JP2020092220A - 導電性ボール検査リペア装置 - Google Patents
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Abstract
Description
以下、この実施形態にかかる導電性ボール検査リペア装置の構成について説明する。なお、この実施形態にかかる導電性ボール検査リペア装置については、特許文献1を参照しても良い。
図1〜図4に示すように、ワークWは、この例では、ウェハーである。ワークWは、単結晶シリコンからなり、薄い円板形状をなす。ワークWの一面には、複数個の四角形の集積回路チップCが、形成され、かつ、縦横に配置されている。集積回路チップCの個数は、ワークWの径(直径)に基づいて決定される。ワークWの直径は、たとえば、50mmから300mmである。また、ワークWの厚さは、たとえば、0.5mmから1mmである。一方、集積回路チップCの1辺の長さは、たとえば、30mmである。
図6は、導電性ボール実装装置がワークWに導電性ボールBを実装した、状態を示す。すなわち、図6(A)は、導電性ボールBがワークWの電極Eに正常に実装されている状態(正常ボール状態)を示す。図6(B)は、導電性ボールBがワークWの電極Eに正常に実装されていない状態であって、導電性ボールBがワークWの電極Eに搭載されていない状態すなわち導電性ボールBが無い状態(ミッシングボール状態)を示す。図6(C)は、導電性ボールBがワークWの電極Eに正常に実装されていない状態であって、導電性ボールBがワークWの電極Eから外れた位置に位置している状態(シフトボール状態)を示す。図6(D)は、導電性ボールBがワークWの電極Eに正常に実装されていない状態であって、余分(余計)な導電性ボールB1がワークWに搭載されている状態(余剰ボール状態)を示す。
導電性ボール検査リペア装置1は、導電性ボール実装装置がワークWに導電性ボールBを実装した後に、導電性ボールBがワークWの電極Eに正常に実装されているか否かを、検査する。また、導電性ボール検査リペア装置1は、導電性ボールBがワークWの電極Eに正常に実装されていない場合に、導電性ボールBがワークWの電極Eに正常に実装されるように、修正する。
図1〜図4に示すように、ステージ搬送部7は、架台10の上面であって、支持部材11の前側かつ搬送ロボット15の右側に配置されている。ステージ搬送部7は、ステージ14を、水平方向であって相互に直交するX方向とY方向とに、それぞれ搬送する。ステージ搬送部7は、X方向固定部(X方向ガイド部)70Xと、X方向移動部71Xと、X方向駆動部と、Y方向固定部(Y方向ガイド部)70Yと、Y方向移動部71Yと、Y方向駆動部と、からなる。
図2に示すように、検査部搬送部20Z、21Zは、検査装置2の検査部としての主検査部20、ベリファイ用検査部21(以下、「検査部の各部20、21」と称する)を、それぞれ、X方向およびY方向に対して直交する鉛直方向であるZ方向に搬送する。
図2、図3に示すように、リペア部搬送部30Z、31Z、32Zは、リペア装置3のリペア部としてのフラックス転写部30、導電性ボール搭載部31、余剰導電性ボール除去部32(以下、「リペア部の各部30、31、32」と称する)を、それぞれ、X方向およびY方向に対して直交する鉛直方向であるZ方向に搬送する。
キャリブレーション部6は、リペア部の各部30、31、32の、X方向の位置情報、Y方向の位置情報およびZ方向の位置情報(以下、「X、Y、Z方向の位置情報」と称する)を取得する。リペア部の各部30、31、32のX、Y、Z方向の位置情報は、フラックス転写部30のフラックス転写ピン300の先端(下端)、導電性ボール搭載部31の導電性ボール搭載ノズル310の先端(下端)、余剰導電性ボール除去部32の余剰導電性ボール除去ノズル320の先端(下端)のX、Y、Z方向の位置情報である。そして、キャリブレーション部6が取得した位置情報により、ワークWの位置が較正される。
検査装置2は、導電性ボールBがワークWの電極Eに正常に実装されているか否かを検査する。図1、図2に示すように、検査装置2は、検査部としての主検査部20とベリファイ用検査部21とを有する。
リペア装置3は、主検査部20により不良箇所が検出され、かつ、ベリファイ用検査部21により不良箇所において修正が必要と判断された場合に、導電性ボールBが正常に実装されるように、修正する。図1、図2に示すように、リペア装置3は、フラックス転写部30と、導電性ボール搭載部31と、余剰導電性ボール除去部32と、を有する。
撮像装置4は、少なくともリペア部の各部30、31、32が修正する箇所を対象として撮像する。撮像装置4は、リペア装置3に対して、オペレーターが位置する側すなわち前側に、配置されている。
図1、図3に示すように、撮像装置4は、各調整部4X、4Y、4Z、4Dを介して、架台10の上面に配置されている。
表示装置5は、撮像装置4が撮像した対象を、オペレーターが視認する画像として、拡大して表示する。図1、図2に示すように、表示装置5は、保持部50を有する。表示装置5は、リペア装置3側に配置されている。すなわち、表示装置5は、リペア装置3および撮像装置4よりも右側に、かつ、撮像装置4よりも後側に、配置されている。図1において、符号「L3」は、オペレーターの表示装置5への視線方向を示す。
図5に示すように、導電性ボール検査リペア装置1は、制御部8、操作部80、検出部81、駆動部82と、を備える。
この実施形態にかかる導電性ボール検査リペア装置1は、以上のごとき構成からなり、以下、その作用について図7の工程を示すフロー説明図を参照して説明する。
この実施形態にかかる導電性ボール検査リペア装置1は、以上のごとき構成および作用からなり、以下、その効果について説明する。
なお、前記の実施形態においては、ワークWとして、ウェハーについて説明するものである。しかしながら、この発明においては、ワークとして、ウェハー以外に、回路基板であっても良い。
10 架台
11 支持部材
110 支柱
111 腕
112 桁
12 ロードポート
13 プリアライナー
14 ステージ
15 搬送ロボット(ワーク搬送部)
16 ワーク認識情報取得部
160 カメラ
161 レンズ
162 照明具
17 搬送容器(FOUP)
2 検査装置
20 主検査部(検査部)
200 カメラ
201 レンズ
202 照明具
20Z 主検査部20の検査部搬送部
200Z Z方向駆動部
21 ベリファイ用検査部(検査部)
210 カメラ
211 レンズ
212 照明具
21Z ベリファイ用検査部21の検査部搬送部
210Z Z方向駆動部
3 リペア装置
30 フラックス転写部(リペア部)
300 フラックス転写ピン
301 フラックストレイ
302 Y方向移動機構
303 駆動部
30Z フラックス転写部30のリペア部搬送部
300Z Z方向駆動部
31 導電性ボール搭載部(リペア部)
310 導電性ボール搭載ノズル
311 導電性ボール供給トレイ
312 Y方向移動機構
313 駆動部
31Z 導電性ボール搭載部31のリペア部搬送部
310Z Z方向駆動部
32 余剰導電性ボール除去部(リペア部)
320 余剰導電性ボール除去ノズル
321 余剰導電性ボール受トレイ
322 Y方向移動機構
323 駆動部
32Z 余剰導電性ボール除去部32のリペア部搬送部
320Z Z方向駆動部
4 撮像装置
40 レンズ
41 カメラ(撮像部)
42 照明具(照明部)
43 レーザーポインター
4D 回動調整部
40D 固定部(ガイド部)
41D 回動部
42D 調整部
4X X方向移動調整部
40X 固定部(ガイド部)
41X 移動部
42X 自動移動停止部(駆動部)
4Y Y方向移動調整部
40Y 固定部(ガイド部)
41Y 移動部
42Y 調整部
4Z Z方向移動調整部
40Z 固定部(ガイド部)
41Z 移動部
42Z 調整部
5 表示装置
50 保持部
51 保持金具
52 Z方向移動調整部
53 Z方向止具
54 回動調整部
55 回動止具
6 キャリブレーション部
60 X−Y位置情報取得部
61 Z位置情報取得部
7 ステージ搬送部
70X X方向固定部(X方向ガイド部)
71X X方向移動部
70Y Y方向固定部(Y方向ガイド部)
71Y Y方向移動部
8 制御部
80 操作部
81 検出部
82 駆動部
B 導電性ボール
B1 余分(余計)な導電性ボール
C 集積回路チップC
E 電極
F フラックス
IP オペレーターの目の位置
L レンズ40の光軸(カメラ41の撮像方向)
L1 照明具42の照明光の照射方向
L2 レーザーポインター43のレーザー光の照射方向
L3 オペレーターの表示装置5への視線方向
W ワーク
X1 左側
X2 右側
Y1 前(手前)側
Y2 後(奥、向)側
Z1 上側
Z2 下側
Claims (12)
- 導電性ボールがワークの電極に正常に実装されているか否かを検査する検査部を有する検査装置と、
前記検査部により、前記導電性ボールが正常に実装されていない箇所を検出した場合に、前記箇所において前記導電性ボールが正常に実装されるように修正するリペア部を有するリペア装置と、
少なくとも前記リペア部が修正する前記箇所を対象として撮像する撮像装置と、
前記撮像装置が撮像した前記対象を、オペレーターが視認する画像として、表示する表示装置と、
を備え、
前記撮像装置は、前記リペア部に対して、オペレーターが位置する側に、配置されている、
ことを特徴とする導電性ボール検査リペア装置。 - 前記表示装置は、
前記リペア装置側に配置されていて、
前記表示装置を鉛直方向に移動調整できかつ前記鉛直方向の軸回りに回動調整できる保持部により、
保持されていて、
オペレーターが操作することにより指示信号を出力する操作部を備え、
前記操作部は、オペレーターの前記表示装置への視線方向に配置されている、
ことを特徴とする請求項1に記載の導電性ボール検査リペア装置。 - 前記撮像装置は、
前記対象を拡大する光学部と、
前記光学部により拡大された前記対象を撮像する撮像部と、
前記光学部により拡大され、かつ、前記撮像部により撮像される前記対象を照明する照明部と、
を有する、
ことを特徴とする請求項1または2に記載の導電性ボール検査リペア装置。 - 前記撮像装置は、
前記撮像部の視野を前記対象に位置させる時に、前記対象を指し示すレーザーポインター、
を有する、
ことを特徴とする請求項3に記載の導電性ボール検査リペア装置。 - 前記撮像装置は、
前記撮像装置を、水平方向であるX方向に、移動調整できるX方向移動調整部と、
前記撮像装置を、水平方向であって前記X方向に対して直交するY方向に、移動調整できるY方向移動調整部と、
前記撮像装置を、前記X方向および前記Y方向に対して直交する前記鉛直方向であるZ方向に、移動調整できるZ方向移動調整部と、
前記撮像装置を、前記X方向の軸回りに、回動調整できる回動調整部と、
を介して配置されている、
ことを特徴とする請求項1に記載の導電性ボール検査リペア装置。 - 前記リペア部は、
前記導電性ボールが搭載されていない前記電極にフラックスを転写するフラックス転写部と、
前記フラックス転写部により転写された前記フラックスを介して前記電極に前記導電性ボールを搭載する導電性ボール搭載部と、
前記ワークに余分に搭載された余剰導電性ボールを除去する余剰導電性ボール除去部と、
を有する、
ことを特徴とする請求項1に記載の導電性ボール検査リペア装置。 - 前記フラックス転写部、前記導電性ボール搭載部および前記余剰導電性ボール除去部は、水平方向であるX方向に配置されていて、
前記撮像装置は、
前記撮像装置を、水平方向であるX方向に、手動により移動調整できるX方向移動調整部と、
前記撮像装置を、前記フラックス転写部、前記導電性ボール搭載部および前記余剰導電性ボール除去部に対応するそれぞれの位置に、位置決めして停止させる位置決め停止部と、
を介して配置されている、
ことを特徴とする請求項6に記載の導電性ボール検査リペア装置。 - 前記フラックス転写部、前記導電性ボール搭載部および前記余剰導電性ボール除去部は、水平方向であるX方向に配置されていて、
前記撮像装置は、
前記撮像装置を、水平方向であるX方向に、移動調整できるX方向移動調整部と、
前記撮像装置を、前記X方向に自動移動させ、かつ、前記フラックス転写部、前記導電性ボール搭載部および前記余剰導電性ボール除去部に対応するそれぞれの位置に、自動停止させる自動移動停止部と、
を介して配置されている、
ことを特徴とする請求項6に記載の導電性ボール検査リペア装置。 - 前記検査部は、
前記導電性ボールが前記ワークの前記電極に正常に実装されているか否かを検査する主検査部と、
前記主検査部により、前記導電性ボールが正常に実装されていない箇所を検出した場合に、前記箇所を確認するベリファイ用検査部と、
を有する、
ことを特徴とする請求項1に記載の導電性ボール検査リペア装置。 - キャリブレーション部を備え、
前記キャリブレーション部は、
前記リペア部の、水平方向であって相互に直交するX方向の位置情報およびY方向の位置情報と、前記X方向および前記Y方向に対して直交する前記鉛直方向であるZ方向の位置情報と、を取得する、
ことを特徴とする請求項1に記載の導電性ボール検査リペア装置。 - 前記キャリブレーション部は、
前記リペア部の前記X方向の位置情報および前記Y方向の位置情報を取得するX−Y位置情報取得部と、
前記リペア部の前記Z方向の位置情報を取得するZ位置情報取得部と、
を有する、
ことを特徴とする請求項10に記載の導電性ボール検査リペア装置。 - 前記ワークが載置されるステージと、
前記ステージを、水平方向であって相互に直交するX方向とY方向とに、それぞれ搬送するステージ搬送部と、
前記検査部を、前記X方向および前記Y方向に対して直交する前記鉛直方向であるZ方向に搬送する検査部搬送部と、
前記リペア部を、前記Z方向に搬送するリペア部搬送部と、
を有する、
ことを特徴とする請求項1に記載の導電性ボール検査リペア装置。
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- 2018-12-07 JP JP2018229697A patent/JP7249012B2/ja active Active
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