KR101689023B1 - 이중 트레이 이송장치 및 이를 갖는 반도체 검사 및 분류시스템 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 트레이 이송장치 및 이를 갖는 반도체 검사 및 분류시스템에 관한 것으로서 보다 상세하게는 장치의 사이즈를 최적화 할 수 있고, 반도체소자 처리 속도 및 처리 효율을 현격하게 향상 시킬 수 있는 트레이 이송장치 및 이를 갖는 반도체 검사 및 분류시스템에 관한 것이다.
본 발명에 따른 트레이 이송장치는 반도체트레이 이송장치에 있어서, 가이드레일; 상기 가이드레일의 좌측부에 연결되어 상기 가이드레일 상에서 왕복운동을 하는 제 1이동유닛; 및 상기 가이드레일의 좌측부에 연결되어 상기 가이드레일 상에서 왕복운동을 하는 제 2이동유닛;을 포함하여 구성되고, 상기 제 1이동유닛은: 상기 제 1이동유닛을 상기 가이드레일에 연결하기 위한 제 1가이드레일결합부; 상기 제 1이동유닛을 상하방향으로 이동시키기 위한 제 1상하이동수단; 반도체트레이가 놓이는 제 1트레이테이블; 및 상기 제 1이동유닛을 수평방향으로 이동시키기 위한 제 1수평이동수단;으로 구성되고, 상기 제 2이동유닛은: 상기 제 2이동유닛을 상기 가이드레일에 연결하기 위한 제 2가이드레일결합부; 상기 제 2이동유닛을 상하방향으로 이동시키기 위한 제 2상하이동수단; 반도체트레이가 놓이는 제 2트레이테이블; 및 상기 제 2이동유닛을 수평방향으로 이동시키기 위한 제 2수평이동수단;으로 구성되는 것을 특징으로 한다.

Description

이중 트레이 이송장치 및 이를 갖는 반도체 검사 및 분류시스템{Dual tray transfer device and the semiconductor probing and sorting system}
본 발명은 트레이 이송장치 및 이를 갖는 반도체 검사 및 분류시스템에 관한 것으로서 보다 상세하게는 장치의 사이즈를 최적화 할 수 있고, 반도체소자 처리 속도 및 처리 효율을 현격하게 향상 시킬 수 있는 트레이 이송장치 및 이를 갖는 반도체 검사 및 분류시스템에 관한 것이다.
일반적으로 반도체소자 처리 장치는 제조 공정에서 제조된 반도체소자의 성능을 테스트하는 반도체소자 검사 장치나 테스트 결과에 따라 양품 및 불량품을 분류하는 각종 반도체소자 분류 장치 등을 포함하여 다양한 형태의 반도체소자 처리 장치가 알려져 있다.
이러한 반도체 소자 처리 장치는 처리 효율 향상을 목적으로 다수의 반도체소자를 적재하는 트레이 및 이러한 트레이들을 다수 적재하는 트레이 공급기를 구비하는 형태로 기술이 발전되어 왔으며, 그 일예로 대한민국 공개 특허 10-2002-0053406호나 일본국 공개 특허 특개2011-247908 등과 같은 다양한 특허 문헌을 통해 공개되어 있다.
그런데, 이러한 종래 반도체소자 처리 장치의 경우에는 트레이 적재기 최상단의 트레이가 단일의 수평면 상에서 반도체소자에 대한 픽업 및 픽업 해제영역으로 이동하기 때문에, 트레이의 이동거리는 증가되고 픽업 및 픽업 해제 과정이 동시에 이루어질 수 없다.
예컨대, 언로딩트레이부의 경우, 트레이 적재기에 적재된 언로딩트레이들 중 최상단의 언로딩트레이가 트레이 공급기에 의해 검사부의 인접영역으로 수평 이동하여 대기하면, 또 다른 피커는 검사부에서 검사 완료된 반도체소자를 언로딩트레이로 이동시킨다.
또한, 트레이에 대한 반도체소자의 픽업 및 픽업 해제가 트레이의 이동거리 증가에 의해 다른 영역에서 이루어지기 때문에, 픽업 및 픽업 해제 과정과 트레이의 이동과정 및 교체 과정이 각각 별개로 이루어질 수밖에 없다.
이에 따라 반도체소자 처리 속도 및 처리 효율이 저하되는 문제점이 발생한다.
본 발명의 목적은 장치의 사이즈를 여건에 따라 최적화할 수 있고, 반도체소자 처리 속도 및 처리 효율을 현격하게 향상 시킬 수 있는 트레이 공급기 및 이를 갖는 반도체소자 처리 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 실시예에 따른 트레이 이송장치는 반도체트레이 이송장치에 있어서, 가이드레일; 상기 가이드레일의 좌측부에 연결되어 상기 가이드레일 상에서 왕복운동을 하는 제 1이동유닛; 및 상기 가이드레일의 좌측부에 연결되어 상기 가이드레일 상에서 왕복운동을 하는 제 2이동유닛;을 포함하여 구성되고, 상기 제 1이동유닛은: 상기 제 1이동유닛을 상기 가이드레일에 연결하기 위한 제 1가이드레일결합부; 상기 제 1이동유닛을 상하방향으로 이동시키기 위한 제 1상하이동수단; 반도체트레이가 놓이는 제 1트레이테이블; 및 상기 제 1이동유닛을 수평방향으로 이동시키기 위한 제 1수평이동수단;으로 구성되고, 상기 제 2이동유닛은: 상기 제 2이동유닛을 상기 가이드레일에 연결하기 위한 제 2가이드레일결합부; 상기 제 2이동유닛을 상하방향으로 이동시키기 위한 제 2상하이동수단; 반도체트레이가 놓이는 제 2트레이테이블; 및 상기 제 2이동유닛을 수평방향으로 이동시키기 위한 제 2수평이동수단;으로 구성되는 것을 특징으로 한다.
바람직한 실시예에 있어서, 상기 제 1가이드레일결합부는 상기 가이드레일의 종방향을 따라 상기 가이드레일의 좌측상부에 형성된 홈에 결합되고, 상기 제 2가이드레일결합부는 상기 가이드레일의 종방향을 따라 상기 가이드레일의 우측상부에 형성된 홈에 결합된다.
바람직한 실시예에 있어서, 상기 제 1트레이테이블 및 상기 제 2트레이테이블에는 각각 상기 트레이테이블 위에 놓이는 반도체트레이를 고정하기 위한 복수개의 트레이 고정수단이 구비된다.
바람직한 실시예에 있어서, 상기 제 1상하이동수단 및 제 2상하이동수단은 유압실린더로 구동된다.
바람직한 실시예에 있어서, 상기 제 1상하이동수단 및 제 2상하이동수단은 모터로 구동된다.
바람직한 실시예에 있어서, 상기 제 1이동유닛 및 상기 제 2이동유닛의 왕복운동을 제어하기 위한 제어유닛; 상기 제 1상하이동수단의 높이변화를 측정하기 위한 제 1높이인식수단; 상기 제 2상하이동수단의 높이변화를 측정하기 위한 제 2높이인식수단;을 더 포함한다.
바람직한 실시예에 있어서, 상기 제어유닛은 상기 제 1높이인식수단 및 상기 제 2높이인식수단을 이용하여 상기 제 1이동유닛과 상기 제 2이동유닛이 상기 가이드레일 상에서 종방향으로 이동하면서 상기 가이드레일 상에서 동일한 지점을 통과할 때 높이가 서로 달라 서로의 이동에 방해를 하지 않도록 상기 제 1이동유닛 및 상기 제 2이동유닛을 제어한다.
바람직한 실시예에 있어서, 상기 제어유닛은 상기 제 1높이인식수단 및 상기 제 2높이인식수단을 이용하여 상기 제 1이동유닛과 상기 제 2이동유닛은 상기 가이드레일 종방향의 일단에서 타단으로 이동하는 동안 서로 높이가 다른 상태에서 이동하도록 제어한다.
본 발명의 실시예에 따른 트레이 이송장치를 갖는 반도체 검사 및 분류시스템은 검사를 수행할 반도체칩들이 적재되는 반도체트레이들을 공급하고 검사 및 분류를 마친 반도체칩들이 적재되는 반도체트레이들을 전달받아 보관하는 트레이로딩/언로딩부; 상기 트레이로딩/언로딩부로부터 상기 반도체트레이들을 공급받아 상기 반도체트레이들에 적재되어 있는 반도체칩들의 검사를 수행하고 상기 검사를 마친 반도체칩들을 DC소팅부로 공급하는 DC로딩/언로딩부; 상기 DC로딩/언로딩부로부터 공급받은 반도체칩들을 양품과 불량품으로 구분하여 분류하는 DC소팅부; 및 상기 트레이로딩/언로딩부, DC로딩/언로딩부 및 DC소팅부 간에 상기 반도체트레이들을 이동시키기 위한 복수 개의 트레이이송장치;로 구성되고, 상기 트레이이송장치는: 가이드레일; 상기 가이드레일의 좌측부에 연결되어 상기 가이드레일 상에서 왕복운동을 하는 제 1이동유닛; 및 상기 가이드레일의 좌측부에 연결되어 상기 가이드레일 상에서 왕복운동을 하는 제 2이동유닛;을 포함하여 구성되고, 상기 제 1이동유닛은: 상기 제 1이동유닛을 상기 가이드레일에 연결하기 위한 제 1가이드레일결합부; 상기 제 1이동유닛을 상하방향으로 이동시키기 위한 제 1상하이동수단; 반도체트레이가 놓이는 제 1트레이테이블; 및 상기 제 1이동유닛을 수평방향으로 이동시키기 위한 제 1수평이동수단;으로 구성되고, 상기 제 2이동유닛은: 상기 제 2이동유닛을 상기 가이드레일에 연결하기 위한 제 2가이드레일결합부; 상기 제 2이동유닛을 상하방향으로 이동시키기 위한 제 2상하이동수단; 반도체트레이가 놓이는 제 2트레이테이블; 및 상기 제 2이동유닛을 수평방향으로 이동시키기 위한 제 2수평이동수단;으로 구성되는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따르면, 장치의 사이즈를 여건에 따라 최적화할 수 있고, 반도체소자 처리 속도 및 효율과 정확성을 현격하게 향상 시킬 수 있는 트레이 공급기 및 이를 갖는 반도체소자 처리 장치가 제공된다.
도 1은 본 발명에 따른 이중 트레이 이송장치의 사시도,
도 2는 도 1의 이중트레이 이송장치를 구비한 반도체 검사 및 분류시스템의 일예를 보여주는 도면,
도 3은 트레이이송장치의 구성을 보여주는 도면,
도 4는 트레이이송장치의 측단면도,
도 5는 트레이이송장치의 트레이테이블들의 교차동작을 보여주는 사시도이고,
도 6은 트레이테이블의 구성을 보여주는 도면이고,
도 7은 트레이테이블들의 높이를 보여주는 도면이다.
이하에서, 본 발명에 따른 실시예들을 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명한다. 그러나, 본 발명이 실시예들에 의해 제한되거나 한정되는 것은 아니다. 각 도면에 제시된 동일한 참조 부호는 동일한 부재를 나타낸다.
도 1은 본 발명에 따른 이중 트레이 이송장치의 사시도이고, 도 2는 도 1의 이중트레이 이송장치를 구비한 반도체 검사 및 분류시스템의 일예를 보여주는 도면이다.
본 발명에 따른 이중트레이 이송장치를 구비한 반도체 검사 및 분류시스템은 트레이로딩/언로딩부(100), DC로딩/언로딩부(200), DC소팅부(300) 및 트레이 이송장치(400, 400b, 400c, 400d, 400e)로 구성된다.
상기 트레이로딩/언로딩부(100)는 검사를 수행할 반도체칩들이 적재되는 반도체트레이들을 공급하고 검사 및 분류를 마친 반도체칩들이 적재되는 반도체트레이들을 전달받아 보관한다.
상기 DC로딩/언로딩부(200)는 상기 트레이로딩/언로딩부(100)로부터 상기 반도체트레이들을 공급받아 상기 반도체트레이들에 적재되어 있는 반도체칩들의 검사를 수행하고 상기 검사를 마친 반도체칩들을 DC소팅부(300)로 공급한다.
상기 DC소팅부(300)는 상기 DC로딩/언로딩부(200)로부터 공급받은 반도체칩들을 양품과 불량품으로 구분하여 분류한다.
상기 트레이 이송장치(400)는 상기 트레이로딩/언로딩부(100), DC로딩/언로딩부(200) 및 DC소팅부(300) 간에 상기 반도체트레이들을 이동시키기 위한 것으로 복수 개의 트레이이송장치들(400, 400b, 400c, 400d, 400e)이 장착된다.
도 3은 트레이이송장치의 구성을 보여주는 도면이고, 도 4는 트레이이송장치의 측단면도이고, 도 5는 트레이이송장치의 트레이테이블들의 교차동작을 보여주는 사시도이고, 도 6은 트레이테이블의 구성을 보여주는 도면이고, 도 7은 트레이테이블들의 높이를 보여주는 도면이다.
도면들을 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 이중 트레이 이송장치(400)는 가이드레일(410), 제 1이동유닛(420a), 제 2이동유닛(420b) 및 제어유닛(미도시)으로 구성된다.
상기 제 1이동유닛(420a)은 상기 가이드레일(410)의 좌측부에 연결되어 상기 가이드레일(410) 상에서 왕복운동을 하며, 상기 제 1이동유닛(420a)을 상기 가이드레일(410)에 연결하기 위한 제 1가이드레일결합부(421a), 상기 제 1이동유닛(420a)을 상하방향으로 이동시키기 위한 제 1상하이동수단(422a), 반도체트레이가 놓이는 제 1트레이테이블(423a) 및 상기 제 1이동유닛을 수평방향으로 이동시키기 위한 제 1수평이동수단(미도시)으로 구성된다.
상기 제 1가이드레일결합부(421a)는 상기 가이드레일(410)의 종방향을 따라 상기 가이드레일(410)의 좌측상부에 형성된 홈에 결합된다.
또한 상기 제 1이동유닛(420a)은 상기 제 1상하이동수단(422a)의 높이변화를 측정하기 위한 제 1높이인식수단(미도시)을 구비하여 상기 제 1상하이동수단(422a)에 의해 상기 제 1이동유닛(420a)의 높이가 조절된 정도를 확인할 수 있도록 해준다.
상기 제 2이동유닛(420b)은 상기 가이드레일(410)의 우측부에 연결되어 상기 가이드레일(410) 상에서 왕복운동을 하며, 상기 제 1이동유닛(420b)을 상기 가이드레일(410)에 연결하기 위한 제 2가이드레일결합부(421b), 상기 제 2이동유닛(420b)을 상하방향으로 이동시키기 위한 제 2상하이동수단(422b), 반도체트레이가 놓이는 제 2트레이테이블(423b) 및 상기 제 2이동유닛을 수평방향으로 이동시키기 위한 제 2수평이동수단(미도시)으로 구성된다.
상기 제 2가이드레일결합부(421b)는 상기 가이드레일(410)의 종방향을 따라 상기 가이드레일(410)의 우측상부에 형성된 홈에 결합된다.
또한 상기 제 2이동유닛(420b)은 상기 제 2상하이동수단(422b)의 높이변화를 측정하기 위한 제 2높이인식수단(미도시)을 구비하여 상기 제 2상하이동수단(422b)에 의해 상기 제 2이동유닛(420b)의 높이가 조절된 정도를 확인할 수 있도록 해준다.
상기 제 1트레이테이블(423a) 및 상기 제 2트레이테이블(423b)에는 각각 상기 트레이테이블 위에 놓이는 반도체트레이를 원하는 위치에 정렬하기 위한 트레이센터링수단(431, 432, 433) 및 상기 반도체트레이를 고정하기 위한 복수개의 트레이 고정수단(441~446)이 구비된다. 상기 트레이센터링수단(431, 432, 433)은 반도체트레이가 테이블 위에 놓여지면 후단으로 빠져나와 있던 상기 트레이센터링수단(431, 432, 433)이 전진하여 상기 반도체트레이를 양면을 밀어 원하는 위치에 정렬시킨다.
상기 제 1상하이동수단(422a) 및 제 2상하이동수단(422b)은 유압실린더로 구동된다. 하지만 이것들은 모터로 구동될 수도 있다.
상기 제어유닛은 상기 제 1이동유닛(420a) 및 상기 제 2이동유닛(420b)의 왕복운동을 제어하기 위한 것으로 상기 제 1높이인식수단 및 제 2높이인식수단을 이용하여 상기 제 1이동유닛 및 상기 제 2이동유닛의 높이변화값을 인식하고 이를 이용하여 상기 제 1이동유닛 및 상기 제 2이동유닛의 왕복운동시 이것들의 높이를 제어한다.
상기 상기 제 1이동유닛(420a) 및 상기 제 2이동유닛(420b)의 동작에 대하여 설명한다.
상기 제 1이동유닛(420a) 및 상기 제 2이동유닛(420b)은 상기 가이드레일(410)의 일단에서 타단으로 왕복운동하면서 반도체트레이를 이송하는데 특히 상기 제 1이동유닛(420a)에 의해 반도체트레이가 이송되는 동안에 상기 제 2이동유닛(420b)에 의해 동시에 또다른 반도체트레이를 이송할 수 있도록 하여 종래의 트레이이송장치에서와 같이 반도체트레이가 상기 가이드레일(410)의 어느 선상에서 상기 가이드레일 선상의 다른 지점으로 이송되는 동안에는 다른 공정이 이루어지지 않고 중단되며, 다른 반도체트레이가 다시 이송되어 원하는 공정이 이루어지는 영역으로 공급되기까지는 동작이 이루어지지 않고 대기하고 있어야 한다는 단점을 해소하는 것을 특징으로 한다.
예를 들면, 상기 제 1이동유닛(420a)이 상기 트레이로딩/언로딩부(100)에서 제 1반도체트레이를 상기 가이드레일(410)의 상에서 이송하여 상기 DC로딩/언로딩부(200)로 공급한다. 상기 DC로딩/언로딩부(200)에서 상기 제 1반도체트레이의 반도체칩들을 모두 DC소켓으로 언로딩하면, 비어 있는 상기 제 1반도체트레이를 다시 상기 제 1이동유닛(420a)이 상기 트레이로딩/언로딩부(100)로 이송한다. 이때 상기 제 2이동유닛(420b)은 제 2반도체트레이를 상기 가이드레일(410)을 따라 상기 트레이로딩/언로딩부(100)로부터 상기 DC로딩/언로딩부(200)로 이송한다. 따라서 상기 DC로딩/언로딩부(200)에서는 언로딩이 끝난 비어있는 트레이를 다시 상기 트레이로딩/언로딩부(100)로 이송시킨 다음 새로운 반도체트레이가 다시 상기 트레이로딩/언로딩부(100)로부터 상기 DC로딩/언로딩부(200)로 이송되기까지 기다릴 필요가 없으며, 상기 DC로딩/언로딩부(200)에서 언로딩이 끝난 비어있는 트레이가 상기 제 1이동유닛에 의해 다시 상기 트레이로딩/언로딩부(100)로 이송될 때 동시에 새로운 반도체트레이인 제 2반도체트레이가 상기 제 2이동유닛(420b)에 의해 상기 트레이로딩/언로딩부(100)로부터 상기 DC로딩/언로딩부(200)로 이송된다.
그런데 이렇게 제 1이동유닛(420a)과 제 2이동유닛(420b)이 동시에 상기 가이드레일(410) 상에서 움직여 반도체트레이들을 이송하게 되면 상기 제 1이동유닛(420a)과 상기 제 2이동유닛(420b)이 상기 가이드레일(410)의 어느 지점에서는 만나게 되며, 이들의 높이가 유사할 경우 이들 두 이동유닛들은 서로 동선이 겹쳐 충돌하게 된다. 따라서 본 발명의 실시예에서는 상기 제 1이동유닛(420a)과 상기 제 2이동유닛(420b)이 상기 가이드레일의 일단에서 타단으로 이동하는 동안에는 각각의 높이를 조절하여 서로 충돌하지 않게 한다. 이를 위해 상기 제어유닛은 상기 제 1높이인식수단 및 상기 제 2높이인식수단을 이용하여 상기 제 1이동유닛과 상기 제 2이동유닛이 상기 가이드레일 상에서 종방향으로 이동하면서 상기 가이드레일 상에서 동일한 지점을 통과할 때 상기 제 1이동유닛과 상기 제 2이동유닛의 높이를 조절함으로써, 상기 제 1이동유닛 및 상기 제 2이동유닛이 서로 높이가 달라 서로의 이동에 방해를 하지 않도록 제어한다. 또는 상기 제어유닛은 상기 제 1높이인식수단 및 상기 제 2높이인식수단을 이용하여 미리 상기 제 1이동유닛과 상기 제 2이동유닛의 높이를 조절하여 상기 제 1이동유닛과 상기 제 2이동유닛은 상기 가이드레일 종방향의 일단에서 타단으로 이동하는 동안 서로 높이가 다른 상태에서 이동하도록 제어할 수도 있다.
도 7을 참조하면, 상기 제 1이동유닛(420a)은 h2의 높이로 P1을 궤적을 따라 이동하지만 상기 제 2이동유닛(420b)는 h1의 높이로 P1의 궤적을 따라 이동한다.
이상에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 예시적으로 설명하였으나, 본 발명의 범위는 이와 같은 특정 실시예에만 한정되는 것은 아니며, 특허청구범위에 기재된 범주 내에서 적절하게 변경 가능한 것이다.
100 : 트레이로딩/언로딩부 200 : DC로딩/언로딩부
300 : DC소팅부 400 : 트레이이송장치
410 : 가이드레일 420a : 제 1이동유닛
420b : 제 2이동유닛

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  9. 반도체 검사 및 분류시스템에 있어서,
    검사를 수행할 반도체칩들이 적재되는 반도체트레이들을 공급하고 검사 및 분류를 마친 반도체칩들이 적재되는 반도체트레이들을 전달받아 보관하는 트레이로딩/언로딩부;
    상기 트레이로딩/언로딩부로부터 상기 반도체트레이들을 공급받아 상기 반도체트레이들에 적재되어 있는 반도체칩들의 검사를 수행하고 상기 검사를 마친 반도체칩들을 DC소팅부로 공급하는 DC로딩/언로딩부;
    상기 DC로딩/언로딩부로부터 공급받은 반도체칩들을 양품과 불량품으로 구분하여 분류하는 DC소팅부; 및
    상기 트레이로딩/언로딩부, DC로딩/언로딩부 및 DC소팅부 간에 상기 반도체트레이들을 이동시키기 위한 복수 개의 트레이이송장치;로 구성되고,
    상기 트레이이송장치는:
    가이드레일;
    상기 가이드레일의 좌측부에 연결되어 상기 가이드레일 상에서 왕복운동을 하는 제 1이동유닛; 및
    상기 가이드레일의 우측부에 연결되어 상기 가이드레일 상에서 왕복운동을 하는 제 2이동유닛;을 포함하여 구성되고,
    상기 제 1이동유닛은:
    상기 제 1이동유닛을 상기 가이드레일에 연결하기 위한 제 1가이드레일결합부;
    상기 제 1이동유닛을 상하방향으로 이동시키기 위한 제 1상하이동수단;
    반도체트레이가 놓이는 제 1트레이테이블; 및
    상기 제 1이동유닛을 수평방향으로 이동시키기 위한 제 1수평이동수단;으로 구성되고,
    상기 제 2이동유닛은:
    상기 제 2이동유닛을 상기 가이드레일에 연결하기 위한 제 2가이드레일결합부;
    상기 제 2이동유닛을 상하방향으로 이동시키기 위한 제 2상하이동수단;
    반도체트레이가 놓이는 제 2트레이테이블; 및
    상기 제 2이동유닛을 수평방향으로 이동시키기 위한 제 2수평이동수단;으로 구성되는 것을 특징으로 하는 이중트레이 방식의 트레이이송장치를 갖는 반도체 검사 및 분류시스템.
  10. 제 9항에 있어서,
    상기 제 1가이드레일결합부는 상기 가이드레일의 종방향을 따라 상기 가이드레일의 좌측상부에 형성된 홈에 결합되고,
    상기 제 2가이드레일결합부는 상기 가이드레일의 종방향을 따라 상기 가이드레일의 우측상부에 형성된 홈에 결합되는 것을 특징으로 하는 이중트레이 방식의 트레이이송장치를 갖는 반도체 검사 및 분류시스템.
  11. 제 9항에 있어서,
    상기 제 1트레이테이블 및 상기 제 2트레이테이블에는 각각 상기 트레이테이블 위에 놓이는 반도체트레이를 고정하기 위한 복수개의 트레이 고정수단이 구비되는 것을 특징으로 하는 이중트레이 방식의 트레이이송장치를 갖는 반도체 검사 및 분류시스템.
  12. 제 9항에 있어서,
    상기 제 1상하이동수단 및 제 2상하이동수단은 유압실린더로 구동되는 것을 특징으로 하는 이중트레이 방식의 트레이이송장치를 갖는 반도체 검사 및 분류시스템.
  13. 제 9항에 있어서,
    상기 제 1상하이동수단 및 제 2상하이동수단은 모터로 구동되는 것을 특징으로 하는 이중트레이 방식의 트레이이송장치를 갖는 반도체 검사 및 분류시스템.
  14. 제 9항에 있어서,
    상기 제 1이동유닛 및 상기 제 2이동유닛의 왕복운동을 제어하기 위한 제어유닛;
    상기 제 1상하이동수단의 높이변화를 측정하기 위한 제 1높이인식수단;
    상기 제 2상하이동수단의 높이변화를 측정하기 위한 제 2높이인식수단;을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 이중트레이 방식의 트레이이송장치를 갖는 반도체 검사 및 분류시스템.
  15. 제 14항에 있어서,
    상기 제어유닛은 상기 제 1높이인식수단 및 상기 제 2높이인식수단을 이용하여 상기 제 1이동유닛과 상기 제 2이동유닛이 상기 가이드레일 상에서 종방향으로 이동하면서 상기 가이드레일 상에서 동일한 지점을 통과할 때 높이가 서로 달라 서로의 이동에 방해를 하지 않도록 상기 제 1이동유닛 및 상기 제 2이동유닛을 제어하는 것을 특징으로 하는 이중트레이 방식의 트레이이송장치를 갖는 반도체 검사 및 분류시스템.
  16. 제 14항에 있어서,
    상기 제어유닛은 상기 제 1높이인식수단 및 상기 제 2높이인식수단을 이용하여 상기 제 1이동유닛과 상기 제 2이동유닛은 상기 가이드레일 종방향의 일단에서 타단으로 이동하는 동안 서로 높이가 다른 상태에서 이동하도록 제어하는 것을 특징으로 하는 이중트레이 방식의 트레이이송장치를 갖는 반도체 검사 및 분류시스템.
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