CN101948031A - 基板收纳容器和具有其的基板检查装置 - Google Patents

基板收纳容器和具有其的基板检查装置 Download PDF

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Abstract

本发明提供一种基板收纳容器和具有其的基板检查装置。所述基板收纳容器和具有其的基板检查装置能够提高基板检查工序的生产率。本发明的基板收纳容器(M)和具有其的基板检查装置，将收纳在上下方向上层叠的多块基板(S)的盒垂直装入壳体，分别具有与检查对象基板的尺寸一致的盒。

Description

基板收纳容器和具有其的基板检查装置
技术领域
本发明涉及收纳基板的容器以及利用该容器装载或卸载基板的基板检查装置。
背景技术
存储装置(Memory)用于临时或永久保存计算机、通信系统及图像处理系统等中使用的数据和命令等，具有代表性的存储装置有半导体、磁带、磁盘及光学方式等，但现在半导体存储器占大部分。
将存储装置实际用于系统中时，以模块方式生产。模块是具有一种功能的元件的集合体，在印刷电路板PCB上装有各种各样的半导体元件，利用多个作为连接引线的插头(tap)连接在板等上，根据插头的构造分成SIMM(Single In-line Memory Module，单列直插式存储器模块)和DIMM(Dual In-line Memory Module，双列直插式存储器模块)。在生产这样的模块中，在把零部件装在印刷电路板上之前，必须要确认在印刷电路板上形成的图案是否有异常。
专利文献1：韩国专利第10-0683265号公报
发明内容
鉴于上述问题，本发明的目的是提供一种可以提高基板检查工序的生产率的基板收纳容器以及具有其的基板检查装置。
此外，本发明的目的不限于此，本领域技术人员从以下的叙述中可以清楚地理解没有提及的其它目的。
按照本发明实施方式的基板收纳容器，其特征在于包括：盒，上部敞开，容纳在上下方向上层叠的多块基板；以及壳体，形成有多个槽构件，该槽构件垂直装载所述盒。
在按照具有上述结构的本发明的基板收纳容器中，所述壳体可以包括：支承板；以及一对第一侧板，以相互相对的方式垂直设置在所述支承板的上表面上，所述槽构件向与所述第一侧板相对的面垂直的方向突出。
所述槽构件可以设置在所述第一侧板相对的面上的两侧垂直边之间的区域上。
所述壳体还可以包括：第二侧板，相对于所述槽构件的排列方向垂直设置，连接在所述第一侧板的任意一个所述垂直边上。
所述壳体还可以包括：突出部，从所述第一侧板的任意一个所述垂直边向所述槽构件的突出方向突出。
所述壳体还可以包括：握持部，在所述支承板上设置成以所述第一侧板为中心对称。
可以在所述支承板上贯通形成第一孔，固定所述支承板的销构件能够插入该第一孔。
所述盒可以包括：四边形的第一板，由所述壳体的所述槽构件支撑；第二板，从朝着所述槽构件的长度方向的所述第一板的边向与所述第一板垂直的方向延伸；以及第一下垫板，从所述第二板的下端向相互相对的方向延伸，支承所述基板。
所述盒还可以包括：第二下垫板，从所述第一板的下端中心部向与所述第一板垂直的方向延伸，支承所述基板。
可以在与所述第一下垫板和所述第二下垫板之间的区域对应的所述支承板的位置上，形成第二孔，使所述基板升降的升降机构能够插入该第二孔。
所述盒还可以包括：侧面支撑构件，以相互相对的方式设置在所述第二板的内表面上，支撑由所述第一下垫板和所述第二下垫板支承的所述基板的侧面。
所述盒还可以包括：隔壁，具有与所述第二板对应的形状，设置成在所述第一板和所述第二下垫板之间能够装拆。
按照本发明实施方式的基板收纳容器，其特征在于包括：盒，以基板在上下方向上层叠的方式收纳所述基板；以及壳体，具有容纳所述盒的空间，各个所述盒在所述壳体中通过滑动的方式移动，能够与所述壳体分离或插入所述壳体。
在按照具有上述结构的本发明的基板收纳容器中，所述壳体可以包括一对第一侧板，该一对第一侧板以相互相对的方式分开配置，在所述第一侧板上形成有长度方向朝向上下方向的槽构件，各个所述盒包括：第一板，由所述槽构件支撑，能够沿所述槽构件滑动；以及第二板，与所述第一板的两端连接，所述基板收纳在所述第一板和所述第二板之间形成的空间中。
在上述结构中，在所述第一板和所述第二板相互组合时，从上部看为コ形。
所述盒还可以包括：隔壁，位于所述第二板之间，分隔所述第二板之间的空间，设置成相对于所述第一板能够装拆。
所述盒可以设置成沿与所述第一侧板的配置方向垂直的第二方向排成一列。
按照本发明实施方式的基板检查装置，其特征在于包括：装载部，放置收纳基板的第一容器；检查部，向从所述装载部输送来的所述基板照射光，检查所述基板；以及卸载部，放置第二容器，该第二容器收纳用所述检查部检查过的所述基板，所述第一容器和第二容器包括：盒，上部敞开，容纳在上下方向上层叠的多块所述基板；以及壳体，形成有槽构件，该槽构件垂直装载所述盒。
在按照具有上述结构的本发明的基板检查装置中，所述壳体可以包括：支承板；以及一对第一侧板，以相互相对的方式垂直设置在所述支承板的上表面上，所述槽构件向与所述第一侧板相对的面垂直的方向突出。
所述槽构件可以设置在所述第一侧板相对的面上的两侧垂直边之间的区域上，所述壳体还可以包括：第二侧板，相对于所述槽构件的排列方向垂直设置，连接在所述第一侧板的任意一个所述垂直边上；以及突出部，从所述第一侧板的任意一个所述垂直边向所述槽构件的突出方向突出。
所述盒可以包括：四边形的第一板，由所述壳体的所述槽构件支撑；第二板，从朝着所述槽构件的长度方向的所述第一板的边向与所述第一板垂直的方向延伸；第一下垫板，从所述第二板的下端向相互相对的方向延伸，支承所述基板；以及第二下垫板，从所述第一板的下端中心部向与所述第一板垂直的方向延伸，支承所述基板。
所述盒还可以包括：侧面支撑构件，以相互相对的方式设置在所述第二板的内表面上，支撑由所述第一下垫板和所述第二下垫板支承的所述基板的侧面。
所述盒还可以包括：隔壁，具有与所述第二板对应的形状，在所述第一板和所述第二下垫板之间能够装拆。
在所述支承板上可以贯通形成第一孔，固定所述支承板的销构件能够插入该第一孔。
在与所述第一下垫板和所述第二下垫板之间的区域对应的所述支承板的位置上，可以形成第二孔，使所述基板升降的升降机构能够插入该第二孔。
所述装载部可以包括：多个第一装入口，配置成一列，放置收纳有要被检查的所述基板的所述第一容器；多个第一取出口，放置空的所述第一容器，配置成与所述第一装入口并排成一列；工序口，配置在所述第一装入口和所述第一取出口之间，放置收纳有被向所述检查部输送的所述基板的所述第一容器；以及装载机器人，在所述第一装入口之间输送所述第一容器，在所述工序口和与所述工序口邻接的所述第一装入口及所述第一取出口之间输送所述第一容器，在所述第一取出口之间输送所述第一容器。
所述装载部还可以包括：升降机构，配置在所述工序口的下面，使收纳于放置在所述工序口上的所述第一容器中的所述基板升降；所述升降机构包括：升降构件，该升降构件的长度方向朝向上下方向，对准在所述第一容器的所述支承板上贯通形成的孔；以及升降驱动构件，使所述升降构件在上下方向上直线移动。
所述基板检查装置还可以包括：定位部，配置在所述装载部和所述检查部之间，使所述基板定位；以及基板输送机器人，把所述基板从所述装载部向所述定位部输送，所述定位部包括：定位台，放置由所述基板输送机器人输送的所述基板；第一定位机构，对放置在所述定位台上的所述基板的朝向第一方向的第一侧面施加压力，使所述基板定位；以及第二定位机构，对放置在所述定位台上的所述基板的朝向与所述第一方向垂直的第二方向的第二侧面施加压力，使所述基板定位。
所述第一定位机构可以包括：一对第一定位构件，该一对第一定位构件的长度方向朝向所述第二方向，在所述第一方向上分开，并能够向相互靠近的方向移动。
所述第一定位机构还可以包括：一对第二定位构件，该一对第二定位构件的长度方向朝向所述第二方向，位于所述第一定位构件之间，并能够朝向所述第一定位构件，向相互远离的方向移动。
在所述第二定位构件相互相对的面上可以形成有突出部，所述第二定位构件能够以所述突出部交替的方式配置成相互邻接。
在所述突出部的下表面上可以形成加压突起部，该加压突起部对所述基板的所述第一侧面施加压力。
所述第一定位构件和所述第二定位构件可以沿所述第一方向排列配置多个。
所述检查部可以包括：第一检查部，检查所述基板的下表面；以及第二检查部，检查所述基板的上表面，所述第一检查部和所述第二检查部可以并排配置成一列。
所述第一检查部可以包括：第一吸附台，真空吸附放置在所述定位台上的所述基板的上表面；第一输送机器人，使所述第一吸附台直线移动；第一照明机构，配置在所述第一吸附台的下面，向通过所述第一输送机器人移动的所述基板的下表面照射光；以及第一摄影机构，拍摄所述第一照明机构的光所照射的所述基板的下表面。
所述第一检查部还可以包括：第一基板清洁辊，配置在所述定位部和所述第一照明机构之间，与通过所述第一输送机器人移动的所述基板的下表面接触，清除所述基板下表面的异物。
所述第二检查部可以包括：第二吸附台，位于所述第一吸附台的下面，接受输送来的吸附在所述第一吸附台上的所述基板，真空吸附所述基板的下表面；第二输送机器人，使所述第二吸附台直线移动；第二照明机构，配置在所述第二吸附台的上部，向通过所述第二输送机器人移动的所述基板的上表面照射光；以及第二摄影机构，拍摄所述第二照明机构的光所照射的所述基板的上表面。
所述第二检查部还可以包括：第二基板清洁辊，配置在所述第一检查部和所述第二照明机构之间，与通过所述第二输送机器人移动的所述基板的上表面接触，清除所述基板上表面的异物。
所述基板检查装置还可以包括：分类-装载机器人，根据所述第一检查部和所述第二检查部的检查结果，把所述基板分成合格品和不合格品，分选装入放置在所述卸载部的所述第二容器中。
所述卸载部可以包括：多个第二装入口，配置成一列，放置空的所述第二容器；多个送出辊，与所述第二装入口并排配置成一列；装载口，配置在所述第二装入口和所述送出辊之间，放置收纳由所述分类-装载机器人输送的所述基板的所述第二容器；第一卸载机器人，在所述第二装入口之间输送所述第二容器，在所述装载口和与所述装载口邻接的所述第二装入口之间输送所述第二容器；以及第二卸载机器人，把放置在所述装载口上的所述第二容器输送到所述送出辊上。
所述多个送出辊可以配置成沿排列方向朝下倾斜。
所述卸载部还可以包括下降机构，该下降机构配置在所述装载口的下面，使收纳于放置在所述装载口上的所述第二容器中的所述基板下降，所述下降机构可以包括：下降构件，该下降构件的长度方向朝向上下方向，对准在所述第二容器的所述支承板上贯通形成的孔；以及下降驱动构件，使所述下降构件在上下方向上直线移动。
按照本发明，通过分别具有与检查对象基板的尺寸一致的盒，并利用该盒把基板装载在基板检查装置上，可以提高基板检查工序的生产率。
附图说明
图1是本发明实施方式的光学检查装置的俯视图。
图2是图1的光学检查装置的侧视图。
图3是容器的立体图。
图4是图3的容器的俯视图。
图5是表示盒处于脱离状态下的容器的图。
图6是其它实施方式的盒的立体图。
图7是图1的装载部的放大图。
图8是图7的装载部的侧视图。
图9A～图9D是表示装载机器人的动作状态的图。
图10是基板输送机器人的主视图。
图11是图10的吸附构件的侧视图。
图12是定位部的俯视图。
图13是图12的定位部的侧视图。
图14是图12的定位部的主视图。
图15是表示定位部动作状态的图。
图16A和图16B是把图15的定位构件放大表示的图。
图17是第一检查部的侧视图。
图18是图17的第一基板清洁辊的放大图。
图19是第二检查部的侧视图。
图20是图19的第二基板清洁辊的放大图。
图21是分类-装载机器人的侧视图。
图22是图1的卸载部的放大图。
图23是图22的卸载部的侧视图。
附图标记说明
M、M1、M2容器(M第一容器；M1、M2第二容器)
S、S1、S2基板
100装载部
200基板输送机器人
300定位部
400第一检查部
500第二检查部
600分类-装载机器人
700卸载部
具体实施方式
下面参照附图对本发明优选的实施方式的基板收纳容器和具有其的基板检查装置进行详细说明。首先在各图中的构成要素带有附图标记，对于同一个构成要素即使在其它图上表示也尽可能采用相同的附图标记。此外在本发明的说明中，在判断为与本发明的要点无关的情况下，对于相关联的公知结构或功能省略了对它们的详细说明。
图1是本发明实施方式的光学检查装置1的俯视图，图2是图1的光学检查装置1的侧视图。
下面，设在图1平面上的设备的排列方向为第一方向I，在同一平面上的与第一方向I垂直的方向为第二方向II，与第一方向I和第二方向II垂直的方向为第三方向III。
光学检查装置1检查DIMM或SO-DIMM(Small Outline DualIn-line Memory Module，小型双列直插式存储器模块)这样的存储器模块的印刷电路板(下面称为“基板”)。
参照图1和图2，光学检查装置1包括装载部100、基板输送机器人200、定位部300、第一检查部400、第二检查部500、分类-装载机器人600和卸载部700。装载部100和卸载部700以长度方向朝向第二方向II的方式相互平行间隔开配置。定位部300、第一检查部400、第二检查部500沿第一方向I顺序配置在装载部100和卸载部700之间。定位部300配置成与装载部100邻接，第二检查部500配置成与卸载部700邻接，第一检查部400配置在定位部300和第二检查部500之间。基板输送机器人200配置在装载部100和定位部300的上部空间，分类一装载机器人600配置在第二检查部500和卸载部700的上部空间。
收纳有作为检查对象的基板S的第一容器M放置在装载部100上。基板输送机器人200把收纳在第一容器M中的基板S向定位部300输送。定位部300把基板S定位。第一检查部400从定位部300接受基板S，检查在基板S的下表面形成的图案是否有异常。第二检查部500从第一检查部400接受基板S，检查在基板S的上表面形成的图案是否有异常。分类-装载机器人600根据第一检查部400和第二检查部500的检查结果，把基板S分成合格品基板S1和不合格品基板S2，把基板分选后装在放置在卸载部700中的第二容器M1、M2中。卸载部700把第二容器M1、M2输送到外部。
图3是图1和图2的第一容器M、第二容器M1、M2的立体图，图4是图3的容器的俯视图，图5是表示盒处于脱离状态下的容器的图。在图1和图2的装载部100中使用的第一容器M和在卸载部700中使用的第二容器M1、M2都具有相同的结构。
参照图3至图5，第一容器M包括盒10和壳体20。盒10容纳在上下方向上层叠的多块基板，盒10垂直装载在槽构件23a、23b上，该槽构件23a、23b形成在壳体20上。盒10具有上部敞开的结构，基板可以通过盒10的敞开的上部装入或取出。
壳体20具有支承板21。支承板21是大体为四边形的板，在支承板21的上表面上设置一对第一侧板22a、22b。第一侧板22a、22b是四边形的板，第一侧板22a、22b以相互相对的方式垂直设置在支承板21的上表面上。在第一侧板22a、22b相互相对的面，也就是内表面上，多个槽构件23a、23b向与内表面垂直的方向突出。槽构件23a、23b以能够装拆的方式连接在第一侧板22a、22b上，此外，也可以与第一侧板22a、22b形成一体。
槽构件23a、23b设置在第一侧板22a、22b相对的面上的两侧垂直边之间的区域上。而且在第一侧板22a、22b的任意一侧的垂直的边上，连接与槽构件23a、23b的排列方向垂直设置的第二侧板24，在第一侧板22a、22b的任意一侧的垂直的边上形成有突出部25a、25b，该突出部25a、25b做成向槽构件23a、23b的突出方向突出。
在支承板21上形成有握持部26a、26b，在通过人工操作移动第一容器M时可以握持第一容器M。握持部26a、26b在支承板21上设置成以第一侧板22a、22b为中心对称。而且在支承板21上形成有贯通的第一孔27a、27b，使得固定支承板21的销构件(图中没有表示)可以插入该第一孔27a、27b。例如，第一孔27a、27b沿支承板21的对角线方向形成在与支承板21的边缘邻接的区域上。
盒10包括第一板11、第二板12a、12b、第一下垫板13a、13b以及第二下垫板14。第一板11是四边形的板，由壳体20的槽构件23a、23b支撑。第二板12a、12b从朝向槽构件23a、23b长度方向的第一板11的边向与第一板11垂直的方向延伸，第一下垫板13a、13b从第二板12a、12b下端向相互相对的方向延伸。第二下垫板14从第一板11下端的中心部向与第一板11垂直的方向延伸。
另一方面，在壳体20的支承板21上对应于第一下垫板13a、13b和第二下垫板14之间的区域的位置上，形成第二孔28。后面叙述的升降机构(图中没有表示)和下降机构(图中没有表示)通过第二孔28进入到容器M、M1、M2内，使基板升降或下降。
收纳在盒10中的基板是DIMM或SO-DIMM这样的存储器模块的印刷电路板。SO-DIMM用基板的长度比DIMM用基板的长度短，盒10必须具有与此对应的结构。因此，图5所示的SO-DIMM用盒10具有隔壁15。隔壁15具有与第二板12a、12b对应的形状，设置成在第一板11和第二下垫板14之间能够装拆。此外，隔壁15也可以在第一板11与第二下垫板14之间固定成一体。采用这样的结构，长度短的SO-DIMM用基板可以用第一下垫板13a和第二下垫板14支承，或者，用第二下垫板14和第一下垫板13b支承。也就是说，图5的盒10可以装入两列SO-DIMM用基板。
DIMM用基板的长度比SO-DIMM用基板的长度长，图6的盒10’是可以装入DIMM用基板的盒。DIMM用基板两端的下表面由第一下垫板13a、13b支承，DIMM用基板中央部的下表面由第二下垫板14支承。图6的盒10’具有侧面支撑构件16，该侧面支撑构件16用于支撑DIMM用基板两端的侧面。侧面支撑构件16以相互相对的方式设置在第二板12a、12b的内表面上。侧面支撑构件16包括：长方形板16-1，长方形板16-1的长度与第二板12a、12b的长度对应；以及突起部16-2，在板16-1的一个面上突出形成。突起部16-2做成与板16-1的长度相同，在板16-1上有多个突起部16-2。
下面对利用具有上述结构的容器实施基板检查工序的基板检查装置进行详细说明。收纳在容器中的作为检查对象的基板是SO-DIMM用基板或DIMM用基板，也可以根据基板的种类选择使用其它种类的盒10、10’。
图7是图1的装载部的放大图。图8是图7的装载部的侧视图。参照图7和图8，装载部100包括第一装入口110a、110b、110c、110d、第一取出口120a、120b以及工序口130。第一装入口110a、110b、110c、110d沿第二方向II配置成两列，在第一装入口110a、110b、110c、110d上放置收纳有要检查的基板的第一容器M。第一取出口120a、120b与第一装入口110a、110b、110c、110d并排，沿第二方向II配置成两列，配置成与第一装入口110a、110b、110c、110d隔开规定的间隔。在第一取出口120a、120b上放置空的第一容器M。工序口130配置在第一装入口110a、110b、110c、110d和第一取出口120a、120b之间，在工序口130上放置收纳有被向定位部300输送的基板的第一容器M。
第一容器M在第一装入口110a、110b、110c、110d上顺序移动后，放置在工序口130上，如果被收纳的基板都被输送到定位部300后，则第一容器M从工序口130顺序向第一取出口120a、120b移动。
第一装载机器人150配置在第一装入口110a、110b、110c、110d下面，第二装载机器人160配置在第一取出口120a、120b下面。第一装载机器人150在第一装入口110a、110b、110c、110d之间输送第一容器M，在与工序口130邻接的第一装入口110d和工序口130之间输送第一容器M。第二装载机器人160在工序口130和与工序口130邻接的第一取出口120a之间输送第一容器M，在第一取出口120a、120b之间输送第一容器M。
第一装载机器人150具有与第一装入口110a、110b、110c、110d的开口部对应尺寸的升降板156。在升降板156的上表面设置有插入第一容器M的第一孔27a、27b的销构件157。如果销构件157插入第一孔27a、27b，则第一容器M就被固定在升降板156上。在升降板156的下部连接缸154，该缸154使升降板156沿上下方向移动，缸154被固定在滑块152上，滑块152在导轨140上滑动。在滑块152内装有直线电动机(图中没有表示)，滑块152也可以利用其它的如缸机构那样的驱动装置滑动。
第一装载机器人150使放置在第一装入口110d上的第一容器M向工序口130移动的工序如下：如图9A至图9D所示，首先缸154使升降板156向上侧移动，使放置在第一装入口110d上的第一容器M升起。此后，利用滑块152滑动，升降板156沿第二方向II移动，滑块152沿第二方向II移动到使第一容器M位于工序口130的上部为止。在这种状态下，利用缸154使升降板156下降，把第一容器M放置在工序口130上。
第二装载机器人160具有与第一装载机器人150相同的结构，省略对它的详细说明。但是，没有说明的附图标记“162”是滑块162的附图标记，附图标记“164”是缸164的附图标记，附图标记“166”是升降板166的附图标记。
升降机构170配置在工序口130的下面。升降机构170使收纳于放置在工序口130上的第一容器M中的基板上升或下降。升降机构170具有升降构件172，升降构件172的长度方向朝向上下方向，对准在第一容器M的支承板21上形成的第二孔28。升降构件172利用升降驱动构件174在上下方向上直线移动。
图10是基板输送机器人的主视图，图11是图10的吸附构件的侧视图。
参照图10和图11，基板输送机器人200把基板从放置在工序口130上的第一容器M输送到定位部300。基板输送机器人200具有水平支承台210，水平支承台210沿第一方向I水平配置在工序口130和定位部300的上部空间。在水平支承台210上有导轨212，在导轨212上设置滑块220。直线电动机(图中没有表示)被装在滑块220上，通过直线电动机的驱动，滑块220在导轨212上滑动。
在滑块220上设置驱动构件230，驱动构件230在第三方向III上，也就是在上下方向上提供直线驱动力。长度方向朝向第三方向III的第一连接构件232的一端连接在驱动构件230上，长度方向朝向第一方向I的第二连接构件234连接在第一连接构件232的另一端上。在第二连接构件234上设置多个吸附构件240，多个吸附构件240用于吸附基板。各吸附构件240分别包括：支承台242，其长度方向朝向第二方向II；以及吸附机构244，在支承台242上沿长度方向设置成一列。支承台242的一端连接在第二连接构件234上。吸附机构244利用负压的作用吸附基板。
吸附构件240利用滑块220的滑动，可以在装载部100的工序口130和定位部300的上部空间移动。吸附构件240移动到装载部100的工序口130上部后，利用驱动构件230向下移动，吸附收纳于放置在工序口130上的第一容器M中的基板。此后，吸附构件240利用驱动构件230向上移动，并利用滑块200的滑动，向定位部300的定位台310的上部空间移动。吸附构件240移动到定位台310的上部空间后，利用驱动构件230向下移动，然后解除施加在基板上的负压，把基板装载在定位台310上。
图12是定位部的俯视图，图13是图12的定位部的侧视图，图14是图12的定位部的主视图。图15是表示定位部动作状态的图，图16A和图16B是把图15的定位构件放大表示的图。
参照图12至图16B，定位部300包括定位台310、第一定位机构330和第二定位机构370。由基板输送机器人200输送来的基板被放置在定位台310上。第一定位机构330对放置在定位台310上的基板纵向的两个侧面施加压力，也就是对第一方向I上的两个侧面施加压力，使基板在第一方向I上定位。第二定位机构370对放置在定位台310上的基板横向的两个侧面施加压力，也就是对第二方向II上的两个侧面施加压力，使基板在第二方向II上定位。
定位台310可以是四边形板构件，可以用连接在定位台310下表面的垂直支承台313支承定位台310。垂直支承台313为板构件，连接在定位台310的边缘区域上，朝向第二方向II。垂直支承台313的下端连接在板形的水平支承台314上。水平支承台314设置在滑块322之上，滑块322设置在导向构件324上，导向构件324的长度方向朝向第二方向II。滑块322由导向构件324引导在第二方向II上滑动。
第一定位机构330包括一对第一定位构件331、333和一对第二定位构件335、336。第一定位构件331、333的长度方向朝向第二方向II，配置成在第一方向I上相互分开。第二定位构件335、336的长度方向朝向第二方向II，可以配置在第一定位构件331、333之间。第一定位构件331、333利用由电动机和带-活动组件(ベルト一フリ一アセンブリ一)构成的驱动构件340，可以向相互靠近的方向移动。第二定位构件335、336利用缸(图中没有表示)可以向朝向第一定位构件331、333的方向移动。也就是说，第二定位构件335可以向朝向第一定位构件331的方向移动，第二定位构件336可以向朝向第一定位构件333的方向移动。另一方面，第二定位构件335、336利用另外的缸(图中没有表示)可以在上下方向上移动。
在向定位台310输送的基板是长度比较长的DIMM用印刷电路板的情况下，利用第一定位构件331、333可以使基板在第一方向I上定位。此时，第二定位构件335、336利用缸(图中没有表示)向上侧移动，以避免与基板干扰。
在向定位台310输送的基板是长度比较短的SO-DIMM用印刷电路板的情况下，利用第一定位构件331、333和第二定位构件335、336，可以使基板在第一方向I上定位。第二定位构件335、336利用缸(图中没有表示)向下侧移动。而且第一定位构件331、333向相互靠近的方向移动，第二定位构件335、336向相互远离的方向移动。其结果，第一定位构件331和第二定位构件335向相互靠近的方向移动，对基板定位，第一定位构件333和第二定位构件336向相互靠近的方向移动，对基板定位。
具有上述结构的第一定位构件331、333和第二定位构件335、336沿第一方向I并排配置多个，与在基板检查装置中输送基板的第一容器M的数量相关联。在本实施方式的情况下，由于在装载部100中放置两列容器M，所以第一定位构件331、333和第二定位构件335、336可以配置两个。其中，图15中没有说明的附图标记“332”、“334”表示第一定位构件332、334，附图标记“337”、“338”表示第二定位构件337、338。
如图16A所示，在第一定位构件331、332、333、334中，与定位台310的中央部位对应的第一定位构件333、334的下面，突出形成有对基板的第一侧面施加压力的加压突起部333-1、334-1。
如图16B所示，在第二定位构件335、336相互相对的面上形成有突出部335-1、336-1，第二定位构件335、336以突出部335-1、336-1交替的方式配置成相互邻接。此外，在突出部335-1、336-1的下表面形成有加压突起部335-2、336-2，该加压突起部335-2、336-2对基板的第一侧面施加压力。
第一定位机构330、驱动构件340和缸(图中没有表示)可以利用直线驱动构件350沿上下方向移动。第一定位机构330、驱动构件340、缸(图中没有表示)和直线驱动构件350可以利用直线驱动构件360沿第二方向II移动，直线驱动构件360固定设置在定位台310下端部位。直线驱动构件350可以连接在沿第二方向II滑动的滑块352上，滑块352利用导向构件354引导，导向构件354固定设置在定位台310下端。导向构件354的长度方向是第二方向II。
如图14和图15所示，第二定位机构370具有多个定位销372、374。定位销372、374插入贯通定位台310形成的孔312中，从定位台310的另一面伸出。定位销372、374中的一组定位销372与另一组定位销374被向相反的方向驱动。也就是说，一组定位销372以第二方向II为基准，向朝向定位台310的前端部的方向驱动，另一组定位销374向朝向定位台310的后端部的方向驱动。
一组定位销钉372连接在第一定位板371上，另一组定位销钉374连接在第二定位板373上。第一定位板371连接在第一滑动机构375a上，可以沿第二方向II向朝向定位台310的前端部的方向移动，第二定位板373连接在第二滑动机构375b上，可以沿第二方向II向朝向定位台310的后端部的方向移动。第一滑动机构375a、第二滑动机构375b设置在水平支承台376上，水平支承台376利用缸377可以沿上下方向移动。
图17是第一检查部的侧视图，图18是图17的第一基板清洁辊的放大图。第一检查部400检查基板的下表面。
参照图2、图17和图18，第一检查部400包括第一吸附台410、第一输送机器人(缸420、水平驱动构件430)、第一照明机构440和第一摄影机构450。第一吸附台410在定位台310的上部空间，真空吸附放置在定位台310上的基板的上表面。第一输送机器人使第一吸附台410在上下方向上和水平方向上直线移动。缸420连接在第一吸附台410的上表面上，使第一吸附台410沿上下方向移动。缸420连接在水平驱动构件430上，可以沿水平方向移动。水平驱动构件430包括：滑块432，连接在缸420的上部上；以及水平支承台434，设置成滑块432可以在水平支承台434上滑动。在滑块432内装有直线电动机(图中没有表示)。
第一照明机构440和第一摄影机构450配置在第一吸附台410移动的路径下部。第一照明机构440包括：照明机构442，照射光，用于获得基板上的图案区域的图像；照明机构444，照射光，用于获得基板上的焊料掩膜区域的图像。第一吸附台410在水平方向上往复移动，使得各照明机构可以分别独立向基板照射光。第一摄影机构450拍摄第一照明机构440的光所照射的基板的下表面，获得图案区域和焊料掩膜区域的图像。
在定位部300和第一照明机构440之间配置第一基板清洁辊460，第一基板清洁辊460用于对基板进行清洁。第一基板清洁辊460具有上部辊462和下部辊464。上部辊462和下部辊464配置成转动轴朝向第二方向II，各转动轴在第三方向III上排列。上部辊462配置在下部辊464的上侧。上部辊462与利用第一输送机器人移动的基板的下表面接触，清除基板下表面上的异物。下部辊464与上部辊462接触，对上部辊462进行清洁。在对基板进行清洁时，下部辊464与上部辊462接触，在对基板进行清洁后，下部辊464利用缸466向下移动，与上部辊462分开。上部辊462、下部辊464和缸466由支承框架468支承。
图19是第二检查部的侧视图，图20是图19的第二基板清洁辊的放大图。第二检查部500检查基板的上表面。
参照图2、图19和图20，第二检查部500包括第二吸附台510、第二输送机器人520、第二照明机构530和第二摄影机构540。第二吸附台510设置在第一吸附台410的下部空间，接受吸附在第一吸附台410上的基板，真空吸附基板的下表面。第二输送机器人520使第二吸附台510在水平方向上直线移动。第二输送机器人520包括：滑块522，连接在第二吸附台510的下部上；以及水平支承台524，设置成滑块522可以在水平支承台524上滑动。在滑块522内装有直线电动机(图中没有表示)。
第二照明机构530和第二摄影机构540设置在第二吸附台510移动的路径的上部。第二照明机构530包括：照明机构532，照射光，用于获得基板上的图案区域的图像；以及照明机构534，照射光，用于获得基板上的焊料掩膜区域的图像。第二吸附台510在水平方向上往复移动，使得各照明机构532、534可以独立对基板照射光。第二摄影机构540拍摄第二照明机构530的光所照射的基板的上表面，获得图案区域和焊料掩膜区域的图像。
在第一检查部400和第二照明机构530之间，配置第二基板清洁辊550，该第二基板清洁辊550用于对基板进行清洁。第二基板清洁辊550具有上部辊554和下部辊552。上部辊554和下部辊552配置成转动轴朝向第二方向II，各转动轴在第三方向III上排列。上部辊554配置在下部辊552的上侧。下部辊552与利用第二输送机器人520移动的基板的上表面接触，清除基板上表面的异物。上部辊554与下部辊552接触，对下部辊552进行清洁。上部辊554和下部辊552由支承框架556支承。
图21是分类-装载机器人的侧视图。分类-装载机器人600根据第一检查部400和第二检查部500的检查结果，把检查过的基板分类成合格品基板S1和不合格品基板S2，分选后装到放置在卸载部700上的第二容器M1、M2中。
参照图21，分类-装载机器人600把放置在第二检查部500的第二吸附台510上的基板，向放置在卸载部700的装载口730上的第二容器M1、M2输送。分类-装载机器人600具有第一水平支承台612，该第一水平支承台612沿第一方向I水平配置在第二检查部500和装载口730的上部空间中。在第一水平支承台612上设有导轨，滑块614设置在该导轨上。在滑块614上装有直线电动机(图中没有表示)，利用直线电动机的驱动，滑块614在导轨上沿第一方向I滑动。
在滑块614上设置有第二水平支承台622，该第二水平支承台622沿第二方向II水平配置。在第二水平支承台622上设有导轨，滑块624设置在该导轨上。在滑块624上装有直线电动机(图中没有表示)，利用直线电动机的驱动，滑块624在导轨上沿第二方向II滑动。
连接构件642连接在滑块624的下部，在连接构件642上设置有缸644，该缸644提供沿第三方向III，也就是沿上下方向的直线驱动力。吸附构件支承板632连接在缸644上，在吸附构件支承板632的下表面上设置有多个吸附构件634，该吸附构件634用于吸附基板。
吸附构件634利用第一水平支承台612和第二水平支承台622以及由它们支承的滑块614、624，在第一方向I和第二方向II上直线移动，利用缸644在第三方向III上直线移动。通过这样的驱动机构，吸附构件634可以向第二检查部500的第二吸附台510和卸载部700的装载口730的上部空间移动。
吸附构件634移动到第二检查部500的第二吸附台510上部后，利用缸644向下移动，吸附放置在第二吸附台510上的基板。此后，吸附构件634利用缸644向上方移动，利用由第一水平支承台612和第二水平支承台622支承的滑块614、624的滑动，向卸载部700的装载口730上部空间移动。
吸附构件634移动到装载口730的上部空间后，利用缸644向下方移动，然后解除施加在基板上的负压，把基板收纳进放置在装载口730上的第二容器M1、M2中。此时，由第一检查部400和第二检查部500判断为合格品的基板S1被收纳进第二容器M1中，由第一检查部400和第二检查部500判断为不合格品的基板S2被收纳进第二容器M2中。
图22是图1的卸载部的放大图。图23是图22的卸载部的侧视图。参照图22和图23，卸载部700包括第二装入口710a、710b、710c、710d、送出辊720和装载口730。第二装入口710a、710b、710c、710d沿第二方向II配置成两列，在第二装入口710a、710b、710c、710d上放置没有收纳基板的空的第二容器M1、M2。送出辊720与第二装入口710a、710b、710c、710d并排，沿第二方向II配置成两列，配置成与第二装入口710a、710b、710c、710d隔开规定的间隔。送出辊720配置成沿第二方向II向下倾斜。在送出辊720上放置收纳有合格品基板S1的第二容器M1和收纳有不合格品基板S2的第二容器M2。由于第二容器M1、M2放置在倾斜配置的送出辊720上，所以第二容器M1、M2可以靠自重向送出辊720的端部移动。装载口730配置在第二装入口710a、710b、710c、710d和送出辊720之间，在装载口730上放置用于装入从分类-装载机器人600输送来的合格品和不合格品基板的第二容器M1、M2。另一方面，在送出辊720的与装载口730邻接的位置上装备有按压装置，该按压装置把放置在送出辊720上的第二容器M1、M2向送出辊720的排列方向按压。
第二容器M1、M2在第二装入口710a、710b、710c、710d上顺序移动后，放置在装载口730上，如果完成向第二容器M1、M2装入基板，则第二容器M1、M2从装载口730向送出辊720的上面移动。
在第二装入口710a、710b、710c、710d的下面配置第一卸载机器人750，在送出辊720的下面配置第二卸载机器人760。第一卸载机器人750在第二装入口710a、710b、710c、710d之间输送第二容器M1、M2，在与装载口730邻接的第二装入口710d和装载口730之间输送第二容器M1、M2。第二卸载机器人760把放置在装载口730上的第二容器M1、M2输送到送出辊720的上面。
第一卸载机器人750具有升降板756，该升降板756具有与第二装入口710a、710b、710c、710d的开口部对应的尺寸。在升降板756的上面设置有销构件757，该销构件757用于插入第二容器M1、M2的第一孔27a、27b中。如果销构件757插入到第一孔27a、27b中，则第二容器M1、M2就被固定在升降板756上。在升降板756的下部上连接有缸754，该缸754用于使升降板756沿上下方向移动，缸754被固定在滑块752上，该滑块752在导轨740上滑动。在滑块752内装有直线电动机(图中没有表示)，此外滑块752也可以利用如缸机构那样的其它种类的驱动装置滑动。
第一卸载机器人750把放置在第二装入口710d上的第二容器M1、M2向装载口730输送的工序，由于与前面说明的第一装载机器人150的动作工序相同，所以省略对其进行说明。第二卸载机器人760由于具有与第一卸载机器人750相同的结构，所以省略对其进行详细说明。
下降机构770配置在装载口730的下面。下降机构770使收纳于放置在装载口730上的第二容器M1、M2中的基板下降。如图2所示，下降机构770具有下降构件772，该下降构件772的长度方向朝向上下方向，对准在第二容器MI、M2的支承板21上形成的第二孔28。下降构件772利用下降驱动构件774在上下方向上直线移动。下降驱动构件774包括驱动源和传递其动力的带-活动组件。
以上的说明只不过是说明本发明技术思想的例子，本领域的技术人员在不脱离本发明的本质特性的范围内，可以进行多种多样的修正和变形。因此，本发明所公开的实施方式不限定本发明的技术思想，仅仅是用于说明的例子，不能用这样的实施方式限定本发明技术思想的范围。本发明的保护范围必须通过权利要求书来确定，与其等同范围内的所有技术思想都应该被认为是包括在本发明的权利范围内。

Claims (42)

1.一种基板收纳容器，其特征在于包括：
盒，上部敞开，容纳在上下方向上层叠的多块基板；以及
壳体，形成有多个槽构件，该槽构件垂直装载所述盒。
2.根据权利要求1所述的基板收纳容器，其特征在于，
所述壳体包括：
支承板；以及
一对第一侧板，以相互相对的方式垂直设置在所述支承板的上表面上，所述槽构件向与所述第一侧板相对的面垂直的方向突出。
3.根据权利要求2所述的基板收纳容器，其特征在于，所述槽构件设置在所述第一侧板相对的面上的两侧垂直边之间的区域上。
4.根据权利要求3所述的基板收纳容器，其特征在于，
所述壳体还包括：
第二侧板，相对于所述槽构件的排列方向垂直设置，连接在所述第一侧板的任意一个所述垂直边上。
5.根据权利要求4所述的基板收纳容器，其特征在于，
所述壳体还包括：
突出部，从所述第一侧板的任意一个所述垂直边向所述槽构件的突出方向突出。
6.根据权利要求2所述的基板收纳容器，其特征在于，
所述壳体还包括：
握持部，在所述支承板上设置成以所述第一侧板为中心对称。
7.根据权利要求2所述的基板收纳容器，其特征在于，在所述支承板上贯通形成有第一孔，固定所述支承板的销构件能够插入该第一孔。
8.根据权利要求2至7中任意一项所述的基板收纳容器，其特征在于，
所述盒包括：
四边形的第一板，由所述壳体的所述槽构件支撑；
第二板，从朝着所述槽构件的长度方向的所述第一板的边向与所述第一板垂直的方向延伸；以及
第一下垫板，从所述第二板的下端向相互相对的方向延伸，支承所述基板。
9.根据权利要求8所述的基板收纳容器，其特征在于，
所述盒还包括：
第二下垫板，从所述第一板的下端中心部向与所述第一板垂直的方向延伸，支承所述基板。
10.根据权利要求9所述的基板收纳容器，其特征在于，在与所述第一下垫板和所述第二下垫板之间的区域对应的所述支承板的位置上，形成有第二孔，使所述基板升降的升降机构能够插入该第二孔。
11.根据权利要求10所述的基板收纳容器，其特征在于，
所述盒还包括：
侧面支撑构件，以相互相对的方式设置在所述第二板的内表面上，支撑由所述第一下垫板和所述第二下垫板支承的所述基板的侧面。
12.根据权利要求10所述的基板收纳容器，其特征在于，
所述盒还包括：
隔壁，具有与所述第二板对应的形状，设置成在所述第一板和所述第二下垫板之间能够装拆。
13.一种基板收纳容器，其特征在于包括：
盒，以基板在上下方向上层叠的方式容纳所述基板；以及
壳体，具有容纳所述盒的空间，
各个所述盒在所述壳体中通过滑动的方式移动，能够与所述壳体分离或插入所述壳体。
14.根据权利要求13所述的基板收纳容器，其特征在于，
所述壳体包括一对第一侧板，该一对第一侧板以相互相对的方式分开配置，在所述第一侧板上形成有长度方向朝向上下方向的槽构件，
各个所述盒包括：
第一板，由所述槽构件支撑，能够沿所述槽构件滑动；以及
第二板，与所述第一板的两端连接，
所述基板收纳在所述第一板和所述第二板之间形成的空间中。
15.根据权利要求14所述的基板收纳容器，其特征在于，在所述第一板和所述第二板相互组合时，从上部看为コ形。
16.根据权利要求14所述的基板收纳容器，其特征在于，
所述盒还包括：
隔壁，位于所述第二板之间，分隔所述第二板之间的空间，设置成相对于所述第一板能够装拆。
17.根据权利要求14至16中任意一项所述的基板收纳容器，其特征在于，所述盒设置成沿与所述第一侧板的配置方向垂直的第二方向排成一列。
18.一种基板检查装置，其特征在于包括：
装载部，放置收纳基板的第一容器；
检查部，向从所述装载部输送来的所述基板照射光，检查所述基板；以及
卸载部，放置第二容器，该第二容器收纳用所述检查部检查过的所述基板，
所述第一容器和所述第二容器包括：
盒，上部敞开，容纳在上下方向上层叠的多块所述基板；以及
壳体，形成有槽构件，该槽构件垂直装载所述盒。
19.根据权利要求18所述的基板检查装置，其特征在于，
所述壳体包括：
支承板；以及
一对第一侧板，以相互相对的方式垂直设置在所述支承板的上表面上，所述槽构件向与所述第一侧板相对的面垂直的方向突出。
20.根据权利要求19所述的基板检查装置，其特征在于，
所述槽构件设置在所述第一侧板相对的面上的两侧垂直边之间的区域上，
所述壳体还包括：
第二侧板，相对于所述槽构件的排列方向垂直设置，连接在所述第一侧板的任意一个所述垂直边上；以及
突出部，从所述第一侧板的任意一个所述垂直边向所述槽构件的突出方向突出。
21.根据权利要求19所述的基板检查装置，其特征在于，
所述盒包括：
四边形的第一板，由所述壳体的所述槽构件支撑；
第二板，从朝着所述槽构件的长度方向的所述第一板的边向与所述第一板垂直的方向延伸；
第一下垫板，从所述第二板的下端向相互相对的方向延伸，支承所述基板；以及
第二下垫板，从所述第一板的下端中心部向与所述第一板垂直的方向延伸，支承所述基板。
22.根据权利要求21所述的基板检查装置，其特征在于，
所述盒还包括：
侧面支撑构件，以相互相对的方式设置在所述第二板的内表面上，支撑由所述第一下垫板和所述第二下垫板支承的所述基板的侧面。
23.根据权利要求21所述的基板检查装置，其特征在于，
所述盒还包括：
隔壁，具有与所述第二板对应的形状，在所述第一板和所述第二下垫板之间能够装拆。
24.根据权利要求19所述的基板检查装置，其特征在于，在所述支承板上贯通形成有第一孔，固定所述支承板的销构件能够插入该第一孔。
25.根据权利要求24所述的基板检查装置，其特征在于，在与所述第一下垫板和所述第二下垫板之间的区域对应的所述支承板的位置上，形成有第二孔，使所述基板升降的升降机构能够插入该第二孔。
26.根据权利要求19所述的基板检查装置，其特征在于，
所述装载部包括：
多个第一装入口，配置成一列，放置收纳有要被检查的所述基板的所述第一容器；
多个第一取出口，放置空的所述第一容器，配置成与所述第一装入口并排成一列；
工序口，配置在所述第一装入口和所述第一取出口之间，放置收纳有被向所述检查部输送的所述基板的所述第一容器；以及
装载机器人，在所述第一装入口之间输送所述第一容器，在所述工序口和与所述工序口邻接的所述第一装入口及所述第一取出口之间输送所述第一容器，在所述第一取出口之间输送所述第一容器。
27.根据权利要求26所述的基板检查装置，其特征在于，
所述装载部还包括：升降机构，配置在所述工序口的下面，使收纳于放置在所述工序口上的所述第一容器中的所述基板升降；
所述升降机构包括：
升降构件，该升降构件的长度方向朝向上下方向，对准在所述第一容器的所述支承板上贯通形成的孔；以及
升降驱动构件，使所述升降构件在上下方向上直线移动。
28.根据权利要求19所述的基板检查装置，其特征在于还包括：
定位部，配置在所述装载部和所述检查部之间，使所述基板定位；以及
基板输送机器人，把所述基板从所述装载部向所述定位部输送，
所述定位部包括：
定位台，放置由所述基板输送机器人输送的所述基板；
第一定位机构，对放置在所述定位台上的所述基板的朝向第一方向的第一侧面施加压力，使所述基板定位；以及
第二定位机构，对放置在所述定位台上的所述基板的朝向与所述第一方向垂直的第二方向的第二侧面施加压力，使所述基板定位。
29.根据权利要求28所述的基板检查装置，其特征在于，
所述第一定位机构包括：
一对第一定位构件，该一对第一定位构件的长度方向朝向所述第二方向，在所述第一方向上分开，并能够向相互靠近的方向移动。
30.根据权利要求29所述的基板检查装置，其特征在于，
所述第一定位机构还包括：
一对第二定位构件，该一对第二定位构件的长度方向朝向所述第二方向，位于所述第一定位构件之间，并能够朝向所述第一定位构件，向相互远离的方向移动。
31.根据权利要求30所述的基板检查装置，其特征在于，在所述第二定位构件相互相对的面上形成有突出部，所述第二定位构件以所述突出部交替的方式配置成相互邻接。
32.根据权利要求31所述的基板检查装置，其特征在于，在所述突出部的下表面上，形成有加压突起部，该加压突起部对所述基板的所述第一侧面施加压力。
33.根据权利要求30至32中任意一项所述的基板检查装置，其特征在于，所述第一定位构件和所述第二定位构件沿所述第一方向排列配置多个。
34.根据权利要求33所述的基板检查装置，其特征在于，
所述检查部包括：第一检查部，检查所述基板的下表面；以及第二检查部，检查所述基板的上表面，
所述第一检查部和所述第二检查部并排配置成一列。
35.根据权利要求34所述的基板检查装置，其特征在于，
所述第一检查部包括：
第一吸附台，真空吸附放置在所述定位台上的所述基板的上表面；
第一输送机器人，使所述第一吸附台直线移动；
第一照明机构，配置在所述第一吸附台的下面，向通过所述第一输送机器人移动的所述基板的下表面照射光；以及
第一摄影机构，拍摄所述第一照明机构的光所照射的所述基板的下表面。
36.根据权利要求35所述的基板检查装置，其特征在于，
所述第一检查部还包括：
第一基板清洁辊，配置在所述定位部和所述第一照明机构之间，与通过所述第一输送机器人移动的所述基板的下表面接触，清除所述基板下表面的异物。
37.根据权利要求34所述的基板检查装置，其特征在于，
所述第二检查部包括：
第二吸附台，位于所述第一吸附台的下面，接受输送来的吸附在所述第一吸附台上的所述基板，真空吸附所述基板的下表面；
第二输送机器人，使所述第二吸附台直线移动；
第二照明机构，配置在所述第二吸附台的上部，向通过所述第二输送机器人移动的所述基板的上表面照射光；以及
第二摄影机构，拍摄所述第二照明机构的光所照射的所述基板的上表面。
38.根据权利要求37所述的基板检查装置，其特征在于，
所述第二检查部还包括：
第二基板清洁辊，配置在所述第一检查部和所述第二照明机构之间，与通过所述第二输送机器人移动的所述基板的上表面接触，清除所述基板上表面的异物。
39.根据权利要求19所述的基板检查装置，其特征在于还包括：分类一装载机器人，根据所述第一检查部和所述第二检查部的检查结果，把所述基板分成合格品和不合格品，分选装入放置在所述卸载部的所述第二容器中。
40.根据权利要求39所述的基板检查装置，其特征在于，
所述卸载部包括：
多个第二装入口，配置成一列，放置空的所述第二容器；
多个送出辊，与所述第二装入口并排配置成一列；
装载口，配置在所述第二装入口和所述送出辊之间，放置收纳由所述分类-装载机器人输送的所述基板的所述第二容器；
第一卸载机器人，在所述第二装入口之间输送所述第二容器，在所述装载口和与所述装载口邻接的所述第二装入口之间输送所述第二容器；以及
第二卸载机器人，把放置在所述装载口上的所述第二容器输送到所述送出辊上。
41.根据权利要求40所述的基板检查装置，其特征在于，所述多个送出辊配置成沿排列方向朝下倾斜。
42.根据权利要求40所述的基板检查装置，其特征在于，
所述卸载部还包括下降机构，该下降机构配置在所述装载口的下面，使收纳于放置在所述装载口上的所述第二容器中的所述基板下降，
所述下降机构包括：
下降构件，该下降构件的长度方向朝向上下方向，对准在所述第二容器的所述支承板上贯通形成的孔；以及
下降驱动构件，使所述下降构件在上下方向上直线移动。
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WD01 Invention patent application deemed withdrawn after publication

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