지지되는 지지기판의 내측변에 인접한 꼭지점을 기준으로 꼭지점에 인접한 외측변을 지지, 즉 꼭지점 영역을 지지할 수 있다.
한편 상기 외곽지지부재(219)는, 내측변들을 향하는 방향으로의 설치위치의 조정이 가능하도록 설치될 수 있다.
이때, 상기 본체부(225)의 날개부분(225a)에는, 볼트결합의 위치를 조절할 수 있는 위치조절용 장공(미도시)이 각각 형성될 수 있다.
상기 위치조절용 장공은, 내측변들을 향하는 방향으로의 설치위치의 조정이 가능하도록 삽입된 볼트가 지지기판의 외측변에 대하여 선형이동이 가능하도록 형성되며, 볼트에 대한 너트의 결합에 의하여 본체부(225)의 날개부분(225a)은 본체부(225)에 위치가 고정되어 설치될 수 있다.
또한, 상기 외곽지지부재(219)는, 위치조절용 장공에 탈착가능하게 결합될 수 있다.
예로서, 상기 외곽지지부재(219)는, 볼트결합을 통해 위치조절용 장공(215d)에 결합될 수 있다.
또한, 상기 외곽지지부재(219)는, 수평단면이 원형, 타원형으로 형성되어 2장의 직사각형 분할기판(1)들의 외측변들 각각을 지지할 수 있다.
상기 외곽지지부재(219)는, 수평단면의 중심을 지나는 회전축을 중심으로 회전가능하게 설치될 수 있다.
이때, 상기 상기 외곽지지부재(219)는, 분할기판(1), 즉 지지기판의 가장자리 측면과 밀착되어 회전가능한 재질이라면 다양한 재질이 가능하나, 분할기판(1)과의 마찰에 의한 파티클문제를 최소화하기 위해 엔지니어링 플라스틱과 같은 합성수지 재질로 형성됨이 바람직하다.
예로서, 상기 상기 외곽지지부재(219)는, 금속재질의 허브와, 허브의 외주면에서 분할기판(1)과 접촉되도록 결합되는 합성수지 등의 재질의 커버부재(219a)를 포함할 수 있다. 이때, 상기 커버부재(219a)는, 가공성 및 내열성 등을 위하여 PEEK(Polyether ether ketone) 재질로 형성됨이 바람직하다.
또한, 상기 커버부재(219a)는, 유지보수를 용이하게 하기 위하여 외곽지지부재(219)에 탈착가능하게 결합될 수 있으며, 커버부재(219a)의 외주면이 분할기판(1)과의 마찰로 손상된 경우 뒤집어진 상태로 다시 허브에 결합되어 사용될 수 있다.
이때, 상기 외곽지지부재(219)의 커버부재(219a)가 분할기판(1)과 접촉되는 위치는, 수평방향으로 보았을 때 중앙부의 상측 또는 하측에 위치됨이 바람직하다.
또한, 상기 커버부재(219a)는, 도 6에 도시된 바와 같이, 결합위치가 상하로 이동가능하게 결합될 수 있다. 이를 통해, 본 발명은, 상기 커버부재(219a)에 분할기판(1)이 밀착되는 지점이 사용에 의해 닳아지는 경우, 닳아지지 않은 부분에 분할기판(1)이 밀착되도록 커버부재(219a)의 결합위치를 상하방향으로 조정함으로써, 커버부재(219a)의 유지보수를 위한 기간을 최대로 연장할 수 있다.
상기 제1측면정렬부(220) 및 제2측면정렬부(230) 중 적어도 하나는, 상기 2장의 직사각형 분할기판(1)들의 꼭지점 중 상기 중앙정렬부재(212)의 위치에 대하여 대각선방향으로 대향되는 상기 2장의 직사각형 분할기판(1)들의 꼭지점에 위치되어, 회전 및 선형이동 중 적어도 어느 하나에 의하여 상기 2장의 직사각형 분할기판(1)들 각각을 수평방향으로 가압하는 구성으로 다앙한 구성이 가능하다.
예로서, 상기 제1측면정렬부(220) 및 제2측면정렬부(230) 중 적어도 하나는, 도 11a 및 도 11b에 도시된 바와 같이, 한 쌍의 밀착부재(231)들이 지지되는 지지부재(232)와, 지지부재(232)가 회전가능하게 지지되는 힌지축(235)과, 얼라인챔버(100)에 고정되어 힌지축(235)이 고정되는 고정부재(236)와, 한 쌍의 밀착부재(231)들과 힌지축(235) 사이에서 지지부재(232)에 설치되는 연결축(233)과, 연결축(233)과 연결되는 연결로드(234)와, 연결로드(234)와 연결되어 연결로드(234)를 선형으로 이동시키는 구동부(미도시)를 포함할 수 있다.
상기 제1측면정렬부(220) 및 제2측면정렬부(230) 중 적어도 하나가 상기와 같은 구성을 가면, 지지부재(130)에 의하여 지지되는 2장의 직사각형 분할기판(1)들이 이루는 직사각형의 4개의 꼭지점(P1, P5, P7, P4 또는 P6, P2, P3, P8) 중 "중앙정렬부재(212 또는 222)의 위치에 대하여 서브대각선방향(D2, D3)으로 대향되는 2장의 직사각형 분할기판(1)들의 꼭지점"에서 한 쌍의 밀착부재(231)들의 회전에 의하여 분할기판(1)과 밀착된다.
즉, 상기 제1측면정렬부(220) 및 제2측면정렬부(230)는, 서로 대향되는 꼭지점 부근의 변을 지지함으로써 각각 제1중앙정렬부(210) 및 제2중앙정렬부(240)와 함께 2장의 직사각형 분할기판(1)들, 각각 즉 각 지지기판의 수평위치를 정렬한다.
특히 본 발명은, 제1중앙정렬부(210) 및 제2중앙정렬부(240)를 구성함에 있어서 선형이동에 의하여 2장의 직사각형 분할기판(1)들, 각각 즉 각 지지기판의 내측변 및 외측변을 지지 및 가압하도록 구성됨으로써, 얼라인 구성의 설치를 용이하게 하며 얼라인 구성의 설치에 필요한 설치공간을 최소화할 수 있는 이점이 있다.
한편 상기 제1분할기판정렬부 및 제2분할기판정렬부를 구성함에 있어서, 제1측면정렬부(220) 및 제1중앙정렬부(210)의 독립적 구성, 및 제2측면정렬부(230) 및 제2중앙정렬부(240)의 독립적 구성에 의하여 2장의 직사각형 분할기판(1)들에 대한 정렬과정이 개별적으로 수행되거나, 서로 연동하여 수행될 수 있다.
한편 상기 원장기판(11)의 정렬방향인 메인대각선방향(D1) 및 분할기판(1)의 정렬방향인 제2서브대각선방향(D2, D3)에 따라서 다양한 실시예가 가능하다.
예로서, 도 2a 및 도 2b에 도시된 바와 같이, 상기 원장기판(11)의 꼭지점에 대응되는 위치를 반시계방향으로 P1, P2, P3, P4, 2장의 분할기판(1)들 중 하나의 꼭지점에 대응되는 위치를 반시계방향으로 P1, P5, P7, P4, 2장의 분할기판(1)들 중 나머지 하나의 꼭지점에 대응되는 위치를 반시계방향으로 P6, P2, P3, P8로 정의할 때, 메인대각선방향(D1)은, P1 및 P3에 대응되어 위치된 원장기판(11)의 꼭지점들을 연결하는 대각선방향으로 정의되며, 제1서브대각선방향(D2)은, P4 및 P5에 대응되어 위치된 분할기판(1)의 꼭지점들을 연결하는 대각선방향으로 정의되고, 제2서브대각선방향(D3)은, P8 및 P2에 대응되어 위치된 분할기판(1)의 꼭지점들을 연결하는 대각선방향으로 정의될 수 있다.
다른 예로서, 도 2b 및 도 2c에 도시된 바와 같이, 상기 원장기판(11)의 꼭지점에 대응되는 위치를 반시계방향으로 P1, P2, P3, P4, 2장의 분할기판(1)들 중 하나의 꼭지점에 대응되는 위치를 반시계방향으로 P1, P5, P7, P4, 2장의 분할기판(1)들 중 나머지 하나의 꼭지점에 대응되는 위치를 반시계방향으로 P6, P2, P3, P8로 정의할 때, 메인대각선방향(D1)은, P4 및 P2에 대응되어 위치된 원장기판(11)의 꼭지점들을 연결하는 대각선방향으로 정의되며, 제1서브대각선방향(D2)은, P4 및 P5에 대응되어 위치된 분할기판(1)의 꼭지점들을 연결하는 대각선방향으로 정의되고, 제2서브대각선방향(D3)은, P8 및 P2에 대응되어 위치된 분할기판(1)의 꼭지점들을 연결하는 대각선방향으로 정의될 수 있다.
이때, 상기 제1측면정렬부(220) 및 상기 제2측면정렬부(230)는, 원장기판정렬부와 독립적으로 구성되거나, 도 2c에 도시된 바와 같이, 원장기판정렬부를 구성할 수 있다.
이때 상기 원장기판(11) 및 분할기판(1)의 원할한 정렬작업을 위하여 분할기판(1)을 정렬할 때 상기 P2 및 P4에 대응되어 위치된 각 분할기판(1)의 꼭지점들의 정렬위치를 분할기판정렬위치라 하고, 원장기판(11)을 정렬할 때 P2 및 P4에 대응되어 위치된 원장기판(1)의 꼭지점들의 정렬위치를 원장기판정렬위치라 할 때, P2 및 P4 중 적어도 하나에 대응되는 분할기판정렬위치 및 원장기판정렬위치가 서로 다른 정렬위치에 위치되며, 제1측면정렬부(220) 및 제2측면정렬부(230) 중 적어도 하나는, 서로 다른 분할기판정렬위치 및 원장기판정렬위치 사이에서 이동가능하게 설치됨이 바람직하다.
여기서 2장의 분할기판(1)들 사이에 소정의 간격이 존재하는 바 2장의 분할기판(1)이 이루는 전체 직사각형의 X축방향(분할된 분할기판(1)의 배치방향)의 길이는, 원장기판(11)의 X축방향의 길이보다 크므로, P2 및 P4에 대응되는 분할기판(1)의 꼭지점의 위치 중 적어도 하나는, P2 및 P3에 대응되는 원장기판(1)의 꼭지점들 중 적어도 하나와는 X축방향으로 편차가 존재한다.
이에, 원장기판(11) 및 분할기판(1)의 원할한 정렬작업을 위하여, 제1측면정렬부(220) 및 상기 제2측면정렬부(230) 중 적어도 하나는, 정렬대상인 분할기판(1) 및 원장기판(11)의 각 꼭지점방향으로 이동, 즉 위치가 서로 다른 분할기판정렬위치 및 원장기판정렬위치 사이에서 이동가능하게 설치됨이 바람직하다.
이상은 본 발명에 의해 구현될 수 있는 바람직한 실시예의 일부에 관하여 설명한 것에 불과하므로, 주지된 바와 같이 본 발명의 범위는 위의 실시예에 한정되어 해석되어서는 안 될 것이며, 위에서 설명된 본 발명의 기술적 사상과 그 근본을 함께하는 기술적 사상은 모두 본 발명의 범위에 포함된다고 할 것이다.
11: 원장기판 1: 분할기판
10: 얼라인모듈 20: 반송모듈
30: 공정모듈

Claims (20)

  1. 외부로부터 도입된 직사각형 형상의 원장기판(11) 또는 상기 원장기판(11)이 2분할된 2장의 분할기판(1)이 도입된 후 수평위치를 얼라인하는 얼라인모듈(10)로서,
    밀폐된 내부공간을 형성하는 얼라인챔버(100)와;
    상기 얼라인챔버(100) 내에 설치되어 원장기판(11) 또는 2장의 분할기판(1)을 지지하는 기판지지부(130)와;
    상기 얼라인챔버(100) 내로 원장기판(11)이 도입되었을 때 메인대각선방향(D1)으로 대향된 위치에서 원장기판(11)의 수평위치를 정렬하는 원장기판정렬부와;
    상기 얼라인챔버(100) 내로 2장의 분할기판(1)이 도입되었을 때 각 분할기판(1)의 서브대각선방향(D2, D3)으로 대향된 위치에서 2장의 각 분할기판(1)의 수평위치를 정렬하는 분할기판정렬부를 포함하는 것을 특징으로 하는 얼라인모듈(10).
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 분할기판정렬부는,
    각 분할기판(1)의 수평위치를 정렬하는 제1분할기판정렬부 및 제2분할기판정렬부를 포함하는 것을 특징으로 하는 얼라인모듈(10).
  3. 청구항 2에 있어서,
    상기 제1분할기판정렬부는,
    상기 2장의 직사각형 분할기판(1)들이 서로 마주보는 한 쌍의 내측변들 사이로 선형이동되어 상기 2장의 분할기판(1)들 중 어느 하나인 지지기판의 내측변을 지지하는 제1중앙정렬부(210)와,
    상기 제1중앙정렬부(210)에 의하여 지지되는 상기 지지기판의 서브대각선방향인 제1서브대각선 방향(D2)으로 상기 제1중앙정렬부(210)에 대향되는 꼭지점 부근에 설치되어 회전 및 선형이동 중 적어도 어느 하나에 의하여 상기 지지기판을 수평방향으로 가압하는 제1측면정렬부(220)를 포함하며,
    상기 제2분할기판정렬부는,
    상기 2장의 분할기판(1)들 중 나머지 하나인 지지기판의 내측변을 기준으로 상기 제1중앙정렬부(210)와 대향된 위치에 설치되어 상기 2장의 직사각형 분할기판(1)들이 서로 마주보는 한 쌍의 내측변들 사이로 선형이동되어 상기 지지기판의 내측변을 지지하는 제2중앙정렬부(240)와,
    상기 제2중앙정렬부(240)에 의하여 지지되는 상기 지지기판의 서브대각선방향인 제2서브대각선 방향(D3)으로 상기 제2중앙정렬부(240)에 대향되는 꼭지점 부근에 설치되어 회전 및 선형이동 중 적어도 어느 하나에 의하여 상기 지지기판을 수평방향으로 가압하는 제2측면정렬부(230)를 포함하는 것을 특징으로 하는 얼라인모듈(10).
  4. 청구항 3에 있어서,
    상기 제1중앙정렬부(210) 및 상기 제2중앙정렬부(240) 중 적어도 하나는,
    상기 2장의 직사각형 분할기판(1)들이 서로 마주보는 한 쌍의 내측변들 사이로 선형이동되어 상기 2장의 직사각형 분할기판(1)들 중 어느 하나인 지지기판의 내측변을 지지하도록 상기 2장의 분할기판(1)들의 배치방향과 수직을 이루는 수평가상기준선(L)을 기준으로 상기 수평가상기준선(L)으로부터의 최외측부분(S)이 분할기판(1)을 향하는 방향으로 가면서 상기 수평가상기준선(L)과 가깝게 배치되는 복수의 중앙정렬부재(222)들을 포함하는 것을 특징으로 하는 얼라인모듈(10).
  5. 청구항 3에 있어서,
    상기 제1중앙정렬부(210) 및 상기 제2중앙정렬부(240) 중 적어도 하나는,
    상기 지지기판의 내측변을 지지하는 중앙정렬부재(212)와,
    상기 한 쌍의 내측변들 사이로 상기 중앙정렬부재(212)를 선형이동시키는 정렬부재이동부(214)를 포함하는 것을 특징으로 하는 얼라인모듈(10).
  6. 청구항 5에 있어서,
    상기 중앙정렬부재(212)는, 상기 2장의 직사각형 기판(1)들과 수직을 이루는 회전축을 중심으로 회전가능하게 상기 본체부(215)에 설치된 회전부재(213)에 상기 회전부재(213)의 회전축과 편심된 상태로 회전가능하게 결합되며,
    상기 중앙정렬부재(212)가 상기 한 쌍의 내측변들 사이에 위치되었을 때 상기 중앙정렬부재(212)가 지지기판의 내측변에 대한 상대거리가 감소하도록 상기 회전부재(213)는, 회전수단에 의하여 회전되는 것을 특징으로 하는 얼라인모듈.
  7. 청구항 3 내지 청구항 6 중 어느 하나의 항에 있어서,
    원장기판(11)의 꼭지점에 대응되는 위치를 반시계방향으로 P1, P2, P3, P4,
    2장의 분할기판(1)들 중 하나의 꼭지점에 대응되는 위치를 반시계방향으로 P1, P5, P7, P4,
    2장의 분할기판(1)들 중 나머지 하나의 꼭지점에 대응되는 위치를 반시계방향으로 P6, P2, P3, P8로 정의할 때,
    상기 메인대각선방향(D1)은, P1 및 P3에 대응되어 위치된 원장기판(11)의 꼭지점들을 연결하는 대각선방향으로 정의되며,
    상기 제1서브대각선방향(D2)은, P4 및 P5에 대응되어 위치된 분할기판(1)의 꼭지점들을 연결하는 대각선방향으로 정의되고,
    상기 제2서브대각선방향(D3)은, P8 및 P2에 대응되어 위치된 분할기판(1)의 꼭지점들을 연결하는 대각선방향으로 정의되는 것을 특징으로 하는 얼라인모듈.
  8. 청구항 7에 있어서,
    상기 제1중앙정렬부(210) 및 상기 제2중앙정렬부(240) 중 적어도 하나는,
    꼭지점을 기준으로 지지기판의 내측변과 인접한 외측변을 지지하는 외곽지지부재(219)를 포함하는 것을 특징으로 하는 얼라인모듈.
  9. 청구항 3 내지 청구항 6 중 어느 하나의 항에 있어서,
    원장기판(11)의 꼭지점에 대응되는 위치를 반시계방향으로 P1, P2, P3, P4,
    2장의 분할기판(1)들 중 하나의 꼭지점에 대응되는 위치를 반시계방향으로 P1, P5, P7, P4,
    2장의 분할기판(1)들 중 나머지 하나의 꼭지점에 대응되는 위치를 반시계방향으로 P6, P2, P3, P8로 정의할 때,
    상기 메인대각선방향(D1)은, P4 및 P2에 대응되어 위치된 원장기판(11)의 꼭지점들을 연결하는 대각선방향으로 정의되며,
    상기 제1서브대각선방향(D2)은, P4 및 P5에 대응되어 위치된 분할기판(1)의 꼭지점들을 연결하는 대각선방향으로 정의되고,
    상기 제2서브대각선방향(D3)은, P8 및 P2에 대응되어 위치된 분할기판(1)의 꼭지점들을 연결하는 대각선방향으로 정의되는 것을 특징으로 하는 얼라인모듈.
  10. 청구항 9에 있어서,
    상기 제1중앙정렬부(210) 및 상기 제2중앙정렬부(240) 중 적어도 하나는,
    꼭지점을 기준으로 지지기판의 내측변과 인접한 외측변을 지지하는 외곽지지부재(219)를 포함하는 것을 특징으로 하는 얼라인모듈.
  11. 청구항 9에 있어서,
    상기 제1측면정렬부(220) 및 상기 제2측면정렬부(230)중 적어도 하나는, 상기 원장기판정렬부를 구성하는 것을 특징으로 하는 얼라인모듈.
  12. 청구항 11에 있어서,
    분할기판(1)을 정렬할 때 상기 P2 및 P4에 대응되어 위치된 각 분할기판(1)의 꼭지점들의 정렬위치를 분할기판정렬위치라 하고,
    원장기판(11)을 정렬할 때 상기 P2 및 P4에 대응되어 위치된 원장기판(1)의 꼭지점들의 정렬위치를 원장기판정렬위치라 할 때,
    상기 P2 및 상기 P4 중 적어도 하나에 대응되는 상기 분할기판정렬위치 및 상기 원장기판정렬위치가 서로 다른 정렬위치에 위치되며,
    상기 제1측면정렬부(220) 및 상기 제2측면정렬부(230) 중 적어도 하나는, 서로 다른 상기 분할기판정렬위치 및 상기 원장기판정렬위치 사이에서 이동가능하게 설치된 것을 특징으로 하는 얼라인모듈.
  13. 외부로부터 이송로봇(11)에 의하여 원장기판(11) 또는 원장기판(11)이 2분할된 2장의 분할기판(1)이 도입되는 얼라인모듈(10)과,
    상기 얼라인모듈과 결합되며 반송로봇(22)에 의하여 상기 얼라인모듈(10)로부터 원장기판(11) 또는 분할기판(1)을 인출하는 반송모듈(20)과,
    상기 반송모듈(20)에 결합되어 상기 반송로봇(22)에 의하여 원장기판(11) 또는 분할기판(1)을 전달받아 기판처리를 수행하는 하나 이상의 공정모듈(50)을 포함하며,
    상기 얼라인모듈(10)은, 청구항 1 내지 청구항 2 중 어느 하나의 항에 따른 얼라인모듈(10)인 것을 특징으로 하는 기판처리시스템.
  14. 외부로부터 이송로봇(11)에 의하여 원장기판(11) 또는 원장기판(11)이 2분할된 2장의 분할기판(1)이 도입되는 얼라인모듈(10)과,
    상기 얼라인모듈과 결합되며 반송로봇(22)에 의하여 상기 얼라인모듈(10)로부터 원장기판(11) 또는 분할기판(1)을 인출하는 반송모듈(20)과,
    상기 반송모듈(20)에 결합되어 상기 반송로봇(22)에 의하여 원장기판(11) 또는 분할기판(1)을 전달받아 기판처리를 수행하는 하나 이상의 공정모듈(50)을 포함하며,
    상기 얼라인모듈(10)은, 청구항 3 내지 청구항 6 중 어느 하나의 항에 따른 얼라인모듈(10)인 것을 특징으로 하는 기판처리시스템.
  15. 청구항 14에 있어서,
    원장기판(11)의 꼭지점에 대응되는 위치를 반시계방향으로 P1, P2, P3, P4,
    2장의 분할기판(1)들 중 하나의 꼭지점에 대응되는 위치를 반시계방향으로 P1, P5, P7, P4,
    2장의 분할기판(1)들 중 나머지 하나의 꼭지점에 대응되는 위치를 반시계방향으로 P6, P2, P3, P8로 정의할 때,
    상기 메인대각선방향(D1)은, P1 및 P3에 대응되어 위치된 원장기판(11)의 꼭지점들을 연결하는 대각선방향으로 정의되며,
    상기 제1서브대각선방향(D2)은, P4 및 P5에 대응되어 위치된 분할기판(1)의 꼭지점들을 연결하는 대각선방향으로 정의되고,
    상기 제2서브대각선방향(D3)은, P8 및 P2에 대응되어 위치된 분할기판(1)의 꼭지점들을 연결하는 대각선방향으로 정의되는 것을 특징으로 하는 기판처리시스템.
  16. 청구항 15에 있어서,
    상기 제1중앙정렬부(210) 및 상기 제2중앙정렬부(240) 중 적어도 하나는,
    꼭지점을 기준으로 지지기판의 내측변과 인접한 외측변을 지지하는 외곽지지부재(219)를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리시스템.
  17. 청구항 14에 있어서,
    원장기판(11)의 꼭지점에 대응되는 위치를 반시계방향으로 P1, P2, P3, P4,
    2장의 분할기판(1)들 중 하나의 꼭지점에 대응되는 위치를 반시계방향으로 P1, P5, P7, P4,
    2장의 분할기판(1)들 중 나머지 하나의 꼭지점에 대응되는 위치를 반시계방향으로 P6, P2, P3, P8로 정의할 때,
    상기 메인대각선방향(D1)은, P4 및 P2에 대응되어 위치된 원장기판(11)의 꼭지점들을 연결하는 대각선방향으로 정의되며,
    상기 서브대각선방향(D2, D3)는, P4 및 P5에 대응되어 위치된 분할기판(1)의 꼭지점들을 연결하는 대각선방향인 제1서브대각선방향(D2)와, P8 및 P2에 대응되어 위치된 분할기판(1)의 꼭지점들을 연결하는 제2서브대각선방향(D3)으로 정의되는 것을 특징으로 하는 기판처리시스템.
  18. 청구항 17에 있어서,
    상기 제1중앙정렬부(210) 및 상기 제2중앙정렬부(240) 중 적어도 하나는,
    꼭지점을 기준으로 지지기판의 내측변과 인접한 외측변을 지지하는 외곽지지부재(219)를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리시스템.
  19. 청구항 17에 있어서,
    상기 제1측면정렬부(220) 및 상기 제2측면정렬부(230) 중 적어도 하나는, 상기 원장기판정렬부를 구성하는 것을 특징으로 하는 기판처리시스템.
  20. 청구항 17에 있어서,
    분할기판(1)을 정렬할 때 상기 P2 및 P4에 대응되어 위치된 각 분할기판(1)의 꼭지점들의 정렬위치를 분할기판정렬위치라 하고,
    원장기판(11)을 정렬할 때 상기 P2 및 P4에 대응되어 위치된 원장기판(1)의 꼭지점들의 정렬위치를 원장기판정렬위치라 할 때,
    상기 P2 및 상기 P4 중 적어도 하나에 대응되는 상기 분할기판정렬위치 및 상기 원장기판정렬위치가 서로 다른 정렬위치에 위치되며,
    상기 제1측면정렬부(220) 및 상기 제2측면정렬부(230) 중 적어도 하나는, 서로 다른 상기 분할기판정렬위치 및 상기 원장기판정렬위치 사이에서 이동가능하게 설치된 것을 특징으로 하는 기판처리시스템.
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