CN103733326A - 搬运系统 - Google Patents

Abstract

搬运系统（1）具备收纳壳体（12）、升降装置（13）、传递装置（14）和搬运装置（15）。升降装置（13）使收纳壳体（12）升降而使其中的各基板（11）依次位于接收位置。传递装置（14）将接收位置的基板（11）接收后在传递位置上传递给搬运装置（15）。搬运装置（15）具有一对输送带（51、51）。一对输送带（51、51）在左右方向上隔着间隔设置，多个型材（54）相互对应地分别设置在此处。对应的型材（54）形成为向搬运方向一起移动，并且支持在传递位置上被传递的基板（11）的外缘部且将该基板（11）定位在规定位置上的结构。

Description

搬运系统

技术领域

本发明涉及搬运基板的搬运系统。

背景技术

作为搬运基板的装置，已知的例如有输送机。作为输送机，例如有像专利文献1中那样的输送机。专利文献1中记载的输送机具有将多个轨道以规定间隔配置而构成的搬运通路。搬运通路的两侧设置有通过马达运行的链条。又，移动体以架设在一对链条上的方式设置。在该移动体上设置有多个刮板（scraper），各刮板以从轨道的间隙向上方突出的方式配置。

在像这样构成的输送机中，当通过马达使链条运行时，移动体与链条一起移动。借助于此，设置在移动体上的刮板移动，搬运通路上的搬运对象被刮板按压并搬运。

现有技术文献：

专利文献：

专利文献1：日本特开平10-265022号公报。

发明内容

发明要解决的问题：

然而，基板收纳于收纳壳体内，在搬运基板时，将基板从该收纳壳体中取出并接收后进行搬运。然而，专利文献1中记载的输送机不具有从收纳壳体接收基板的结构。又，搬运对象物落到搬运通路上而进行装载，因此存在基板损伤的情况。此外，也不能将基板收纳于收纳壳体内。因此，不能将在专利文献1记载的输送机作为基板的搬运系统来采用。

又，基板在搬运后进行各种处理，在该处理中，对基板的位置精度有要求。专利文献1记载的输送机形成为通过刮板按压并搬运搬运通路上的基板的结构，因此不能进行基板的定位。因此，不得不另外设置定位装置，导致系统大型化。

因此，本发明的目的是提供能够从收纳壳体接收基板后搬运，且能够定位的搬运系统。

解决问题的手段：

本发明的搬运系统具有：用于将多个基板在上下方向上隔着间隔收纳的收纳壳体；使所述收纳壳体升降而使所述收纳壳体内的所述基板依次位于接收位置的升降装置；接收所述接收位置的所述基板，并且在传递位置上传递所述基板的传递装置；和在所述传递位置上接收所述基板并搬运的搬运装置；所述搬运装置具有以在搬运方向上分别延伸且在规定方向上相互隔着间隔排列的方式设置的多个搬运带、相互对应地分别设置在所述多个搬运带上的多个支持构件、和以使所述对应的多个支持构件向所述搬运方向一起移动的方式驱动所述多个搬运带的搬运单元；与所述多个搬运带对应地设置的所述支持构件形成为支持在所述传递位置上被传递的所述基板的外缘部且将该被支持的基板定位在规定位置上的结构。

根据本发明，通过升降装置使收纳壳体上升或下降并移动传递装置，以此可以将基板依次从收纳壳体传递至搬运装置。又，仅通过将基板从传递装置传递给搬运装置的支持构件即可将基板定位在支持构件上的规定位置，通过搬运单元移动搬运带以此可以定位基板。因此，可以从收纳壳体接收并搬运基板，且可以在搬运的同时进行定位。

在上述发明中，优选的是具备限制所述多个搬运带中的一对搬运带的所述规定方向的间隔的间隔限制机构；在所述一对搬运带上相互对应地分别设置的所述支持构件分别具有分别支持所述基板的所述规定方向两侧的外缘部的支持部和与用于定位所述基板的规定方向的侧面的在所述规定方向上对置的定位部；形成为在不通过所述间隔限制机构缩小所述一对搬运带的所述规定方向的间隔的状态下，所述一对搬运构件的相互对应的所述支持构件支持在所述传递位置上被传递的所述基板的外缘部，并且通过所述间隔限制机构缩小所述一对搬运带的所述规定方向的间隔，以此将该被支持的基板定位在所述规定位置上的结构。

根据上述结构，在传递位置上，一对搬运带的所述规定方向的间隔处于扩大的状态，并且一对支持构件在规定方向上远离。借助于此，定位部之间变宽，可以增大在传递位置上传递基板时的位置偏差的允许范围。因此，可以容易地将基板放置在支持构件上。

另一方面，在除传递位置以外的位置上，通过间隔限制机构缩小一对搬运带的所述规定方向的间隔，使一对支持构件向规定方向靠近。借助于此，定位部之间的间隙缩小，可以在搬运的同时更高精度地进行基板的定位。因此，不需要为了改善定位的精度而通过另外的装置进行定位动作，可以消除搬运停止时间。

在上述发明中，优选的是所述支持构件的支持所述基板的部分形成为锥状以在载置所述基板时引导至所述规定位置。

根据上述结构，可以仅通过将基板载置在支持构件上即可定位基板。

在上述发明中，优选的是所述传递装置具有放置所述基板的载置台、使所述载置台在接收位置和传递位置之间移动的移动单元、和与所述载置台的移动连动地使所述载置台升降的升降用凸轮机构；所述升降用凸轮机构形成为在使所述载置台移动至所述接收位置时抬起所述载置台并在所述载置台上接收所述基板，在使所述载置台移动至所述传递位置时使所述载置台下降而将所述基板传递至所述多个支持构件的结构。

根据上述结构，通过移动单元向搬运方向移动载置台，以此可以通过升降用凸轮机构使载置台升降，并在接收位置上将基板放置在载置台上，且在传递位置上将载置台的基板传递至搬运装置。借助于此，可以将用于移动的驱动装置及用于升降的驱动装置共用，可以减少部件数量。

在上述发明中，优选的是具备：设置在所述接收位置和所述传递位置之间的中间位置，将位于所述中间位置的所述基板根据其状态向与搬运方向不同的方向移送的移送装置；和控制所述搬运单元及所述移送装置的动作的控制装置；所述载置台具有用于载置所述基板的第一区域及第二区域；所述第一区域形成为在使所述载置台移动至所述接收位置时在所述接收位置上接收被传递的所述基板，在使所述载置台移动至所述传递位置时将所述被载置的所述基板置于所述中间位置的结构；所述第二区域形成为在使所述载置台移动至所述接收位置时接收位于所述中间位置的所述基板，在使所述载置台移动至所述传递位置时将所述被载置的所述基板传递至所述对应的多个支持构件上的结构；所述对应的多个支持构件在所述搬运带上在所述搬运方向上排列设置有多组；所述控制装置形成为如下结构：在所述传递装置位于所述传递位置后，通过所述搬运单元将所述搬运带仅输送所述基板在所述搬运方向上的长度的距离，在所述基板被所述移送装置移送时，即使是在所述传递装置位于所述传递位置之后也不通过所述搬运单元输送所述搬运带。

根据上述结构，在搬运装置中，可以同时搬运多个基板。又，在基板被移送装置移送的情况下不输送搬运带，因此可以在搬运装置中使多个基板以装满的状态向搬运方向排列。即，可以防止其间的基板缺少而变成像缺牙的状态的情况。

本发明的搬运系统具备将接收的基板搬运至所述接收位置的搬运装置；在所述接收位置上从所述搬运装置接收所述基板，并且在传递位置上传递所述基板的传递装置；用于收纳通过所述传递装置传递的所述基板的收纳空间在上下方向上隔着间隔配置的收纳壳体；和使所述收纳壳体升降而使所述收纳壳体的所述收纳空间依次位于接收位置的升降装置；所述搬运装置具有以在搬运方向上分别延伸且在规定方向上相互隔着间隔排列的方式设置的多个搬运带、相互对应地分别设置在所述多个搬运带上的多个支持构件、和以使所述对应的多个支持构件向所述搬运方向一起移动的方式驱动所述多个搬运带的搬运单元；与所述多个搬运带对应地设置的所述支持构件形成为支持接收的所述基板的外缘部且将该被支持的所述基板定位在规定位置上的结构。

根据上述结构，仅通过将基板传递给搬运装置的支持构件即可将基板定位在支持构件上的规定位置，并且通过搬运单元移动搬运带即能够以定位的状态搬运基板。而且，通过移动传递装置并使收纳壳体上升或下降，以此可以将基板依次收纳于收纳壳体内。借助于此，可以正确且容易地将基板收纳于收纳壳体内。

发明效果：

根据本发明，可以从收纳壳体接收并搬运基板，且可以进行定位。

本发明的上述目的、其他目的、特征及优点是在参照附图的基础上，由以下的优选的实施形态的详细说明得意明确。

附图说明

图1是示出用于搬出的搬运系统的结构的俯视图；

图2是从图1的箭头A观察图1的搬运系统的侧视图；

图3是从箭头B观察图1的搬运系统所具备的升降装置的主视图；

图4是将图1的搬运系统所具备的传递装置的结构放大示出的放大侧视图；

图5是在图1的搬运系统中将传递装置的周边放大示出的放大俯视图；

图6是将图1的搬运系统所具备的搬运装置用图1的剖切线C-C剖切后观察的放大剖视图；

图7是从图6的箭头D观察图6的型材（profile）的侧视图；

图8是从上方观察图6的型材的放大俯视图；

图9是将图1的搬运系统所具备的间隔限制机构放大示出的放大俯视图；

图10是示出用于收纳的搬运系统的结构的俯视图；

图11是示出图10的搬运系统所具备的传递装置的结构的侧视图。

具体实施方式

以下，参照上述附图说明本发明的实施形态的搬运系统1。另外，在所有图中对于相同或相当的要素标以相同的参照符号并省略其重复说明。又，以下说明中使用的方向的概念是便于说明而使用的，并不是必须限定在该方向上。此外，以下说明的搬运系统1、1A只是本发明的一个实施形态。因此，本发明并不限于实施形态，在不脱离发明的主旨的范围内，可以增加、删除或变更。

[用于搬出的搬运系统]

搬运系统1是将多个基板11从收纳壳体12一片一片地取出并搬运至规定位置的用于搬出的搬运系统。搬运系统1如图1及图2所示具备收纳壳体12、升降装置13、传递装置14、搬运装置15、移送装置16和间隔限制机构17。

＜收纳壳体＞

收纳壳体12如图3所示具有一对侧壁22、22。一对侧壁22、22以其内表面对置的方式位于左右两侧。在各侧壁22的内表面分别对应地设置有多个支持板23。支持板23在上下方向上隔着等间隔配置，并且从侧壁22的内表面向另一个侧壁22突出地延伸。各支持板23的上表面与另一个侧壁22的所对应的支持板23的上表面位于大致相同的平面，通过相对应的两个支持板23、即一对支持板23、23支持基板11的两侧缘部。将基板11插入于该一对侧壁22、22之间而使基板11支持于一对支持板23、23上，以此使基板11收纳于收纳壳体12内。像这样收纳有基板11的收纳壳体12载置于升降装置13上。

＜升降装置＞

升降装置13具有基台31、滚珠螺杆机构32、驱动马达33和升降台34。基台31形成为大致箱状，在此处设置有在上下方向上延伸的滚珠螺杆机构32。又，在基台31内设置有驱动马达33。驱动马达33为伺服马达，并且形成为旋转驱动滚珠螺杆机构32的滚珠螺杆（未图示）而使设置在滚珠螺杆上的滑块（未图示）升降的结构。在该滑块上设置有升降台34。升降台34在水平方向上延伸，在其上载置有收纳壳体12。像这样构成的升降装置13形成为通过驱动马达33驱动滚珠螺杆机构32而使载置在升降台34上的收纳壳体12升降，并且通过使其下降以此使各基板11降落至位于规定的高度的接收位置的结构。在像这样构成的升降装置13的前侧配置有传递装置14。

＜传递装置＞

传递装置14形成为将通过升降装置13下降至接收位置的基板11接收后移送至下述的传递位置的结构（参照图2的实线及双点划线）。传递装置14如图4所示具有滑动机构41、驱动机构42、凸轮机构43和载置台44。滑动机构41具有引导构件41a和滑动构件41b。引导构件41a是在前后方向上延伸的构件，在该引导构件41a上，在前后方向上可滑动地设置有滑动构件41b。在像这样构成的滑动机构41上设置有驱动机构42。

作为移动单元的驱动机构42例如具有电动马达和传动带，并且形成为通过电动马达驱动传动带以此使滑动构件41b在前后方向上可移动。另外，驱动机构42也可以形成为通过空气的进排气以此使气缸伸缩而使滑动构件41b移动的结构。滑动构件41b的上表面形成为平坦的结构，在其上表面上设置有凸轮机构43。

凸轮机构43具有凸轮43a、一对止动构件43b、43c和凸轮从动件43d。凸轮43a设置在滑动构件41b的上表面。在滑动构件41b的上表面设置有引导件（未图示），凸轮43a形成为通过该引导件在前后方向上可滑动移动的结构。像这样构成的凸轮43a形成为相对于滑动构件41b在前后方向上基本上不相对移动的结构。又，在凸轮43a的前方及后方设置有止动构件43b、43c。

止动构件43b、43c以与凸轮43a抵接而阻止凸轮43a的运动，防止凸轮43a比预先设定的位置向前方或后方行进的方式配置。因此，在滑动构件41b向前方或后方移动而凸轮43a与止动构件43b、43c抵接时，只有凸轮43a停留在该位置，凸轮43a相对于滑动构件41b向与该移动方向的反方向相对移动。像这样运动的凸轮43a在其上表面上具有凸轮表面43e，在该凸轮表面43e上放置有凸轮从动件43d。

凸轮从动件43d在旋转的同时在所述凸轮表面43e上在前后方向上移动。又，凸轮机构43具有在上下方向上延伸的臂45，凸轮从动件43d可旋转地设置在该臂45的下端部。臂45相对于固定在滑动构件41b上的支持部46在上下方向上可移动地支持。借助于此，臂45形成为相对于滑动构件41b在前后方向上不能相对移动，而在上下方向上可相对移动的结构。即，凸轮从动件43d相对于滑动构件41b在前后方向上不能相对移动。凸轮从动件43d相对于凸轮43a在前后方向上可相对移动，并且通过相对移动以此在凸轮表面43e上移动而与凸轮表面43e的形状吻合并上下运动。

在这里说明凸轮表面43e的形状，凸轮表面43e具有平坦部43f、43g和比它低的凹处43h。凹处43h位于凸轮表面43e的前后方向中间部分，在凸轮43a与前侧的止动构件43b抵接且滑动构件41b移动至最前侧的位置时，凸轮从动件43d进入凹处43h。又，平坦部43f、43g位于比凸轮表面43e的凹处43h靠近前后两侧的位置上，在凸轮43a与后侧的止动构件43c抵接且滑动构件43b移动至最后侧的位置时，凸轮从动件43d爬到后侧的平坦部43f。因此，滑动构件41b在前后方向上移动并且凸轮从动件43d在凸轮表面43e上移动，以此使臂45上下运动。在臂45的上端部设置有载置台44。

载置台44具有基部44a和一对板状构件44b、44c（参照图5）。基部44a形成为大致长方体状，设置在臂45的上端部上。在该基部44a的上表面设置有一对板状构件44b、44c。一对板状构件44b、44c是在前后方向上延伸的长条状板构件。一对板状构件44b、44c形成为左右隔着间隔平行地排列，并且能够在其上放置基板11的结构。

又，在各板状构件44b、44c的前后两端部及中央部分形成有突起构件44d、44e、44f。突起构件44d、44e、44f从板状构件44b、44c的上表面向上方突起。相邻的突起构件44d、44e、44f的间隔比基板11的前后方向的长度稍长，并且在板状构件44b、44c的上表面，在后侧和中央的突起构件44d、44f之间形成有后侧载置区域47a，在前侧和中央的突起构件44e、44f之间形成有前侧载置区域47b。而且，突起构件44d、44e、44f限制分别放置在后侧载置区域47a及前侧载置区域47b上的基板11的前后方向的运动。又，在后侧载置区域47a及前侧载置区域47b上设置有吸附机构（未图示），吸附机构吸附基板11以避免在移动中基板11从后侧载置区域47a及前侧载置区域47b掉落。

作为第一区域的后侧载置区域47a形成为能够在前述的接收位置上接收基板11的结构。在该接收位置的前方，排列着检查位置及传递位置，在作为中间位置的检查位置上设置有一对支持台48、48。一对支持台48、48位于比一对板状构件44b、44c靠近左右方向的外侧的位置上，通过其上表面支持基板11。后侧载置区域47a形成为滑动构件41b在前后方向上移动以此在接收位置和检查位置之间移动的结构。又，在后侧载置区域47a位于接收位置上时作为第二区域的前侧载置区域47b位于检查位置，在后侧载置区域47a位于检查位置上时作为第二区域的前侧载置区域47b位于接收位置。即，通过滑动构件41b在前后方向上移动，以此使前侧载置区域47b在检查位置和传递位置之间移动。

在像这样构成的传递装置14中，当使滑动构件41b向后方移动时，载置台44朝着接收位置向后方移动。在后侧载置区域47a靠近接收位置时，凸轮43a与后侧的止动构件43c抵接，凸轮43a停止运动。在滑动构件41b从该状态进一步向后方移动时，凸轮从动件43d在凸轮表面43e上向后方移动而从凹处43h登上平坦部43f，从而载置台44上升。在凸轮从动件43d位于凹处时，后侧载置区域47a及前侧载置区域47b位于比接收位置及检查位置低的位置。因此，通过使载置台44上升，以此使后侧载置区域47a从该低的位置向接收位置上升，并且前侧载置区域47b从该低的位置向检查位置上升（参照图4的箭头E）。然后，后侧载置区域47a到达接收位置，并且与此大致同时地前侧载置区域47b到达检查位置（参照图4及图5的双点划线）。

到达接收位置的后侧载置区域47a在其上放置位于接收位置的基板11。又，到达检查位置的前侧载置区域47b在其上放置在一对支持台48、48上待机的基板11。在放置基板11的状态下，使滑动构件41b进一步向后方移动时，后侧载置区域47a及前侧载置区域47b进一步上升，将放置在各个上的基板11从一对支持板23、23及一对支持台48、48抬起。这样，传递装置14接收位于接收位置及检查位置的基板11；

在接收基板11后，在使滑动构件41b向前方移动时，载置台44向前方移动。此时，保持凸轮从动件43d位于平坦部43f上的状态下载置台44移动，载置台44在比接收位置及检查位置高的位置上水平移动。然后，在后侧载置区域47a靠近检查位置时，凸轮43a与前侧的止动构件43b抵接，凸轮43a停止运动。在保持该状态下滑动构件41b进一步向前方移动时，凸轮从动件43d从平坦部43f向凹处43h下降，载置台44下降。借助于此，后侧载置区域47a向检查位置下降，前侧载置区域47b向传递位置下降（参照图4的箭头F）。然后，后侧载置区域47a到达检查位置，与此大致同时地前侧载置区域47b到达传递位置（参照图4及图5的实线）。

在后侧载置区域47a到达检查位置时，放置在后侧载置区域47a上的基板11被放置在一对支持台48、48上。又，在到达传递位置时，放置在前侧载置区域47b上的基板11被放置在下述的搬运装置15上。在保持该状态下，使滑动构件41b进一步向前方移动时，后侧载置区域47a及前侧载置区域47b进一步下降而分别远离基板11。借助于此，基板11被传递至一对支持台48、48及搬运装置15上。

像这样，通过驱动机构42使载置台44在前后方向上移动，以此能够通过凸轮机构43使载置台44升降，可以在接收位置上将基板11放置在载置台44上，又，可以在传递位置上将载置台44的基板11传递给搬运装置15。借助于此，可以共用用于移动的驱动机构及用于升降的驱动机构，可以减少部件数量。

＜搬运装置＞

搬运装置15形成为在传递位置上接收放置在载置区域47b上的基板11，之后，将基板11搬运至规定位置的结构。搬运装置15如图1及图2所示，基本上具有一对输送带51、51、多个滑轮52、驱动马达53和多个型材54。作为搬运带的一对输送带51、51是无端环状的带有齿的输送带，相互在左右方向上隔着间隔地在前后方向上延伸。在各输送带51的前后部分分别配置有滑轮52，输送带51架设在这些前后两个的滑轮52上。又，配置在前侧的两个滑轮52分别与作为搬运单元的驱动马达53的输出轴连接。通过驱动该驱动马达53以此使滑轮52旋转，一对输送带51、51同步地运动。像这样，同步运动的一对输送带51、51上分别设置有多个型材54。

作为支持构件的型材54形成为可支持基板11的角部分的结构，如图1所示以使它们的中心间距离达到规定间距L的方式在前后方向上等间隔配置。在这里，规定间距L与基板11的前后方向的长度大致一致，更详细而言，设定为比基板11的前后方向的长度稍长。又，各型材54与配置在另一侧的输送带51上的任意一个型材54对应地配置，这些一对型材54、54彼此位于相对置的位置上。又，一对型材54、54在与它们相邻的前侧及后侧上分别与一对型材54、54对应。对应的四个型材（以下简称为“四个型材”）54在其内侧形成与基板11大致相同形状的载置区域，分别放置并支持配置在该载置区域的基板11的四个角。在一对输送带51、51上，在前后方向上以等间隔设置并排列有多组这样的四个型材54。因此，该载置区域以等间隔形成在一对输送带51、51之间，并且在位于上侧的所有的载置区域放置基板11时，如图1所示基板11在前后方向上以等间隔排列。

具有这样的功能的型材54在俯视下形成为大致T字状，如图6至图8所示具有基部54a、一对锁定部54b、54c和支持部54d。基部54a形成为在前后方向上延伸的大致矩形状，沿着输送带51配置在其上。在该基部54a的下端面上设置有一对锁定部54b、54c。一对锁定部54b、54c分别位于输送带51的左右方向两侧，与输送带51的左右两侧表面部抵接。又，一对锁定部54b、54c具有向另一侧的锁定部54b、54c突出的突起片54e，各突起片54e与输送带51的下表面抵接。借助于此，输送带51由基部54a以及一对锁定部54b、54c包围，避免型材54脱离输送带51。又，突起片54e与形成在输送带51的下表面的齿部（未图示）啮合，一对锁定部54b、54c相对于输送带51在前后方向上固定。另外，该突起片54e的梢端部相互向左右分离，在其之间放入滑轮52。像这样，在固定于输送带51的基部54a上一体地形成有支持部54d。

支持部54d是一体地设置在基部54a的一侧部上的板状的构件。支持部54d的前后方向的中间部分向对应的型材54的基部54a突出。即，支持部54d在俯视下形成为大致T字状。支持部54d在前后方向中央部分具有隆起部分54f。该隆起部分54f隆起得比剩余的部分高，其上表面与基部54a的上表面位于同一平面。而且，在隆起部分54f的前后两侧分别形成有俯视下为大致L字状的支持区域55、56。支持区域55、56可以在其上表面上分别支持各个基板11的角部分，与对应的其他三个型材54的支持区域55、56一起形成载置区域，分别支持基板11的四个角。

又，隆起部分54f的前后两侧面以随着向下方行进而向支持区域55、56的一侧展开的方式形成为锥状，基部54a的一侧面也以随着向下方行进而向支持区域55、56展开的方式形成为锥状。借助于此，与隆起部分54f的前后两侧面及基部54a的一侧面接触的基板11的角部分被这些锥面引导至支持区域55、56的规定位置。因此，仅通过放置对应的型材54即可定位基板11的四个角，从而基板11体被定位在四个型材54的内侧的规定位置上。

像这样构成的搬运装置15能够通过驱动马达53与一对输送带51、51同步地驱动，能够使四个型材54位于传递位置。位于传递位置的四个型材54位于与通过传递装置14搬运到传递位置的基板11的四个角在俯视下分别重叠的位置上，分别支持该四个角。即，搬运装置15能够通过四个型材54接收通过传递装置14搬运到传递位置的基板11。又，搬运装置15将接收的基板11通过四个型材54引导至规定位置而进行定位，并且将接收的基板11向作为搬运方向的前方搬运。

＜移送装置＞

又，在检查位置的上方设置有未图示的检查装置。检查装置检测出基板11的状态、具体而言是损伤和缺损等的不合格品。然后，为了基于检查装置的检测结果从自接收位置经由检查位置及传递位置延伸至位于搬运装置15的前侧的搬运目的地的搬运通路中去除不良品，而设置有移送装置16。

移送装置16如图1所示具有吸附手部61（参照图1的双点划线）、气缸机构62（参照图1的双点划线）和输送机63。吸附手部61位于在检查位置上的基板11的上方的吸附位置，形成为可吸附该基板11的上表面的结构。在吸附手部61上设置有气缸机构62。气缸机构62形成为在左右方向上可伸缩，且通过伸缩使吸附手部61在吸附位置和解除位置之间移动的结构。吸附手部61在解除位置上解除基板11的吸附而使基板11落到其下方。在解除位置的下方设置有输送机63，落下的基板11被输送机63移送至未图示的斜槽中。

像这样构成的移送装置16首先通过吸附手部61吸附位于检查位置的基板11并升起。然后，使气缸机构62工作而使吸附手部从吸附位置移动至解除位置。然后，解除吸附手部61的吸附而卸下基板11，落到输送机63上。之后，通过输送机63将基板11移送至斜槽。借助于此，移送装置16能够将位于检查位置的不合格品的基板11向不同于搬运方向的方向移送，能够从搬运通路中去除不合格品的基板11。

＜间隔限制机构＞

又，在搬运装置15的后方的左右两侧，在比传递位置靠近前方的位置上分别设置有间隔限制机构17。间隔限制机构17是限制并缩小一对输送带51、51的左右方向的间隔的机构，如图1所示在一对输送带51、51的外侧分别设置有一个。间隔限制机构17如图9所示具有基体71和限制部72。基体71是在前后方向上延伸的构件，位于输送带51的左右方向的外侧。基体71的输送带51侧的侧面与型材54的外侧的锁定部54b对置，在此处设置限制部72。

限制部72在俯视下形成为大致梯形状，接收位置侧的梢端部分以随着向前方行进而靠近输送带51侧的方式倾斜。而且，限制部72的中间部分与输送带51平行地延伸。像这样形成的限制部72以与通过其前方的型材54的外侧的锁定部54b抵接的方式配置，通过抵接以此向另一个输送带51侧按压型材54（参照图6）。借助于此，一对输送带51、51的间隔缩小，并且一对型材54、54的间隔缩小。

像这样通过缩小一对型材54、54的间隔，以此形成为基部54a的一侧面之间的间隔与基板11的宽度大致相同的结构。借助于此，通过作为定位部的位于左右两侧的基部54a夹持基板11的侧面，基板11在左右方向上被定位。通过像这样设置限制部72，以此在使型材54移动并搬运基板11的同时高精度地执行基板11的左右方向的定位。因此，可以消除用来定位基板11的停止时间，可以缩短搬运及定位所需的时间。另一方面，限制部72不延伸至传递位置。因此，在传递位置上一对型材54、54的间隔保持宽的状态，基部54a的一侧面之间的间隔比基板11的宽度稍大。借助于此，增大在传递位置上从传递装置14向搬运装置15传递基板11时的位置偏离的允许范围，易于将基板11放置在四个型材54上。

＜控制装置＞

具有这样的结构的搬运系统1如图1所示还具有控制装置18，通过该控制装置18控制升降装置13、传递装置14以及搬运装置15的动作。以下详述通过该控制装置18执行的搬运作业。

＜搬运系统的动作＞

控制装置18驱动升降装置13的驱动马达33而使升降台34下降，使在收纳壳体12中位于最下方的基板11降落至接收位置。在到达接收位置时，控制装置18停止驱动马达33的驱动。控制装置18接着通过驱动机构42使滑动构件4b向后方移动。通过向后方移动，以此载置台44的后侧载置区域47a移动至接收位置，将位于接收位置的基板11放置在后侧载置区域47a上。与此同时，前侧载置区域47b也移动至检查位置，将支持于一对支持台48、48的基板11放置在前侧载置区域47b上。放置后，控制装置18也使滑动构件41b进一步向后方移动。借助于此，后侧载置区域47a及前侧载置区域47b从支持板23及支持台47分别抬起两个基板11并接收。

在抬起后，控制装置18通过驱动机构42使滑动构件41b向前方移动。借助于此，放置有两个基板11的载置台44通过比接收位置及检查位置高的位置向前方移动。接着，后侧载置区域47a靠近检查位置，并且前侧载置区域47b靠近传递位置时，载置台44开始下降。在以该状态向前方继续移动时，后侧载置区域47a到达检查位置，将放置在其上的基板11置于一对支持台48、48上。与此同时前侧载置区域47b到达传递位置。

在搬运装置15中，四个型材54分别配置在传递位置的四个角上，在前侧载置区域47b到达传递位置时前侧载置区域47b上的基板11的四个角分别放置在四个型材54上。在放置后也将滑动构件41b向前方进一步移动，以此前侧载置区域47b离开基板11，基板11传递至四个型材54上。同样地，后侧载置区域47a的基板11传递至一对支持台48、48上而置于检查位置。

这样置于检查位置的基板11通过未图示的检查装置检查其状态，该检查结果发送至控制装置18中。控制装置18在判定为基板11为不合格品时，通过吸附手部11吸附为不合格品的基板11并移送至输送机63，通过输送机63使基板11移动至斜槽。在判定为合格品时，控制装置18不驱动移送机构16而在检查位置上使基板11待机。

又，在传递位置上将基板11传递至搬运装置15后，控制装置18通过驱动马达53使一对输送带51、51同步地旋转。借助于此，四个型材54向前方移动并将基板11运送至前方。运送至前方的型材54是，不久型材54接触到限制部72，对置的一对型材54、54的间隔缩小。借助于此，执行放置在四个型材54上的基板11的左右方向的定位。即，搬运系统1可以在对基板11定位的同时向位于前方的规定位置搬运。

像这样控制各装置13、14、15、16的动作的控制装置18如上所述控制升降装置13及传递装置14的动作，并且使收纳于收纳壳体12内的基板11一片一片地通过接收位置及检查位置并移送至传递位置。另一方面，在搬运装置15中，控制装置18控制驱动马达53的运动，将移送过来的基板11一片一片地载置在四个型材54上。

即，控制装置18在基板11载置于四个型材54上时，通过驱动马达53使一对输送带51、51向前方仅移动规定间距L。这样，使四个型材54向前方仅前进规定间距L地向前方搬运基板11，从而下一个四个型材54分别配置在传递位置的四个角上。通过传递装置14移送过来的下一个基板11被传递至该下一个四个型材54上，并载置在其载置区域上。然后，控制装置18再次通过驱动马达53使一对输送带51、51向前方仅移动规定间距L。通过重复该操作，可以连续地将基板11传递至相邻的载置区域，如图1所示可以在位于上侧的所有的载置区域无一不缺地配置基板11。

另一方面，如上所述在检查位置上判定为基板11是不合格品时，不合格品的基板11在检查位置移送至斜槽，因此如上所述不能将基板11连续地传递至搬运装置15。在该情况下，控制装置18不转动一对输送带51、51而使四个型材54停留在传递位置上直至在下一个检查位置上判定为不是不合格品并将基板11移送至传递位置为止。借助于此，即使通过移送装置16去除不合格品的基板11，也可以将基板11一片一片地配置在前后方向排列的所有的载置区域，可以防止在任意一个载置区域上未载置有基板11而在一对输送带51、51之间多个基板11以像缺牙的状态排列。

[用于收纳的搬运系统]

像这样构成的搬运系统1在将半导体处理后的基板11A（图10、图11中基板均标记为11）收纳于收纳壳体12的情况下也可以使用。以下，说明用于收纳的搬运系统1A。搬运系统1A与上述搬运系统1基本上结构类似，但是如图10所示，尤其在搬运方向、间隔限制机构17A的配置位置和传递装置14A的结构上不同。另外，在图10中，省略控制装置18的图示。在搬运系统1A中，在位于前侧的四个型材54上放置基板11A，通过搬运装置15将基板11A搬运至后方（即传递装置14的一侧）。借助于此，基板11A一片一片地搬运至传递位置。

又，在搬运系统1A中，间隔限制机构17A位于传递装置14A侧，并且在传递装置14A侧上缩小一对输送带51、51的间隔而缩小一对型材54、54的间隔。借助于此，可以在向传递位置搬运的同时进行左右方向的定位。

又，传递装置14A可以在传递位置上接收基板11A，在接收位置上将基板11A收纳于收纳壳体12内。具体地说，传递装置14A如图11所示在凸轮43a与前侧的止动构件抵接后使滑动构件41b也向前方移动时，凸轮从动件43d从凸轮43a的凹处43h爬到前侧的平坦部43g。借助于此，在滑动构件41b向前方移动时，在传递位置附近前侧载置区域47b上升而位于接收位置（参照图11的箭头G）。又，在该状态下使滑动构件41b向后方移动时，载置台44在比传递位置、检查位置及接收位置高的位置上水平移动，接着凸轮43a与后侧止动构件抵接。凸轮43a与后侧止动构件抵接后使滑动构件41b向后方移动时，从前侧的平坦部43g下降到凹处43h。借助于此，在滑动构件41b向后方移动时，在检查位置附近前侧载置区域47b下降而位于检查位置（参照图11的箭头H）。

＜收纳动作＞

接着，在搬运系统1A中，说明将基板11A收纳于收纳壳体12内的动作。将基板11A通过未图示的机械手等放置在位于前侧的四个型材54上时，控制装置18通过驱动马达53使一对输送带51、51旋转。借助于此，在一对型材54、54的间隔变窄的同时向传递位置的一侧移动，基板11A在搬运至传递位置的一侧的同时进行左右方向的定位。控制装置18与搬出时相同地每当将型材54移动规定间距L时暂时停止。即，控制装置18每当各基板11A位于传递位置时停止驱动马达53的驱动。在停止后，控制装置18使传递装置14A的滑动构件41b向前方移动而使载置台44的前侧载置区域47b移动至传递位置。借助于此，位于传递位置的基板11A置于前侧载置区域47b上，传递装置14从搬运装置15接收基板11A。此时，在检查位置上具有基板11A时，该基板11A载置于后侧载置区域47a上。

在载置了传递位置的基板11A时，控制装置18使滑动构件41b向后方移动，从而使前侧载置区域47b移动至检查位置。在检查位置附近，前侧载置流域47b在下降的同时向检查位置移动，因此通过前侧载置区域47b位于检查位置，以此前侧载置区域47b的基板11A放置并传递至一对支持台48、48上。

又，在前侧载置区域47b移动至检查位置时，后侧载置区域47a移动至接收位置。在接收位置周边，与前侧载置区域47b相同地，后侧载置区域47a在下降的同时向接收位置移动，在到达接收位置时，基板11的左右两端部被放置在配置于其左右两侧的一对支持板23、23上。在放置后后侧载置区域47a也进一步下降，一对支持板23、23接收基板11A。在接收后，控制装置18通过升降装置13使收纳壳体12上升，从而使位于接收了基板11A的一对支持板23、23的下方的下一个一对支持板23、23移动至接收位置。通过重复这些动作，以此可以将放置在搬运装置15上的基板11接连不断地正确且容易地收纳于收纳壳体12内。

另外，在检查位置上，通过未图示的检查装置检查基板11A上的处理是否有缺陷，在有缺陷的情况下，控制装置18驱动移送装置16而从搬运通路中去除有缺陷的基板11A。然后，在去除了基板11A的情况下，由于没有从检查位置移动至接收位置的基板11A，因此控制装置18即使在检查后后侧载置区域47a到达接收位置也不驱动升降装置13而使收纳壳体12待机。借助于此，可以将基板11支持于上下方向上排列的所有的一对支持板23、23上并进行收纳。

＜其他实施形态＞

在本实施形态的搬运系统1中，通过凸轮机构43实现载置台44的上下方向的运动，但是也可以通过设置与驱动机构42不同的另一驱动机构而实现上下方向的运动。又，间隔限制机柜17配置在一对输送带51、51的两侧，但是也可以仅设置在任意一个输送带51的外侧。又，间隔限制机构17通过型材54间接地限制一对输送带51、51的间隔，但是也可以是直接按压输送带51并限制一对输送带51、51的间隔的结构。又，间隔限制机构17是缩小并限制一对输送带51、51的间隔的结构，但是也可以是在传递位置上扩大一对输送带51、51的间隔的结构。

由上述说明，本领域技术人员明了本发明的较多的改良和其他的实施形态等。因此，上述说明应该仅作为例示解释，是以向本领域技术人员教导实施本发明的最优选的形态为目的而提供的。在不脱离本发明的精神的范围内，可以实质上变更其结构和/或功能的具体内容。

符号说明：

1、1A    搬运系统；

11、11A  基板；

12       收纳壳体；

13       升降装置；

14、14A  传递装置；

15       搬运装置；

16       移送装置；

17、17A  间隔限制机构；

18       控制装置；

42       驱动机构；

43       凸轮机构；

44       载置台；

47a      后侧载置区域；

47b      前侧载置区域；

51       输送带；

53       驱动马达；

54       型材；

54a      基部。

Claims (6)

1.一种搬运系统，具有：

用于将多个基板在上下方向上隔着间隔收纳的收纳壳体；

使所述收纳壳体升降而使所述收纳壳体内的所述基板依次位于接收位置的升降装置；

接收所述接收位置的所述基板，并且在传递位置上传递所述基板的传递装置；和

在所述传递位置上接收所述基板并搬运的搬运装置；

所述搬运装置具有以在搬运方向上分别延伸且在规定方向上相互隔着间隔排列的方式设置的多个搬运带、相互对应地分别设置在所述多个搬运带上的多个支持构件、和以使所述对应的多个支持构件向所述搬运方向一起移动的方式驱动所述多个搬运带的搬运单元；

与所述多个搬运带对应地设置的所述支持构件形成为支持在所述传递位置上被传递的所述基板的外缘部且将该被支持的基板定位在规定位置上的结构。

2.根据权利要求1所述的搬运系统，其特征在于，

具备限制所述多个搬运带中的一对搬运带的所述规定方向的间隔的间隔限制机构；

在所述一对搬运带上相互对应地分别设置的所述支持构件分别具有分别支持所述基板的所述规定方向两侧的外缘部的支持部和与用于定位所述基板的规定方向的侧面的在所述规定方向上对置的定位部；

形成为在不通过所述间隔限制机构缩小所述一对搬运带的所述规定方向的间隔的状态下，所述一对搬运构件的相互对应的所述支持构件支持在所述传递位置上被传递的所述基板的外缘部，并且通过所述间隔限制机构缩小所述一对搬运带的所述规定方向的间隔，以此将该被支持的基板定位在所述规定位置上的结构。

3.根据权利要求1或2所述的搬运系统，其特征在于，所述支持构件的支持所述基板的部分形成为锥状以在载置所述基板时引导至所述规定位置。

4.根据权利要求1至3中任意一项所述的搬运系统，其特征在于，

所述传递装置具有放置所述基板的载置台、使所述载置台在接收位置和传递位置之间移动的移动单元、和与所述载置台的移动连动地使所述载置台升降的升降用凸轮机构；

所述升降用凸轮机构形成为在使所述载置台移动至所述接收位置时抬起所述载置台并在所述载置台上接收所述基板，在使所述载置台移动至所述传递位置时使所述载置台下降而将所述基板传递至所述多个支持构件的结构。

5.根据权利要求4所述的搬运系统，其特征在于，具备：

设置在所述接收位置和所述传递位置之间的中间位置，将位于所述中间位置的所述基板根据其状态向与搬运方向不同的方向移送的移送装置；和

控制所述搬运单元及所述移送装置的动作的控制装置；

所述载置台具有用于载置所述基板的第一区域及第二区域；

所述第一区域形成为在使所述载置台移动至所述接收位置时在所述接收位置上接收被传递的所述基板，在使所述载置台移动至所述传递位置时将所述被载置的所述基板置于所述中间位置的结构；

所述第二区域形成为在使所述载置台移动至所述接收位置时接收位于所述中间位置的所述基板，在使所述载置台移动至所述传递位置时将所述被载置的所述基板传递至所述对应的多个支持构件上的结构；

所述对应的多个支持构件在所述搬运带上在所述搬运方向上排列设置有多组；

所述控制装置形成为如下结构：在所述传递装置位于所述传递位置后，通过所述搬运单元将所述搬运带仅输送所述基板在所述搬运方向上的长度的距离，在所述基板被所述移送装置移送时，即使是在所述传递装置位于所述传递位置之后也不通过所述搬运单元输送所述搬运带。

6.一种搬运系统，具备：

将接收的基板搬运至所述接收位置的搬运装置；

在所述接收位置上从所述搬运装置接收所述基板，并且在传递位置上传递所述基板的传递装置；

用于收纳通过所述传递装置传递的所述基板的收纳空间在上下方向上隔着间隔配置的收纳壳体；和

使所述收纳壳体升降而使所述收纳壳体的所述收纳空间依次位于接收位置的升降装置；

所述搬运装置具有以在搬运方向上分别延伸且在规定方向上相互隔着间隔排列的方式设置的多个搬运带、相互对应地分别设置在所述多个搬运带上的多个支持构件、和以使所述对应的多个支持构件向所述搬运方向一起移动的方式驱动所述多个搬运带的搬运单元；

与所述多个搬运带对应地设置的所述支持构件形成为支持接收的所述基板的外缘部且将该被支持的所述基板定位在规定位置上的结构。

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