KR102132433B1 - 반도체 디바이스 정렬상태 검사장치 - Google Patents

반도체 디바이스 정렬상태 검사장치 Download PDF

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Abstract

반도체 디바이스 정렬상태 검사장치가 개시된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 디바이스 정렬상태 검사장치는, 장치 본체; 장치 본체의 일측에 마련되며, 셀 포켓(Cell Pocket)에 반도체 디바이스(semiconductor device)가 적재된 트레이(tray)가 로딩(loading)되는 트레이 로딩부; 및 장치 본체 상에서 트레이 로딩부에 이웃되게 마련되며, 트레이에 적재되는 반도체 디바이스의 정렬상태를 자동으로 검사하는 정렬상태 자동 검사부를 포함한다.

Description

반도체 디바이스 정렬상태 검사장치{Alignment inspection apparatus for semiconductor device}
본 발명은, 반도체 디바이스 정렬상태 검사장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 트레이(tray)에 적재되는 반도체 디바이스(semiconductor device)의 정렬상태를 검사하는 검사공정을 자동으로 진행할 수 있기 때문에 기존의 수작업보다 현저하게 빠른 검사 속도로 정확하고 효율적으로 검사공정을 진행할 수 있으며, 이로 인해 택트 타임(tact time)을 감소시켜 생산성 향상을 도모할 수 있는 반도체 디바이스 정렬상태 검사장치에 관한 것이다.
반도체 디바이스(semiconductor device)란 반도체 내에서 전자 및 정공에 의해 운반되는 전하의 양을 제어할 수 있는 전자 장치를 일컫는다. 반도체 디바이스는 다이오드, 트랜지스터, 사이리스터, 논리 디바이스, 광전자 등을 가리키며, 적당한 단자에서 주어진 전압, 전류에 대하여 특정한 동작 기능을 갖는다.
이와 같은 반도체 디바이스가 소정의 공정을 통해 제조된 이후에는 검사기를 통해 검사된다. 이때, 반도체 디바이스는 사이즈가 작기 때문에 별도의 트레이(tray)에 다수 개가 적재된 상태에서 검사공정이 진행된다.
한편, 트레이에 다수의 반도체 디바이스를 적재시킨 후, 반도체 디바이스에 대한 검사공정을 진행하기 전에 트레이 내에 적재된 반도체 디바이스의 정렬상태를 검사하는 공정이 선행된다.
여기서, 정렬상태의 검사란 트레이에 형성되는 다수의 셀 포켓(Cell Pocket)에 반도체 디바이스가 적재되어 있는지, 하나의 셀 포켓에 반도체 디바이스가 2개 이상 포개져 적재되어 있는지, 반도체 디바이스가 셀 포켓에서 튀어 나오게 적재되어 있는지, 방향이 틀어진 상태로 반도체 디바이스가 셀 포켓에 적재되어 있는지, 뒤집어진 상태로 반도체 디바이스가 셀 포켓에 적재되어 있는지 등을 검사하는 과정이다.
반도체 디바이스의 정렬상태를 검사한 이후에 트레이에 제대로 적재된 반도체 디바이스에 대한 검사공정이 진행되어야 검사의 효율이 높아질 뿐만 아니라 에러(error) 발생이 줄어들 수 있다.
따라서 트레이에 적재되는 반도체 디바이스의 정렬상태를 검사하기 위한 공정 역시, 상당히 중요할 수 있는데, 현재는 반도체 디바이스의 정렬상태 검사공정을 수작업으로 진행해 왔거나 혹은 별도의 특정 설비에 작업자가 일일이 투입하면서 검사한 후, 수거하여 후(後) 공정으로 직접 운반하여 처리하고 있는 실정이라 반도체 디바이스의 정렬상태에 대한 검사효율이 떨어질 뿐만 아니라 택트 타임(tact time)이 증가되어 생상성이 감소될 수밖에 없는 문제점이 있다.
대한민국특허청 출원번호 제20-1993-0006646호
따라서 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는, 트레이(tray)에 적재되는 반도체 디바이스(semiconductor device)의 정렬상태를 검사하는 검사공정을 자동으로 진행할 수 있기 때문에 기존의 수작업보다 현저하게 빠른 검사 속도로 정확하고 효율적으로 검사공정을 진행할 수 있으며, 이로 인해 택트 타임(tact time)을 감소시켜 생산성 향상을 도모할 수 있는 반도체 디바이스 정렬상태 검사장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 일 측면에 따르면, 장치 본체; 상기 장치 본체의 일측에 마련되며, 셀 포켓(Cell Pocket)에 반도체 디바이스(semiconductor device)가 적재된 트레이(tray)가 로딩(loading)되는 트레이 로딩부; 및 상기 장치 본체 상에서 상기 트레이 로딩부에 이웃되게 마련되며, 상기 트레이에 적재되는 상기 반도체 디바이스의 정렬상태를 자동으로 검사하는 정렬상태 자동 검사부를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 디바이스 정렬상태 검사장치가 제공될 수 있다.
상기 장치 본체의 타측에 마련되며, 상기 정렬상태 자동 검사부를 통해 상기 반도체 디바이스의 정렬상태가 검사 완료된 트레이가 언로딩(unloading)되는 트레이 언로딩부를 더 포함할 수 있다.
상기 정렬상태 자동 검사부는, 상기 트레이가 상기 트레이 로딩부에서 상기 트레이 언로딩부로 이송되는 중에 상기 트레이에 적재되는 상기 반도체 디바이스의 정렬상태를 실시간으로 검사할 수 있다.
상기 정렬상태 자동 검사부는, 상기 트레이의 상부 양측에 배치되며, 해당 위치에서 상기 반도체 디바이스를 향해 일직선 형태의 라인 레이저(Line Laser)를 조사하는 다수의 라인 레이저 모듈을 포함할 수 있다.
상기 다수의 라인 레이저 모듈은 상기 반도체 디바이스 상에 정상 라인패턴(Line Pattern) 또는 비정상 라인패턴(Line Pattern)이 형성되도록 소정의 경사각도를 가지고 상기 라인 레이저를 상기 반도체 디바이스로 조사할 수 있다.
상기 반도체 디바이스를 사이에 두고 그 양측에서 상기 반도체 디바이스로 조사되는 라인 레이저의 경사각도가 동일할 수 있다.
상기 정렬상태 자동 검사부는, 상기 트레이의 상부 영역에 배치되며, 상기 반도체 디바이스 상에 맺힌 상기 정상 라인패턴 또는 상기 비정상 라인패턴을 촬영하되 단부에 렌즈가 결합되는 카메라를 더 포함할 수 있다.
상기 정렬상태 자동 검사부는, 상기 카메라에 의해 촬영된 상기 정상 라인패턴 또는 상기 비정상 라인패턴의 영상정보를 판독하는 영상정보 판독부를 더 포함할 수 있다.
상기 정렬상태 자동 검사부는, 상기 반도체 디바이스의 정렬상태가 불량임을 표시하는 정렬상태 불량 알림부; 및 상기 카메라의 영상정보를 상기 영상정보 판독부로 전송하는 한편 상기 반도체 디바이스의 정렬상태가 자동 검사되고 그 결과가 표시되도록 상기 영상정보 판독부와 상기 정렬상태 불량 알림부를 컨트롤하는 컨트롤러를 더 포함할 수 있다.
상기 정렬상태 자동 검사부는, 상기 카메라의 렌즈와 상기 트레이 사이에 배치되는 동축 낙사조명(COEXIAL LIGHT)을 더 포함할 수 있다.
상기 정렬상태 자동 검사부는, 상기 장치 본체에 결합되며, 상기 다수의 라인 레이저 모듈과, 상기 카메라가 위치별로 탑재되는 검사용 탑재 브리지를 더 포함할 수 있다.
상기 트레이 로딩부와 상기 트레이 언로딩부에 왕복 이동 가능하게 상기 트레이 로딩부와 상기 트레이 언로딩부 사이에 배치되며, 상기 트레이 로딩부 측의 트레이를 그립핑(gripping)한 후, 상기 정렬상태 자동 검사부를 경유해서 상기 트레이 언로딩부로 이송하는 트레이 그립핑 이송유닛을 더 포함할 수 있다.
상기 트레이 그립핑 이송유닛은 상기 트레이 로딩부와 상기 트레이 언로딩부로 상호 교차 이송되게 상기 트레이 로딩부와 상기 트레이 언로딩부 사이에 한 쌍으로 마련되는 한 쌍의 제1 및 제2 트레이 그립핑 이송유닛일 수 있다.
상기 제1 트레이 그립핑 이송유닛과 연결되며, 상기 제1 트레이 그립핑 이송유닛을 업/다운(up/down) 구동시키는 제1 업/다운 구동부; 상기 제2 트레이 그립핑 이송유닛과 연결되며, 상기 제2 트레이 그립핑 이송유닛을 업/다운(up/down) 구동시키는 제2 업/다운 구동부; 및 상기 제1 및 제2 트레이 그립핑 이송유닛과 공용으로 연결되며, 상기 제1 및 제2 트레이 그립핑 이송유닛을 수평 방향으로 교차 왕복 구동시키는 공용 왕복 구동부를 더 포함할 수 있다.
상기 트레이 그립핑 이송유닛은, 상기 트레이가 내부에 배치되도록 내부가 빈 공간을 이루는 유닛 프레임; 상기 유닛 프레임의 둘레 방향을 따라 적어도 사각 구도로 배치되며, 상기 유닛 프레임에 대하여 상기 트레이를 그립핑하는 다수의 그립퍼; 및 상기 유닛 프레임에 마련되며, 상기 다수의 그립퍼를 구동시키는 그립퍼 구동부를 포함할 수 있다.
상기 트레이 로딩부는, 상기 트레이를 상기 정렬상태 자동 검사부 쪽으로 이송하는 컨베이어; 상기 정렬상태 자동 검사부에 이웃된 상기 컨베이어의 전단부 영역에 고정되게 마련되며, 상기 컨베이어 상에서 이송되는 상기 트레이를 정지시키는 다수의 고정 스토퍼 핀; 및 상기 고정 스토퍼 핀에 이격 배치되되 상기 트레이가 이송되는 방향에 교차되는 방향으로 동작 가능하며, 상기 고정 스토퍼 핀과 함께 상기 트레이의 로딩위치를 가이드하는 다수의 가동 스토퍼 핀을 포함할 수 있다.
상기 트레이 언로딩부는, 상기 정렬상태 자동 검사부를 통해 상기 반도체 디바이스의 정렬상태가 검사 완료된 트레이가 적재되는 적재용 베이스; 및 상기 적재용 베이스의 주변에 배치되며, 상기 트레이의 적재위치를 가이드하는 다수의 적재위치 가이드 핀을 포함할 수 있다.
본 발명에 따르면, 트레이(tray)에 적재되는 반도체 디바이스(semiconductor device)의 정렬상태를 검사하는 검사공정을 자동으로 진행할 수 있기 때문에 기존의 수작업보다 현저하게 빠른 검사 속도로 정확하고 효율적으로 검사공정을 진행할 수 있으며, 이로 인해 택트 타임(tact time)을 감소시켜 생산성 향상을 도모할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 디바이스 정렬상태 검사장치의 사시도이다.
도 2는 도 1의 정면도이다.
도 3 내지 도 5는 도 1의 평면도로서 트레이 로딩부에 트레이가 로딩되는 과정을 단계적으로 도시한 도면들이다.
도 6은 도 1에서 정렬상태 자동 검사부 영역의 확대도이다.
도 7은 정렬상태 자동 검사부의 측면 구성도이다.
도 8은 도 7의 평면 구성도이다.
도 9는 도 1에서 트레이 그립핑 이송유닛 영역을 발췌한 도면이다.
도 10은 트레이 그립핑 이송유닛의 설명을 위한 도면이다.
도 11은 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 디바이스 정렬상태 검사장치의 제어블록도이다.
본 발명과 본 발명의 동작상의 이점 및 본 발명의 실시에 의하여 달성되는 목적을 충분히 이해하기 위해서는 본 발명의 바람직한 실시예를 예시하는 첨부도면 및 첨부도면에 기재된 내용을 참조하여야만 한다.
이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명함으로써, 본 발명을 상세히 설명한다. 각 도면에 제시된 동일한 참조부호는 동일한 부재를 나타낸다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 디바이스 정렬상태 검사장치의 사시도이고, 도 2는 도 1의 정면도이며, 도 3 내지 도 5는 도 1의 평면도로서 트레이 로딩부에 트레이가 로딩되는 과정을 단계적으로 도시한 도면들이고, 도 6은 도 1에서 정렬상태 자동 검사부 영역의 확대도이며, 도 7은 정렬상태 자동 검사부의 측면 구성도이고, 도 8은 도 7의 평면 구성도이며, 도 9는 도 1에서 트레이 그립핑 이송유닛 영역을 발췌한 도면이고, 도 10은 트레이 그립핑 이송유닛의 설명을 위한 도면이며, 도 11은 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 디바이스 정렬상태 검사장치의 제어블록도이다.
이들 도면을 참조하면, 본 실시예에 따른 반도체 디바이스 정렬상태 검사장치는 트레이(10, tray)에 적재되는 반도체 디바이스(30, semiconductor device)의 정렬상태를 검사하는 검사공정을 자동으로 진행할 수 있기 때문에 기존의 수작업보다 현저하게 빠른 검사 속도로 정확하고 효율적으로 검사공정을 진행할 수 있으며, 이로 인해 택트 타임(tact time)을 감소시켜 생산성 향상을 도모할 수 있도록 한 것이다.
이와 같은 효과를 제공할 수 있는 본 실시예에 따른 반도체 디바이스 정렬상태 검사장치는 주로 도 1 내지 도 5에 도시된 바와 같이, 장치 본체(110)와, 장치 본체(110) 상의 양측에 각각 배치되되 트레이(10)가 로딩(loading) 및 언로딩(unloading)되는 트레이 로딩부(120) 및 트레이 언로딩부(130)와, 트레이 로딩부(120) 및 트레이 언로딩부(130) 사이에서 반도체 디바이스(30)의 정렬상태를 자동으로 검사하는 정렬상태 자동 검사부(140)를 포함할 수 있다.
앞서도 기술한 것처럼 반도체 디바이스(30)란 반도체 내에서 전자 및 정공에 의해 운반되는 전하의 양을 제어할 수 있는 전자 장치로서 다이오드, 트랜지스터, 사이리스터, 논리 디바이스, 광전자 등의 부품 혹은 모듈을 가리킨다.
이러한 반도체 디바이스(30)는 소정의 공정을 통해 제조된 이후에는 검사기를 통해 검사되는데, 반도체 디바이스(30)는 사이즈가 작기 때문에 트레이(10)의 셀 포켓(20, Cell Pocket)에 적재된 상태에서 검사공정이 진행된다. 이처럼 반도체 디바이스(30)는 트레이(10)에 적재된 채로 검사되는데, 이때 트레이(10)의 셀 포켓(20)에 반도체 디바이스(30)가 제대로 적재되어 있는지 다시 말해, 트레이(10)의 셀 포켓(20)에 적재된 반도체 디바이스(30)의 정렬상태를 검사하기 위해 본 실시예에 따른 반도체 디바이스 정렬상태 검사장치가 적용되는 것이다.
자세히 후술하겠지만 본 실시예에 따른 반도체 디바이스 정렬상태 검사장치는 장치 본체(110) 상에 트레이 로딩부(120), 정렬상태 자동 검사부(140) 및 트레이 언로딩부(130)가 순차적으로 배치되고, 트레이(10)가 이들을 순차적으로 진행하는 소위 인라인(inline) 구조라서 장치의 간소화를 구현할 수 있음은 물론 기존의 수작업보다 현저하게 빠른 검사 속도로 정확하고 효율적으로 검사공정을 진행할 수 있다. 따라서 검사공정에 따른 택트 타임을 감소시켜 생산성을 향상시킬 수 있게 되는 것이다.
장치 본체(110)에 대해 먼저 살펴보면, 장치 본체(110)는 본 실시예에 따른 반도체 디바이스 정렬상태 검사장치의 외관 구조물로서, 위치별로 탑재되는 트레이 로딩부(120), 정렬상태 자동 검사부(140) 및 트레이 언로딩부(130)를 지지한다. 따라서 장치 본체(110)는 강성이 우수한 금속 플레임으로 제작된다.
장치 본체(110)의 하부에는 다수의 푸트(111)가 마련된다. 푸트(111)는 장치 본체(110)를 지면에 대해 지지하는 역할을 한다. 푸트(111)에는 높이 조절수단이 있어서 장치 본체(110)가 수평 상태를 유지할 수 있게끔 한다.
트레이 로딩부(120)는 장치 본체(110)의 일측에 마련되며, 정렬상태가 검사될 검사 대상의 트레이(10)가 로딩되는 장소를 이룬다. 따라서 트레이 로딩부(120)에 로딩되는 트레이(10)에는 이미 반도체 디바이스(30)가 적재된 상태이다. 이러한 트레이 로딩부(120)는 컨베이어(121), 고정 스토퍼 핀(122) 및 가동 스토퍼 핀(123)을 포함할 수 있다.
컨베이어(121)는 트레이(10)를 정렬상태 자동 검사부(140) 쪽으로 이송하는 역할을 한다. 컨베이어(121)의 후단부 영역에 검사대상의 트레이(10)를 올리면 트레이(10)가 컨베이어(121)를 따라 정렬상태 자동 검사부(140) 쪽으로 이송된다.
고정 스토퍼 핀(122)은 정렬상태 자동 검사부(140)에 이웃된 컨베이어(121)의 전단부 영역에 고정되게 마련되며, 컨베이어(121) 상에서 이송되는 트레이(10)를 정지시키는 역할을 한다.
전술한 것처럼 컨베이어(121)의 후단부 영역에 검사대상의 트레이(10)를 올리면 트레이(10)가 컨베이어(121)를 따라 정렬상태 자동 검사부(140) 쪽으로 이송되다가 고정 스토퍼 핀(122)에 접촉되어 이송이 정지된다. 이때의 위치가 로딩위치이며, 이 위치에서 트레이(10)가 한 장씩 정렬상태 자동 검사부(140)를 거쳐 검사된 후, 트레이 언로딩부(130)로 향하게 된다.
가동 스토퍼 핀(123)은 고정 스토퍼 핀(122)에 이격 배치되며, 고정 스토퍼 핀(122)과 함께 트레이(10)의 로딩위치를 가이드하는 역할을 한다. 전술한 고정 스토퍼 핀(122)은 해당 위치에 고정된 상태인데 반해, 가동 스토퍼 핀(123)은 도 3 내지 도 5에 도시된 것처럼 트레이(10)가 이송되는 방향에 교차되는 방향으로 동작되면서 고정 스토퍼 핀(122)과 함께 트레이(10)의 로딩위치를 가이드한다. 따라서 가동 스토퍼 핀(123)에는 핀 구동부(124)가 결합된다.
가동 스토퍼 핀(123)의 작용을 간략하게 살펴보면, 우선 도 3처럼 가동 스토퍼 핀(123)이 서로 벌어지게 동작된 상태에서 컨베이어(121)에 트레이(10)를 올리면 트레이(10)가 컨베이어(121)를 따라 정렬상태 자동 검사부(140) 쪽으로 이송된다. 이어, 도 4처럼 트레이(10)가 컨베이어(121)를 따라 정렬상태 자동 검사부(140) 쪽으로 이송되다가 고정 스토퍼 핀(122)에 접촉되면 트레이(10)의 이송이 정지된다. 이때, 도 4에서 도 5처럼 가동 스토퍼 핀(123)이 진한 화살표 방향으로 동작되면서 트레이(10)의 후단부를 가이드하여 지지하게 됨으로써 결과적으로 트레이(10)는 고정 스토퍼 핀(122)과 가동 스토퍼 핀(123) 사이에서 이들의 가이드 작용으로 로딩위치에 놓일 수 있다.
트레이(10)가 이송되는 방향을 따라 장치 본체(110) 상에서 트레이 로딩부(120)의 일측에는 정렬상태 자동 검사부(140)가 마련되지만 설명의 편의를 위해 트레이 언로딩부(130)에 대해 먼저 설명한다.
트레이 언로딩부(130)는 트레이 로딩부(120)의 반대편인 장치 본체(110)의 타측에 마련되며, 정렬상태 자동 검사부(140)를 통해 반도체 디바이스(30)의 정렬상태가 검사 완료된 트레이(10)가 언로딩(unloading)되는 장소를 이룬다. 트레이 언로딩부(130)의 구조가 트레이 로딩부(120)의 구조와 유사하다.
본 실시예에 적용되는 트레이 언로딩부(130)는 정렬상태 자동 검사부(140)를 통해 반도체 디바이스(30)의 정렬상태가 검사 완료된 트레이(10)가 적재되는 적재용 베이스(131)와, 적재용 베이스(131)의 주변에 배치되며, 트레이(10)의 적재위치를 가이드하는 다수의 적재위치 가이드 핀(132)을 포함한다.
트레이 로딩부(120)의 경우에는 컨베이어(121) 상에서 트레이(10)가 이송되면서 트레이(10)가 로딩위치에 놓이는 구조였던 반면, 트레이 언로딩부(130)의 경우에는 후술할 제2 트레이 그립핑 이송유닛(170b)이 검사 완료된 트레이(10)를 그립핑(gripping)한 후, 적재용 베이스(131)의 상부에서 하강하면서 적재용 베이스(131)에 트레이(10)를 적재시키는 방식을 취한다. 따라서 다수의 적재위치 가이드 핀(132)이 적재용 베이스(131)의 주변에 배치되어 트레이(10)의 적재위치를 가이드할 수 있다. 따라서 트레이(10)들이 비뚤어지지 않고 제대로 잘 적재될 수 있다.
한편, 정렬상태 자동 검사부(140)는 장치 본체(110) 상에서 트레이 로딩부(120)에 이웃되게 마련되며, 트레이(10)에 적재되는 반도체 디바이스(30)의 정렬상태를 자동으로 검사하는 역할을 한다.
다시 말해, 정렬상태 자동 검사부(140)는 장치 본체(110) 상에서 트레이 로딩부(120)와 트레이 언로딩부(130) 사이에 배치되며, 트레이 로딩부(120) 측의 트레이(10)를 전달 받아 트레이(10)에 적재되는 반도체 디바이스(30)의 정렬상태를 검사한 후, 트레이 언로딩부(130)로 전달하는 역할을 한다. 따라서 정렬상태 자동 검사부(140)는 후술할 제1 및 제2 트레이 그립핑 이송유닛(170a,170b)과 상호작용한다.
이때, 본 실시예에서 정렬상태 자동 검사부(140)는 트레이(10)가 트레이 로딩부(120)에서 트레이 언로딩부(130)로 이송되는 중에 트레이(10)에 적재되는 반도체 디바이스(30)의 정렬상태를 실시간으로 검사한다. 이처럼 트레이(10)가 트레이 로딩부(120)에서 트레이 언로딩부(130)로 이송되는 중에 트레이(10)에 적재되는 반도체 디바이스(30)의 정렬상태가 정렬상태 자동 검사부(140)를 통해 실시간으로 검사되기 때문에 택트 타임을 현저하게 감소시킬 수 있다. 따라서 생산성 향상에 기여할 수 있게 되는 것이다.
본 실시예에서 정렬상태 자동 검사부(140)는 검사용 탑재 브리지(141)와, 검사용 탑재 브리지(141)에 위치별로 탑재되는 라인 레이저 모듈(151), 카메라(152) 및 동축 낙사조명(154, COEXIAL LIGHT)을 포함하며, 라인 레이저 모듈(151), 카메라(152) 및 동축 낙사조명(154)의 작용으로 트레이(10)에 적재되는 반도체 디바이스(30)의 정렬상태를 검사하도록 한다.
이때, 반도체 디바이스(30)의 정렬상태란 앞서도 기술한 것처럼 트레이(10)에 형성되는 다수의 셀 포켓(20)에 반도체 디바이스(30)가 적재되어 있는지, 하나의 셀 포켓(20)에 반도체 디바이스(30)가 2개 이상 포개져 적재되어 있는지, 반도체 디바이스(30)가 셀 포켓(20)에서 튀어 나오게 적재되어 있는지, 방향이 틀어진 상태로 반도체 디바이스(30)가 셀 포켓(20)에 적재되어 있는지, 뒤집어진 상태로 반도체 디바이스(30)가 셀 포켓(20)에 적재되어 있는지 등을 의미한다.
검사용 탑재 브리지(141)는 장치 본체(110)에 결합되며, 라인 레이저 모듈(151), 카메라(152) 및 동축 낙사조명(154) 등의 구성, 즉 정렬상태 검사를 위한 구성들이 위치별로 탑재되는 장소를 이룬다.
라인 레이저 모듈(151)은 트레이(10)의 상부 양측에 배치되며, 해당 위치에서 반도체 디바이스(30)를 향해 일직선 형태의 라인 레이저(Line Laser)를 조사하는 역할을 한다.
이때, 트레이(10)의 상부 양측에 배치되는 다수의 라인 레이저 모듈(151)은 반도체 디바이스(30) 상에 정상 라인패턴(Line Pattern) 또는 비정상 라인패턴(Line Pattern)이 형성되도록 소정의 경사각도를 가지고 라인 레이저를 상기 반도체 디바이스(30)로 조사한다. 본 실시예의 경우, 반도체 디바이스(30)를 사이에 두고 그 양측에서 반도체 디바이스(30)로 조사되는 라인 레이저의 경사각도가 동일하다.
도 7 및 도 8처럼 다수의 라인 레이저 모듈(151)이 트레이(10)의 상부 양측에서 반도체 디바이스(30)를 향해 일직선 형태의 라인 레이저(Line Laser)를 조사한 경우, 만약 반도체 디바이스(30)의 정렬상태가 정상이라면 일직선 형태의 정상 라인패턴(Line Pattern)이 반도체 디바이스(30) 상에 맺힌다.
하지만, 셀 포켓(20)에 반도체 디바이스(30)가 적재되어 있지 않거나, 하나의 셀 포켓(20)에 반도체 디바이스(30)가 2개 이상 포개져 적재되어 있거나, 반도체 디바이스(30)가 셀 포켓(20)에서 튀어 나오게 적재되어 있거나, 방향이 틀어진 상태로 반도체 디바이스(30)가 셀 포켓(20)에 적재되어 있거나, 뒤집어진 상태로 반도체 디바이스(30)가 셀 포켓(20)에 적재되어 있는 반도체 디바이스(30)의 정렬상태가 비정상이라면 일직선 형태가 아닌 비정상 라인패턴(Line Pattern)이 반도체 디바이스(30) 상에 맺힌다.
카메라(152)는 트레이(10)의 상부 영역에 배치되며, 반도체 디바이스(30) 상에 맺힌 정상 라인패턴 또는 비정상 라인패턴을 촬영하는 역할을 한다. 카메라(152)의 단부에는 렌즈(153)가 결합된다.
그리고 카메라(152)의 렌즈(153)와 트레이(10) 사이에는 동축 낙사조명(154)이 배치된다. 동축 낙사조명(154)은 도 7의 점선처럼 수직 방향으로 곧은 조명을 조사한다. 따라서 반도체 디바이스(30) 상에 맺힌 정상 라인패턴(Line Pattern) 또는 비정상 라인패턴(Line Pattern)이 좀 더 명확하게 촬영될 수 있게끔 한다.
한편, 본 실시예에서 정렬상태 자동 검사부(140)는 반도체 디바이스(30) 상에 맺힌 정상 라인패턴(Line Pattern) 또는 비정상 라인패턴(Line Pattern)에 대한 판독 및 검사, 처리를 위하여 영상정보 판독부(155), 정렬상태 불량 알림부(156) 및 컨트롤러(160)를 더 포함할 수 있다.
영상정보 판독부(155)는 카메라(152)에 의해 촬영된 정상 라인패턴(Line Pattern) 또는 비정상 라인패턴(Line Pattern)의 영상정보를 판독하는 역할을 한다. 별도의 소프트웨어에 의해 자동 판독 구현이 가능하다.
정렬상태 불량 알림부(156)는 반도체 디바이스(30)의 정렬상태가 불량임을 표시한다. 이때의 표시 방법은 부저일 수도 있고, 혹은 모니터 상에 색상을 달리하는 표시 형태일 수도 있다. 모니터 상에 색상이 달리 표현되면 검사자가 정렬상태의 불량 상태를 한 눈에 파악할 수 있는 장점이 있다.
컨트롤러(160)는 카메라(152)의 영상정보를 영상정보 판독부(155)로 전송하는 한편 반도체 디바이스(30)의 정렬상태가 자동 검사되고 그 결과가 표시되도록 영상정보 판독부(155)와 정렬상태 불량 알림부(156)를 컨트롤한다.
이러한 역할을 수행하는 컨트롤러(160)는 중앙처리장치(161, CPU), 메모리(162, MEMORY), 그리고 서포트 회로(163, SUPPORT CIRCUIT)를 포함할 수 있다.
중앙처리장치(161)는 본 실시예에서 카메라(152)의 영상정보를 영상정보 판독부(155)로 전송하는 한편 반도체 디바이스(30)의 정렬상태가 자동 검사되고 그 결과가 표시되도록 영상정보 판독부(155)와 정렬상태 불량 알림부(156)를 컨트롤하기 위해서 산업적으로 적용될 수 있는 다양한 컴퓨터 프로세서들 중 하나일 수 있다.
메모리(162, MEMORY)는 중앙처리장치(161)와 연결된다. 메모리(162)는 컴퓨터로 읽을 수 있는 기록매체로서 로컬 또는 원격지에 설치될 수 있으며, 예를 들면 랜덤 액세스 메모리(RAM), ROM, 플로피 디스크, 하드 디스크 또는 임의의 디지털 저장 형태와 같이 쉽게 이용가능한 적어도 하나 이상의 메모리일 수 있다.
서포트 회로(163, SUPPORT CIRCUIT)는 중앙처리장치(161)와 결합되어 프로세서의 전형적인 동작을 지원한다. 이러한 서포트 회로(163)는 캐시, 파워 서플라이, 클록 회로, 입/출력 회로, 서브시스템 등을 포함할 수 있다.
본 실시예에서 컨트롤러(160)는 카메라(152)의 영상정보를 영상정보 판독부(155)로 전송하는 한편 반도체 디바이스(30)의 정렬상태가 자동 검사되고 그 결과가 표시되도록 영상정보 판독부(155)와 정렬상태 불량 알림부(156)를 컨트롤하는데, 이러한 일련의 컨트롤 프로세스 등은 메모리(162)에 저장될 수 있다. 전형적으로는 소프트웨어 루틴이 메모리(162)에 저장될 수 있다. 소프트웨어 루틴은 또한 다른 중앙처리장치(미도시)에 의해서 저장되거나 실행될 수 있다.
본 발명에 따른 프로세스는 소프트웨어 루틴에 의해 실행되는 것으로 설명하였지만, 본 발명의 프로세스들 중 적어도 일부는 하드웨어에 의해 수행되는 것도 가능하다. 이처럼, 본 발명의 프로세스들은 컴퓨터 시스템 상에서 수행되는 소프트웨어로 구현되거나 또는 집적 회로와 같은 하드웨어로 구현되거나 또는 소프트웨어와 하드웨어의 조합에 의해서 구현될 수 있다.
한편, 정렬상태 자동 검사부(140)에 의한 반도체 디바이스(30)의 정렬상태가 자동으로 검사되기 위하여 본 실시예에 따른 반도체 디바이스 정렬상태 검사장치에는 제1 및 제2 트레이 그립핑 이송유닛(170a,170b)가 마련된다.
제1 및 제2 트레이 그립핑 이송유닛(170a,170b)은 트레이 로딩부(120)와 트레이 언로딩부(130)에 왕복 이동 가능하게 트레이 로딩부(120)와 트레이 언로딩부(130) 사이에 배치되며, 트레이 로딩부(120) 측의 트레이(10)를 그립핑(gripping)한 후, 정렬상태 자동 검사부(140)를 경유해서 트레이 언로딩부(130)로 이송하는 역할을 한다.
앞서도 언급한 것처럼 트레이 로딩부(120) 측의 트레이(10)를 전달 받아 트레이(10)에 적재되는 반도체 디바이스(30)의 정렬상태를 검사한 후, 트레이 언로딩부(130)로 전달하기 위해 제1 및 제2 트레이 그립핑 이송유닛(170a,170b)이 적용되는 것이다.
본 실시예의 경우, 도면에 도시된 것처럼 트레이 로딩부(120)와 트레이 언로딩부(130)로 상호 교차 이송되게 트레이 로딩부(120)와 트레이 언로딩부(130) 사이에 한 쌍의 제1 및 제2 트레이 그립핑 이송유닛(170a,170b)이 마련된다.
물론, 제1 트레이 그립핑 이송유닛(170a) 하나만 적용할 수도 있다. 하지만, 본 실시예처럼 제1 및 제2 트레이 그립핑 이송유닛(170a,170b)이 듀얼(dual)로 적용되면 하나가 트레이 로딩부(120)에서 트레이 언로딩부(130)로 향할 때, 다른 하나가 트레이 언로딩부(130)에서 트레이 로딩부(120)로 향할 수 있어서 택트 타임을 현저하게 감소시킬 수 있다.
제1 및 제2 트레이 그립핑 이송유닛(170a,170b) 모두는 트레이(10)가 내부에 배치되도록 내부가 빈 공간을 이루는 유닛 프레임(171)과, 유닛 프레임(171)의 둘레 방향을 따라 적어도 사각 구도로 배치되며, 유닛 프레임(171)에 대하여 트레이(10)를 그립핑하는 다수의 그립퍼(172)와, 유닛 프레임(171)에 마련되며, 다수의 그립퍼(172)를 구동시키는 그립퍼 구동부(미도시)를 포함할 수 있다.
그립퍼 구동부에 대해서는 편의상 도시를 생략하였는데, 그립퍼 구동부는 유닛 프레임(171) 상에 탑재되어 그립퍼(172)를 구동시키는 예컨대, 실린더 또는 모터일 수 있다. 이 경우, 그립퍼 구동부는 그립퍼(172)들마다 하나씩 개별적으로 마련되어 해당 그립퍼(172)들을 구동시켜 그립퍼(172)들로 하여금 트레이(10)가 그립핑되도록 할 수 있다.
이와 같은 제1 및 제2 트레이 그립핑 이송유닛(170a,170b)의 동작을 위하여 본 실시예에 따른 반도체 디바이스 정렬상태 검사장치에 제1 및 제2 업/다운 구동부(181,182), 그리고 공용 왕복 구동부(183)가 위치별로 마련된다.
제1 업/다운 구동부(181)는 제1 트레이 그립핑 이송유닛(170a)과 연결되며, 제1 트레이 그립핑 이송유닛(170a)을 업/다운(up/down) 구동시키는 역할을 하고, 제2 업/다운 구동부(182)는 제2 트레이 그립핑 이송유닛(170b)과 연결되며, 제2 트레이 그립핑 이송유닛(170b)을 업/다운(up/down) 구동시키는 역할을 한다.
제1 트레이 그립핑 이송유닛(170a)이 트레이 로딩부(120)에서 트레이 언로딩부(130)로 향하고, 제2 트레이 그립핑 이송유닛(170b)이 트레이 언로딩부(130)에서 트레이 로딩부(120)로 향할 때, 같은 높이에서 이동되면 충돌이 발생할 수 있기 때문에 높이차를 두고 이동해야 한다. 그러기 위해 제1 및 제2 업/다운 구동부(181,182)가 제1 및 제2 트레이 그립핑 이송유닛(170a,170b)에 적용되는 것이다. 제1 및 제2 업/다운 구동부(181,182)는 실린더나 모터일 수 있다.
공용 왕복 구동부(183)는 제1 및 제2 트레이 그립핑 이송유닛(170a,170b)과 공용으로 연결되며, 제1 및 제2 트레이 그립핑 이송유닛(170a,170b)을 수평 방향으로 교차 왕복 구동시키는 역할을 한다. 다시 말해, 공용 왕복 구동부(183)는 제1 트레이 그립핑 이송유닛(170a)을 트레이 로딩부(120)에서 트레이 언로딩부(130)로, 그리고 제2 트레이 그립핑 이송유닛(170b)을 트레이 언로딩부(130)에서 트레이 로딩부(120)로 유기적이고 반복적으로 왕복 구동시킨다. 공용 왕복 구동부(183)는 리니터 모터로 적용될 수 있다.
이하, 본 실시예에 따른 반도체 디바이스 정렬상태 검사장치의 작용에 대해 설명한다.
우선 도 3처럼 가동 스토퍼 핀(123)이 서로 벌어지게 동작된 상태에서 컨베이어(121)에 트레이(10)를 올리면 트레이(10)가 컨베이어(121)를 따라 정렬상태 자동 검사부(140) 쪽으로 이송된다.
이어, 도 4처럼 트레이(10)가 컨베이어(121)를 따라 정렬상태 자동 검사부(140) 쪽으로 이송되다가 고정 스토퍼 핀(122)에 접촉되면 트레이(10)의 이송이 정지된다. 이때, 도 4에서 도 5처럼 가동 스토퍼 핀(123)이 진한 화살표 방향으로 동작되면서 트레이(10)의 후단부를 가이드하여 지지하게 됨으로써 결과적으로 트레이(10)는 고정 스토퍼 핀(122)과 가동 스토퍼 핀(123) 사이에서 이들의 가이드 작용으로 로딩위치에 놓일 수 있다.
검사 대상의 트레이(10)가 로딩위치에 놓이면 예컨대, 제1 트레이 그립핑 이송유닛(170a)이 트레이 로딩부(120)의 로딩위치에 놓인 제일 아래의 트레이(10)를 그립핑한다.
그런 다음, 제1 트레이 그립핑 이송유닛(170a)이 업(up) 동작된 후, 정렬상태 자동 검사부(140) 쪽으로 이동되며, 이와 동시에 정렬상태 자동 검사부(140)를 통한 반도체 디바이스(30)의 정렬상태가 자동 검사될 수 있도록 한다.
이에 대해 살펴보면, 다수의 라인 레이저 모듈(151)이 트레이(10)의 상부 양측에서 반도체 디바이스(30)를 향해 일직선 형태의 라인 레이저(Line Laser)를 조사한다.
앞서 기술한 것처럼 반도체 디바이스(30)가 트레이(10)의 셀 포켓(20)에 정상적으로 적재된 상태라면, 즉 반도체 디바이스(30)의 정렬상태가 정상이라면 일직선 형태의 정상 라인패턴(Line Pattern)이 반도체 디바이스(30) 상에 맺힌다.
하지만, 셀 포켓(20)에 반도체 디바이스(30)가 적재되어 있지 않거나, 하나의 셀 포켓(20)에 반도체 디바이스(30)가 2개 이상 포개져 적재되어 있거나, 반도체 디바이스(30)가 셀 포켓(20)에서 튀어 나오게 적재되어 있거나, 방향이 틀어진 상태로 반도체 디바이스(30)가 셀 포켓(20)에 적재되어 있거나, 뒤집어진 상태로 반도체 디바이스(30)가 셀 포켓(20)에 적재되어 있는 반도체 디바이스(30)의 정렬상태가 비정상이라면 일직선 형태가 아닌 비정상 라인패턴(Line Pattern)이 반도체 디바이스(30) 상에 맺힌다.
이처럼 반도체 디바이스(30) 상에 맺힌 정상 라인패턴(Line Pattern) 또는 비정상 라인패턴(Line Pattern)을 카메라(152)가 촬영하며, 촬영된 정보가 컨트롤러(160)를 통해 영상정보 판독부(155)로 전송되어 정상 혹은 불량으로 판독된다. 정렬상태가 불량인 경우에는 정렬상태 불량 알림부(156)를 통해 알림 처리됨으로써 다시 적재하거나 라인에서 빼낼 수 있도록 조치한다.
한편, 정렬상태 자동 검사부(140)를 통해 반도체 디바이스(30)의 정렬상태가 자동 검사되고 나면 계속해서 제1 트레이 그립핑 이송유닛(170a)이 검사 완료된 트레이(10)를 트레이 언로딩부(130) 쪽으로 옮겨 트레이 언로딩부(130)의 적재용 베이스(131)에 적재한다.
이처럼 제1 트레이 그립핑 이송유닛(170a)에 의해 트레이(10)가 트레이 로딩부(120)에서 정렬상태 자동 검사부(140)를 거쳐 트레이 언로딩부(130)로 향할 때, 제2 트레이 그립핑 이송유닛(170b)은 트레이 언로딩부(130)에서 트레이 로딩부(120)로 이동되기 때문에 작업이 로스(loss) 없이 연속적으로 진행될 수 있다.
제2 트레이 그립핑 이송유닛(170b)이 트레이 언로딩부(130)에서 트레이 로딩부(120)로 이동할 때는 정렬상태 자동 검사부(140)를 거치 필요가 없다. 따라서 제1 트레이 그립핑 이송유닛(170a)에 의해 트레이(10)가 트레이 로딩부(120)에서 정렬상태 자동 검사부(140)를 거쳐 트레이 언로딩부(130)로 향할 때는 제1 트레이 그립핑 이송유닛(170a)이 높은 위치에서 이동되며, 제2 트레이 그립핑 이송유닛(170b)이 트레이 언로딩부(130)에서 트레이 로딩부(120)로 복위 이동할 때는 낮은 위치에서 이동된다.
이상 설명한 바와 같은 구조와 작용을 갖는 본 실시예에 따르면, 트레이(10)에 적재되는 반도체 디바이스(30)의 정렬상태를 검사하는 검사공정을 자동으로 진행할 수 있기 때문에 기존의 수작업보다 현저하게 빠른 검사 속도로 정확하고 효율적으로 검사공정을 진행할 수 있으며, 이로 인해 택트 타임을 감소시켜 생산성 향상을 도모할 수 있게 된다.
이와 같이 본 발명은 기재된 실시예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형할 수 있음은 이 기술의 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명하다. 따라서 그러한 수정예 또는 변형예들은 본 발명의 청구범위에 속한다 하여야 할 것이다.
10 : 트레이 20 : 셀 포켓
30 : 반도체 디바이스 110 : 장치 본체
120 : 트레이 로딩부 121 : 컨베이어
122 : 고정 스토퍼 핀 123 : 가동 스토퍼 핀
130 : 트레이 언로딩부 131 : 적재용 베이스
132 : 적재위치 가이드 핀 140 : 정렬상태 자동 검사부
141 : 검사용 탑재 브리지 151 : 라인 레이저 모듈
152 : 카메라 153 : 렌즈
154 : 동축 낙사조명 155 : 영상정보 판독부
156 : 정렬상태 불량 알림부 160 : 컨트롤러
170a,170b : 트레이 그립핑 이송유닛 171 : 유닛 프레임
172 : 그립퍼 181 : 제1 업/다운 구동부
182 : 제2 업/다운 구동부 183 : 공용 왕복 구동부

Claims (17)

  1. 장치 본체;
    상기 장치 본체의 일측에 마련되며, 셀 포켓(Cell Pocket)에 반도체 디바이스(semiconductor device)가 적재된 트레이(tray)가 로딩(loading)되는 트레이 로딩부;
    상기 장치 본체 상에서 상기 트레이 로딩부에 이웃되게 마련되며, 상기 트레이에 적재되는 상기 반도체 디바이스의 정렬상태를 자동으로 검사하는 정렬상태 자동 검사부; 및
    상기 장치 본체의 타측에 마련되며, 상기 정렬상태 자동 검사부를 통해 상기 반도체 디바이스의 정렬상태가 검사 완료된 트레이가 언로딩(unloading)되는 트레이 언로딩부를 포함하며,
    상기 정렬상태 자동 검사부는, 상기 트레이가 상기 트레이 로딩부에서 상기 트레이 언로딩부로 이송되는 중에 상기 트레이에 적재되는 상기 반도체 디바이스의 정렬상태를 실시간으로 검사하되 상기 트레이의 상부 양측에 배치되며, 해당 위치에서 상기 반도체 디바이스를 향해 일직선 형태의 라인 레이저(Line Laser)를 조사하는 다수의 라인 레이저 모듈을 포함하며,
    상기 다수의 라인 레이저 모듈은 상기 반도체 디바이스 상에 정상 라인패턴(Line Pattern) 또는 비정상 라인패턴(Line Pattern)이 형성되도록 소정의 경사각도를 가지고 상기 라인 레이저를 상기 반도체 디바이스로 조사하는 것을 특징으로 하는 반도체 디바이스 정렬상태 검사장치.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 삭제
  6. 제1항에 있어서,
    상기 반도체 디바이스를 사이에 두고 그 양측에서 상기 반도체 디바이스로 조사되는 라인 레이저의 경사각도가 동일한 것을 특징으로 하는 반도체 디바이스 정렬상태 검사장치.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 정렬상태 자동 검사부는,
    상기 트레이의 상부 영역에 배치되며, 상기 반도체 디바이스 상에 맺힌 상기 정상 라인패턴 또는 상기 비정상 라인패턴을 촬영하되 단부에 렌즈가 결합되는 카메라를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 디바이스 정렬상태 검사장치.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 정렬상태 자동 검사부는,
    상기 카메라에 의해 촬영된 상기 정상 라인패턴 또는 상기 비정상 라인패턴의 영상정보를 판독하는 영상정보 판독부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 디바이스 정렬상태 검사장치.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 정렬상태 자동 검사부는,
    상기 반도체 디바이스의 정렬상태가 불량임을 표시하는 정렬상태 불량 알림부; 및
    상기 카메라의 영상정보를 상기 영상정보 판독부로 전송하는 한편 상기 반도체 디바이스의 정렬상태가 자동 검사되고 그 결과가 표시되도록 상기 영상정보 판독부와 상기 정렬상태 불량 알림부를 컨트롤하는 컨트롤러를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 디바이스 정렬상태 검사장치.
  10. 제7항에 있어서,
    상기 정렬상태 자동 검사부는,
    상기 카메라의 렌즈와 상기 트레이 사이에 배치되는 동축 낙사조명(COEXIAL LIGHT)을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 디바이스 정렬상태 검사장치.
  11. 제7항에 있어서,
    상기 정렬상태 자동 검사부는,
    상기 장치 본체에 결합되며, 상기 다수의 라인 레이저 모듈과, 상기 카메라가 위치별로 탑재되는 검사용 탑재 브리지를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 디바이스 정렬상태 검사장치.
  12. 제1항에 있어서,
    상기 트레이 로딩부와 상기 트레이 언로딩부에 왕복 이동 가능하게 상기 트레이 로딩부와 상기 트레이 언로딩부 사이에 배치되며, 상기 트레이 로딩부 측의 트레이를 그립핑(gripping)한 후, 상기 정렬상태 자동 검사부를 경유해서 상기 트레이 언로딩부로 이송하는 트레이 그립핑 이송유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 디바이스 정렬상태 검사장치.
  13. 제9항에 있어서,
    상기 트레이 그립핑 이송유닛은 상기 트레이 로딩부와 상기 트레이 언로딩부로 상호 교차 이송되게 상기 트레이 로딩부와 상기 트레이 언로딩부 사이에 한 쌍으로 마련되는 한 쌍의 제1 및 제2 트레이 그립핑 이송유닛인 것을 특징으로 하는 반도체 디바이스 정렬상태 검사장치.
  14. 제13항에 있어서,
    상기 제1 트레이 그립핑 이송유닛과 연결되며, 상기 제1 트레이 그립핑 이송유닛을 업/다운(up/down) 구동시키는 제1 업/다운 구동부;
    상기 제2 트레이 그립핑 이송유닛과 연결되며, 상기 제2 트레이 그립핑 이송유닛을 업/다운(up/down) 구동시키는 제2 업/다운 구동부; 및
    상기 제1 및 제2 트레이 그립핑 이송유닛과 공용으로 연결되며, 상기 제1 및 제2 트레이 그립핑 이송유닛을 수평 방향으로 교차 왕복 구동시키는 공용 왕복 구동부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 디바이스 정렬상태 검사장치.
  15. 제12항에 있어서,
    상기 트레이 그립핑 이송유닛은,
    상기 트레이가 내부에 배치되도록 내부가 빈 공간을 이루는 유닛 프레임;
    상기 유닛 프레임의 둘레 방향을 따라 적어도 사각 구도로 배치되며, 상기 유닛 프레임에 대하여 상기 트레이를 그립핑하는 다수의 그립퍼; 및
    상기 유닛 프레임에 마련되며, 상기 다수의 그립퍼를 구동시키는 그립퍼 구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 디바이스 정렬상태 검사장치.
  16. 제1항에 있어서,
    상기 트레이 로딩부는,
    상기 트레이를 상기 정렬상태 자동 검사부 쪽으로 이송하는 컨베이어;
    상기 정렬상태 자동 검사부에 이웃된 상기 컨베이어의 전단부 영역에 고정되게 마련되며, 상기 컨베이어 상에서 이송되는 상기 트레이를 정지시키는 다수의 고정 스토퍼 핀; 및
    상기 고정 스토퍼 핀에 이격 배치되되 상기 트레이가 이송되는 방향에 교차되는 방향으로 동작 가능하며, 상기 고정 스토퍼 핀과 함께 상기 트레이의 로딩위치를 가이드하는 다수의 가동 스토퍼 핀을 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 디바이스 정렬상태 검사장치.
  17. 제16항에 있어서,
    상기 트레이 언로딩부는,
    상기 정렬상태 자동 검사부를 통해 상기 반도체 디바이스의 정렬상태가 검사 완료된 트레이가 적재되는 적재용 베이스; 및
    상기 적재용 베이스의 주변에 배치되며, 상기 트레이의 적재위치를 가이드하는 다수의 적재위치 가이드 핀을 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 디바이스 정렬상태 검사장치.
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