KR102434484B1 - 검사용 기판의 이송 분류 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 각종 기판을 신속하게 검사하기 위해 기판을 이송 및 분류시키는 기판 이송 분류 장치에 관한 것이다.
본 발명은 검사할 기판이 복수로 적재된 파레트와 검사할 기판이 없는 빈 파레트를 적재하는 파레트 공급 유니트; 상기 파레트 공급 유니트로부터 검사할 기판을 복수로 적재한 파레트를 공급받아서 상기 검사할 기판을 분리하는 기판 분리 유니트를 포함하고,
상기 기판 분리 유니트는 상기 검사할 기판을 상기 파레트로부터 분리하고 검사를 수행하도록 이송하는 검사용 기판의 이송 분류 장치가 제공될 수 있다.

Description

검사용 기판의 이송 분류 장치{Transfer and Seperating Apparatus of Substrate for Testing}

본 발명은 각종 기판을 신속하게 검사하기 위해 기판을 이송 및 분류시키는 기판 이송 분류 장치에 관한 것이다.

각종 기판의 통전 상태를 검사하는 검사 장치는 검사할 기판을 순차적으로 이송하여 검사하는데, 기판의 통전 검사를 위한 검사 장비안으로 검사할 기판을 투입하기까지의 일련의 공정 수행시, 정확하고 신속한 기판의 공급이 이루어져야 하고, 검사 장비를 통해 검사가 완료된 기판은 검사 결과에 따라 분류할 필요가 있다.

검사할 기판의 공급 및 검사 완료된 기판을 분류하는 과정은 정확하고 신속한 동작이 요구될 수 있다.

본 발명은 검사할 기판을 정확하고 신속하게 분리하고 검사할 수 있도록 하는 검사용 기판의 이송 분류 장치를 제공하는 것이다.

본 발명의 해결 수단은 검사할 기판이 복수로 적재된 파레트와 검사할 기판이 없는 빈 파레트를 적재하는 파레트 공급 유니트; 상기 파레트 공급 유니트로부터 검사할 기판을 복수로 적재한 파레트를 공급받아서 상기 검사할 기판을 분리하는 기판 분리 유니트를 포함하고,

상기 기판 분리 유니트는 상기 검사할 기판을 상기 파레트로부터 분리하고 검사를 수행하도록 이송하는 검사용 기판의 이송 분류 장치가 제공될 수 있다.

이와 같이 본 발명은 통전 검사할 기판을 파레트안에 복수로 적재하고, 기판 분리 유니트에서 푸시부에 의해 파레트안의 기판을 밀어서 파레트의 반대편으로 노출시키고, 노출된 상태의 기판을 탑재부에 안치하고 클램핑부에 의해 파레트로부터 완전히 분리한 다음 검사를 수행하도록 이송할 수 있다.

기판 분류 유니트는 파레트안의 기판을 순차적으로 밀어서 파레트의 반대쪽으로 이동시키고, 다음 기판의 배출 동작시 푸시부와 탑재부 및 클램핑부가 동시에 하강할 수 있다. 따라서, 파레트의 양측에 마련되는 푸시부와 탑재부 및 클램핑부는 서로간의 수평 레벨이 일치하므로 푸시부에 의한 동작에 의해 이동하는 검사할 기판이 아무 방해없이 원활하게 탑재부에 이동하여 안착되고 검사 유니트로 보내질 수 있다. 따라서, 검사할 기판의 이송이 매우 정확하고 신속하게 이루어질 수 있다.

본 발명은 검사할 기판이 수납된 파레트와 기판이 없는 빈 파레트가 적재된 파레트 공급 유니트, 파레트 공급 유니트로부터 빈 파레트를 공급받는 로딩 유니트, 검사할 기판이 수납된 파레트를 공급받는 기판 분리 유니트를 포함하고, 기판 분리 유니트에서 분리된 검사할 기판은 검사 유니트로 이송되어서 검사가 수행되며, 검사 유니트를 통해 검사가 이루어진 기판은 로딩 유니트에 적재된 파레트안에 탑재되고, 로딩 유니트에 적재된 검상 완료된 기판을 탑재한 파레트를 분류 유니트로 이송하는 일련의 공정을 정확하고 신속하게 수행할 수 있으므로, 이송 및 분류 작업 시간이 단축되고, 전체 생산성이 향상될 수 있다.

또한, 본 발명은 파레트를 통해 검사할 기판과 검사 완료된 기판을 이송하 므로, 기판의 이송을 매우 신속하게 진행할 수 있다.

도 1은 본 발명에 따른 이송 분류 장치의 개략도이다.
도 2는 본 발명의 파레트의 사시도이다.
도 3은 본 발명의 이송 분류 장치에서 파레트 공급 유니트, 로딩 유니트 및 분류 유니트의 개략도이다.
도 4는 본 발명의 기판 분리 유니트의 개략적인 구성도이다.
도 5는 본 발명의 기판 분리 유니트에서 파레트안의 기판을 분리하는 과정을 나타낸 설명도이다.
도 6은 본 발명의 기판 분리 유니트를 이루는 푸시부의 밀대편으로 파레트안의 기판을 미는 모습을 도시한 도면이다.
도 7은 본 발명의 기판 분리 유니트에서 파레트안의 기판을 탑재부에 안착시키는 클램핑 부재의 모습을 나타낸 개략적인 평면도이다.
도 8은 본 발명의 기판 분리 유니트에서 기판을 클램핑하는 클램프의 구체적인 구조를 도시한 도면으로서 클램핑하기전 상태의 도면이다.
도 9는 도 8에서 기판을 클램핑한 상태를 나타낸 도면이다.
도 10은 본 발명의 기판 탑재 유니트를 설명하기 위한 개략도이다.
도 11은 본 발명의 제2 이송 유니트의 구조를 나타낸 측면도로서, 기판을 수납한 파레트를 클램핑한 모습을 나타낸 도면이다.

이하, 본 발명을 실시하기 위한 구체적인 내용을 첨부된 예시 도면에 의거 상세하게 설명한다.

도 1은 본 발명에 따른 이송 분류 장치의 개략도이다. 도 1을 참조하면, 본 발명에 따른 이송 분류 장치(1)는 검사할 기판(10)이 복수로 적재된 파레트(40)와 검사할 기판(10)이 없는 빈 파레트(40)를 적재하는 파레트 공급 유니트(100), 파레트 공급 유니트(100)로부터 빈 파레트(40)를 공급받고 검사 완료된 기판(20)을 검사 결과에 따라 분류하여 적재시키는 로딩 유니트(200), 파레트 공급 유니트(100)로부터 검사할 기판(10)을 복수로 적재한 파레트(40)를 공급받아서 검사할 기판(10)을 분리하는 기판 분리 유니트(300), 기판 분리 유니트(300)로부터 분리된 검사할 기판(10)을 검사하는 검사 유니트(400), 로딩 유니트(200)로부터 검사 완료된 기판(20)의 검사 결과에 따라 분류하여 적재하는 분류 유니트(500)를 포함하여 구성될 수 있다.

또한, 본 발명은 검사할 기판(10)을 탑재한 파레트(40)를 이송하는 제1 이송 유니트(600), 검사 완료된 기판(20)을 탑재한 파레트(40)를 이송하는 제2 이송 유니트(700)를 포함할 수 있다.

파레트 공급 유니트(100)에 적재되는 파레트(40)는 바디부(41), 바디부(41)의 내부에 관통되게 형성되는 수납공(42)으로 이루어질 수 있다.

본 발명의 실시 예에 있어서, 파레트(40)를 이루는 바디부(41)의 서로 마주보는 제1 면(43)과 제2 면(44)의 양측에는 진입홈(45)이 형성될 수 있다.

수납공(42)의 양 측면에는 제1 면(43)과 제2 면(44) 사이의 방향을 따라 소정의 간격을 두고 복수로 형성되는 수납홈(46)이 형성될 수 있다. 수납홈(46)에는 검사할 기판(10)과 검사가 완료된 기판(20)이 수납될 수 있다.

파레트(40)는 직육면체를 이루고 수납공(42)에 의해 양 측면이 개방되는 구조일 수 있다.

또한, 제1 면(43)과 제2 면(44)의 양쪽 가장자리에는 돌출된 걸림부(47)가 형성될 수 있다.

기판의 사이즈가 다양하게 존재할 수 있으므로, 이러한 기판을 수납하는 파레트(40)의 수납 방향의 길이와 폭도 다양하게 형성될 수 있다.

로딩 유니트(200)는 간격을 두고 마련되는 지지대(210), 지지대(210)의 길이 방향을 따라 고정되는 걸림편(220)으로 이루어질 수 있다.

도 10을 참조하면, 로딩 유니트(200)의 일측에는 로딩 유니트(200)에 적재된 빈 파레트(40)에 검사 유니트(400)를 통해 검사가 완료된 기판(20)을 탑재시키는 기판 탑재 유니트(800)를 구비할 수 있다.

기판 탑재 유니트(800)는 승강되고 기판(20)이 놓여지는 거치대(810), 거치대(810)에 놓여진 기판(20)을 로딩 유니트(200)에 적재된 파레트(40)안으로 투입시키는 푸시 부재(820)로 이루어질 수 있다.

푸시 부재(820)는 거치대(810)의 승강 동작시 동시에 승강되도록 연결될 수 있다. 즉, 푸시 부재(820)는 승강 방향으로 거치대(810)와 동시에 움직이고, 파레트(40)의 방향으로는 거치대(810)와 별개로 이동될 수 있다.

푸시 부재(820)는 거치대(810)쪽으로 왕복 이동할 수 있도록 하는 가이드 부재(830)에 이동가능하게 결합될 수 있다.

또한, 가이드 부재(830)의 일측에는 거치대(810)가 결합될 수 있다. 가이드 부재(830)는 서포트(840)를 타고 승강될 수 있다.

따라서, 거치대(810)와 푸시 부재(820)는 서포트(840)를 따라 동시에 승강될 수 있다.

거치대(810)는 파레트(40)의 측면에 대면되고 기판(20)의 양 측면을 지지해주면서 이동되게 하는 가이드편(812)이 돌출되게 형성될 수 있다.

푸시 부재(820)는 푸시편(822)이 돌출되게 형성되고, 푸시편(822)은 거치대(810)의 일측에서 가이드 부재(830)를 따라 적재된 파레트(40)쪽으로 이동하면서 기판(20)을 밀어 파레트(40)안의 수납홈(46)에 수납시킬 수 있다.

또한, 탑재 유니트(800)는 파레트(40)의 최상단에 형성된 수납홈(46)을 시작으로 하부에 순차적으로 기판(20)을 수납할 때에는 최상단의 수납홈(46)에 기판(20)을 수납하고, 그 아래에 형성된 수납홈(46)에 기판(20)을 수납시키기 위해서 거치대(810)를 일정 간격만큼 하강시키고, 푸시 부재(820)를 통해 기판(20)을 밀어 넣을 수 있다.

이러한 방식으로 탑재 유니트(800)는 파레트(40)의 최하단에 형성된 수납홈(46)까지 기판(20)을 수납시킬 수 있다.

도 4를 참조하면, 기판 분리 유니트(300)는 파레트(40)를 거치하는 거치부(310), 거치부(310)의 일측에 마련되고 검사할 기판(10)을 파레트(40)안으로부터 반대쪽으로 배출하는 푸시부(320), 거치부(310)의 타측에 마련되고 푸시부(320)에 의해 파레트(40)안으로부터 배출되는 기판(10)을 받는 탑재부(330), 탑재부(330)안에 기판(10)을 탑재하기 위해 클램핑하고 이동하는 클램핑부(340)로 이루어질 수 있다.

거치부(310)는 간격을 두고 2개의 제1 지지대(312)와 제2 지지대(313)를 마련하고, 제1 지지대(312)와 제2 지지대(313)의 사이에서 파레트(40)가 거치될 수 있으며, 높이 방향을 따라 파레트(40)를 복수로 거치시킬 수 있다.

제1 지지대(312)와 제2 지지대(313)에는 각각 길이 방향을 따라 간격을 두고 파레트(40)를 지지하는 걸림편(314)이 형성될 수 있고, 양측의 제1 지지대(312)와 제2 지지대(313) 사이의 간격(D)이 조절될 수 있다.

푸시부(320)는 거치부(310)의 일측에서 파레트(40)안의 기판(10)을 밀어낼 수 있도록 이동하는 밀대편(322)이 형성될 수 있다.

탑재부(330)는 밀대편(322)에 의해 파레트(40)안으로부터 밀려 나오는 기판(10)을 받을 수 있다. 탑재부(330)는 기판(10)을 받아서 클램핑부(340)에 의해 클램핑된 상태로 이동시 가이드해주는 가이드편(332)이 형성될 수 있다.

클램핑부(340)는 파레트(40)안에서 일부 밀려나온 기판(10)을 클램핑하는 클램프(342)가 마련될 수 있다.

클램프(342)는 기판(10)을 클램핑한 상태에서 탑재부(330)의 가이드편(332)에 의해 가이드되면서 측면 방향을 따라 이동하여 탑재부(330)에 정렬할 수 있다.

클램핑부(340)는 탑재부(330)에 연결되고, 높이 방향으로는 이동하지 않고, 높이 방향과 직교 방향으로 이동하여 기판(10)을 탑재부(330)에 완전히 탑재시킬 수 있다.

푸시부(320)와 클램핑부(340)는 동시에 연동시킬 필요가 있다. 파레트(40)안의 최상단으로부터 순차적으로 기판(10)을 밀어서 배출하기 위해서는 푸시부(320)는 하강 동작을 수행해야 하고, 따라서, 푸시부(320)에 의해 배출되는 검사할 기판(10)을 탑재부(330)에 탑재시키는 클램핑부(340)도 동시에 하강 동작이 이루어져야 한다.

따라서, 본 발명에서는 푸시부(320)와 클램핑부(340)가 동시에 승강되도록 하는 승강 수단이 강구될 수 있다.

승강 수단은 LM가이드 구조로 이루어질 수 있다. 즉, 승강 수단은 푸시부(320)의 승강되는 방향을 따라 동작하는 가이드 레일(350)을 포함하고, 가이드 레일(350)상에는 푸시부(320)와 연결되고 가이드 레일(350)을 따라 이동하는 슬라이더(324)가 갖추어질 수 있다.

탑재부(330)는 슬라이더(360)가 마련되고, 거치부(310)쪽으로 왕복 이동할 수 있고, 클램핑부(340)는 탑재부(330)와 별도로 도면상 횡 방향으로 이동하도록 슬라이더(360)에 이동 수단(370)이 구비될 수 있다.

슬라이더(360)는 그 안쪽에 고정 설치된 고정 부재(380)에서 슬라이딩 왕복 이동될 수 있다.

이동 수단(370)은 구동 모터(372), 구동 모터(372)와 연결되고 회전하는 볼 스크류(374)로 이루어질 수 있고, 볼 스크류(374)는 클램핑부(340)의 클램프(342)를 지지하는 지지대(344)와 결합될 수 있다.

또한, 푸시부(320), 탑재부(330) 및 클램핑부(340)는 동시에 승강되도록 연결 부재(390)가 마련될 수 있다. 연결 부재(390)는 승강 동작을 위한 방향과 직교 방향으로 이동할 수 있고, 이동시 탑재부(330)와 클램핑부(340)와는 별개로 동작되도록 슬라이더(360)와의 사이에 횡방향으로 슬라이딩되고, 종방향으로는 결합되는 연결 슬라이더(362)가 마련될 수 있다.

즉, 푸시부(320)의 승강시에는 연결 부재(390)도 동시에 승강되고, 탑재부(330), 클램핑부(340) 및 슬라이더(360)도 동시에 승강될 수 있다.

거치부(310)의 한쪽에 마련된 제1 지지대(312)와 푸시부(320)의 배면에 이동 프레임(382)이 마련되고, 이동 프레임(382)은 이동 수단에 의해 왕복 이동될 수 있다.

이동 프레임(382)을 움직이는 이동 수단은 구동 모터(382a) 및 볼 스크류(382b), 볼 스크류(382b)와 이동가능하게 결합되고 이동 프레임(382)과 연결되는 이동 블럭(382c)으로 이루어질 수 있다.

또한, 이동 프레임(382)의 안쪽에는 고정 프레임(384)이 마련될 수 있다.

따라서, 본 발명의 기판 분리 유니트(300)는 먼저 거치부(310)의 제1 지지대(312)와 제2 지지대(313)간의 간격을 조절하여 다양한 사이즈의 파레트(40)를 안치시킬 수 있다. 이동 수단인 구동 모터(382a)를 구동시키면, 볼 스크류(382b)의 회전으로 이동 블럭(382c)이 직선 이동할 수 있고, 그러면 이동 블럭(382c)과 연결된 이동 프레임(382)이 이동하기 시작하며, 이동 프레임(382)의 이동으로 푸시부(320) 및 제1 지지대(312)도 동시에 고정된 상태의 제2 지지대(313)로부터 멀어지거나 근접되는 방향으로 이동할 수 있다.

거치부(310)의 제1 지지대(312)와 제2 지지대(313)의 간격을 조절한 다음, 파레트(40)를 안치하고, 푸시부(320)의 밀대편(322)을 통해 파레트(40)안에 수납된 기판(10)을 밀어서 파레트(40)의 반대편쪽으로 기판(10)의 일부분이 노출되게 하며, 이때 미리 파레트(40)의 한쪽 끝단부에는 탑재부(330)를 대면시킨다.

도 5를 참조하면, 파레트(40)안에서 일부 노출된 기판(10)은 탑재부(330)안에 안착되고, 이 상태에서 클램핑부(340)가 접근하고, 클램프(342)를 통해 기판(10)을 클램핑한 상태에서 탑재부(330)의 가이드편(332)을 따라 이동시킬 수 있다.

클램프(342)에 의한 이동이 완료된 후에는 탑재부(330)의 상부에 마련된 이송 부재(미도시)에 의해 기판(10)을 클램핑하고 검사 유니트(400)로 이송하여 통전 검사를 실시할 수 있다.

도 6은 푸시부(320)의 밀대편(322)으로 파레트(40)안의 기판(10)을 미는 모습을 도시한 도면으로서, 밀대편(322)의 단부측에는 기판(10)을 안정되게 밀 수 있도록 하는 지지홈(322a)이 형성될 수 있다.

도 7은 파레트(40)안의 기판(10)을 클램핑부(340)의 클램프(342)에 의해 클램핑하고 이동하는 모습을 도시한 개략적인 평면도로서, 클램프(342)는 기판(10)을 클램핑하고 탑재부(330)의 가이드편(332)을 따라 이동하면서 기판(10)을 안착시킬 수 있다.

도 8 및 도 9는 클램프(342)의 구체적인 구조를 나타낸 정면도로서, 클램프(342)는 몸체부(342a), 몸체부(342a)에서 회전되는 한쌍의 그리퍼(342b)로 이루어질 수 있다. 동력(유압 또는 공압)이 전달되면 그리퍼(342b)는 서로 대면하는 방향으로 회전하면서 기판(10)을 클램핑할 수 있다.

도 3을 참조하면, 분류 유니트(500)는 검사 완료된 기판(20)이 탑재된 파레트(40)를 검사 결과에 따라 분류하여 적재할 수 있다.

즉, 분류 유니트(500)는 통전 검사를 정상적으로 통과한 기판(20)을 적재하는 제1 적재부(510), 기판(20)의 통전 검사 결과 불량의 정도에 따라 적재 구간을 나누어서 적재하는 제2 적재부(520)와 제3 적재부(530)로 구성될 수 있다.

도 11은 검사 완료된 기판(20)을 수납한 파레트(40)를 클램핑하고 분류 유니트(500)에 배분시키는 제2 이송 유니트(700)의 모습을 나타낸 측면도이다.

도 11을 참조하면, 제2 이송 유니트(700)는 파레트(40)를 잡을 수 있도록 서로 접근하거나 멀어지게 동작하는 한쌍의 클램프(710), 한쌍의 클램프(710)를 지지하는 연결편(720), 한쌍의 클램프(710)가 동시에 접근 또는 이격되는 방향으로 동작하도록 하는 로드(722)가 수용되는 고정 블럭(730), 고정 블럭(730)과 연결되고, 고정 블럭(730)을 분류 유니트(500) 방향으로 이동시키는 바디부(740), 바디부(740)를 수직 방향으로 승강되게 지지하는 승강 지지대(750)로 이루어질 수 있다.

바디부(740)는 길이가 가변되게 직선 이동하는 이동 로드(742)가 마련되고, 이동 로드(742)는 고정 블럭(730)과 연결되고, 고정 블럭(730)을 도면상 횡방향으로 이동시킬 수 있다. 이러한 동작을 통해 분류 유니트(500)안에 파레트(40)를 탑재시킬 수 있다.

제1 이송 유니트(600)의 구조는 제2 이송 유니트(700)의 구조와 동일하므로, 편의상 상세한 설명은 생략한다.

본 발명은 통전 검사 등을 하기 위해 검사 유니트(400)로 기판을 이송하고, 검사가 완료된 기판을 다시 검사 결과에 따라 분류하는 이송 분류 장치로서, 특히 검사할 기판(10)을 복수로 수납한 파레트(40)로부터 빼내서 검사 유니트(400)로 보내는 과정을 정확하고 신속하게 진행할 수 있다.

도 1을 참조하면, 본 발명은 파레트 공급 유니트(100)에서 검사할 기판(10)이 수납된 파레트(40)를 제1 이송 유니트(600)에 의해 기판 분리 유니트(300)로 이송시키고, 기판(10)이 없는 빈 파레트(40)는 로딩 유니트(200)로 공급할 수 있다.

도 3을 참조하면, 빈 파레트(40)가 공급된 로딩 유니트(200)에서는 검사 유니트(400)에서 검사 공정을 마친 기판(20)을 빈 파레트(40)에 수납하고, 기판(20)의 수납시에는 검사 결과에 따라 분류하여 수납할 수 있다.

기판 분리 유니트(300)에서는 검사할 기판(10)이 수납된 파레트(40)를 공급받고, 기판(10)을 하나씩 분리하여 검사 유니트(400)로 보내는 공정을 수행할 수 있다.

도 4를 참조하면, 검사할 기판(10)이 수납된 파레트(40)는 거치부(310)를 구성하는 제1 지지대(312)와 제2 지지대(313) 사이의 간격을 조절하여 거치시키고, 푸시부(320)에 의해 파레트(40)안의 기판(10)을 밀어서 반대쪽으로 일부분을 노출시킨다.

제1 지지대(312)와 제2 지지대(313) 사이의 간격(D) 조절시에는, 하부에 구비된 이동 수단에 의해 조절할 수 있다. 이동 수단을 구성하는 구동 모터(382a)를 작동시키면, 볼 스크류(382b)의 회전으로 이동 블럭(382c)이 직선 이동하고, 이동 블럭(382c)은 이동 프레임(382)과 결합되어 있으므로, 이동 블럭(328c)의 이동시 이동 프레임(382)도 동시에 이동할 수 있다.

이동 프레임(382)은 푸시부(320)와 제1 지지대(312)가 결합되어 있기 때문에, 이동 프레임(382)의 이동에 따라 푸시부(320)와 제1 지지대(312)가 동시에 이동하며, 이때 제2 지지대(313)는 고정된 상태를 유지하고 있으므로, 제1 지지대(312)와 제2 지지대(313)간의 간격(D)이 조절될 수 있다.

이때, 푸시부(320)를 구성하는 슬라이더(324)는 연결 부재(390)가 결합되어 있고, 연결 부재(390)는 연결 슬라이더(362)와 결합되어 있으며, 연결 슬라이더(362)는 슬라이더(360), 탑재부(330), 클램핑부(340)와 결합되어 있지만, 연결 부재(390)와 슬라이딩되게 결합되어 있으므로, 푸시부(320)의 제1 지지대(312)와 제2 지지대(313)간의 간격(D) 조절을 위한 이동에 따라 동시에 이동하지 않고 정지된 상태를 유지할 수 있다.

도 5 및 도 6을 참조하면, 제1 지지대(312)와 제2 지지대(313)간의 간격(D) 조절후 파레트(40)를 거치한 상태에서, 푸시부(320)의 밀대편(322)이 이동하여 파레트(40)안의 기판(10)을 반대편으로 밀게 된다.

밀대편(322)에 의해 밀린 기판(10)은 파레트(40)의 끝단부에서 약간 노출된 상태가 되고, 이때 미리 탑재부(330)에 의해 지지된 상태일 수 있다.

도 7을 참조하면, 탑재부(330)에는 클램핑부(340)가 마련되어 있으므로, 약간 노출된 기판(10)의 단부를 클램핑부(340)가 접근하여 클램핑하고 이동하여 파레트(40)안으로부터 완전히 빼내서 탑재부(330)안에 안치시킬 수 있다.

탑재부(330)에 안치된 기판(10)은 상부에서 이송 수단에 클램핑하여 검사 유니트(400)로 이송시킬 수 있다.

한편, 파레트(40)안에 탑재된 기판(10)중 최상단에 위치한 기판(10)을 빼낸 다음에는 그 아래의 두번째 기판(10)을 밀고 빼내야 하는데, 이때에는 푸시부(320)를 일정 간격 만큼 하강시킬 수 있다.

푸시부(320)에는 가이드 레일(350)상에서 승강 가능한 슬라이더(324)가 마련되어 있으므로, 슬라이더(324)의 동작으로 푸시부(320)가 가이드 레일(350)을 따라 소정의 거리 만큼 하강하면, 밀대편(322)도 동시에 하강하고, 그러면 파레트(40)의 두번째 기판(10)을 푸시할 위치에 도달할 수 있다.

또한, 푸시부(320)의 하강시, 연결 부재(390)도 동시에 하강하고, 슬라이더(360), 탑재부(330) 및 클램핑부(340)도 동시에 하강할 수 있다. 그러면, 탑재부(330)의 위치는 파레트(40)안의 두번째 기판(10)을 받을 수 있는 위치에 도달할 수 있다.

이렇게 하강한 푸시부(320)의 밀대편(322)을 통해 파레트(40)안의 두번째 기판(10)을 밀고 반대쪽에서 탑재부(330)에 안치되는 기판(10)을 클램핑부(340)의 클램프(342)가 클램핑하고 이동하여 완전히 빼내게 된다. 이러한 동작을 반복하여 파레트(40)안에 수납된 모든 기판(10)을 분리하고, 순차적으로 검사 유니트(400)로 보내서 검사를 진행할 수 있다.

탑재 유니트(330)는 슬라이더(360)와 연결되어서 고정 부재(380)를 따라 이동할 수 있기 때문에, 거치부(310)에 거치된 파레트(40)에 대면될 수 있고, 클램핑부(340)는 이동 수단(370)에 의해 파레트(40)에서 멀어지는 방향으로 이동할 수 있다.

여기서, 본 발명은 파레트(40)안의 첫번째 기판(10)을 푸시하는 푸시부(320)의 동작과 클램핑부(340)에 의한 클램핑 및 이동이 완료된 후, 다시 두번째 기판(10)을 분리 및 이송하기 위해서 하강시 푸시부(320)와 탑재부(330) 및 클램핑부(340)는 동시에 승강 동작을 수행할 수 있고, 따라서, 파레트(40)의 양쪽에서 동일한 간격으로 승강되며, 기판(10)의 푸시, 클램핑, 이송 동작이 정확하게 수행될 수 있다.

만일, 푸시부(320)의 하강 위치와 탑재부(330) 및 클램핑부(340)의 하강 위치가 일치하지 않으면, 푸시부(320)에 의한 기판(10)의 푸시에 의해 기판(10)이 파레트(40)의 반대쪽으로 일부 노출되더라도 탑재부(330)에서 제대로 받을 수 없고, 그에 따라 클램핑부(340)에 의한 클램핑 및 이송 동작이 불가능할 수 있다.

따라서, 푸시부(320), 탑재부(330) 및 클램핑부(340)의 승강 동작이 항상 정확하게 일치해야 하기 때문에, 본 발명은 연결 부재(390)를 통해 연동되도록 구성함으로써, 푸시부(320), 탑재부(330) 및 클램핑부(340)의 승강 동작시 배치 위치를 항상 일치시킬 수 있다.

본 발명은 별도의 전동 수단을 각각 구비하지 않고 푸시부(320)와 탑재부(330) 및 클램핑부(340)를 동시에 승강 동작이 이루어지도록 할 수 있으므로, 구조가 복잡하지 않게 되고, 비용도 상승하지 않게 될 수 있다.

1... 이송 분류 장치 10... 검사할 기판
20... 검사 완료된 기판 40... 파레트
41... 바디부 42... 수납공
43... 제1 면 44... 제2 면
45... 진입홈 46... 수납홈
100... 파레트 공급 유니트
200... 로딩 유니트 210... 지지대
220... 걸림편
300... 기판 분리 유니트 310... 거치부
312... 제1 지지대 313... 제2 지지대
314... 걸림편 320... 푸시부
322... 밀대편 322a... 지지홈
330... 탑재 부 332... 가이드편
340... 클램핑부 342... 클램프
344... 지지대 350... 가이드 레일
360... 슬라이더 362... 연결 슬라이더
370... 이동 수단 372... 구동 모터
374... 볼 스크류 380... 고정 부재
382... 이동 프레임 382a... 구동 모터
382b... 볼 스크류 382c... 이동 블럭
384... 고정 프레임
400... 검사 유니트 500... 분류 유니트
600... 제1 이송 유니트 700... 제2 이송 유니트
710... 클램프 720... 연결편
730... 고정 블럭 740... 바디부
750... 승강 지지대 800...기판 탑재 유니트
810... 거치대 812... 가이드편
820... 푸시 부재 822... 푸시편
830... 가이드 부재 840... 서포트

Claims (14)

1. 검사할 기판이 복수로 적재된 파레트와 검사할 기판이 없는 빈 파레트를 적재하는 파레트 공급 유니트;
   상기 파레트 공급 유니트로부터 검사할 기판을 복수로 적재한 파레트를 공급받아서 상기 검사할 기판을 분리하는 기판 분리 유니트;
   상기 파레트 공급 유니트로부터 상기 빈 파레트를 공급받고 검사 완료된 기판을 검사 결과에 따라 분류하여 상기 빈 파레트에 적재시키는 로딩 유니트;
   상기 로딩 유니트로부터 검사 완료된 기판의 검사 결과에 따라 분류하여 탑재한 파레트를 적재하는 분류 유니트; 를 포함하고,
   상기 기판 분리 유니트는 상기 검사할 기판을 상기 파레트로부터 분리하고 검사를 수행하도록 이송하며,
   상기 로딩 유니트에는 검사가 완료된 기판이 수납되는 파레트가 적재되고, 상기 검사가 완료된 기판이 수납되는 파레트는 제2 이송 유니트에 의해 상기 분류 유니트로 이송되며,
   상기 제2 이송 유니트는 파레트를 클램핑하도록 서로 마주보면서 간격이 조절되는 클램프가 마련되는 검사용 기판의 이송 분류 장치.
   
2. 삭제
3. 삭제
4. 제1 항에 있어서,
   상기 기판 분리 유니트는,
   검사할 기판이 탑재된 파레트의 일측에 접근하여 상기 파레트안의 기판을 밀어서 상기 파레트의 타측으로 노출되게 이동시키는 푸시부;
   상기 푸시부에 의해 상기 파레트의 타측에 노출된 기판을 받아 클램핑하여 상기 파레트로부터 분리하는 클램핑부;
   를 포함하는 검사용 기판의 이송 분류 장치.
   
5. 제1 항에 있어서,
   상기 기판 분리 유니트는,
   검사할 기판을 탑재하는 상기 파레트를 거치하는 거치부를 포함하고,
   상기 거치부는 서로 간격을 두고 마련되는 제1 지지대와 제2 지지대로 이루어지며,
   상기 제1 지지대는 상기 파레트의 규격에 따라 간격이 조절되도록 제2 지지대에 대하여 이동되는 검사용 기판의 이송 분류 장치.
   
6. 제1 항에 있어서,
   상기 기판 분리 유니트는,
   검사할 기판이 탑재된 파레트의 일측에 접근하여 상기 파레트안의 기판을 밀어서 상기 파레트의 타측으로 노출되게 이동시키는 푸시부를 포함하고,
   상기 푸시부는 상기 파레트의 입구측에서 상기 파레트안에 수납된 복수의 기판을 파레트의 외부로 순차적으로 이동되도록 하강하는 검사용 기판의 이송 분류 장치.
   
7. 제1 항에 있어서,
   상기 기판 분리 유니트는,
   검사할 기판이 탑재된 파레트의 일측에 접근하여 상기 파레트안의 기판을 밀어서 상기 파레트의 타측으로 노출되게 이동시키는 푸시부;
   상기 푸시부에 의해 상기 파레트의 타측으로 노출되는 상기 검사할 기판을 안치하는 탑재부를 포함하고,
   상기 푸시부와 탑재부는 상기 파레트에 대하여 서로 반대쪽에 마련되며,
   상기 푸시부가 상기 파레트의 입구측에서 상기 파레트안에 수납된 복수의 기판을 상기 파레트의 외부로 순차적으로 이동되도록 하강할때, 상기 탑재부도 동시에 하강하는 검사용 기판의 이송 분류 장치.
   
8. 제7 항에 있어서,
   상기 기판 분리 유니트는,
   검사할 기판이 탑재된 파레트의 일측에 접근하여 상기 파레트안의 기판을 밀어서 상기 파레트의 타측으로 노출되게 이동시키는 푸시부;
   상기 푸시부에 의해 상기 파레트의 타측에 노출된 기판을 클램핑하고, 상기 탑재부를 따라 이동하면서 상기 파레트로부터 분리하는 클램핑부;
   를 포함하고,
   상기 푸시부와 클램핑부는 상기 파레트에 대하여 서로 반대쪽에 마련되며,
   상기 푸시부가 상기 파레트의 입구측에서 상기 파레트안에 수납된 복수의 기판을 상기 파레트의 외부로 순차적으로 이동되도록 하강할때, 상기 클램핑부도 동시에 하강하는 검사용 기판의 이송 분류 장치.
   
9. 제1 항에 있어서,
   상기 기판 분리 유니트는,
   검사할 기판이 탑재된 파레트의 일측에 접근하여 상기 파레트안의 기판을 밀어서 상기 파레트의 타측으로 노출되게 이동시키는 푸시부;
   상기 푸시부에 의해 상기 파레트의 타측으로 노출되는 상기 검사할 기판을 안치하는 탑재부;
   상기 푸시부에 의해 상기 파레트의 타측에 노출된 기판을 클램핑하고, 상기 탑재부를 따라 이동하면서 상기 파레트로부터 분리하는 클램핑부;
   를 포함하고,
   상기 푸시부와 탑재부는 상기 파레트에 대하여 서로 반대쪽에 마련되며,
   상기 탑재부와 클램핑부는 상기 파레트의 일측에 함께 구비되고,
   상기 푸시부가 상기 파레트의 입구측에서 상기 파레트안에 수납된 복수의 기판을 상기 파레트의 외부로 순차적으로 이동되도록 하강할때, 상기 탑재부와 클램핑부도 동시에 하강하는 검사용 기판의 이송 분류 장치.
   
10. 제1 항에 있어서,
    상기 파레트는
    바디부, 상기 바디부의 내부에 관통되게 형성되는 수납공으로 이루어지고,
    상기 바디부는 수납공을 기준으로 서로 마주보는 제1 면과 제2 면이 형성되며,
    상기 수납공의 양측면에는 상기 바디부를 이루고 서로 제1 면과 제2 면 사이의 방향을 따라 소정의 간격을 두고 복수로 형성되는 수납홈이 형성되고,
    상기 수납홈에는 기판이 분리 가능하게 수납되는 검사용 기판의 이송 분류 장치.
    
11. 제10 항에 있어서,
    상기 제1 면과 제2 면의 양쪽 가장자리에는 길이 방향을 따라 걸림부가 돌출되게 형성되는 검사용 기판의 이송 분류 장치.
    
12. 제1 항에 있어서,
    상기 파레트 공급 유니트에 적재된 파레트를 기판 분리 유니트로 이송하는 제1 이송 유니트를 포함하고,
    상기 제1 이송 유니트는 파레트를 클램핑하도록 서로 마주보면서 간격이 조절되는 클램프가 마련되는 검사용 기판의 이송 분류 장치.
    
13. 삭제
14. 검사할 기판이 복수로 적재된 파레트와 검사할 기판이 없는 빈 파레트를 적재하는 파레트 공급 유니트;
    상기 파레트 공급 유니트로부터 검사할 기판을 복수로 적재한 파레트를 공급받아서 상기 검사할 기판을 분리하는 기판 분리 유니트;
    상기 파레트 공급 유니트로부터 상기 빈 파레트를 공급받고 검사 완료된 기판을 검사 결과에 따라 분류하여 상기 빈 파레트에 적재시키는 로딩 유니트; 를 포함하고,
    상기 기판 분리 유니트는 상기 검사할 기판을 상기 파레트로부터 분리하고 검사를 수행하도록 이송하며,
    상기 로딩 유니트에는 검사가 완료된 기판이 수납되는 파레트가 적재되고, 상기 검사가 완료된 기판이 수납되는 파레트는 제2 이송 유니트에 의해 분류 유니트로 이송되며,
    상기 제2 이송 유니트는,
    상기 로딩 유니트로부터 상기 분류 유니트로 왕복 이동하는 제1 동작,
    상기 로딩 유니트에 적재된 파레트를 클램핑하도록 파레트 위치로 승강하는 제2 동작,
    로딩 유니트에 적재된 파레트를 클램핑하거나 또는 상기 검사가 완료된 기판이 수납되는 파레트를 클램핑하고 상기 분류 유니트에 적재하는 제3 동작을 수행하는 검사용 기판의 이송 분류 장치.

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