JPH11260846A - 導電ボールの実装装置および実装方法 - Google Patents
導電ボールの実装装置および実装方法Info
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- JPH11260846A JPH11260846A JP10057797A JP5779798A JPH11260846A JP H11260846 A JPH11260846 A JP H11260846A JP 10057797 A JP10057797 A JP 10057797A JP 5779798 A JP5779798 A JP 5779798A JP H11260846 A JPH11260846 A JP H11260846A
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- H01L22/00—Testing or measuring during manufacture or treatment; Reliability measurements, i.e. testing of parts without further processing to modify the parts as such; Structural arrangements therefor
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- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 オペレータの労働負担を軽減し、搭載ミスの
リペア作業を簡単・迅速に行うことができる導電ボール
の搭載装置および搭載方法を提供することを目的とす
る。 【解決手段】 搭載機で導電ボールが搭載されたワーク
は、検査機のカメラで検査される。ワークには導電ボー
ルの搭載エリアがマトリクス状に多数あり、カメラは各
々の搭載エリア毎に導電ボールの有無、位置ずれ、過多
などを検査する。検査機から送り出された不良ワークは
リペアステージで停止し、そこでオペレータはリペア作
業を行う。リペアステージにはモニタテレビがあり、そ
の画面には、ワークの搭載エリアＡｒ毎に、不良カテゴ
リーが表示され、オペレータはこの画面を見ながらリペ
ア作業を行う。
リペア作業を簡単・迅速に行うことができる導電ボール
の搭載装置および搭載方法を提供することを目的とす
る。 【解決手段】 搭載機で導電ボールが搭載されたワーク
は、検査機のカメラで検査される。ワークには導電ボー
ルの搭載エリアがマトリクス状に多数あり、カメラは各
々の搭載エリア毎に導電ボールの有無、位置ずれ、過多
などを検査する。検査機から送り出された不良ワークは
リペアステージで停止し、そこでオペレータはリペア作
業を行う。リペアステージにはモニタテレビがあり、そ
の画面には、ワークの搭載エリアＡｒ毎に、不良カテゴ
リーが表示され、オペレータはこの画面を見ながらリペ
ア作業を行う。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、基板やチップなど
のワークに半田ボールなどの導電ボールを実装する導電
ボールの実装装置および実装方法に関するものである。
のワークに半田ボールなどの導電ボールを実装する導電
ボールの実装装置および実装方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】基板やチップなどのワークのバンプは、
一般に、半田ボールなどの導電ボールにより形成され
る。導電ボールは、搭載機によりワークに搭載された
後、ワークはリフロー装置へ送られ、導電ボールはワー
クに固着されてバンプとなる。
一般に、半田ボールなどの導電ボールにより形成され
る。導電ボールは、搭載機によりワークに搭載された
後、ワークはリフロー装置へ送られ、導電ボールはワー
クに固着されてバンプとなる。
【０００３】搭載機は、多数個の導電ボールをワークに
一括して搭載するが、この場合、搭載ミスが生じやす
い。搭載ミスのカテゴリーとしては、導電ボールの無
し、位置ずれ、過多などがある。搭載ミスが生じたワー
クは不良品であり、ワークの製造ラインから除去せねば
ならない。そこで従来は、カメラなどの検査機で検査を
行ってワーク単位でＯＫ・ＮＧを判定していた。そして
この不良（ＮＧ）ワークについては、別のステージでオ
ペレータが顕微鏡などで導電ボールの搭載エリアを１つ
ずつ観察して搭載ミスの有無と、搭載ミスがあった場合
にはその搭載ミスのカテゴリー（導電ボールの無し、位
置ずれ、過多）を判断し、必要なリペア作業を行ってい
た。
一括して搭載するが、この場合、搭載ミスが生じやす
い。搭載ミスのカテゴリーとしては、導電ボールの無
し、位置ずれ、過多などがある。搭載ミスが生じたワー
クは不良品であり、ワークの製造ラインから除去せねば
ならない。そこで従来は、カメラなどの検査機で検査を
行ってワーク単位でＯＫ・ＮＧを判定していた。そして
この不良（ＮＧ）ワークについては、別のステージでオ
ペレータが顕微鏡などで導電ボールの搭載エリアを１つ
ずつ観察して搭載ミスの有無と、搭載ミスがあった場合
にはその搭載ミスのカテゴリー（導電ボールの無し、位
置ずれ、過多）を判断し、必要なリペア作業を行ってい
た。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上述したように従来の
検査機は、個々の搭載エリアの１つ１つについて搭載ミ
スの有無の判定は行わずに、ワーク単位でそのワークが
良品であるか不良品であるかだけを判定していた。そし
て不良ワークと判定されたものについては、オペレータ
が顕微鏡を用いてその不良ワークの導電ボールの搭載エ
リアを１つずつ精密に検分して、搭載ミスのあった搭載
エリアを特定するとともに、搭載ミスのカテゴリーの判
断を行い、リペア作業を行っていたものである。
検査機は、個々の搭載エリアの１つ１つについて搭載ミ
スの有無の判定は行わずに、ワーク単位でそのワークが
良品であるか不良品であるかだけを判定していた。そし
て不良ワークと判定されたものについては、オペレータ
が顕微鏡を用いてその不良ワークの導電ボールの搭載エ
リアを１つずつ精密に検分して、搭載ミスのあった搭載
エリアを特定するとともに、搭載ミスのカテゴリーの判
断を行い、リペア作業を行っていたものである。
【０００５】しかしながらこのような従来方法では、オ
ペレータは搭載ミスのあった搭載エリアの特定と、搭載
ミスのカテゴリーの判断を顕微鏡を見ながら行わねばな
らないため、オペレータの労働負担が甚だ大きく、また
作業能率もあがらないという問題点があった。
ペレータは搭載ミスのあった搭載エリアの特定と、搭載
ミスのカテゴリーの判断を顕微鏡を見ながら行わねばな
らないため、オペレータの労働負担が甚だ大きく、また
作業能率もあがらないという問題点があった。
【０００６】したがって本発明は、オペレータの労働負
担を軽減し、搭載ミスのリペア作業を簡単・迅速に行う
ことができる導電ボールの搭載装置および搭載方法を提
供することを目的とする。
担を軽減し、搭載ミスのリペア作業を簡単・迅速に行う
ことができる導電ボールの搭載装置および搭載方法を提
供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】請求項１記載の本発明
は、複数個の導電ボールをワークにマトリクス状に搭載
する搭載機と、導電ボールがワークに正しく搭載された
かどうかを光学的に検査する検査機と、導電ボールの搭
載ミスがあったワークに搭載ミスの修正を行うリペアス
テージとをワークの搬送路に沿って順に設け、前記検査
機が、マトリクス状に配置された個々の導電ボールの搭
載エリア毎に正常、異常の検査を行い、また前記リペア
ステージにモニタテレビを設け、このモニタテレビに前
記検査機の検査結果を映出し、このモニタテレビを見な
がらリペア作業を行うようにしたことを特徴とする導電
ボールの実装装置である。
は、複数個の導電ボールをワークにマトリクス状に搭載
する搭載機と、導電ボールがワークに正しく搭載された
かどうかを光学的に検査する検査機と、導電ボールの搭
載ミスがあったワークに搭載ミスの修正を行うリペアス
テージとをワークの搬送路に沿って順に設け、前記検査
機が、マトリクス状に配置された個々の導電ボールの搭
載エリア毎に正常、異常の検査を行い、また前記リペア
ステージにモニタテレビを設け、このモニタテレビに前
記検査機の検査結果を映出し、このモニタテレビを見な
がらリペア作業を行うようにしたことを特徴とする導電
ボールの実装装置である。
【０００８】請求項２記載の本発明は、請求項１記載の
発明において、前記リペアステージに、不良ワークを前
記搬送路から退去させる退去手段を設け、この退去手段
で不良ワークを搬送路から退去させてリペア作業を行う
ようにした。
発明において、前記リペアステージに、不良ワークを前
記搬送路から退去させる退去手段を設け、この退去手段
で不良ワークを搬送路から退去させてリペア作業を行う
ようにした。
【０００９】請求項３記載の本発明は、請求項１または
２記載の発明において、前記検査機が、前記搭載エリア
毎に導電ボールの無し、位置ずれ、過多を含む不良カテ
ゴリーを検出し、この検出結果を前記モニタテレビに映
出するようにした。
２記載の発明において、前記検査機が、前記搭載エリア
毎に導電ボールの無し、位置ずれ、過多を含む不良カテ
ゴリーを検出し、この検出結果を前記モニタテレビに映
出するようにした。
【００１０】請求項４記載の本発明は、ワークを搬送路
を搬送しながら、搭載機によりワークに複数個の導電ボ
ールをマトリクス状に搭載する工程と、この搭載機から
送り出されたワークを検査機により光学的に観察して、
個々の導電ボールの搭載エリア毎に正常、異常の検査を
行う工程と、検査機から送り出された不良ワークをリペ
アステージで一旦停止させ、そこで退去手段により不良
ワークを搬送路から退去させ、またリペアステージに設
けられたモニタテレビに前記検査機の検査結果を映出
し、このモニタテレビを見ながらリペア作業を行う工程
と、を含むことを特徴とする導電ボールの実装方法であ
る。
を搬送しながら、搭載機によりワークに複数個の導電ボ
ールをマトリクス状に搭載する工程と、この搭載機から
送り出されたワークを検査機により光学的に観察して、
個々の導電ボールの搭載エリア毎に正常、異常の検査を
行う工程と、検査機から送り出された不良ワークをリペ
アステージで一旦停止させ、そこで退去手段により不良
ワークを搬送路から退去させ、またリペアステージに設
けられたモニタテレビに前記検査機の検査結果を映出
し、このモニタテレビを見ながらリペア作業を行う工程
と、を含むことを特徴とする導電ボールの実装方法であ
る。
【００１１】請求項５記載の本発明は、請求項４記載の
発明において、前記検査機が、前記搭載エリア毎に導電
ボールの無し、位置ずれ、過多を含む不良カテゴリーを
検出し、この検出結果を前記モニタテレビに映出するよ
うにした。
発明において、前記検査機が、前記搭載エリア毎に導電
ボールの無し、位置ずれ、過多を含む不良カテゴリーを
検出し、この検出結果を前記モニタテレビに映出するよ
うにした。
【００１２】上記構成の各発明によれば、オペレータは
リペアステージに設けられたモニタテレビの画面を見な
がら、リペア作業を行うことができる。この場合、モニ
タテレビの画面には、マトリクス状に配置された個々の
搭載エリア毎に、搭載ミスの有無と搭載ミスのカテゴリ
ーが映出されるので、オペレータは従来のように顕微鏡
でワークを観察する必要はなく、オペレータはリペア作
業を簡単・迅速に行うことができる。
リペアステージに設けられたモニタテレビの画面を見な
がら、リペア作業を行うことができる。この場合、モニ
タテレビの画面には、マトリクス状に配置された個々の
搭載エリア毎に、搭載ミスの有無と搭載ミスのカテゴリ
ーが映出されるので、オペレータは従来のように顕微鏡
でワークを観察する必要はなく、オペレータはリペア作
業を簡単・迅速に行うことができる。
【００１３】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
を参照して説明する。図１は本発明の一実施の形態の導
電ボールの実装装置の斜視図、図２は同導電ボールの実
装装置の制御系のブロック図、図３は同カテゴリー別の
搭載ミスの画像図、図４は同モニタテレビの画面図、図
５は同導電ボールの実装装置のリペアステージの側面
図、図６および図７は同導電ボールの検査のフローチャ
ートである。
を参照して説明する。図１は本発明の一実施の形態の導
電ボールの実装装置の斜視図、図２は同導電ボールの実
装装置の制御系のブロック図、図３は同カテゴリー別の
搭載ミスの画像図、図４は同モニタテレビの画面図、図
５は同導電ボールの実装装置のリペアステージの側面
図、図６および図７は同導電ボールの検査のフローチャ
ートである。
【００１４】まず、図１を参照して導電ボールの実装装
置の全体構造を説明する。１はワークであり、レールか
ら成る搬送路３を右方へ搬送される。搬送路３には、導
電ボール２の搭載機１０、検査機２０、リペアステージ
３０、リペア機４０が上流から下流へ順に配設されてい
る。
置の全体構造を説明する。１はワークであり、レールか
ら成る搬送路３を右方へ搬送される。搬送路３には、導
電ボール２の搭載機１０、検査機２０、リペアステージ
３０、リペア機４０が上流から下流へ順に配設されてい
る。
【００１５】搭載機１０は、可動テーブル１１と、可動
テーブル１１に装着されたヘッド１２を備えている。Ｍ
Ｙ１は可動テーブル１１の駆動用モータである。ヘッド
１２は可動テーブル１１に駆動されてＹ方向へ移動し、
導電ボール２の供給部１３に備えられた導電ボール２を
その下面にマトリクス状に多数開孔された吸着孔（図示
せず）に真空吸着してピックアップし、次にフラックス
塗布部１４の上方へ移動して導電ボール２の下面にフラ
ックス１５を付着させ、次いで搬送路３上のワーク１の
上方へ移動して、ワーク１に導電ボール２を搭載する。
なお本発明では、搬送路３によるワーク１の搬送方向を
Ｘ方向、これに直交する方向をＹ方向とする。
テーブル１１に装着されたヘッド１２を備えている。Ｍ
Ｙ１は可動テーブル１１の駆動用モータである。ヘッド
１２は可動テーブル１１に駆動されてＹ方向へ移動し、
導電ボール２の供給部１３に備えられた導電ボール２を
その下面にマトリクス状に多数開孔された吸着孔（図示
せず）に真空吸着してピックアップし、次にフラックス
塗布部１４の上方へ移動して導電ボール２の下面にフラ
ックス１５を付着させ、次いで搬送路３上のワーク１の
上方へ移動して、ワーク１に導電ボール２を搭載する。
なお本発明では、搬送路３によるワーク１の搬送方向を
Ｘ方向、これに直交する方向をＹ方向とする。
【００１６】検査機２０は、Ｘテーブル２１とＹテーブ
ル２２から成る可動テーブルを備えている。ＭＸ２はＸ
テーブル２１の駆動用モータ、ＭＹ２はＹテーブル２２
の駆動用モータである。Ｙテーブル２２には、光学的検
査手段としてカメラ２３が装着されている。光学的検査
手段としては、カメラ２３以外にも、リニアセンサなど
を用いることもできる。
ル２２から成る可動テーブルを備えている。ＭＸ２はＸ
テーブル２１の駆動用モータ、ＭＹ２はＹテーブル２２
の駆動用モータである。Ｙテーブル２２には、光学的検
査手段としてカメラ２３が装着されている。光学的検査
手段としては、カメラ２３以外にも、リニアセンサなど
を用いることもできる。
【００１７】リペアステージ３０には、ワーク１の退去
手段３１が設けられている。図１および図５において、
退去手段３１は、シリンダ３２と、シリンダ３２のロッ
ド３２ａの上端部に結合された台板３３と、台板３３に
設けられた補助レール３４と、補助レール３４に連結部
材３５で連結された本レール３６から成っている。すな
わち、補助レール３４と本レール３６は上下方向に高低
差のある多段レールとなっている。なお図１では、退去
手段３１は簡略に作図している。
手段３１が設けられている。図１および図５において、
退去手段３１は、シリンダ３２と、シリンダ３２のロッ
ド３２ａの上端部に結合された台板３３と、台板３３に
設けられた補助レール３４と、補助レール３４に連結部
材３５で連結された本レール３６から成っている。すな
わち、補助レール３４と本レール３６は上下方向に高低
差のある多段レールとなっている。なお図１では、退去
手段３１は簡略に作図している。
【００１８】図５において実線で示すように、シリンダ
３２のロッド３２ａが引き込んだ状態では、本レール３
６は搬送路３と同一レベルにあって搬送路３に接続し、
ワーク１は本レール３６上を搬送される。ロッド３２ａ
が上方へ突出すると、本レール３６は搬送路３の上方へ
退去し（鎖線で示す本レール３６を参照）、補助レール
３４が搬送路３と同一レベルになる。後述するように、
不良ワーク１が搬送路３から本レール３６上まで搬送さ
れてくると、シリンダ３２のロッド３２ａは突出して本
レール３６は上昇し、本レール３６上の不良ワーク１は
搬送路３から上方へ退去する（図５において、鎖線で示
す本レール３６を参照）。そこでオペレータは不良ワー
ク１のリペア（補修）作業を行う。その間、良品のワー
ク１は、搬送路３に連続する補助レール３４上を下流へ
向って搬送される。なお図１において、退去手段３１は
簡略に示している。
３２のロッド３２ａが引き込んだ状態では、本レール３
６は搬送路３と同一レベルにあって搬送路３に接続し、
ワーク１は本レール３６上を搬送される。ロッド３２ａ
が上方へ突出すると、本レール３６は搬送路３の上方へ
退去し（鎖線で示す本レール３６を参照）、補助レール
３４が搬送路３と同一レベルになる。後述するように、
不良ワーク１が搬送路３から本レール３６上まで搬送さ
れてくると、シリンダ３２のロッド３２ａは突出して本
レール３６は上昇し、本レール３６上の不良ワーク１は
搬送路３から上方へ退去する（図５において、鎖線で示
す本レール３６を参照）。そこでオペレータは不良ワー
ク１のリペア（補修）作業を行う。その間、良品のワー
ク１は、搬送路３に連続する補助レール３４上を下流へ
向って搬送される。なお図１において、退去手段３１は
簡略に示している。
【００１９】図５において、リペアステージ３０には顕
微鏡３７が設けられている。顕微鏡３７は可動テーブル
３８に装着されており、オペレータは顕微鏡３７をＸ方
向やＹ方向へ移動させながら不良ワーク１を観察し、そ
のリペア（補修）を行う。またリペアステージ３０には
モニタテレビ３９が設置されている（図１）。モニタテ
レビ３９には、検査機２０による検査結果が映出され
る。
微鏡３７が設けられている。顕微鏡３７は可動テーブル
３８に装着されており、オペレータは顕微鏡３７をＸ方
向やＹ方向へ移動させながら不良ワーク１を観察し、そ
のリペア（補修）を行う。またリペアステージ３０には
モニタテレビ３９が設置されている（図１）。モニタテ
レビ３９には、検査機２０による検査結果が映出され
る。
【００２０】図１において、リペア機４０は、Ｘテーブ
ル４１と、Ｙテーブル４２から成る可動テーブルを備え
ている。ＭＸ３，ＭＹ３はそれぞれの駆動用モータであ
る。Ｙテーブル４２にはリペア用のヘッド４３が装着さ
れている。Ｘテーブル４１とＹテーブル４２が駆動する
ことにより、ヘッド４３はＸ方向やＹ方向へ水平移動す
る。ヘッド４３は、導電ボール２の供給部４４に備えら
れた導電ボール２を１個真空吸着してピックアップし、
フラックス塗布部４５で導電ボール２の下面にフラック
スを付着させ、ワーク１の不良箇所に搭載する。
ル４１と、Ｙテーブル４２から成る可動テーブルを備え
ている。ＭＸ３，ＭＹ３はそれぞれの駆動用モータであ
る。Ｙテーブル４２にはリペア用のヘッド４３が装着さ
れている。Ｘテーブル４１とＹテーブル４２が駆動する
ことにより、ヘッド４３はＸ方向やＹ方向へ水平移動す
る。ヘッド４３は、導電ボール２の供給部４４に備えら
れた導電ボール２を１個真空吸着してピックアップし、
フラックス塗布部４５で導電ボール２の下面にフラック
スを付着させ、ワーク１の不良箇所に搭載する。
【００２１】次に、図２を参照して制御系について説明
する。５０はバスであり、以下に述べる要素が接続され
ている。５１は全体制御などを行うＣＰＵであり、パー
ソナルコンピュータ５２を介してモニタテレビ３９が接
続されている。カメラ２３は認識部５３を介してバス５
０に接続されている。また図１に示す各モータＭＹ１，
ＭＸ２，ＭＹ２，ＭＸ３，ＭＹ３はモータドライバ５４
を介してバス５０に接続されている。またシリンダ３２
（図５）はシリンダドライバ５５を介してバス５０に接
続されている。５６は検査プログラム記憶部、５７は実
装データ記憶部、５８は検査基準データ記憶部、５９は
検査結果記憶部、６０は良・不良をオペレータに知らせ
る報知素子としてのブザーである。なお図５に示す可動
テーブル３８の駆動部などは省略している。
する。５０はバスであり、以下に述べる要素が接続され
ている。５１は全体制御などを行うＣＰＵであり、パー
ソナルコンピュータ５２を介してモニタテレビ３９が接
続されている。カメラ２３は認識部５３を介してバス５
０に接続されている。また図１に示す各モータＭＹ１，
ＭＸ２，ＭＹ２，ＭＸ３，ＭＹ３はモータドライバ５４
を介してバス５０に接続されている。またシリンダ３２
（図５）はシリンダドライバ５５を介してバス５０に接
続されている。５６は検査プログラム記憶部、５７は実
装データ記憶部、５８は検査基準データ記憶部、５９は
検査結果記憶部、６０は良・不良をオペレータに知らせ
る報知素子としてのブザーである。なお図５に示す可動
テーブル３８の駆動部などは省略している。
【００２２】図３は、カメラ２３に取り込まれたワーク
１の画像を示している。ワーク１には搭載エリアＡｒが
マトリクス状に多数あり、各々の搭載エリアＡｒの中央
に導電ボール２は１個ずつ搭載されるが、カメラ２３は
各々の搭載エリア毎に画像を取り込む。本例の画像は、
明暗の２値画像であり、導電ボール２は暗い背景の中に
明るく観察される。
１の画像を示している。ワーク１には搭載エリアＡｒが
マトリクス状に多数あり、各々の搭載エリアＡｒの中央
に導電ボール２は１個ずつ搭載されるが、カメラ２３は
各々の搭載エリア毎に画像を取り込む。本例の画像は、
明暗の２値画像であり、導電ボール２は暗い背景の中に
明るく観察される。
【００２３】図３（ａ）の導電ボール２は搭載エリアＡ
ｒの中央に位置しており、正常（ＯＫ）である。図３
（ｂ）の導電性ボール２は搭載エリアＡｒの中央から大
きく位置ずれしており不良（ＮＧ）である。図３（ｃ）
は搭載エリアＡｒに複数の導電ボール２があり、ボール
過多の不良である。また図３（ｄ）は搭載エリアＡｒに
導電ボール２は無く不良である。導電ボール２の位置ず
れ量の許容値などのデータは検査基準データ記憶部５８
に登録されている。
ｒの中央に位置しており、正常（ＯＫ）である。図３
（ｂ）の導電性ボール２は搭載エリアＡｒの中央から大
きく位置ずれしており不良（ＮＧ）である。図３（ｃ）
は搭載エリアＡｒに複数の導電ボール２があり、ボール
過多の不良である。また図３（ｄ）は搭載エリアＡｒに
導電ボール２は無く不良である。導電ボール２の位置ず
れ量の許容値などのデータは検査基準データ記憶部５８
に登録されている。
【００２４】図４は、モニタテレビ３９の画面図であ
る。本例では、ワーク１はヨコ７個（Ａ〜Ｇ）、タテ７
個（０１〜０７）の合計４９個のマトリクス状の搭載エ
リアＡｒに分割されている。図中、中央の×印を付した
３×３＝９個の搭載エリアＡｒは導電ボール２は搭載さ
れない非搭載エリアであり、残りの４０個の搭載エリア
Ａｒにそれぞれ１個ずつ導電ボール２が搭載される。４
９個の搭載エリアＡｒのうちのどの搭載エリアＡｒに導
電ボール２を搭載するかは、実装データ記憶部５７に登
録される。
る。本例では、ワーク１はヨコ７個（Ａ〜Ｇ）、タテ７
個（０１〜０７）の合計４９個のマトリクス状の搭載エ
リアＡｒに分割されている。図中、中央の×印を付した
３×３＝９個の搭載エリアＡｒは導電ボール２は搭載さ
れない非搭載エリアであり、残りの４０個の搭載エリア
Ａｒにそれぞれ１個ずつ導電ボール２が搭載される。４
９個の搭載エリアＡｒのうちのどの搭載エリアＡｒに導
電ボール２を搭載するかは、実装データ記憶部５７に登
録される。
【００２５】図４は、各々の搭載エリアＡｒ毎に、正
常、非搭載、ボール無し、位置ずれ、ボール過多をハッ
チングを付すなどして区別している。勿論、この区別は
画面の色などで行うこともできる。図４に示す検査結果
のデータは、検査結果記憶部５９に登録される。
常、非搭載、ボール無し、位置ずれ、ボール過多をハッ
チングを付すなどして区別している。勿論、この区別は
画面の色などで行うこともできる。図４に示す検査結果
のデータは、検査結果記憶部５９に登録される。
【００２６】この導電ボールの実装装置は上記のような
構成より成り、次に導電ボールの搭載方法を説明する。
まず、ワーク１を搭載機１０に搬入し、供給部１３の導
電ボール２をヘッド１２でワーク１に搭載する。ヘッド
１２は、多数個の導電ボール２を一括してワーク１の各
搭載エリアＡｒに搭載する。
構成より成り、次に導電ボールの搭載方法を説明する。
まず、ワーク１を搭載機１０に搬入し、供給部１３の導
電ボール２をヘッド１２でワーク１に搭載する。ヘッド
１２は、多数個の導電ボール２を一括してワーク１の各
搭載エリアＡｒに搭載する。
【００２７】以下の動作は、図６および図７のフローチ
ャートを参照して説明する。導電ボール２が搭載された
ワーク１は、検査機２０の検査エリアに搬入される（ス
テップ１）。そこでカメラ２３は検査基準位置を検出す
る（ステップ２）。検査基準位置の検出としては、ワー
ク１上の何れかの搭載エリア（例えば、図４において左
上角のＡ−０１の搭載エリアＡｒ）が用いられる。
ャートを参照して説明する。導電ボール２が搭載された
ワーク１は、検査機２０の検査エリアに搬入される（ス
テップ１）。そこでカメラ２３は検査基準位置を検出す
る（ステップ２）。検査基準位置の検出としては、ワー
ク１上の何れかの搭載エリア（例えば、図４において左
上角のＡ−０１の搭載エリアＡｒ）が用いられる。
【００２８】次に、カメラ２３による検査が開始され
る。まずステップ３において、搭載エリアかどうかが判
定される。これは、図４に示す４９個の搭載エリアＡｒ
について、導電ボール２が搭載される搭載エリアか、あ
るいは非搭載エリア（図４の例では中央の×印の９個の
搭載エリア）かを判定するものである。そしてＮｏ（非
搭載エリア）ならば、検査対象ではないので、ステップ
１４へ移行する。
る。まずステップ３において、搭載エリアかどうかが判
定される。これは、図４に示す４９個の搭載エリアＡｒ
について、導電ボール２が搭載される搭載エリアか、あ
るいは非搭載エリア（図４の例では中央の×印の９個の
搭載エリア）かを判定するものである。そしてＮｏ（非
搭載エリア）ならば、検査対象ではないので、ステップ
１４へ移行する。
【００２９】ステップ３でＹｅｓならば、ステップ４へ
移行し、カメラ３４で搭載エリアＡｒをスキャンニング
し、その画像を取り込む（ステップ５）。取り込まれた
画像はＣＰＵ５１に登録される。図３（ａ）〜（ｄ）は
取り込まれた画像データを示している。次に取り込まれ
た画像データに基づいて、図３（ａ）〜（ｄ）の何れの
カテゴリーかをＣＰＵ５１で判定する（ステップ６，
７，８，９）。このステップ６〜９の判定は、周知画像
処理技術で行うことができる。例えばステップ６のボー
ル有りは、搭載エリアＡｒ内の明るい画素の部分から判
定できる。またステップ７のボール位置ずれは明るい部
分のセンターの位置から判定できる。またステップ８の
ボール過多は、明るい部分の広さがスレッシュ値以上で
あるかどうかで判定できる。この判定はステップ１１，
１２，１３で行う。そして検査結果は検査結果記憶部５
９に登録される。
移行し、カメラ３４で搭載エリアＡｒをスキャンニング
し、その画像を取り込む（ステップ５）。取り込まれた
画像はＣＰＵ５１に登録される。図３（ａ）〜（ｄ）は
取り込まれた画像データを示している。次に取り込まれ
た画像データに基づいて、図３（ａ）〜（ｄ）の何れの
カテゴリーかをＣＰＵ５１で判定する（ステップ６，
７，８，９）。このステップ６〜９の判定は、周知画像
処理技術で行うことができる。例えばステップ６のボー
ル有りは、搭載エリアＡｒ内の明るい画素の部分から判
定できる。またステップ７のボール位置ずれは明るい部
分のセンターの位置から判定できる。またステップ８の
ボール過多は、明るい部分の広さがスレッシュ値以上で
あるかどうかで判定できる。この判定はステップ１１，
１２，１３で行う。そして検査結果は検査結果記憶部５
９に登録される。
【００３０】上記検査は、各々の搭載エリアＡｒの１つ
ずつについて個別に行われ（ステップ１４）、次検査位
置が無ければ、そのワーク１の検査は終了し、ワーク１
はリペアステージ３０の本レール３６上へ送られる（図
７のステップ１５）。そこでワーク１はＮＧ（不良ワー
ク）かどうかが判断され（ステップ１６）、Ｎｏならば
ワーク１はそのままリペアステージ３０を素通りし、下
流のストッカー（図示せず）へ向って搬出される。ステ
ップ１６でＹｅｓならば、ブザー６０を駆動してオペレ
ータにその旨知らせるとともに、シリンダ３２のロッド
３２ａが突出して本レール３６を上昇させ、ワーク１を
搬送路３から上方へ退去させる。またこれとともに検査
結果記憶部５９からパーソナルコンピュータ５２に検査
結果が送信され（ステップ１７）、パーソナルコンピュ
ータ５２で画像処理を行い（ステップ１８）、検査結果
をモニタテレビ３９に表示する（ステップ１９）。図４
はこの表示画面を示している。
ずつについて個別に行われ（ステップ１４）、次検査位
置が無ければ、そのワーク１の検査は終了し、ワーク１
はリペアステージ３０の本レール３６上へ送られる（図
７のステップ１５）。そこでワーク１はＮＧ（不良ワー
ク）かどうかが判断され（ステップ１６）、Ｎｏならば
ワーク１はそのままリペアステージ３０を素通りし、下
流のストッカー（図示せず）へ向って搬出される。ステ
ップ１６でＹｅｓならば、ブザー６０を駆動してオペレ
ータにその旨知らせるとともに、シリンダ３２のロッド
３２ａが突出して本レール３６を上昇させ、ワーク１を
搬送路３から上方へ退去させる。またこれとともに検査
結果記憶部５９からパーソナルコンピュータ５２に検査
結果が送信され（ステップ１７）、パーソナルコンピュ
ータ５２で画像処理を行い（ステップ１８）、検査結果
をモニタテレビ３９に表示する（ステップ１９）。図４
はこの表示画面を示している。
【００３１】そこでオペレータは、治具を用いてリペア
作業を手作業で行う。この場合、オペレータは、モニタ
テレビ３９の画面を見れば、マトリクス状の４９個の搭
載エリアＡｒの中のどの搭載エリアＡｒにどのような搭
載ミスがあるかを一目見て容易に識別できる。例えば図
４に示す例では、Ｅ−０１の導電ボール２は位置ずれ、
Ｂ−０４の導電ボール２は無し、Ｇ−０７の導電ボール
２は過多である。そこでオペレータはピンやピンセット
などの治具を用い顕微鏡３７でワーク１を見ながらリペ
ア作業を行う。
作業を手作業で行う。この場合、オペレータは、モニタ
テレビ３９の画面を見れば、マトリクス状の４９個の搭
載エリアＡｒの中のどの搭載エリアＡｒにどのような搭
載ミスがあるかを一目見て容易に識別できる。例えば図
４に示す例では、Ｅ−０１の導電ボール２は位置ずれ、
Ｂ−０４の導電ボール２は無し、Ｇ−０７の導電ボール
２は過多である。そこでオペレータはピンやピンセット
などの治具を用い顕微鏡３７でワーク１を見ながらリペ
ア作業を行う。
【００３２】このリペア作業中には、補助レール３４が
搬送路３と同一レベルにあり、後続の良品のワーク１は
補助レール３４を通って下流へ搬送される。そしてリペ
ア作業が終了したならば、手動ボタン（図示せず）を操
作してシリンダ３２のロッド３２ａを引き込ませ、本レ
ール３６を搬送路３と同一レベルにして下流へ搬出す
る。
搬送路３と同一レベルにあり、後続の良品のワーク１は
補助レール３４を通って下流へ搬送される。そしてリペ
ア作業が終了したならば、手動ボタン（図示せず）を操
作してシリンダ３２のロッド３２ａを引き込ませ、本レ
ール３６を搬送路３と同一レベルにして下流へ搬出す
る。
【００３３】なお図３（ｄ）に示す導電ボール無しの場
合、この搭載エリアＡｒへの導電ボール２のリペア（搭
載）は、リペアステージ３０でオペレータが行わずに、
次のリペア機４０で自動的に行ってもよい。すなわちオ
ペレータは必ずしもすべてのリペア作業を行う必要はな
く、リペア機４０などを用いて自動的に行ってもよいも
のである。
合、この搭載エリアＡｒへの導電ボール２のリペア（搭
載）は、リペアステージ３０でオペレータが行わずに、
次のリペア機４０で自動的に行ってもよい。すなわちオ
ペレータは必ずしもすべてのリペア作業を行う必要はな
く、リペア機４０などを用いて自動的に行ってもよいも
のである。
【００３４】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、オ
ペレータはリペアステージに設けられたモニタテレビの
画面を見ながら、リペア作業を行うことができる。この
場合、モニタテレビの画面には、マトリクス状に配置さ
れた個々の搭載エリア毎に、搭載ミスの有無と搭載ミス
のカテゴリーが映出されるので、オペレータは従来のよ
うに顕微鏡でワークを観察する必要はなく、オペレータ
はリペア作業を簡単・迅速に行うことができる。
ペレータはリペアステージに設けられたモニタテレビの
画面を見ながら、リペア作業を行うことができる。この
場合、モニタテレビの画面には、マトリクス状に配置さ
れた個々の搭載エリア毎に、搭載ミスの有無と搭載ミス
のカテゴリーが映出されるので、オペレータは従来のよ
うに顕微鏡でワークを観察する必要はなく、オペレータ
はリペア作業を簡単・迅速に行うことができる。
【図１】本発明の一実施の形態の導電ボールの実装装置
の斜視図
の斜視図
【図２】本発明の一実施の形態の導電ボールの実装装置
の制御系のブロック図
の制御系のブロック図
【図３】本発明の一実施の形態のカテゴリー別の搭載ミ
スの画像図
スの画像図
【図４】本発明の一実施の形態のモニタテレビの画面図
【図５】本発明の一実施の形態の導電ボールの実装装置
のリペアステージの側面図
のリペアステージの側面図
【図６】本発明の一実施の形態の導電ボールの検査のフ
ローチャート
ローチャート
【図７】本発明の一実施の形態の導電ボールの検査のフ
ローチャート
ローチャート
１ ワーク ２ 導電ボール ３ 搬送路 １０ 搭載機 ２０ 検査機 ２３ カメラ ３０ リペアステージ ３１ 退去手段 ３４ 補助レール ３６ 本レール ３９ モニタテレビ
Claims (5)
- 【請求項１】複数個の導電ボールをワークにマトリクス
状に搭載する搭載機と、導電ボールがワークに正しく搭
載されたかどうかを光学的に検査する検査機と、導電ボ
ールの搭載ミスがあったワークに搭載ミスの修正を行う
リペアステージとをワークの搬送路に沿って順に設け、
前記検査機が、マトリクス状に配置された個々の導電ボ
ールの搭載エリア毎に正常、異常の検査を行い、また前
記リペアステージにモニタテレビを設け、このモニタテ
レビに前記検査機の検査結果を映出し、このモニタテレ
ビを見ながらリペア作業を行うようにしたことを特徴と
する導電ボールの実装装置。 - 【請求項２】前記リペアステージに、不良ワークを前記
搬送路から退去させる退去手段を設け、この退去手段で
不良ワークを搬送路から退去させてリペア作業を行うこ
とを特徴とする請求項１記載の導電ボールの実装装置。 - 【請求項３】前記検査機が、前記搭載エリア毎に導電ボ
ールの無し、位置ずれ、過多を含む不良カテゴリーを検
出し、この検出結果を前記モニタテレビに映出すること
を特徴とする請求項１または２記載の導電ボールの実装
装置。 - 【請求項４】ワークを搬送路を搬送しながら、搭載機に
よりワークに複数個の導電ボールをマトリクス状に搭載
する工程と、この搭載機から送り出されたワークを検査
機により光学的に観察して、個々の導電ボールの搭載エ
リア毎に正常、異常の検査を行う工程と、検査機から送
り出された不良ワークをリペアステージで一旦停止さ
せ、そこで退去手段により不良ワークを搬送路から退去
させ、またリペアステージに設けられたモニタテレビに
前記検査機の検査結果を映出し、このモニタテレビを見
ながらリペア作業を行う工程と、を含むことを特徴とす
る導電ボールの実装方法。 - 【請求項５】前記検査機が、前記搭載エリア毎に導電ボ
ールの無し、位置ずれ、過多を含む不良カテゴリーを検
出し、この検出結果を前記モニタテレビに映出すること
を特徴とする請求項４記載の導電ボールの実装方法。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP05779798A JP3405175B2 (ja) | 1998-03-10 | 1998-03-10 | 導電ボールの実装装置および実装方法 |
| US09/258,899 US6119337A (en) | 1998-03-10 | 1999-03-01 | Method of mounting conductive balls |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP05779798A JP3405175B2 (ja) | 1998-03-10 | 1998-03-10 | 導電ボールの実装装置および実装方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11260846A true JPH11260846A (ja) | 1999-09-24 |
| JP3405175B2 JP3405175B2 (ja) | 2003-05-12 |
Family
ID=13065901
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP05779798A Expired - Fee Related JP3405175B2 (ja) | 1998-03-10 | 1998-03-10 | 導電ボールの実装装置および実装方法 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6119337A (ja) |
| JP (1) | JP3405175B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008066519A (ja) * | 2006-09-07 | 2008-03-21 | Yamaha Motor Co Ltd | 基板搬送装置 |
| JP2010010565A (ja) * | 2008-06-30 | 2010-01-14 | Hitachi Plant Technologies Ltd | ハンダボール検査リペア装置およびハンダボール検査リペア方法 |
| JP2011249409A (ja) * | 2010-05-24 | 2011-12-08 | Hitachi Plant Technologies Ltd | マイクロバンプ形成装置 |
| JP2020092220A (ja) * | 2018-12-07 | 2020-06-11 | アスリートＦａ株式会社 | 導電性ボール検査リペア装置 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6536105B1 (en) * | 1999-03-16 | 2003-03-25 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Method for mounting conductive balls on a substrate |
| SG97164A1 (en) * | 2000-09-21 | 2003-07-18 | Micron Technology Inc | Individual selective rework of defective bga solder balls |
| JP4046030B2 (ja) * | 2002-08-30 | 2008-02-13 | 株式会社村田製作所 | 部品装着方法および部品装着装置 |
| JP4822105B2 (ja) * | 2005-11-30 | 2011-11-24 | 澁谷工業株式会社 | 導電性ボールの配列装置 |
| TW201307832A (zh) * | 2011-08-01 | 2013-02-16 | Hon Hai Prec Ind Co Ltd | 模仁成型面檢測方法 |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4247203A (en) * | 1978-04-03 | 1981-01-27 | Kla Instrument Corporation | Automatic photomask inspection system and apparatus |
| US5097492A (en) * | 1987-10-30 | 1992-03-17 | Four Pi Systems Corporation | Automated laminography system for inspection of electronics |
| US5108024A (en) * | 1991-06-03 | 1992-04-28 | Motorola, Inc. | Method of inspecting solder joints |
| EP0638801B1 (en) * | 1993-08-12 | 1998-12-23 | International Business Machines Corporation | Method of inspecting the array of balls of an integrated circuit module |
| JPH0922929A (ja) * | 1995-07-04 | 1997-01-21 | Ricoh Co Ltd | Ｂｇａパッケージ半導体素子及びその検査方法 |
-
1998
- 1998-03-10 JP JP05779798A patent/JP3405175B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1999
- 1999-03-01 US US09/258,899 patent/US6119337A/en not_active Expired - Lifetime
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| JP2008066519A (ja) * | 2006-09-07 | 2008-03-21 | Yamaha Motor Co Ltd | 基板搬送装置 |
| JP2010010565A (ja) * | 2008-06-30 | 2010-01-14 | Hitachi Plant Technologies Ltd | ハンダボール検査リペア装置およびハンダボール検査リペア方法 |
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| JP2020092220A (ja) * | 2018-12-07 | 2020-06-11 | アスリートＦａ株式会社 | 導電性ボール検査リペア装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US6119337A (en) | 2000-09-19 |
| JP3405175B2 (ja) | 2003-05-12 |
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| JP2009016499A5 (ja) |
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